JP3271994B2 - 寸法測定方法 - Google Patents
寸法測定方法Info
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- JP3271994B2 JP3271994B2 JP08101291A JP8101291A JP3271994B2 JP 3271994 B2 JP3271994 B2 JP 3271994B2 JP 08101291 A JP08101291 A JP 08101291A JP 8101291 A JP8101291 A JP 8101291A JP 3271994 B2 JP3271994 B2 JP 3271994B2
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- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学的に不透明なもの
の内部の構造寸法解析のための新規な寸法測定方法に関
するものである。
の内部の構造寸法解析のための新規な寸法測定方法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、フロッピーディスクやハードデ
ィスク、ビデオテープ、オーディオテープ等に磁気記録
を行う磁気ヘッドの製造を考えた場合、不良品の検査は
顕微鏡下での目視に頼っているのが現状である。また、
磁気ヘッドの仕上がり寸法（例えばギャップの深さ）の
計測は、側方から光を当ててやはり顕微鏡下で観察する
等、間接的な方法に頼って計測を行っている。しかしな
がら、このような間接的な計測では、内部欠陥がわから
ないうえに誤差も大きく、正確な計測・評価が難しい。
そこで、チップの状態で内部構造を直接的に観察できる
装置の開発が必要とされている。
ィスク、ビデオテープ、オーディオテープ等に磁気記録
を行う磁気ヘッドの製造を考えた場合、不良品の検査は
顕微鏡下での目視に頼っているのが現状である。また、
磁気ヘッドの仕上がり寸法（例えばギャップの深さ）の
計測は、側方から光を当ててやはり顕微鏡下で観察する
等、間接的な方法に頼って計測を行っている。しかしな
がら、このような間接的な計測では、内部欠陥がわから
ないうえに誤差も大きく、正確な計測・評価が難しい。
そこで、チップの状態で内部構造を直接的に観察できる
装置の開発が必要とされている。
【０００３】内部寸法を測定することができ、しかも十
分な精度を持った計測装置としては、超音波顕微鏡が知
られている。そして、この超音波顕微鏡における測定技
術としては、探傷用に用いられているような縦波の反射
波を利用するものと、試料上に励起される表面弾性波を
用いるものの二通りがある。前者は比較的厚いもの（ミ
リオーダー以上）に有効であり、後者は数μｍ以下とい
った極めて薄いものに有効である。
分な精度を持った計測装置としては、超音波顕微鏡が知
られている。そして、この超音波顕微鏡における測定技
術としては、探傷用に用いられているような縦波の反射
波を利用するものと、試料上に励起される表面弾性波を
用いるものの二通りがある。前者は比較的厚いもの（ミ
リオーダー以上）に有効であり、後者は数μｍ以下とい
った極めて薄いものに有効である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、例えば上述
したような磁気ヘッドのギャップの深さ（いわゆるデプ
ス）は十数μｍ程度であり、前記いずれの測定技術を採
用しても超音波顕微鏡による測定には適さない。また、
上記超音波顕微鏡による測定では、測定の際に水（カプ
ラ）等を用いる必要があり、試料を汚損する虞れもあ
る。そこで本発明は、かかる従来の実情に鑑みて提案さ
れたものであって、非破壊で十数μｍから数百μｍ程度
のオーダーの内部寸法を測定することが可能な寸法測定
方法を提供することを目的とする。さらに本発明は、大
気中で測定が行え、水に浸漬するといった環境を必要と
しない寸法測定方法を提供することを目的とする。
したような磁気ヘッドのギャップの深さ（いわゆるデプ
ス）は十数μｍ程度であり、前記いずれの測定技術を採
用しても超音波顕微鏡による測定には適さない。また、
上記超音波顕微鏡による測定では、測定の際に水（カプ
ラ）等を用いる必要があり、試料を汚損する虞れもあ
る。そこで本発明は、かかる従来の実情に鑑みて提案さ
れたものであって、非破壊で十数μｍから数百μｍ程度
のオーダーの内部寸法を測定することが可能な寸法測定
方法を提供することを目的とする。さらに本発明は、大
気中で測定が行え、水に浸漬するといった環境を必要と
しない寸法測定方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上述の目
的を達成せんものと鋭意検討を重ね、光音響効果に着目
して本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、
被測定物の不可視の端面近傍において、光音響効果によ
って発せられる光音響信号を測定し、前記被測定物の不
可視の端面深さの寸法を非破壊的に求めることを特徴と
するものである。
的を達成せんものと鋭意検討を重ね、光音響効果に着目
して本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、
被測定物の不可視の端面近傍において、光音響効果によ
って発せられる光音響信号を測定し、前記被測定物の不
可視の端面深さの寸法を非破壊的に求めることを特徴と
するものである。
【０００６】上記光音響効果による音響信号は、種々の
装置によって測定することができるが、以下に本発明に
適用可能な光音響装置を列挙する。 １．光音響セル中に設置した試料に顕微鏡の対物レンズ
のような微小光学系を介して周期的に変調した連続発振
レーザー・ビームを集光し、照射した光の吸収によって
発生する熱波及び熱弾性波をマイクロフォンや圧電素子
等のセンサーで検出し、信号をＡ／Ｄ変換器で直接取り
込むか、あるいはロックイン・アンプで同期検波した後
でＧＰ／ＩＢ等のデータ・バスやＡ／Ｄ変換器で信号処
理装置に取り込むことを特徴とする光音響装置。
装置によって測定することができるが、以下に本発明に
適用可能な光音響装置を列挙する。 １．光音響セル中に設置した試料に顕微鏡の対物レンズ
のような微小光学系を介して周期的に変調した連続発振
レーザー・ビームを集光し、照射した光の吸収によって
発生する熱波及び熱弾性波をマイクロフォンや圧電素子
等のセンサーで検出し、信号をＡ／Ｄ変換器で直接取り
込むか、あるいはロックイン・アンプで同期検波した後
でＧＰ／ＩＢ等のデータ・バスやＡ／Ｄ変換器で信号処
理装置に取り込むことを特徴とする光音響装置。
【０００７】２．上記１の装置のレーザー光の変調をラ
ンダムな時系列での変調に置き換え、相関器等により発
生した光音響信号とランダムな励起光パルス系列との時
間的な相関を取ることによって試料表面下の内部構造に
関する情報を得ることを特徴とする光音響装置。
ンダムな時系列での変調に置き換え、相関器等により発
生した光音響信号とランダムな励起光パルス系列との時
間的な相関を取ることによって試料表面下の内部構造に
関する情報を得ることを特徴とする光音響装置。
【０００８】３．上記１及び２の装置のレーザー及び変
調器の代わりにパルス・レーザーを用いるとともに、セ
ンサーに高速応答性の圧電素子、あるいは表面変位計を
用い、検出した光音響信号にフーリエ変換等の手法を組
み合わせることによって試料表面下の内部構造に関する
情報を得ることを特徴とする光音響装置。
調器の代わりにパルス・レーザーを用いるとともに、セ
ンサーに高速応答性の圧電素子、あるいは表面変位計を
用い、検出した光音響信号にフーリエ変換等の手法を組
み合わせることによって試料表面下の内部構造に関する
情報を得ることを特徴とする光音響装置。
【０００９】４．上記１の装置において、試料から発生
する光音響信号の振幅画像をもとに情報を処理する方式
に基づく光音響装置。
する光音響信号の振幅画像をもとに情報を処理する方式
に基づく光音響装置。
【００１０】５．上記１の装置において、試料から発生
する光音響信号の位相画像をもとに情報を処理する方式
に基づく光音響装置。
する光音響信号の位相画像をもとに情報を処理する方式
に基づく光音響装置。
【００１１】６．上記１の装置において、試料にレーザ
ー光を照射した位置を（ｘ，ｙ）とし光音響信号の振幅
画像をＡ（ｘ，ｙ）、位相画像をφ（ｘ，ｙ）とする
時、式 Ｈ（ｘ，ｙ）＝Ａ（ｘ，ｙ）・〔１＋ｃｏｓ（φ（ｘ，
ｙ））〕 または Ｈ（ｘ，ｙ）＝Ａ（ｘ，ｙ）2 ・〔１＋ｃｏｓ（φ
（ｘ，ｙ））〕 によって定義される「ホログラム」によって情報を処理
する方式に基づく光音響装置。
ー光を照射した位置を（ｘ，ｙ）とし光音響信号の振幅
画像をＡ（ｘ，ｙ）、位相画像をφ（ｘ，ｙ）とする
時、式 Ｈ（ｘ，ｙ）＝Ａ（ｘ，ｙ）・〔１＋ｃｏｓ（φ（ｘ，
ｙ））〕 または Ｈ（ｘ，ｙ）＝Ａ（ｘ，ｙ）2 ・〔１＋ｃｏｓ（φ
（ｘ，ｙ））〕 によって定義される「ホログラム」によって情報を処理
する方式に基づく光音響装置。
【００１２】７．上記１乃至６の各装置において、レー
ザー・ビームの位置を試料に対してシステム的に制御し
て走査することによって上記機能を持たせることを特徴
とする光音響装置。
ザー・ビームの位置を試料に対してシステム的に制御し
て走査することによって上記機能を持たせることを特徴
とする光音響装置。
【００１３】８．上記１乃至６の各装置において、試料
をバルス・ステージ等の機械的な方法で制御・走査する
ことによって、精度良く上記機能を持たせることを特徴
とする光音響装置。
をバルス・ステージ等の機械的な方法で制御・走査する
ことによって、精度良く上記機能を持たせることを特徴
とする光音響装置。
【００１４】９．上記１乃至８の各装置において、試料
に走査するレーザーの波長変化を利用して、試料の光学
的な性質と熱的・音響的な性質との分離を図ることによ
って、試料に関してより多くの情報を得ることを特徴と
する光音響装置。
に走査するレーザーの波長変化を利用して、試料の光学
的な性質と熱的・音響的な性質との分離を図ることによ
って、試料に関してより多くの情報を得ることを特徴と
する光音響装置。
【００１５】１０．上記１乃至９の各装置において、光
または電気的な差分法を利用して雑音の低減を図るよう
にしたことを特徴とする光音響装置。
または電気的な差分法を利用して雑音の低減を図るよう
にしたことを特徴とする光音響装置。
【００１６】
【作用】光音響効果は、図１に示すように、物質（被測
定物１）の変調光吸収による熱の発生で、物質自体やそ
の表面に接する気体が交流的な温度変化を示し、膨張，
収縮を繰り返すことによって音響信号が発生する現象で
ある。例えばマイク２等を介して得られる音響信号は、
光照射領域１ａ内の吸光的性質や、下記の式１で決定さ
れる熱拡散長領域１ｂ内の熱的性質の情報を含んでい
る。
定物１）の変調光吸収による熱の発生で、物質自体やそ
の表面に接する気体が交流的な温度変化を示し、膨張，
収縮を繰り返すことによって音響信号が発生する現象で
ある。例えばマイク２等を介して得られる音響信号は、
光照射領域１ａ内の吸光的性質や、下記の式１で決定さ
れる熱拡散長領域１ｂ内の熱的性質の情報を含んでい
る。
【式１】 したがって、光音響測定は、光学的には観察不可能な不
透明物質の内部の欠陥検出法として利用されている。
透明物質の内部の欠陥検出法として利用されている。
【００１７】これに対して、本発明は、被測定物の不可
視の端面近傍におけるエッジ効果を利用してこの端面の
寸法を定量的に求めるものである。すなわち、被測定物
のエッジ付近で光音響測定を行うと、「エッジ効果」と
称される現象が観察される。例えば、内部からエッジに
向かうほど光音響信号の振幅強度が指数関数的に増大す
る現象である。ここで、熱拡散長程度の厚さの被測定物
におけるエッジ効果に着目すると、この被測定物の端面
の寸法に比例して光音響信号が変化する。したがって、
光音響信号を測定することで、被測定物の不可視の端面
深さの寸法が求められる。
視の端面近傍におけるエッジ効果を利用してこの端面の
寸法を定量的に求めるものである。すなわち、被測定物
のエッジ付近で光音響測定を行うと、「エッジ効果」と
称される現象が観察される。例えば、内部からエッジに
向かうほど光音響信号の振幅強度が指数関数的に増大す
る現象である。ここで、熱拡散長程度の厚さの被測定物
におけるエッジ効果に着目すると、この被測定物の端面
の寸法に比例して光音響信号が変化する。したがって、
光音響信号を測定することで、被測定物の不可視の端面
深さの寸法が求められる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて、一例として位相測定に関する実験結果を基に詳細
に説明する。先ず、本実施例で使用した光音響装置は、
図２に示すように、光学系、走査系、試料収納部及び信
号処理系より構成されるものである。前記光学系は、光
源としてのＡｒガスレーザ装置３、変調器としてのライ
トチョッパー４、集光用の平凸レンズ５及び光学顕微鏡
６よりなるものである。ここでは、平凸レンズ５は走査
される光線が平行になるように、後述のミラーから焦点
距離だけ離れた位置に取付けられている。また、光学顕
微鏡６の対物レンズには、光音響セルと当接しないよう
に超長作動距離用のものを使用した。なお、Ａｒガスレ
ーザ装置３及びライトチョッパー４の代わりに、変調し
たレーザを用いることも可能である。
いて、一例として位相測定に関する実験結果を基に詳細
に説明する。先ず、本実施例で使用した光音響装置は、
図２に示すように、光学系、走査系、試料収納部及び信
号処理系より構成されるものである。前記光学系は、光
源としてのＡｒガスレーザ装置３、変調器としてのライ
トチョッパー４、集光用の平凸レンズ５及び光学顕微鏡
６よりなるものである。ここでは、平凸レンズ５は走査
される光線が平行になるように、後述のミラーから焦点
距離だけ離れた位置に取付けられている。また、光学顕
微鏡６の対物レンズには、光音響セルと当接しないよう
に超長作動距離用のものを使用した。なお、Ａｒガスレ
ーザ装置３及びライトチョッパー４の代わりに、変調し
たレーザを用いることも可能である。
【００１９】また、走査系としては、２枚のミラー７，
８と、これらミラー７，８をコントロールするためのス
キャナコントロールドライバ９、及び制御用のパーソナ
ルコンピュータ１０（Ｄ／Ａ変換ボード１１を含む）が
設けられている。一方、試料１２の収納には、マイクロ
ホン法による測定のため、密閉セル１３が使用されてお
り、このセル１３内には前記試料１２を収納するための
空間の他、マイクロホン１４とプリアンプ１５を収納す
る空間が設けられている。
８と、これらミラー７，８をコントロールするためのス
キャナコントロールドライバ９、及び制御用のパーソナ
ルコンピュータ１０（Ｄ／Ａ変換ボード１１を含む）が
設けられている。一方、試料１２の収納には、マイクロ
ホン法による測定のため、密閉セル１３が使用されてお
り、このセル１３内には前記試料１２を収納するための
空間の他、マイクロホン１４とプリアンプ１５を収納す
る空間が設けられている。
【００２０】信号処理系は、検出器としてのマイクロホ
ン１４、信号増幅のためのプリアンプ１５及びロックイ
ンアンプ１６があり、前記ロックインアンプ１６からの
出力がＡ／Ｄ変換器１７を介して前記パーソナルコンピ
ュータ１０に直接取り込まれる。なお、ここでは検出器
としてマイクロホン１４を用いたが、圧電素子等のセン
サーで検出することも考えられる。また、ロックインア
ンプ１６からの出力は、Ａ／Ｄ変換器１７を介して直接
取り込むようにしているが、ＧＰ−ＩＢバスを経由する
等、様々なバリエーションが考えられる。
ン１４、信号増幅のためのプリアンプ１５及びロックイ
ンアンプ１６があり、前記ロックインアンプ１６からの
出力がＡ／Ｄ変換器１７を介して前記パーソナルコンピ
ュータ１０に直接取り込まれる。なお、ここでは検出器
としてマイクロホン１４を用いたが、圧電素子等のセン
サーで検出することも考えられる。また、ロックインア
ンプ１６からの出力は、Ａ／Ｄ変換器１７を介して直接
取り込むようにしているが、ＧＰ−ＩＢバスを経由する
等、様々なバリエーションが考えられる。
【００２１】上述の構成の光音響装置では、電気的なノ
イズと振動的なノイズの発生が予想される。前者は、外
部からマイクロホン１４とアンプ１５の間のコードにピ
ックアップされるもの、マイクロホン１４やプリアンプ
１５の素子が発生源になっているものなどである。そこ
で、マイクロホン１４とプリアンプ１５の電源には電池
を使用し、また密閉セル１３を外部と接地することで外
部からの影響をなるべく受けないようにした。また、後
者は、床を伝わってくる様々な振動をマイクロホン１４
が拾うことによるものと考えられる。そこで、装置全体
を防振台の上に載せ、外部からの振動を極力除去するよ
うにした。
イズと振動的なノイズの発生が予想される。前者は、外
部からマイクロホン１４とアンプ１５の間のコードにピ
ックアップされるもの、マイクロホン１４やプリアンプ
１５の素子が発生源になっているものなどである。そこ
で、マイクロホン１４とプリアンプ１５の電源には電池
を使用し、また密閉セル１３を外部と接地することで外
部からの影響をなるべく受けないようにした。また、後
者は、床を伝わってくる様々な振動をマイクロホン１４
が拾うことによるものと考えられる。そこで、装置全体
を防振台の上に載せ、外部からの振動を極力除去するよ
うにした。
【００２２】一方、上述の光音響装置におけるソフトウ
ェアは、図３に示すように、走査系を制御する部分１８
と、測定データを処理して画像表示する部分１９とから
構成されている。走査系を処理するパラメータには、走
査幅と走査速度があり、各々いくつかの値を選択するこ
とができるようになっている。そして、設定したパラメ
ータは、測定時にデータベース２０に蓄えられる。Ｘ−
Ｙミラー制御処理ステップ２１において処理されたスキ
ャナ制御信号は、パーソナルコンピュータ１０からＤ／
Ａ変換ボード１１を介してスキャナコントロールドライ
バ９に送られるようになっており、Ｘ軸走査用２２とＹ
軸走査用３に２チャンネルの信号を使用している。
ェアは、図３に示すように、走査系を制御する部分１８
と、測定データを処理して画像表示する部分１９とから
構成されている。走査系を処理するパラメータには、走
査幅と走査速度があり、各々いくつかの値を選択するこ
とができるようになっている。そして、設定したパラメ
ータは、測定時にデータベース２０に蓄えられる。Ｘ−
Ｙミラー制御処理ステップ２１において処理されたスキ
ャナ制御信号は、パーソナルコンピュータ１０からＤ／
Ａ変換ボード１１を介してスキャナコントロールドライ
バ９に送られるようになっており、Ｘ軸走査用２２とＹ
軸走査用３に２チャンネルの信号を使用している。
【００２３】マイクロホン１４より発せられる電気信号
は、プリアンプ１５，ロックインアンプ１６を通ってＡ
／Ｄ変換器１７へと送られ、パーソナルコンピュータ１
０に入力される。測定時に取り込まれた入力データは、
２次元画像としてディスプレイに擬似カラー表示するよ
うに処理され、データ入力ステップ２４、データ画像化
ステップ２５及びデータ出力ステップ２６を介して、逐
次データベース２０へと転送される。
は、プリアンプ１５，ロックインアンプ１６を通ってＡ
／Ｄ変換器１７へと送られ、パーソナルコンピュータ１
０に入力される。測定時に取り込まれた入力データは、
２次元画像としてディスプレイに擬似カラー表示するよ
うに処理され、データ入力ステップ２４、データ画像化
ステップ２５及びデータ出力ステップ２６を介して、逐
次データベース２０へと転送される。
【００２４】以上が本実施例で使用した光音響装置のハ
ードウェア及びソフトウェアの構成であるが、この光音
響装置を使用して図４に示す試料１２について実際に測
定を行った。以下、その測定結果について詳述する。測
定した試料は、図４に示す通り、テーパー部１２ａを有
するフェライトである。前記試料１２を密閉セル１３内
に収納し、中を密閉状態とするためにボルト締めを行っ
た後、光学顕微鏡６のステージに載せ、通常の顕微鏡６
の光学像にて光学的焦点近傍位置にセットした。次い
で、Ａｒガスレーザ３を発振させて適当なパワーで試料
１２の表面を照射し、再度レーザで焦点を合わせた。
ードウェア及びソフトウェアの構成であるが、この光音
響装置を使用して図４に示す試料１２について実際に測
定を行った。以下、その測定結果について詳述する。測
定した試料は、図４に示す通り、テーパー部１２ａを有
するフェライトである。前記試料１２を密閉セル１３内
に収納し、中を密閉状態とするためにボルト締めを行っ
た後、光学顕微鏡６のステージに載せ、通常の顕微鏡６
の光学像にて光学的焦点近傍位置にセットした。次い
で、Ａｒガスレーザ３を発振させて適当なパワーで試料
１２の表面を照射し、再度レーザで焦点を合わせた。
【００２５】そして、試料１２のテーパー部分（図中矢
印Ａで示す。）の光音響測定を行った。その結果、図５
に示すように、試料１２の端面１２ｂのエッジ効果によ
る位相の変化が観察された。すなわち、図５に示すよう
に、端面１２ｂに近づくにつれて位相の値が徐々に小さ
くなり、端面１２ｂ近傍で極小値を示した後に、端面１
２ｂにおいて急激に上昇してエッジが観測される。
印Ａで示す。）の光音響測定を行った。その結果、図５
に示すように、試料１２の端面１２ｂのエッジ効果によ
る位相の変化が観察された。すなわち、図５に示すよう
に、端面１２ｂに近づくにつれて位相の値が徐々に小さ
くなり、端面１２ｂ近傍で極小値を示した後に、端面１
２ｂにおいて急激に上昇してエッジが観測される。
【００２６】そこで、端面１２ｂの寸法の異なる試料に
ついて同様の測定を繰り返したところ、位相変化におけ
る最大値と最小値の差（変化量Ｂ）と、端面１２ｂの寸
法（デプス）とは、図６に示すように比例関係にあるこ
とが判明した。なお、図６には、周波数４００Ｈｚ、６
００Ｈｚ、８００Ｈｚとした場合の変化量Ｂとデプスの
関係をそれぞれ表示してある。したがって、前記変化量
Ｂを求めることによって、前記相関関係に基づいて端面
１２ｂの寸法を求めることができ、例えば磁気ヘッドの
デプス測定等に応用できることがわかった。
ついて同様の測定を繰り返したところ、位相変化におけ
る最大値と最小値の差（変化量Ｂ）と、端面１２ｂの寸
法（デプス）とは、図６に示すように比例関係にあるこ
とが判明した。なお、図６には、周波数４００Ｈｚ、６
００Ｈｚ、８００Ｈｚとした場合の変化量Ｂとデプスの
関係をそれぞれ表示してある。したがって、前記変化量
Ｂを求めることによって、前記相関関係に基づいて端面
１２ｂの寸法を求めることができ、例えば磁気ヘッドの
デプス測定等に応用できることがわかった。
【００２７】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明においては、光音響効果を利用して被測定物の不可視
の端面の寸法を求めるようにしており、非破壊で十数μ
ｍから数百μｍ程度のオーダーの内部寸法を正確に測定
することが可能である。また、本発明においては、大気
中で測定を行うことができ、水に浸漬することによる汚
染の問題等を回避することができる。したがって、例え
ば磁気ヘッドの磁気回路を構成する部品の内部寸法を定
量的に測定することができ、さらに内部の品質を非破壊
的に評価・検査することも可能であるので、その産業上
の有用性は大きい。
明においては、光音響効果を利用して被測定物の不可視
の端面の寸法を求めるようにしており、非破壊で十数μ
ｍから数百μｍ程度のオーダーの内部寸法を正確に測定
することが可能である。また、本発明においては、大気
中で測定を行うことができ、水に浸漬することによる汚
染の問題等を回避することができる。したがって、例え
ば磁気ヘッドの磁気回路を構成する部品の内部寸法を定
量的に測定することができ、さらに内部の品質を非破壊
的に評価・検査することも可能であるので、その産業上
の有用性は大きい。
【図１】光音響効果の原理を説明する模式図である。
【図２】実施例で用いた光音響装置のハードウェアの構
成を示す模式図である。
成を示す模式図である。
【図３】実施例で用いた光音響装置のソフトウェアの構
成を示す模式図である。
成を示す模式図である。
【図４】実際に測定した試料の形状を示す概略斜視図で
ある。
ある。
【図５】エッジ効果による位相の変化を示す特性図であ
る。
る。
【図６】位相の変化量と端面の寸法（デプス）の相関関
係を示す特性図である。
係を示す特性図である。
フロントページの続き (72)発明者 星宮 務 宮城県多賀城市中央１丁目13−１ 東北 学院大学内 (56)参考文献 特開 昭61−256213（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−90073（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−153209（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 17/00 - 17/08 G01B 11/00 - 11/30 102
Claims (1)
- 【請求項１】 被測定物の不可視の端面近傍において、
光音響効果によって発せられる光音響信号を測定し、 前記被測定物の不可視の端面深さの寸法を非破壊的に求
めることを特徴とする寸法測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08101291A JP3271994B2 (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | 寸法測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08101291A JP3271994B2 (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | 寸法測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06185987A JPH06185987A (ja) | 1994-07-08 |
| JP3271994B2 true JP3271994B2 (ja) | 2002-04-08 |
Family
ID=13734592
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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