JP3677033B2 - 成膜用金型、金型を用いた成膜方法および成膜制御システム - Google Patents

Description

技術分野
本発明は、車両等に搭載されるフロントランプ、ウインカー（サイドウインカーを含む）、テールランプ等を含んだ各種の成型体の成膜用金型、金型を用いた成膜方法および成膜制御システムの技術分野に属するものである。
背景技術
一般に、この種成型体のなかには、車両用のフロントランプ等の燈体のように、射出整形された成型体に反射面となる鏡状面を成膜して光量を増加したり広い照射範囲を確保するようにしたものがある。ところで従来、燈体の製造方法としては、電球（バルブ）が組込まれる燈本体と透光性樹脂材で形成されるレンズ部とを突き合わせ（型合わせ）し、該突き合わせ面を接着するようにして製造されるものがあり、このようなものの製造方法として、ダイスライドインジェクション方式が知られている（例えば、特公平２−３８３７７号公報参照。）。このものは、可動型と固定型とを対向配設した状態で一次製品である燈本体とレンズ部とをそれぞれ射出成形した後、可動型をスライド移動して各一次製品同志を突き合わせるべく型合わせをし、一次製品同志の突合せ部に樹脂材を二次射出して燈体を一体成形するようにしている。
ところがこのようなものにおいて、前述したように燈本体に反射面を成膜する場合の対応ができず、そのため反射面を成膜する場合、金型で射出成型された燈本体を金型から取り外した後、成膜室に該取り外した多数の燈本体をセットし、該多数の成型体の内面に真空蒸着装置やスパッタリング装置等の成膜手段を用いて反射面を成膜し、しかる後、燈本体とレンズ部とを一体化することが試みられている。
ところが、前記成膜室は、効率を高めるため多数の成型体をセットして成膜するものであるため、部屋面積がどうしても大きくなって成膜室を真空にするための時間が長くかかるばかりでなく、成型された燈本体と成膜手段との距離が長いため真空度を高くする必要があって作業性が悪いという問題がある。
さらに、成膜するため成膜空間を真空にする必要がある場合、開閉手段が真空ポンプ側に設けられているため、開閉手段から成膜空間までの体積が大きくなって成膜空間を真空にするための時間が長く、作業性が悪いという問題がある。
さらにまた、成膜作業を従来にない型成型で行う場合に、成膜空間を真空にしたり該真空となった成膜空間に型開き時において外気を流入させる場合、その作業の迅速性、作業効率の向上を図ることが問題視されるが、このようなことは従来考えられたことがなく、これらのことを解決せんとすることに本発明の解決すべき課題がある。
発明の開示
本発明は、上記の如き実情に鑑みこれらの課題を解決することを目的として創作されたものであって、次の発明である。
請求項１の発明は、成膜されるワークが組み込まれる第一金型と、該ワークに成膜するための成膜手段が組み込まれる第二金型とを備えて構成されることを特徴とする成膜用金型である。
請求項２の発明は、請求項１において、第二金型は、ワークを成型するための金型であることを特徴とする成膜用金型である。
請求項３の発明は、請求項１または２において、第一金型が可動型、第二金型が固定型であることを特徴とする成膜用金型である。
請求項４の発明は、請求項１乃至３の何れかにおいて、成膜手段は、スパッタリング装置または真空蒸着装置であることを特徴とする成膜用金型である。
請求項５の発明は、請求項１乃至４の何れかにおいて、成膜手段は第二金型に形成した有底筒状の凹穴に設けられ、成膜手段とワークとのあいだに成膜空間が確保されるものであることを特徴とする成膜用金型である。
請求項６の発明は、請求項１乃至４の何れかにおいて、成膜手段は、第二金型に設けた貫通孔を気密状に封止するようにして設けられ、成膜手段とワークとのあいだに成膜空間が確保されるものであることを特徴とする成膜用金型である。
請求項７の発明は、請求項１乃至６の何れかにおいて、第二金型には、成膜空間を真空にするための真空流路と、該真空流路を開閉するための第一の開閉手段とが設けられていることを特徴とする成膜用金型である。
請求項８の発明は、請求項１乃至７の何れかにおいて、第二金型には、第一金型に取り付けられたワークをマスキングするためのマスキング部があることを特徴とする成膜用金型である。
請求項９の発明は、請求項１乃至８の何れかにおいて、第一または第二金型には、成膜空間に外気を流入するための外気流入路と、該外気流入路を開閉するための第二の開閉手段とが設けられていることを特徴とする成膜用金型である。
請求項１０の発明は、請求項９において、外気流入路および第二の開閉手段は、成膜されたワークを第一金型から脱型するためのエジェクタ手段に設けられていることを特徴とする成膜用金型である。
請求項１１の発明は、請求項９または１０において、第二金型には、真空流路と外気流入路とのあいだに位置して成膜空間の開閉をする第三の開閉手段が設けられていることを特徴とする成膜用金型である。
請求項１２の発明は、成膜されるワークが組み込まれる第一金型と、該ワークに成膜するための成膜手段が組み込まれる第二金型とを型合わせする型合わせ工程、ワークに成膜をする成膜工程、第一、第二金型を型開きする型開き工程を少なくとも順次有することを特徴とする金型を用いた成膜方法である。
請求項１３の発明は、請求項１２において、第一金型が可動型、第二金型が固定型であることを特徴とする金型を用いた成膜方法である。
請求項１４の発明は、請求項１２または１３において、成膜手段は、スパッタリング装置または真空蒸着装置であることを特徴とする金型を用いた成膜方法である。
請求項１５の発明は、請求項１２乃至１４の何れかにおいて、型合わせ工程と成膜工程とのあいだに、成膜手段とワークとのあいだの成膜空間を真空にするための真空工程があることを特徴とする金型を用いた成膜方法である。
請求項１６の発明は、請求項１５において、第二金型に、成膜空間を真空にするため真空ポンプに連通される真空流路と、該真空流路を開閉するための第一の開閉手段とが設けられ、真空工程は、該第一の開閉手段を開放することで実行されることを特徴とする金型を用いた成膜方法である。
請求項１７の発明は、請求項１２乃至１６の何れかにおいて、第二金型には、第一金型に取り付けられたワークをマスキングするマスキング部があり、型合わせ工程でワークがマスキングされるものであることを特徴とする金型を用いた成膜方法である。
請求項１８の発明は、請求項１６または１７の何れかにおいて、第一または第二金型には、成膜空間に外気を流入するための外気流入路と、該外気流入路を開閉するための第二の開閉手段とが設けられ、成膜工程と型開き工程との間に、第一の開閉手段を閉鎖する第一開閉手段閉鎖工程、第二の開閉手段を開放する第二開閉手段開放工程があることを特徴とする金型を用いた成膜方法である。
請求項１９の発明は、請求項１８において、外気流入路および第二の開閉手段は、成膜されたワークを第一金型から脱型するためのエジェクタ手段に設けられ、第二開閉手段開放工程は、エジェクタ手段によるワークの脱型に連動して実行されることを特徴とする金型を用いた成膜方法である。
請求項２０の発明は、請求項１８において、外気流入路は第一および第二金型の型合せ面であり、第二開閉手段は、型合わせ工程による型合わせで外気流入路を閉鎖し、型開き工程で外気流入路を開放するようにして構成されることを特徴とする金型を用いた成膜方法である。
請求項２１の発明は、請求項１６乃至２０の何れかにおいて、第二金型には、真空流路と第二開閉手段とのあいだの成膜空間を開閉する第三の開閉手段が設けられ、成膜工程後、第二開閉手段開放工程までのあいだに第三の開閉手段を閉鎖する第三開閉手段閉鎖工程があることを特徴とする金型を用いた成膜方法である。
請求項２２の発明は、成膜されるワークが組み込まれる第一金型と、該ワークに真空雰囲気下で成膜するための成膜手段が組み込まれる第二金型と、該成膜手段とワークとのあいだの成膜空間を真空にするための真空流路と、該真空流路を開閉する第一の開閉手段と、前記成膜空間を外気に連通するため開閉するための第二の開閉手段とが設けられ、前記ワークが組み込まれた第一金型と第二金型とを型合わせする型合わせ工程、第二の開閉手段を閉鎖し、第一の開閉手段を開放した状態で成膜空間を真空にする真空工程、第一の開閉手段を開放または閉鎖し、第二の開閉手段を閉鎖した状態で成膜手段による成膜をする成膜工程、第一の開閉手段を開放または閉鎖した状態で、第二の開閉手段を開放して成膜空間に外気を流入する外気流入工程、型合わせされている金型を型開きする型開き工程があることを特徴とする金型を用いた成膜方法である。
請求項２３の発明は、成膜されるワークが組み込まれる第一金型と、該ワークに真空雰囲気下で成膜するための成膜手段が組み込まれる第二金型と、該成膜手段とワークとのあいだの成膜空間を真空にするための真空流路と、該真空流路を開閉する第一の開閉手段と、前記成膜空間を外気に連通するため開閉するための第二の開閉手段と、真空流路と第二開閉手段とのあいだの成膜空間を開閉する第三の開閉手段とが設けられ、前記ワークが組み込まれた第一金型と第二金型とを型合わせする型合わせ工程、第二の開閉手段を閉鎖し、第一、第三の開閉手段を開放した状態で成膜空間を真空にする真空工程、第一の開閉手段を開放または閉鎖し、第二の開閉手段を閉鎖し、第三の開閉手段を閉鎖した状態で成膜手段による成膜をする成膜工程、第一の開閉手段を開放または閉鎖し、第三の開閉手段を閉鎖した状態で、第二の開閉手段を開放して成膜空間の第三の開閉手段よりもワーク側空間に外気を流入する外気流入工程、型合わせされている金型を型開きする型開き工程があることを特徴とする金型を用いた成膜方法である。
請求項２４の発明は、真空雰囲気下で成膜するための成膜手段、成膜されるワークが組み込まれる第一金型および前記成膜手段が組み込まれる第二金型同士の型合わせ−型開き作動をするための型作動手段、成膜手段とワークとのあいだの成膜空間を真空にする真空流路の開閉をするための第一の開閉手段を備えると共に、前記型作動手段に対して型合わせ作動指令の出力、第一の開閉手段に対して開放作動指令の出力、成膜手段に対して成膜作動指令の出力、成膜手段に対して成膜停止指令の出力、第一の開閉手段に対して閉鎖作動指令の出力、型作動手段に対して型開き作動指令の出力を順次行うように制御設定した制御部を備えていることを特徴とする金型を用いた成膜制御システムである。
請求項２５の発明は、真空雰囲気下で成膜するための成膜手段、成膜されるワークが組み込まれる第一金型および前記成膜手段が組み込まれる第二金型同士の型合わせ−型開き作動をするための型作動手段、成膜手段とワークとのあいだの成膜空間を真空にする真空流路の開閉をするための第一の開閉手段を備えると共に、前記型作動手段に対して型合わせ作動指令の出力、第一の開閉手段に対して開放作動指令の出力、第一の開閉手段に対して閉鎖作動指令の出力、成膜手段に対して成膜作動指令の出力、成膜手段に対して成膜停止指令の出力、型作動手段に対して型開き作動指令の出力を順次行うように制御設定した制御部を備えていることを特徴とする金型を用いた成膜制御システムである。
請求項２６の発明は、請求項２３乃至２５の何れかにおいて、前記成膜空間に外気を流入するための外気流路と、該外気流路の開閉をするための第二の開閉手段とを備え、制御部は、型開き作動指令の出力と同時または該出力の前に第二の開閉手段に対して開放作動指令を出力するように制御設定されていることを特徴とする金型を用いた成膜制御システムである。
請求項２７の発明は、請求項２６において、真空流路と第二の開閉手段とのあいだの成膜空間を開閉するための第三の開閉手段が設けられ、制御部は、第一の開閉手段に対する開放作動指令出力と同時または該出力の前に第三の開閉手段に対して閉鎖作動指令を出力し、型作動手段に対する型開き作動指令出力と同時または該出力の前に第三の開閉手段に対して開放作動指令を出力するように制御設定されていることを特徴とする金型を用いた成膜制御システムである。
請求項１の発明とすることにより、ワークの成膜が、第一、第二金型を用いて簡単にできることになる。
請求項２の発明とすることにより、ワークの成膜が、該ワークを型形成するための金型を有効利用してできると共に、ワークの成形に続いて成膜されるため、ワーク表面に指紋がついたり他部材に接触して傷ついたりすることがない状態での成膜ができることになる。
請求項３の発明とすることにより、成膜手段が組み込まれる第二金型を固定金型として、成膜手段から引き出される（接続される）リード線、配管等の引き出し物が、型成型に当たって移動のないものにでき、繰り返し折り曲げられたりすることによる繰り返し歪みの発生のないものにできる。
請求項４の発明とすることにより、スパッタリングや真空蒸着に実施できることになる。
請求項５の発明とすることにより、成膜手段の第二金型への組み込みが、型合わせ面側からできることになる。
請求項６の発明にすることにより、成膜手段の第二金型への組み込みが、型合わせ面とは反対側からできることになる。
請求項７の発明とすることにより、第二金型自体に真空流路とこれを開閉する第一開閉手段が設けられたものとなって、第二金型の簡略化と共に、第一開閉手段よりも成膜空間側の体積を、第一開閉手段を真空ポンプ側に設けた場合のよりも小さくできて、真空状態にするための時間を短縮でき、作業性の向上が図れる。
請求項８の発明とすることにより、ワークのマスキングを成膜手段が設けられる第二金型を有効に利用して行うことができることになる。
請求項９の発明とすることにより、真空となった成膜空間に外気を流入した状態にしての型開きができることになって円滑かつ穏かな型開きができる。
請求項１０の発明とすることにより、外気の流入を、成膜されたワークを第一金型から脱型させるため設けられるエジェクター手段を有効に利用してできることになる。
請求項１１の発明とすることにより、成膜空間の真空流路と外気流入路との間を、型開き等において成膜空間の第三開閉手段よりも成膜手段側を真空状態に維持できることになる。
請求項１２の発明とすることにより、ワークの金型を用いての成膜が簡単にできることになる。
請求項１３の発明とすることにより、成膜手段が組み込まれる第二金型を固定金型として、成膜手段から引き出される（接続される）リード線、配管等の引き出し物が、型成型に当たって移動のないものにでき、繰り返し折り曲げられたりすることによる繰り返し歪みの発生のないものにできる。
請求項１４の発明とすることにより、スパッタリングや真空蒸着に実施できることになる。
請求項１５の発明とすることにより、スパッタリングや真空蒸着に実施する場合に、成膜空間の真空化が容易に果たせることになる。
請求項１６の発明とすることにより、第二金型自体に設けられた真空流路を第一開閉手段で開閉することができ、これによって第二金型の簡略化と共に、第一開閉手段よりも成膜空間側の体積を、第一開閉手段を真空ポンプ側に設けた場合のよりも小さくできて、真空状態にするための時間を短縮でき、作業性の向上が図れる。
請求項１７の発明とすることにより、ワークのマスキングを成膜手段が設けられる第二金型を有効に利用して行うことができることになる。
請求項１８の発明とすることにより、成膜時に真空となった成膜空間を、外気を流入した状態にして型開きができることになって円滑かつ穏かな型開きができる。
請求項１９の発明とすることにより、外気の流入を、成膜されたワークを第一金型から脱型させるため設けられるエジェクター手段を有効に利用してできることになる。
請求項２０の発明とすることにより、専用の外気流入路、第二開閉手段を形成することなく真空となった成膜空間に外気を流入することができる。
請求項２１の発明とすることにより、成膜空間の真空流路と外気流入路との間を、型開き時等において成膜空間の第三開閉手段よりも成膜手段側を真空状態に維持できることになる。
請求項２２または２３の発明とすることにより、ワークを、成膜空間を真空にし、成膜をするという一連の成膜工程を連続して実施できることになる。
請求項２４または２５の発明とすることにより、ワークに成膜を、制御部を用いて自動的に実施することができる。
請求項２６の発明とすることにより、成膜後、型開きする間において、真空となった成膜空間に外気を流入する制御を自動的に行うことができる。
請求項２７の発明とすることにより、成膜空間の第三開閉手段より成膜手段側の空間を、型開きした状態でも真空状態に維持できる制御を自動的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、サイドウインカーの縦断面図である。
第２図（Ａ）〜（Ｃ）は、一次射出するまでの工程概略図である。
第３図（Ａ）〜（Ｃ）は、二次の突合せまでの工程概略図である。
第４図（Ａ）〜（Ｃ）は、燈本体とレンズ部とが対向するまでの工程概略図である。
第５図（Ａ）〜（Ｃ）は、燈体取出しまでの工程概略図である。
第６図（Ａ）、（Ｂ）は、第二の実施の形態の金型部の概略断面図である。
第７図は、第二の実施の形態の制御状態を示すブロック回路図である。
第８図は、第二の実施の形態の制御工程の一部を示すフローチャート図である。
第９図は、第二の実施の形態の制御工程における第一の残りの工程を示すフローチャート図である。
第１０図は、第二の実施の形態の制御工程における第二の残りの工程を示すフローチャート図である。
第１１図は、第三の実施の形態の型合わせした金型部の概略断面図である。
第１２図（Ａ）は第三の実施の形態のワークを半脱型した状態の金型部の概略断面図、（Ｂ）は垂直型面部の拡大断面図である。
第１３図は、第三の実施の形態の制御状態を示すブロック回路図である。
第１４図は、第三の実施の形態の制御工程を示すフローチャート図である。
発明を実施するための最良の形態
次ぎに、第１図〜第５図の図面の記載に基づいて本発明の第一の実施の形態について説明する。図面において、１は可動金型（第一金型）、２は固定金型（第二金型）であって、可動金型１は、固定金型２に対して対向方向に離接移動できると共に、固定金型２から離間した状態で固定金型２に対して面に沿う方向の移動（平行移動）ができるように構成されているが、移動機構の詳細については従来のダイスライドインジェクションに用いた技術をそのまま採用できるのでその詳細は省略する。尚、金型の移動は相対的なものでよいから、第一金型を固定、第二金型を移動させるように構成してもよく、また両者を相対移動するように構成しても勿論良い。また移動は、面に沿う方向の移動であれば、直線方向の平行移動に限らず、軸を中心とする回転移動であっても良いものである。そしてこれら金型の移動制御の例については後述する。
前記可動金型１には、燈本体（本発明の「ワーク」に相当する）３の外側面を形成するための凹型面１ａとレンズ部４の内側面を形成するための凸型面１ｂとがそれぞれ形成される一方、固定金型２には、前記燈本体３の内側面を形成するための凸型面２ａとレンズ部４の外側面を形成するための凹型面２ｂとがそれぞれ形成されると共に、さらに成膜手段（装置）として本実施の形態で採用の真空蒸着装置５を収容（内装）するための凹型面２ｃが形成されているが、該凹型面２ｃは、燈本体３の内側面形成用の凸型面２ａとレンズ部４の外側面形成用の凹型面２とのあいだに形成されている。前記真空蒸着装置５は公知のものが設けられるが、その概略として、真空ポンプＰに第一開閉バルブ６ａを介して接続される真空流路６、蒸着する金属（例えばアルミニウムやクロム）を入れるボート（ターゲット）７、該ボート７を加熱するためのヒータ８とを備えて構成されている。
燈体９は、本実施の形態ではサイドウインカーであって、端子１０、バルブ（電球）１１が必要部品として組込まれ、不透光樹脂材で成形される燈本体３と、透光性（透明）が樹脂材から成形されるレンズ部４とからなり、後述するように、一次射出の工程でこれら燈本体３、レンズ部４とを成型した後、可動型１を移動させ（ダイスライド）て燈本体３、レンズ部４とを突き合わせ、その突き合わせ面部に樹脂材１２を二次射出することによって一体化して燈体９を成形するようになっている。
次に、燈体９の製造方法について、図面を用いて説明する。第２図（Ａ）は、両金型１、２について、燈本体３を形成する型面１ａ、２ａ同志、レンズ部４を形成する型面１ｂ、２ｂ同志がそれぞれ互いに離間した状態（型開きした状態）で対向しており、この離間状態から可動金型１を固定金型２側に移動して前記対向する型面同志が型合わせされる（一次の突き合わせ工程：第２図（Ｂ）参照）。この型合わせ状態で、一次の射出が行われて燈本体３とレンズ部４とがそれぞれ射出成形される（一次の射出工程：第２図（Ｃ）参照）。
しかる後、第３図（Ａ）に示すように、可動金型１が固定金型２から離型（型開き）する方向に移動する離型（型開き）工程が実行されるが、このとき、可動金型１側に燈本体３が脱型されずに支持され（残り）、固定金型２側にレンズ部４が脱型されずに支持される（残る）ように型設計されている。次いで可動型１は、燈本体３が真空蒸着装置５と対向するよう平行移動（第３図（Ｂ）参照）した後、固定金型２側に移動して型合わせ状態となり（二次の型合わせ工程：第３図（Ｃ）参照）、凹型面２ｃ内と燈本体３との対向間に形成される成膜空間Ｓが外気と封止される。
そして前記平行移動をする前、あるいは後の両金型１、２が離間している状態において、真空蒸着をしたくない部所、ここでは燈本体３の端子１０やバルブ１１の挿入部３ａをマスキングする（覆う）ためのマスキング部材（覆い部材）１３が燈本体３に組み込まれる（差し込まれる）（マスキング部材組込み工程）が、本実施の形態では、平行移動する前の段階でマスキング部材１３を組込むようになっている。また、真空蒸着装置５の本体を内装する凹型面２ｃに開口側周縁部２ｄは、燈本体３のレンズ部４との突き合わせ面３ｂをマスキングしここが真空蒸着されないようように型設計されている。
前記燈本体３と真空蒸着装置５とが対向した型合わせ状態となって封止状の成膜空間Ｓが形成された後、第一開閉バルブ６ａを開放して該成膜空間Ｓ内の空気が真空流路６から抜かれて成膜空間６を内部を真空状態にし、この状態で、加熱したヒータ８によりボート７に供給される溶融した金属が蒸気化することになって燈本体３の露出する内面が真空蒸着されて反射面１４が（成膜）される（成膜（反射面）形成工程：第４図（Ａ）参照）。次いで成膜終了後、可動金型１を固定金型２から離間（型開き）させた（第４図（Ｂ）参照）後、可動金型１を固定金型２に対して平行移動させて燈本体３とレンズ部４とを対向させる（第４図（Ｃ）参照）。因みに、前記可動金型１を平行移動させる前後において、マスキング部材１３を取り去る取り去り工程、必要部品である端子１０、バルブ１１を組み込む組み込み工程が実行されるが、本実施の形態では、平行移動させる前の離間移動が終わった工程で前記取り去り工程、組み込み工程が実行される。また、成膜空間Ｓは真空状態となっているが、成膜空間Ｓは小さいため、可動金型１の型開き作動の作動力によって型開きをし、成膜空間Ｓに外気が流入するようになっている。
しかる後、可動金型１を固定金型２側に移動させて燈本体３とレンズ部４とを突合せ（三次の突き合わせ工程：第５図（Ａ）参照）、燈本体３とレンズ部４との突き合わせ面に樹脂材１２を二次射出し（二次の射出工程：第５図（Ｂ）参照）、これによって燈本体３とレンズ部４とが一体化され、反射面１４が形成された燈体９となる。そして可動金型１が固定金型２から離間し、あわせて前記成型された燈体９の取り出し（脱型）（第５図（Ｃ）参照）があり、しかる後、可動金型１が第２図（Ａ）の最初の位置まで平行移動し、以降、この工程が繰り返されるようになっている。
叙述の如く構成された本発明の実施の形態において、燈体９を製造するに際し、燈本体３、レンズ部４を形成する一次の射出成形の工程と、該燈本体３、レンズ部４とを一体化するための二次の射出工程とのあいだに、燈本体３の内面に反射面１４を形成する成膜工程を設けた結果、従来のように、一旦、金型から取り出した燈本体３に反射面を成膜し、しかる後、再び金型にセットしなければならない従来の場合のように、燈本体３の取り出し、再セットの作業が不要になって一連のダイスライドの工程で燈本体３の製造と反射面の成膜とができ、作業能率が向上する。しかも燈本体３の取り出し、再セットがないため、反射面１４を手でさわって指紋がついたり物が当って傷がついたりすることもなく、不良品発生を大幅を低減できることになる。
しかもこのものでは、前記成膜工程において燈本体３は表面（第一金型１に覆われている面）が第一金型１に対して脱型されることなく支持されたままの目隠し状態であるため、該燈本体３の表面（製品となった場合の表面）は第一金型１自体がマスキング部材となって機能し、燈本体３の表面が成膜されてしまうことがない。さらにこのものでは、真空蒸着装置５の本体が収容される凹型面２ｃが固定金型である第二金型２に形成されるため、真空蒸着装置５は固定されたものとなって、可動金型１側に設けた場合のように、真空蒸着装置５に設けられるポンプ配管や配線等について移動を考慮した構成にする必要はなく、構造の簡略化と共に耐久性の向上が図れることになる。
さらにまた、このものでは反射面を成膜したくない部位、つまり端子１０とバルブ１１の取付け部３ａに金属膜の反射面を成膜すると、絶縁性が損なわれて回路が短絡してしまうことになり、そこでこの部分をマスキング部材１３で塞いでから反射面１４を形成するようにしたため、前記短絡という問題のない燈体９となる。しかもこのものでは、反射面１４を形成後、塞ぎ部材１３を取り除いてから端子１０、バルブ１１を組込むことになるので、一連のダイスライドの工程で成膜も含めた全ての製造作業が円滑に実行され、効率の良い燈体９の製造ができる。
さらにまた、燈体９は、燈本体３とレンズ部４との突き合わせ部を二次の射出工程で接合（接着）することになるが、燈本体３の成膜時においてこの接合部位は蒸着装置５本体を収容する凹型面２ｃの開口側周縁部によってマスキングされていて反射面が成膜されることがない。この結果、第一金型１の脱型で露出する部分のマスキングを、前記専用のマスキング部材１３を用いる必要がなく、第二金型２を用いてマスキングすることができ、二次の射出工程で射出される部位が成膜されてしまうことがなく、燈本体３とレンズ部４との接着が確実となって作業の効率化が図れることになる。
また、固定金型２に形成される蒸着装置５の本体を収容する凹型面２ｃは、燈本体３とレンズ部４とを形成するための型面２ａ、２ｂのあいだにあるため、一次の射出工程から反射面形成工程への可動金型１の移動方向と、反射面形成工程から二次の射出工程への可動金型１の移動方向とが同じ方向となる結果、ダイスライド機構の構成を簡略化できるという利点がある。
尚、本発明は前記実施の形態に限定されないものであって、成膜は、鏡状面等の反射面に限定されないものであって塗装等の成膜であっても良く、さらに成膜手段としては、真空蒸着装置に限定されず、例えば真空蒸着装置に限定されず、例えばスパッタリング蒸着等の物理蒸着法（ＰＶＤ）、熱蒸着やプラズマ蒸着等の化学蒸着法（ＣＶＤ）等、通常知られた各種の成膜装置を採用することができる。また、燈体等の成型体である場合、端子やバルブ等の付属品は成型後に後付けするタイプのものとすることもできる。さらにまた、成膜手段において、ターゲットである金属の種類（例えば銅、アルミニウム、ニッケル等）や真空度、さらには充填ガスの種類によって成膜した膜の色を変えることもできる。
また本発明は、成型工程としては射出成型により実施するようにしたが、これに限定されず、型成型するものとして例えばプレス成型、ブロー成型等の通常知られた型成型に対して実施することができる。さらにまた、完成品が燈体である場合を例として説明すると、該燈体を、前記実施の形態のように最後まで連続成形するのではなく、燈本体３に鏡状面１４を成膜した半製品までの成型について実施し、該成型されたものを脱型して部品として用いるようにするものにも実施することができる。さらにまた、成膜手段としては、鏡状面となる面を形成する金型と同じ金型に設けたものではなく、別の金型に設けたものとしても実施することができる。
また、金型としては、前記実施の形態では第一、第二の二つの金型を用いたものとして説明したが、形状が複雑な成型体で、二つの金型では成型できないような成型体を型成型するものであるような場合、第三、第四の金型等、必要において金型の数を増やすことができ、この場合において、少なくとも一つの金型でマスキングするように構成することで本発明を実施できることは言うまでもない。
さらに本発明の第二の実施の形態について第６図〜第１０図を用いて説明する。ここでは、可動金型である第一金型１５に組み込まれたワーク（成型品）１６の露出面に、固定金型である第二金型１７に組み込まれたスパッタリング装置１８を用いて膜面１９を成膜するものであり、その制御手順について併せて説明する。
前記第一金型１５にはワーク１６を組み込み支持するための型面１６ａが形成される一方、第二金型１７には、不活性ガスとしてアルゴンを採用したスパッタリング装置１８を組み込むための貫通孔１７ａが開設され、該貫通孔１７ａの外側から挿入されたスパッタリング装置１８は、緊締ボルト１８ａを介して第二金型１７に封止状に取り付けられている。この場合において、前記第一金型１５は、第一の実施の形態の第一金型１のようにワーク（燈本体）１６を型形成するものとし、そしてその型面１５ａを第一の実施の形態の型面１ａのようにすることができる。そして前記第一金型１５は、油圧シリンダ等のアクチュエータを作動用アクチュエータ２０として型締め−型開きの作動をするように設定されている。
一方、第二金型１７と第一金型１５との型合わせ状態で、スパッタリング装置１８とワーク１６とのあいだに成膜空間Ｘが形成されている。第二金型１７には、前記スパッタリング装置１８よりもワーク１６側に、真空ポンプ１９と連通連結するため筒状になっていて、真空ポンプＰに接続する真空流路２１が穿設されている。さらにこのものでは、前記真空流路２１を開閉するための第一の開閉バルブ（本発明の第一の開閉手段に相当する）２２が設けられるが、該第一開閉バルブ２２は、本実施の形態では電磁弁方式、油圧パイロット弁方式等、汎用のものを採用できるので、その具体的構造については省略するが、ここでは電磁ソレノイドまたはパイロット弁切換手段等の作動手段を第一開閉バルブ２２の開閉作動をするものが第一アクチュエータ２３として採用しているとして以降説明する。
さらに第二金型１７には、前記真空流路２０よりも第一金型１５側（ワーク側）に位置して外気に連通する外気連通路２４が開設されると共に、該外気連通路２４を開閉する第二の開閉バルブ２５が設けられ、さらに該外気連通路２４と真空流路２０との間に成膜空間Ｘを開閉するための第三の開閉バルブ２６が設けられているが、これら第二、第三の開閉バルブ２５、２６についても第一開閉バルブ２２と同じく、電磁ソレノイドまたはパイロット弁切換手段等の作動手段を第二、第三の開閉バルブ２５、２６の開閉作動をするものとして第二、第三の第一アクチュエータ２７、２８を採用しているとして以降説明する。尚、第二金型１７には、図６（Ｂ）に示すようにワーク１６の周縁部をマスキングするためのマスキング部１７ｂが形成されている。
２９はマイクロコンピュータ等の各種部材装置を用いて構成される制御部であって、該制御部２９は、前記アクチュエータ２０、２３、２７、２８に対して後述するように対応する制御指令を出力することになるが、制御部２９には、ワーク１６が第一金型１５に組み込まれているか否かを検知するワーク組み込み検知センサ３０、第二金型１７が第一金型１５に対して型合わせ位置か型開き位置の何れの位置にいるかを検知する型状態検知センサ３１、前記第一〜第三の開閉バルブ２３、２７、２８の開閉検知をそれぞれする第一〜第三の開閉検知センサ３２、３３、３４、成膜空間Ｘが成膜条件（成膜雰囲気）に達成したは否かを検知する成膜条件達成検知センサ３５からの検知信号がそれぞれ入力するようになっている。
ここでワーク組み込み検知センサ３０は、例えばワーク１６について、前記第一の実施の形態のように一連の成型工程で成型と成膜とをするものであれば、成型工程を実行したか否かを認識し、実施したことの判断により検知するものとすることができ、また、別途成型したワーク１６を第一金型１５に組み込むものである場合、あるいは前記型成型で成型したワーク１６にマスキング部材を組み込むものである場合に、第一金型１５に組み込まれたワーク１６を直接検知すべく第一金型１５に直接センサを設けてもよいが、ワークやマスキング部材の組み込み装置を、例えば組み込みアームを備えたロボット（図示しない）で構成し、該組み込みアームにワーク１６の存否を検出する検出センサを設け、ワーク１６が第一金型１５に組み込まれているか否かの検知をするようにしても実施することができる。
また、型状態検知センサ３１は、例えば第一金型１５が型合わせ位置と型開き位置の何れに位置するかを検知する検知センサ（二点位置検知センサ）として実施することができるが、これら各位置を各別に検知する各専用のセンサを用いても実施することができる。
さらにまた、開閉検知センサ３２、３３、３４は、対応する各作動用アクチュエータ２３、２７、２８が開閉何れの状態にあるかの検知をするセンサを用いて実施することができる。またさらに、成膜条件達成検知センサ３５は、成膜空間Ｘが成膜するに必要な真空状態に達したは否かの判断をするもので、例えば真空流路２１（第一開閉バルブ２２よりも真空ポンプＰ側であっても成膜空間Ｘ側の何れであってもよい）、該真空流路２１から真空ポンプＰに至るまでの管路２１ａ等に設けられた気圧計（真空度を検出できるもの）を用いて実施することができる。尚、真空ポンプＰは、本実施の形態においてはスイッチ始動により常時駆動しているものとするが、例えば後述する成膜制御工程時のみ駆動するように制御しても勿論よい。
次に、制御部２９による成膜制御工程について、第７図に示す制御のブロック回路図、第８図〜第１０図のフローチャート図を用いて第二の実施の形態について説明する。図面において、制御部２９は、電源投入をしてシステムスタートが実行され、必要なデータを読み込む、アクチュエータを初期状態にセットする等の初期作業を実行する初期設定がなされる。この実施の形態において初期状態では、第一金型作動用アクチュエータ２０は型開き状態、第一、第三開閉バルブ作動用アクチュエータ２３、２８は閉鎖状態、第二開閉バルブ作動用アクチュエータ２７は開放状態となるよう初期制御されるものとする。
そして成膜制御工程において、まず制御部２９は、ワーク１６が第一金型１５に組み込まれているか否かの判断をワーク組み込み検知センサ３０からの検知信号により実行する。そして制御部２９は、ワーク１６が組み込まれていると判断した場合に、第一金型作動用アクチュエータ２０に対し型合わせ作動すべく制御指令を出力し、そして第一金型１５が型合わせ位置に位置したことを型状態検知センサ３１が検知すると、第二開閉バルブ用アクチュエータ２７に対して閉鎖の制御指令を出力し、これに対応して第二開閉バルブ開閉検知センサ３３が第二開閉バルブ２５の閉鎖信号を入力する。しかる後、第一、第三開閉バルブ作動用アクチュエータ２３、２８に対して開放制御指令を出力して成膜空間Ｘを真空ポンプＰに連通して全成膜空間Ｘを真空にすると共に、該成膜空間Ｘが真空になったか否かを成膜条件達成検知センサ３５によって検知される。
尚、第二開閉バルブ用アクチュエータ２７に対する閉鎖制御指令の出力は、前記型合わせ工程の前でも良いが、本実施の形態のように型合わせ工程の後とすることで、型合わせ工程時において封止される成膜空間Ｘ内の圧力を大気圧状態にすることができ、このようにすることで、型合わせ工程の前に閉成した場合のように、型合わせの最終段階で殆んど封止状になったものをさらに強く型合わせすして成膜空間Ｘの体積を小さくすることで成膜空間Ｘ内の気圧が大気圧より高くなってしまい、真空工程で真空にするための時間が長くなってしまうことを回避できるという利点がある。
第９図、第１０図に成膜条件に達した以降の制御について、二つの実施の形態の制御手順を示すが、まず、第９図に示す実施の形態のものは、成膜装置１８に対して成膜作動の制御指令を出力し、成膜作動を実行する。この成膜工程は、例えば、成膜が完了する時間として予め設定される成膜時間のあいだ実行された後、停止するよう制御される。しかる後、第一、第三開閉バルブ用アクチュエータ２３、２８に対して閉鎖作動指令を出力し、これら第一、第三の開閉バルブ２２、２６が閉鎖したことを各対応する第一、第三の開閉検知センサ３２、３４によって検知されると、第二開閉バルブ作動用アクチュエータ２７に対して開放作動指令が出力され、該第二開閉バルブ２５が開放したことを第二開閉検知センサ３３が検知すると、第一金型作動用アクチュエータ２０に対して型開き作動の制御指令が出力される。そして型開き検知が型状態検知センサ３１によって検知されることで一連の成膜工程が終了し、成膜１９されたワーク１６の取り出しの工程や、前記第一の実施の形態のようにさらなる型成型の工程に移り、これら工程を終了後、前記初期設定が終了した初期制御状態に復帰するよう制御される。
このように制御した実施の形態とすることにより、金型１５、１７を用いてのワーク１６に対する成膜を、一連の制御工程によって連続して行うことができ、しかもこの工程を繰り返し反復して実行することも現実できることになって成膜作業の簡略化が達成される。そしてこのものでは、型開き工程の前工程において第一、第三の開閉バルブ２６を閉じると共に、第二の開閉バルブ２５を開放するようになっているため、前記型開き工程において、成膜装置１８と第三の開閉バルブ２６とのあいだの成膜装置１８側の成膜空間Ｘは真空状態に維持される一方で、型開きされる第三開閉バルブ２６とワーク１６との間のワーク側の成膜空間Ｘは外気が流入して大気圧状態になる結果、型開き作動するに際し、前記第一の実施の形態のように真空状態下での強制的な型開き作動を必要とすることがなく、大気条件下での円滑で穏かな型開きがなされることになる。
しかも該型開きをした場合に、成膜装置１８と第三の開閉バルブ２６とのあいだの成膜装置側の成膜空間Ｘは真空状態に維持されるため、次回の成膜作業をするに当たり、第三開閉バルブ２６とワーク１６との間のワーク側成膜空間Ｘ分の空気を吸引して真空状態にすればよいから、全成膜空間Ｘを成膜条件にするための真空工程が短時間で行われることになって作業性が向上するという利点がある。
そしてこのように実施する場合、本実施の形態では、第三の開閉バルブ２６により、少なくとも型開き工程から型合わせ工程に至るまでのあいだ、前記成膜装置１８側成膜空間Ｘを閉鎖するものであるため第一開閉バルブ２２を不要とすることができるが、作業開始の段階において、型合わせを行うまでの段階で、第一開閉バルブ２２を閉鎖した状態で予め真空ポンプＰを作動させておけば、第一開閉バルブ２２から真空ポンプＰまでの流路を予め真空状態にしておくことができ、このようにすることで、真空工程では、第一開閉バルブ２２よりも成膜空間Ｘ側の真空量路２１と該成膜空間Ｘとを真空にするだけでよいことになって真空工程の短時間かを達成できる。そして最初の成膜工程が終了した後は、第一開閉バルブ２２は開放したままに制御するようにしても良いことになる。
次に、第１０図に示す実施の形態のものは、成膜工程の前段階で第一開閉バルブ２２を閉鎖制御するようにした点で前記実施の形態のものとは相違するものであり、このようにすることで、成膜工程時、第一開閉バルブ２２が閉鎖していることになって、成膜空間Ｘが、真空ポンプＰの吸引作動により発生する脈動の影響を受けることがなくなって、静止空間での成膜がなされ、より均一で精度のよい成膜ができるという利点がある。
尚、本発明は、第１１図、第１２図に示す第三の実施の形態のように第三の開閉バルブ２６のないものとしても実施することができるが、このようにした場合には、型開き工程等において全成膜空間Ｘに外気が流入することになって、前記実施の形態のものに対して真空工程において成膜条件達成（真空状態達成）までの時間が長くなるという点で若干劣るが、成膜空間Ｘが小さいものにおいては殆んど問題にならないものである。
前記第三の実施の形態のものは、第一金型３６、第二金型３７を備えたものであり、そして該第二金型３７に、第三の開閉バルブ２６がない点に加えて、ワーク１６の周縁をマスキングするマスキング部がない点で第二の実施の形態のものと相違する。そしてこのものは、第一金型３６に、前記第一、第二金型では記載を省略したエジェクター体（エジェクター手段）３８が設けられていて、成膜工程後、型開きの前または型開きと同時に、エジェクター体３８が型面から突出して成膜されたワーク１６を第一金型３６から脱型するものであるが、このエジェクター体３８を出没自在に挿通する挿通路３９に外気流入路４０を形成しておく。そしてこの場合において、エジェクター体３８が没入した非脱型姿勢では前記外気流入路４０は封止されていて成膜空間Ｘへの外気流入は阻止されるが、突出してエジェクター体３８がワーク１６の仮脱型姿勢となると同時に外気流入路４０を開放して真空となった成膜空間Ｘに外気を流入するようになっており、このようにしても実施することができる。尚、エジェクター体３８は、ワーク１６を完全に脱型しても良いが、この場合にはワーク１６が第一金型３６に対してフリーになるため、型開き時等において、第一金型３６からのワーク１６の脱落という問題がある。そこでワーク１６が第一金型３６に対して半脱型、つまり完全に脱型する以前であってワーク１６の一部が第一金型３６に残っていてワーク１６が第一金型３６から脱落することがない仮支持状態、つまり半脱型状態にすることで、型開き時、ワーク１６の脱落回避ができるという利点があり、本実施の形態ではこの半脱型作動、そして取り出し時の本脱型作動を行うものとすることができる。
因みに、第一金型３６のワーク１６を支持する垂直型面３６ａ、３６ｂがある場合に、該垂直型面３６ａ、３６ｂに、ワーク１６を脱型すやすいよう型開口端側ほど広くなるよう僅かではあるがテーパ（抜きテーパ）を存するように形成することが型成型の分野において一般に行われており（第１２図（Ｂ）参照）、そしてこの場合、前記半脱型をすることで、このテーパ面とワーク１６とのあいだにできる僅かな隙間Ｙが外気流入路となって外気の流入が果たされることになるという利点がある。尚、成膜空間Ｘ内の気圧は、型開き時、必ずしも大気圧にする必要はなく、外気の流入はあるものの大気圧よりは低い気圧状態であれば、型開き時の作動負荷の軽減に寄与することはいうまでもない。
そしてこのようにしたものでは、第二の実施の形態のように専用の外気流入路や第二開閉バルブを設ける必要がなく、エジェクター体３８とこれを出没させるため設けられる貫通路３９を有効に利用して外気の流入制御ができることになるという利点があり、都合が良い。
ここで、第１３図、第１４図にエジェクター体３８を用いた場合のブロック回路図、フローチャート図を示す。このものは、制御部４０に、第二の実施の形態と同じワーク組み込み検知センサ３０、型状態検知センサ３１、第一開閉バルブ開閉検知センサ３２、成膜状態検知センサ３５のほかに、エジェクター体３８の姿勢を検知するエジェクター姿勢検知センサ４１からの検知信号が入力するようになっている一方、第一金型作動用アクチュエータ２０、第一開閉バルブ作動用アクチュエータ２３、成膜装置１８のほかに、エジェクター作動用アクチュエータ４２に対して対応する制御指令を出力するようになっている。
ここにおいて、エジェクター姿勢検知センサ４１は、エジェクター体３８自体の出没移動の検知をするもので構成しても良いが、エジェクター体３８の前記作動用アクチュエータ４２に対して出力される制御信号を読み取って姿勢判断するものとしても実施することができる。
第１４図において、システムスタートがなされ、初期設定が実行されると、ワーク組み込み検知センサ３０によってワーク１６が組み込まれているか否かの信号が入力し、組み込まれているとの検知信号が制御部４０に入力すると、制御部４０は、第一金型作動用アクチュエータ２０に対して型合わせ制御指令を出力すると共に第一金型３６が型合わせ状態になっているか否かの判断を金型状態検知センサ３１によってなされる第一金型３６の型合わせ制御が実行される。そして第一金型３６が型合わせされたと判断されると、第一開閉バルブ作動用アクチュエータ２３に対して開放指令信号が出力され、該第一開閉バルブ２２が開放したとの検知信号が第一開閉バルブ開閉検知センサ３２から制御部４０に入力すると共に、成膜条件達成検知センサ３５により成膜空間Ｘが真空状態、つまり成膜条件に達成したか否かの判断がなされる。そして、成膜条件に達成したとの判断がなされると、成膜装置１８に対して成膜作動制御の指令を予め設定した成膜時間のあいだ出力し、該時間の経過に伴い成膜を停止する成膜作動制御が実行された後、第一開閉バルブ作動用アクチュエータ３に対して閉鎖指令信号が出力され、該第一開閉バルブ２２が閉鎖したとの検知信号が第一開閉バルブ開閉検知センサ３２から入力する第一開閉バルブ２２の閉鎖制御が実行される。
このように、ワーク１６に成膜がなされ、第一開閉バルブ２２が閉鎖状態になった後、エジェクター作動用アクチュエータ４２に対し半脱型姿勢とする制御指令を出力し、これがエジェクター姿勢検知センサ４１によって検知された検知信号が入力して成膜空間Ｘに外気が流入したことが認識されると、第一金型作動用アクチュエータ２０に対して型開き指令が出力されて該型開き作動が実行され、型開き検知が型状態検知センサ３１によって検知されることで一連の成膜工程が終了し、さらにエジェクター体３８を突出させてワーク１６を第一金型から脱型させて取り出しする取り出し工程等の次工程制御が実行されるようになっている。因みに、次工程作業がワーク１６の取り出しである場合、取り出しロボットを前記半脱型されたワーク１６に当てがい、この状態でエジェクター体３８をさらに突出させて完全な脱型姿勢としたものを取り出しロボットでキャッチする等して取り出すことで、ワーク１６の第一金型３６からの脱落を回避できることになる。
このように実施した第三の実施の形態のものでは、成膜したワーク１６を取り出すために設けられるエジェクター体３８とその挿通路３９を有効に利用して真空となった成膜空間Ｘに外気を流入できることになって金型構造を簡略ができるという利点がある。
そしてこのものでは、外気流入路とその開閉手段がエジェクター手段を有効に利用してできる、という利点があるが、外気流入路とその開閉手段を第一金型に形成しても実施できるこはいうまでもない。
産業上の利用可能性
本発明は、車両等に搭載されるフロントランプ、ウインカー（サイドウインカーを含む）、テールランプ等を含んだ各種の成型体（ワーク）を成膜するための金型、該金型を用いた成膜方法および成膜制御システムとして有用である。

Claims (27)

1. 成膜されるワークが組み込まれる第一金型と、該ワークに成膜するための成膜手段が組み込まれる第二金型とを備えて構成されることを特徴とする成膜用金型。
2. 請求項１において、第二金型は、ワークを成型するための金型であることを特徴とする成膜用金型。
3. 請求項１または２において、第一金型が可動型、第二金型が固定型であることを特徴とする成膜用金型。
4. 請求項１乃至３の何れかにおいて、成膜手段は、スパッタリング装置または真空蒸着装置であることを特徴とする成膜用金型。
5. 請求項１乃至４の何れかにおいて、成膜手段は第二金型に形成した有底筒状の凹穴に設けられ、成膜手段とワークとのあいだに成膜空間が確保されるものであることを特徴とする成膜用金型。
6. 請求項１乃至４の何れかにおいて、成膜手段は、第二金型に設けた貫通孔を気密状に封止するようにして設けられ、成膜手段とワークとのあいだに成膜空間が確保されるものであることを特徴とする成膜用金型。
7. 請求項１乃至６の何れかにおいて、第二金型には、成膜空間を真空にするための真空流路と、該真空流路を開閉するための第一の開閉手段とが設けられていることを特徴とする成膜用金型。
8. 請求項１乃至７の何れかにおいて、第二金型には、第一金型に取り付けられたワークをマスキングするためのマスキング部があることを特徴とする成膜用金型。
9. 請求項１乃至８の何れかにおいて、第一または第二金型には、成膜空間に外気を流入するための外気流入路と、該外気流入路を開閉するための第二の開閉手段とが設けられていることを特徴とする成膜用金型。
10. 請求項９において、外気流入路および第二の開閉手段は、成膜されたワークを第一金型から脱型するためのエジェクタ手段に設けられていることを特徴とする成膜用金型。
11. 請求項９または１０において、第二金型には、真空流路と外気流入路とのあいだに位置して成膜空間の開閉をする第三の開閉手段が設けられていることを特徴とする成膜用金型。
12. 成膜されるワークが組み込まれる第一金型と、該ワークに成膜するための成膜手段が組み込まれる第二金型とを型合わせする型合わせ工程、ワークに成膜をする成膜工程、第一、第二金型を型開きする型開き工程を少なくとも順次有することを特徴とする金型を用いた成膜方法。
13. 請求項１２において、第一金型が可動型、第二金型が固定型であることを特徴とする金型を用いた成膜方法。
14. 請求項１２または１３において、成膜手段は、スパッタリング装置または真空蒸着装置であることを特徴とする金型を用いた成膜方法。
15. 請求項１２乃至１４の何れかにおいて、型合わせ工程と成膜工程とのあいだに、成膜手段とワークとのあいだの成膜空間を真空にするための真空工程があることを特徴とする金型を用いた成膜方法。
16. 請求項１５において、第二金型に、成膜空間を真空にするため真空ポンプに連通される真空流路と、該真空流路を開閉するための第一の開閉手段とが設けられ、真空工程は、該第一の開閉手段を開放することで実行されることを特徴とする金型を用いた成膜方法。
17. 請求項１２乃至１６の何れかにおいて、第二金型には、第一金型に取り付けられたワークをマスキングするマスキング部があり、型合わせ工程でワークがマスキングされるものであることを特徴とする金型を用いた成膜方法。
18. 請求項１６または１７の何れかにおいて、第一または第二金型には、成膜空間に外気を流入するための外気流入路と、該外気流入路を開閉するための第二の開閉手段とが設けられ、成膜工程と型開き工程との間に、第一の開閉手段を閉鎖する第一開閉手段閉鎖工程、第二の開閉手段を開放する第二開閉手段開放工程があることを特徴とする金型を用いた成膜方法。
19. 請求項１８において、外気流入路および第二の開閉手段は、成膜されたワークを第一金型から脱型するためのエジェクタ手段に設けられ、第二開閉手段開放工程は、エジェクタ手段によるワークの脱型に連動して実行されることを特徴とする金型を用いた成膜方法。
20. 請求項１８において、外気流入路は第一および第二金型の型合せ面であり、第二開閉手段は、型合わせ工程による型合わせで外気流入路を閉鎖し、型開き工程で外気流入路を開放するようにして構成されることを特徴とする金型を用いた成膜方法。
21. 請求項１６乃至２０の何れかにおいて、第二金型には、真空流路と第二開閉手段とのあいだの成膜空間を開閉する第三の開閉手段が設けられ、成膜工程後、第二開閉手段開放工程までのあいだに第三の開閉手段を閉鎖する第三開閉手段閉鎖工程があることを特徴とする金型を用いた成膜方法。
22. 成膜されるワークが組み込まれる第一金型と、該ワークに真空雰囲気下で成膜するための成膜手段が組み込まれる第二金型と、該成膜手段とワークとのあいだの成膜空間を真空にするための真空流路と、該真空流路を開閉する第一の開閉手段と、前記成膜空間を外気に連通するため開閉するための第二の開閉手段とが設けられ、前記ワークが組み込まれた第一金型と第二金型とを型合わせする型合わせ工程、第二の開閉手段を閉鎖し、第一の開閉手段を開放した状態で成膜空間を真空にする真空工程、第一の開閉手段を開放または閉鎖し、第二の開閉手段を閉鎖した状態で成膜手段による成膜をする成膜工程、第一の開閉手段を開放または閉鎖した状態で、第二の開閉手段を開放して成膜空間に外気を流入する外気流入工程、型合わせされている金型を型開きする型開き工程があることを特徴とする金型を用いた成膜方法。
23. 成膜されるワークが組み込まれる第一金型と、該ワークに真空雰囲気下で成膜するための成膜手段が組み込まれる第二金型と、該成膜手段とワークとのあいだの成膜空間を真空にするための真空流路と、該真空流路を開閉する第一の開閉手段と、前記成膜空間を外気に連通するため開閉するための第二の開閉手段と、真空流路と第二開閉手段とのあいだの成膜空間を開閉する第三の開閉手段とが設けられ、前記ワークが組み込まれた第一金型と第二金型とを型合わせする型合わせ工程、第二の開閉手段を閉鎖し、第一、第三の開閉手段を開放した状態で成膜空間を真空にする真空工程、第一の開閉手段を開放または閉鎖し、第二の開閉手段を閉鎖し、第三の開閉手段を開放した状態で成膜手段による成膜をする成膜工程、第一の開閉手段を開放または閉鎖し、第三の開閉手段を閉鎖した状態で、第二の開閉手段を開放して成膜空間の第三の開閉手段よりもワーク側空間に外気を流入する外気流入工程、型合わせされている金型を型開きする型開き工程があることを特徴とする金型を用いた成膜方法。
24. 真空雰囲気下で成膜するための成膜手段、成膜されるワークが組み込まれる第一金型および前記成膜手段が組み込まれる第二金型同士の型合わせ−型開き作動をするための型作動手段、成膜手段とワークとのあいだの成膜空間を真空にする真空流路の開閉をするための第一の開閉手段を備えると共に、前記型作動手段に対して型合わせ作動指令の出力、第一の開閉手段に対して開放作動指令の出力、成膜手段に対して成膜作動指令の出力、成膜手段に対して成膜停止指令の出力、第一の開閉手段に対して閉鎖作動指令の出力、型作動手段に対して型開き作動指令の出力を順次行うように制御設定した制御部を備えていることを特徴とする金型を用いた成膜制御システム。
25. 真空雰囲気下で成膜するための成膜手段、成膜されるワークが組み込まれる第一金型および前記成膜手段が組み込まれる第二金型同士の型合わせ−型開き作動をするための型作動手段、成膜手段とワークとのあいだの成膜空間を真空にする真空流路の開閉をするための第一の開閉手段を備えると共に、前記型作動手段に対して型合わせ作動指令の出力、第一の開閉手段に対して開放作動指令の出力、第一の開閉手段に対して閉鎖作動指令の出力、成膜手段に対して成膜作動指令の出力、成膜手段に対して成膜停止指令の出力、型作動手段に対して型開き作動指令の出力を順次行うように制御設定した制御部を備えていることを特徴とする金型を用いた成膜制御システム。
26. 請求項２３乃至２５の何れかにおいて、前記成膜空間に外気を流入するための外気流路と、該外気流路の開閉をするための第二の開閉手段とを備え、制御部は、型開き作動指令の出力と同時または該出力の前に第二の開閉手段に対して開放作動指令を出力するように制御設定されていることを特徴とする金型を用いた成膜制御システム。
27. 請求項２６において、真空流路と第二の開閉手段とのあいだの成膜空間を開閉するための第三の開閉手段が設けられ、制御部は、第一の開閉手段に対する開放作動指令出力と同時または該出力の前に第三の開閉手段に対して閉鎖作動指令を出力し、型作動手段に対する型開き作動指令出力と同時または該出力の前に第三の開閉手段に対して開放作動指令を出力するように制御設定されていることを特徴とする金型を用いた成膜制御システム。

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