JP3376267B2 - 焼却用炉の炉内温度測定構造 - Google Patents
焼却用炉の炉内温度測定構造Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、焼却炉、焼却灰
溶融炉などの焼却用炉における炉内温度を常時連続的に
測定する炉内温度測定構造に関するものである。 【0002】 【従来の技術】例えば、焼却飛灰などの溶融炉は図2に
示すようなものがあり、図において、1は飛灰などの焼
却灰aを溶融するための溶融炉で、この溶融炉1は、燃
焼部2とその下部の溶融池部3よりなり、燃焼部2の上
部に空気管4が設けられている。この空気管4に焼却灰
aの投入口5と主バーナ6が取付けられ、燃焼室2の上
部には点火バーナ7が設けられている。 【0003】上記溶融池部3は、溶融物bの出口8と燃
焼排ガスの出口9が形成されて、その溶融物bの出口8
付近に溶融物bを加熱する加熱バーナ10が設けられて
いる。溶融炉1の外壁(鉄皮)11の内側には耐火れん
がの耐火物12が設けられている。 【0004】この溶融炉1では、投入口5より焼却灰a
が空気管4内に投入され、主バーナ6や点火バーナ7に
より加熱され燃焼部2に送られて、焼却灰a中の未燃分
が燃焼されるとともに焼却灰aは徐々に溶融される。つ
まり、燃焼部2内は焼却灰aの一部が溶融されている半
溶融状態になっている。そして、完全に溶融された焼却
灰a(溶融物b)は燃焼部2内から溶融池部3へ落下す
る。溶融池部3に落下した溶融物bは、加熱バーナ10
で加熱されながらオーバフローして、溶融物出口8から
排出される。また、燃焼ガスはガス出口9から排出され
る。 【0005】この溶融炉1において、焼却灰aの成分
(性状)が日及び季節によって変動し、この変動により
焼却灰aの溶融流動点(溶けて流れる温度)も変動す
る。このため、一般に、どの性状の焼却灰aにおいても
溶融流動し得るようにするため、余裕を見て加熱、すな
わち炉内温度を高めに設定している。 【0006】しかし、その炉内温度が高くなりすぎる
と、耐火物12が損傷しやすく、その寿命が短くなるう
えに、バーナ6、7の燃料を無駄に消費することにな
る。逆に、余裕を少なくして炉内温度が低くなると、焼
却灰aが溶融されにくくなり処理量が低下する。従っ
て、最適な運転のために炉内温度を常時監視して最適な
ものとすることが必要である。 【0007】その炉内温度の測定方法として、一般に
は、紫外線温度測定器、輻射温度測定器を使用している
が、精度が悪い問題がある。 【0008】このため、熱電対を使用して精度を高めた
ものとして、実開平3−68029号公報(公報1)に
示され、図3に示すように、耐火物12に貫通孔30を
形成し、その貫通孔30内に熱電対31を挿入して、炉
内温度を直接測定するものがある。その熱電対31は、
石英、セラミック、金属などの保護管32に挿入したも
のであり、同図(a)のように、炉壁内面から突出させ
ない場合と、同図(b)のように、炉壁内面から突出さ
せる場合がある。図中33はシール材である。 【0009】一方、高炉においては、実開平7−414
35号公報(公報2)に示されるように、耐火物と鉄皮
との間に不定形耐火物を設け、その不定形耐火物に貫通
孔を形成し、その貫通孔に通した熱電対により耐火物裏
面の温度を測定して炉内温度を測定するものがある。 【0010】また、特開平3−15729号公報(公報
3)には炉内の溶湯に接する部材をファインセラミック
スに代表される熱伝導率の高い材質とし、該部材内に熱
電対素線を埋設しているものがある。このものでは、フ
ァインセラミックスにより熱電対素線が保護され、炉内
温度の変化も一般的な耐火物(主成分がSiO2 )より
迅速に検知できると考えられる。 【0011】ところで、この種の焼却用炉においては、
高炉に比べて炉内温度が低いこと等から、特開平9−1
96344号公報で示されるように、炉壁内面に、Cr
を含有する耐熱性の金属ライナを張設することが行われ
ている。この金属ライナは、焼却灰、溶融物等の付着が
少ない点で利用が図られており、金属(鋼)は、耐火れ
んが等の耐火物12に比べて、熱伝導率は80倍程度で
ある。 【0012】 【発明が解決しようとする課題】上記公報1に記載の炉
内温度測定構造では、図3(a)のごとく、熱電対31
(保護管32)に付着物cが発生し、温度測定精度が徐
々に低下する。また、保護管32が高温の溶融物bに直
接に触れると、保護管32をなす石英、セラミックス、
金属などが溶融物b中に溶出する溶損現象や溶融物bと
反応して保護管32の外表面が侵食される侵食現象によ
り、保護管32の寿命は数時間程度と短いものとなる。
従って、このものは、炉内温度を長時間連続して監視で
きない問題を有する。 【0013】上記公報2に記載の炉内温度測定構造を焼
却用炉(溶融炉1)に採用することも考えられるが、こ
の構造では、耐火物12により熱電対31が保護される
が、耐火物12は熱伝導性が悪いので、炉内温度の変化
を迅速に検知することができない。 【0014】また、その耐火物12に、公報3に記載の
ファインセラミックスを使用することも考えられるが、
熱伝導率の高いアルミナ(Al2 O3 )であっても、そ
の熱伝導率は、例えば、一般的な耐火れんがの2倍程度
であり、この程度の熱伝導率では炉内温度の変化を迅速
に検知できるとは言い難い。さらに、熱伝導率のより高
いファインセラミックスとして、ダイヤモンド型窒化ケ
イ素(BN)があるが、このものは、小さな製品しか作
れず、耐火物12として用いるには不適当である。 【0015】この発明は、上述の実情の下、炉内温度を
迅速かつ正確に測定することを課題とする。 【0016】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明は、上述のようにこの種の焼却用炉の炉壁
内面に金属ライナが使用され、その金属ライナの熱伝導
率が高いことに着目し、その炉内表面の金属ライナの温
度を炉壁に通した温度検出素子によって検知し、その検
知温度によって炉内温度を測定するようにしたのであ
る。 【0017】このようにすると、金属ライナは熱伝導率
がよいため、炉内温度とライナ温度とはリアルタイムで
ほぼ比例関係のあるものとなる。このため、そのライナ
の検知温度によって、炉内温度を迅速かつ正確に把握で
きて、最適な炉内温度による炉の運転を行うことができ
る。 【0018】 【発明の実施の形態】この発明の一実施形態としては、
上記炉壁をなす耐火れんがの内面に上記金属ライナを設
け、前記炉壁に上記温度検出素子をなす熱電対を通し
て、その先端を前記金属ライナに接触させた構成とし得
る。 【0019】このとき、金属ライナは、炉内全面に張設
したものでも、部分的に張設したもの、さらに、測定個
所のみに張設したものでもよい。また、熱電対とライナ
の接触は、熱電対をライナに単に接触させる、熱電対を
ライナに固定する、熱電対をライナ内に挿し入れる、等
の温度を測定し得る態様であれば、いずれでもよい。 【0020】金属ライナは、耐熱性、高温強度、熱伝導
率が大きく、熱膨張係数が小さく、溶融物による溶損や
侵食の少ない材料を用いる。このためには、Crを20
%以上含む金属を用い、また、溶融炉1の様に、使用環
境が厳しい場合には、Crの含有率が50%以上である
金属を用いることが望ましく、例えば、約60重量%の
Crに、W、Nb、Tiなどの強化元素を含有させた金
属(鋳鋼)を使用するのがよい。耐熱性が大きいと、ラ
イナとしての寿命が伸び、高温強度が大きいと、ライナ
の変形を抑制でき、ライナと耐火物との段差が生じにく
く、この段差に付着物が付着しにくくなる。また、熱伝
導率が大きいと、炉内の温度変化を素早く検知でき、熱
膨張係数が小さいと、ライナの変形やクラックを抑制で
き、溶融物による溶損や侵食が少ないと、ライナとして
の寿命が伸びる。 【0021】この構成において、上記炉壁にその外面か
ら内面に向かい中空管を挿入して、その中空管の先端を
上記金属ライナに固定し、該中空管内に上記熱電対を挿
通したものとすれば、中空管によって熱電対の保護がな
される。 【0022】 【実施例】この実施例は、上述した図2の溶融炉におい
て、燃焼部2及び溶融池部3に炉内温度測定構造(熱電
対13、14、15の付設)をなしたものである。その
詳細を図1に示し、同図において、16は金属ライナ
で、耐火物12の炉内側で耐火物12とその表面が面一
になるように設けられている。外壁(鉄皮)11には、
支持パイプ17が外壁11を貫通して、外壁11に溶接
されており、この支持パイプ17に、金属ライナ16の
取付座18にねじ部を有する金属製中空管19の一端が
ねじこまれている。この中空管19の他端側は、ワッシ
ャ20を介してナット21がねじこまれることにより支
持パイプ17の端面に固定されている。 【0023】上記金属ライナ16と支持パイプ17の間
には高温用パッキン22が設けられ、支持パイプ17と
中空管19の間には断熱材23(商品名カオール)が充
填されている。また、中空管19内には、熱電対13、
14、15をなす絶縁体25に覆われた熱電対素線24
が入れられている。熱電対素線24の先端は、金属ライ
ナ16にハンダ付けされる。 【0024】このような金属ライナ16を用いることに
より、熱電対13、14、15を保護するとともに、炉
内の温度変化を素早く熱電対に伝達することができる。 【0025】この実施例において、従来技術である炉内
温度を直接測定する熱電対(図3)は数時間の寿命であ
ったのに対し、Crを約60%含有する金属ライナ16
を使用した場合では、その寿命を100倍延ばすことが
できた。なお、金属ライナ16は消耗品であり、溶損や
侵食により使用できなくなれば取替えることになる。 【0026】また、紫外線温度測定器などの炉内温度を
直接測定する場合に比べ、温度変化の検知にタイムラグ
が生じるが、その時間は数秒であり、温度の測定結果に
基づいて炉の運転条件を制御し、正常な運転を維持する
ことができた。 【0027】さらに、燃焼部2内は焼却灰aが半溶融状
態であり、金属ライナ16周辺は炉心より温度が低いの
で、一旦溶融した焼却灰aが凝固して金属ライナ16の
表面に付着しやすい傾向がある。しかし、上述のCrを
約60%含有する金属ライナ16では、この付着現象が
起きにくいことが実験により確認され、この熱伝導率の
低い付着物により、温度変化の迅速な検知を妨げられる
ことがない。 【0028】 【発明の効果】この発明は、以上のように金属ライナを
介して温度測定するようにしたので、炉内温度を常時監
視でき、しかも、その温度変化を素早く検知できるの
で、焼却用炉において、低燃費の最適な運転を行うこと
ができる。
溶融炉などの焼却用炉における炉内温度を常時連続的に
測定する炉内温度測定構造に関するものである。 【0002】 【従来の技術】例えば、焼却飛灰などの溶融炉は図2に
示すようなものがあり、図において、1は飛灰などの焼
却灰aを溶融するための溶融炉で、この溶融炉1は、燃
焼部2とその下部の溶融池部3よりなり、燃焼部2の上
部に空気管4が設けられている。この空気管4に焼却灰
aの投入口5と主バーナ6が取付けられ、燃焼室2の上
部には点火バーナ7が設けられている。 【0003】上記溶融池部3は、溶融物bの出口8と燃
焼排ガスの出口9が形成されて、その溶融物bの出口8
付近に溶融物bを加熱する加熱バーナ10が設けられて
いる。溶融炉1の外壁(鉄皮)11の内側には耐火れん
がの耐火物12が設けられている。 【0004】この溶融炉1では、投入口5より焼却灰a
が空気管4内に投入され、主バーナ6や点火バーナ7に
より加熱され燃焼部2に送られて、焼却灰a中の未燃分
が燃焼されるとともに焼却灰aは徐々に溶融される。つ
まり、燃焼部2内は焼却灰aの一部が溶融されている半
溶融状態になっている。そして、完全に溶融された焼却
灰a(溶融物b)は燃焼部2内から溶融池部3へ落下す
る。溶融池部3に落下した溶融物bは、加熱バーナ10
で加熱されながらオーバフローして、溶融物出口8から
排出される。また、燃焼ガスはガス出口9から排出され
る。 【0005】この溶融炉1において、焼却灰aの成分
(性状)が日及び季節によって変動し、この変動により
焼却灰aの溶融流動点(溶けて流れる温度)も変動す
る。このため、一般に、どの性状の焼却灰aにおいても
溶融流動し得るようにするため、余裕を見て加熱、すな
わち炉内温度を高めに設定している。 【0006】しかし、その炉内温度が高くなりすぎる
と、耐火物12が損傷しやすく、その寿命が短くなるう
えに、バーナ6、7の燃料を無駄に消費することにな
る。逆に、余裕を少なくして炉内温度が低くなると、焼
却灰aが溶融されにくくなり処理量が低下する。従っ
て、最適な運転のために炉内温度を常時監視して最適な
ものとすることが必要である。 【0007】その炉内温度の測定方法として、一般に
は、紫外線温度測定器、輻射温度測定器を使用している
が、精度が悪い問題がある。 【0008】このため、熱電対を使用して精度を高めた
ものとして、実開平3−68029号公報(公報1)に
示され、図3に示すように、耐火物12に貫通孔30を
形成し、その貫通孔30内に熱電対31を挿入して、炉
内温度を直接測定するものがある。その熱電対31は、
石英、セラミック、金属などの保護管32に挿入したも
のであり、同図(a)のように、炉壁内面から突出させ
ない場合と、同図(b)のように、炉壁内面から突出さ
せる場合がある。図中33はシール材である。 【0009】一方、高炉においては、実開平7−414
35号公報(公報2)に示されるように、耐火物と鉄皮
との間に不定形耐火物を設け、その不定形耐火物に貫通
孔を形成し、その貫通孔に通した熱電対により耐火物裏
面の温度を測定して炉内温度を測定するものがある。 【0010】また、特開平3−15729号公報(公報
3)には炉内の溶湯に接する部材をファインセラミック
スに代表される熱伝導率の高い材質とし、該部材内に熱
電対素線を埋設しているものがある。このものでは、フ
ァインセラミックスにより熱電対素線が保護され、炉内
温度の変化も一般的な耐火物(主成分がSiO2 )より
迅速に検知できると考えられる。 【0011】ところで、この種の焼却用炉においては、
高炉に比べて炉内温度が低いこと等から、特開平9−1
96344号公報で示されるように、炉壁内面に、Cr
を含有する耐熱性の金属ライナを張設することが行われ
ている。この金属ライナは、焼却灰、溶融物等の付着が
少ない点で利用が図られており、金属(鋼)は、耐火れ
んが等の耐火物12に比べて、熱伝導率は80倍程度で
ある。 【0012】 【発明が解決しようとする課題】上記公報1に記載の炉
内温度測定構造では、図3(a)のごとく、熱電対31
(保護管32)に付着物cが発生し、温度測定精度が徐
々に低下する。また、保護管32が高温の溶融物bに直
接に触れると、保護管32をなす石英、セラミックス、
金属などが溶融物b中に溶出する溶損現象や溶融物bと
反応して保護管32の外表面が侵食される侵食現象によ
り、保護管32の寿命は数時間程度と短いものとなる。
従って、このものは、炉内温度を長時間連続して監視で
きない問題を有する。 【0013】上記公報2に記載の炉内温度測定構造を焼
却用炉(溶融炉1)に採用することも考えられるが、こ
の構造では、耐火物12により熱電対31が保護される
が、耐火物12は熱伝導性が悪いので、炉内温度の変化
を迅速に検知することができない。 【0014】また、その耐火物12に、公報3に記載の
ファインセラミックスを使用することも考えられるが、
熱伝導率の高いアルミナ(Al2 O3 )であっても、そ
の熱伝導率は、例えば、一般的な耐火れんがの2倍程度
であり、この程度の熱伝導率では炉内温度の変化を迅速
に検知できるとは言い難い。さらに、熱伝導率のより高
いファインセラミックスとして、ダイヤモンド型窒化ケ
イ素(BN)があるが、このものは、小さな製品しか作
れず、耐火物12として用いるには不適当である。 【0015】この発明は、上述の実情の下、炉内温度を
迅速かつ正確に測定することを課題とする。 【0016】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明は、上述のようにこの種の焼却用炉の炉壁
内面に金属ライナが使用され、その金属ライナの熱伝導
率が高いことに着目し、その炉内表面の金属ライナの温
度を炉壁に通した温度検出素子によって検知し、その検
知温度によって炉内温度を測定するようにしたのであ
る。 【0017】このようにすると、金属ライナは熱伝導率
がよいため、炉内温度とライナ温度とはリアルタイムで
ほぼ比例関係のあるものとなる。このため、そのライナ
の検知温度によって、炉内温度を迅速かつ正確に把握で
きて、最適な炉内温度による炉の運転を行うことができ
る。 【0018】 【発明の実施の形態】この発明の一実施形態としては、
上記炉壁をなす耐火れんがの内面に上記金属ライナを設
け、前記炉壁に上記温度検出素子をなす熱電対を通し
て、その先端を前記金属ライナに接触させた構成とし得
る。 【0019】このとき、金属ライナは、炉内全面に張設
したものでも、部分的に張設したもの、さらに、測定個
所のみに張設したものでもよい。また、熱電対とライナ
の接触は、熱電対をライナに単に接触させる、熱電対を
ライナに固定する、熱電対をライナ内に挿し入れる、等
の温度を測定し得る態様であれば、いずれでもよい。 【0020】金属ライナは、耐熱性、高温強度、熱伝導
率が大きく、熱膨張係数が小さく、溶融物による溶損や
侵食の少ない材料を用いる。このためには、Crを20
%以上含む金属を用い、また、溶融炉1の様に、使用環
境が厳しい場合には、Crの含有率が50%以上である
金属を用いることが望ましく、例えば、約60重量%の
Crに、W、Nb、Tiなどの強化元素を含有させた金
属(鋳鋼)を使用するのがよい。耐熱性が大きいと、ラ
イナとしての寿命が伸び、高温強度が大きいと、ライナ
の変形を抑制でき、ライナと耐火物との段差が生じにく
く、この段差に付着物が付着しにくくなる。また、熱伝
導率が大きいと、炉内の温度変化を素早く検知でき、熱
膨張係数が小さいと、ライナの変形やクラックを抑制で
き、溶融物による溶損や侵食が少ないと、ライナとして
の寿命が伸びる。 【0021】この構成において、上記炉壁にその外面か
ら内面に向かい中空管を挿入して、その中空管の先端を
上記金属ライナに固定し、該中空管内に上記熱電対を挿
通したものとすれば、中空管によって熱電対の保護がな
される。 【0022】 【実施例】この実施例は、上述した図2の溶融炉におい
て、燃焼部2及び溶融池部3に炉内温度測定構造(熱電
対13、14、15の付設)をなしたものである。その
詳細を図1に示し、同図において、16は金属ライナ
で、耐火物12の炉内側で耐火物12とその表面が面一
になるように設けられている。外壁(鉄皮)11には、
支持パイプ17が外壁11を貫通して、外壁11に溶接
されており、この支持パイプ17に、金属ライナ16の
取付座18にねじ部を有する金属製中空管19の一端が
ねじこまれている。この中空管19の他端側は、ワッシ
ャ20を介してナット21がねじこまれることにより支
持パイプ17の端面に固定されている。 【0023】上記金属ライナ16と支持パイプ17の間
には高温用パッキン22が設けられ、支持パイプ17と
中空管19の間には断熱材23(商品名カオール)が充
填されている。また、中空管19内には、熱電対13、
14、15をなす絶縁体25に覆われた熱電対素線24
が入れられている。熱電対素線24の先端は、金属ライ
ナ16にハンダ付けされる。 【0024】このような金属ライナ16を用いることに
より、熱電対13、14、15を保護するとともに、炉
内の温度変化を素早く熱電対に伝達することができる。 【0025】この実施例において、従来技術である炉内
温度を直接測定する熱電対(図3)は数時間の寿命であ
ったのに対し、Crを約60%含有する金属ライナ16
を使用した場合では、その寿命を100倍延ばすことが
できた。なお、金属ライナ16は消耗品であり、溶損や
侵食により使用できなくなれば取替えることになる。 【0026】また、紫外線温度測定器などの炉内温度を
直接測定する場合に比べ、温度変化の検知にタイムラグ
が生じるが、その時間は数秒であり、温度の測定結果に
基づいて炉の運転条件を制御し、正常な運転を維持する
ことができた。 【0027】さらに、燃焼部2内は焼却灰aが半溶融状
態であり、金属ライナ16周辺は炉心より温度が低いの
で、一旦溶融した焼却灰aが凝固して金属ライナ16の
表面に付着しやすい傾向がある。しかし、上述のCrを
約60%含有する金属ライナ16では、この付着現象が
起きにくいことが実験により確認され、この熱伝導率の
低い付着物により、温度変化の迅速な検知を妨げられる
ことがない。 【0028】 【発明の効果】この発明は、以上のように金属ライナを
介して温度測定するようにしたので、炉内温度を常時監
視でき、しかも、その温度変化を素早く検知できるの
で、焼却用炉において、低燃費の最適な運転を行うこと
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は一実施例の要部断面図、(b)は同要
部拡大斜視図 【図2】焼却灰溶融炉の概略図 【図3】(a)、(b)ともに、従来例の要部断面図 【符号の説明】 1 溶融炉 2 燃焼部 3 溶融池部 4 空気管 5 投入口 6 主バーナ 7 点火バーナ 8 溶融物出口 9 ガス出口 10 加熱バーナ 11 外壁(鉄皮) 12 耐火物 13、14、15 熱電対 16 金属ライナ 17 支持パイプ 19 中空管 23 断熱材 24 熱電対素線
部拡大斜視図 【図2】焼却灰溶融炉の概略図 【図3】(a)、(b)ともに、従来例の要部断面図 【符号の説明】 1 溶融炉 2 燃焼部 3 溶融池部 4 空気管 5 投入口 6 主バーナ 7 点火バーナ 8 溶融物出口 9 ガス出口 10 加熱バーナ 11 外壁(鉄皮) 12 耐火物 13、14、15 熱電対 16 金属ライナ 17 支持パイプ 19 中空管 23 断熱材 24 熱電対素線
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(72)発明者 小川 良一
兵庫県姫路市広畑区正門通4丁目10番地
の11 株式会社広築内
(56)参考文献 特開 平9−196344(JP,A)
特開 平7−100895(JP,A)
実開 平1−58656(JP,U)
実開 昭60−118738(JP,U)
実公 昭61−11618(JP,Y1)
(58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名)
G01K 1/14 - 1/16
G01K 7/02
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 炉壁12をなす耐火れんがの内面に、そ
の炉壁12内面をなす金属ライナ16を設け、前記炉壁
12に熱電対13、14、15を通して、その先端を前
記金属ライナ16に接触させ、その熱電対により、前記
金属ライナ16の温度を検知し、その検知温度によって
炉内温度を測定するようにした焼却用炉の炉内温度測定
構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04554698A JP3376267B2 (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | 焼却用炉の炉内温度測定構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04554698A JP3376267B2 (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | 焼却用炉の炉内温度測定構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11241952A JPH11241952A (ja) | 1999-09-07 |
| JP3376267B2 true JP3376267B2 (ja) | 2003-02-10 |
Family
ID=12722373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04554698A Expired - Fee Related JP3376267B2 (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | 焼却用炉の炉内温度測定構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3376267B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4695570B2 (ja) * | 2006-07-28 | 2011-06-08 | 東レエンジニアリング株式会社 | マイクロリアクタ流路形成体へのマイクロリアクタ用温度センサの取付構造 |
-
1998
- 1998-02-26 JP JP04554698A patent/JP3376267B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11241952A (ja) | 1999-09-07 |
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