JP3384403B2 - 弾性表面波装置、通信装置 - Google Patents

弾性表面波装置、通信装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、フィルタ特性を有
する弾性表面波装置に関し、特に平衡−不平衡変換機能
を有する弾性表面波装置、およびそれを用いた通信装置
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、近年の携帯電話機の小型化、軽量
化に対する技術的進歩は目覚しいものがある。これを実
現するための手段として、各構成部品の削減、小型化は
もとより、複数の機能を複合した部品の開発も進んでき
た。このような状況を背景に、携帯電話機のRF段に使
用する弾性表面波フィルタに平衡−不平衡変換機能、い
わゆるバラン(balun)の機能を有するものも近年盛んに
研究され、GSM方式(Global System for Mobile com
munications)などを中心に使用されるようになってき
た。
【0003】バランとは、平行二線式フィーダのような
平衡線路と同軸ケーブルのような不平衡線路とを直接接
続すると、不平衡電流が流れ給電線(フィーダ)自体が
アンテナとして動作してしまい望ましくないので、不平
衡電流を阻止し、平衡線路と不平衡線路とを整合する回
路をいう。
【0004】このような平衡−不平衡変換機能を備えた
弾性表面波装置に関する特許も、幾つか出願されてい
る。入力インピーダンスと出力インピーダンスがほぼ等
しい、平衡−不平衡変換機能を備えた弾性表面波装置と
しては、図20に示すような構成が広く知られている。
【0005】図20に示す弾性表面波装置では、圧電基
板100上に、くし型電極部(すだれ状電極ともいう、
Inter-Digital Transducer、以下、IDTという)10
1が設けられ、そのIDT101の左右(弾性波の伝搬
方向に沿った)に各IDT102、103が配置されて
いる。
【0006】さらに、上記弾性表面波装置においては、
これらの各IDT101、102、103を左右から挟
み込むように、弾性表面波を反射して変換効率を向上さ
せるための各リフレクタ104、105がそれぞれ配置
されており、また、各平衡信号用端子106、107、
および不平衡信号用端子108が設けられている。
【0007】このような弾性表面波装置は、3IDTタ
イプの縦結合共振子型弾性表面波装置と呼ばれ、各ID
T101、102、103間での弾性表面波を用いた変
換により平衡−不平衡変換機能を有するものである。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】平衡−不平衡変換機能
を有する弾性表面波装置では、不平衡信号用端子と平衡
信号用端子のそれぞれの端子との間の通過帯域内での伝
送特性において、振幅特性が等しく、かつ位相が180
度反転していることが要求され、それぞれ平衡信号用端
子間の振幅平衡度及び位相平衡度と呼んでいる。
【0009】振幅平衡度及び位相平衡度は、前記平衡−
不平衡変換機能を有する弾性表面波装置を3ポートのデ
バイスと考え、例えば不平衡入力端子を第一ポート、平
衡出力端子のそれぞれを第二ポート、第三ポートとした
とき、振幅平衡度=〔A〕、A=〔20log(S2
1)〕−〔20log(S31)〕、位相平衡度=〔B
−180〕、B=〔∠S21−∠S31〕にてそれぞれ
定義される。なお、S21は第一ポートから第二ポート
への伝達係数を、S31は第一ポートから第三ポートへ
の伝達係数を示しており、また、上記各式中の〔〕は絶
対値を示すためのものである。
【0010】このような平衡信号用端子間の平衡度につ
いては、理想的には弾性表面波装置の通過帯域内で振幅
平衡度が0dB、位相平衡度が0度とされている。
【0011】しかしながら、図20の従来の構成におい
ては、平衡信号用端子間の平衡度が劣化するという問題
があった。その理由は幾つか考えられるが、本願発明者
は平衡信号用端子106のすぐ近傍にあるシグナルライ
ン109と平衡信号用端子106の間に容量(橋絡容
量)が形成されていることが、その最も大きな原因の一
つであることを見出した。
【0012】次に、橋絡容量が形成されることで平衡信
号用端子間の平衡度が悪化する原因を、図21、図22
を用いて説明する。図21、図22は、シミュレーショ
ンで不平衡信号用端子108から平衡信号用端子10
6、107のそれぞれへの伝送特性を整合インピーダン
スから外して確認し、共振モードの位置を調査した結果
である。
【0013】図21は図20において、平衡信号用端子
106とシグナルライン109の間に橋絡容量を付加し
ないことを想定した場合の、不平衡信号用端子108か
ら平衡信号用端子106へ伝送される信号の共振モード
と不平衡信号用端子108から平衡信号用端子107へ
伝送される信号の共振モードの差を示し、図22は平衡
信号用端子106とシグナルライン109の間に、0.
30pFの橋絡容量を付加したことを想定した場合の、
共振モードの差を示すグラフである。それぞれの図で実
線が不平衡信号用端子108から平衡信号用端子106
への伝送特性、点線が不平衡信号用端子108から平衡
信号用端子107への伝送特性を示している。
【0014】図21と図22とを比較すると、平衡信号
用端子106とシグナルライン109の間に橋絡容量を
付加した場合の方が、2つの平衡出力端子である各平衡
信号用端子106、107間で共振モードのずれが大き
いことがわかる。
【0015】縦結合共振子型弾性表面波装置において
は、位相が180度異なる共振モードが音響結合するこ
とで、特性が形成されていることは広く知られている。
このとき、平衡信号用端子106から見た共振モードと
平衡信号用端子107から見た共振モードは、すべて1
80度ずつ位相が異なっている。簡単に符号で表すと、
例えば平衡信号用端子106から見た3つの共振モード
の符号が−、+、−であったとすると、平衡信号用端子
107から見た場合は+、−、+となる。
【0016】ここに、ある位相角を有する橋絡容量が付
加されると、平衡信号用端子106からの伝送特性と平
衡信号用端子107からの伝送特性のそれぞれの共振モ
ードにおいてその影響が全く逆になり、これにより平衡
信号用端子106、107間の平衡度が悪化する。
【0017】本願発明者は、シミュレーションを含む種
々の検討結果により、この平衡信号用端子106、10
7間の平衡度悪化の原因を見出した。本発明の目的は、
平衡信号用端子106、107間の平衡度悪化の大きな
原因である橋絡容量を低減することで平衡信号用端子1
06、107を有する弾性表面波装置の平衡信号用端子
106、107間の平衡度を改善し、平衡信号用端子1
06、107間の平衡度が良好で、かつ通過帯域外の減
衰量が大きい弾性表面波装置を提供することにある。
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波装置
は、以上の課題を解決するために、圧電基板上に、入力
された信号を弾性表面波により変換して出力するための
IDTが、複数、弾性表面波の伝搬方向に沿って、縦結
合共振子型弾性表面波装置を構成するように設けられ、
平衡信号用を含む信号用端子が圧電基板上に設けられ、
信号用端子とIDTとを接続するシグナルラインが圧電
基板上に設けられ、互いに隣り合う信号用端子とシグナ
ルラインとの間の圧電基板上に、アースラインが設けら
れていることを特徴としている。
【0019】上記弾性表面波装置では、入出力の一方の
信号用端子とIDTとを接続するシグナルラインが、入
出力の他方の信号用端子を囲むように配置されているこ
とが好ましい。
【0020】上記弾性表面波装置においては、前記アー
スラインは、IDTのアース電極指のみに接続されてい
てもよい。上記弾性表面波装置では、前記アースライン
は、圧電基板上でIDTと接続されていなくともよい。
【0021】本発明の他の弾性表面波装置では、圧電基
板上に、入力された信号を弾性表面波に変換して出力す
るためのIDTが、複数、弾性表面波の伝搬方向に沿っ
て設けられ、平衡信号用を含む信号用端子が圧電基板上
に設けられ、信号用端子とIDTとを接続するシグナル
ラインが圧電基板上に設けられ、互いに隣り合う信号用
端子とシグナルラインとの間の圧電基板上に、アースラ
インが、パッド状に形成された信号用端子を囲むように
設けられていることを特徴としている。
【0022】上記構成によれば、シグナルラインを介し
てIDTに入力された信号によって圧電基板の表面部に
弾性表面波を形成して伝搬させ、その伝搬した弾性表面
波を他のIDTにて検出して出力することにより、上記
信号の変換機能を発揮することができる。また、上記構
成では、IDTの各電極指の間隔や本数を調整すること
で信号の通過帯域を設定できることからフィルタ機能も
発揮できる。
【0023】その上、上記構成では、圧電基板上に、ア
ースラインを、互いに隣り合う信号用端子とシグナルラ
インとの間に設けたことにより、上記信号用端子とシグ
ナルラインとの間にて発生する橋絡容量をアースライン
により低減できるので、そのような橋絡容量による、信
号用端子、特に平衡信号用の信号用端子に対する橋絡容
量の影響を抑制でき、信号伝搬特性を改善できる。
【0024】本発明のさらに他の弾性表面波装置は、以
上の課題を解決するために、圧電基板上に、入力された
信号を弾性表面波により変換して出力するためのIDT
が、複数、弾性表面波の伝搬方向に沿って設けられ、平
衡信号用を含む信号用端子が圧電基板上に設けられ、信
号用端子とIDTとを接続するシグナルラインが圧電基
板上に設けられ、互いに隣り合う2つのIDTのうち少
なくとも一方のIDTにおける、上記2つのIDTの対
向する最外部に、アース電極指が上記アース電極指の先
端部を該IDTの他の電極指よりも交叉幅方向に延ばし
て設けられていることを特徴としている。
【0025】上記構成によれば、圧電基板上に、アース
電極指が上記アース電極指の先端部を交叉幅方向に延ば
して設けられたことにより、互いに隣り合う信号用端子
とシグナルラインとの間に上記アース電極指を介在させ
ることが可能となる。
【0026】これにより、上記構成では、互いに隣り合
う信号用端子とシグナルラインとの間にて発生する橋絡
容量を上記アース電極指により低減できるので、そのよ
うな橋絡容量による、信号用端子、特に平衡信号用の信
号用端子に対する橋絡容量の影響を抑制でき、信号伝搬
特性を改善できる。
【0027】本発明のさらに他の弾性表面波装置は、前
記の課題を解決するために、圧電基板上に、入力された
信号を弾性表面波により変換して出力するためのIDT
が、複数、弾性表面波の伝搬方向に沿って設けられ、平
衡信号用を含む信号用端子が圧電基板上に設けられ、信
号用端子とIDTとを接続するシグナルラインが圧電基
板上に設けられ、シグナルラインに接続されている該I
DTが互いに隣り合う箇所にて、該IDTにおけるバス
バーの幅が対向部分を小さくなるように細く形成されて
いることを特徴としている。
【0028】上記構成によれば、シグナルラインに接続
されている、IDTのバスバーの幅を、互いに隣り合う
箇所にて対向部分が小さくなるように細く形成したこと
により、各IDTの間の橋絡容量を低減できて、そのよ
うな橋絡容量による、信号用端子、特に平衡信号用の信
号用端子に対する影響を抑制できるので、信号伝搬特性
を改善できる。
【0029】上記弾性表面波装置では、圧電基板上に、
IDTに接続された弾性表面波共振子が設けられていて
もよい。上記構成によれば、弾性表面波共振子をIDT
に対し、例えば直列に接続して、それらの反共振点を重
ねることにより、減衰特性を改善できる一方、弾性表面
波共振子をIDTに対し、例えば並列に接続して、共振
点を減衰点に合わせることで、急峻な減衰量が得られ
る。
【0030】上記弾性表面波装置においては、平衡−不
平衡変換機能を有するようになっていてもよい。上記構
成によれば、平衡信号用の各信号用端子の間での共振モ
ードの差を低減できるので、平衡信号用の各信号用端子
間の平衡度が良好で、かつ、通過帯域外の減衰量が大き
いというように、平衡−不平衡変換機能の特性を向上で
きる。
【0031】上記弾性表面波装置においては、平衡信号
用の各信号用端子に接続されているIDTの電極指の総
本数が偶数であることが好ましい。上記構成によれば、
平衡信号用の信号用端子に接続されているIDTの電極
指の総本数を偶数本とすることで、さらに平衡信号用の
各信号用端子間の平衡度を改善することができる。
【0032】
【発明の実施の形態】本発明の実施の各形態について図
1ないし図19に基づいて説明すれば、以下の通りであ
る。
【0033】(実施の第一形態) 図1に、本発明の実施の第一形態に係る弾性表面波装置
の構成を示す。なお、以後の実施の各形態では、PCS
(Personal Communication System) 受信用フィルタを例
に挙げて説明する。実施の第一形態に係る弾性表面波装
置では、図1に示すように、例えば40±5°Ycut
X伝搬LiTaO3からなる圧電基板20上に、縦結合
共振子型弾性表面波部1、および縦結合共振子型弾性表
面波部1に対し直列接続された弾性表面波共振子として
の各IDT2、3がフォトリソグラフィー法等により形
成されたアルミニウム(Al)電極(箔)によって設け
られている。
【0034】IDT2、3は、帯状の基端部(バスバ
ー)と、その基端部の一方の側部から直交する方向に延
びる複数の、互いに平行な電極指とを備えた電極指部を
2つ備えており、上記各電極指部の電極指の側部を互い
に対面するように互いの電極指間に入り組んだ状態にて
上記各電極指部を有するものである。
【0035】このようなIDT2、3では、各電極指の
長さや幅、隣り合う各電極指の間隔、互いの電極指間で
の入り組んだ状態の対面長さを示す交叉幅を、それぞれ
設定することにより信号変換特性や、通過帯域の設定が
可能となっている。また、後述する他のIDTも同様の
構成や機能を有するものとする。
【0036】縦結合共振子型弾性表面波部1では、平衡
信号用のIDT5が設けられ、さらに、IDT5を左右
(弾性表面波の伝搬方向に沿って)から挟み込むよう
に、不平衡信号用の各IDT4、6が形成され、それら
の両側(弾性表面波の伝搬方向に沿った両側)に、リフ
レクタ7、8がそれぞれ形成されている。上記各リフレ
クタ7、8は、伝搬してきた弾性表面波を反射するため
のものである。
【0037】IDT4とIDT5の間、およびIDT5
とIDT6の間の数本の電極指(狭ピッチ電極指)のピ
ッチを、IDTの他の部分の電極指のピッチよりも小さ
く設定している(図1の13と14の箇所)。これによ
り、挿入損失を低減している。IDT5には、2つの平
衡信号用端子(接続部)10、11が各シグナルライン
10a、11aを介して接続されている。各IDT4、
5の一方の電極指部には、IDT2、3およびシグナル
ライン9aを介して不平衡信号用端子(接続部)9が接
続されている。各IDT4、5の他方の電極指部はアー
ス21にそれぞれ接続されている。
【0038】IDT2と、各IDT4、6との間を接続
するシグナルライン(接続部)12が配置されている。
これにより、シグナルライン12は、2つの平衡信号用
端子10、11の内、一方の平衡信号用端子10を囲む
ように対面することになる。また各IDT2、3は、不
平衡信号用端子9と各IDT4、6の間に直列接続され
ている。ちなみに図1では図を簡潔にするために電極指
の本数を少なく示している。
【0039】縦結合共振子型弾性表面波部1の詳細な設
計例は、狭ピッチ電極指のピッチで決まる波長をλI2
(図1における13、14の箇所)、その他の電極指の
ピッチで決まる波長をλI1とすると、 交叉幅W:60.6λI1 IDT本数(IDT4、IDT5、IDT6の順):3
3(4)/(4)52(4)/(4)33本(カッコ内
はピッチを小さくした電極指の本数を示し、(4)52
(4)における(4)は、52本の電極指の弾性表面波
の伝搬方向の両端部側でそれぞれ狭ピッチ化したことを
示す) IDT波長λI1:2.06μm、λI2:1.88μm リフレクタ波長λR:2.07μm リフレクタ本数:100本 IDT−IDT間隔:0.50λI2 波長λI1とλI2の電極指に挟まれた箇所の間隔(図1
の15、16、17、18):0.25λI1+0.2
5λI2 IDT−リフレクタ間隔:0.47λR duty:0.60(IDT、リフレクタ共) 電極膜厚:0.080λI1 弾性表面波共振子であるIDT2の詳細な設計例を以下
に示す。 交叉幅W:49.1λ IDT本数:401本 波長λ(IDT、リフレクタ共):2.04μm リフレクタ本数:30本 IDT−リフレクタ間隔:0.50λ duty:0.60(IDT、リフレクタ共) 電極膜厚:0.080λ 弾性表面波共振子であるIDT3の詳細な設計例を以下
に示す。 交叉幅W:40.6λ IDT本数:241本 波長λ(IDT、リフレクタ共):1.97μm リフレクタ本数:30本 IDT−リフレクタ間隔:0.50λ duty:0.60(IDT、リフレクタ共) 電極膜厚:0.084λ なお、上記の間隔とは、隣り合う各電極指同士の中心間
の距離を示している。
【0040】実施の第一形態では、アルミニウム(A
l)電極(箔)からなるアースライン19がシグナルラ
イン12と平衡信号用端子10の間の圧電基板20上に
形成つまり挿入されている。アースライン19は、例え
ばパッド状に形成された平衡信号用端子10の周囲を囲
むように、例えばコの字状に形成されていることが好ま
しい。
【0041】また、製作上の容易さから、アースライン
19は、シグナルライン12と平衡信号用端子10との
中間部(等間隔)となるように形成されていることが望
ましい。
【0042】図1では、アースライン19は、アース2
1に接続されているが、アース21への接続を省いて、
アース21に接続されているアース電極指部を備えた各
IDT4、6の少なくとも一方のアース電極指部に接続
されていてもよい。また、アースライン19を、ワイヤ
ボンディングや、圧電基板20を貫通するスルーホール
を介して背面側からアース21に接続してもよい。
【0043】次に、このようなアースライン19を設け
た作用・効果について説明する。本実施の第一形態の構
成での、周波数に対する平衡信号用端子10、11間に
おける、振幅平衡度の測定結果を図2に示すグラフに、
位相平衡度の測定結果を図3に示すグラフに示した。
【0044】比較として、図4に示す、シグナルライン
12と平衡信号用端子10の間にアースライン19を挿
入していない、従来例の構成での振幅平衡度、位相平衡
度の各測定結果を、それぞれ図2および図3に合わせて
示した。図4の従来例の構成は実施の第一形態に対し
て、アースライン19を挿入していない以外は、全く同
じ構成である。弾性表面波装置としてのPCS受信用フ
ィルタにおける通過帯域の周波数範囲は、例えば193
0MHz〜1990MHzに設定されている。
【0045】この範囲での最大の振幅平衡度のずれは、
図2に示した結果から、従来例では1.9dBであるの
に対し、本実施の第一形態では1.3dBであった。こ
のことから、本実施の第一形態の弾性表面波装置におい
ては、振幅平衡度は約0.6dB従来例より改善されて
いることが分かる。
【0046】次に位相平衡度は、図3に示した結果から
から、従来例では最大11.5度のずれであるに対し、
本実施の第一形態では最大7.5度のずれであった。こ
れにより、本実施の第一形態の弾性表面波装置では、位
相平衡度は約4度改善されていることが分かる。
【0047】これらの改善は、シグナルライン12と平
衡信号用端子10の間にアースライン19を挿入したこ
とによりシールド効果が得られ、シグナルライン12と
平衡信号用端子10の間の橋絡容量を低減した効果に起
因するものと考えられた。
【0048】さらに実施の第一形態の構成での周波数に
対する振幅特性を図5、図7に、従来例の構成での振幅
特性を図6、図8に示した。図5ないし図8を比較する
と通過帯域外の減衰量が、従来例に比べて実施の第一形
態で大きく改善されていることが分かる。例えば、通過
帯域に対し高域側におけるごく近傍の通過帯域外(20
20MHz〜2060MHz付近)では、図5と図6と
の比較から、本実施の第一形態は、減衰量が従来例と比
べて2dB〜3dB改善されていることが分かる。
【0049】ところで、平衡−不平衡変換機能を有する
フィルタ装置、もしくは平衡入力−平衡出力を備えたフ
ィルタ装置は、フィルタ装置の平衡信号用端子間の平衡
度が理想的な状態であれば、通過帯域外の減衰量は無限
大となる。
【0050】実施の第一形態では、従来例に比べて平衡
信号用端子10、11間の平衡度が改善されたため、通
過帯域外の減衰量が大きくなっており、特に改善されて
いるのは、通過帯域より低域側(0〜1500MHz付
近)、および通過帯域より高域側のごく近傍(2020
MHz〜2060MHz付近)である。
【0051】近年の移動体通信システムでは、様々な理
由で特に通過帯域近傍の減衰量が必要になるケースが多
い。このため、本発明を実施することで得られる弾性表
面波装置は、移動体通信システム、特にGHz帯域以上
の帯域を用いる移動体通信システムに非常に適している
と言える。
【0052】(実施の第二形態) 本実施の第一形態では、シグナルライン12と平衡信号
用端子10とが隣り合う間にアースライン19を挿入す
ることで、上記両者間での橋絡容量が低減されている。
この箇所以外でシグナルライン(信号伝搬線路)が隣り
合う箇所としては、図1に示すように、各IDT4、
5、6の各バスバー4a、5a、6aが挙げられる。シ
グナルラインに接続されている側における、各IDT
4、5、6の各バスバー4a、5a、6aが互いに隣り
合うと、そこで大きな橋絡容量が発生することになる。
【0053】そこで、本実施の第二形態では、上記の橋
絡容量を低減する構成として、アースライン19を省い
て、例えば図9のような構成が考えられた。図9の構成
では、図4の構成を基本として、図4において互いに各
バスバー4a、5aが隣り合っている箇所の最外部の電
極指を間引きしたIDT24が設けられている。
【0054】さらに、上記IDT24における、間引き
した電極指24aをアース21側に接続することで、2
つの各IDT5、24は、互いに隣り合う箇所において
各シグナル電極指の隣り合うことを回避、つまりアース
21に接続された電極指24aを介在するように設定さ
れている。
【0055】さらに、本実施の第二形態では、各IDT
24、5、26の互いに隣り合う箇所に(対面する箇
所)における、アース21に接続された電極指24a、
24b、26aは、それらの先端部が交叉幅方向に長く
延伸されており、シグナルライン12に接続されている
各バスバー24c、5a、26bの間に挿入(介在)さ
れるようになっている。
【0056】これら各電極指24a、24b、26aに
より実施の第一形態と同じくシグナルライン12間や、
シグナルライン12と平衡信号用端子10との間にシー
ルド効果が得られ、それらの間に発生する橋絡容量を低
減することができて、前述と同様に信号伝搬特性を改善
できる。なお、上記各IDT24、26については、電
極指24a、24b、26a以外の構成および機能は前
述した各IDT4、6とそれぞれ同様なものである。
【0057】以上説明したように実施の第一および第二
形態では、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装
置において、互いに隣り合う、シグナルライン12間
や、シグナルライン12と平衡信号用端子10との間
を、アースライン19や、各電極指24a、24b、2
6aの挿入・配置によってシールドすることで、従来の
弾性表面波装置よりも平衡信号用端子10、11間の平
衡度を改善した弾性表面波装置が得られる。
【0058】実施の第一および第二形態では、縦結合共
振子型弾性表面波部1の3つの各IDT4、5、6、ま
たは各IDT24、5、26の内、中央のIDT5にお
ける電極指の総本数を偶数本としたが、これは各平衡信
号用端子10、11に接続されている電極指の本数を同
じにすることで、本発明の効果から更に平衡信号用端子
10、11間の平衡度を改善することができるためであ
る。
【0059】なお、平衡信号用端子10、11間の平衡
度をさらに改善するには実施の第一形態の様に中央のI
DT5の電極指の総本数は偶数本であることが望ましい
が、これが奇数本であっても、本発明の効果は同様に得
られる。
【0060】(実施の第三形態) 実施の第一および第二形態においては、縦結合共振子型
弾性表面波部1に対し、弾性表面波共振子としての各I
DT2、3が直列接続されていたが、これは通過帯域よ
り高域側の減衰量を大きくすることが目的であり、図1
0のように、図1の構成から、各IDT2、3を省い
た、本実施の第三形態においても、本発明の効果が得ら
れる。
【0061】なお、実施の第一および第二形態では、3
つのIDTを有する縦結合共振子型弾性表面波部1に2
つの弾性表面共振子としてのIDT2、3を直列接続し
た構成で縦結合共振子型弾性表面波部1の中央部のID
T5から平衡信号を得る構成で説明したが、本発明はこ
の構成に限らず、信号用端子およびシグナルラインを有
するどのような構成の弾性表面波装置においても、同様
な効果が得られる。
【0062】例えば2つや3つ以上のIDTを有する縦
結合共振子型の弾性表面波装置の場合や弾性表面共振子
を並列接続した場合、図11のように不平衡信号を、縦
結合共振子型の弾性表面波装置のIDTのそれぞれ逆側
から入力(出力)した場合、図12のように縦結合共振
子型弾性表面波部1を2段縦続接続した場合、図13の
ように入力信号、出力信号の両方が各平衡信号用端子1
0、11、22、23の場合でも、同様な効果が得られ
る。
【0063】(実施の第四形態) 本実施の第四形態では、図10に示した中央部のIDT
5を、図14に示すように、交叉幅方向に二分割したI
DT5bが、IDT5に代えてもうけられている。本実
施の第四形態においても、本発明の効果が同様に得られ
る。
【0064】なお、上記図10ないし図14に示した構
成では、図1に示した構成と同一の機能を有する部材に
ついては同一の部材番号を付与してそれらの説明を省い
た。また、後述する他の構成についても同様である。
【0065】また、実施の第一ないし第四形態のように
平衡信号用端子10、11間に電気的中性点を形成しな
い構成だけではなく平衡信号用端子間に電気的中性点を
有する構成においても、橋絡容量を低減することで、同
様に平衡信号用端子間の平衡度が改善した弾性表面波装
置が得られる。
【0066】(実施の第五形態) ところで、前述の実施の第一及び第二形態で設けたアー
スライン19をアースに落とすには、IDT4、6をア
ースに落とすために圧電基板20上に設けられた、ワイ
ヤボンディング用やバンプボンディング用の電極パッド
に対し、上記アースライン19を接続する方法が望まし
い。
【0067】しかしながら、例えば図4の構成では、圧
電基板20上の引き回しだけでは、上記方法を実施する
ことは不可能であり、アースライン19をアースに落と
すために、新たに電極パッドを圧電基板20上に設ける
必要がある。
【0068】そこで、本実施の第五形態では、図15に
示すように、IDT5と隣り合うIDT6におけるアー
スに設置された電極指6bとアースライン19とを互い
に接続すれば、新たに電極パッドを設けることを省い
て、アースライン19をアースに落とす(接続する)こ
とができる。この構成及び方法では、新たに電極パッド
を圧電基板20上に設ける必要がなくなるので、結果的
に弾性表面波装置の小型化にも効果がある。
【0069】(実施の第六形態) 本発明の実施の第六形態に係る弾性表面波装置について
図16に基づき以下に説明する。本実施の第六形態の構
成は、前述の実施の第一形態からアースライン19を省
いて、下記の新たな構成を加えたものである。よって、
本実施の第六形態では、新たな構成以外の構成について
は実施の第一形態と同一の部材番号を付与してそれらの
説明を省いた。
【0070】本実施の第六形態では、新たな構成とし
て、シグナルライン12に接続されている各IDT3
4、36のバスバー34a、36aと、IDT35のバ
スバー35aとに対し、各バスバー34a、35a、3
6aの通常の幅よりも小さく(細く)設定して、それら
の対向部分での間隔を大きくするように、また、それら
の対向部分を小さくなるように設定した各バスバー狭小
部34b、35b、35c、36bが設けられている。
【0071】よって、各バスバー狭小部34b、35
b、35c、36bは、バスバー34a、36aと、バ
スバー35aとが隣り合っている箇所で、隣り合って対
面している付近の各バスバー34a、35a、36aの
幅を他の部分の幅よりも小さく(細く)設定したもので
ある。
【0072】バスバー狭小部34bは、バスバー34a
におけるバスバー35aと隣り合う角部に形成されてい
ることになる。各バスバー狭小部35b、35cは、各
バスバー34a、36aとそれぞれ隣り合う、各角部に
それぞれ形成されていることになる。バスバー狭小部3
6bは、バスバー36aにおけるバスバー35aと隣り
合う角部に形成されていることになる。
【0073】上記各IDT34、35、36は、各バス
バー狭小部34b、35b、35c、36bを除いて、
図1に示す各IDT4、5、6の構成や機能とそれぞれ
同一なものである。
【0074】本実施の第六形態では、シグナルライン1
2に接続されている側の、各バスバー34a、35a、
36aが隣り合っている箇所で隣り合っている付近を細
くした各バスバー狭小部34b、35b、35c、36
bを有しているので、実施の第一形態と同様に、橋絡容
量の低減効果がある。したがって、実施の第一形態と同
様に平衡信号用端子10、11間の平衡度の改善効果が
得られ、さらに通過帯域外減衰量の改善効果が得られ
る。
【0075】しかし、図16のように、幅を細くした各
バスバー狭小部34b、35b、35c、36bを設け
ると、その箇所で焦電破壊を起こし、各バスバー34
a、35a、36aが断線してしまう恐れがある。
【0076】その場合に備えて、図17および図18に
示したように細くした各バスバー狭小部34b、35
b、35c、36bに対し、もう1本細い、各連絡線3
4c、35d、35e、36cを設けておくことで、橋
絡容量の低減効果を維持しながら、1本が焦電破壊で断
線しても電気的導通を保持することができる。
【0077】さらに、本発明の効果は、実施の第一ない
し第六形態にて示した縦結合共振子型の弾性表面波装置
だけではなく、平衡信号用端子を有する横結合共振子型
弾性表面波装置やトランスバーサル型弾性表面波装置に
おいても、アースライン19の設定や電極指24a、2
4b、26aの設定により同様な効果が得られる。
【0078】実施の第一ないし第六形態では40±5°
YcutX伝搬LiTaO3からなる圧電基板20を用
いたが、効果が得られる原理からも理解されるように、
本発明はこの圧電基板20に限らず、64〜72°Yc
utX伝搬LiNbO3、41°YcutX伝搬LiN
bO3などの他の圧電基板を用いた場合でも同様な効果
が得られる。
【0079】また、上記実施の第一ないし第六形態で
は、それぞれの特徴を個々に用いた例を挙げたが、それ
らをどの様に組み合わせてもよく、それらの組み合わせ
によりさらに上述した各効果を改善できる。
【0080】さらに、上記実施の第一ないし第六形態に
記載した、橋絡容量を低減する構成については、上述構
成に限らず、例えばパッケージの構造を従来の構造から
橋絡容量が低減する構造に変更することや、2つのID
Tが隣り合う箇所に、数本のアース電極、つまりショー
トリフレクタを挿入することでシグナルラインに接続さ
れているバスバー同士を遠ざける、離間の間隔を大きく
することでも、同様に本発明の効果が得られる。
【0081】次に、本発明の弾性表面波装置を用いた通
信装置について図19に基づき説明すると、図19に示
すように、上記通信装置200は、受信を行うレシーバ
側(Rx側)として、アンテナ201、アンテナ共用部
/RFTopフィルタ202、アンプ203、Rx段間
フィルタ204、ミキサ205、1stIFフィルタ2
06、ミキサ207、2ndIFフィルタ208、1s
t+2ndローカルシンセサイザ211、TCXO(te
mperature compensated crystal oscillator(温度補償
型水晶発振器))212、デバイダ213、ローカルフ
ィルタ214を備えて構成されている。Rx段間フィル
タ204からミキサ205へは、図19に二本線で示し
たように、バランス性を確保するために各平衡信号にて
送信することが好ましい。
【0082】また、上記通信装置200は、送信を行う
トランシーバ側(Tx側)として、上記アンテナ201
および上記アンテナ共用部/RFTopフィルタ202
を共用するとともに、TxIFフィルタ221、ミキサ
222、Tx段間フィルタ223、アンプ224、カプ
ラ225、アイソレータ226、APC(automaticpow
er control (自動出力制御))227を備えて構成さ
れている。
【0083】そして、上記のRx段間フィルタ204に
は、上述した本実施の第一ないし第六形態に記載の弾性
表面波装置が好適に利用できる。
【0084】
【発明の効果】本発明の弾性表面波装置は、以上のよう
に、圧電基板上に、平衡信号用を含む信号用端子、およ
び信号用端子と縦結合共振子型弾性表面波装置を構成す
るIDTとを接続するシグナルラインが設けられ、圧電
基板上に、アースラインが互いに隣り合う信号用端子と
シグナルラインとの間に設けられている構成である。
【0085】本発明のさらに他の弾性表面波装置は、以
上のように、圧電基板上に、入力された信号を弾性表面
波に変換して出力するためのIDTが、複数、弾性表面
波の伝搬方向に沿って設けられ、平衡信号用を含む信号
用端子が圧電基板上に設けられ、信号用端子とIDTと
を接続するシグナルラインが圧電基板上に設けられ、互
いに隣り合う信号用端子とシグナルラインとの間の圧電
基板上に、アースラインがパッド状に形成された信号用
端子を囲むように設けられている構成である。
【0086】それゆえ、上記構成は、アースラインを設
けたことにより、互いに隣り合う信号用端子とシグナル
ラインとの間に形成される橋絡容量を低減させることが
できて、信号用端子での信号伝搬特性を改善できるとい
う効果を奏する。
【0087】また、上記構成では、信号用端子での信号
伝搬特性を改善できるので、さらに通過帯域外の減衰量
を大きくできるという効果を奏する。
【0088】本発明のさらに他の弾性表面波装置は、以
上のように、互いに隣り合う2つのIDTのうち少なく
とも一方のIDTにおける、上記2つのIDTの対向す
る最外部に、アース電極指が上記アース電極指の先端部
を交叉幅方向に延ばして設けられている構成である。
【0089】それゆえ、上記構成は、アース電極指を設
けたことにより、互いに隣り合う2つのIDT間に形成
される橋絡容量を低減させることができて、信号用端子
での信号伝搬特性を改善できるという効果を奏する。
【0090】本発明のさらに他の弾性表面波装置は、以
上のように、シグナルラインに接続されている、IDT
におけるバスバーの幅が、互いに隣り合う箇所にて対向
部分を小さくなるように細く形成されている構成であ
る。
【0091】それゆえ、上記構成は、各IDTのバスバ
ーが隣り合う箇所において上記バスバーの幅を細くする
ことで、上記各IDT間の橋絡容量を低減させることが
でき、信号用端子での信号伝搬特性を改善できるという
効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の第一形態に係る弾性表面波装置
の概略構成図である。
【図2】上記実施の第一形態の弾性表面波装置と、従来
例での弾性表面波装置とにおける、振幅平衡度の差を示
すグラフである。
【図3】上記実施の第一形態の弾性表面波装置と、従来
例での弾性表面波装置とにおける、位相平衡度の差を示
すグラフである。
【図4】上記実施の第一形態の弾性表面波装置と比較す
るための、従来例の弾性表面波装置の概略構成図であ
る。
【図5】上記実施の第一形態に係る弾性表面波装置にお
ける周波数に対する伝送特性(狭いスパン)を示すグラ
フである。
【図6】上記従来例の弾性表面波装置における周波数に
対する伝送特性(狭いスパン)を示すグラフである。
【図7】上記実施の第一形態に係る弾性表面波装置にお
ける周波数に対する伝送特性(広いスパン)を示すグラ
フである。
【図8】上記従来例の弾性表面波装置における周波数に
対する伝送特性(広いスパン)を示すグラフである。
【図9】本発明の実施の第二形態に係る弾性表面波装置
の概略構成図である。
【図10】本発明の実施の第三形態に係る弾性表面波装
置の概略構成図である。
【図11】上記実施の第三形態に係る弾性表面波装置に
おける、橋絡容量を低減するための他の一変形例を示す
概略構成図である。
【図12】上記実施の第三形態に係る弾性表面波装置に
おける、橋絡容量を低減するための一変形例を示す概略
構成図である。
【図13】上記実施の第三形態に係る弾性表面波装置に
おける、橋絡容量を低減するための他の一変形例を示す
概略構成図である。
【図14】本発明の実施の第四形態に係る弾性表面波装
置の概略構成図である。
【図15】本発明の実施の第五形態に係る弾性表面波装
置の概略構成図である。
【図16】本発明の実施の第六形態に係る弾性表面波装
置の概略構成図である。
【図17】上記弾性表面波装置の一変形例を示す概略構
成図である。
【図18】上記図17に示す弾性表面波装置の要部拡大
図である。
【図19】本発明の弾性表面波装置を用いた通信装置の
要部ブロック図である。
【図20】従来の弾性表面波装置の概略構成図である。
【図21】従来の弾性表面波装置において、橋絡容量が
小さい場合の共振モードの変化を示すグラフ(シミュレ
ーション)である。
【図22】従来の弾性表面波装置において、橋絡容量が
大きい場合の共振モードの変化を示すグラフ(シミュレ
ーション)である。
【符号の説明】
4 IDT(くし型電極) 5 IDT(くし型電極) 6 IDT(くし型電極) 10 平衡信号用端子(信号用端子) 11 平衡信号用端子(信号用端子) 12 シグナルライン 19 アースライン 20 圧電基板
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−5573(JP,A) 特開 平9−186543(JP,A) 特開 平4−278707(JP,A) 特開 平9−252232(JP,A) 特開 平9−98065(JP,A) 特開 平1−231417(JP,A) P.J.Edmoson,C.K.C ampbell,Effect of Stray Coupling on the Balance of a D ifferential LSAW F ront−End Resonator −Filter for Wirel e,1999 IEEE ULTRASON ICS SYMPOSIUM,VOL. 1,p.361−364

Claims (11)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】圧電基板上に、入力された信号を弾性表面
    波に変換して出力するためのくし型電極部が、複数、弾
    性表面波の伝搬方向に沿って、縦結合共振子型弾性表面
    波装置を構成するように設けられ、 平衡信号用を含む信号用端子が圧電基板上に設けられ、 信号用端子とくし型電極部とを接続するシグナルライン
    が圧電基板上に設けられ、 互いに隣り合う信号用端子とシグナルラインとの間の圧
    電基板上に、アースラインが設けられていることを特徴
    とする弾性表面波装置。
  2. 【請求項2】入出力の一方の信号用端子とくし型電極部
    とを接続するシグナルラインが、入出力の他方の信号用
    端子を囲むように配置されていることを特徴とする請求
    項1記載の弾性表面波装置。
  3. 【請求項3】前記アースラインは、くし型電極部のアー
    ス電極指のみに接続されていることを特徴とする請求項
    1または2記載の弾性表面波装置。
  4. 【請求項4】前記アースラインは、圧電基板上でくし型
    電極部と接続されていないことを特徴とする請求項1ま
    たは2記載の弾性表面波装置。
  5. 【請求項5】圧電基板上に、入力された信号を弾性表面
    波に変換して出力するためのくし型電極部が、複数、弾
    性表面波の伝搬方向に沿って設けられ、 平衡信号用を含む信号用端子が圧電基板上に設けられ、 信号用端子とくし型電極部とを接続するシグナルライン
    が圧電基板上に設けられ、 互いに隣り合う信号用端子とシグナルラインとの間の圧
    電基板上に、アースラ インが、パッド状に形成された信
    号用端子を囲むように設けられている ことを特徴とする
    弾性表面波装置。
  6. 【請求項6】圧電基板上に、入力された信号を弾性表面
    波に変換して出力するためのくし型電極部が、複数、弾
    性表面波の伝搬方向に沿って設けられ、 平衡信号用を含む信号用端子が圧電基板上に設けられ、 信号用端子とくし型電極部とを接続するシグナルライン
    が圧電基板上に設けられ、 互いに隣り合う2つのくし型電極部のうち少なくとも一
    方のくし型電極部における、上記2つのくし型電極部の
    対向する最外部に、アース電極指が上記アース電極指の
    先端部を、該くし型電極部の他の電極指よりも交叉幅方
    向に延ばして設けられている ことを特徴とする弾性表面
    波装置。
  7. 【請求項7】圧電基板上に、入力された信号を弾性表面
    波に変換して出力するためのくし型電極部が、複数、弾
    性表面波の伝搬方向に沿って設けられ、 平衡信号用を含む信号用端子が圧電基板上に設けられ、 信号用端子とくし型電極部とを接続するシグナルライン
    が圧電基板上に設けられ、 シグナルラインに接続されている該くし型電極部が互い
    に隣り合う箇所にて、該くし型電極部におけるバスバー
    の幅が対向部分を小さくなるように細く形成されている
    ことを特徴とする弾性表面波装置。
  8. 【請求項8】圧電基板上に、くし型電極部に接続された
    弾性表面波共振子が設けられていることを特徴とする請
    求項1ないし7の何れかに記載の弾性表面波装置。
  9. 【請求項9】平衡−不平衡変換機能を有していることを
    特徴とする請求項1ないし8の何れかに記載の弾性表面
    波装置。
  10. 【請求項10】前記平衡信号用の信号用端子に接続され
    ている、くし型電極部の電極指の総本 数が偶数であるこ
    とを特徴とする請求項1ないし9の何れかに記載の弾性
    表面波装置。
  11. 【請求項11】請求項1ないし10の何れかに記載の弾
    性表面波装置を用いたことを特徴とする通信装置。
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