JP3474101B2 - 極点測定方法 - Google Patents
極点測定方法Info
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- JP3474101B2 JP3474101B2 JP11570998A JP11570998A JP3474101B2 JP 3474101 B2 JP3474101 B2 JP 3474101B2 JP 11570998 A JP11570998 A JP 11570998A JP 11570998 A JP11570998 A JP 11570998A JP 3474101 B2 JP3474101 B2 JP 3474101B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、Ｘ線回折装置を
用いて多結晶試料を分析するための極点測定方法に関す
る。
用いて多結晶試料を分析するための極点測定方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線回折装置を用いた多結晶試料の分析
方法に、極点図をもって試料の配向（集合組織）等を分
析する極点測定方法がある。極点図は、試料を構成する
結晶の特定の格子面に関する極を、図５に示すようなポ
ーラーネット(ステレオ投影図)に表したものである。こ
こで、極とは試料を構成する結晶を中心とする球と格子
面の法線との交点をいう。
方法に、極点図をもって試料の配向（集合組織）等を分
析する極点測定方法がある。極点図は、試料を構成する
結晶の特定の格子面に関する極を、図５に示すようなポ
ーラーネット(ステレオ投影図)に表したものである。こ
こで、極とは試料を構成する結晶を中心とする球と格子
面の法線との交点をいう。
【０００３】図３は、従来の反射法による極点測定方法
に用いられる光学系を示す模式図である。試料Ｓは、表
面内の軸Ａを中心に回転自在であり、かつ試料表面に直
交する軸Ｂを中心として面内回転する。Ｘ線ａは、試料
表面の軸Ａ上に入射角θの角度から照射する。そして、
試料Ｓを軸Ａを中心に回転（以下、α回転ということも
ある）させるとともに、軸Ｂを中心としても回転（以
下、β回転ということもある）させ、入射Ｘ線ａの光軸
に対し２θの角度で試料表面から反射してくる回折Ｘ線
ｂの強度を、所定位置に固定したＸ線検出器１で測定す
る。
に用いられる光学系を示す模式図である。試料Ｓは、表
面内の軸Ａを中心に回転自在であり、かつ試料表面に直
交する軸Ｂを中心として面内回転する。Ｘ線ａは、試料
表面の軸Ａ上に入射角θの角度から照射する。そして、
試料Ｓを軸Ａを中心に回転（以下、α回転ということも
ある）させるとともに、軸Ｂを中心としても回転（以
下、β回転ということもある）させ、入射Ｘ線ａの光軸
に対し２θの角度で試料表面から反射してくる回折Ｘ線
ｂの強度を、所定位置に固定したＸ線検出器１で測定す
る。
【０００４】Ｘ線検出器１で測定した回折Ｘ線ｂの強度
は、試料Ｓの軸Ａ周りの回転角度αおよび軸Ｂ周りの回
転角度βを変数として、ポーラーネット上に表示する。
これにより、極点図が作成される。
は、試料Ｓの軸Ａ周りの回転角度αおよび軸Ｂ周りの回
転角度βを変数として、ポーラーネット上に表示する。
これにより、極点図が作成される。
【０００５】ここで、ポーラーネットは、径方向に回転
角度αをとり、中心がα＝９０°、外周がα＝０°と定
義されている。また、回転角度βは、ポーラーネットの
円周方向にとる。図６は、冷間圧延した７０−３０Ｃｕ
Ｚｎの（１１１）を極とした極点図の例を示している。
角度αをとり、中心がα＝９０°、外周がα＝０°と定
義されている。また、回転角度βは、ポーラーネットの
円周方向にとる。図６は、冷間圧延した７０−３０Ｃｕ
Ｚｎの（１１１）を極とした極点図の例を示している。
【０００６】なお、試料で反射してきた回折Ｘ線の強度
を測定する反射法では、一般に回転角度αの大きい領域
（例えば、α＝１５°〜９０°）のみが測定でき、回転
角度αの小さい領域（例えば、α＝０゜〜４５゜）は、
試料を透過してきた回折Ｘ線の強度を検出する透過法に
より測定される。
を測定する反射法では、一般に回転角度αの大きい領域
（例えば、α＝１５°〜９０°）のみが測定でき、回転
角度αの小さい領域（例えば、α＝０゜〜４５゜）は、
試料を透過してきた回折Ｘ線の強度を検出する透過法に
より測定される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の極点測定においては、試料Ｓをα回転させるととも
に、同試料Ｓをβ回転させていたが、このように試料Ｓ
を複数の軸Ａ，Ｂの周りに回転させるには、複雑かつ高
精度な回転機構を試料台に組み込む必要がある。特に、
α回転は極点測定に必須のものであり、したがって、一
般のＸ線回折測定に用いられている試料台を極点測定に
利用することができず、専用の試料台を制作する必要が
あった。
の極点測定においては、試料Ｓをα回転させるととも
に、同試料Ｓをβ回転させていたが、このように試料Ｓ
を複数の軸Ａ，Ｂの周りに回転させるには、複雑かつ高
精度な回転機構を試料台に組み込む必要がある。特に、
α回転は極点測定に必須のものであり、したがって、一
般のＸ線回折測定に用いられている試料台を極点測定に
利用することができず、専用の試料台を制作する必要が
あった。
【０００８】また、試料Ｓをα回転させるために、入射
Ｘ線ａの軸Ａから離れた領域は、試料Ｓの該回転に伴い
照射面の位置が変化し、Ｘ線検出器１上での焦点がぼけ
てしまう。そこで、従来は、スリットにより回折Ｘ線ｂ
の幅（図 の上下方向の幅）を絞り、焦点が合っている
中央部分の回折Ｘ線ｂのみＸ線検出器１に入射させるよ
うにしていたが、このように回折Ｘ線ｂの幅を絞った場
合、必然的に回折Ｘ線ｂの強度が弱くなり検出精度が低
下する欠点があった。
Ｘ線ａの軸Ａから離れた領域は、試料Ｓの該回転に伴い
照射面の位置が変化し、Ｘ線検出器１上での焦点がぼけ
てしまう。そこで、従来は、スリットにより回折Ｘ線ｂ
の幅（図 の上下方向の幅）を絞り、焦点が合っている
中央部分の回折Ｘ線ｂのみＸ線検出器１に入射させるよ
うにしていたが、このように回折Ｘ線ｂの幅を絞った場
合、必然的に回折Ｘ線ｂの強度が弱くなり検出精度が低
下する欠点があった。
【０００９】この発明はこのような事情に鑑みてされた
もので、試料表面内の任意の軸を中心とする試料の回転
を不要とした反射法による極点測定方法の提供を目的と
する。
もので、試料表面内の任意の軸を中心とする試料の回転
を不要とした反射法による極点測定方法の提供を目的と
する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
にこの発明の極点測定方法は、次の（イ）〜（ハ）の操
作を含むことを特徴としている。
にこの発明の極点測定方法は、次の（イ）〜（ハ）の操
作を含むことを特徴としている。
【００１１】（イ）試料の表面にＸ線を照射する。
（ロ）試料を表面と直交する任意の軸周りに面内回転さ
せるとともに、その回転角度βを測定する。 （ハ）試料からの回折Ｘ線が描くデバイ環に沿ってＸ線
検出器を移動し、試料から反射または透過してきた回折
Ｘ線の強度を測定する。
せるとともに、その回転角度βを測定する。 （ハ）試料からの回折Ｘ線が描くデバイ環に沿ってＸ線
検出器を移動し、試料から反射または透過してきた回折
Ｘ線の強度を測定する。
【００１２】この発明の極点測定方法は、反射法または
透過法による多結晶試料の極点測定に適用される。すな
わち、Ｘ線回折装置に装着した試料の表面にＸ線を照射
し、試料表面から反射または透過してきた回折Ｘ線の強
度をＸ線検出器で測定する。
透過法による多結晶試料の極点測定に適用される。すな
わち、Ｘ線回折装置に装着した試料の表面にＸ線を照射
し、試料表面から反射または透過してきた回折Ｘ線の強
度をＸ線検出器で測定する。
【００１３】試料は、従来の極点測定方法と同じく試料
表面に直交する任意の軸周りに面内回転（β回転）させ
るが、試料表面内の軸を中心とした回転（α回転）は必
要としない。したがって、一般のＸ線回折測定に用いら
れる試料台を利用することができる。また、回折Ｘ線を
絞る必要がなく、大きな強度の回折Ｘ線をＸ線検出器に
入射させることも可能となる。
表面に直交する任意の軸周りに面内回転（β回転）させ
るが、試料表面内の軸を中心とした回転（α回転）は必
要としない。したがって、一般のＸ線回折測定に用いら
れる試料台を利用することができる。また、回折Ｘ線を
絞る必要がなく、大きな強度の回折Ｘ線をＸ線検出器に
入射させることも可能となる。
【００１４】さて、図４に示すように、多結晶試料Ｓに
Ｘ線ａを照射すると、入射Ｘ線ａの光路を中心として円
錐状に回折Ｘ線ｂが現れることが知られている。そし
て、この回折Ｘ線ｂを入射Ｘ線ａの光路と直交する平板
フィルムＺに投影すると、回折Ｘ線ｂは円環状に記録さ
れる。この回折Ｘ線ｂが描く円環１０をデバイ環とい
う。
Ｘ線ａを照射すると、入射Ｘ線ａの光路を中心として円
錐状に回折Ｘ線ｂが現れることが知られている。そし
て、この回折Ｘ線ｂを入射Ｘ線ａの光路と直交する平板
フィルムＺに投影すると、回折Ｘ線ｂは円環状に記録さ
れる。この回折Ｘ線ｂが描く円環１０をデバイ環とい
う。
【００１５】この発明では、Ｘ線検出器を試料からの回
折Ｘ線が描くデバイ環に沿って移動させることにより、
試料のα回転により測定される方位の回折Ｘ線をＸ線検
出器に入射するようにしている。
折Ｘ線が描くデバイ環に沿って移動させることにより、
試料のα回転により測定される方位の回折Ｘ線をＸ線検
出器に入射するようにしている。
【００１６】なお、この発明により得られた測定結果
を、ポーラーネットに記録するためには、Ｘ線検出器の
角度φを、試料の回転角αに換算する必要がある。そこ
で、既述した数１によりＸ線検出器の角度φを試料の回
転角αに換算して、測定した回折Ｘ線強度をポーラーネ
ットに記録していく。
を、ポーラーネットに記録するためには、Ｘ線検出器の
角度φを、試料の回転角αに換算する必要がある。そこ
で、既述した数１によりＸ線検出器の角度φを試料の回
転角αに換算して、測定した回折Ｘ線強度をポーラーネ
ットに記録していく。
【００１７】また、試料のα回転を、Ｘ線検出器のデバ
イ環に沿った移動に代えた結果、試料のβ回転により測
定される回折Ｘ線の方位にも誤差が生じる。そこで、こ
の発明では、既述した数２により、当該誤差を補正する
ための補正値∂βを算出するようにしている。すなわ
ち、ポーラーネットの円周方向にβ＋∂βをとり、測定
した回折Ｘ線強度を記録する。
イ環に沿った移動に代えた結果、試料のβ回転により測
定される回折Ｘ線の方位にも誤差が生じる。そこで、こ
の発明では、既述した数２により、当該誤差を補正する
ための補正値∂βを算出するようにしている。すなわ
ち、ポーラーネットの円周方向にβ＋∂βをとり、測定
した回折Ｘ線強度を記録する。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて詳細に説明する。図１はこの発明の実施形態に係る
極点測定方法に用いる光学系を示す模式図である。試料
（多結晶試料）Ｓは、表面に直交する軸Ｂを中心として
面内回転（β回転）する。この試料Ｓに対して、Ｘ線源
２より入射角θの方向からＸ線を照射すると、入射Ｘ線
ａの光軸に対し２θの角度に回折Ｘ線ｂが現れる。
いて詳細に説明する。図１はこの発明の実施形態に係る
極点測定方法に用いる光学系を示す模式図である。試料
（多結晶試料）Ｓは、表面に直交する軸Ｂを中心として
面内回転（β回転）する。この試料Ｓに対して、Ｘ線源
２より入射角θの方向からＸ線を照射すると、入射Ｘ線
ａの光軸に対し２θの角度に回折Ｘ線ｂが現れる。
【００１９】既述したように、この回折Ｘ線ｂは、入射
Ｘ線ａの光軸を中心として円錐状に現れる。そして、入
射Ｘ線ａの光軸と直交する仮想平面にデバイ環１０を描
く。ここで、仮想平面は入射Ｘ線ａの光軸上における任
意の位置に設定すればよい。
Ｘ線ａの光軸を中心として円錐状に現れる。そして、入
射Ｘ線ａの光軸と直交する仮想平面にデバイ環１０を描
く。ここで、仮想平面は入射Ｘ線ａの光軸上における任
意の位置に設定すればよい。
【００２０】Ｘ線検出器１は、試料表面から２θの角度
で反射してきた回折Ｘ線ｂを上記デバイ環１０上で測定
する。すなわち、Ｘ線検出器１は、デバイ環１０に沿っ
て移動自在に構成してあり、あらかじめ定めた原点から
逐次デバイ環１０に沿ってステップ移動し、各移動位置
における回折Ｘ線ｂの強度を測定する。
で反射してきた回折Ｘ線ｂを上記デバイ環１０上で測定
する。すなわち、Ｘ線検出器１は、デバイ環１０に沿っ
て移動自在に構成してあり、あらかじめ定めた原点から
逐次デバイ環１０に沿ってステップ移動し、各移動位置
における回折Ｘ線ｂの強度を測定する。
【００２１】さて、極点図をポーラーネット上に表示す
るとき、通常、ポーラーネットの径方向には、Ｘ線検出
器１を固定したまま、試料表面内の任意の軸を中心とし
て試料を回転させたときの回転角度αがとられる。した
がって、本実施形態の測定結果により極点図を作成する
ときは、角度φをこの回転角αに換算する必要が生じ
る。
るとき、通常、ポーラーネットの径方向には、Ｘ線検出
器１を固定したまま、試料表面内の任意の軸を中心とし
て試料を回転させたときの回転角度αがとられる。した
がって、本実施形態の測定結果により極点図を作成する
ときは、角度φをこの回転角αに換算する必要が生じ
る。
【００２２】ここで、図１に示すように、Ｘ線検出器１
をデバイ環１０に沿ってｈ０からｈ１まで移動するもの
とし、このときの試料表面におけるＸ線照射点Ｏを中心
とする角度をφとする。また、Ｘ線検出器１をｈ０に固
定したまま、ｈ１に出力される回折Ｘ線を、試料Ｓのα
回転によりｈ０まで移動させたと仮定し、そのときの試
料Ｓの回転角度をαとする。これら角度φと回転角度α
との間には、既述した数１の関係式が成立する。そこ
で、数１の関係式を用いて、角度φを回転角度αに換算
することにより、従来の極点測定方法と同様に、極点図
を作成することができる。
をデバイ環１０に沿ってｈ０からｈ１まで移動するもの
とし、このときの試料表面におけるＸ線照射点Ｏを中心
とする角度をφとする。また、Ｘ線検出器１をｈ０に固
定したまま、ｈ１に出力される回折Ｘ線を、試料Ｓのα
回転によりｈ０まで移動させたと仮定し、そのときの試
料Ｓの回転角度をαとする。これら角度φと回転角度α
との間には、既述した数１の関係式が成立する。そこ
で、数１の関係式を用いて、角度φを回転角度αに換算
することにより、従来の極点測定方法と同様に、極点図
を作成することができる。
【００２３】また、試料Ｓのα回転を、Ｘ線検出器１の
デバイ環１０に沿った移動に代えた結果、試料Ｓのβ回
転により測定される回折Ｘ線ｂの方位にも誤差が生じ
る。そこで、既述した数２の補正式を用いて、当該誤差
を補正するための補正値∂βを算出し、実際の回転角度
βに加える。すなわち、β＋∂βをもって、極点図を作
成する。
デバイ環１０に沿った移動に代えた結果、試料Ｓのβ回
転により測定される回折Ｘ線ｂの方位にも誤差が生じ
る。そこで、既述した数２の補正式を用いて、当該誤差
を補正するための補正値∂βを算出し、実際の回転角度
βに加える。すなわち、β＋∂βをもって、極点図を作
成する。
【００２４】図２（ａ）は対称反射による極点測定の光
学系を示す図であり、同図（ｂ）は非対称反射による極
点測定の光学系を示す図である。同図（ａ）に示すよう
に、試料Ｓに対するＸ線ａの入射角と、試料Ｓからの回
折Ｘ線ｂの反射角とを同じ角度（共にθ）とした場合、
反射法により測定可能な回折Ｘ線ｂの領域は、同図
（ａ）にＬで示す狭小な領域に制限される。
学系を示す図であり、同図（ｂ）は非対称反射による極
点測定の光学系を示す図である。同図（ａ）に示すよう
に、試料Ｓに対するＸ線ａの入射角と、試料Ｓからの回
折Ｘ線ｂの反射角とを同じ角度（共にθ）とした場合、
反射法により測定可能な回折Ｘ線ｂの領域は、同図
（ａ）にＬで示す狭小な領域に制限される。
【００２５】そこで、同図（ｂ）に示すように、試料Ｓ
に対するＸ線ａの入射角θを低角度に設定し、試料Ｓか
ら回折Ｘ線ｂが広い角度θ´で反射するように調整すれ
ば、反射法による測定可能領域（同図（ｂ）にＬ´で示
す）を広げることが可能となり好ましい。
に対するＸ線ａの入射角θを低角度に設定し、試料Ｓか
ら回折Ｘ線ｂが広い角度θ´で反射するように調整すれ
ば、反射法による測定可能領域（同図（ｂ）にＬ´で示
す）を広げることが可能となり好ましい。
【００２６】なお、この発明は上述した実施形態に限定
されるものではない。例えば、従来の規約に従い極点図
を作成する場合は、既述したような回転角度αへの換算
や、回転角度βの補正が必要となるが、本発明方法の測
定結果に基づき、独自の極点図を作成し、多結晶試料の
配向等を分析することもできる。その場合は、Ｘ線検出
器の角度φと試料の面内回転角度βをそのまま変数とし
て利用することができる。
されるものではない。例えば、従来の規約に従い極点図
を作成する場合は、既述したような回転角度αへの換算
や、回転角度βの補正が必要となるが、本発明方法の測
定結果に基づき、独自の極点図を作成し、多結晶試料の
配向等を分析することもできる。その場合は、Ｘ線検出
器の角度φと試料の面内回転角度βをそのまま変数とし
て利用することができる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
試料表面内の任意の軸を中心とする試料の回転を必要と
しないので、一般のＸ線回折測定に用いられている簡易
な構造の試料台を利用して極点測定を実施することが可
能となり、試料台の汎用性を広げることができる。ま
た、極点測定に際して、試料表面内の任意の軸を中心と
する試料の回転に伴うＸ線幅の制限がなくなり、明瞭な
回折Ｘ線強度の測定が可能となる。
試料表面内の任意の軸を中心とする試料の回転を必要と
しないので、一般のＸ線回折測定に用いられている簡易
な構造の試料台を利用して極点測定を実施することが可
能となり、試料台の汎用性を広げることができる。ま
た、極点測定に際して、試料表面内の任意の軸を中心と
する試料の回転に伴うＸ線幅の制限がなくなり、明瞭な
回折Ｘ線強度の測定が可能となる。
【図１】この発明の実施形態に係る極点測定方法に用い
る光学系を示す模式図である。
る光学系を示す模式図である。
【図２】対称反射および非対称反射による極点測定の光
学系を示す図である。
学系を示す図である。
【図３】従来の極点測定方法に用いる光学系を示す模式
図である。
図である。
【図４】試料から出力された回折Ｘ線が描くデバイ環を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図５】一般的なポーラーネットを示す図である。
【図６】冷間圧延した７０−３０ＣｕＺｎの（１１１）
を極とした極点図である。
を極とした極点図である。
１：Ｘ線検出器 ２：Ｘ線源
１０：デバイ環
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 藤縄 剛
東京都昭島市松原町３−９−12 理学電
機株式会社内
(72)発明者 表 和彦
東京都昭島市松原町３−９−12 理学電
機株式会社内
(56)参考文献 特開 平５−322806（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−75243（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−113468（ＪＰ，Ａ)
Ｆｉｓｋｅｒ Ｒ 他２名，Ｕｓｅ
ｏｆ Ｉｍａｇｅ−Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎ
ｇ Ｔｏｏｌｓ ｆｏｔ Ｔｅｘｔｕｒ
ｅ Ａｎａｙｓｉｓ ｏｆ Ｈｉｇｈ−
Ｅｎｅｒｇｙ Ｘ−ｒａｙ Ｓｙｎｃｈ
ｒｏｔｒｏｎ Ｄａｔａ，Ｊ． Ａｐｐ
ｌ． Ｃｒｙｓｔａｌｌｏｇｒ．，1998
年10月 １日，ｖｏｌ．31， ｎｏ.
５，ｐ．647−653
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01N 23/00 - 23/227
ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (3)
- 【請求項１】 多結晶試料の極点分布を測定する極点測
定方法において、次の（イ）〜（ニ）の処理を含むこと
を特徴とする極点測定方法。 （イ）試料の表面にＸ線を照射する。 （ロ）前記試料を表面と直交する任意の軸周りに面内回
転させるとともに、その回転角度βを測定する。 （ハ）前記試料からの回折Ｘ線が描くデバイ環に沿って
Ｘ線検出器を移動し、前記試料から反射または透過して
きた回折Ｘ線の強度を測定する。（ニ）次の数１により、前記試料表面におけるＸ線照射
点を中心とする前記Ｘ線検出器の角度φを、Ｘ線検出器
を移動前の位置に固定し前記試料表面内の任意の軸を中
心として前記試料を回転させたときの回転角度αに換算
する。 【数１】 - 【請求項２】 請求項１記載の極点測定方法において、
次の数２により、前記試料の面内回転角度βの補正値∂
βを算出することを特徴とする極点測定方法。 【数２】 - 【請求項３】 請求項１で換算した回転角度αと、請求
項２で算出した補正値∂βを加えた試料の面内回転角度
β＋∂βとを変数として、前記Ｘ線検出器で測定した回
折Ｘ線の強度分布をポーラーネット上に表すことを特徴
とする極点測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11570998A JP3474101B2 (ja) | 1998-04-24 | 1998-04-24 | 極点測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11570998A JP3474101B2 (ja) | 1998-04-24 | 1998-04-24 | 極点測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11304730A JPH11304730A (ja) | 1999-11-05 |
| JP3474101B2 true JP3474101B2 (ja) | 2003-12-08 |
Family
ID=14669265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11570998A Expired - Fee Related JP3474101B2 (ja) | 1998-04-24 | 1998-04-24 | 極点測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3474101B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006071377A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Rigaku Corp | Ｘ線回折装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4909154B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2012-04-04 | 株式会社リガク | 結晶粒の極点図測定方法およびその装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0654265B2 (ja) * | 1984-09-19 | 1994-07-20 | 株式会社島津製作所 | ２軸揺動ｘ線応力測定装置 |
| JPH05322806A (ja) * | 1992-05-15 | 1993-12-07 | Rigaku Corp | 微小領域ｘ線回折装置 |
| JPH09113468A (ja) * | 1995-10-24 | 1997-05-02 | Rigaku Corp | 正極点図測定方法 |
-
1998
- 1998-04-24 JP JP11570998A patent/JP3474101B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Ｆｉｓｋｅｒ Ｒ 他２名，Ｕｓｅ ｏｆ Ｉｍａｇｅ−Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｔｏｏｌｓ ｆｏｔ Ｔｅｘｔｕｒｅ Ａｎａｙｓｉｓ ｏｆ Ｈｉｇｈ−Ｅｎｅｒｇｙ Ｘ−ｒａｙ Ｓｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎ Ｄａｔａ，Ｊ． Ａｐｐｌ． Ｃｒｙｓｔａｌｌｏｇｒ．，１９９８年１０月 １日，ｖｏｌ．３１， ｎｏ．５，ｐ．６４７−６５３ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006071377A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Rigaku Corp | Ｘ線回折装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11304730A (ja) | 1999-11-05 |
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