JPH09113468A - 正極点図測定方法 - Google Patents
正極点図測定方法Info
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- JPH09113468A JPH09113468A JP7275573A JP27557395A JPH09113468A JP H09113468 A JPH09113468 A JP H09113468A JP 7275573 A JP7275573 A JP 7275573A JP 27557395 A JP27557395 A JP 27557395A JP H09113468 A JPH09113468 A JP H09113468A
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料の種類や入射Ｘ線に対する方位にかかわ
らず、回折Ｘ線の積分強度を、隣接して現われる回折Ｘ
線に影響されることなく正確に求めることを可能とし、
高精度な正極点図の測定を実現する。 【解決手段】 試料の方位を変化させて得られた各回折
Ｘ線の強度分布に対し、それぞれ所要の回折Ｘ線部分ｐ
およびバックグラウンド部分ｂ1，ｂ2に関する幅（θ3
−θ2およびθ2−θ1，θ4−θ3）を求め、この幅に基
づいて各部分の積分範囲を決定して積分強度Ｉo,Ｉb1,
Ｉb2を算出する。次いで、各部分（ｐとｂ1，ｂ2）の間
の積分範囲の比率を算出し、この比率に基づいて積分強
度Ｉb1＋Ｉb2を回折Ｘ線部分の積分範囲に相当する積分
強度Ｉbに換算する。そして、積分強度Ｉoから、Ｉbに
相当するバックグラウンド部分の積分強度を差し引い
て、回折Ｘ線の積分強度Ｉpを算出し、該積分強度Ｉpを
ポーラーネット上に表示する。
らず、回折Ｘ線の積分強度を、隣接して現われる回折Ｘ
線に影響されることなく正確に求めることを可能とし、
高精度な正極点図の測定を実現する。 【解決手段】 試料の方位を変化させて得られた各回折
Ｘ線の強度分布に対し、それぞれ所要の回折Ｘ線部分ｐ
およびバックグラウンド部分ｂ1，ｂ2に関する幅（θ3
−θ2およびθ2−θ1，θ4−θ3）を求め、この幅に基
づいて各部分の積分範囲を決定して積分強度Ｉo,Ｉb1,
Ｉb2を算出する。次いで、各部分（ｐとｂ1，ｂ2）の間
の積分範囲の比率を算出し、この比率に基づいて積分強
度Ｉb1＋Ｉb2を回折Ｘ線部分の積分範囲に相当する積分
強度Ｉbに換算する。そして、積分強度Ｉoから、Ｉbに
相当するバックグラウンド部分の積分強度を差し引い
て、回折Ｘ線の積分強度Ｉpを算出し、該積分強度Ｉpを
ポーラーネット上に表示する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、Ｘ線回折装置を
用いた試料の正極点図測定方法に関する。
用いた試料の正極点図測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線回折装置を用いた試料の分析方法
に、正極点図をもって試料の配向等を分析する方法があ
る。正極点図は、試料の入射Ｘ線に対する方位と回折Ｘ
線の強度分布との関係を、図７に示すようなポーラーネ
ット(ステレオ投影図)に表示したものである。
に、正極点図をもって試料の配向等を分析する方法があ
る。正極点図は、試料の入射Ｘ線に対する方位と回折Ｘ
線の強度分布との関係を、図７に示すようなポーラーネ
ット(ステレオ投影図)に表示したものである。
【０００３】正極点図の測定においては、Ｘ線回折装置
に装着した試料を、任意の格子面内の軸を中心とする任
意の角度α、および同格子面と直交する軸を中心とする
任意の角度βだけ回転させ、これら角度α，βの方位に
おける回折Ｘ線の積分強度を測定する。そして、この回
折Ｘ線の積分強度をポーラーネット上に表示して正極点
図を作成する。なお、ポーラーネットは、径方向に角度
αのメモリが刻まれており、中心がα＝９０°，外周が
α＝０°と定義されている。また、ポーラーネットの円
周方向には、角度βのメモリが刻まれている。図８は、
冷間圧延した７０−３０ＣｕＺｎの（１１１）を極とし
た正極点図の例を示している。
に装着した試料を、任意の格子面内の軸を中心とする任
意の角度α、および同格子面と直交する軸を中心とする
任意の角度βだけ回転させ、これら角度α，βの方位に
おける回折Ｘ線の積分強度を測定する。そして、この回
折Ｘ線の積分強度をポーラーネット上に表示して正極点
図を作成する。なお、ポーラーネットは、径方向に角度
αのメモリが刻まれており、中心がα＝９０°，外周が
α＝０°と定義されている。また、ポーラーネットの円
周方向には、角度βのメモリが刻まれている。図８は、
冷間圧延した７０−３０ＣｕＺｎの（１１１）を極とし
た正極点図の例を示している。
【０００４】なお、一般に角度αが小さい範囲（例え
ば、α＝０°〜４５°）では、透過法によって回折Ｘ線
強度を測定し、角度αが大きな範囲（例えば、α＝４５
°〜９０°）では、反射法によって回折Ｘ線強度を測定
する。ここで、反射法は、試料で反射した回折Ｘ線を検
出するＸ線回折測定方法であり、透過法は、試料を透過
してきた回折Ｘ線を検出するＸ線回折測定方法である。
ば、α＝０°〜４５°）では、透過法によって回折Ｘ線
強度を測定し、角度αが大きな範囲（例えば、α＝４５
°〜９０°）では、反射法によって回折Ｘ線強度を測定
する。ここで、反射法は、試料で反射した回折Ｘ線を検
出するＸ線回折測定方法であり、透過法は、試料を透過
してきた回折Ｘ線を検出するＸ線回折測定方法である。
【０００５】さて、このような正極点図の測定におい
て、Ｘ線回折装置により測定した回折Ｘ線の強度分布
は、角度αの変化に応じて、図９に示すように回折Ｘ線
部分の幅が変化するという現象がみられる。すなわち、
反射法では、角度αが小さくなるにしたがって、同図
イ，ロ，ハ，ニのごとく回折Ｘ線の幅が広がっていく。
一方、透過法では、角度αが大きくなるにしたがって、
回折Ｘ線の幅が広がっていく。そこで、従来は、もっと
も広い回折Ｘ線幅（図９では、符号ニに示す回折Ｘ線部
分の幅）を積分範囲として、各回転角度毎に回折Ｘ線の
積分強度を算出していた。これにより、いずれの回折Ｘ
線についても積分範囲からはみ出すことなく積分強度を
算出することができる。
て、Ｘ線回折装置により測定した回折Ｘ線の強度分布
は、角度αの変化に応じて、図９に示すように回折Ｘ線
部分の幅が変化するという現象がみられる。すなわち、
反射法では、角度αが小さくなるにしたがって、同図
イ，ロ，ハ，ニのごとく回折Ｘ線の幅が広がっていく。
一方、透過法では、角度αが大きくなるにしたがって、
回折Ｘ線の幅が広がっていく。そこで、従来は、もっと
も広い回折Ｘ線幅（図９では、符号ニに示す回折Ｘ線部
分の幅）を積分範囲として、各回転角度毎に回折Ｘ線の
積分強度を算出していた。これにより、いずれの回折Ｘ
線についても積分範囲からはみ出すことなく積分強度を
算出することができる。
【０００６】また、従来は図１０に示すように、バック
グラウンド部分の積分強度Ｉabについても、回折Ｘ線部
分の幅ｂ〜ｃと同一の積分範囲ａ〜ｂで算出しており、
このバックグラウンド部分の積分強度Ｉab（＝Ｉb）を
回折Ｘ線部分の積分強度Ｉbcから差し引くことにより、
回折Ｘ線の積分強度Ｉp を算出していた。
グラウンド部分の積分強度Ｉabについても、回折Ｘ線部
分の幅ｂ〜ｃと同一の積分範囲ａ〜ｂで算出しており、
このバックグラウンド部分の積分強度Ｉab（＝Ｉb）を
回折Ｘ線部分の積分強度Ｉbcから差し引くことにより、
回折Ｘ線の積分強度Ｉp を算出していた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、バッ
クグラウンド部分の積分強度を回折Ｘ線部分と同一の積
分範囲をもって算出する従来の方法によっても、例えば
鉄系試料など体心立方晶系の試料については、回折Ｘ線
の現われる間隔が広いため誤差のない測定結果を得るこ
とができた。
クグラウンド部分の積分強度を回折Ｘ線部分と同一の積
分範囲をもって算出する従来の方法によっても、例えば
鉄系試料など体心立方晶系の試料については、回折Ｘ線
の現われる間隔が広いため誤差のない測定結果を得るこ
とができた。
【０００８】ところが最近になって、面心立方晶系，正
方晶系，六方晶系，斜方晶系などの試料について正極点
図による分析を行ないたいというニーズが高まってきて
いる。しかし、これらの結晶系試料では、図１１に示す
ように互いに隣接する回折Ｘ線部分ｐ，ｐ′が近接して
現われることがある。この場合、上記のように回折Ｘ線
部分と同一の積分範囲でバックグラウンド部分の積分強
度Ｉb′を算出すると、その積分範囲内に隣接する回折
Ｘ線ｐ′の一部または全部が入り込んでしまう。
方晶系，六方晶系，斜方晶系などの試料について正極点
図による分析を行ないたいというニーズが高まってきて
いる。しかし、これらの結晶系試料では、図１１に示す
ように互いに隣接する回折Ｘ線部分ｐ，ｐ′が近接して
現われることがある。この場合、上記のように回折Ｘ線
部分と同一の積分範囲でバックグラウンド部分の積分強
度Ｉb′を算出すると、その積分範囲内に隣接する回折
Ｘ線ｐ′の一部または全部が入り込んでしまう。
【０００９】その結果、バックグラウンド部分の積分強
度Ｉb′に、回折Ｘ線ｐ′の積分強度（入り込み部分）
Ｉp′が加算されてしまうため、算出結果に誤差を含む
ことになり、高精度な正極点図の測定を行なうことがで
きなかった。特に、反射法において角度αが大きい場合
や透過法において角度αが小さい場合、回折Ｘ線部分の
幅とともにバックグラウンド部分の幅も狭くなるので、
このような問題が生じやすい。
度Ｉb′に、回折Ｘ線ｐ′の積分強度（入り込み部分）
Ｉp′が加算されてしまうため、算出結果に誤差を含む
ことになり、高精度な正極点図の測定を行なうことがで
きなかった。特に、反射法において角度αが大きい場合
や透過法において角度αが小さい場合、回折Ｘ線部分の
幅とともにバックグラウンド部分の幅も狭くなるので、
このような問題が生じやすい。
【００１０】この発明は上述した事情に鑑みなされたも
ので、試料の種類や入射Ｘ線に対する方位にかかわら
ず、回折Ｘ線の積分強度を正確に求めることができるよ
うにして高精度な正極点図の測定を実現することを目的
とする。
ので、試料の種類や入射Ｘ線に対する方位にかかわら
ず、回折Ｘ線の積分強度を正確に求めることができるよ
うにして高精度な正極点図の測定を実現することを目的
とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
にこの発明の正極点図測定方法は、次の各工程を含むこ
とを特徴としている。 Ｘ線回折装置に装着した試料を、任意の格子面内の
軸または同格子面と直交する軸を中心にそれぞれ任意の
角度回転させ、同試料からの回折Ｘ線の強度分布を測定
する工程 少なくとも回折Ｘ線を検出した回転角度毎に、得ら
れた回折Ｘ線の強度分布に基づき、所要の回折Ｘ線部分
およびバックグラウンド部分に関する幅を求める工程 上記工程で求めた所要の回折Ｘ線部分に関する幅に
基づいて積分範囲を決定し、所要の回折Ｘ線部分の積分
強度を求めるとともに、上記工程で求めたバックグラウ
ンド部分に関する幅に基づいて積分範囲を決定し、所要
のバックグラウンド部分の積分強度を求める工程 以上の工程により、回折Ｘ線部分およびバックグラウン
ド部分の積分強度を、それぞれを適正に求めることがで
きる。
にこの発明の正極点図測定方法は、次の各工程を含むこ
とを特徴としている。 Ｘ線回折装置に装着した試料を、任意の格子面内の
軸または同格子面と直交する軸を中心にそれぞれ任意の
角度回転させ、同試料からの回折Ｘ線の強度分布を測定
する工程 少なくとも回折Ｘ線を検出した回転角度毎に、得ら
れた回折Ｘ線の強度分布に基づき、所要の回折Ｘ線部分
およびバックグラウンド部分に関する幅を求める工程 上記工程で求めた所要の回折Ｘ線部分に関する幅に
基づいて積分範囲を決定し、所要の回折Ｘ線部分の積分
強度を求めるとともに、上記工程で求めたバックグラウ
ンド部分に関する幅に基づいて積分範囲を決定し、所要
のバックグラウンド部分の積分強度を求める工程 以上の工程により、回折Ｘ線部分およびバックグラウン
ド部分の積分強度を、それぞれを適正に求めることがで
きる。
【００１２】 試料の各回転角度毎に、上記回折Ｘ線
部分とバックグラウンド部分との間の積分範囲の比率を
算出し、この比率に基づいて上記バックグラウンド部分
の積分強度を回折Ｘ線部分の積分範囲に相当する積分強
度に換算するとともに、上記回折Ｘ線部分の積分強度か
ら、この回折Ｘ線部分の積分範囲に相当するバックグラ
ウンド部分の積分強度を差し引いて、回折Ｘ線の積分強
度を算出する工程 この工程により、回折Ｘ線検出部分における積分強度に
含まれるバックグラウンドの積分強度を適正に除去し
て、回折Ｘ線の積分強度を誤差なく算出することができ
る。 該回折Ｘ線の積分強度に基づき、ポーラーネット上
に正極点を表示する工程
部分とバックグラウンド部分との間の積分範囲の比率を
算出し、この比率に基づいて上記バックグラウンド部分
の積分強度を回折Ｘ線部分の積分範囲に相当する積分強
度に換算するとともに、上記回折Ｘ線部分の積分強度か
ら、この回折Ｘ線部分の積分範囲に相当するバックグラ
ウンド部分の積分強度を差し引いて、回折Ｘ線の積分強
度を算出する工程 この工程により、回折Ｘ線検出部分における積分強度に
含まれるバックグラウンドの積分強度を適正に除去し
て、回折Ｘ線の積分強度を誤差なく算出することができ
る。 該回折Ｘ線の積分強度に基づき、ポーラーネット上
に正極点を表示する工程
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて詳細に説明する。正極点図の測定に際し、まずＸ線
回折装置に試料を装着し、該試料を任意の格子面内の軸
を中心として任意の角度α、および同格子面と直交する
軸を中心として任意の角度βだけ回転させ、これら角度
α，βの方位における回折Ｘ線の強度分布をそれぞれ測
定する。
いて詳細に説明する。正極点図の測定に際し、まずＸ線
回折装置に試料を装着し、該試料を任意の格子面内の軸
を中心として任意の角度α、および同格子面と直交する
軸を中心として任意の角度βだけ回転させ、これら角度
α，βの方位における回折Ｘ線の強度分布をそれぞれ測
定する。
【００１４】ここで、角度αが小さい範囲（例えば、α
＝０°〜４５°）では、透過法によって回折Ｘ線の強度
分布を測定し、角度αが大きな範囲（例えば、α＝４５
°〜９０°）では、反射法によって回折Ｘ線の強度分布
を測定する。図１は反射法による回折Ｘ線の強度分布の
測定方法を説明するための模式図、図２は透過法による
回折Ｘ線の強度分布の測定方法を説明するための模式図
である。
＝０°〜４５°）では、透過法によって回折Ｘ線の強度
分布を測定し、角度αが大きな範囲（例えば、α＝４５
°〜９０°）では、反射法によって回折Ｘ線の強度分布
を測定する。図１は反射法による回折Ｘ線の強度分布の
測定方法を説明するための模式図、図２は透過法による
回折Ｘ線の強度分布の測定方法を説明するための模式図
である。
【００１５】反射法によれば、試料Ｓに対してθの角度
からＸ線１を照射したとき、２θの角度で反射してくる
回折Ｘ線１′を検出器２によって検出することができ
る。一方、透過法によれば、Ｘ線照射方向を０°として
試料Ｓから２θの方向に透過してくる回折Ｘ線１′を検
出器２によって検出することができる。これら反射法ま
たは透過法を回転角度αの大きさによって適宜使い分
け、図３に示すような回折Ｘ線の強度分布を測定する。
からＸ線１を照射したとき、２θの角度で反射してくる
回折Ｘ線１′を検出器２によって検出することができ
る。一方、透過法によれば、Ｘ線照射方向を０°として
試料Ｓから２θの方向に透過してくる回折Ｘ線１′を検
出器２によって検出することができる。これら反射法ま
たは透過法を回転角度αの大きさによって適宜使い分
け、図３に示すような回折Ｘ線の強度分布を測定する。
【００１６】次に、得られた回折Ｘ線の強度分布に基づ
き、所要の回折Ｘ線部分およびバックグラウンド部分に
関する幅を求める。回折Ｘ線（例えば、ｐ）は、図３に
示すように広がりをもった山形のプロファイルとして測
定される。この実施形態では、該回折Ｘ線プロファイル
の両端間の距離（例えば、θ3−θ2）を回折Ｘ線部分に
関する幅として測定する。
き、所要の回折Ｘ線部分およびバックグラウンド部分に
関する幅を求める。回折Ｘ線（例えば、ｐ）は、図３に
示すように広がりをもった山形のプロファイルとして測
定される。この実施形態では、該回折Ｘ線プロファイル
の両端間の距離（例えば、θ3−θ2）を回折Ｘ線部分に
関する幅として測定する。
【００１７】バックグラウンド部分とは、強度分布上に
現われる回折Ｘ線と回折Ｘ線との間の領域をいう。この
実施形態では、バックグラウンド部分に関する全幅を測
定する。例えば、バックグラウンド部分ｂ1，ｂ2に関す
る幅は、それぞれθ2−θ1，θ4−θ3となる。このバッ
クグラウンド部分にも、散乱Ｘ線などに起因してある程
度のＸ線強度が検出される。そして、回折Ｘ線部分に
も、このバックグラウンドに相当する回折Ｘ線以外のＸ
線強度が含まれている。
現われる回折Ｘ線と回折Ｘ線との間の領域をいう。この
実施形態では、バックグラウンド部分に関する全幅を測
定する。例えば、バックグラウンド部分ｂ1，ｂ2に関す
る幅は、それぞれθ2−θ1，θ4−θ3となる。このバッ
クグラウンド部分にも、散乱Ｘ線などに起因してある程
度のＸ線強度が検出される。そして、回折Ｘ線部分に
も、このバックグラウンドに相当する回折Ｘ線以外のＸ
線強度が含まれている。
【００１８】回折Ｘ線部分およびバックグラウンド部分
に関する幅は、回折Ｘ線の強度分布を測定した各試料方
位（角度α，β）ごと独自に測定する。これにより、角
度αの変化に応じて回折Ｘ線幅が広がった場合や、幅狭
なバックグラウンド部分についても適正な幅を特定する
ことができる。なお、回折Ｘ線の現われなかった試料方
位（角度α，β）については、以上の幅測定を要せず、
以降の工程からも除外してかまわない。
に関する幅は、回折Ｘ線の強度分布を測定した各試料方
位（角度α，β）ごと独自に測定する。これにより、角
度αの変化に応じて回折Ｘ線幅が広がった場合や、幅狭
なバックグラウンド部分についても適正な幅を特定する
ことができる。なお、回折Ｘ線の現われなかった試料方
位（角度α，β）については、以上の幅測定を要せず、
以降の工程からも除外してかまわない。
【００１９】次に、上記のとおり求めた回折Ｘ線幅に基
づいて積分範囲を決定し、回折Ｘ線部分の積分強度を算
出する。一般に、正極点図はあらかじめ定めた任意の格
子面（ｈｋｌ）から回折してきた回折Ｘ線を対象として
正極点の分布を表示している。したがって、この実施形
態では、対象とする回折Ｘ線のみに着目してその積分強
度を求める。
づいて積分範囲を決定し、回折Ｘ線部分の積分強度を算
出する。一般に、正極点図はあらかじめ定めた任意の格
子面（ｈｋｌ）から回折してきた回折Ｘ線を対象として
正極点の分布を表示している。したがって、この実施形
態では、対象とする回折Ｘ線のみに着目してその積分強
度を求める。
【００２０】図４は、図３に示した回折Ｘ線の強度分布
における、正極点図測定の対象とした回折Ｘ線部分ｐお
よびその周囲に現われたバックグラウンド部分ｂ1，ｂ2
を拡大して示す図である。この実施形態では、回折Ｘ線
部分ｐの幅（θ3−θ2）をそのまま積分範囲として、回
折Ｘ線部分ｐの積分強度Ｉoを算出する。この積分強度
Ｉoには、回折Ｘ線のみの積分強度Ｉpに加え、バックグ
ラウンドに相当する積分強度Ｉbが含まれている。
における、正極点図測定の対象とした回折Ｘ線部分ｐお
よびその周囲に現われたバックグラウンド部分ｂ1，ｂ2
を拡大して示す図である。この実施形態では、回折Ｘ線
部分ｐの幅（θ3−θ2）をそのまま積分範囲として、回
折Ｘ線部分ｐの積分強度Ｉoを算出する。この積分強度
Ｉoには、回折Ｘ線のみの積分強度Ｉpに加え、バックグ
ラウンドに相当する積分強度Ｉbが含まれている。
【００２１】また、回折Ｘ線部分ｐの周囲に現われたバ
ックグラウンド部分ｂ1，ｂ2の幅（θ2−θ1，θ4−
θ3）に基づいて積分範囲を決定し、同部分ｂ1，ｂ2の
積分強度を算出する。この実施形態では、バックグラウ
ンド部分ｂ1，ｂ2の幅（θ2−θ1，θ4−θ3）をそのま
ま積分範囲として、積分強度Ｉb1，Ｉb2を算出する。
ックグラウンド部分ｂ1，ｂ2の幅（θ2−θ1，θ4−
θ3）に基づいて積分範囲を決定し、同部分ｂ1，ｂ2の
積分強度を算出する。この実施形態では、バックグラウ
ンド部分ｂ1，ｂ2の幅（θ2−θ1，θ4−θ3）をそのま
ま積分範囲として、積分強度Ｉb1，Ｉb2を算出する。
【００２２】次に、バックグラウンド部分ｂ1，ｂ2の積
分強度Ｉb1，Ｉb2を利用して、回折Ｘ線部分ｐの積分強
度Ｉoからそれに含まれるバックグラウンド相当の積分
強度Ｉbを除去する。そのために、回折Ｘ線部分ｐの積
分範囲（θ3−θ2）とバックグラウンド部分ｂ1，ｂ2の
積分範囲（θ2−θ1，θ4−θ3）との間の比率Ｎを、数
１のごとく算出する。
分強度Ｉb1，Ｉb2を利用して、回折Ｘ線部分ｐの積分強
度Ｉoからそれに含まれるバックグラウンド相当の積分
強度Ｉbを除去する。そのために、回折Ｘ線部分ｐの積
分範囲（θ3−θ2）とバックグラウンド部分ｂ1，ｂ2の
積分範囲（θ2−θ1，θ4−θ3）との間の比率Ｎを、数
１のごとく算出する。
【００２３】
【数１】
【００２４】この比率Ｎに基づいてバックグラウンド部
分ｂ1，ｂ2の積分強度Ｉb1，Ｉb2を、回折Ｘ線部分ｐの
積分範囲（θ3−θ2）に相当する積分強度Ｉbに換算す
ると数２のようになる。
分ｂ1，ｂ2の積分強度Ｉb1，Ｉb2を、回折Ｘ線部分ｐの
積分範囲（θ3−θ2）に相当する積分強度Ｉbに換算す
ると数２のようになる。
【００２５】
【数２】
【００２６】そして、回折Ｘ線部分ｐの積分強度Ｉoか
ら、上記数２で求めた積分強度Ｉbを差し引くことによ
り、回折Ｘ線の積分強度Ｉpを数３のごとく求めること
ができる。
ら、上記数２で求めた積分強度Ｉbを差し引くことによ
り、回折Ｘ線の積分強度Ｉpを数３のごとく求めること
ができる。
【００２７】
【数３】
【００２８】以上の手順で回折Ｘ線の積分強度Ｉpを求
め、これを図７に示したようなポーラーネット上に表示
して正極点図を作成する。これらの正極点図測定方法に
おける各工程は、自動Ｘ線回折装置に組み込まれたコン
ピュータによって、自動的に処理させることができる。
め、これを図７に示したようなポーラーネット上に表示
して正極点図を作成する。これらの正極点図測定方法に
おける各工程は、自動Ｘ線回折装置に組み込まれたコン
ピュータによって、自動的に処理させることができる。
【００２９】なお、この発明は上述した実施形態のみに
限定されるものではない。例えば、図５に示すように、
回折Ｘ線部分ｐの積分範囲を、強度分布に現われた最も
広い回折Ｘ線部分ｐ0の幅Ｄ0とすることもできる。この
場合にも該回折Ｘ線部分ｐの積分範囲Ｄ0とバックグラ
ウンド部分ｂ1，ｂ2の積分範囲Ｄ1，Ｄ2との間の比率を
算出し、この比率からバックグラウンド部分ｂ1，ｂ2の
積分強度Ｉb1，Ｉb2を回折Ｘ線部分ｐの積分範囲Ｄ0に
相当する積分強度Ｉbに換算し、これを回折Ｘ線部分ｐ
の積分強度Ｉoから差し引くことによって、回折Ｘ線の
積分強度Ｉpを求めることができる。
限定されるものではない。例えば、図５に示すように、
回折Ｘ線部分ｐの積分範囲を、強度分布に現われた最も
広い回折Ｘ線部分ｐ0の幅Ｄ0とすることもできる。この
場合にも該回折Ｘ線部分ｐの積分範囲Ｄ0とバックグラ
ウンド部分ｂ1，ｂ2の積分範囲Ｄ1，Ｄ2との間の比率を
算出し、この比率からバックグラウンド部分ｂ1，ｂ2の
積分強度Ｉb1，Ｉb2を回折Ｘ線部分ｐの積分範囲Ｄ0に
相当する積分強度Ｉbに換算し、これを回折Ｘ線部分ｐ
の積分強度Ｉoから差し引くことによって、回折Ｘ線の
積分強度Ｉpを求めることができる。
【００３０】また、図６に示すように、回折Ｘ線部分ｐ
の一方側に現われたバックグラウンド部分ｂ1の幅Ｄ1と
同一の幅をもって、他方側に現われたバックグラウンド
部分ｂ2の積分範囲としてもよい。この場合、一方側に
現われたバックグラウンド部分ｂ1の幅Ｄ1に相当する積
分範囲を２倍することにより、回折Ｘ線部分ｐの両側に
現われたバックグラウンド部分ｂ1，ｂ2（他方側につい
ては一部範囲）の積分強度Ｉb1，Ｉb2を算出することが
できる。さらにまた、回折Ｘ線部分ｐの一方側に現われ
たバックグラウンド部分ｂ1のみの積分強度Ｉb1を算出
し、この積分強度Ｉb1を回折Ｘ線部分ｐの積分範囲に相
当する積分強度Ｉbに換算してもよい。
の一方側に現われたバックグラウンド部分ｂ1の幅Ｄ1と
同一の幅をもって、他方側に現われたバックグラウンド
部分ｂ2の積分範囲としてもよい。この場合、一方側に
現われたバックグラウンド部分ｂ1の幅Ｄ1に相当する積
分範囲を２倍することにより、回折Ｘ線部分ｐの両側に
現われたバックグラウンド部分ｂ1，ｂ2（他方側につい
ては一部範囲）の積分強度Ｉb1，Ｉb2を算出することが
できる。さらにまた、回折Ｘ線部分ｐの一方側に現われ
たバックグラウンド部分ｂ1のみの積分強度Ｉb1を算出
し、この積分強度Ｉb1を回折Ｘ線部分ｐの積分範囲に相
当する積分強度Ｉbに換算してもよい。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
試料の種類や入射Ｘ線に対する方位にかかわらず、回折
Ｘ線の積分強度を、隣接して現われる回折Ｘ線に影響さ
れることなく正確に求めることができ、その結果、高精
度な正極点図の測定を実現することができる。
試料の種類や入射Ｘ線に対する方位にかかわらず、回折
Ｘ線の積分強度を、隣接して現われる回折Ｘ線に影響さ
れることなく正確に求めることができ、その結果、高精
度な正極点図の測定を実現することができる。
【図１】反射法による回折Ｘ線の強度分布の測定方法を
説明するための模式図である。
説明するための模式図である。
【図２】透過法による回折Ｘ線の強度分布の測定方法を
説明するための模式図である。
説明するための模式図である。
【図３】この発明の実施形態を説明するための回折Ｘ線
強度分布図である。
強度分布図である。
【図４】図３の回折Ｘ線強度分布図を一部拡大して示す
図である。
図である。
【図５】この発明の変形例を説明するための回折Ｘ線強
度分布図である。
度分布図である。
【図６】この発明の他の変形例を説明するための回折Ｘ
線強度分布図である。
線強度分布図である。
【図７】一般的なポーラーネットを示す図である。
【図８】冷間圧延した７０−３０ＣｕＺｎの（１１１）
を極とした正極点図である。
を極とした正極点図である。
【図９】試料方位に応じて回折Ｘ線強度分布における回
折Ｘ線部分の幅が変化する状態を示す図である。
折Ｘ線部分の幅が変化する状態を示す図である。
【図１０】従来の方法による回折Ｘ線の積分強度測定を
説明するための回折Ｘ線強度分布図である。
説明するための回折Ｘ線強度分布図である。
【図１１】従来の方法における課題を説明するための回
折Ｘ線強度分布図である。
折Ｘ線強度分布図である。
ｐ：回折Ｘ線部分 ｂ1，ｂ2：バックグラウンド部分
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｘ線回折装置に装着した試料を、任意の
格子面内の軸または同格子面と直交する軸を中心にそれ
ぞれ任意の角度回転させ、同試料からの回折Ｘ線の強度
分布を測定する工程と、 少なくとも回折Ｘ線を検出した回転角度毎に、得られた
回折Ｘ線の強度分布に基づき、所要の回折Ｘ線部分およ
びバックグラウンド部分に関する幅を求める工程と、 前記工程で求めた所要の回折Ｘ線部分に関する幅に基づ
いて積分範囲を決定し、所要の回折Ｘ線部分の積分強度
を求めるとともに、前記工程で求めたバックグラウンド
部分に関する幅に基づいて積分範囲を決定し、所要のバ
ックグラウンド部分の積分強度を求める工程と、 試料の各回転角度毎に、前記回折Ｘ線部分とバックグラ
ウンド部分との間の積分範囲の比率を算出し、この比率
に基づいて前記バックグラウンド部分の積分強度を前記
回折Ｘ線部分の積分範囲に相当する積分強度に換算する
とともに、前記回折Ｘ線部分の積分強度から、この回折
Ｘ線部分の積分範囲に相当するバックグラウンド部分の
積分強度を差し引いて、回折Ｘ線の積分強度を算出する
工程と、 該回折Ｘ線の積分強度に基づき、ポーラーネット上に正
極点を表示する工程と、を含むことを特徴とする正極点
図測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7275573A JPH09113468A (ja) | 1995-10-24 | 1995-10-24 | 正極点図測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7275573A JPH09113468A (ja) | 1995-10-24 | 1995-10-24 | 正極点図測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09113468A true JPH09113468A (ja) | 1997-05-02 |
Family
ID=17557342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7275573A Pending JPH09113468A (ja) | 1995-10-24 | 1995-10-24 | 正極点図測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09113468A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11304730A (ja) * | 1998-04-24 | 1999-11-05 | Rigaku Denki Kk | 極点測定方法 |
| JP2006071377A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Rigaku Corp | Ｘ線回折装置 |
| JP2008249605A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Rigaku Corp | 結晶粒の極点図測定方法およびその装置 |
| JP2016176931A (ja) * | 2015-03-03 | 2016-10-06 | パナリティカル ビー ヴィ | 定量ｘ線分析及び比率補正方法 |
| CN109283203A (zh) * | 2017-07-19 | 2019-01-29 | 诺威量测设备股份有限公司 | 对图案化结构的基于x射线的测量 |
-
1995
- 1995-10-24 JP JP7275573A patent/JPH09113468A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN109283203A (zh) * | 2017-07-19 | 2019-01-29 | 诺威量测设备股份有限公司 | 对图案化结构的基于x射线的测量 |
| JP2019060849A (ja) * | 2017-07-19 | 2019-04-18 | ノヴァ メジャリング インストルメンツ リミテッドＮｏｖａ Ｍｅａｓｕｒｉｎｇ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ Ｌｔｄ． | パターン構造のｘ線測定 |
| US11692953B2 (en) | 2017-07-19 | 2023-07-04 | Nova Ltd. | X-ray based measurements in patterned structure |
| CN109283203B (zh) * | 2017-07-19 | 2023-09-12 | 诺威有限公司 | 对图案化结构的基于x射线的测量 |
| US12196691B2 (en) | 2017-07-19 | 2025-01-14 | Nova Ltd. | X-ray based measurements in patterned structure |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040226 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040407 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040607 |
|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050202 |