JP3459246B2 - 被覆研磨用品を作製する方法 - Google Patents

被覆研磨用品を作製する方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 発明の背景 1.発明の分野 本発明は接着されたコンポジット研磨材を有する裏材
料を有する研磨用品を作製する方法に関する。
【０００２】 2.技術分野の説明 研磨用品、特に細かいグレードの用品に伴う２種の主
要な問題は、ローディングおよび製品の持続性である。
ローディングは、研磨グレイン間の空間が削りくず（す
なわち、研磨されているワークピースから除去された材
料）で満たされ、それが盛り上がることにより引き起こ
される問題である。たとえば、木材にヤスリがけする場
合は、オガクズの粒子が研磨グレインの間に止どまり、
そのことにより研磨グレインのカット能力が低下し、木
材ワークピースの表面の焼けの可能性が生じる。
【０００３】 米国特許第2,252,683号（アルバートソン）には、裏
材料および樹脂状接着剤により裏材料に接合された複数
の研磨グレインを有する研磨材が開示されている。製造
中において、樹脂状接着剤が硬化される前には、研磨用
品はパターンを有する加熱されたモールド中に位置させ
られる。逆のパターンが裏材料に転写される。
【０００４】 米国特許第2,292,261号（アルバートソン）には、そ
の上に研磨被覆を有する繊維状裏材料を有する研磨用品
が開示されている。研磨被覆はバインダー中に埋め込ま
れた研磨粒子を有する。バインダーが硬化されない場合
は、研磨被覆は複数のリッジ（ridges）を有する圧力ダ
イで処理される。このことにより、垂直および水平方向
に矩形溝がエンボスされた研磨被覆となる。
【０００５】 米国特許第3,246,430号（ハースト）には、熱可塑性
接着剤で含浸された繊維状裏材料を有する研磨用品が開
示されている。この裏材料が連続リッジパターンで処理
された後に、接合系および研磨グレインが設けられる。
このことにより、研磨グレインの高および低リッジを有
する研磨用品が得られる。
【０００６】 米国特許第4,539,017号（オーガスチン）には、裏材
料、裏材料上のエラストマー性材料の支持層、および支
持層に接着された研磨被覆を有する研磨用品が開示され
ている。研磨被覆はバインダーにわたって分散された研
磨グレインからなる。さらに、研磨被覆はパターンの形
状となりうる。
【０００７】 米国特許第4,773,920号（チャスマンら）には、フリ
ーラジカル硬化性バインダーにわたって分散された研磨
グレインから形成された研磨コンポジットを有する研磨
ラッピング（lapping）用品が記載されている。また、
この特許はこの研磨コンポジットはロトグラビアロール
によりパターンに形成しうることを開示している。
【０００８】 上述の特許により製造された研磨用品のいくつかは耐
ローディング性および製造に安価であるけれども、これ
らは高レベルの持続性に欠ける。研磨用品が従来の方法
で作製される場合は、接着剤またはバインダー系は硬化
前または硬化中に流動し得、そのことにより、製品の持
続性に悪影響を与える。
【０００９】 高レベルの持続性を有する、ローディング耐性であり
かつ安価な研磨用品が望まれている。
【００１０】 発明の要旨 本発明は製造を有する研磨用品を調製する方法を提供
する。
【００１１】 一局面では、本発明は、少なくとも一部照射硬化させ
たバインダー中に分散された複数の研磨グレインを有す
る研磨コンポジットを少なくとも一主要表面上に支持す
る裏材料を有する被覆研磨用品であって、該コンポジッ
トが少なくとも１種の予め定められた正確な形状を有
し、該コンポジットが非ランダムな配列で配置されてい
る被覆研磨用品を作製する方法を包含する。バインダー
は研磨グレインを分散するための媒体として機能し、こ
れは裏材料に研磨コンポジットを接合するためにも機能
する。研磨コンポジットは、たとえば、ピラミッド状の
ような正確な形状を有する。使用前には、コンポジット
中の個々の研磨グレインがかかるコンポジットの形状を
定める境界を越えて突出しないことが好ましい。与えら
れた形状の寸法は実質的に正確である。さらに、コンポ
ジットは非ランダムな配列で裏材料上に配置される。こ
の非ランダムな配列は一定の繰り返しを示しうる。配列
の繰り返しパターンはリニア形状またはマトリックスの
形状でありうる。
【００１２】 他の局面では、本発明は、それぞれのコンポジットが
照射硬化性バインダー中に分散された複数の研磨グレイ
ンを有する複数の研磨コンポジットを少なくとも一主要
表面上に支持する裏材料を有する被覆研磨用品を作製す
る方法を包含する。それぞれの研磨コンポジットは正確
な形状を有し、複数のかかるコンポジットは非ランダム
な配列で配置されている。
【００１３】 研磨コンポジットの正しい特性は、高レベルの持続性
を有する研磨用品を提供する。さらに、この持続性は優
れた性能を提供する。
【００１４】 さらに他の局面では、本発明は以下の工程を包含する
被覆研磨用品の作製方法を提供する。 （１）照射硬化性バインダーと複数の研磨グレインとの
混合物を含むスラリーを製造用具上に導入する工程； （２）裏材料の片側をスラリーが濡らすように製造用具
の外側表面に裏材料を導入することにより、中間用品を
形成する工程； （３）該中間用品が製造用具の外側表面から分離する前
に照射硬化性バインダーを少なくとも一部硬化させるこ
とにより、被覆研磨用品を形成する工程；および （４）該被覆研磨用品を製造用具から除去する工程。
【００１５】 この４工程は連続的に行うことが好ましく、そのこと
が被覆研磨用品の効率的な作製方法を提供する。いずれ
かの製造法の実施態様において、スラリーが製造用具に
導入された後に、スラリーは硬化またはゲル化の前に認
められる流動を示さない。
【００１６】 さらに他の局面では、本発明は、以下の工程を包含す
る被覆研磨用品を作製する方法を提供する。 （１）照射硬化性バインダーと複数の研磨グレインとの
混合物を含むスラリーを、このスラリーが裏材料の前側
を濡らすように裏材料上に導入することにより、中間用
品を形成する工程； （２）外側表面を有する製造用具であって該製造用具の
外側表面が特定のパターンを有するものに該中間用品を
導入する工程； （３）中間用品が製造用具の外側表面から分離する前に
少なくとも一部照射硬化性バインダーを硬化させること
により、被覆研磨用品を形成する工程；および （４）該製造用具から被覆研磨用品を除去する工程。
【００１７】 この４工程は連続的に行うことが望ましく、そのこと
が被覆研磨用品を作製するための効率的な方法を提供す
る。いずれかの製造法の実施態様において、スラリーが
製造用具に導入された後に、このスラリーは硬化または
ゲル化前に認められる流動を示さない。
【００１８】 図面の簡単な説明 図１は本発明により得られる研磨用品の断面の横面図
である。 図２は本発明の研磨用品を作製するための装置の模式
図である。 図３は本発明により得られる研磨用品の外観図であ
る。 図４はリニアな溝の配列を有する研磨用品の上面の30
倍の倍率で撮った走査電子顕微鏡写真である。 図５はリニアな溝の配列を有する被覆研磨用品の横面
の100倍の倍率で撮った走査電子顕微鏡写真である。 図６はピラミッド形状の配列を有する研磨用品の上面
を20倍の倍率で撮った走査電子顕微鏡写真である。 図７はピラミッド形状の配列を有する研磨用品の側面
を100倍の倍率で撮った走査電子顕微鏡写真である。 図８は鋸刃形状の配列を有する研磨用品を30倍の倍率
で撮った走査電子顕微鏡写真（上面）である。 図９は鋸刃形状の配列を有する研磨用品を30倍の倍率
で撮った走査電子顕微鏡写真（側面）である。 図10は本発明により得られる研磨用品の表面プロファ
イル試験由来のグラフである。 図11は従来技術により作製した研磨用品の表面プロフ
ァイル試験由来のグラフである。 図12はリニアな溝の配列のための前面模式図である。 図13はリニアな溝の配列のための前面模式図である。 図14はリニアな溝の配列のための前面模式図である。 図15は従来技術の研磨用品を20倍の倍率で撮った走査
電子顕微鏡写真の上面図である。 図16は従来技術の研磨用品を100倍の倍率で撮った電
子顕微鏡写真の上面図である。 図17は特定パターンの配列のための前面模式図であ
る。 図18は特定パターンの配列のための前面模式図であ
る。 図19は特定パターンの配列のための前面模式図であ
る。
【００１９】 詳細な説明 本発明は構造を有する研磨用品を作製する方法を提供
する。ここで用いる「構造を有する研磨用品」と言う用
語は、複数の正確に成形された研磨コンポジットであっ
て、それぞれが、バインダー中に分散された研磨グレイ
ンを有するコンポジットが予め定められた正確な形状を
有し、これらが非ランダムな配列で裏材料上に配置され
ている研磨用品を意味する。
【００２０】 図１において、被覆研磨用品10は一主要表面上に研磨
コンポジット14を支持する裏材料12を有する。研磨コン
ポジットはバインダー18中に分散された複数の研磨グレ
イン16を有する。この特定の実施態様において、バイン
ダーは研磨コンポジット14を裏材料12に接合する。研磨
コンポジットは視認できる正確な形状を有する。被覆研
磨用品が使用される前にその形状の平面15を越えて突出
していない研磨グレインを用いることが好ましい。表面
を研磨するために被覆研磨用品が用いられるにつれて、
このコンポジットは分解し、未使用の研磨グレインが現
れる。
【００２１】 本発明の裏材料に好ましい材料には、ポリマーフィル
ム、紙、布、金属フィルム、バルカンファイバー、不織
基材、これらの組み合わせおよびこれらの処理品が含ま
れる。裏材料は、ポリエステルフィルムのようなポリマ
ーフィルムであることが好ましい。いくつかの場合に、
裏材料は紫外線照射に対して透明であることが望まし
い。また、フィルムは、研磨コンポジットの裏材料に対
する接着を促進するためにポリエチレンアクリル酸のよ
うな材料で下塗りすることが好ましい。
【００２２】 被覆研磨用品を形成した後に、裏材料は他の基材にラ
ミネートされうる。たとえば、裏材料は、金属板のよう
なより堅いより剛性の基材にラミネートされることによ
り、剛性支持体上に支持された正確に成形された研磨コ
ンポジットを有する被覆研磨用品が提供される。
【００２３】 ここで用いる「予め定められた正確な形状」という表
現は、研磨グレインと硬化性バインダーとの流動性混合
物の硬化性バインダーを、その混合物が裏材料上に支え
られ製造用具の表面上のキャビティーを満たしている間
に、硬化させることにより形成された研磨コンポジット
の形状をいう。予め定められた正確な形状に成形された
研磨コンポジットは、従って、キャビティーの形状と正
確に同一の形状を有する。かかる複数のコンポジットは
非ランダムパターンにおいて裏材料の表面から外側に突
出する三次元形状、すなわち、製造用具のパターンの裏
返し、を提供する。それぞれのコンポジットは、境界に
より定められ、その境界の底部は正確に成形されたコン
ポジットが接着されている裏材料との界面である。境界
の残りの部分は、コンポジットがその中で硬化される製
造用具の表面上のキャビティーにより定められる。コン
ポジットの外側表面の全体は、その形成中に、裏材料に
より又はキャビティーにより定められる。
【００２４】 研磨コンポジットを有さない裏材料の表面は感圧接着
剤またはフックおよびループ型取り付け装置を有し得、
そのことにより、この研磨用品はバックアップパッドに
固定されうる。この目的に適する感圧接着剤の例には、
ゴムベースの接着剤、アクリレートベースの接着剤およ
びシリコーンベースの接着剤が含まれる。
【００２５】 研磨コンポジットは、未硬化または未ゲル化バインダ
ー中に分散された複数の研磨グレインを含有するスラリ
ーから形成される。硬化またはゲル化において、研磨コ
ンポジットは固形化、すなわち予め定められた形状およ
び予め定められた配列に固定される。
【００２６】 研磨グレインのサイズは約0.5〜約1000μｍ、好まし
くは約１〜約100μｍの範囲でありうる。しばしば、狭
い粒子サイズの分散は、研磨されるワークピースにより
細かい仕上げを提供しうる研磨用品を提供する。本発明
に適する研磨グレインの例には、溶融酸化アルミニウ
ム、熱処理酸化アルミニウム、セラミック酸化アルミニ
ウム、シリコンカーバイド、アルミナジルコニア、ガー
ネット、ダイヤモンド、立方体窒化ボロン、およびこれ
らの混合物が含まれる。
【００２７】 バインダーはその中に研磨グレインが分散されうる媒
体を提供する必要がある。好ましくは、このバインダー
は比較的迅速に硬化またはゲル化することにより研磨用
品を素早く製造可能とする。比較的速くゲル化するけれ
ども、完全硬化するのにより長時間を要するバインダー
もある。ゲル化は、硬化が始まるまでコンポジットの形
状を維持する。速く硬化するか、または速くゲル化する
バインダーにより高い持続性の研磨コンポジットを有す
る被覆研磨用品が得られる。本発明に好ましいバインダ
ーの例には、フェノール樹脂、アミノプラスト樹脂、ウ
レタン樹脂、エポキシ樹脂、アクリレート樹脂、アクリ
レート化イソシアヌレート樹脂、尿素−ホルムアルデヒ
ド樹脂、イソシアヌレート樹脂、アクリレート化ウレタ
ン樹脂、アクリレート化エポキシ樹脂、グルーおよびこ
れらの混合物が含まれる。バインダーは熱可塑性樹脂で
もよい。
【００２８】 用いられるバインダーに依存して、熱、赤外線、電子
線、紫外線照射または可視光照射のようなエネルギー源
により硬化またはゲル化を行いうる。
【００２９】 上述のように、バインダーは照射硬化性でありうる。
照射硬化性バインダーは照射エネルギーにより少なくと
も部分的に硬化されるか、または少なくとも部分的に重
合されうるいずれかのバインダーである。典型的には、
これらのバインダーはフリーラジカル機構により重合さ
れる。好ましくは、これらは、アクリレート化ウレタ
ン、アクリレート化エポキシ、垂れ下がったα，β−不
飽和カルボニル基を有するアミノプラスト誘導体、エチ
レン性不飽和化合物、少なくとも１個の垂れ下がったア
クリレート基を有するイソシアヌレート誘導体、少なく
とも１個の垂れ下がったアクリレート基を有するイソシ
アネート、およびこれらの混合物からなる群から選択さ
れる。
【００３０】 アクリレート化ウレタンはヒドロキシ末端イソシアネ
ート（NCO）伸張ポリエステルまたはポリエーテルのジ
アクリレートエステルである。市販されているアクリレ
ートウレタンの代表例には、モートン・チオコール社か
ら得られるユビタン782、およびラドキュア・スペシャ
ルティーズ社より得られるCMD6600、CMD8400およびCMD8
805が含まれる。アクリレート化エポキシは、ビスフェ
ノールＡエポキシ樹脂のジアクリレートエステルのよう
なジアクリレートエステルである。市販されているアク
リレート化エポキシの例には、ラドキュア・スペシャル
ティーズ社より得られるCMD3500、CMD3600およびCMD370
0が挙げられる。アミノプラスト誘導体は少なくとも1.1
個の垂れ下がったα，β−不飽和カルボニル基を有し、
これらはここに参照として挙げる米国特許第4,903,440
号にさらに記載されている。
【００３１】 エチレン性不飽和化合物には、炭素、水素および酸
素、および必要に応じて、窒素およびハロゲンの原子を
含むモノマーまたはポリマー化合物が含まれる。一般
に、酸素および窒素原子はエーテル、エステル、ウレタ
ン、アミドおよび尿素基中に存在する。このような材料
の例は、すでにここに参照として挙げた米国特許第4,90
3,440号にさらに記載されている。少なくとも１個の垂
れ下がったアクリレート基を有するイソシアネート誘導
体およびイソシアヌレート誘導体は、ここに参照として
挙げる米国特許第4,652,274号に記載されている。上述
の接着剤はフリーラジカル重合機構により硬化する。
【００３２】 本発明の研磨用品の作製に好ましい他のバインダーに
は、ここで参照として挙げる米国特許第4,318,766号に
記載の照射硬化性エポキシ樹脂が含まれる。この型の樹
脂は、好ましくは、紫外線照射により硬化される。この
エポキシ樹脂はヨードニウム光開始剤により開始される
カチオン重合機構により硬化される。
【００３３】 エポキシ樹脂とアクリレート樹脂との混合物も用いう
る。このような樹脂混合物の例は、ここに参照として挙
げる米国特許第4,751,138号に記載されている。
【００３４】 バインダーが紫外線照射により硬化される場合は、フ
リーラジカル重合を開始させるために光開始剤を必要と
する。この目的に好ましい光開始剤の例には、有機パー
オキシド、アゾ化合物、キノン、ベンゾフェノン、ニト
ロソ化合物、アクリルハライド、ヒドラゾン、メルカプ
ト化合物、ピリリウム化合物、トリアクリルイミダゾー
ル、ビスイミダゾール、クロロアルキルトリアジン、ベ
ンゾインエーテル、ベンジルケタール、チオキサントン
およびアセトフェノン誘導体が含まれる。好ましい光開
始剤は2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニル−１−エタノ
ンである。
【００３５】 バインダーが可視照射で硬化される場合は、光開始剤
はフリーラジカル重合を開始させることが必要とされ
る。この目的のために好ましい光開始剤の例は、ここに
参照として挙げる米国特許第4,735,632号、第３欄、第2
5行から第４欄第10行、第５欄第１〜７行、第６欄第１
〜35行に記載されている。
【００３６】 研磨グレインのバインダーに対する重量比は、一般
に、１部のバインダーに対して約４〜１部の研磨グレイ
ン、好ましくは１部のバインダーに対して約３〜２部の
研磨グレインの範囲である。この割合は研磨グレインの
サイズおよび用いるバインダーの型に依存して変化す
る。
【００３７】 被覆研磨用品は、裏材料と研磨コンポジットとの間に
設けられる任意に被覆を有しうる。この被覆は研磨コン
ポジットを裏材料に接合する機能を果たす。この被覆は
コンポジットを調製するのに好ましいバインダー材料の
群から調製されうる。
【００３８】 研磨グレインおよびバインダーの他にも研磨コンポジ
ットは他の材料を含みうる。この材料は添加剤と呼ば
れ、カップリング剤、湿潤剤、染料、顔料、可塑剤、フ
ィラー、剥離剤、研磨補助剤およびこれらの混合物が含
まれる。コンポジットはカップリング剤を含むことが好
ましい。カップリング剤を添加することにより、研磨コ
ンポジットを形成するために用いるスラリーの被覆粘度
を著しく低下させうる。本発明に好ましいこのようなカ
ップリング剤の例には、有機シラン、ジルコアルミネー
トおよびチタネートが含まれる。カップリング剤の量
は、一般に、バインダーの５重量％未満、好ましくは１
重量％未満である。
【００３９】 研磨コンポジットは少なくとも１種の予め定められた
形状を有し、これらは予め定められた配列で配置され
る。一般に、予め定められた形状は一定の周期で繰り返
される。この繰り返し形状は１方向的であるか、好まし
くは２方向的である。表面プロファイルは繰り返し形状
の再現性および持続性の指標である。表面プロファイル
は以下の試験により決定されうる。
【００４０】 表面プロファイル試験 試験される研磨用品を平坦表面上に置き、プロファイ
ロメーター（東京精密社、日本、より市販のサーフコム
・プロファイロメーター）由来のプローブ（半径５μ
ｍ）で研磨コンポジットをトラバースした。このプロー
ブは形状の配列に対して垂直に、かつ研磨用品の裏材料
の平面に対して平行にトラバースした。当然であるが、
プローブは研磨材の形状に接触する。プローブのトラバ
ース速度は0.3mm/秒である。データ分析機は、東京精密
社、日本、から得られるサーフライザー表面テクスチャ
分析計で行った。このデータ分析機は、プローブが研磨
用品のコンポジットをトラバースおよび接触するにつれ
て研磨コンポジットの形状のプロファイルをグラフ化す
る。本発明の場合は、グラフは繰り返し形状の一定の周
期的な特徴を示す。用品の一領域のグラフを用品の他の
領域のグラフと比較した場合に、出力の倍率および周波
数は本質的に同一である。このことは、ランダムなパタ
ーンではなく、すなわち、非常に明確で正確な繰り返し
パターンが存在することを意味する。
【００４１】 研磨コンポジットの形状は一定の周期において繰り返
される。典型的には、研磨コンポジットは高い頂点（す
なわち、領域）と低い頂点（すなわち、領域）とを有す
る。データ分析機から得られる高い頂点値はそれぞれ10
％内であり、データ分析機から得られる低い頂点値はそ
れぞれ10％内である。
【００４２】 得られたプロファイルの例を図３に示す。パターンの
周期性は「ａ′」で示す距離である。高い頂点値距離は
「ｂ′」のマークであり、低い頂点値距離は「ｃ′」の
マークである。
【００４３】 表面プロファイル試験の代わりに以下の操作を用いう
る。たとえば、図１に示すように、研磨用品の断面試料
を撮る。ついで、この試料をホルダーに置き、試料を顕
微鏡で観察する。試料を見るために走査電子顕微鏡およ
び光学顕微鏡のいずれをも用いうる。ついで、ホルダー
中の試料の表面を従来のいずれかの方法により磨き、試
料を顕微鏡で見る場合に表面がきれいになるようにす
る。試料を顕微鏡で見、この試料のマイクロ写真を撮
る。ついで、このマイクロ写真をデジタル化する。この
工程中に、ｘおよびｙ座標に割り当てることにより、研
磨コンポジットの予め定められた形状および予め定めら
れた配列を地図化する。
【００４４】 第１試料と同様にして研磨用品の第２試料を調製す
る。第２試料は第１試料と同一平面を有しなければなら
ず、そのことにより、第２試料の配列および形状が第１
試料のそれらと同一のタイプであることを確実とする。
第２試料をデジタル化した場合に、２個の試料のｘおよ
びｙ座標が10％を越えて異ならなければ、形状および配
列が予め定められたと結論しうる。座標が15％を越えて
異なる場合は、形状および配列はランダムであり、予め
定められていないと結論される。
【００４５】 図１、６、７および18に示すように、明確な頂点によ
り特徴づけられる研磨コンポジットにおいて、デジタル
化されたプロファイルは配列にわたって異なる。言い替
えると、頂点は外観において谷と異なる。したがって、
第２の試料が調製される場合に、第２試料の断面が第１
試料の断面と正確に対応するように、すなわち、頂点は
頂点に、谷は谷に対応するように注意する必要がある。
しかしながら、頂点または形状のそれぞれの領域は、頂
点または形状の他の領域と実質的に同一の幾何配置を有
する。したがって、頂点または形状の一領域におけるあ
るデジタル化されたプロファイルについて、頂点または
形状の他の領域における他のデジタル化したプロファイ
ルが第１領域と本質的に同一であることを見出しうる。
【００４６】 本発明により得られる研磨用品がより持続性であるほ
ど、ワークピースに研磨用品により付与される仕上げが
持続性となる。得られたプロファイルを有する研磨用品
は高レベルの持続性を有する。というのも、研磨コンポ
ジットの頂点の高さは通常10％を越えて変化しないから
である。
【００４７】 本発明により得られる被覆研磨用品は従来の被覆研磨
用品と比べていくつかの利点を示す。ある場合には、研
磨用品は、予め定められた配列により位置させた研磨コ
ンポジットを有さない研磨用品よりも長い寿命を有す
る。コンポジットの間の空間は削りくずを研磨用品から
逃がすための手段を提供し、そのことにより、ローディ
ングおよび使用中に生じる熱を減少させる。さらに、本
発明により得られる被覆研磨用品は表面において均一な
摩耗および均一なグラインド力を示しうる。研磨用品を
用いるにしたがって、研磨グレインは抜け落ち、新しい
研磨グレインが露出し、そのことにより、研磨用品は長
寿命、高く維持された研磨速度および製品の寿命にわた
る表面仕上げの持続を有する。
【００４８】 予め定められた配列で配置される研磨コンポジットは
広範囲の形状および間隔にわたって変化しうる。図４お
よび５に、リニアな曲線溝を示す。図６および７に、ピ
ラミッド形状を示す。図８および９に、リニアな溝を示
す。図１に、同一寸法および形状の突出14、および３面
体プリズムエレメントから作製される構造表面を示す。
図３に、ステップ31およびランド32の連続を示す。
【００４９】 それぞれのコンポジットは、１個以上の平坦表面で定
められる境界を有する。たとえば、図１では、平坦境界
は15の番号で示される。図３では、平坦境界は33の番号
で示される。好ましくは、研磨グレインは平坦境界の上
に突出しない。このような構成により、グラインドの削
りくずに起因するローディングの量が研磨用品において
低減されると考えられる。平坦境界を調節することによ
り、研磨コンポジットはより持続的に再生される。
【００５０】 コンポジットの最適形状は特定の研磨用途に依存す
る。コンポジットの領域密度、すなわち、単位面積当た
りのコンポジットの数、が変化すれば異なる特性が得ら
れる。たとえば、より高い領域密度はグラインディング
中においてより低いコンポジット当たりの単位圧を提供
し、そのことにより、より細かい表面仕上げを提供す
る。連続頂点の配列は、可撓性製品が得られるように配
置されうる。オフハンドグラインディング用途のような
中位の単位圧のためには、約0.3〜約１の範囲のアスペ
クト比の研磨コンポジットが好ましい。本発明の利点
は、隣接形状上の対応点間の最大距離が1mmを下回り、
特に0.5mmを下回りうることである。
【００５１】 本発明に記載される被覆研磨用品は以下の操作により
調製されうる。まず、研磨グレインおよびバインダーを
含有するスラリーを製造用具に導入する。第２に、前側
および裏側を有する裏材料を製造用具の外側表面に導入
する。スラリーは裏材料の前側を濡らすことにより中間
用品を形成する。第３に、バインダーが少なくとも部分
的に硬化またはゲル化され、その後製造用具の外側表面
から中間用品が除去される。第４に、製造用具から被覆
研磨用品が除去される。好ましくは、４工程は連続的に
行なわれる。
【００５２】 本発明の方法の模式的な工程図を図２に示す。スラリ
ー100は圧力または重力により充填口102から製造用具10
4上に流れ、その中のキャビティ（非表示）中に満たさ
れる。スラリー100がキャビティを完全に満たさない場
合は、得られる被覆研磨用品は研磨コンポジットの表面
上および／または研磨コンポジットの内部にボイドまた
は微小な不完全部分を有する。製造用具にスラリーを導
入する他の方法にはダイ被覆および真空ドロップダイ被
覆が含まれる。
【００５３】 製造用具104に導入される前にスラリー100は加熱され
ることが好ましい。典型的には、40〜90℃の範囲の温度
に加熱される。スラリー100が加熱される場合は、それ
は製造用具104のキャビティ中により容易に流れ、その
ことにより、不完全部分が最低限となる。研磨スラリー
の粘度はいくつかの理由で精密に制御することが好まし
い。たとえば、粘度が高過ぎると研磨スラリーを製造用
具に導入することが困難となる。
【００５４】 製造用具104はベルト、シート、被覆ロール、被覆ロ
ール上に装着されたスリーブまたはダイでありうる。製
造用具104は被覆ロールであることが好ましい。典型的
には、被覆ロールは24および45cmの間の直径を有し、金
属のような剛性材料で構成される。製造用具104が一旦
被覆装置上に装着されると、これは出力駆動モータによ
り駆動される。
【００５５】 製造用具104は表面上に少なくとも１個の特定された
形状の予め定められた配列を有する。これは本発明によ
り得られる用品の研磨コンポジットの予め定められた配
列および特定形状の逆（inverse）である。この方法の
ための製造用具は金属、たとえば、ニッケルから調製さ
れうるけれども、プラスチックの用具も用いうる。金属
製の製造用具は、彫り込み、ホビング（hobbing）、所
望の形状に機械加工された複数の金属部分を束として組
み立てること、または他の機械的手段、または電気的形
成により作製される。好ましい方法はダイヤモンド加工
（diamondo turning）である。このような技術は、ポリ
マー科学および技術百科、第８巻、ジョン・ワイレイ＆
サンズ社、1968年、第651〜655頁、および米国特許第3,
689,346号、第７欄、第30〜55行にさらに記載されてお
り、これらすべてをここに参照として挙げる。
【００５６】 ある場合には、オリジナルの用具からプラスチックの
製造用具を複製しうる。金属用具と比較した場合のプラ
スチック用具の利点はコストである。ポリプロピレンの
ような熱可塑性樹脂は金属用具上でその溶融温度におい
てエンボス可能であり、金属用具の熱可塑性レプリカを
提供する。このプラスチックのレプリカも製造用具とし
て用いうる。
【００５７】 照射硬化性バインダーのためには、製造用具は、典型
的には30〜140℃の範囲に加熱され、そのことにより、
より容易な処理および研磨用品の剥離を提供する。
【００５８】 裏材料106は巻き戻しステーション108から出発し、つ
いで、アイドラーロール110およびニップロール112を通
過することにより適当な張力を得る。ニップロール112
は、裏材料106をスラリー100に押しつけ、そのことによ
りスラリーを裏材料106に濡らしつけ、中間用品を形成
する。
【００５９】 中間用品が製造用具104を離れる前にバインダーが硬
化またはゲル化される。ここで用いられる「硬化」と言
う用語は固体状態に重合させることを意味する。「ゲル
化」はほぼ固体状に非常に粘性となることを意味する。
硬化またはゲル化の後に研磨コンポジットの被覆研磨用
品が製造用具104から分離した後は、研磨コンポジット
の特定形状は変化しない。ある場合には、まずバインダ
ーがゲル化され、ついで、中間用品が製造用具104から
除去されうる。ついで、バインダーがその後硬化され
る。寸法的な特徴が変化しないために、得られる被覆研
磨用品は非常に正確なパターンを有する。したがって、
被覆研磨用品は製造用具104の逆のレプリカ（inverse r
eplica）である。
【００６０】 バインダーは、熱、赤外線照射または、電子線照射、
紫外線照射または可視光照射のような他の照射エネルギ
ーのようなエネルギーを提供するエネルギー源114によ
り硬化またはゲル化される。用いるエネルギー源は、用
いられる特定の接着剤および裏材料に依存する。縮合硬
化性樹脂は熱、ラジオ周波数、マイクロ波または赤外線
照射により硬化されうる。
【００６１】 付加重合性樹脂は、熱、赤外線、または好ましくは電
子線照射、紫外線照射または可視光照射により硬化され
うる。好ましくは、電子線照射は0.1〜10Mrad、より好
ましくは１〜6Mradの線量レベルを有する。紫外線照射
は200〜700nm、より好ましくは250〜400nmの範囲の波長
を有する非粒子照射である。可視照射は400〜800nm、よ
り好ましくは400〜550nmの間の範囲の波長を有する非粒
子照射である。紫外線照射が好ましい。一定のレベル照
射における硬化速度はバインダーの厚さ、ならびに密
度、温度および組成物の特性に依存して変化する。
【００６２】 被覆研磨用品116は製造用具104から出発し、アイドラ
ロール118を横切って巻き取りスタンド120に達する。研
磨コンポジットは裏材料に良好に接着する必要がある。
そうでなければ、コンポジットが製造用具104に残るこ
ととなる。被覆研磨用品116の剥離を増大させるため
に、製造用具104は、シリコーン材料のような剥離剤で
被覆されるか、それらを含有することが好ましい。
【００６３】 用いられる特定のパターンおよび研磨用品に意図され
る用途に依存して、研磨用品は使用前に可撓化されるこ
とが好ましい場合もある。
【００６４】 また、研磨用品は以下の方法によっても製造される。
第１に、バインダーと複数の研磨グレインとの混合物を
有するスラリーが前側および裏側を有する裏材料に導入
される。このスラリーは裏材料の前側を濡らし、中間用
品を形成する。第２に、中間用品が製造用具に導入され
る。第３に、中間用品が製造用具の外側面から分離する
前にバインダーが少なくとも部分的に硬化またはゲル化
され、研磨用品が形成される。第４に、研磨用品が製造
用具から除去される。好ましくは、この工程は連続的に
行なわれる。そのことにより、被覆研磨用品を調製する
ための効率的な方法が提供される。
【００６５】 第２の方法は、第１の方法とほぼ同様であるが、最初
にスラリーが製造用具にではなく裏材料に設けられる点
で異なる。たとえば、スラリーは巻き戻しステーション
108とアイドラロール110との間において裏材料に設けう
る。第２の方法の他の工程および条件は第１の方法と同
様である。製造用具の表面の特定の構成に依存して、第
１の方法の代わりに第２の方法を用いことが好ましい。
【００６６】 第２の方法では、スラリーは、ダイ被覆、ロール被覆
または真空ダイ被覆のような方法により裏材料の前側に
設けられうる。スラリーの重量は裏材料の張力およびニ
ップ圧およびスラリーの流速により調製されうる。
【００６７】 以下の非限定的な実施例により本発明をさらに説明す
る。実施例におけるすべての重量はg/m2で与えられる。
以下の実施例のすべての割合は重量基準である。実施例
で用いる溶融アルミナは白色溶融アルミナである。
【００６８】 実施例において以下の略号を用いた。
【００６９】
【表１】
【００７０】 乾燥押し引き試験 研磨用品を直径2.54cmのディスクとした。二重被覆転
写テープを裏材料の裏側にラミネートした。ついで、被
覆研磨用品を直径2.54cmのファインセ−イットの商標の
バックアップパッド、ミネソタ・マイニング・アンド・
マニファクチュアリング社、セント・ポール、ミネソタ
より市販されている、に押し付けた。ワークピースはウ
レタン下塗りを有する45cm×77cm金属板とした。このタ
イプのプライマーは自動車ペイント業界で通常用いられ
る。被覆研磨用品を用いて、手で、シート上を約三十
（30）2.54cm×22cmの位置を研磨した。作業者の手は前
後に移動しストロークを形成した。カット、すなわち、
除去されたプライマーのマイクロメーターにおける量を
100ストロークの後に測定した。エルコメーター・イン
スツルメント社、マンチェスタ、イングランド、より得
られるエルコメーター測定機で塗料の厚さを測定した。
仕上げ、すなわち、金属下塗り板の表面仕上げを10〜10
0ストロークの後に測定した。ローク・テイラー・ホブ
ソン社、ライチェスター、イングランド、より得られる
サートロニック３プロファイロメーター用いて仕上がり
（Ra）を測定した。Raはマイクロインチにおけるスクラ
ッチサイズの算術平均とした。
【００７１】 湿潤押し引き試験 流水下で下塗り金属板表面を行うこと以外は乾燥押し
引き試験と同様にして湿潤押し引き試験を行った。
【００７２】 実施例１〜５ 実施例１〜５の被覆研磨用品では、本発明により得ら
れる研磨用品の種々の形状および配列を説明する。これ
らの用品はバッチ法の手法により作製した。実施例１は
LP1配列を、実施例２はLP2配列を、実施例３はLP3配列
を、実施例４はLP4配列を、そして実施例５はCC配列を
説明する。
【００７３】 製造用具は配列の逆を有する16cm×16cmスクエアのニ
ッケル板とした。製造用具は従来の電子形成法により作
製した。裏材料は、フィルムを下塗りするためにCF4コ
ロナで処理したポリエステルフィルム（厚さ0.5mm）と
した。バインダーは、90％TMDIMA2/10％IBA/10％PH1接
着剤からなる。研磨グレインは溶融アルミナ（平均粒子
寸法40μｍ）とし、そしてスラリー中の研磨グレインと
バインダーとの重量比を1:1とした。このスラリーを製
造用具に塗布した。ついで、ポリエステルフィルムをス
ラリー上に設け、ゴムロールをポリエステルフィルム上
に通過させることにより、フィルムの表面をスラリーで
濡らした。ついで、スラリーを有する製造用具および裏
材料を紫外線に露出することにより接着剤を硬化させ
た。それぞれの試料の用品を、400ワット／インチにお
いて40フィート／分の速度で運転されるAETEK紫外線ラ
ンプに３回通過させた。ついで、それぞれの試料の用品
を製造用具から除去した。実施例１〜５の研磨用品を乾
燥押し引き試験および湿潤押し引き試験で試験した。乾
燥押し引き試験の結果を表１に、湿潤押し引き試験の結
果を表２に示す。図10に、実施例１の被覆研磨用品のた
めの表面プロファイル試験のアウトプットを示す。
【００７４】
【表２】
【００７５】
【表３】
【００７６】 実施例６ 配列をLP5とすること以外は実施例１〜５の用品を調
製するのに用いたのと同様にして、実施例６の被覆研磨
用品を作製した。湿潤押し引き試験の結果を以下の表３
に示す。
【００７７】 比較例Ａは、ミネソタ・マイニング・アンド・マニフ
ァクチュアリング社、セント・ポール、ミネソタより市
販されているグレード600ウェットオアドライ・TRI−Ｍ
−ITE紙被覆研磨材料とした。
【００７８】 比較例Ｂは、ミネソタ・マイニング・アンド・マニフ
ァクチュアリング社、セント・ポール、ミネソタより市
販されているグレード320ウェットオアドライ・TRI−Ｍ
−ITE紙被覆研磨材料とした。
【００７９】
【表４】
【００８０】 以上の結果より、これらの形状はシャープな特徴（fe
atures）、すなわち、ポイントまたはリッジのいずれか
を有することがもっとも効果的であり、フラットな特徴
を有するこれらの形状はプライマーの除去において効果
的でないことがわかる。さらに、CC配列は静的に可撓性
（quiet flexible）であるがLP3配列は限られた可撓性
を示した。
【００８１】 実施例６の用品（LP5配列）はパターンにおいて指向
性を有する。実施例６の用品を、改変乾燥押し引き試験
で試験した。その際に、１ストロークを前進または後退
の一方向における移動とした。結果を以下の表４に示
す。
【００８２】
【表５】
【００８３】 実施例７〜11 12μｍの平均粒子寸法を有する溶融アルミナグレイン
を用いること以外は実施例１〜５の操作と同様にして、
実施例７〜11の被覆研磨用品を作製した。実施例７では
LP2配列を説明し、実施例８ではLP1配列を説明し、実施
例９ではCC配列を説明し、実施例10ではLP5配列を説明
し、そして実施例11ではLP3配列を説明する。これらの
実施例の研磨用品は湿潤押し引き試験で試験し、試験結
果を以下の表５に示す。
【００８４】 比較実施例Ａは、ミネソタ・マイニング・アンド・マ
ニファクチュアリング社、セント・ポール、ミネソタよ
り市販されているグレード600ウェットオアドライ・TRI
−Ｍ−ITEのウエイト紙とした。
【００８５】
【表６】
【００８６】 実施例12〜14 90μｍの平均粒子サイズを有する溶融アルミナグレイ
ンを用いること以外は実施例１〜５に記載の方法と同様
にして、実施例12〜14の研磨用品を作製した。実施例12
ではLP3配列を、実施例13ではLP5配列を、実施例14では
CC配列を説明する。これらの実施例の研磨用品を乾燥押
し引き試験で試験した。結果を表６に示す。
【００８７】 比較例Ｂは、ミネソタ・マイニング・アンド・マニフ
ァクチュアリング社、セント・ポール、ミネソタより市
販されているグレード320・ウェットオアドライ・TRI−
Ｍ−ITEのＡウエイト紙とした。
【００８８】
【表７】
【００８９】 表７では、乾燥押し引き試験において、40μｍの平均
粒子寸法を有する研磨用品（実施例３）と12μｍの平均
粒子寸法を有する研磨用品（実施例11）との性能の比較
を示す。
【００９０】
【表８】
【００９１】 LP3配列において、カットは研磨グレインの特定のサ
イズよりもコンポジットの配列および形状により依存す
る。従来は、用いる研磨グレインのサイズはカットに著
しく影響すると考えられてきた。この現象は驚くべきこ
とであり、当業界で一般に考えられてきたのとは逆であ
る。
【００９２】 実施例15〜16、および比較例ＣおよびＤ これらの実施例では、従来の被覆研磨用品と本発明に
より得られる被覆研磨用品との性能を比較する。これら
の実施例の被覆研磨用品は連続法により作製され、カッ
トを除去されたプライマーのグラムにおける量とするこ
と以外は乾燥押し引き試験と同様にして試験した。さら
に、試験の終わりに表面仕上げをとり、RaおよびRTMの
両方をマイクロインチにおいて測定した。RTMは最も深
いスクラッチの秤量された平均測定とした。結果を表８
に示す。
【００９３】 図２に示したのと実質的同様の装置でこれらの実施例
のための被覆研磨用品を調製した。研磨グレインを含有
するスラリー100を製造用具104に充填口102から導入し
た。ついで、スラリー100が裏材料の表面を濡らし、中
間用品を形成するように、裏材料を製造用具104に導入
した。裏材料は圧力ロール112を用いてスラリー100に押
し付けた。スラリー100中のバインダーを硬化させるこ
とにより被覆研磨用品を形成した。ついで、製造用具10
4から被覆研磨用品を除去した。スラリーおよび裏材料
は実施例１で用いたのと同一の材料を用いた。バインダ
ーの温度を30℃、そして製造用具の温度を70℃とした。
【００９４】 実施例15〜16 実施例15および16において、製造用具上でスラリーを
硬化させるように紫外線ランプを位置させた。実施例15
では、製造用具はLP6配列を有するグラビアロールとし
た。実施例16では、製造用具はCC配列を有するグラビア
ロールとした。
【００９５】 比較例ＣおよびＤ 比較例ＣおよびＤにおいては、製造用具から除去され
た後にスラリーが硬化されるように紫外線ランプを位置
させた。したがって、中間用品の製造用具に残される時
と、接着剤が硬化またはゲル化される時との間に時間の
ズレが生じる。この遅れにより接着剤が流動し、コンポ
ジットの配列および形状が変化する。比較例Ｃにおい
て、製造用具はCC配列を有し、比較例Ｄにおいて製造用
具はLP6配列を有していた。
【００９６】 従来の被覆研磨用品と比較した場合に、本発明により
得られる被覆研磨用品における改良点は製造用具におけ
る硬化またはゲル化から得られる。この改良点は図６、
７、15および16の写真より容易に認められる。図15およ
び16は比較例Ｃのものであるが、図６および７は実施例
16のものである。図11に、比較例Ｄの被覆研磨用品の表
面プロファイル試験のアウトプットを示す。
【００９７】
【表９】
【００９８】 最も好ましい被覆研磨用品は低い表面仕上がり値とと
もに高いカットを有するものである。本発明により得ら
れる研磨用品はこの基準を満足する。
【００９９】 実施例17〜20 これらの実施例の研磨用品は種々の接着剤の硬化を説
明する。異なる接着剤を用いること以外は実施例１と同
様の方法により研磨用品を作製し試験した。スラリー中
の材料の重量比は実施例１と同一とした。実施例17のた
めの接着剤をTMDIMA2とし、実施例18のための接着剤をB
AMとし、実施例19のための接着剤をAMPとし、そして実
施例20のための接着剤をTATHEICとした。試験結果を以
下の表９に示す。比較例Ａは、ミネソタ・マイニング・
アンド・マニファクチュアリング社、セント・ポール、
ミネソタより市販されているグレード600ウェットオア
ドライ・TRI−Ｍ−ITEのＡウエイト紙とした。
【０１００】
【表１０】
【０１０１】 実施例21〜24 異なるスラリーを用いること以外は実施例16と同様の
方法で実施例21〜24の被覆研磨用品を作製した。実施例
21においては40μｍの平均粒子サイズの溶融アルミナグ
レイン（100部）/TMDIMA2（90部）/IBA（10部）/PH1
（２部）からなる研磨スラリーを用い、実施例22では40
μｍの平均粒子サイズの溶融アルミナグレイン（200
部）/TMDIMA2（90部）/IBA（10部）/PH1（２部）からな
る研磨スラリーを用い、実施例23では40μｍの平均粒子
寸法の溶融アルミナグレイン（200部）/AMP（90部）/IB
A（10部）/PH1（２部）からなる研磨スラリーを用い、
そして実施例24では、40μｍの平均粒子寸法の溶融アル
ミナグレイン（200部）/TATHEIC（90部）/IBA（10部）/
PH1（２部）からなる研磨スラリーを用いた。比較例Ｅ
は、ミネソタ・マイニング・アンド・マニファクチュア
リング社、セント・ポール、ミネソタより市販されてい
るグレード400ウェットオアドライ・TRI−Ｍ−ITEのＡ
ウエイト紙とした。
【０１０２】 ラップ試験 研磨用品を直径35.6cmのディスクとし、RHストラスバ
ーグ6AXラッピング装置で試験した。ワークピースは直
径7.5cmの円形に揃え、ホルダーにセットした直径1.2cm
の３個の1018スチールロッドとした。ラッピングは水を
用いないで行い、ワークピースへの通常の（鉛直の）負
荷は1kgとした。ワークピース駆動スピンドルを7.6cmに
オフセットした。ラップの中心からワークピース駆動ス
ピンドル回転を63.5rpmとした。ラップは65rpmで回転さ
せた。被覆研磨ディスクは二重被覆テープで研磨ホルダ
ーに装着した。累積カット量を測定するために、５、1
5、30および60分間隔で試験を中断した。試験結果を以
下の表10に示す。
【０１０３】
【表１１】
【０１０４】 コンポジットの適当な配列および形状の選択により、
カット速度が最大化され得、スクラッチ深さが最小化さ
れ得、そしてスクラッチパターンの均一性が最大化され
うる。
【０１０５】 本発明により得られる被覆研磨用品は比較例Ｅの被覆
研磨用品のように負荷が大きくない。本発明により得ら
れる被覆研磨用品のコンポジットの均一な配列および形
状はその性能の増大に寄与する。
【０１０６】 本発明の被覆研磨用品を調製するための製造用具の製
造の領域におけるガイダンスを提供するために、被覆研
磨用品のための以下の寸法を提供するものを包括的に図
12〜14、および包括的に17〜19に示す。寸法、すなわ
ち、インチまたはアーク（arc）の度、は以下の表11に
示す。
【０１０７】
【表１２】
【０１０８】 本発明の視野および精神から離れることなく本発明の
種々の変形および改変が当業者にとって明白であり、そ
して本発明はここに例示の限定的な説明のための実施態
様に限ると解されるべきではない。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 オルソン、リチャード・エム アメリカ合衆国 55133−3427、ミネソ タ州、セント・ポール、ポスト・オフィ ス・ボックス33427番（番地の表示なし) (72)発明者 マッキ、マイケル・ブイ アメリカ合衆国 55133−3427、ミネソ タ州、セント・ポール、ポスト・オフィ ス・ボックス33427番（番地の表示なし) (72)発明者 ホルムス、ゲーリー・エル アメリカ合衆国 55133−3427、ミネソ タ州、セント・ポール、ポスト・オフィ ス・ボックス33427番（番地の表示なし) (72)発明者 ハイチ、ロバート・ブイ アメリカ合衆国 55133−3427、ミネソ タ州、セント・ポール、ポスト・オフィ ス・ボックス33427番（番地の表示なし) (56)参考文献 特開 平１−171771（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−28177（ＪＰ，Ａ) 英国公開1005448（ＧＢ，Ａ) 欧州特許396150（ＥＰ，Ａ１)

Claims (12)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】（１）照射硬化性バインダーと複数の研磨
    グレインとの混合物を含むスラリーを製造用具上に導入
    する工程； （２）裏材料の片側をスラリーが濡らすように製造用具
    の外側表面に裏材料を導入することにより、中間用品を
    形成する工程； （３）該中間用品が製造用具の外側表面から分離する前
    に照射硬化性バインダーを少なくとも一部硬化させるこ
    とにより、被覆研磨用品を形成する工程；および （４）該被覆研磨用品を製造用具から除去する工程； を包含する被覆研磨用品を作製する方法。
  2. 【請求項２】前記照射硬化性バインダーが可視光照射エ
    ネルギーにより少なくとも一部硬化される請求項１記載
    の方法。
  3. 【請求項３】前記製造用具がシリンダー形状である請求
    項１記載の方法。
  4. 【請求項４】前記製造用具がベルトである請求項１記載
    の方法。
  5. 【請求項５】前記バインダーが熱エネルギーにより一部
    硬化される請求項１記載の方法。
  6. 【請求項６】製造用具から除去した後に被覆研磨用品を
    完全に硬化させる工程をさらに包含する請求項１記載の
    方法。
  7. 【請求項７】（１）照射硬化性バインダーと複数の研磨
    グレインとの混合物を含むスラリーを、このスラリーが
    裏材料の前側を濡らすように裏材料上に導入することに
    より、中間用品を形成する工程； （２）外側表面を有する製造用具であって該製造用具の
    外側表面が特定のパターンを有するものに該中間用品を
    導入する工程； （３）中間用品が製造用具の外側表面から分離する前に
    少なくとも一部照射硬化性バインダーを硬化させること
    により、被覆研磨用品を形成する工程；および （４）該製造用具から被覆研磨用品を除去する工程； を包含する被覆研磨用品を作製する方法。
  8. 【請求項８】前記照射硬化性バインダーが可視光照射エ
    ネルギーにより少なくとも一部硬化される請求項７記載
    の方法。
  9. 【請求項９】前記製造用具がシリンダー形状である請求
    項７記載の方法。
  10. 【請求項１０】前記製造用具がベルトである請求項７記
    載の方法。
  11. 【請求項１１】前記バインダーが熱エネルギーにより硬
    化される請求項７記載の方法。
  12. 【請求項１２】製造用具から除去した後に被覆研磨用品
    を完全に硬化させる工程をさらに包含する請求項７記載
    の方法。
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