JP3677525B2 - 無電極放電ランプ装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は直管形の無電極放電ランプを備えた無電極放電ランプに関する。
【0002】
【従来の技術】
図9は、従来の無電極放電ランプ装置を示す一部切欠正面図である。
【0003】
図において、101は無電極放電ランプ、102は誘導コイル、103はホルダ、104はスペーサ、105は第1の接続板、106は第2の接続板である。
【0004】
無電極放電ランプ101は、直管形で細長い放電容器101aの内部に希ガスおよび水銀からなる放電媒体が封入され、両端に支持部101bが形成されている。
【0005】
誘導コイル102は、無電極放電ランプ101の長手方向に沿って6個が無電極放電ランプ101の周囲に配設されている。誘導コイル102の両端から導出された一対のリード線102a、102bは、折曲されて無電極放電ランプ101の管軸と平行で、しかも順次管軸の回りに位置をずらして無電極放電ランプ101の一端部に集中している。
【0006】
ホルダ103は、2つ割り構成で、無電極放電ランプ101の両端の支持部101bに固定されている。
【0007】
スペーサ104は、フッ素樹脂製で、ホルダ103に固定されている。そして、ホルダ104の周囲にはリード線挿通孔104aが等間隔で形成され、また中心部から無電極放電ランプ101の外側へ向けて径大凸部104bおよび径小凸部104cが同軸に形成されている。
【0008】
第1の接続板105は、スペーサ104の径大凸部104bに装着さている。そして、第1の接続板105の周囲には、リード線接続部105aと切欠部105bとが交互に形成されている。
【0009】
第2の接続板106は、スペーサ104の径小凸部104cに装着されている。そして、第2の接続板106の周囲には第1の接続板105の切欠部105bに対向する接続部106aが形成されている。
【0010】
そうして、各誘導コイル102の一対のリード線102a、102bのうち一方102aは、スペーサ104のリード線挿通孔104aを通過して、第1の接続板105のリード線接続部105aに接続されている。
【0011】
また、他方のリード線102bは、第1の接続板105の切欠部105bを通過して、第2の接続板106のリード線接続部106aに接続されている。
【0012】
第1および第2の接続板105、106を図示しない高周波電源に接続すると、誘導コイル102が高周波磁界を発生するので、無電極放電ランプ101内の放電媒体が高周波磁界により励起されて無電極放電して、所期の放射が得られる。
【0013】
上述した構造の無電極放電ランプ装置は、その取扱いを容易にするために、石英ガラスなどからなる外管(図示しない。)内に収納し、外管の両端をキャップ体によってシールする。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のこの種無電極放電ランプ装置においては、各誘導コイル102の無電極放電ランプ101に対する位置が異なるにもかかわらず、リード線102a、102bを無電極放電ランプ101の一端部に集中させているので、誘導コイルごとにリード線102a、102bの長さが異なる。このため、6種類の誘導コイル102を用意する必要があり、部品管理および組立が極めて面倒である。
【0015】
また、組み立て方が悪かったり、作動中の温度上昇に伴う部品の膨張により、誘導コイル102のリード線102a、102bが隣接する誘導コイルの異なる電位の他のリード線に接触して短絡しやすいので、組立の作業性が甚だ悪かったり、装置の信頼性に問題があった。
【0016】
さらに、隣接する誘導コイル102間に領域Aで示すように間隔の大きな部分ができてしまい、この部分の放電空間の輝度が低下する。このため、所望の電力が投入できない。直管形の無電極放電ランプを光化学処理装置の放射源として使用する場合には、放電空間の輝度を均一にして、所要の電力を投入することが重要である。
【0017】
本発明は、誘導コイルが変形しにくて、しかも部品の製造および組立が容易な無電極放電ランプ装置を提供することを目的とする。
【0018】
【課題を達成するための手段】
請求項1の発明の無電極放電ランプは、直管形の無電極放電ランプと;無電極放電ランプから離間した位置において互いに絶縁された状態で無電極放電ランプの長手方向に沿って延在する少なくとも一対の導電性部材からなる誘導コイル支持バーと;無電極放電ランプの周囲に巻回されるとともに一端が一方の誘導コイル支持バーに接続され、他端が他方の誘導コイル支持バーに接続されている誘導コイルと;を具備していることを特徴としている。
【0019】
本発明および以下の各発明において、特に指定しない限り用語の定義および技術的意味は次による。
【0020】
無電極放電ランプについて
直管形の無電極放電ランプは、直管形の放電容器とその内部に封入した放電媒体を含む。放電容器は、溶融石英などで製作した気密容器を排気してなり、放電によって発生した放射を外部に透過する。放電媒体は、得ようとする放射によって異なるが、光化学処理に用いるために紫外線を発生させる場合には、たとえば水銀およびアルゴンのような希ガスを用いることができる。
【0021】
また、放電容器は、両端を封止した円筒状をなしているか、横断面がドーナッツ状をなしている構造のものを用いることができる。
【0022】
さらに、無電極放電ランプの管軸方向の長さは、無電極放電の場合、始動性に影響しないので、所望の放射出力量に応じて任意に設定することができる。
【0023】
さらにまた、無電極放電ランプの作動中の放電媒体たとえば水銀の蒸気圧を清適値に維持するために、放電容器の一端から細管を突出して形成することができる。
【0024】
誘導コイル支持バーについて
誘導コイル支持バーは、誘導コイルを機械的に支持するとともに、高周波電力を供給する。しかも、無電極放電ランプの長手方向に沿って延在するため、十分な剛性を有していることが要求されると同時に、十分低い電気抵抗を有していなければならない。
【0025】
そこで、誘導コイル支持バーとして、銅の角棒または平板を用いるとよい。平板を用いる場合には、その平面が放射を遮らないように平面を放射方向と平行に位置させることが望ましい。
【0026】
また、本発明は、誘導コイル支持バーを無電極放電ランプから離間した位置において互いに絶縁された状態で無電極放電ランプの長手方向に沿って延在させるための手段は問わない。
【0027】
しかし、誘導コイル支持バーを無電極放電ランプに対して、直接または間接的に固定することにより、無電極放電ランプ装置としての取扱いが容易になるので、好ましい。
【0028】
誘導コイル支持バーは、少なくとも一対用いるが、必要に応じて複数対を用いてもよい。
【0029】
誘導コイルについて
誘導コイルは、無放電放電ランプの長さに応じて1個または複数個を用いることができる。
【0030】
誘導コイルを誘導コイル支持バーに接続する手段は問わないが、たとえばスポット溶接、ねじ止めなどの手段を用いることができる。ねじ止めの場合、誘導コイル支持バーにリード線の先端を挿入するリード線挿通孔を形成するとともに、リード線挿通孔の中間に横方向から押しねじを配設して、リード線挿通孔に挿通したリード線を押しねじで固着するように構成することができる。
【0031】
誘導コイルを複数用いる場合であっても、全ての誘導コイルに同一構造のものを使用することができる。
【0032】
作用について
誘導コイル支持バーの一端に高周波電源を接続すると、誘導コイル支持バーを経由して誘導コイルに通電する。誘導コイルに通電すると、誘導コイルは高周波磁界を発生する。この高周波磁界は、無電極放電ランプの管軸方向に分布するので、無電極放電ランプ内の放電媒体が高周波磁界に曝される。これにより放電媒体は励起され、放電媒体内を2次電流が環状に通流して横断面から見てドーナッツ状に放電が生起する。放電により、紫外線または可視光など放電媒体によって決まる放射が行われる。そして、放射は、誘導コイルの間から外部に取り出すことができる。
【0033】
本発明においては、誘導コイルのリード線を短くすることができるから、機械的強度を大きくすることができるとともに、組立が容易になる。
【0034】
また、隣接する誘導コイルの間に間隔の大きな部分が形成されないから、輝度の低い部位がなくなり、すなわち輝度が均一になり、これに伴い所望の電力を投入することができる。このことは、放電領域全体の電流密度を原理的な最適値に接近させることができることを意味するので、高い発光効率を実現することができる。
【0035】
ところで、本発明において誘導コイルを複数用いる場合に、無電極放電ランプのどの位置に配設される誘導コイルであっても同一構造にすることができるのは、無電極放電ランプの長手方向に沿って延在する誘導コイル支持バーに誘導コイルを接続する構成になっているからである。
【0036】
請求項2の発明の無電極放電ランプ装置は、請求項1記載の無電極放電ランプ装置において、無電極放電ランプは、両端に環状体が一体に形成されるとともに環状体を介して支持されていることを特徴としている。
【0037】
本発明においては、環状体として放電容器と同一材料たとえば溶融石英を用いて、これを放電容器の両端に溶着することができる。
【0038】
しかし、セラミックスのような放電容器とは異なる材料からなるものであってもよい。
【0039】
そうして、環状体を介して無電極放電ランプを支持するので、支持が容易になる。本発明は、支持手段を問わないが、たとえば絶縁材料からなるディスク状の部材を無電極放電ランプの両端の環状体に装着して、ディスク状の部材を介して支持することができる。
【0040】
また、上記ディスク状の部材に誘導コイル支持バーを支持させることもできる。
【0041】
請求項3の発明の無電極放電ランプ装置は、請求項1または2記載の無電極放電ランプ装置において、誘導コイル支持バーは、無電極放電ランプの周囲に分散して配設された複数対であり;誘導コイルは、複数あり、複数対の誘導コイル支持バーに分散して接続されている;ことを特徴としている。
【0042】
誘導コイル支持バーを複数対用いる本発明の構成によれば、無電極放電ランプを複数対の誘導コイル支持バーと複数の誘導コイルとで無電極放電ランプを包囲することになり、上記3者を一体化して、バランスよく機械的強度を向上させやすい。
【0043】
誘導コイル支持バーは、無電極放電ランプの周囲に分散して配置するのが好ましい。2対の誘導コイル支持バーを用いる場合、誘導コイルのリード線を交互に異なる誘導コイル支持バーの対に接続することにより、機械的強度がバランスよく得られる。3対以上のの誘導コイル支持バーを用いる場合にも、誘導コイルを分散して接続することができる。
【0044】
請求項4の発明の無電極放電ランプは、請求項1ないし3のいずれか一記載の無電極放電ランプ装置において、無電極放電ランプの両端に装着された一対の絶縁性部材を具備し;誘導コイル支持バーは、その両端が一対の絶縁性部材に固定されている;ことを特徴としている。
【0045】
本発明によれば、無電極放電ランプと誘導コイルとを無電極放電ランプの両端に装着した一対の絶縁性部材を介して一体化することができ、無電極放電ランプ装置の取扱いが容易になる。
【0046】
また、誘導コイルの無電極放電ランプに対して位置ずれしないようになる。
【0047】
請求項5の発明の無電極放電ランプ装置は、請求項4記載の無電極放電ランプ装置において、無電極放電ランプ、誘導コイル支持バー、誘導コイルおよび絶縁性部材を収納する放射透過性の外管と;外管の両端にシールして装着された一対のキャップ体と;を具備していることを特徴としている。
【0048】
外管は、無電極放電ランプからの放射を透過するとともに、適度の機械的強度を備えていれば、どのような材質であってもよい。しかし、無電極放電ランプが紫外線を放射する場合には、紫外線透過性の石英ガラスを用いるのが機械的強度の点においても好適である。
【0049】
キャップ体は、遮光性のものでよく、機械加工の容易さおよび強度の点から金属板を深絞り加工したものを用いることができる。
【0050】
キャップ体と外管との間のシールは、パッキングを用いて行うことができる。
【0051】
そうして、本発明によれば、外管およびキャップ体によって内部に収納された無電極放電ランプ、誘導コイルおよび誘導コイル支持バーは外部に対してシールされているから、無電極放電ランプ装置の全体を被処理液中に浸漬して使用することができる。
【0052】
よって、本発明は光化学処理用として好適である。
【0053】
請求項6の発明の無電極放電ランプは、請求項5記載の無電極放電ランプ装置において、一方のキャップ体に配設された流体導入孔と;他方のキャップ体に配設された流体導出孔と;を具備し、外管内を流体が通流できることを特徴としている。
【0054】
流体としては一般的には気体が用いられるが、絶縁性であれば、液体であってもよい。
【0055】
無電極放電ランプが紫外線を放射する構成である場合に、流体として酸素または空気を外管内に流通させると、発生した紫外線により酸素からオゾンを生成することができ、紫外線殺菌にオゾン殺菌作用を加えることにより、殺菌能率を著しく向上させることができる。
【0056】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【0057】
図1は、本発明の無電極放電ランプ装置の第1の実施形態を示す縦断面図である。
【0058】
図2は、同じく側面図である。
【0059】
図3は、同じくキャップ体を取り外した状態の側面図である。
【0060】
図において、1は無電極放電ランプ、2A1、2B1、2A2、2B2は2対の誘導コイル支持バー、3は誘導コイル、4は絶縁性部材、A、Bは端子、5は外管、6はキャップ体である。
【0061】
無電極放電ランプ1は、放電容器1a、環状体1bおよび放電媒体からなる。
【0062】
放電容器1aは、溶融石英ガラス製の円筒の両端を封止してなり、一端部から細管1a1を突出させている。この細管1a1は、無電極放電ランプの作動中最冷部を形成して水銀蒸気圧を最適値に維持するように作用する。
【0063】
環状体1bは、石英ガラス製の環を放電容器1aの両端に溶着したものである。
【0064】
放電媒体は、水銀および適当圧力のアルゴンからなる。
【0065】
2対の誘導コイル支持バー2A1、2B1、2A2、2B2は、無無電極放電ランプ1を挟んで対向している2A1、2B1が第1の対を構成し、2A2、2B2が第2の対を構成している。
【0066】
誘導コイル3は、それぞれ約4.5ターンのものが6個無電極放電ランプ1の長手方向に沿って等間隔に配設されている。各誘導コイル3は、同一構造に形成されている。
【0067】
図4は、図1におけるIV−IV'線に沿う断面から矢印方向に見た誘導コイルと誘導コイル支持バーとの接続を説明する略図である。
【0068】
誘導コイル3は図1において右から1番目のものであるが、第1の対をなす誘導コイル支持バー2A1、2B1に接続されている。
【0069】
図5は、図1におけるV−V'線に沿う断面から矢印方向に見た誘導コイルと誘導コイル支持バーとの接続を説明する略図である。
【0070】
誘導コイル3は図1において右から2番目のものであるが、第2の対をなす誘導コイル支持バー2A2、2B2に接続されている。
【0071】
上記以外の誘導コイルも同様に誘導コイル支持バーの第1の対2A1、2B1および第2の対2A2、2B2に交互に接続している。
【0072】
各誘導コイルは同一極性に励磁されるので、その2A1と2A2、2B1と2B2がそれぞれ同一極性である。
【0073】
絶縁性部材4は、フッ素樹脂製で中心に環状体1bを抱持する孔4aを形成し、周縁に4個の切欠4bを備えて+形をなすとともに、図3において横に2つ割りにした構造をなしていて、ねじ4c、4cによって結合すると同時に環状体1bを締め付けることにより、環状体1bに装着される。そして、絶縁性部材4の外接円は後述する外管5の内径より若干小さくなっている。
【0074】
端子A、Bは、絶縁性部材4の外面に固定されている。高周波電源(図示しない。)の一方の極を端子Aに接続し、他方の極を端子Bに接続する。前記誘導コイル支持バー2A1と2A2は端子Aに接続され、2B1と2B2は端子Bに接続される。
そして、誘導コイル支持バーはそれぞれ端子AまたはBに接続するため、絶縁性部材4の周縁に形成された切欠部4bを通過して端子側へ折曲されている。
【0075】
そうして、無電極放電ランプ1、誘導コイル支持バー2A1、2B1、2A2、2B2および誘導コイル3は一体化されている。
【0076】
外管5は、円筒状の石英ガラス製で両端が開放されるとともに、両端近傍の外周に凸条5aが形成されている。
【0077】
キャップ体6は、皿状のキャップ本体6a、リング体6bからなり、その一対が外管5の両端に装着される。る。
【0078】
キャップ本体6aは、ステンレススチール製で、閉止可能な流体通流孔6a1を備えている。流体通流孔6a1は、一方が流体流入孔となり、他方が流体流出孔となる。
【0079】
リング体6bは、一端が外管5の凸条5aの係止され、他端が複数のボルト6cによってキャップ本体6aの開口端に固着されている。その際に、外管5の端面とキャップ体との間にパッキング7が介挿され外管5内を外部に対してシールする。
【0080】
前記の一体化された無電極放電ランプ1、誘導コイル支持バー2A1、2B1、2A2、2B2および誘導コイル3は、外管5内に収納されている。
【0081】
なお、図示していないが、一方のキャップ体6には、高周波電源の導入部がシール手段を介して形成されている。
【0082】
そうして、無電極放電ランプ1から放射された紫外線は、誘導コイル3および誘導コイル支持バー2A1、2B1、2A2、2B2の間から外管5を透過して外部に導出される。
【0083】
キャップ体6に配設した流体通流孔6a1を介して外管5内に酸素または空気を通流させると、オゾンを発生させることができる。発生したオゾンを紫外線とともに、殺菌などに作用させることができる。また、オゾンを別に取り出して紫外線とは異なる用途に利用してもよい。外管5内を流体を通流させることにより、無電極放電ランプを冷却することもできる。
【0084】
図6は、本発明の無電極放電ランプ装置の第2の実施形態を示す一部断面正面図である。
【0085】
図7は、同じく側面図である。
【0086】
図8は、同じくキャップ体を取り外した状態の側面図である。
【0087】
図において、図1ないし図3と同一部分については同一符号を付して説明は省略する。
【0088】
本実施形態は、1対の誘導コイル支持バー2A、2Bを用いている点で異なる。
【0089】
すなわち、1対の誘導コイル支持バー2A、2Bは、図6の下部において比較的接近して配設されており、全ての誘導コイル3は誘導コイル支持バー2A、2Bに接続されている。
【0090】
誘導コイル支持バー2A、2Bは、絶縁性部材4’の周縁の片側に固定されている端子A、Bに接続されている。これにより無電極放電ランプ1、誘導コイル3および誘導コイル支持バー2A、2Bは一体化されるが、絶縁性部材4’の他側が動きやすいので、位置決め棒8を固定してキャップ体6’の内面に当接させている。
【0091】
キャップ体6’の周囲に4個の開口6a2を形成しているが、これらは必要に応じて閉止することができるように構成される。なお、開口6a2は流体通流および電源導入用として用いることができる。
【0092】
【発明の効果】
請求項1ないし6の各発明によれば、直管形の無電極放電ランプの長手方向に沿って対をなす誘導コイル支持バーを延在させ、誘導コイルを誘導コイル支持バーに接続したことにより、誘導コイルが変形しにくいから、装置の信頼性が向上し、誘導コイルの製造および組立が容易であるとともに、誘導コイルを複数用いる場合には誘導コイル間の間隔をなるべく狭くして均一な輝度を得る無電極放電ランプ装置を提供することができる。
【0093】
請求項2の発明によれば、加えて無電極放電ランプの両端に環状体を一体に形成して、この環状体を介して無電極放電ランプを支持したことにより、無電極放電ランプの支持が容易な無電極放電ランプ装置を提供することができる。
【0094】
請求項3の発明によれば、加えて誘導コイル支持バーを複数対用いたことにより、無電極放電ランプ、誘導コイルおよび誘導コイル支持バーを機械的に一体化して取扱いを容易にした無電極放電ランプ装置を提供することができる。
【0095】
請求項4の発明によれば、加えて無電極放電ランプの両端に装着された絶縁性部材に誘導コイル支持バーを固定したことにより、誘導コイル支持バーの固定が簡単に、しかも確実に固定できる無電極放電ランプ装置を提供することができる。
【0096】
請求項5の発明によれば、加えて無電極放電ランプ、誘導コイル、誘導コイル支持バーおよび絶縁性部材を外管内に収納したことにより、たとえば被処理液中に浸漬しての使用が可能な無電極放電ランプ装置を提供することができる。
請求項6の発明によれば、加えて外管の両端に装着されたキャップ体に流体導入孔および流体導出孔を配設したことにより、必要に応じてオゾンをも発生させる無電極放電ランプ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の無電極放電ランプ装置の第1の実施形態を示す縦断面図
【図2】同じく側面図
【図3】同じくキャップ体を取り外した状態の側面図
【図4】図1におけるIV−IV'線に沿う断面から矢印方向に見た誘導コイルと誘導コイル支持バーとの接続を説明する略図
【図5】図1におけるV−V'線に沿う断面から矢印方向に見た誘導コイルと誘導コイル支持バーとの接続を説明する略図
【図6】本発明の無電極放電ランプ装置の第2の実施形態を示す一部断面正面図
【図7】同じく側面図
【図8】同じくキャップ体を取り外した状態の側面図
【図9】従来の無電極放電ランプ装置を示す一部切欠正面図
【符号の説明】
1…無電極放電ランプ
1a…放電容器
1a1…細管
1b…環状体
A2…誘導コイル支持バー
B2…誘導コイル支持バー
3…誘導コイル
4…絶縁性部材
4a…孔
4b…切欠
5…外管
5a…凸条
6…キャップ体
6a…キャップ本体
6a1…流体通流孔
6b…リング体
6c…ボルト
7…パッキング
A…端子
B…端子

Claims (6)

  1. 直管形の無電極放電ランプと;
    無電極放電ランプから離間した位置において互いに絶縁された状態で無電極放電ランプの長手方向に沿って延在する少なくとも一対の導電性部材からなる誘導コイル支持バーと;
    無電極放電ランプの周囲に巻回されるとともに一端が一方の誘導コイル支持バーに接続され、他端が他方の誘導コイル支持バーに接続されている誘導コイルと;
    を具備していることを特徴とする無電極放電ランプ装置。
  2. 無電極放電ランプは、両端に環状体が一体に形成されるとともに環状体を介して支持されていることを特徴とする請求項1記載の無電極放電ランプ装置。
  3. 誘導コイル支持バーは、無電極放電ランプの周囲に分散して配設された複数対であり;
    誘導コイルは、複数あり、複数対の誘導コイル支持バーに分散して接続されている;
    ことを特徴とする請求項1または2記載の無電極放電ランプ装置。
  4. 無電極放電ランプの両端に装着された一対の絶縁性部材を具備し;
    誘導コイル支持バーは、その両端が一対の絶縁性部材に固定されている;
    ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一記載の無電極放電ランプ装置。
  5. 無電極放電ランプ、誘導コイル支持バー、誘導コイルおよび絶縁性部材を収納する放射透過性の外管と;
    外管の両端にシールして装着された一対のキャップ体と;
    を具備していることを特徴とする請求項4記載の無電極放電ランプ装置。
  6. 一方のキャップ体に配設された流体導入孔と;
    他方のキャップ体に配設された流体導出孔と;
    を具備し、外管内を流体が通流できることを特徴とする請求項5記載の無電極放電ランプ装置。
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