JP3243703B2 - ビューファインダー用カラーフイルターの欠陥検出方法 - Google Patents
ビューファインダー用カラーフイルターの欠陥検出方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，ビューファインダー用
カラーフイルターの、汚れ、傷等の外観欠陥を自動検査
する方法である。
カラーフイルターの、汚れ、傷等の外観欠陥を自動検査
する方法である。
【０００２】
【従来の技術】従来、ビューファインダー用カラーフイ
ルターの外観検査方法としては、投光器による人間の目
視方法、及び、目視での検査が難しい微細な欠陥に対し
ては、顕微鏡による方法が採られていた。しかし、近
年、ビューファインダ用ーカラーフイルターについて
は、益々、微細化、量産が求められるようになってき
た。高精細化に伴い、欠陥についても、益々、微細な欠
陥を検出することが要求されるようになってきており、
従来の投光器や顕微鏡を用いた肉眼での検査について
は、人による差や、再現性に問題がある為、人手でな
い、自動化された検査方法が求められるようになってき
た。また、量産対応としても自動化された検査方法が求
められるようになってきた。しかしながら、ビューファ
インダー用カラーフイルターにおいては、製品の表裏全
面が検査対象領域となり、製品表裏全面の透過および／
または反射照明で、欠陥を検査することが必要である上
に、着色画素部、外周遮光部、最外周透明部における透
過率および／または反射率が、それぞれ異なることから
自動外観検査が難しくその対応が求められていた。
ルターの外観検査方法としては、投光器による人間の目
視方法、及び、目視での検査が難しい微細な欠陥に対し
ては、顕微鏡による方法が採られていた。しかし、近
年、ビューファインダ用ーカラーフイルターについて
は、益々、微細化、量産が求められるようになってき
た。高精細化に伴い、欠陥についても、益々、微細な欠
陥を検出することが要求されるようになってきており、
従来の投光器や顕微鏡を用いた肉眼での検査について
は、人による差や、再現性に問題がある為、人手でな
い、自動化された検査方法が求められるようになってき
た。また、量産対応としても自動化された検査方法が求
められるようになってきた。しかしながら、ビューファ
インダー用カラーフイルターにおいては、製品の表裏全
面が検査対象領域となり、製品表裏全面の透過および／
または反射照明で、欠陥を検査することが必要である上
に、着色画素部、外周遮光部、最外周透明部における透
過率および／または反射率が、それぞれ異なることから
自動外観検査が難しくその対応が求められていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような状況のも
と、ビューファインダー用カラーフイルターの表裏全面
を、透過照明および／または反射照明を用い検査でき、
且つ、量産に対応できる自動外観検査方法が求められて
いた。本発明は、ビューファインダー用カラーフイルタ
ーの自動外観検査方法を提供しようとするもので、詳し
くは、場所（部位）により透過率および／または反射率
が異なるビューファインダー用カラーフイルターの自動
外観検査方法に関する。
と、ビューファインダー用カラーフイルターの表裏全面
を、透過照明および／または反射照明を用い検査でき、
且つ、量産に対応できる自動外観検査方法が求められて
いた。本発明は、ビューファインダー用カラーフイルタ
ーの自動外観検査方法を提供しようとするもので、詳し
くは、場所（部位）により透過率および／または反射率
が異なるビューファインダー用カラーフイルターの自動
外観検査方法に関する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のビューファイン
ダー用カラーフイルターの欠陥検出方法は、ビューファ
インダー用カラーフイルターの全面について、透過照明
光および／または反射照明光を用いて撮像し、得られた
信号を画像処理をすることにより汚れ、傷等の外観欠陥
を自動検査する方法で、カラーフイルターの検査領域を
透過率および／または反射率の違いにより複数の領域に
分け、各領域の欠陥検査は、各領域に対応して露光条件
により撮像手段の映像信号レベルを調整し、検査領域全
面を撮像し、撮像により得られる映像信号により欠陥を
検出するもので、各領域毎の欠陥検出を併せて検査領域
全面を検査するものである。通常、各領域に対応した露
光条件で撮像するため、複数の異なった露光条件下でそ
れぞれ検査領域全面を撮像し、各条件下で得られた映像
信号からそれぞれ各領域の欠陥を検出し、併せて検査領
域全面の検査とするものである。ビューファインダー用
カラーフイルターの汚れ、傷等の外観欠陥の検出は、そ
の表裏全面について行う必要があるが、通常、ビューフ
ァインダー用カラーフイルターは、その場所（部位）に
より透過率および／または反射率が異なる為、表裏の全
面について同じ条件下で、撮像により得られた信号を画
像処理しては、撮像により得られた映像信号レベルは場
所（部位）により大きな差が出てしまい、適切な欠陥検
出はできない。通常、ビューファインダー用カラーフイ
ルターの着色部表面は低い反射率、外周遮光部は高い反
射率を示し、着色部及び外周遮光部は低い光透過率、最
外周透明部は高い光透過率を示す。その為、ビューファ
インダー用カラーフイルターの表裏全面の場所（領域）
により、映像信号レベルが欠陥検出に適切なレベルにな
るように撮像手段の映像信号レベルの調整を行うもので
あるが、調整は、撮像手段の撮像露光時間可変の光電変
換機能によるもので、撮像露光時間にて調整するか、も
しくはビューファインダー用カラーフイルターからの透
過光および／または反射光の照明光強度を調整するか、
もしくは両者を併用して調整を行う。各領域に対応して
検査領域全面を露光し、撮像するが、特定領域に対応し
た、露光条件下で得られた映像信号からは、特定の領域
のみの欠陥検出に適したレベルの信号を抽出するもの
で、必要に応じて、他の領域の信号分は除去ないし、除
外できるように処理する。例えば、欠陥検出のための撮
像の際、低い反射率の着色部には反射照明光強度を大と
し、映像信号レベルを高めて、高い反射率の外周遮光部
には反射照明強度を小とし、映像信号レベルを低めて、
映像信号レベルを調整して撮像するものである。又、欠
陥検出のための撮像の際、低透過率の着色部及び外周遮
光部には透過光強度を大とし、映像信号レベルを高め
て、高透過率の最外周透明部には透過光強度を小とし、
映像信号レベルを低めて、映像信号レベルを調整して撮
像するものである。又、例えば、欠陥検出のための撮像
の際、低い反射率の着色部には、撮像露光時間を長くし
て、光電変換させることにより、映像信号レベルを高め
て、高い反射率の外周遮光部には撮像露光時間を短くし
て、光電変換させることにより、映像信号レベルを低め
て、映像信号レベルを調整して撮像するものである。そ
して、欠陥検出のための撮像の際、低透過率の着色部及
び外周遮光部には撮像露光時間を長くして、光電変換さ
せることにより、映像信号レベルを高めて、高透過率の
最外周透明部には撮像露光時間を短くして、光電変換さ
せるとにより、映像信号レベルを低めて、映像信号レベ
ルを調整して撮像するものである。
ダー用カラーフイルターの欠陥検出方法は、ビューファ
インダー用カラーフイルターの全面について、透過照明
光および／または反射照明光を用いて撮像し、得られた
信号を画像処理をすることにより汚れ、傷等の外観欠陥
を自動検査する方法で、カラーフイルターの検査領域を
透過率および／または反射率の違いにより複数の領域に
分け、各領域の欠陥検査は、各領域に対応して露光条件
により撮像手段の映像信号レベルを調整し、検査領域全
面を撮像し、撮像により得られる映像信号により欠陥を
検出するもので、各領域毎の欠陥検出を併せて検査領域
全面を検査するものである。通常、各領域に対応した露
光条件で撮像するため、複数の異なった露光条件下でそ
れぞれ検査領域全面を撮像し、各条件下で得られた映像
信号からそれぞれ各領域の欠陥を検出し、併せて検査領
域全面の検査とするものである。ビューファインダー用
カラーフイルターの汚れ、傷等の外観欠陥の検出は、そ
の表裏全面について行う必要があるが、通常、ビューフ
ァインダー用カラーフイルターは、その場所（部位）に
より透過率および／または反射率が異なる為、表裏の全
面について同じ条件下で、撮像により得られた信号を画
像処理しては、撮像により得られた映像信号レベルは場
所（部位）により大きな差が出てしまい、適切な欠陥検
出はできない。通常、ビューファインダー用カラーフイ
ルターの着色部表面は低い反射率、外周遮光部は高い反
射率を示し、着色部及び外周遮光部は低い光透過率、最
外周透明部は高い光透過率を示す。その為、ビューファ
インダー用カラーフイルターの表裏全面の場所（領域）
により、映像信号レベルが欠陥検出に適切なレベルにな
るように撮像手段の映像信号レベルの調整を行うもので
あるが、調整は、撮像手段の撮像露光時間可変の光電変
換機能によるもので、撮像露光時間にて調整するか、も
しくはビューファインダー用カラーフイルターからの透
過光および／または反射光の照明光強度を調整するか、
もしくは両者を併用して調整を行う。各領域に対応して
検査領域全面を露光し、撮像するが、特定領域に対応し
た、露光条件下で得られた映像信号からは、特定の領域
のみの欠陥検出に適したレベルの信号を抽出するもの
で、必要に応じて、他の領域の信号分は除去ないし、除
外できるように処理する。例えば、欠陥検出のための撮
像の際、低い反射率の着色部には反射照明光強度を大と
し、映像信号レベルを高めて、高い反射率の外周遮光部
には反射照明強度を小とし、映像信号レベルを低めて、
映像信号レベルを調整して撮像するものである。又、欠
陥検出のための撮像の際、低透過率の着色部及び外周遮
光部には透過光強度を大とし、映像信号レベルを高め
て、高透過率の最外周透明部には透過光強度を小とし、
映像信号レベルを低めて、映像信号レベルを調整して撮
像するものである。又、例えば、欠陥検出のための撮像
の際、低い反射率の着色部には、撮像露光時間を長くし
て、光電変換させることにより、映像信号レベルを高め
て、高い反射率の外周遮光部には撮像露光時間を短くし
て、光電変換させることにより、映像信号レベルを低め
て、映像信号レベルを調整して撮像するものである。そ
して、欠陥検出のための撮像の際、低透過率の着色部及
び外周遮光部には撮像露光時間を長くして、光電変換さ
せることにより、映像信号レベルを高めて、高透過率の
最外周透明部には撮像露光時間を短くして、光電変換さ
せるとにより、映像信号レベルを低めて、映像信号レベ
ルを調整して撮像するものである。
【０００５】
【作用】本発明のビューファインダー用カラーフイルタ
ーの欠陥検出方法は、該カラーフイルターの検査領域を
複数の領域に分け、各領域の欠陥検出を、各領域に対応
した露光条件下で撮像して得られた映像信号を画像処理
して行うものであることより、露光条件をその領域の光
透過率および／または光反射に応じて、欠陥が検出し易
い映像信号レベルになるように調整して選べ、その領域
での欠陥検出を確実なものとしている。そして、各領域
に対応した露光条件下でそれぞれ検査領域全面を撮像
し、各条件下で得られた映像信号からそれぞれ各検査領
域の欠陥を検出し、併せて検査領域全面の欠陥を検出す
ることができ、カラーフイルターの全面の欠陥検出をで
きるものとしている。映像信号レベルの調整を、撮像手
段の撮像露光時間可変の光電変換機能による調整、又は
透過光および／または反射光の照明光強度を調整もしく
は両者の併用による調整で行うことにより、比較的簡単
に場所（部位）により、異なる透過率および／または反
射率を有するビューファインダー用カラーフイルターの
表裏全面について、汚れ、傷等の外観欠陥検査を自動化
ができるようにしている。
ーの欠陥検出方法は、該カラーフイルターの検査領域を
複数の領域に分け、各領域の欠陥検出を、各領域に対応
した露光条件下で撮像して得られた映像信号を画像処理
して行うものであることより、露光条件をその領域の光
透過率および／または光反射に応じて、欠陥が検出し易
い映像信号レベルになるように調整して選べ、その領域
での欠陥検出を確実なものとしている。そして、各領域
に対応した露光条件下でそれぞれ検査領域全面を撮像
し、各条件下で得られた映像信号からそれぞれ各検査領
域の欠陥を検出し、併せて検査領域全面の欠陥を検出す
ることができ、カラーフイルターの全面の欠陥検出をで
きるものとしている。映像信号レベルの調整を、撮像手
段の撮像露光時間可変の光電変換機能による調整、又は
透過光および／または反射光の照明光強度を調整もしく
は両者の併用による調整で行うことにより、比較的簡単
に場所（部位）により、異なる透過率および／または反
射率を有するビューファインダー用カラーフイルターの
表裏全面について、汚れ、傷等の外観欠陥検査を自動化
ができるようにしている。
【０００６】
【実施例】本発明のビューファインダー用カラーフイル
ター欠陥検出方法の実施例１を以下、図にそって説明す
る。図１は実施例１におけるビューファインダー用カラ
ーフイルター欠陥検出する際の装置概略図で、ビューフ
ァインダー用カラーフイルターを露光時間可変のＣＣＤ
エリアセンサを使用し、試料の表面を反射照明して自動
検査を行う装置を示した図である。図中１は撮像カメ
ラ、２は光源、３はビューファインダー用カラーフイル
ター、４は保持板、５は画像処理装置、６はハーフミラ
ーであり、撮像カメラ１は電子シヤッター機能を備えた
ＣＣＤエリアセンサー（Ｃ３０７７−５０ 浜松ホトニ
クス社製）を有し、露光時間が可変のものである。光源
はキセノン光源をフアイバー状にしたものを使用した。
光源２からの光はハーフミラー６で反射され、保持板４
の上に載置された試料ビューファインダー用カラーフイ
ルター３の全面を照明する。試料ビューファインダー用
カラーフイルター３からの反射光によりカラーフイルタ
ー３の像全面がレンズにより撮像カメラ１のＣＣＤエリ
アセンサ上に結像され、撮像される。そして、撮像にて
得られた映像信号は画像処理され、欠陥が検出される。
ここでは、５１２画素×４８０画素のエリアセンサーを
用い、図１１に示す、１５ｍｍ×１３ｍｍのビューファ
インダー用カラーフイルターの基板上の中央部に４０μ
ｍ×２０μｍピッチでＲ、Ｇ、Ｂの３色が繰り返し配列
されているビューファインダー用カラーフイルターを試
料として用い、レンズを介して試料全面の撮影を行っ
た。先ず、ビューファインダー用カラーフイルターの欠
陥検出に先立ち、ビューファインダー用カラーフイルタ
ーが着色画素部と外周遮光部とで反射率が異なる為、保
持板４上に所定の欠陥サンプルを載置し、着色画素部、
外周遮光部のそれぞれの場所で適切な欠陥検出がきるよ
うに電子式シヤッターの露光時間を調整し、それぞれの
場所に適切な露光時間１／６０ｓｅｃ、１／１２００ｓ
ｅｃを得た。次いで、撮像カメラ１により試料であるビ
ューファインダー用カラーフイルター３を保持板４の上
に載せ、ビューファインダー用カラーフイルター３の表
面全面を、上記の着色画素部の欠陥検出に適切な露光時
間１／６０ｓｅｃ、及び外周遮光部の欠陥検出に適切な
露光時間１／１２００ｓｅｃにて撮影し、それぞれの露
光時間による撮像にて得られた映像信号を、それぞれ画
像処理し、画像処理毎に欠陥を検出した。上記の着色画
素部の欠陥検出に適切な露光時間１／６０ｓｅｃでの撮
像からは着色部の反射照明による欠陥が検出され、外周
遮光部の欠陥検出に適切な露光時間１／１２００ｓｅｃ
での撮像からは外周遮光部の欠陥が検出された。
ター欠陥検出方法の実施例１を以下、図にそって説明す
る。図１は実施例１におけるビューファインダー用カラ
ーフイルター欠陥検出する際の装置概略図で、ビューフ
ァインダー用カラーフイルターを露光時間可変のＣＣＤ
エリアセンサを使用し、試料の表面を反射照明して自動
検査を行う装置を示した図である。図中１は撮像カメ
ラ、２は光源、３はビューファインダー用カラーフイル
ター、４は保持板、５は画像処理装置、６はハーフミラ
ーであり、撮像カメラ１は電子シヤッター機能を備えた
ＣＣＤエリアセンサー（Ｃ３０７７−５０ 浜松ホトニ
クス社製）を有し、露光時間が可変のものである。光源
はキセノン光源をフアイバー状にしたものを使用した。
光源２からの光はハーフミラー６で反射され、保持板４
の上に載置された試料ビューファインダー用カラーフイ
ルター３の全面を照明する。試料ビューファインダー用
カラーフイルター３からの反射光によりカラーフイルタ
ー３の像全面がレンズにより撮像カメラ１のＣＣＤエリ
アセンサ上に結像され、撮像される。そして、撮像にて
得られた映像信号は画像処理され、欠陥が検出される。
ここでは、５１２画素×４８０画素のエリアセンサーを
用い、図１１に示す、１５ｍｍ×１３ｍｍのビューファ
インダー用カラーフイルターの基板上の中央部に４０μ
ｍ×２０μｍピッチでＲ、Ｇ、Ｂの３色が繰り返し配列
されているビューファインダー用カラーフイルターを試
料として用い、レンズを介して試料全面の撮影を行っ
た。先ず、ビューファインダー用カラーフイルターの欠
陥検出に先立ち、ビューファインダー用カラーフイルタ
ーが着色画素部と外周遮光部とで反射率が異なる為、保
持板４上に所定の欠陥サンプルを載置し、着色画素部、
外周遮光部のそれぞれの場所で適切な欠陥検出がきるよ
うに電子式シヤッターの露光時間を調整し、それぞれの
場所に適切な露光時間１／６０ｓｅｃ、１／１２００ｓ
ｅｃを得た。次いで、撮像カメラ１により試料であるビ
ューファインダー用カラーフイルター３を保持板４の上
に載せ、ビューファインダー用カラーフイルター３の表
面全面を、上記の着色画素部の欠陥検出に適切な露光時
間１／６０ｓｅｃ、及び外周遮光部の欠陥検出に適切な
露光時間１／１２００ｓｅｃにて撮影し、それぞれの露
光時間による撮像にて得られた映像信号を、それぞれ画
像処理し、画像処理毎に欠陥を検出した。上記の着色画
素部の欠陥検出に適切な露光時間１／６０ｓｅｃでの撮
像からは着色部の反射照明による欠陥が検出され、外周
遮光部の欠陥検出に適切な露光時間１／１２００ｓｅｃ
での撮像からは外周遮光部の欠陥が検出された。
【０００７】次いで実施例２を挙げる。図２は実施例２
におけるビューファインダー用カラーフイルター欠陥検
出する際の装置概略図で、試料ビューファインダー用カ
ラーフイルターをＣＣＤエリアセンサを使用し、試料の
裏面から照明して試料の透過光により自動検査を行う装
置を示した図である。図中１１は撮像カメラ、１２は光
源、１３はビューファインダー用カラーフイルター、１
４は透明な保持板、１５は画像処理装置であり、試料１
３の全面がレンズによりＣＣＤエリアセンサ上に結像さ
れるように調整されてい試料を照明する為の光源１２は
照明光源強度が可変であり、ビューファインダー用カラ
ーフイルター１３の全面を透過照明している。尚、ＣＣ
Ｄエリアセンサ、光源は実施例１と同じものを使用し
た。光源１２からの光は透明な保持板１４の上に載置さ
れた試料ビューファインダー用カラーフイルター１３の
全面を裏面から透過照明する。試料ビューファインダー
用カラーフイルター１３からの透過光によりカラーフイ
ルター１３の像全面がレンズにより撮像カメラ１１のＣ
ＣＤエリアセンサ上に結像され、撮像される。そして、
撮像にて得られた映像信号は画像処理され、欠陥が検出
される。先ず、ビューファインダー用カラーフイルター
の欠陥検出に先立ち、ビューファインダー用カラーフイ
ルターが低い透過率の着色画素部や外周遮光部と、高い
透過率の最外周透明部では、照明光の透過率が大きく異
なる為、透明な保持板１４上に所定の欠陥サンプルを載
置し、着色画素部と外周遮光部、及び最外周透明部のそ
れぞれの場所で適切な欠陥検出がきるように、光源１３
の照明光強度を調整し、それぞれの場所にあった照明光
強度輝度２００万ｃｄ／ｍ2 、５万ｃｄ／ｍ 2 を得た。
次いで、撮像カメラ１１により試料であるビューファイ
ンダー用カラーフイルター１３を透明な保持板１４の上
に載せ、ビューファインダー用カラーフイルター１３の
全面を裏面から透過照明する際、低い透過率の着色画素
部や外周遮光部の欠陥検出に適切な照明輝度２００万ｃ
ｄ／ｍ2 、及び最外周透明部の欠陥検出に適切な照明輝
度５万ｃｄ／ｍ2 にて撮影し、それぞれの照明強度によ
る撮像にて得られた映像信号を、それぞれ画像処理し、
画像処理毎に欠陥を検出した。上記の着色画素部の欠陥
検出に適切な照明輝度２００万ｃｄ／ｍ2 での撮像から
は着色部や外周遮光部の透過照明による欠陥が検出さ
れ、最外周透明部の欠陥検出に適切な照明輝度５万ｃｄ
／ｍ2 での撮像からは最外周透明部の欠陥が検出され
た。
におけるビューファインダー用カラーフイルター欠陥検
出する際の装置概略図で、試料ビューファインダー用カ
ラーフイルターをＣＣＤエリアセンサを使用し、試料の
裏面から照明して試料の透過光により自動検査を行う装
置を示した図である。図中１１は撮像カメラ、１２は光
源、１３はビューファインダー用カラーフイルター、１
４は透明な保持板、１５は画像処理装置であり、試料１
３の全面がレンズによりＣＣＤエリアセンサ上に結像さ
れるように調整されてい試料を照明する為の光源１２は
照明光源強度が可変であり、ビューファインダー用カラ
ーフイルター１３の全面を透過照明している。尚、ＣＣ
Ｄエリアセンサ、光源は実施例１と同じものを使用し
た。光源１２からの光は透明な保持板１４の上に載置さ
れた試料ビューファインダー用カラーフイルター１３の
全面を裏面から透過照明する。試料ビューファインダー
用カラーフイルター１３からの透過光によりカラーフイ
ルター１３の像全面がレンズにより撮像カメラ１１のＣ
ＣＤエリアセンサ上に結像され、撮像される。そして、
撮像にて得られた映像信号は画像処理され、欠陥が検出
される。先ず、ビューファインダー用カラーフイルター
の欠陥検出に先立ち、ビューファインダー用カラーフイ
ルターが低い透過率の着色画素部や外周遮光部と、高い
透過率の最外周透明部では、照明光の透過率が大きく異
なる為、透明な保持板１４上に所定の欠陥サンプルを載
置し、着色画素部と外周遮光部、及び最外周透明部のそ
れぞれの場所で適切な欠陥検出がきるように、光源１３
の照明光強度を調整し、それぞれの場所にあった照明光
強度輝度２００万ｃｄ／ｍ2 、５万ｃｄ／ｍ 2 を得た。
次いで、撮像カメラ１１により試料であるビューファイ
ンダー用カラーフイルター１３を透明な保持板１４の上
に載せ、ビューファインダー用カラーフイルター１３の
全面を裏面から透過照明する際、低い透過率の着色画素
部や外周遮光部の欠陥検出に適切な照明輝度２００万ｃ
ｄ／ｍ2 、及び最外周透明部の欠陥検出に適切な照明輝
度５万ｃｄ／ｍ2 にて撮影し、それぞれの照明強度によ
る撮像にて得られた映像信号を、それぞれ画像処理し、
画像処理毎に欠陥を検出した。上記の着色画素部の欠陥
検出に適切な照明輝度２００万ｃｄ／ｍ2 での撮像から
は着色部や外周遮光部の透過照明による欠陥が検出さ
れ、最外周透明部の欠陥検出に適切な照明輝度５万ｃｄ
／ｍ2 での撮像からは最外周透明部の欠陥が検出され
た。
【０００８】上記の実施例１、実施例２において、所定
領域部以外の領域を除外し、所定領域の欠陥のみを抽出
する方法、即ち関心領域のみの欠陥抽出方法について以
下説明する。尚、ここでは簡単の為、着色画素部領域を
透過照明で検査する場合に限定して説明する。透過照明
で着色画素部領域の欠陥検出に適した露光条件にて、試
料全面を撮像し、撮像した画像信号に対しての強調処理
を施す。ここでは画像信号に対してｘ方向に微分処理し
する。この強調処理は信号のｘ方向に対する変化を強調
するものである。着色画素部領域を透過照明で検査する
場合、試料全面を撮像し、得られた画像信号対して強調
処理を施した場合、図３のようにのように着色画素部領
域内の欠陥とともに、着色画素部、外周遮光部、最外周
透明部のそれぞれの境界等の着色画素部領域以外のもの
も欠陥として抽出されるが、関心領域（着色画素部領
域）のみを抽出するため、図４のように２値化画像と検
出したい領域のマスキング画像とのＡＮＤをとる。この
マスキング画像は、例えばメモリの検出したい領域を全
ビット１他領域を０にしたもので、強調処理を施した２
化値画像とのＡＮＤをとることにより、関心領域（着色
画素部領域）のみ２値化した値を残し、他領域を除外す
ることができる。次いで、着色部領域のマスキング画像
を作成する場合について述べる。図５（１）に示すよう
に、まず欠陥のない試料の全面を撮像し、試料の各領域
の輝度レベルに対応した、撮像により得られた画像信号
を、所定のスライスレベル２値化し、図５（２）のよう
に着色画素部領域画像ａを抽出する。図５（２）の画像
ａを縮小するため、画像ａを左右（強調処理がｙ方向の
微分処理の場合は上下）にシフトし、それぞれ図６のよ
うにして、それぞれＡＮＤをとり、マスキング画像を作
成する。マスキング画像は実際の着色画素部領域よりも
小さく作成されるため図３のような着色部と外周遮光部
の信号変化による境界線を抽出しても、図４のように、
マスキング画像とのＡＮＤにより、着色画素領域の欠陥
のみが抽出されるのである。ここで図６の処理における
シフト量について述べる。撮像により得られた画像信号
は、ｘ方向では図７に示すようになる。図７の画像信号
に図８に示す要素フイルターを用い、フイルタリングを
施した場合、図９のようになる。したがってこの場合、
検査領域中、左側２画素分、右側３画素分が境界線とし
て出てしまい除外しなければならないので、画像ａのシ
フト量は右側へ２画素、左側に３画素となる。このよう
にして画像ａをシフトしてＡＮＤをとった画像が着色画
素部領域に対応するマスキング画像であるが、試料の他
の領域に対しても、露光条件やスライスレベルを調整し
て撮像し、２値化し、シフトすることにより、各領域に
対応したマスキング画像を作成することができる。
領域部以外の領域を除外し、所定領域の欠陥のみを抽出
する方法、即ち関心領域のみの欠陥抽出方法について以
下説明する。尚、ここでは簡単の為、着色画素部領域を
透過照明で検査する場合に限定して説明する。透過照明
で着色画素部領域の欠陥検出に適した露光条件にて、試
料全面を撮像し、撮像した画像信号に対しての強調処理
を施す。ここでは画像信号に対してｘ方向に微分処理し
する。この強調処理は信号のｘ方向に対する変化を強調
するものである。着色画素部領域を透過照明で検査する
場合、試料全面を撮像し、得られた画像信号対して強調
処理を施した場合、図３のようにのように着色画素部領
域内の欠陥とともに、着色画素部、外周遮光部、最外周
透明部のそれぞれの境界等の着色画素部領域以外のもの
も欠陥として抽出されるが、関心領域（着色画素部領
域）のみを抽出するため、図４のように２値化画像と検
出したい領域のマスキング画像とのＡＮＤをとる。この
マスキング画像は、例えばメモリの検出したい領域を全
ビット１他領域を０にしたもので、強調処理を施した２
化値画像とのＡＮＤをとることにより、関心領域（着色
画素部領域）のみ２値化した値を残し、他領域を除外す
ることができる。次いで、着色部領域のマスキング画像
を作成する場合について述べる。図５（１）に示すよう
に、まず欠陥のない試料の全面を撮像し、試料の各領域
の輝度レベルに対応した、撮像により得られた画像信号
を、所定のスライスレベル２値化し、図５（２）のよう
に着色画素部領域画像ａを抽出する。図５（２）の画像
ａを縮小するため、画像ａを左右（強調処理がｙ方向の
微分処理の場合は上下）にシフトし、それぞれ図６のよ
うにして、それぞれＡＮＤをとり、マスキング画像を作
成する。マスキング画像は実際の着色画素部領域よりも
小さく作成されるため図３のような着色部と外周遮光部
の信号変化による境界線を抽出しても、図４のように、
マスキング画像とのＡＮＤにより、着色画素領域の欠陥
のみが抽出されるのである。ここで図６の処理における
シフト量について述べる。撮像により得られた画像信号
は、ｘ方向では図７に示すようになる。図７の画像信号
に図８に示す要素フイルターを用い、フイルタリングを
施した場合、図９のようになる。したがってこの場合、
検査領域中、左側２画素分、右側３画素分が境界線とし
て出てしまい除外しなければならないので、画像ａのシ
フト量は右側へ２画素、左側に３画素となる。このよう
にして画像ａをシフトしてＡＮＤをとった画像が着色画
素部領域に対応するマスキング画像であるが、試料の他
の領域に対しても、露光条件やスライスレベルを調整し
て撮像し、２値化し、シフトすることにより、各領域に
対応したマスキング画像を作成することができる。
【０００９】上記の実施例１、実施例２において、撮像
され、得られた映像信号は、画像処理装置に入り、強調
処理等を施して欠陥が検出されるが、以下、画像処理に
ついて、一例を挙げ、図１０にそって説明する。先ず、
試料の同一箇所において複数回、撮像手段によって撮像
し、画像信号を得て、得られた複数回分の画像信号を積
算、平均処理する。これは、欠陥部を含む箇所について
は、図１０の（ａ）のような光透過率分布をえるが、撮
像装置からのビデオ信号は（ｂ）のように、パターンの
照明ムラ、撮像面の感度ムラ等によるゆるやかな信号変
化（シエーデイング）とビデオ信号回路で発生するラン
ダムノイズ、および光学系に付着したゴミなどによる信
号の局部的変化とが含まれた信号となってしまうことに
対応するもので、同一箇所において、複数回、撮像手段
によって撮像し、画像信号を得て、得られた複数回分の
画像信号を積算、平均処理するもので、これにより
（ｃ）のように、加算回数をＮとした場合には、ランダ
ムノイズの比率は１／Ｎ1/2 となる。ここで、Ａ１、Ｂ
１、Ａ２、Ｂ２は欠陥部を示すもので、Ｃは光学系に付
着したゴミ等による信号の局部的変化を示すものであ
る。次いで、撮像する位置をわずかにずらして、同様に
積算、平均処理することにより、信号（ｃ）をわずかに
変位させた信号（ｄ）を得ることができ、（ｃ）と
（ｄ）との差信号をえると（ｅ）のようになり、ゆるや
かな信号変化（シエーデイング）や撮像する位置の移動
により変化しない信号分が除去される。ここでは、光の
透過率変化による信号分と低減されたランダムノイズ成
分だけが残るが、更に、この信号（ｅ）について、近傍
平均値の減算あるいは微分処理を施すと、（ｆ）のよう
な、ゆるやかな信号変化（シエーデイング）成分も除去
され、結果として、得られた信号（ｆ）は、欠陥部に相
当のみが局部的に変化しており、強調されていることが
分かる。又、スライス処理による２値化については、信
号（ｆ）を所定のスライスレベルＳＬで処理するもの
で、欠陥部のみを判定し２値化するものである。尚、図
１０の（ｅ）での欠陥部における信号の反転の順序によ
って、欠陥の種類（白欠陥、黒欠陥）が識別できる。
尚、ここでは、白欠陥とは、着色パターン部のピンホー
ルや絵柄欠けを言い、黒欠陥とは、着色パターン部の所
定の絵柄以外の余分な着色部分または遮光部分を言って
おり、汚れやガラス部のキズも黒欠陥として検出され
る。
され、得られた映像信号は、画像処理装置に入り、強調
処理等を施して欠陥が検出されるが、以下、画像処理に
ついて、一例を挙げ、図１０にそって説明する。先ず、
試料の同一箇所において複数回、撮像手段によって撮像
し、画像信号を得て、得られた複数回分の画像信号を積
算、平均処理する。これは、欠陥部を含む箇所について
は、図１０の（ａ）のような光透過率分布をえるが、撮
像装置からのビデオ信号は（ｂ）のように、パターンの
照明ムラ、撮像面の感度ムラ等によるゆるやかな信号変
化（シエーデイング）とビデオ信号回路で発生するラン
ダムノイズ、および光学系に付着したゴミなどによる信
号の局部的変化とが含まれた信号となってしまうことに
対応するもので、同一箇所において、複数回、撮像手段
によって撮像し、画像信号を得て、得られた複数回分の
画像信号を積算、平均処理するもので、これにより
（ｃ）のように、加算回数をＮとした場合には、ランダ
ムノイズの比率は１／Ｎ1/2 となる。ここで、Ａ１、Ｂ
１、Ａ２、Ｂ２は欠陥部を示すもので、Ｃは光学系に付
着したゴミ等による信号の局部的変化を示すものであ
る。次いで、撮像する位置をわずかにずらして、同様に
積算、平均処理することにより、信号（ｃ）をわずかに
変位させた信号（ｄ）を得ることができ、（ｃ）と
（ｄ）との差信号をえると（ｅ）のようになり、ゆるや
かな信号変化（シエーデイング）や撮像する位置の移動
により変化しない信号分が除去される。ここでは、光の
透過率変化による信号分と低減されたランダムノイズ成
分だけが残るが、更に、この信号（ｅ）について、近傍
平均値の減算あるいは微分処理を施すと、（ｆ）のよう
な、ゆるやかな信号変化（シエーデイング）成分も除去
され、結果として、得られた信号（ｆ）は、欠陥部に相
当のみが局部的に変化しており、強調されていることが
分かる。又、スライス処理による２値化については、信
号（ｆ）を所定のスライスレベルＳＬで処理するもの
で、欠陥部のみを判定し２値化するものである。尚、図
１０の（ｅ）での欠陥部における信号の反転の順序によ
って、欠陥の種類（白欠陥、黒欠陥）が識別できる。
尚、ここでは、白欠陥とは、着色パターン部のピンホー
ルや絵柄欠けを言い、黒欠陥とは、着色パターン部の所
定の絵柄以外の余分な着色部分または遮光部分を言って
おり、汚れやガラス部のキズも黒欠陥として検出され
る。
【００１０】
【発明の効果】上記のような構成にすることにより、本
発明のビューファインダー用カラーフイルターの欠陥検
出方法は、ビューファインダー用カラーフイルター表裏
の汚れ、傷等の外観欠陥の確実な自動検査を可能として
いる。
発明のビューファインダー用カラーフイルターの欠陥検
出方法は、ビューファインダー用カラーフイルター表裏
の汚れ、傷等の外観欠陥の確実な自動検査を可能として
いる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１における装置概略図
【図２】本発明の実施例２における装置概略図
【図３】強調処理図
【図４】２値化画像のマスキング図
【図５】マスキング画像作成工程図
【図６】マスキング画像作成の為のシフト処理図
【図７】ｘ方向画像信号図
【図８】要素フイルター図
【図９】フイクタリング後の画像信号図
【図１０】画像処理例を示す図
【図１１】ビューファインダー用カラーフイルター概略
図
図
１ 、１１ 撮像カメラ ２ 、１２ 光源 ３ 、１３ ビューファインダー用カラーフイ
ルター ４ 保持板 ５ 、１５ 画像処理装置 ６ ハーフミラー １４ 透明な保持板
ルター ４ 保持板 ５ 、１５ 画像処理装置 ６ ハーフミラー １４ 透明な保持板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−160350（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−158249（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−313743（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−281147（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−222381（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−174652（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/958 G06T 1/00 - 9/40
Claims (4)
- 【請求項１】 場所により、異なる透過率および／また
は反射率を有するビューファインダー用カラーフイルタ
ーの全面について、透過照明光および／または反射照明
光を用いて撮像手段により撮像し、得られた信号を画像
処理をすることにより外観欠陥を自動検査する方法であ
って、該カラーフイルターの検査領域を透過率および／
または反射率の違いにより複数の領域に分け、各領域の
欠陥検査は、各領域に対応して露光条件により撮像手段
の映像信号レベルを調整し、検査領域全面を撮像し、撮
像により得られる映像信号により欠陥を検出するもの
で、各領域毎の欠陥検出を併せて検査領域全面を検査す
ることを特徴とするビューファインダー用カラーフイル
ターの欠陥検出方法。 - 【請求項２】 請求項１において、露光条件による撮像
手段の映像信号レベルの調整を、撮像手段の電子シヤッ
ターの撮像露光時間にて行うことを特徴とするビューフ
ァインダー用カラーフイルターの欠陥検出方法。 - 【請求項３】 請求項１において、露光条件による撮像
手段の映像信号レベルの調整を、透過光および／または
反射光の照明光強度を調整して行うことを特徴とするビ
ューファインダー用カラーフイルターの欠陥検出方法。 - 【請求項４】 請求項１において、露光条件による撮像
手段の映像信号レベルの調整を、撮像手段の撮像手段の
電子シヤッターの撮像露光時間による調整と透過光およ
び／または反射光の照明光強度を調整、併用により行う
ことを特徴とするビューファインダー用カラーフイルタ
ーの欠陥検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28884893A JP3243703B2 (ja) | 1993-10-26 | 1993-10-26 | ビューファインダー用カラーフイルターの欠陥検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28884893A JP3243703B2 (ja) | 1993-10-26 | 1993-10-26 | ビューファインダー用カラーフイルターの欠陥検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07120400A JPH07120400A (ja) | 1995-05-12 |
| JP3243703B2 true JP3243703B2 (ja) | 2002-01-07 |
Family
ID=17735534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28884893A Expired - Fee Related JP3243703B2 (ja) | 1993-10-26 | 1993-10-26 | ビューファインダー用カラーフイルターの欠陥検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3243703B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014077685A (ja) * | 2012-10-10 | 2014-05-01 | Ntn Corp | パターン欠陥検出装置およびパターン欠陥検出方法 |
| JP6250317B2 (ja) * | 2013-07-08 | 2017-12-20 | 住友化学株式会社 | 欠陥検査方法 |
-
1993
- 1993-10-26 JP JP28884893A patent/JP3243703B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07120400A (ja) | 1995-05-12 |
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