JP3236643B2 - 水晶板の方向判別方法 - Google Patents
水晶板の方向判別方法Info
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- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims description 39
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 39
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 11
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、カット面に対して所
定の結晶格子面が傾斜しているような水晶板（例えば、
ＡＴカット板）の方向を判別する方法に関する。
定の結晶格子面が傾斜しているような水晶板（例えば、
ＡＴカット板）の方向を判別する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】水晶のＡＴカット板は、所定の結晶格子
面がカット面に対して所定の角度だけ傾斜するように規
定されている。この傾斜角を精度良く検査して、規定角
度からのずれを測定するのに、Ｘ線回折測定を利用する
ことが知られている。ところで、上記傾斜角を測定する
には、例えば正方形のＡＴカット板を正しい方向に向け
てからＸ線回折のための試料台にセットする必要があ
る。ＡＴカット板を間違った方向に向けていると、回折
Ｘ線を検出することができない。
面がカット面に対して所定の角度だけ傾斜するように規
定されている。この傾斜角を精度良く検査して、規定角
度からのずれを測定するのに、Ｘ線回折測定を利用する
ことが知られている。ところで、上記傾斜角を測定する
には、例えば正方形のＡＴカット板を正しい方向に向け
てからＸ線回折のための試料台にセットする必要があ
る。ＡＴカット板を間違った方向に向けていると、回折
Ｘ線を検出することができない。
【０００３】従来、ＡＴカット板を所定の方向に揃える
ためには、いくつかの方法が知られている。最も正確な
方法は、方向判別用のＸ線回折装置を利用して、ＡＴカ
ット板が正しい方向に向いたときだけ回折Ｘ線が検出さ
れるようにＸ線光学系をセットしておく方法である。
ためには、いくつかの方法が知られている。最も正確な
方法は、方向判別用のＸ線回折装置を利用して、ＡＴカ
ット板が正しい方向に向いたときだけ回折Ｘ線が検出さ
れるようにＸ線光学系をセットしておく方法である。
【０００４】また、ＡＴカット板に方向の目印をつけて
おく方法もある。これは、例えば正方形の四つの頂点の
うち、隣り合う二つの頂点に面取りを形成しておく方法
である。これにより、作業者が肉眼で方向判別をするこ
とができる。さらに、このＡＴカット板を自動的に方向
判別するには、光学的に上記面取りを検出してやればよ
い。
おく方法もある。これは、例えば正方形の四つの頂点の
うち、隣り合う二つの頂点に面取りを形成しておく方法
である。これにより、作業者が肉眼で方向判別をするこ
とができる。さらに、このＡＴカット板を自動的に方向
判別するには、光学的に上記面取りを検出してやればよ
い。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】Ｘ線回折測定による方
向判別は、方向判別のためにＸ線源やＸ線検出器を必要
とし、非常に高価なものとなる。また、ＡＴカット板に
面取りを施して、これを光学的に検出するという方法
は、ＡＴカット板に必ず面取りを施す必要があるという
制約があり、さらにＡＴカット板の頂点の欠けなどによ
って判別誤りが起きやすい。この発明の目的は、比較的
簡便な装置で正確に結晶板の方向を判別する方法を提供
することにある。
向判別は、方向判別のためにＸ線源やＸ線検出器を必要
とし、非常に高価なものとなる。また、ＡＴカット板に
面取りを施して、これを光学的に検出するという方法
は、ＡＴカット板に必ず面取りを施す必要があるという
制約があり、さらにＡＴカット板の頂点の欠けなどによ
って判別誤りが起きやすい。この発明の目的は、比較的
簡便な装置で正確に結晶板の方向を判別する方法を提供
することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明の方法は、２枚
の偏光素子の間に水晶板を配置したときに、この光学系
を通過した光の強度が水晶板の方向に依存する、という
現象を利用している。すなわち、この発明は、カット面
に対して所定の結晶格子面が傾斜しているような水晶板
の方向を判別する方法において、光源から受光素子に至
る光路の途中に第１の偏光素子と第２の偏光素子を配置
する段階と、前記二つの偏光素子の間に水晶板を配置す
る段階と、第１の偏光素子と水晶板と第２の偏光素子と
を経由した光を受光素子で検出する段階と、水晶板をそ
のカット面に垂直な軸の回りに回転させて、前記検出し
た光の強度に基づいて水晶板の方向を判別する段階、と
を有することを特徴としている。この場合、第１の偏光
素子を通過した光は、水晶板を透過してから第２の偏光
素子に到達しても、水晶板で反射してから第２の偏光素
子に到達しても、水晶板の方向判別に使うことができ
る。
の偏光素子の間に水晶板を配置したときに、この光学系
を通過した光の強度が水晶板の方向に依存する、という
現象を利用している。すなわち、この発明は、カット面
に対して所定の結晶格子面が傾斜しているような水晶板
の方向を判別する方法において、光源から受光素子に至
る光路の途中に第１の偏光素子と第２の偏光素子を配置
する段階と、前記二つの偏光素子の間に水晶板を配置す
る段階と、第１の偏光素子と水晶板と第２の偏光素子と
を経由した光を受光素子で検出する段階と、水晶板をそ
のカット面に垂直な軸の回りに回転させて、前記検出し
た光の強度に基づいて水晶板の方向を判別する段階、と
を有することを特徴としている。この場合、第１の偏光
素子を通過した光は、水晶板を透過してから第２の偏光
素子に到達しても、水晶板で反射してから第２の偏光素
子に到達しても、水晶板の方向判別に使うことができ
る。
【０００７】より具体的な方法としては、矩形の水晶板
を前記二つの偏光素子の間で９０°ずつ回転させて、前
記通過光の強度が所定のしきい値より大きいとき、また
は小さいときに、水晶板が所定の方向を向いていると判
定することができる。
を前記二つの偏光素子の間で９０°ずつ回転させて、前
記通過光の強度が所定のしきい値より大きいとき、また
は小さいときに、水晶板が所定の方向を向いていると判
定することができる。
【０００８】
【作用】二つの偏光素子を互いに９０°回転させた状態
で平行に配置すると、この二つの偏光素子を通過してく
る光の強度はほとんど零になる。これらの二つの偏光素
子の間に水晶板を配置すると、この光学系を通過してく
る光の強度は必ずしも零にならない。しかも、水晶板を
その面内で回転させることによって通過光の強度が変化
する。したがって、検出した光の強度と水晶板の回転角
との関係をあらかじめ求めておけば、水晶板の方向を判
別することが可能となる。
で平行に配置すると、この二つの偏光素子を通過してく
る光の強度はほとんど零になる。これらの二つの偏光素
子の間に水晶板を配置すると、この光学系を通過してく
る光の強度は必ずしも零にならない。しかも、水晶板を
その面内で回転させることによって通過光の強度が変化
する。したがって、検出した光の強度と水晶板の回転角
との関係をあらかじめ求めておけば、水晶板の方向を判
別することが可能となる。
【０００９】
【実施例】図１は、この発明の一実施例を示す斜視図で
ある。第１の偏光板２と第２の偏光板４を互いに９０°
回転させた状態で平行に配置する。光源６からの光は第
１の偏光板２と第２の偏光板４を通過して、集光用のレ
ンズ８を通り、受光装置１０で検出されるようになって
いる。光源６からの光は第１の偏光板２によって直線偏
光となり、水晶のＡＴカット板１２が存在しない状態で
は、この直線偏光が第２の偏光板４で遮断されて、通過
光はほとんど零になる。
ある。第１の偏光板２と第２の偏光板４を互いに９０°
回転させた状態で平行に配置する。光源６からの光は第
１の偏光板２と第２の偏光板４を通過して、集光用のレ
ンズ８を通り、受光装置１０で検出されるようになって
いる。光源６からの光は第１の偏光板２によって直線偏
光となり、水晶のＡＴカット板１２が存在しない状態で
は、この直線偏光が第２の偏光板４で遮断されて、通過
光はほとんど零になる。
【００１０】二つの偏光板２と４の間にＡＴカット板１
２を挿入すると、第２の偏光板４を通過してくる光の強
度は必ずしも零にならない。ＡＴカット板１２をそのカ
ット面に垂直な軸の回りに回転させると、その回転角に
応じて通過光の強度が変化する現象が確認された。図１
は光の進行方向とＡＴカット板のカット面（表面）とが
直角になっている状態を示しているが、この直角以外の
任意の角度で傾斜していても同様の現象が生じることが
確認された。図２は、光の進行方向がＡＴカット板１２
のカット面に対して４０°傾斜している状態を示す正面
図である。
２を挿入すると、第２の偏光板４を通過してくる光の強
度は必ずしも零にならない。ＡＴカット板１２をそのカ
ット面に垂直な軸の回りに回転させると、その回転角に
応じて通過光の強度が変化する現象が確認された。図１
は光の進行方向とＡＴカット板のカット面（表面）とが
直角になっている状態を示しているが、この直角以外の
任意の角度で傾斜していても同様の現象が生じることが
確認された。図２は、光の進行方向がＡＴカット板１２
のカット面に対して４０°傾斜している状態を示す正面
図である。
【００１１】図３はＡＴカット板の面内回転角と通過光
の強度との関係を示したグラフであり、図２に示す光学
系で測定したものである。横軸にはＡＴカット板のカッ
ト面に垂直な軸１４の回りの回転角をとってある。な
お、通過光の強度が零になる位置での回転角を０°とし
てある。縦軸は受光装置の出力を電気信号に変換したと
きの検出電圧であり、これは通過光の強度に比例する。
このグラフから次のことが分かる。 （１）通過光の強度はＡＴカット板の回転角に依存して
大きく変化する。 （２）通過光の強度が極大値をとる回転角が四つあり、
その角度は４０°、１１０°、２０８°、３２８°であ
る。この四つの角度の互いの間隔は、９０°またはその
倍数からずれている。 （３）通過光の強度が極小値をとる回転角も四つあり、
その角度は０°、８０°、１４８°、２８５°である。
この四つの角度の互いの間隔は、やはり、９０°または
その倍数からずれている。
の強度との関係を示したグラフであり、図２に示す光学
系で測定したものである。横軸にはＡＴカット板のカッ
ト面に垂直な軸１４の回りの回転角をとってある。な
お、通過光の強度が零になる位置での回転角を０°とし
てある。縦軸は受光装置の出力を電気信号に変換したと
きの検出電圧であり、これは通過光の強度に比例する。
このグラフから次のことが分かる。 （１）通過光の強度はＡＴカット板の回転角に依存して
大きく変化する。 （２）通過光の強度が極大値をとる回転角が四つあり、
その角度は４０°、１１０°、２０８°、３２８°であ
る。この四つの角度の互いの間隔は、９０°またはその
倍数からずれている。 （３）通過光の強度が極小値をとる回転角も四つあり、
その角度は０°、８０°、１４８°、２８５°である。
この四つの角度の互いの間隔は、やはり、９０°または
その倍数からずれている。
【００１２】次に、ＡＴカット板を所定の方向に揃える
手順を説明する。使用したＡＴカット板の形状は正方形
であって、その四つの頂点のうち、隣り合う二つの頂点
に面取りを施してあるものを使用している。まず、２枚
の偏光板２と４を互いに９０°ずらして平行に配置し、
通過光の強度が零になるようにする。次に、ＡＴカット
板１２を図１に示す姿勢（すなわち、面取りに挟まれた
辺が、図１の左手前にくるような姿勢）にして、偏光板
２と４の間に挿入する。そして、通過光の強度が最小に
なるように、二つの偏光板２と４を、その面内で同方向
に同一角度だけ回転する。これで偏光板の調整が完了す
る。さらに、通過光の検出出力電圧に対して、図３の破
線１８で示すしきい値を設定する。そして、この出力電
圧がしきい値１８より小さいときに判定回路からハイレ
ベルの信号を出力するようにし、しきい値１８より大き
いときにはロウレベルの信号を出力するようにする。以
上で、準備が完了する。
手順を説明する。使用したＡＴカット板の形状は正方形
であって、その四つの頂点のうち、隣り合う二つの頂点
に面取りを施してあるものを使用している。まず、２枚
の偏光板２と４を互いに９０°ずらして平行に配置し、
通過光の強度が零になるようにする。次に、ＡＴカット
板１２を図１に示す姿勢（すなわち、面取りに挟まれた
辺が、図１の左手前にくるような姿勢）にして、偏光板
２と４の間に挿入する。そして、通過光の強度が最小に
なるように、二つの偏光板２と４を、その面内で同方向
に同一角度だけ回転する。これで偏光板の調整が完了す
る。さらに、通過光の検出出力電圧に対して、図３の破
線１８で示すしきい値を設定する。そして、この出力電
圧がしきい値１８より小さいときに判定回路からハイレ
ベルの信号を出力するようにし、しきい値１８より大き
いときにはロウレベルの信号を出力するようにする。以
上で、準備が完了する。
【００１３】次に、方向判別をしたいＡＴカット板１２
を、２枚の偏光板２と４の間に矢印１６の方向から挿入
する。このとき、ＡＴカット板は、正方形の任意の一辺
が矢印１６の向きに平行になった状態で搬送されてく
る。すなわち、ＡＴカット板１２は、互いに９０°ずつ
ずれた４種類の方向のうちのいずれかの方向を向いてい
ることになる。この状態で通過光の強度を検出する。も
し、ＡＴカット板１２が図１に示す姿勢になっていると
すれば、通過光の検出強度は図３の回転角０°の状態と
なる。すなわち、検出出力はしきい値１８を下回り、判
定回路からはハイレベルの信号が出力される。これによ
り、ＡＴカット板１２は所定の正しい方向を向いている
と判定され、そのままの向きで矢印１７の方向に搬出さ
れる。
を、２枚の偏光板２と４の間に矢印１６の方向から挿入
する。このとき、ＡＴカット板は、正方形の任意の一辺
が矢印１６の向きに平行になった状態で搬送されてく
る。すなわち、ＡＴカット板１２は、互いに９０°ずつ
ずれた４種類の方向のうちのいずれかの方向を向いてい
ることになる。この状態で通過光の強度を検出する。も
し、ＡＴカット板１２が図１に示す姿勢になっていると
すれば、通過光の検出強度は図３の回転角０°の状態と
なる。すなわち、検出出力はしきい値１８を下回り、判
定回路からはハイレベルの信号が出力される。これによ
り、ＡＴカット板１２は所定の正しい方向を向いている
と判定され、そのままの向きで矢印１７の方向に搬出さ
れる。
【００１４】もし、ＡＴカット板１２が図１に示す以外
のその他の三つの向きのいずれかを向いているときは、
検出出力は図３の回転角９０°、１８０°、２７０°の
いずれかの状態となり、このときは、いずれの状態でも
検出出力がしきい値１８を上回る。したがって、判定回
路からはロウレベル信号が出力される。判定回路からロ
ウレベル信号が出力されたら、ＡＴカット板１２を回転
装置によって面内で９０°回転させて、同様に通過光を
検出する。そして、判定回路からハイレベルが出力され
るまで同様の作業を繰り返す。最大でも４回の判定を行
えば、必ずハイレベル信号を得ることができて、そのと
きにＡＴカット板１２は図１に示す向きを向いているこ
とになる。そして、正しい方向に向いたＡＴカット板１
２は矢印１７の方向に搬送される。
のその他の三つの向きのいずれかを向いているときは、
検出出力は図３の回転角９０°、１８０°、２７０°の
いずれかの状態となり、このときは、いずれの状態でも
検出出力がしきい値１８を上回る。したがって、判定回
路からはロウレベル信号が出力される。判定回路からロ
ウレベル信号が出力されたら、ＡＴカット板１２を回転
装置によって面内で９０°回転させて、同様に通過光を
検出する。そして、判定回路からハイレベルが出力され
るまで同様の作業を繰り返す。最大でも４回の判定を行
えば、必ずハイレベル信号を得ることができて、そのと
きにＡＴカット板１２は図１に示す向きを向いているこ
とになる。そして、正しい方向に向いたＡＴカット板１
２は矢印１７の方向に搬送される。
【００１５】このようにして、次々にＡＴカット板を偏
光板の間に挿入していけば、矢印１７の方向に出ていく
ＡＴカット板１２は、常に一定の方向に揃うことにな
る。
光板の間に挿入していけば、矢印１７の方向に出ていく
ＡＴカット板１２は、常に一定の方向に揃うことにな
る。
【００１６】上述の実施例では、ＡＴカット板１２の寸
法は９×９ｍｍで、厚さが０．２ｍｍのものを用いた。
光源６には波長６７０ｎｍの半導体レ−ザを用い、受光
装置１０にはフォトトランジスタを用いた。実施例で
は、判別の効果を肉眼で確認するために、面取りを施し
てあるＡＴカット板を使用したが、面取りを施してない
ＡＴカット板を用いても正確に特定の方向に揃えること
ができる。
法は９×９ｍｍで、厚さが０．２ｍｍのものを用いた。
光源６には波長６７０ｎｍの半導体レ−ザを用い、受光
装置１０にはフォトトランジスタを用いた。実施例で
は、判別の効果を肉眼で確認するために、面取りを施し
てあるＡＴカット板を使用したが、面取りを施してない
ＡＴカット板を用いても正確に特定の方向に揃えること
ができる。
【００１７】この発明は上述の実施例に限定されず、次
のような変更が可能である。 （１）上述の実施例では、水晶板を透過する光が第２の
偏光素子に到達するような光学系になっているが、水晶
板で反射した光が第２の偏光素子に到達するような光学
系にしても同様な方向判別が可能である。
のような変更が可能である。 （１）上述の実施例では、水晶板を透過する光が第２の
偏光素子に到達するような光学系になっているが、水晶
板で反射した光が第２の偏光素子に到達するような光学
系にしても同様な方向判別が可能である。
【００１８】（２）光源としては半導体レ−ザのほかに
も、Ｈｅ−Ｎｅレ−ザと白色光でも実験を行ったが、図
３と同様のグラフが得られた。
も、Ｈｅ−Ｎｅレ−ザと白色光でも実験を行ったが、図
３と同様のグラフが得られた。
【００１９】（３）上述の実施例では、通過光の検出出
力が最小値となるようにＡＴカット板を回転させて方向
を揃えていたが、これとは逆に、通過光の検出出力が最
大値になるようにＡＴカット板を回転させて方向を揃え
ることもできる。この場合は、図１の回転角２０８°の
位置が、回転角の０°になるように偏光板を設定し直し
て、最大ピ−ク電圧よりも少し低いところにしきい値を
設定すればよい。そして、検出出力がしきい値よりも大
きいときにＡＴカット板が所定の方向を向いていると判
定すればよい。ただし、光源の強度の変動などが原因し
て、検出出力が変動する恐れがあるので、注意する必要
がある。これを避けるには、光源の強度を一定にするた
めの工夫が必要となる。
力が最小値となるようにＡＴカット板を回転させて方向
を揃えていたが、これとは逆に、通過光の検出出力が最
大値になるようにＡＴカット板を回転させて方向を揃え
ることもできる。この場合は、図１の回転角２０８°の
位置が、回転角の０°になるように偏光板を設定し直し
て、最大ピ−ク電圧よりも少し低いところにしきい値を
設定すればよい。そして、検出出力がしきい値よりも大
きいときにＡＴカット板が所定の方向を向いていると判
定すればよい。ただし、光源の強度の変動などが原因し
て、検出出力が変動する恐れがあるので、注意する必要
がある。これを避けるには、光源の強度を一定にするた
めの工夫が必要となる。
【００２０】（４）ＡＴカット板に対する光の入射角は
４０°以外でも図３と同様のグラフが得られた。このこ
とは、図１に示すように垂直にした場合でも同様であ
る。ただし、傾斜したほうが、極小値間または極大値間
の角度間隔が９０°またはその倍数からずれる度合いが
大きくて有利なようである。
４０°以外でも図３と同様のグラフが得られた。このこ
とは、図１に示すように垂直にした場合でも同様であ
る。ただし、傾斜したほうが、極小値間または極大値間
の角度間隔が９０°またはその倍数からずれる度合いが
大きくて有利なようである。
【００２１】（５）使用できる水晶板としては、上述の
ＡＴカット板のほかに、ＢＴカット板、ＦＣカット板、
ＩＴカット板、ＬＣカット板、ＳＣカット板、ＲＴカッ
ト板などがある。
ＡＴカット板のほかに、ＢＴカット板、ＦＣカット板、
ＩＴカット板、ＬＣカット板、ＳＣカット板、ＲＴカッ
ト板などがある。
【００２２】（６）上述の実施例では、矩形の水晶板を
９０°ずつ回転させているが、例えば円形の水晶板の方
向判別をするなどの場合には、水晶板を面内で連続回転
させて所定の方向を見付けるようにしてもよい。
９０°ずつ回転させているが、例えば円形の水晶板の方
向判別をするなどの場合には、水晶板を面内で連続回転
させて所定の方向を見付けるようにしてもよい。
【００２３】
【発明の効果】この発明は、２枚の偏光素子の間に水晶
板を配置して、この光学系を通過した光の強度を検出す
ることによって水晶板の方向を判別するようにしたの
で、Ｘ線回折による方向判別に比べると比較的簡単な装
置ですむという利点があり、また、光学的に形状を判別
することによって方向判別をする方法に比べると水晶板
に面取りなどの目印を施さなくてもよいという利点があ
る。
板を配置して、この光学系を通過した光の強度を検出す
ることによって水晶板の方向を判別するようにしたの
で、Ｘ線回折による方向判別に比べると比較的簡単な装
置ですむという利点があり、また、光学的に形状を判別
することによって方向判別をする方法に比べると水晶板
に面取りなどの目印を施さなくてもよいという利点があ
る。
【図１】この発明の一実施例の斜視図である。
【図２】水晶板に対する光の入射方向を傾斜させた状態
を示す正面図である。
を示す正面図である。
【図３】水晶板の面内回転角と通過光の検出強度との関
係を示すグラフである。
係を示すグラフである。
２ 第１の偏光板 ４ 第２の偏光板 ６ 光源 １０ 受光装置 １２ 水晶のＡＴカット板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/00 - 21/01 G01N 21/17 - 21/61 G01B 11/26 実用ファイル（ＰＡＴＯＬＩＳ) 特許ファイル（ＰＡＴＯＬＩＳ)
Claims (4)
- 【請求項１】 カット面に対して所定の結晶格子面が傾
斜しているような水晶板の方向を判別する方法におい
て、 光源から受光素子に至る光路の途中に第１の偏光素子と
第２の偏光素子を配置する段階と、 前記二つの偏光素子の間に水晶板を配置する段階と、 第１の偏光素子と水晶板と第２の偏光素子とを経由した
光を受光素子で検出する段階と、 水晶板をそのカット面に垂直な軸の回りに回転させて、
前記検出した光の強度に基づいて水晶板の方向を判別す
る段階とを有し、 矩形の水晶板を前記二つの偏光素子の間で９０°ずつ回
転させて、前記検出した光の強度が所定のしきい値より
大きいとき、または小さいときに、水晶板が所定の方向
を向いていると判定することを特徴とする水晶板の方向
判別方法。 - 【請求項２】 前記水晶板を透過した光が前記第２の偏
光素子に達することを特徴とする請求項１記載の方向判
別方法。 - 【請求項３】 前記水晶板で反射した光が前記第２の偏
光素子に達することを特徴とする請求項１記載の方向判
別方法。 - 【請求項４】 前記水晶板がＡＴカット板であることを
特徴とする請求項１記載の方向判別方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32404391A JP3236643B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-11-13 | 水晶板の方向判別方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3-81218 | 1991-03-22 | ||
| JP8121891 | 1991-03-22 | ||
| JP32404391A JP3236643B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-11-13 | 水晶板の方向判別方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0534274A JPH0534274A (ja) | 1993-02-09 |
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