JP3246517B2 - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
- Publication number
- JP3246517B2 JP3246517B2 JP4519592A JP4519592A JP3246517B2 JP 3246517 B2 JP3246517 B2 JP 3246517B2 JP 4519592 A JP4519592 A JP 4519592A JP 4519592 A JP4519592 A JP 4519592A JP 3246517 B2 JP3246517 B2 JP 3246517B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure generating
- ink
- generating member
- dummy
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 13
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、一枚の圧電振動板を歯
割りして基板に複数の圧電振動子を設けた圧電素子ユニ
ットをアクチュエータとするインクジェットヘッドに関
する。
割りして基板に複数の圧電振動子を設けた圧電素子ユニ
ットをアクチュエータとするインクジェットヘッドに関
する。
【０００２】
【従来の技術】オンデマンド型インクジェットヘッド
は、大きく分けて２種類のものがあり、第１のものはノ
ズルの先端にインクを瞬間的に気化させるヒータを設
け、気化時の膨張圧力によりインク滴を生成、飛翔させ
る、いわゆるバブルジェット型であり、また第２のもの
はインクを押圧する複数の圧電素子を有し、変形時に生
じる圧力によりインクを液滴として飛翔させるものがあ
る。
は、大きく分けて２種類のものがあり、第１のものはノ
ズルの先端にインクを瞬間的に気化させるヒータを設
け、気化時の膨張圧力によりインク滴を生成、飛翔させ
る、いわゆるバブルジェット型であり、また第２のもの
はインクを押圧する複数の圧電素子を有し、変形時に生
じる圧力によりインクを液滴として飛翔させるものがあ
る。
【０００３】第２の形式のインクジェットヘッドは、特
公昭60−8953号公報に示されたように、ノズルに連通す
る圧力室を備えた流路ユニットと、軸方向に変位する圧
電素子からなる圧力発生部材とを、圧力室に対向するよ
うに圧力発生部材を配置し、圧力発生部材の軸方向の変
位によりインク室のインクを加圧してノズル開口からイ
ンク滴を吐出させるものである。
公昭60−8953号公報に示されたように、ノズルに連通す
る圧力室を備えた流路ユニットと、軸方向に変位する圧
電素子からなる圧力発生部材とを、圧力室に対向するよ
うに圧力発生部材を配置し、圧力発生部材の軸方向の変
位によりインク室のインクを加圧してノズル開口からイ
ンク滴を吐出させるものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、流路ユ
ニットと圧力発生部材は、それぞれ共通のケース構成部
材に保持されているため、流路ユニットの端部側の剛性
が大きくなり、中央領域に配置された圧力発生部材と端
部に配置された圧力発生部材とでは変位特性が大きく相
違し、インク滴の吐出特性が大きく相違するという問題
がある。
ニットと圧力発生部材は、それぞれ共通のケース構成部
材に保持されているため、流路ユニットの端部側の剛性
が大きくなり、中央領域に配置された圧力発生部材と端
部に配置された圧力発生部材とでは変位特性が大きく相
違し、インク滴の吐出特性が大きく相違するという問題
がある。
【０００５】本発明は、この様な問題に鑑みてなされた
ものであって、その目的とするところは、インク滴吐出
用の圧力発生部材の変位特性を均質化させて、インク滴
を均質に吐出させることができるインクジェットヘッド
を提供することにある。
ものであって、その目的とするところは、インク滴吐出
用の圧力発生部材の変位特性を均質化させて、インク滴
を均質に吐出させることができるインクジェットヘッド
を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために本発明においては、圧電素子の軸方向の変位に
よりインク室の容積を変化させてインクを加圧し、ノズ
ルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドにお
いて、共通の基板の両側にダミー圧力発生部材が、また
前記ダミー圧力発生部材の内側にインク吐出用の圧力発
生部材がそれぞれ一端側を自由端とするように固定され
た圧電素子ユニットと、前記ダミー圧力発生部材と前記
インク吐出用の圧力発生部材とに対向する位置に前記イ
ンク室を備えたインク流路ユニットと、前記インク滴吐
出用の圧力発生部材の前記自由端側の先端を前記インク
室に当接させて固定するケース部材とを備えるようにし
た。
るために本発明においては、圧電素子の軸方向の変位に
よりインク室の容積を変化させてインクを加圧し、ノズ
ルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドにお
いて、共通の基板の両側にダミー圧力発生部材が、また
前記ダミー圧力発生部材の内側にインク吐出用の圧力発
生部材がそれぞれ一端側を自由端とするように固定され
た圧電素子ユニットと、前記ダミー圧力発生部材と前記
インク吐出用の圧力発生部材とに対向する位置に前記イ
ンク室を備えたインク流路ユニットと、前記インク滴吐
出用の圧力発生部材の前記自由端側の先端を前記インク
室に当接させて固定するケース部材とを備えるようにし
た。
【０００７】
【作用】インク滴吐出用圧力発生部材の外側にダミー圧
力発生部材が形成されているため、端部のインク滴吐出
用圧力発生部材の変位特性が中央領域のものと同等とな
る。
力発生部材が形成されているため、端部のインク滴吐出
用圧力発生部材の変位特性が中央領域のものと同等とな
る。
【０００８】
【実施例】そこで、以下に本発明の詳細を図示した実施
例に基づいて説明する。図２は、本発明のインクジェッ
トヘッドの一実施例を示すものであって、キャビティ形
成基板３６にはインク室３２が設けられ、それを密封す
るように突起部９１を有する弾性板３０、及びインク室
３２に連通するノズル３４を備えたノズル形成基板３３
が積層されている。弾性板３０の突起部９１には、後述
する駆動用圧力発生部材１５０、１５１、１５２、１５
３、１５４、１５５の先端が接合され、各圧力発生部材
はそれぞれ単独に駆動回路４３に電気的に接続されてい
る。
例に基づいて説明する。図２は、本発明のインクジェッ
トヘッドの一実施例を示すものであって、キャビティ形
成基板３６にはインク室３２が設けられ、それを密封す
るように突起部９１を有する弾性板３０、及びインク室
３２に連通するノズル３４を備えたノズル形成基板３３
が積層されている。弾性板３０の突起部９１には、後述
する駆動用圧力発生部材１５０、１５１、１５２、１５
３、１５４、１５５の先端が接合され、各圧力発生部材
はそれぞれ単独に駆動回路４３に電気的に接続されてい
る。
【０００９】図１は、前述の圧力発生部材の一実施例を
示すものであって、駆動用圧力発生部材１５０、１５
１、１５２、１５３、１５４、１５５と、その列設方向
の両端にそれぞれ１本ずつダミー圧力発生部材１４０、
１４１とがエポキシ系接着剤等で基板１４に接合されて
構成されている。
示すものであって、駆動用圧力発生部材１５０、１５
１、１５２、１５３、１５４、１５５と、その列設方向
の両端にそれぞれ１本ずつダミー圧力発生部材１４０、
１４１とがエポキシ系接着剤等で基板１４に接合されて
構成されている。
【００１０】この実施例において、駆動用圧力発生部材
１５０が伸長変位すると、図３に示したようにインク室
３２の容積が収縮してインク５１が加圧されてインク滴
５０としてノズル３４から吐出する。ところで、本実施
例においては、全ての駆動用圧力発生部材１５０、１５
１、１５２、１５３、１５４、１５５の外側には、ダミ
ー圧力発生部材１４０、１４１が存在し、かつこれもイ
ンク室５１’、５１’に当接しているため、端部の駆動
用圧力発生部材１５０、１５５に対する拘束力が、イン
ク室５１’、５１’により緩和され、中央部の駆動用圧
力発生部材１５２、１５３との変位特性に差が無く、全
てのノズルから均一な吐出特性でインク滴が吐出する。
１５０が伸長変位すると、図３に示したようにインク室
３２の容積が収縮してインク５１が加圧されてインク滴
５０としてノズル３４から吐出する。ところで、本実施
例においては、全ての駆動用圧力発生部材１５０、１５
１、１５２、１５３、１５４、１５５の外側には、ダミ
ー圧力発生部材１４０、１４１が存在し、かつこれもイ
ンク室５１’、５１’に当接しているため、端部の駆動
用圧力発生部材１５０、１５５に対する拘束力が、イン
ク室５１’、５１’により緩和され、中央部の駆動用圧
力発生部材１５２、１５３との変位特性に差が無く、全
てのノズルから均一な吐出特性でインク滴が吐出する。
【００１１】これに対して図４に示したようにダミー圧
力発生部材が存在しない従来の記録ヘッドでは、最外側
にインク滴５０の吐出に関与する圧力発生部材１５０、
１５５が存在するため、端部側の弾性率、剛性が中央領
域と異なるため、インク滴の吐出特性が相違する。
力発生部材が存在しない従来の記録ヘッドでは、最外側
にインク滴５０の吐出に関与する圧力発生部材１５０、
１５５が存在するため、端部側の弾性率、剛性が中央領
域と異なるため、インク滴の吐出特性が相違する。
【００１２】なお、上述の実施例においては、先端から
後端までスリットを形成しているが、図５に示したよう
に非振動領域側で連続するようにスリットを形成したも
のに適用しても同様の作用を奏する。すなわち、駆動用
圧力発生部材１５０〜１５５の両側にダミー圧力発生部
材１４０、１４１を配置することで駆動用圧力発生部材
１５０〜１５５の変位特性を改善することができる。そ
して、この実施例においては、最外側に駆動用圧力発生
部材１５０〜１５５の幅ｗ１より大きな幅ｗ２を備えた
第２のダミー圧力発生部材１４０’、１４１’が配置さ
れていて、その先端が非圧力室形成領域に当接してい
る。
後端までスリットを形成しているが、図５に示したよう
に非振動領域側で連続するようにスリットを形成したも
のに適用しても同様の作用を奏する。すなわち、駆動用
圧力発生部材１５０〜１５５の両側にダミー圧力発生部
材１４０、１４１を配置することで駆動用圧力発生部材
１５０〜１５５の変位特性を改善することができる。そ
して、この実施例においては、最外側に駆動用圧力発生
部材１５０〜１５５の幅ｗ１より大きな幅ｗ２を備えた
第２のダミー圧力発生部材１４０’、１４１’が配置さ
れていて、その先端が非圧力室形成領域に当接してい
る。
【００１３】図６は本発明の圧力発生部材列の加工状態
を示すもので、圧力発生部材列は、板状の圧電素子２３
を１枚のダイシングカッター７０で複数回切断して加工
される。この工程においてダミー圧力発生部材１４０を
切り出す場合、矢印６１の方向にダミー圧力発生部材１
４０が逃げるため、その逃げ量θ１だけダンシングカッ
ター７０は傾いて切り出されてしまう。その結果、図７
に示したように、ダイシングカッター７０の逃げ角度θ
１に相当する分だけ、ダミー圧力発生部材１４０の幅ｔ
１は薄肉化する。
を示すもので、圧力発生部材列は、板状の圧電素子２３
を１枚のダイシングカッター７０で複数回切断して加工
される。この工程においてダミー圧力発生部材１４０を
切り出す場合、矢印６１の方向にダミー圧力発生部材１
４０が逃げるため、その逃げ量θ１だけダンシングカッ
ター７０は傾いて切り出されてしまう。その結果、図７
に示したように、ダイシングカッター７０の逃げ角度θ
１に相当する分だけ、ダミー圧力発生部材１４０の幅ｔ
１は薄肉化する。
【００１４】しかしながら、本発明では薄肉化を予期し
てダミー圧力発生部材１４０を設けて、製造時のダイシ
ングカッター７０の逃げを吸収させることができ、駆動
用圧力発生部材１５０、１５１、１５２、１５３、１５
４、１５５の幅を均一にすることができる。これによっ
て、変位時に駆動用圧力発生部材１５０、１５１、１５
２、１５３、１５４、１５５の発生力のばらつきが少な
くなり、インク５１を押圧する力が一定となり、各ノズ
ルからのインク滴５０の飛翔速度、吐出量が均質にな
る。
てダミー圧力発生部材１４０を設けて、製造時のダイシ
ングカッター７０の逃げを吸収させることができ、駆動
用圧力発生部材１５０、１５１、１５２、１５３、１５
４、１５５の幅を均一にすることができる。これによっ
て、変位時に駆動用圧力発生部材１５０、１５１、１５
２、１５３、１５４、１５５の発生力のばらつきが少な
くなり、インク５１を押圧する力が一定となり、各ノズ
ルからのインク滴５０の飛翔速度、吐出量が均質にな
る。
【００１５】また、図８に示したように複数枚のダイシ
ングカッター７０で加工する場合にも、ダミー圧力発生
部材１４０、１４１を設けることにより、最端部のダイ
シングカッター７０の逃げをダミー圧力発生部材１４
０、１４１で寸法的に吸収することができるため、他の
駆動用圧力発生部材１５０、１５１、１５２、１５３、
１５４、１５５の幅を均一にすることができる。
ングカッター７０で加工する場合にも、ダミー圧力発生
部材１４０、１４１を設けることにより、最端部のダイ
シングカッター７０の逃げをダミー圧力発生部材１４
０、１４１で寸法的に吸収することができるため、他の
駆動用圧力発生部材１５０、１５１、１５２、１５３、
１５４、１５５の幅を均一にすることができる。
【００１６】
【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、圧電素子の軸方向の変位によりインク室の容積を変
化させてインクを加圧し、ノズルからインク滴を吐出さ
せるインクジェットヘッドにおいて、共通の基板の両側
にダミー圧力発生部材が、またダミー圧力発生部材の内
側にインク吐出用の圧力発生部材がそれぞれ一端側を自
由端とするように固定された圧電素子ユニットと、ダミ
ー圧力発生部材とインク吐出用の圧力発生部材とに対向
する位置にインク室を備えたインク流路ユニットと、イ
ンク滴吐出用の圧力発生部材の自由端側の先端をインク
室に当接させて固定するケース部材とを備えたので、製
造時の歯割工程における切断手段の逃げをダミー圧力発
生部材により吸収でき、駆動用圧力発生部材を均質に切
り出すことができる。またダミー圧力発生部材をインク
室を当接させればインク滴吐出用圧力発生部材の変位特
性を中央領域のものに等しくできるため、端部領域を含
めた全てのノズルから均一なインク滴を吐出させること
が可能となる。また、インク吐出用の圧力発生部材の外
側にダミー圧力発生部材が位置するため、一端側が自由
端とされているインク吐出用の圧力発生部材をダミー圧
力発生部材により外力から保護することができる。
は、圧電素子の軸方向の変位によりインク室の容積を変
化させてインクを加圧し、ノズルからインク滴を吐出さ
せるインクジェットヘッドにおいて、共通の基板の両側
にダミー圧力発生部材が、またダミー圧力発生部材の内
側にインク吐出用の圧力発生部材がそれぞれ一端側を自
由端とするように固定された圧電素子ユニットと、ダミ
ー圧力発生部材とインク吐出用の圧力発生部材とに対向
する位置にインク室を備えたインク流路ユニットと、イ
ンク滴吐出用の圧力発生部材の自由端側の先端をインク
室に当接させて固定するケース部材とを備えたので、製
造時の歯割工程における切断手段の逃げをダミー圧力発
生部材により吸収でき、駆動用圧力発生部材を均質に切
り出すことができる。またダミー圧力発生部材をインク
室を当接させればインク滴吐出用圧力発生部材の変位特
性を中央領域のものに等しくできるため、端部領域を含
めた全てのノズルから均一なインク滴を吐出させること
が可能となる。また、インク吐出用の圧力発生部材の外
側にダミー圧力発生部材が位置するため、一端側が自由
端とされているインク吐出用の圧力発生部材をダミー圧
力発生部材により外力から保護することができる。
【図１】本発明のインクジェットヘッドに使用する圧力
発生部材列の一実施例を示す斜視図である。
発生部材列の一実施例を示す斜視図である。
【図２】本発明のインクジェットヘッドの第１の実施例
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図３】同上記録ヘッドの動作を示す図である。
【図４】ダミー圧力発生部材を有しない従来の記録ヘッ
ドに一例を示す図である。
ドに一例を示す図である。
【図５】本発明のインクジェットヘッドの第２の実施例
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図６】本発明の圧力発生部材列の加工状態を示す図で
ある。
ある。
【図７】本発明の圧力発生部材列の加工工程を示す図で
ある。
ある。
【図８】本発明の圧力発生部材列の加工工程を示す図で
ある。
ある。
２３ 圧電素子 ３０ 弾性板 ３２ インク室 ３３ ノズル形成基板 ３４ ノズル ３６ キャビティ形成基板 ３７ ケース ４３ 駆動回路 １４０、１４１ ダミー圧力発生部材 １５０〜１５５ インク吐出用の圧力発生部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/045 B41J 2/055
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電素子の軸方向の変位によりインク室
の容積を変化させてインクを加圧し、ノズルからインク
滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、 共通の基板の両側にダミー圧力発生部材が、また前記ダ
ミー圧力発生部材の内側にインク吐出用の圧力発生部材
がそれぞれ一端側を自由端とするように固定された圧電
素子ユニットと、 前記ダミー圧力発生部材と前記インク吐出用の圧力発生
部材とに対向する位置に前記インク室を備えたインク流
路ユニットと、 前記インク滴吐出用の圧力発生部材の前記自由端側の先
端を前記インク室に当接させて固定するケース部材とか
らなるインクジェットヘッド。 - 【請求項２】 前記インク流路ユニットの、前記ダミー
圧力発生部材と対向する領域にインク室が形成されてい
る請求項１に記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項３】 先端が前記インク室の非形成領域に当接
するように、前記ダミーの圧力発生部材の外側に位置し
て第２のダミー圧力発生部材が配置されている請求項１
に記載のインクジェットヘッド。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4519592A JP3246517B2 (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | インクジェットヘッド |
| DE69224975T DE69224975T2 (de) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Tintenstrahldruckkopf und sein Herstellungsverfahren |
| EP92121977A EP0550030B1 (en) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Ink jet recording head and process for forming same |
| EP97108517A EP0795404B1 (en) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Ink jet recording head |
| DE69233523T DE69233523T2 (de) | 1991-12-26 | 1992-12-24 | Tintenstrahldruckkopf |
| US07/997,571 US5517225A (en) | 1991-12-26 | 1992-12-28 | Ink jet recording head |
| US08/469,504 US5764257A (en) | 1991-12-26 | 1995-06-06 | Ink jet recording head |
| US08/471,230 US5630274A (en) | 1991-12-26 | 1995-06-06 | Method of making an ink jet recording head |
| US09/070,766 US6286942B1 (en) | 1991-12-26 | 1998-05-01 | Ink jet recording head with mechanism for positioning head components |
| HK98110817.3A HK1010045B (en) | 1991-12-26 | 1998-09-22 | Ink jet recording head and process for forming same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4519592A JP3246517B2 (ja) | 1992-03-03 | 1992-03-03 | インクジェットヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05246025A JPH05246025A (ja) | 1993-09-24 |
| JP3246517B2 true JP3246517B2 (ja) | 2002-01-15 |
Family
ID=12712495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4519592A Expired - Lifetime JP3246517B2 (ja) | 1991-12-26 | 1992-03-03 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3246517B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3106026B2 (ja) * | 1993-02-23 | 2000-11-06 | 日本碍子株式会社 | 圧電／電歪アクチュエータ |
| JP3088890B2 (ja) * | 1994-02-04 | 2000-09-18 | 日本碍子株式会社 | 圧電／電歪膜型アクチュエータ |
| JP2871473B2 (ja) * | 1994-07-14 | 1999-03-17 | 日本電気株式会社 | インクジェット式プリンタ用ヘッド |
| JP2988265B2 (ja) * | 1994-07-15 | 1999-12-13 | 日本電気株式会社 | インクジェット式プリンタヘッド及びその駆動方法 |
| US6053602A (en) * | 1997-02-28 | 2000-04-25 | Hitachi Koki Company Ltd. | On-demand multi-nozzle ink jet head |
| JP3627782B2 (ja) | 1997-02-28 | 2005-03-09 | リコープリンティングシステムズ株式会社 | オンデマンド型マルチノズルインクジェットヘッド |
-
1992
- 1992-03-03 JP JP4519592A patent/JP3246517B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05246025A (ja) | 1993-09-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3246517B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP3152260B2 (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッド製造方法 | |
| JPH06286129A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP2850762B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JPH0757545B2 (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
| JPS6027572B2 (ja) | インク液滴噴射装置 | |
| JP3311514B2 (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
| JPH02273242A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP3129090B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP2870462B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JPH06182998A (ja) | 圧電アクチュエーター及びインクジェットヘッド及びインクジェットヘッド製造方法 | |
| JP3264945B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP3185812B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP3456519B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP2932754B2 (ja) | 液滴噴射装置 | |
| JP2976626B2 (ja) | 液滴噴射装置 | |
| JP4284739B2 (ja) | 圧電型インクジェットプリンタ用圧電ヘッド装置及びその製造方法 | |
| JP5171702B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP3199076B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド、及びインクジェット記録ヘッド用圧電ユニット | |
| JPH09174836A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JP3221405B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JP2988265B2 (ja) | インクジェット式プリンタヘッド及びその駆動方法 | |
| JP2871674B1 (ja) | インクジェット式プリンタヘッド装置 | |
| JPH06182992A (ja) | インクジェット式印字ヘッド | |
| JP3143918B2 (ja) | インクジェットヘッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20011003 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071102 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081102 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091102 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091102 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101102 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101102 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111102 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111102 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121102 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121102 Year of fee payment: 11 |