JP2004304513A - 弾性表面波装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】アース端子を共通のＧＮＤに接続することにより、ＧＮＤを強化して、フィルタ特性にすぐれた弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】少なくとも３個の櫛形電極の両側に反射器電極２２ａ，２２ｂ，２４ａ，２４ｂを設けてなる縦モード結合型の弾性表面波装置に２組以上並列接続した弾性表面波装置９において、櫛形電極のうちアース端子１０に接続された端子を同じ側に設け、アース端子１０に接続された端子全てを共通するアース端子１０に接続する構成を有しており、これによりパッドの個数を最小限に減らすことができ、小型でフィルタ特性に優れた弾性表面波装置９を得ることができる。
【選択図】 図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は携帯電話等に用いられる縦モード結合型の弾性表面波装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、携帯電話などの小型化、高性能化のために携帯電話に用いられる電子部品例えば弾性表面波装置においても小型化が求められている。
【０００３】
この要望を満足するために、従来弾性表面波装置の電極パターンのレイアウトを検討することにより対応していたが、この方法では対処できる範囲に限界があることが知られている。
【０００４】
図１４は従来の弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図である。
【０００５】
図１４において、１６１ａ、１６１ｂ、１６１ｃは櫛形電極、１６２はこの櫛形電極１６１の両側に設けられた反射器電極、１６３はアース端子に接続したパッド、１６４は入力端子のパッド、１６５は出力端子のパッド、１６６は基板である。図からわかるように従来の電極パターン設計ではパッドが５個必要であり、その個数分のパッド面積を必要とするため小型化が困難であり、またそれぞれのアース端子に接続したパッドからＧＮＤに接続しているためＧＮＤのレベルが不均一で弱くなりフィルタ特性が劣化するという課題を有していた。
【０００６】
一方この問題を解決する別の手段として従来通過帯のカットオフ特性を改善し阻止減衰量を増大させるために従来付加されていた段間の結合容量あるいはインダクタンスを不要とすることにより小型化する方法が用いられていた。
【０００７】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【０００８】
【特許文献１】
特開平１０−２２４１７９号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のように段間の結合容量あるいはインダクタンスを省くという構成では、小型化可能な割合が限定されそれ以上の小型化は困難であり、またそれぞれのアース端子に接続したパッドから別々にＧＮＤに接続しているためＧＮＤのレベルが不均一で高くなりフィルタ特性が劣化するという課題を有していた。
【００１０】
本発明は上記従来の課題を解決するものであり、櫛形電極のうちアース端子に接続された端子を同じ側に設け、前記アース端子に接続された端子全てを共通するアース端子に接続し、アース端子の反対側に前記櫛形電極に接続する入、出力端子のパッドを設けた構成にすることにより、パッドを形成するのに必要な面積を削減し、従来より小型化するとともに、アース端子を共通するＧＮＤに接続することによりＧＮＤを強化し、フィルタ特性に優れた弾性表面波装置を提供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【００１２】
本発明の請求項１に記載の発明は、圧電性を有する基板上に櫛形電極とこの櫛形電極から発生した表面波が伝搬する方向に沿って前記櫛形電極の両側に反射器電極を設けてなる縦モード結合型の弾性表面波装置において、前記櫛形電極を少なくとも３個以上設け、前記櫛形電極のうちアース端子に接続された端子を前記櫛形電極の同じ側に設け、前記アース端子に接続された端子全てを共通するアース端子に接続し、前記櫛形電極の反対側に前記櫛形電極に接続する入、出力端子を設けてなる弾性表面波装置を、弾性表面波の伝搬方向に沿って少なくとも２組以上並列接続したという構成を有しており、これにより外部端子に接続するパッドの個数を少なくすることができるとともにアース端子を共通にすることによりＧＮＤの電位を低減することができるため、弾性表面波装置を小型化できるとともに減衰量を大きくすることができるという作用効果が得られる。
【００１３】
本発明の請求項２に記載の発明は、反射器電極はストリップ電極とバスバー電極からなり、前記ストリップ電極の電極間隔を異ならせたという構成を有しており、これにより反射器の反射特性を変化させることができ、スプリアスを小さくするとともに減衰量を大きくすることができるという作用効果が得られる。
【００１４】
本発明の請求項３に記載の発明は、反射器電極においてストリップ電極の電極間隔が少なくとも一部異なる領域を有するという構成を有しており、これにより反射器の反射特性を変化させることができ、スプリアスを小さくするとともに減衰量を大きくすることができるという作用効果が得られる。
【００１５】
本発明の請求項４に記載の発明は、電極間隔が全て異なるという構成を有しており、これにより反射器の反射特性を変化させることができ、スプリアスを小さくするとともに減衰量を大きくすることができるという作用効果が得られる。
【００１６】
本発明の請求項５に記載の発明は、反射器電極はストリップ電極とバスバー電極からなり、前記ストリップ電極の電極間隔は等間隔で、バスバー電極の幅が少なくとも一部異なる領域を設けたという構成を有しており、これにより反射器の反射特性を変化させることができ、スプリアスを小さくするとともに減衰量を大きくすることができるという作用効果が得られる。
【００１７】
本発明の請求項６に記載の発明は、入、出力端子は、一方または複数の入、出力端子が平衡動作するという構成を有しており、これにより外付け回路またはデバイスとのインピーダンス整合を取りやすくなるため損失を小さくすることができるという作用効果が得られる。
【００１８】
本発明の請求項７に記載の発明は、弾性表面波装置をｎ（ｎは２以上の正の整数）組以上配置した場合の各端子から見たインピーダンスが５０ｎΩであるという構成を有しており、これにより入、出力端子から見た弾性表面波装置のインピーダンスを５０Ωにすることができるため外付け回路またはデバイスとのインピーダンス整合を取りやすくなり、損失を小さくすることができるという作用効果が得られる。
【００１９】
本発明の請求項８に記載の発明は、入、出力端子は、少なくともいずれか一方を圧電性を有する基板上で全て共通する端子に接続したという構成を有しており、これによりＧＮＤの共通化及び強化ができるため、弾性表面波装置の減衰量を大きくすることができるという作用効果が得られる。
【００２０】
本発明の請求項９に記載の発明は、圧電性を有する基板上に櫛形電極とこの櫛形電極から発生した表面波が伝搬する方向に沿って前記櫛形電極の両側に反射器電極を設けてなる縦モード結合型の弾性表面波装置において、前記櫛形電極を少なくとも３個以上設け、前記櫛形電極のうちアース端子に接続された端子を前記櫛形電極の同じ側に設け、前記アース端子に接続された端子全てを共通するアース端子に接続し、前記櫛形電極の反対側に前記櫛形電極に接続する入、出力端子を設けてなる弾性表面波装置を、弾性表面波の伝搬方向に少なくとも２組以上並列接続し、前記弾性表面波装置間に前記反射器電極を１つ設けたという構成を有しており、これにより反射器電極の個数を減らすことができるため弾性表面波装置を小型化することができるという作用効果が得られる。
【００２１】
本発明の請求項１０に記載の発明は、入、出力端子は、一方または複数の入、出力端子が平衡動作するという構成を有しており、これにより外付け回路またはデバイスとのインピーダンス整合を取りやすくなるため損失を小さくすることができるという作用効果が得られる。
【００２２】
本発明の請求項１１に記載の発明は、弾性表面波装置をｎ（ｎは２以上の正の整数）組以上配置した場合の各端子から見たインピーダンスが５０ｎΩであるという構成を有しており、これにより入、出力端子から見た弾性表面波装置のインピーダンスを５０Ωにすることができるため外付け回路またはデバイスとのインピーダンス整合を取りやすくなり、損失を小さくすることができるという作用効果が得られる。
【００２３】
本発明の請求項１２に記載の発明は、入、出力端子は、少なくともいずれか一方を圧電性を有する基板上で全て共通する端子に接続したという構成を有しており、これによりＧＮＤの共通化及び強化ができるため、弾性表面波装置の減衰量を大きくすることができるという作用効果が得られる。
【００２４】
本発明の請求項１３に記載の発明は、圧電性を有する基板上に櫛形電極とこの櫛形電極から発生した表面波が伝搬する方向に沿って前記櫛形電極の両側に反射器電極を設けてなる縦モード結合型の弾性表面波装置を２段結合してなる弾性表面波装置において、前記櫛形電極を少なくとも３個以上設け、前記櫛形電極のうちアース端子に接続された端子を前記櫛形電極の同じ側に設け、前記アース端子に接続された端子全てを共通するアース端子に接続し、前記アース端子の反対側に前記櫛形電極に接続する入、出力端子を設けてなる弾性表面波装置を接続電極により２段縦結合したという構成を有しており、これにより減衰量を大きくすることができるという作用効果が得られる。
【００２５】
本発明の請求項１４に記載の発明は、接続電極に流れる信号は逆位相であるという構成を有しており、これによりクロストークを低減することができるため弾性表面波装置の減衰量を大きくすることができるという作用効果が得られる。
【００２６】
本発明の請求項１５に記載の発明は、接続電極間を接続する電極を設けたという構成を有しており、これにより接続電極間を同電位とすることができるため弾性表面波装置の損失を小さくすることができるという作用効果が得られる。
【００２７】
本発明の請求項１６に記載の発明は、入、出力端子から見たインピーダンスが５０Ωであるという構成を有しており、これにより５０Ω系のデバイスまたは回路に直接接続することができるという作用効果が得られる。
【００２８】
本発明の請求項１７に記載の発明は、１段目と２段目の弾性表面波装置で、アース端子の位置が対称であるという構成を有しており、これによりバランス動作させることができるという作用効果が得られる。
【００２９】
本発明の請求項１８に記載の発明は、弾性表面波装置を基板またはパッケージに実装してなる弾性表面波装置において、アース端子は複数のワイヤーまたはバンプにより前記基板またはパッケージと接続されているという構成を有しており、これによりＧＮＤの接続インピーダンスを低減することができ、ＧＮＤ電位を理想状態に近づけられるため弾性表面波装置の減衰量を大きくすることができるという作用効果が得られる。
【００３０】
本発明の請求項１９に記載の発明は、入、出力端子は、少なくともいずれか一方を圧電性を有する基板上で全て共通する端子に接続したという構成を有しており、これによりＧＮＤの電位を低減することができるため、弾性表面波装置の減衰量を大きくすることができるという作用効果が得られる。
【００３１】
本発明の請求項２０に記載の発明は、圧電性を有する基板上に櫛形電極とこの櫛形電極から発生した表面波が伝搬する方向に沿って前記櫛形電極の両側に反射器電極を設けてなる縦モード結合型の弾性表面波装置を２段結合してなる弾性表面波装置において、前記櫛形電極を少なくとも３個以上設け、前記櫛形電極のうちアース端子に接続された端子を前記櫛形電極の同じ側に設け、前記アース端子に接続された端子全てを共通するアース端子に接続し、前記アース端子の反対側に前記櫛形電極に接続する入、出力端子を設けてなる弾性表面波装置を接続電極により２段縦結合した弾性表面波装置を、弾性表面波の伝搬方向に少なくとも２組以上並列接続したという構成を有しており、これにより外部端子に接続するパッドの個数を少なくするとともにアース端子を共通にすることによりＧＮＤの電位を低減することができるため、弾性表面波装置を小型化できるとともに減衰量を大きくすることができるという作用効果が得られる。
【００３２】
本発明の請求項２１に記載の発明は、接続電極に流れる信号の位相は、隣接する接続電極を同位相としたという構成を有しており、これにより接続電極間の抵抗を小さくすることができるため損失を小さくすることができるという作用効果が得られる。
【００３３】
本発明の請求項２２に記載の発明は、同位相の接続電極は幅の太い共通電極であるという構成を有しており、これにより接続電極のインピーダンスを低減することができるため弾性表面波装置の損失を小さくすることができるという作用効果が得られる。
【００３４】
本発明の請求項２３に記載の発明は、接続電極間を接続する電極を設けたという構成を有しており、これにより接続電極間を同電位とすることができるため弾性表面波装置の損失を低減することができるという作用効果が得られる。
【００３５】
本発明の請求項２４に記載の発明は、弾性表面波装置をｎ（ｎは２以上の正の整数）組以上配置した場合の各端子から見たインピーダンスが５０ｎΩであるという構成を有しており、これにより入、出力端子から見た弾性表面波装置のインピーダンスを５０Ωにすることができるため外付け回路またはデバイスとのインピーダンス整合を取りやすくなり、損失を小さくすることができるという作用効果が得られる。
【００３６】
本発明の請求項２５に記載の発明は、１段目と２段目の弾性表面波装置で、アース端子の位置が対称であるという構成を有しており、これによりバランス動作させることができるという作用効果が得られる。
【００３７】
本発明の請求項２６に記載の発明は、弾性表面波装置を基板またはパッケージに実装してなる弾性表面波装置において、アース端子は複数のワイヤーまたはバンプにより前記基板またはパッケージと接続されているという構成を有しており、これによりＧＮＤの接続インピーダンスを低減することができるため弾性表面波装置の減衰量を大きくすることができるという作用効果が得られる。
【００３８】
本発明の請求項２７に記載の発明は、入、出力端子は、少なくともいずれか一方を圧電性を有する基板上で全て共通する端子に接続したという構成を有しており、これによりＧＮＤの共通化及び強化ができるため、弾性表面波装置の減衰量を大きくすることができるという作用効果が得られる。
【００３９】
本発明の請求項２８に記載の発明は、圧電性を有する基板上に櫛形電極とこの櫛形電極から発生した表面波が伝搬する方向に沿って前記櫛形電極の両側に反射器電極を設けてなる縦モード結合型の弾性表面波装置を２段結合してなる弾性表面波装置において、前記櫛形電極を少なくとも３個以上設け、前記櫛形電極のうちアース端子に接続された端子を前記櫛形電極の同じ側に設け、前記アース端子に接続された端子全てを共通するアース端子に接続し、前記アース端子の反対側に前記櫛形電極に接続する入、出力端子を設けてなる弾性表面波装置を接続電極により２段縦結合した弾性表面波装置を、弾性表面波の伝搬方向に少なくとも２組以上並列接続し、前記接続電極間を接続する電極を設け、前記弾性表面波装置間に前記反射器電極を１つ設けたという構成を有しており、これにより外部端子に接続するパッドの個数および反射器電極の個数を少なくすることができるとともにアース端子を共通にすることによりＧＮＤの電位を低減することができるため、弾性表面波装置を小型化できるとともに減衰量を大きくすることができるという作用効果が得られる。
【００４０】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
以下に本発明の実施の形態１を用いて、本発明の請求項１、６〜８について説明する。
【００４１】
近年電極パターン設計技術の進歩により、電極パターンは小型化し、レイアウトによってもさらに小型化しているのに対し、外部端子との接続用のパッドは接続強度の確保や、電気的接続の信頼性を確保するために現在においてもある一定以上の面積が必要であり、パッド１個あたりの面積を減らすよりもパッドの個数を減らせるかどうかが弾性表面波装置全体の面積の小型化に大きく影響している。
【００４２】
本発明は弾性表面波装置を小型化するにあたり設けられたパッドの個数に着目したものであり、パッドの個数を減らすために有効な弾性表面波装置の電極パターン構成を示したものである。
【００４３】
図１は本発明の実施の形態１における弾性表面波装置の電極パターンの構成を模式的に示した図である。
【００４４】
図１において、２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２３ａ、２３ｂ、２３ｃはインターデジタルトランスデューサ電極として動作する櫛形電極、２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂは反射器電極、３は櫛形電極２１ａ〜２１ｃ、２３ａ〜２３ｃをアースに接続するためのパッド、４ａ、４ｂは入力端子のパッド、５ａ、５ｂは出力端子のパッド、６は圧電性を有する基板、８ａ、８ｂは出力側の接続電極、９は弾性表面波装置、２７はアース側の接続電極である。
【００４５】
次に、実施の形態１での弾性表面波装置９の作製手順について説明する。
【００４６】
ＬｉＴａＯ３などの圧電性を有する基板６上にスパッタリング法などによりアルミニウムなどの金属薄膜を形成し、レジストを塗布し、露光装置を用いて所望の電極パターンを露光し、現像、洗浄、エッチングした後レジストを除去し所望の電極パターンを形成する。
【００４７】
弾性表面波装置９の電極構成は、圧電性を有する基板６上に、櫛形電極２１ａ、２１ｂ、２１ｃを３個並列して設け、これらの櫛形電極２１ａ、２１ｂ、２１ｃから発生する弾性波の伝搬方向に隣接して両側に反射器電極２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂを設けてなる弾性表面波装置２５を２組弾性表面波の伝搬方向に並列に配置し、弾性表面波の伝搬方向とは異なる一方の方向に櫛形電極２１ａ、２１ｂ、２１ｃおよび櫛形電極２３ａ、２３ｂ、２３ｃに接続するアース側の接続電極２７を設け、圧電性を有する基板６上でそれぞれの櫛形電極２１ａ、２１ｂ、２１ｃおよび櫛形電極２３ａ、２３ｂ、２３ｃに接続するアース側の接続電極２７を接続して共通とし、さらにそれをアース端子１０に接続するパッド３に接続している。
【００４８】
また、櫛形電極２１ａ、２１ｂ、２１ｃおよび櫛形電極２３ａ、２３ｂ、２３ｃを挟んで接続電極２７と反対方向で、３個連なった櫛形電極の中央の櫛形電極２１ｂおよび櫛形電極２３ｂに接続して入力端子のパッド４ａ、４ｂを設け、３個連なった櫛形電極の両外側の櫛形電極２１ａ、２１ｃおよび櫛形電極２３ａ、２３ｃに接続して出力側の接続電極８ａ、８ｂを設け、それらを圧電性を有する基板６上で接続して共通とし、さらにそれを出力端子のパッド５に接続しており、外部端子に接続するパッドを５個設けた構成で、入力端子のパッド４ａ、４ｂおよび出力端子のパッド５ａ、５ｂがバランス動作するようになっている。
【００４９】
また、弾性表面波装置２５、２６それぞれのインピーダンスは１００Ωであるが、弾性表面波装置９全体の入力端子のパッド４ａ、４ｂまたは出力端子のパッド５ａ、５ｂから見たインピーダンスは１００Ωの弾性表面波装置２５、２６が２組並列に配置されることにより、５０Ωとなる。
【００５０】
すなわち、並列に接続する弾性表面波装置がｎ個の場合、それぞれの弾性表面波装置単体のインピーダンスは５０×ｎΩ（ただし、ｎは２以上の正の整数）であるが、それら５０×ｎΩの弾性表面波装置がｎ個並列に接続されることにより、全体の弾性表面波装置のインピーダンスは５０Ωとすることができる。
【００５１】
このように並列接続する単体の弾性表面波装置のインピーダンスを５０×ｎΩとするには、２個並列に接続する場合よりも櫛形電極の交差幅を狭くすることにより櫛形電極の静電容量を小さくし、インピーダンスを高くすることができる。
【００５２】
櫛形電極の交差幅を約１／ｎとすることにより単体の弾性表面波装置のインピーダンスを約ｎ倍にすることができる。
【００５３】
このようにして櫛形電極の交差幅を狭くすることにより、櫛形電極の電気抵抗を小さくすることができ、損失を低減するとともに減衰量を大きくすることができる。
【００５４】
なお、櫛形電極の交差幅を変化させて静電容量を抑制し、単体の弾性表面波装置のインピーダンスを制御する方法は、本実施の形態の全ての例について適用することができる。
【００５５】
このような構成にすることにより、入、出力端子に接続するパッド４、５から見たインピーダンスは５０Ωとすることができるため例えばＩＣなどのデバイスまたは回路と直接接続することができる。
【００５６】
また、入力端子に接続するパッド４ａ、４ｂまたは出力端子に接続するパッド５ａ、５ｂはバランス動作できるようにしてもかまわない。バランス動作させるためには、櫛形電極２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２１ａ、２１ｂ、２１ｃの形状を調整することにより静電容量などを等しくすることが必要である。
【００５７】
また、バランス動作させることによりＩＣなどのデバイスまたは回路とのインピーダンス整合が取りやすくなるため弾性表面波装置の損失を低減することができる。
【００５８】
また、入力端子と出力端子の位置関係を入れ替えても同様の効果を得ることができる。
【００５９】
また、櫛形電極２１ａ、２１ｂ、２１ｃおよび櫛形電極２３ａ、２３ｂ、２３ｃが接続電極２７により全て共通に接続することにより、ＧＮＤを共通にしＧＮＤの電位を均一で低くしＧＮＤを強化することができるため、フィルタ特性例えば減衰量を大きくすることができ、また帯域内フィルタ特性を改善することができる。
【００６０】
なお、本実施の形態１ではバランス型についてのみ示したが、入、出力端子の一方または両方がアンバランス型であってもかまわない。
【００６１】
また、本実施の形態１の図１においては櫛形電極を３組並列接続し、弾性表面波装置を２組並列に接続した場合についてのみ示したが、櫛形電極は３組以上であればいくつであってもかまわないし、並列に接続する弾性表面波装置の数は２組以上であればいくつであってもかまわない。
【００６２】
また、図２は本実施の形態１の他の実施例における弾性表面波装置の電極パターンの構成を模式的に示した図である。
【００６３】
図２に示したように出力端子全てを接続電極３１により圧電性を有する基板６上で共通に接続してもかまわない。このような構成にすることによりパッドの個数を４個にすることができるため、弾性表面波装置３３の形状を小型化することができる。
【００６４】
なお、櫛形電極の電極パターン配置については一部の例についてのみ示したが、電極パターン配置はこれらにのみ限定されるものではない。
【００６５】
従って本実施の形態１によれば、縦モード型の弾性表面波装置２５、２６を２組並列に配置し、圧電性を有する基板６上で櫛形電極のアース端子に接続された端子を全て共通するアース端子に接続することにより、パッドの個数を増やすことなく弾性表面波装置を２組並列に接続することができるため、弾性表面波装置の外形寸法が小型で減衰量が大きい弾性表面波装置を簡単に得ることができる。
【００６６】
（実施の形態２）
以下に本発明の実施の形態２を用いて、本発明の請求項２〜５について説明する。
【００６７】
図３は本発明の実施の形態２における弾性表面波装置の電極パターンの構成を模式的に示した図である。図３において実施の形態１の図１で示したものと同一のものは同一番号を付与し、詳細な説明は省略する。
【００６８】
本実施の形態２の図３と実施の形態１の図１との相違する点は、反射器電極４１ａ、４１ｂ、４２ａ、４２ｂのストリップ電極の電極間隔を変えたことである。
【００６９】
すなわち実施の形態１においては、反射器電極のストリップ電極の電極間隔は一定の構成になっているが、実施の形態２においては反射器電極４１ａ、４１ｂ、４２ａ、４２ｂのストリップ電極４３の電極間隔が反射器電極の一方の端部でストリップ電極４３の電極間隔が狭い領域を設けた構成になっている。
【００７０】
すなわち、反射器電極４１ａにおいて４１ａ−２の領域は４１ａ−１の領域に比べストリップ電極４３の電極間隔を狭くしている。以下同様に反射器電極４１ｂ、４２ａ、４２ｂにもストリップ電極の電極間隔が狭い領域を設けている。
【００７１】
それ以外は実施の形態１と同様にして弾性表面波装置を作製した。
【００７２】
図３において反射器電極４１ａ、４１ｂ、４２ａ、４２ｂのストリップ電極４３の電極間隔を一部異ならせることにより、反射特性を変えてスプリアスの発生する位置を変えることができるため、互いのスプリアスが打ち消し合って最終的にスプリアスを小さくすることができ、減衰量を大きくすることができる。
【００７３】
また、入力端子と出力端子の位置関係を入れ替えても同様の効果を得ることができる。
【００７４】
なお、本実施の形態２では反射器電極４１ａ、４１ｂ、４２ａ、４２ｂのストリップ電極４３の電極間隔が一部異なる場合についてのみ示したが、全て異なっていてもかまわない。
【００７５】
また、隣接する反射器電極４１ｂ、４２ａの間隔はストリップ電極の電極間隔から異なるように設けることによっても反射特性を変えて互いのスプリアスが打ち消し合って最終的にスプリアスを小さくすることができ、減衰量を大きくすることができるものである。
【００７６】
なお、反射器電極間隔とストリップ電極の電極間隔の関係は本発明の全ての実施例に適用しても同様の効果を得ることができる。
【００７７】
また、図４は本実施の形態２の他の実施例における弾性表面波装置の電極パターンの構成を模式的に示した図である。
【００７８】
図４に示したように反射器電極５１ａ、５１ｂ、５２ａ、５２ｂの電極間隔は一定であるが、反射器電極５１ａ、５１ｂ、５２ａ、５２ｂのバスバー電極５３の幅を場所により異なるように構成することにより、反射器電極５１ａ、５１ｂ、５２ａ、５２ｂのストリップ電極５４の長さを変えることができるため、重み付けしたのと同じ効果を得ることができ、反射器電極５１ａ、５１ｂ、５２ａ、５２ｂのストリップ電極５４の電極間隔を異ならせたのと同じようにスプリアスの発生を抑制し、減衰量を大きくすることができる。
【００７９】
また、本実施の形態３では弾性表面波装置を２組並列に接続した場合についてのみ示したが、並列に接続する弾性表面波装置の数を増やすことにより、損失を低減することができることから、並列に接続する弾性表面波装置の数は２組以上であればいくつであってもかまわない。
【００８０】
従って実施の形態１と比較すると、反射器電極４１ａ、４１ｂ、４２ａ、４２ｂのストリップ電極４３の電極間隔を一部異ならせることまたは反射器電極５１ａ、５１ｂ、５２ａ、５２ｂのバスバー電極５３の幅が場所により異なるような構成にすることにより、弾性表面波のスプリアスの発生を抑制することができ、減衰量を大きくすることができる。
【００８１】
（実施の形態３）
以下に本発明の実施の形態３を用いて、本発明の請求項９〜１２について説明する。
【００８２】
図５は本発明の実施の形態３における弾性表面波装置の電極パターンの構成を模式的に示した図である。図５において実施の形態１の図１で示したものと同一のものは同一番号を付与し、詳細な説明は省略する。
【００８３】
本実施の形態３の図５と実施の形態１の図１との相違する点は、弾性表面波の伝搬方向に少なくとも２組以上弾性表面波装置を並列接続し弾性表面波装置間に反射器電極を１つ設けたことである。
【００８４】
すなわち実施の形態１においては、弾性表面波装置２５、２６間には反射器電極２２ｂ、２４ａを２個設けた構成になっているが、実施の形態３においては弾性表面波装置６１、６２間に反射器電極６３ｂを１個設けた構成になっている。
【００８５】
それ以外は実施の形態１と同様にして弾性表面波装置を作製した。
【００８６】
図５において弾性表面波装置６１、６２間に反射器電極６３ｂを１個設けることにより、実施の形態１よりも反射器電極を１個減らすことができるため、弾性表面波装置を小型化することができる。また入力端子のパッド４ａ、４ｂ、出力端子のパッド５ａ、５ｂをバランス動作させることができ、櫛形電極６４ａ、６４ｂ、６４ｃおよび櫛形電極６５ａ、６５ｂ、６５ｃが接続電極６６により全て共通に接続することにより、ＧＮＤを共通にしＧＮＤの電位を低くしＧＮＤを強化することができるため、フィルタ特性例えば減衰量を大きくすることができる。
【００８７】
また、入力端子と出力端子の位置関係を入れ替えても同様の効果を得ることができる。
【００８８】
なお、本実施の形態４ではバランス型についてのみ示したが、入、出力端子の一方または両方がアンバランス型であってもかまわない。
【００８９】
また、本実施の形態３の図５においては弾性表面波装置を２組並列に接続した場合についてのみ示したが、並列に接続する弾性表面波装置の数は２組以上であればいくつであってもかまわない。並列接続した弾性表面波装置の数が多い程損失を低減することができる。
【００９０】
また、弾性表面波装置６１、６２単体のインピーダンスは１００Ωであるが、弾性表面波装置６９全体の入力端子のパッド４ａ、４ｂまたは出力端子のパッド５ａ、５ｂから見たインピーダンスは１００Ωの弾性表面波素子６１、６２が２組並列に配置されることにより、５０Ωとなる。
【００９１】
すなわち、並列に接続する弾性表面波装置がｎ個の場合、それぞれの弾性表面波装置単体のインピーダンスは５０×ｎΩ（ただし、ｎは２以上の正の整数）であるが、それら５０×ｎΩの弾性表面波装置がｎ個並列に接続されることにより、全体の弾性表面波装置のインピーダンスは５０Ωとすることができる。
【００９２】
なお、本実施の形態３では反射器電極６３ａ、６３ｂ、６３ｃのストリップ電極６７の電極間隔は全て一定の場合についてのみ示したが、全て異なっていても、一部が異なっていてもかまわないし、また反射器電極６３ａ、６３ｂ、６３ｃのストリップ電極６７の電極間隔は一定でバスバー電極６８の幅が場所により異なるように構成してもかまわない。
【００９３】
また、図６は本発明の実施の形態３における他の実施例の弾性表面波装置の電極パターンの構成を模式的に示した図である。
【００９４】
図６に示したように出力端子全てを接続電極７１により圧電性を有する基板６上で共通する出力端子のパッド７２に接続することにより、電位を共通化して安定化することができるため、フィルタ特性特に減衰量を大きくすることができる。
【００９５】
従って実施の形態１と比較すると、弾性表面波の伝搬方向に少なくとも２組以上弾性表面波装置を並列接続し弾性表面波装置間に反射器電極を１つ設けた構成にすることにより反射器電極を１個減らすことができるため、弾性表面波装置をさらに小型化することができる。
【００９６】
（実施の形態４）
以下に本発明の実施の形態４を用いて、本発明の請求項１３〜１９について説明する。
【００９７】
図７は本発明の実施の形態４における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図である。
【００９８】
図７において実施の形態１の図１で説明したものと同一のものは同一番号を付与し、詳細な説明は省略する。
【００９９】
本実施の形態４の図７と実施の形態１の図１との相違する点は、縦モード結合型の弾性表面波装置８１、８２を弾性表面波の伝搬方向と縦続する方向に２段縦続接続し、櫛形電極８３ａ、８３ｂ、８３ｃに接続されたアース端子に接続するパッド８５ａと、櫛形電極８４ａ、８４ｂ、８４ｃに接続されたアース端子に接続するパッド８５ｂを互いに対称な位置に設けるとともに、弾性表面波装置８１、８２が対向する間に入力端子８６、出力端子８７を設け、アース端子に接続するパッド８５ａ、８５ｂからアース端子１０にアルミニウムなどのワイヤからなる３本の接続線９０ａ、９０ｂ、９０ｃを設けた構成にしたことである。
【０１００】
すなわち実施の形態１においては、縦モード型の弾性表面波装置が弾性表面波の伝搬方向と縦続する方向には１段であり、並列する方向に弾性表面波装置を２組並列接続し外部端子との接続用のパッドを５個設け、アース端子に接続するパッド３からアース端子１０へは１本の接続線を設けた構成になっているが、本実施の形態４においては縦モード結合型の弾性表面波装置８１、８２を２段縦続接続したもので、３個の櫛形電極８３ａ、８３ｂ、８３ｃおよび櫛形電極８４ａ、８４ｂ、８４ｃのアース端子１０側（弾性表面波装置の外周側）を接続電極８８ａ、８８ｂにより接続し、共通するパッド８５ａ、８５ｂに接続し、両外側の櫛形電極８３ａ、８３ｃおよび櫛形電極８４ａ、８４ｃを接続電極８９ａ、８９ｂにより互いに接続し、中央の櫛形電極８３ｂおよび櫛形電極８４ｂからアース端子に接続するパッド８５ａ、８５ｂと反対方向（弾性表面波装置の中央側）に、入力端子に接続するパッド８６、出力端子に接続するパッド８７を互いに対向して設けた構成にし、外部端子との接続用のパッドを４個設け、アース端子に接続するパッド８５ａ、８５ｂからアース端子１０にアルミニウムなどのワイヤからなる３本の接続線９０ａ、９０ｂ、９０ｃを設けた構成にしたものである。
【０１０１】
それ以外は実施の形態１と同様にして弾性表面波装置を作製した。
【０１０２】
図７において、縦モード結合型の弾性表面波装置８１、８２を２段縦続接続することによりフィルタ特性特に減衰量を大きくすることができ、外部端子との接続用のパッドを１個減らすことができ、小型でフィルタ特性に優れた弾性表面波装置を得ることができる。
【０１０３】
また、両外側の櫛形電極８３ａ、８３ｃおよび櫛形電極８４ａ、８４ｃを接続する接続電極８９ａ、８９ｂは互いに逆位相にすることにより、櫛形電極８３ａ、８３ｃ、８４ａ、８４ｃおよび接続電極８９ａ、８９ｂ間のクロストークを低減することができるため、減衰量を大きくすることができる。
【０１０４】
また、入、出力端子に接続するパッド８６、８７およびアース端子に接続するパッド８５ａ、８５ｂを互いに対称な位置に設けることによりバランス動作させることができるため、外付けのデバイスまたは回路とのインピーダンス整合を取りやすくなり損失を低減することができる。
【０１０５】
また、アース端子に接続するパッド８５ａ、８５ｂとアース端子１０を複数のワイヤまたはバンプによりパッケージまたは実装基板などと接続することにより、ＧＮＤのインピーダンスをより低く、より安定にすることができるため、減衰量を大きくするとともに特性を安定化することができる。
【０１０６】
また、このような構成にすることにより入、出力端子に接続するパッド８６、８７から見たインピーダンスを５０Ωにすることができるため、外部接続部品または機器との接続互換性を高めることができる。
【０１０７】
また、アース端子へ接続するパッド３からアース端子へ３本の接続線で接続することにより、アースとの間の接続抵抗を低減することができるため、減衰量を大きくすることができる。
【０１０８】
なお、図７においてアース端子に接続するパッド８５ａ、８５ｂの両方からアース端子１０に複数の接続線９０ａ、９０ｂ、９０ｃで接続したが、どちらか一方のみを複数の接続線９０ａ、９０ｂ、９０ｃでアース端子１０と接続してもかまわない。
【０１０９】
また、図８は本実施の形態４の他の実施例における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図である。
【０１１０】
図８においては図７で示した弾性表面波装置８２の中央の櫛形電極８４ｂを、入力端子に接続するパッド８６に対向する方向を共通のバスバー電極とし、反対側を２組の櫛形電極８４ｂ−１、８４ｂ−２に分割し、共通のバスバー電極をアース端子に接続するパッド８５ｃに接続し、さらにアース端子に接続している。
【０１１１】
分割された櫛形電極８４ｂ−１、８４ｂ−２はそれぞれ位相を互いに変えることによりバランス動作をさせることができ、これによりインピーダンスを大きくすることができるため、例えば半導体などの外付けデバイスまたは回路などとの整合性を良くすることができ、弾性表面波装置の損失を小さくすることができる。
【０１１２】
また、櫛形電極８４ｂ−１、８４ｂ−２の共通のバスバー電極側をＧＮＤには接続せず浮かした状態とし仮想接地することにより、バランス度をさらに高めることができる。
【０１１３】
また、図９は本実施の形態４の他の実施例における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図である。
【０１１４】
図９においては図７で示した接続電極８９ａ、８９ｂを接続電極９１で接続し、接続電極８９ａ、８９ｂを流れる信号の位相を同位相としたものである。
【０１１５】
このような構成にすることにより、接続電極８９ａ、８９ｂの位相差をなくし位相を回し実数部分が複素共役にできるため、損失を低減することができる。
【０１１６】
以上本実施の形態４においては、弾性表面波装置を２段縦続接続することにより接続用のパッドを４個設けることにより、小型で損失が小さく減衰量の大きな弾性表面波装置を得ることができるものであり、実施の形態１と比較すると外部端子と接続するためのパッドを１個減らすことができ、小型で減衰量の大きな弾性表面波装置を得ることができる。
【０１１７】
（実施の形態５）
以下に本発明の実施の形態５を用いて、本発明の請求項２０〜２７について説明する。
【０１１８】
図１０は本発明の実施の形態５における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図である。
【０１１９】
図１０において実施の形態４の図７で説明したものと同一のものは同一番号を付与し、詳細な説明は省略する。
【０１２０】
本実施の形態５の図１０と実施の形態４の図７との相違する点は、３個の櫛形電極１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃの両側に反射器電極１０５ａ、１０５ｂを設けてなる縦モード結合型の弾性表面波装置１０９ａ、１０９ｂを２組並列に配置し、弾性表面波装置１０９ａ、１０９ｂの櫛形電極１０１ｃ、１０２ａの間に隣接する反射器電極１０５ｂ、１０６ａを２個設け、さらにそれを２段縦続接続したことである。
【０１２１】
すなわち実施の形態４においては、縦モード結合型の弾性表面波装置８１、８２を２段縦続接続し、櫛形電極８３ａ、８３ｂ、８３ｃに接続されたアース端子に接続するパッド８５ａと、櫛形電極８４ａ、８４ｂ、８４ｃに接続されたアース端子に接続するパッド８５ｂを互いに対称な位置に設けるとともに、弾性表面波装置８１、８２が対向する間に入力端子に接続するパッド８６、出力端子に接続するパッド８７を対向した設けた構成になっているが、本実施の形態５の図１０においては３個の櫛形電極１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃの両側に反射器電極１０５ａ、１０５ｂを設けてなる縦モード結合型の弾性表面波装置１０９ａ、１０９ｂを２組並列に接続し、弾性表面波装置１０９ａ、１０９ｂの外側の櫛形電極１０１ｃ、１０２ａの間に隣接する反射器電極１０５ｂ、１０６ａを２個設け、さらに両外側の櫛形電極１０１ａ、１０１ｃと櫛形電極１０３ａ、１０３ｃおよび櫛形電極１０２ａ、１０２ｃと櫛形電極１０４ａ、１０４ｃを接続電極１１０ａ、１１０ｂおよび接続電極１１０ｃ、１１０ｄにより互いに２段縦続接続し、中央の櫛形電極１０１ｂ、１０２ｂおよび櫛形電極１０３ｂ、１０４ｂからアース端子に接続するパッド８５ａ、８５ｂとは反対方向に入力端子に接続するパッド１１１ａ、１１１ｂおよび出力端子に接続するパッド１１２ａ、１１２ｂを対向して設けた構成にし、アース端子に接続するパッド８５ａ、８５ｂを対称な位置に設けるとともに、入力端子に接続するパッド１１１ａ、１１１ｂと出力端子に接続するパッド１１２ａ、１１２ｂを対向して設け、入、出力端子がバランス動作する構成にしている。
【０１２２】
それ以外は実施の形態４と同様にして弾性表面波装置を作製した。
【０１２３】
図１０において、縦モード結合型の弾性表面波装置１０９ａ、１０９ｂを２組並列に接続することにより、減衰量を大きくすることができる。また、バランス動作させることにより外付けデバイスまたは回路とのインピーダンス整合が取りやすくなり、損失を低減することができる。
【０１２４】
また、入力端子と出力端子の位置関係を入れ替えても同様の効果を得ることができる。
【０１２５】
また、櫛形電極１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃを接続電極１１４および櫛形電極１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃ、１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃを接続電極１１５を用いてアース端子に接続したパッド８５ａ、８５ｂ側で全て共通に接続することにより、ＧＮＤの電位を共通にしＧＮＤを強化することができるため、フィルタ特性例えば減衰量を大きくすることができる。
【０１２６】
なお、本実施の形態５ではバランス型についてのみ示したが、入、出力端子の一方または両方がアンバランス型であってもかまわない。
【０１２７】
また、入力端子に接続するパッド１１１ａ、１１１ｂ、出力端子に接続するパッド１１２ａ、１１２ｂおよびアース端子に接続するパッド８５ａ、８５ｂを互いに対称な位置に設けることによりバランス動作させることができるため、外付けデバイスまたは回路とのインピーダンス整合が取りやすくなり、損失を低減することができる。
【０１２８】
また、アース端子に接続するパッド８５ａ、８５ｂとアース端子１０を複数のワイヤまたはバンプによりパッケージまたは実装基板などと接続することにより、ＧＮＤのインピーダンスをより低く、より安定にすることができるため、減衰量を大きくすることができる。
【０１２９】
また、このような構成にすることにより単体の弾性表面波装置１０９ａ、１０９ｂ、１０９ｃ、１０９ｄのインピーダンスは１００Ωであるが、弾性表面波装置１０９ａ、１０９ｂおよび弾性表面波装置１０９ｃ、１０９ｄのように２組並列に接続されることにより、弾性表面波装置全体のインピーダンスを５０Ωにすることができる。
【０１３０】
すなわち、並列に接続する弾性表面波装置がｎ個の場合、それらの単体の弾性表面波装置１０９ａ、１０９ｂ、１０９ｃ、１０９ｄの入、出力端子のパッドから見たインピーダンスは５０×ｎ（Ω）（ただし、ｎは２以上の正の整数）であり、弾性表面波装置全体としてのインピーダンスは５０Ωにすることができる。これにより外部接続部品または機器との接続互換性を高めることができる。
【０１３１】
また図１０において、例えば接続電極１１０ａ、１１０ｃの位相をプラス、接続電極１１０ｂ、１１０ｄの位相をマイナスにするように、隣接する接続電極の位相を互いに異ならせることにより、クロストークを抑制し、減衰量を大きくすることができる。
【０１３２】
また、図１１は本実施の形態５の他の実施例における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図である。
【０１３３】
図１１においては図１０で示した接続電極１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄを接続電極１１３で接続し、接続電極１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄに流れる信号の位相を同位相としたものである。
【０１３４】
このような構成にすることにより、接続電極１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄの位相差をなくし対称性を高めることができるため、損失を低減するとともに減衰量をさらに大きくすることができる。
【０１３５】
また、本実施の形態５の図１０および図１１においては弾性表面波装置を２組並列に接続した場合についてのみ示したが、並列に接続する弾性表面波装置の数は２組以上であればいくつであってもかまわない。並列接続した弾性表面波装置の数が多い程損失を低減することができる。
【０１３６】
また、２段縦続接続することにより減衰量を大きくすることができ、外部端子との接続用のパッドを２個増やすだけで、減衰量に優れた弾性表面波装置を得ることができる。
【０１３７】
また、図１２は本実施の形態５の他の実施例における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図である。
【０１３８】
図１２においては図１１で示した接続電極１１３を除去し、接続電極１１０ａ、１１０ｄを同位相とし、接続電極１１０ｂ、１１０ｃを同位相で接続電極１１０ａ、１１０ｄとは逆の位相にし、接続電極１１０ａから接続電極１１０ｂまで達する幅を有する接続電極１２０で接続したものである。
【０１３９】
このような構成にすることにより幅の広い接続電極１２０で接続電極１１０ｂ、１１０ｃを接続し、櫛形電極１０１ｃ、１０３ｃ間および櫛形電極１０２ａ、１０４ａ間のインピーダンスを低減することができるため、損失をさらに低減することができる。
【０１４０】
以上本実施の形態５においては、弾性表面波装置を複数組並列接続したものを２段縦続接続することにより、接続用のパッドは１個増加させるだけで、損失が小さく減衰量の大きな弾性表面波装置を得ることができるものであり、実施の形態４と比較すると弾性表面波装置の大きさを変えることなく小型で減衰量が大きい弾性表面波装置を得ることができる。
【０１４１】
（実施の形態６）
以下に本発明の実施の形態６を用いて、本発明の請求項２８について説明する。
【０１４２】
図１３は本発明の実施の形態６における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図である。
【０１４３】
図１３において実施の形態５の図１０で説明したものと同一のものは同一番号を付与し、詳細な説明は省略する。
【０１４４】
本実施の形態６の図１３と実施の形態５の図１０との相違する点は、３個の櫛形電極１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃの両側に反射器電極１３５、１３６を設けてなる縦モード結合型の弾性表面波装置１４１を２組並列に接続し、弾性表面波装置１４１、１４２の櫛形電極１３１ｃ、１３２ａの間に隣接する反射器電極１３６を１個設け、さらにそれを２段縦続接続したことである。
【０１４５】
すなわち実施の形態５においては、３個の櫛形電極１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃを設けてなる縦モード結合型の弾性表面波装置１０９ａ、１０９ｂを２組並列に接続し、弾性表面波装置１０９ａ、１０９ｂの外側の櫛形電極１０１ｃ、１０２ａの間に隣接する反射器電極１０５ｂ、１０６ａを２個設け、さらに両外側の櫛形電極１０１ａ、１０１ｃと櫛形電極１０３ａ、１０３ｃおよび櫛形電極１０２ａ、１０２ｃと櫛形電極１０４ａ、１０４ｃを接続電極１１０ａ、１１０ｂおよび接続電極１１０ｃ、１１０ｄにより互いに２段縦続接続した構成にしているが、本実施の形態６においては弾性表面波装置１４１、１４２の櫛形電極１３１ｃ、１３２ａの間に隣接する反射器電極１３６を１個設け、さらにそれを２段縦続接続した構成にしたものであり、これ以外は実施の形態５と同様にして弾性表面波装置１４５を作製した。
【０１４６】
図１３において、縦モード結合型の弾性表面波装置１４１、１４２を２組並列に接続し、櫛形電極１３１ｃ、１３２ａの間に隣接する反射器電極１３６を１個設けることにより、櫛形電極１３１ｃ、１３２ａの間の反射器電極の数を減らすことができるため、弾性表面波装置１４５の形状を小型化することができる。
【０１４７】
なお、この構成は並列に接続する弾性表面波装置の数が多い程減らした反射器電極の数が多くなるため、小型化できる効果が大きくなる。
【０１４８】
なお、本実施の形態６において、縦モード結合型の弾性表面波装置１４１、１４２を２組並列に接続することにより、損失を低減することができる。
【０１４９】
また、バランス動作させることにより外付けのデバイスまたは回路とのインピーダンス整合を取りやすくなるため損失を低減することができる。
【０１５０】
また、入力端子と出力端子の位置関係を入れ替えても同様の効果を得ることができる。
【０１５１】
また、櫛形電極１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３２ａ、１３２ｂ、１３２ｃを接続電極１１４および櫛形電極１３３ａ、１３３ｂ、１３３ｃ、１３４ａ、１３４ｂ、１３４ｃを接続電極１１５によりアース端子に接続したパッド８５ａ、８５ｂ側で全て共通に接続することにより、ＧＮＤを共通にしＧＮＤの電位を低くしＧＮＤを強化することができるため、減衰量を大きくすることができる。
【０１５２】
また、アース端子に接続するパッド８５ａ、８５ｂを対称な位置に設けることによりバランス動作させることができるため、外付けのデバイスまたは回路とのインピーダンス整合を取りやすくなるため損失を低減することができる。
【０１５３】
なお、本実施の形態６ではバランス型についてのみ示したが、入、出力端子の一方または両方がアンバランス型であってもかまわない。
【０１５４】
また、本実施の形態６の図１３においては弾性表面波装置を２組並列に２段縦続に接続した場合についてのみ示したが、並列に接続する弾性表面波装置の数は２組以上であればいくつであってもかまわない。並列接続した弾性表面波装置の数が多い程損失を低減することができる。
【０１５５】
また、入力端子に接続するパッド１１１ａ、１１１ｂ、出力端子に接続するパッド１１２ａ、１１２ｂおよびアース端子に接続するパッド８５ａ、８５ｂを互いに対称な位置に設けることにより、外部接続部品または機器との接続互換性を高めることができる。
【０１５６】
また、アース端子に接続するパッド８５ａ、８５ｂとアース端子１０を複数のワイヤまたはバンプによりパッケージまたは実装基板などと接続することにより、ＧＮＤの電位をより低く、安定にすることができるため、損失を低減することができる。
【０１５７】
また、このような構成にすることにより単体の弾性表面波装置１４１、１４２、１４３、１４４のインピーダンスは１００Ωであるが、これらの弾性表面波装置１４１、１４２、弾性表面波装置１４３、１４４を２組並列に配置することにより弾性表面波装置１４５全体としては入、出力端子から見たインピーダンスを５０Ωにすることができる。
【０１５８】
すなわち、並列に接続する単体の弾性表面波装置がｎ個の場合、それら単体の弾性表面波装置の入、出力端子のパッドから見たインピーダンスは５０×ｎ（Ω）（ただし、ｎは２以上の正の整数）であり、弾性表面波装置全体としてのインピーダンスを５０Ωにすることができる。
【０１５９】
これにより外部接続部品または機器との接続互換性を高めることができる。
【０１６０】
また、その他の実施例として、接続電極１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄを共通する接続電極で接続し、接続電極１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄに流れる信号の位相を同位相としてもかまわないし、また接続電極１１０ａ、１１０ｃを同位相とし、接続電極１１０ｂ、１１０ｄを同位相でかつ接続電極１１０ａ、１１０ｃとは逆位相にしたように、隣接する接続電極を互いに逆位相にすることによりクロストークを低減することができるため減衰量を大きくすることができる。
【０１６１】
また、その他の実施例として接続電極１１０ａ、１１０ｄを同位相とし、接続電極１１０ｂ、１１０ｃを同位相で接続電極１１０ａ、１１０ｄとは逆の位相にしてもかまわない。
【０１６２】
このような構成にすることにより、接続電極１１０ｂから接続電極１１０ｃまで達する幅を有する接続電極で接続することにより幅の広い接続電極で接続電極１１０ｂ、１１０ｃを接続し、櫛形電極１３１ｃ、１３３ｃ間および櫛形電極１３２ａ、１３４ａ間のインピーダンスを低減することができるため、損失をさらに低減することができる。
【０１６３】
以上本実施の形態６においては、３個の櫛形電極１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃの両側に反射器電極１３５、１３６を設けてなる縦モード結合型の弾性表面波装置１４１を２組並列に接続し、弾性表面波装置１４１、１４２の櫛形電極１３１ｃ、１３２ａの間に隣接する反射器電極１３６を１個設け、さらにそれを２段縦続接続することにより、反射器電極の数を減らすことができ、従って実施の形態５と比較するとフィルタ特性を劣化させることなく弾性表面波装置を小型化することができる。
【０１６４】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、少なくとも３個の櫛形電極の両側に反射器電極を設けてなる縦モード結合型の弾性表面波装置に２組以上並列接続した弾性表面波装置において、櫛形電極のうちアース端子に接続された端子を同じ側に設け、アース端子に接続された端子全てを共通するアース端子に接続する構成を有しており、これによりパッドの個数を最小限に減らすことができ、小型でフィルタ特性に優れた弾性表面波装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図
【図２】本発明の実施の形態１の他の実施例における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図
【図３】本発明の実施の形態２における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図
【図４】本発明の実施の形態２の他の実施例における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図
【図５】本発明の実施の形態３における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図
【図６】本発明の実施の形態３の他の実施例における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図
【図７】本発明の実施の形態４における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図
【図８】本発明の実施の形態４の他の実施例における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図
【図９】本発明の実施の形態４の他の実施例における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図
【図１０】本発明の実施の形態５における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図
【図１１】本発明の実施の形態５の他の実施例における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図
【図１２】本発明の実施の形態５の他の実施例における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図
【図１３】本発明の実施の形態６における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図
【図１４】従来例における弾性表面波装置の電極パターンを模式的に示した図
【符号の説明】
３ アース端子に接続するパッド
４ａ、４ｂ 入力端子に接続するパッド
５ａ、５ｂ 出力端子に接続するパッド
６ 圧電性を有する基板
８ａ、８ｂ 出力側の接続電極
９ 弾性表面波装置
１０ アース端子
２１ａ、２１ｂ、２１ｃ 櫛形電極
２２ａ、２２ｂ 反射器電極
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ 櫛形電極
２４ａ、２４ｂ 反射器電極
２５ 弾性表面波装置
２６ 弾性表面波装置
２７ 接続電極
３１ 接続電極
３２ 出力端子に接続するパッド
３３ 弾性表面波装置
４１ａ 反射器電極
４１ａ−１ 電極間隔の広い領域
４１ａ−２ 電極間隔の狭い領域
４１ｂ 反射器電極
４１ｂ−１ 電極間隔の広い領域
４１ｂ−２ 電極間隔の狭い領域
４２ａ 反射器電極
４２ａ−１ 電極間隔の広い領域
４２ａ−２ 電極間隔の狭い領域
４２ｂ 反射器電極
４２ｂ−１ 電極間隔の広い領域
４２ｂ−２ 電極間隔の狭い領域
４３ ストリップ電極
４４ バスバー電極
５１ａ、５１ｂ 反射器電極
５２ａ、５２ｂ 反射器電極
５３ バスバー電極
５４ ストリップ電極
６１ 弾性表面波装置
６２ 弾性表面波装置
６３ａ、６３ｂ、６３ｃ 反射器電極
６４ａ、６４ｂ、６４ｃ 櫛形電極
６５ａ、６５ｂ、６５ｃ 櫛形電極
６６ 接続電極
６７ ストリップ電極
６８ バスバー電極
６９ 弾性表面波装置
７１ 接続電極
７２ 出力端子に接続するパッド
７３ 弾性表面波装置
７４ 弾性表面波装置
７５ 弾性表面波装置
８１ 弾性表面波装置
８２ 弾性表面波装置
８３ａ、８３ｂ、８３ｃ 櫛形電極
８４ａ、８４ｂ、８４ｃ 櫛形電極
８４ｂ−１、８４ｂ−２ 櫛形電極
８５ａ、８５ｂ、８５ｃ アース端子に接続するパッド
８６ 入力端子に接続するパッド
８７、８７ａ、８７ｂ、８７ｃ 出力端子に接続するパッド
８８ａ、８８ｂ 接続電極
８９ａ、８９ｂ 接続電極
９０ａ、９０ｂ、９０ｃ 接続線
９１ 接続電極
１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ 櫛形電極
１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ 櫛形電極
１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃ 櫛形電極
１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃ 櫛形電極
１０５ａ、１０５ｂ 反射器電極
１０６ａ、１０６ｂ 反射器電極
１０７ａ、１０７ｂ 反射器電極
１０８ａ、１０８ｂ 反射器電極
１０９ａ、１０９ｂ、１０９ｃ、１０９ｄ 弾性表面波装置
１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄ 接続電極
１１１ａ、１１１ｂ 入力端子に接続するパッド
１１２ａ、１１２ｂ 出力端子に接続するパッド
１１３ 接続電極
１１４ 接続電極
１１５ 接続電極
１２０ 接続電極
１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ 櫛形電極
１３２ａ、１３２ｂ、１３２ｃ 櫛形電極
１３３ａ、１３３ｂ、１３３ｃ 櫛形電極
１３４ａ、１３４ｂ、１３４ｃ 櫛形電極
１３５、１３６、１３７、１３８、１３９、１４０ 反射器電極
１４１、１４２、１４３、１４４ 弾性表面波装置
１４５ 弾性表面波装置
１６１ 櫛形電極
１６２ 反射器電極
１６３ アース端子に接続したパッド
１６４ 入力端子のパッド
１６５ 出力端子のパッド
１６６ 基板

Claims (28)

  1. 圧電性を有する基板上に櫛形電極とこの櫛形電極から発生した表面波が伝搬する方向に沿って前記櫛形電極の両側に反射器電極を設けてなる縦モード結合型の弾性表面波装置において、
    前記櫛形電極を少なくとも３個以上設け、
    前記櫛形電極のうちアース端子に接続された端子を前記櫛形電極の同じ側に設け、
    前記アース端子に接続された端子全てを共通するアース端子に接続し、
    前記櫛形電極の反対側に前記櫛形電極に接続する入、出力端子を設けてなる弾性表面波装置を、弾性表面波の伝搬方向に沿って少なくとも２組以上並列接続した弾性表面波装置。
  2. 反射器電極はストリップ電極とバスバー電極からなり、前記ストリップ電極の電極間隔を異ならせた請求項１に記載の弾性表面波装置。
  3. 電極間隔が少なくとも一部異なる領域を有する請求項２に記載の弾性表面波装置。
  4. 電極間隔が全て異なる請求項２に記載の弾性表面波装置。
  5. 反射器電極はストリップ電極とバスバー電極からなり、前記ストリップ電極の電極間隔は等間隔で、バスバー電極の幅が少なくとも一部異なる領域を設けた請求項１に記載の弾性表面波装置。
  6. 入、出力端子は、一方または複数の入、出力端子が平衡動作する請求項１に記載の弾性表面波装置。
  7. 弾性表面波装置をｎ（ｎは２以上の正の整数）組以上配置した場合の各端子から見たインピーダンスが５０ｎΩである請求項１に記載の弾性表面波装置。
  8. 入、出力端子は、少なくともいずれか一方を圧電性を有する基板上で全て共通する端子に接続した請求項１に記載の弾性表面波装置。
  9. 圧電性を有する基板上に櫛形電極とこの櫛形電極から発生した表面波が伝搬する方向に沿って前記櫛形電極の両側に反射器電極を設けてなる縦モード結合型の弾性表面波装置において、
    前記櫛形電極を少なくとも３個以上設け、
    前記櫛形電極のうちアース端子に接続された端子を前記櫛形電極の同じ側に設け、
    前記アース端子に接続された端子全てを共通するアース端子に接続し、
    前記櫛形電極の反対側に前記櫛形電極に接続する入、出力端子を設けてなる弾性表面波装置を、弾性表面波の伝搬方向に少なくとも２組以上並列接続し、
    前記弾性表面波装置間に前記反射器電極を１つ設けた弾性表面波装置。
  10. 入、出力端子は、一方または複数の入、出力端子が平衡動作する請求項９に記載の弾性表面波装置。
  11. 弾性表面波装置をｎ（ｎは２以上の正の整数）組以上配置した場合の各端子から見たインピーダンスが５０ｎΩである請求項９に記載の弾性表面波装置。
  12. 入、出力端子は、少なくともいずれか一方を圧電性を有する基板上で全て共通する端子に接続した請求項９に記載の弾性表面波装置。
  13. 圧電性を有する基板上に櫛形電極とこの櫛形電極から発生した表面波が伝搬する方向に沿って前記櫛形電極の両側に反射器電極を設けてなる縦モード結合型の弾性表面波装置を２段結合してなる弾性表面波装置において、
    前記櫛形電極を少なくとも３個以上設け、
    前記櫛形電極のうちアース端子に接続された端子を前記櫛形電極の同じ側に設け、
    前記アース端子に接続された端子全てを共通するアース端子に接続し、
    前記アース端子の反対側に前記櫛形電極に接続する入、出力端子を設けてなる弾性表面波装置を接続電極により２段縦結合した弾性表面波装置。
  14. 接続電極に流れる信号は逆位相である請求項１３に記載の弾性表面波装置。
  15. 接続電極間を接続する電極を設けた請求項１３に記載の弾性表面波装置。
  16. 入、出力端子から見たインピーダンスが５０Ωである請求項１３に記載の弾性表面波装置。
  17. １段目と２段目の弾性表面波装置で、アース端子の位置が対称である請求項１３に記載の弾性表面波装置。
  18. 弾性表面波装置を基板またはパッケージに実装してなる弾性表面波装置において、アース端子は複数のワイヤーまたはバンプにより前記基板またはパッケージと接続されている請求項１３に記載の弾性表面波装置。
  19. 入、出力端子は、少なくともいずれか一方を圧電性を有する基板上で全て共通する端子に接続した請求項１３に記載の弾性表面波装置。
  20. 圧電性を有する基板上に櫛形電極とこの櫛形電極から発生した表面波が伝搬する方向に沿って前記櫛形電極の両側に反射器電極を設けてなる縦モード結合型の弾性表面波装置を２段結合してなる弾性表面波装置において、
    前記櫛形電極を少なくとも３個以上設け、
    前記櫛形電極のうちアース端子に接続された端子を前記櫛形電極の同じ側に設け、
    前記アース端子に接続された端子全てを共通するアース端子に接続し、
    前記アース端子の反対側に前記櫛形電極に接続する入、出力端子を設けてなる弾性表面波装置を接続電極により２段縦結合した弾性表面波装置を、弾性表面波の伝搬方向に少なくとも２組以上並列接続した弾性表面波装置。
  21. 接続電極に流れる信号の位相は、隣接する接続電極を同位相とした請求項２０に記載の弾性表面波装置。
  22. 同位相の接続電極は幅の太い共通電極である請求項２１に記載の弾性表面波装置。
  23. 接続電極間を接続する電極を設けた請求項２０に記載の弾性表面波装置。
  24. 弾性表面波装置をｎ（ｎは２以上の正の整数）組以上配置した場合の各端子から見たインピーダンスが５０ｎΩである請求項２０に記載の弾性表面波装置。
  25. １段目と２段目の弾性表面波装置で、アース端子の位置が対称である請求項２０に記載の弾性表面波装置。
  26. 弾性表面波装置を基板またはパッケージに実装してなる弾性表面波装置において、アース端子は複数のワイヤーまたはバンプにより前記基板またはパッケージと接続されている請求項２０に記載の弾性表面波装置。
  27. 入、出力端子は、少なくともいずれか一方を圧電性を有する基板上で全て共通する端子に接続した請求項２０に記載の弾性表面波装置。
  28. 圧電性を有する基板上に櫛形電極とこの櫛形電極から発生した表面波が伝搬する方向に沿って前記櫛形電極の両側に反射器電極を設けてなる縦モード結合型の弾性表面波装置を２段結合してなる弾性表面波装置において、
    前記櫛形電極を少なくとも３個以上設け、
    前記櫛形電極のうちアース端子に接続された端子を前記櫛形電極の同じ側に設け、
    前記アース端子に接続された端子全てを共通するアース端子に接続し、
    前記アース端子の反対側に前記櫛形電極に接続する入、出力端子を設けてなる弾性表面波装置を接続電極により２段縦結合した弾性表面波装置を、弾性表面波の伝搬方向に少なくとも２組以上並列接続し、
    前記接続電極間を接続する電極を設け、
    前記弾性表面波装置間に前記反射器電極を１つ設けた弾性表面波装置。
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