JP3711802B2

JP3711802B2 - 搬送用パレット、この搬送用パレットを備える搬送装置及びワーク固定方法

Info

Publication number: JP3711802B2
Application number: JP26118799A
Authority: JP
Inventors: 隆幸丸山
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1999-09-14
Filing date: 1999-09-14
Publication date: 2005-11-02
Anticipated expiration: 2019-09-14
Also published as: JP2001087973A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークを搬送するための搬送用パレット、この搬送用パレットを備える搬送装置及びワーク固定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１５は、従来のパレット１０１の構成例を示す斜視図である。
【０００３】
パレット１０１は、所定の搬送装置によって搬送される搬送用パレットである。パレット１０１は、例えばワーク３をワーク配置面７ａに配置する。パレット１０１は、例えば第１部材１０７、第２部材８、第１の支柱１２、第２の支柱１３、第３の支柱１４、第４の支柱１５、治具位置決めピン２２及び少なくとも１つのワーク位置決めピン２６を有する。
【０００４】
第２部材８は、例えば平板状であって、その平面部分に穴が形成されている基礎部分である。第２部材８は、パレット１０１が所定の搬送装置によって搬送される際に、搬送装置に設けられたプーリ等と当接する部分である。従って、搬送装置は、例えばプーリ式のベルトコンベアによってパレット１０１を搬送する。第２部材８のほぼ四隅には、第２部材８を支えるための４本の支柱、第１の支柱１２、第２の支柱１３、第３の支柱１４及び第４の支柱１５が設けられている。第１の支柱１２、第２の支柱１３、第３の支柱１４及び第４の支柱１５は、それぞれ第１部材１０７と第２部材８とを接続している。第２部材８における第２支柱１３近傍には、治具位置決めピン２２が設けられている。治具位置決めピン２２は、例えば所定の搬送装置がパレット１０１を所定の位置で停止させる時に、搬送方向Ｔを遮るように後述する突起部を突き出した際に当接する。
【０００５】
第１部材１０７は、例えば第２部材８よりやや小さな平板状の部材であり、ワーク配置面７ａを有する。このワーク配置面７ａには、ワーク３が配置される。ワーク３は、例えばＦＰＣ（ＦｌｅｘｉｃｉｂｌｅＰｒｉｎｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）１９及び液晶パネル（ＬＣＤ：ＬｉｑｕｉｄＣｒｙｓｔａｌＤｉｓｐｌａｙ）２０を有する。第１部材１０７のワーク配置面７ａには、例えばワーク３が配置された場合にワーク３と多少の隙間を有するように、少なくとも１つのワーク位置決めピン２６が設けられている。この隙間は、ワーク配置面７ａにワーク３を配置したり、ワーク配置面７ａからワーク３を取り出すことが容易に行える程度設けられている。
【０００６】
従来のパレット１０１は以上のような構成であり、その動作について説明する。
【０００７】
搬送装置は、パレット１０１を所定の搬送方向Ｔに各工程間を搬送するためのものである。各工程においては、治具位置決めピン２２によってパレット１０１が所定の位置で停止され、配置されているワーク３を取り出して所定の加工が行われる。ワーク３への加工が終了すると、ワーク３は、ワーク配置面７ａに設けられたワーク位置決めピン２６同士の内側に再度配置され、次の工程に搬送される。
【０００８】
搬送の際、従来の搬送装置では、搬送中にワーク３を安定させるために、パレット１０１以外から例えば所定の圧力の供給を受ける所定の吸着手段によってワーク３を吸着させながらパレット１０１を搬送しているものがあった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このようにワーク３が加工装置によってパレット１０１のワーク配置面７ａに戻されると、ワーク配置面７ａでのワーク３の位置が微妙にずれる場合があった。この場合には、例えば次の工程においてワーク３の位置調整を行わなければならなかった。また、ワーク３は、例えば搬送中にワーク配置面７ａにおける複数のワーク位置決めピン２６によって包囲された領域内で、位置ずれし安定していない。従って、加工装置は、各工程毎にワーク３のワーク配置面７ａでの位置の微調整を行った上で、加工を行わなければならなかった。
【００１０】
また、上述の吸着手段によってワーク３を吸着させるためには、パレット１０１以外から吸着手段まで所定の圧力を引くためのケーブルを引き回す必要が生じていた。
【００１１】
本発明の目的は、上記課題を解消して、搬送中にワークを安定させることのできる搬送用パレット、この搬送用パレットを備える搬送装置及びワーク固定方法を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、第１部材と第２部材により形成されてなるワークを搬送するための搬送用パレットであって、
前記ワークを配置するための配置面を有する第１部材と、
前記配置面に設けられたワーク位置決めピンと、
前記第２部材に配置され、前記搬送を停止するための治具位置決めピンと、
前記ワークを吸着して前記第１部材に配置するための吸着手段とを備え、前記吸着手段は、前記ワークを吸着していないとき、前記配置面から突出して配置されてなることを特徴とする搬送用パレットである。
【００１３】
この請求項１の構成によれば、搬送用パレットによってワークを搬送する際には、ワークが配置部材に配置される。配置部材に配置されたワークは、吸着手段によって吸着される。搬送用パレットは、ワークを吸着手段によって吸着しているので、搬送中にワークが位置ずれを生ずることがなく安定させることができる。また、吸着手段は、搬送用パレット自体に設けられており、搬送用パレット以外の部分との接続が不要である。従って、搬送用パレットは、単独で自由な位置に搬送されることができる。
また、吸着手段の吸着部が配置部材の配置面より突出しているので、ワークが配置部材の配置面に配置された際にワークが配置部材の配置面に接触し、ワークに傷が付くことを防止することができる。
また、第２部材に配置され、搬送を停止するための治具位置決めピンを有するため、確実な位置出しが可能となると。
【００１４】
請求項２の発明は、請求項１の構成において、前記配置部材は穴が形成された平板状の第１部材からなり、前記穴には前記吸着手段に形成されてなる吸着口が設けられていることを特徴とする。
【００１５】
この請求項２の構成によれば、ワークは配置部材の配置面の穴を覆うように配置される。その穴には、吸着手段の吸着口が設けられている。従って、ワークは、穴の近傍で吸着手段によって確実に吸着され、着脱可能に固定される。
【００１８】
請求項３の発明は、請求項１乃至２のいずれかの構成において、前記吸着手段は、前記ワークを吸着するための吸着部と、空間部と、前記空間部の体積を調整するための可動部とから形成されてなることを特徴とする。
【００１９】
この請求項３の構成によれば、搬送用パレットは、ワークが吸着部に配置された状態で可動部によって空間部の体積が例えば減少するように調整されると、ワークを確実に吸着することができる。また、搬送用パレットは、ワークが吸着部に配置された状態で可動部によって空間部の体積が例えば増加するように調整されると、ワークの吸着状態を解放することができる。従って、搬送用パレットは、ワークを吸着手段によって吸着しているので、搬送中にワークが位置ずれを生ずることがなく、ワークを安定して搬送することができる。また、吸着手段は、搬送用パレット自体に設けられており、搬送用パレット以外の部分との接続が不要である。従って、搬送用パレットは、単独で自由な位置に搬送されることができる。
【００２０】
請求項４の発明は、請求項３乃至４のいずれかの構成において、前記吸着部は、ベローズ形状の弾性部材からなることを特徴とする。
【００２１】
この請求項４の構成によれば、ワークは、吸着部に配置された際の接触によって傷が付くことがない。
【００２２】
請求項５の発明は、搬送用パレットを搬送するための搬送装置であって、
ワークを配置するための搬送用パレットと、
前記搬送用パレットに形成されてなる吸着手段と、
前記ワークを加工する位置に前記搬送用パレットを搬送するための搬送手段と、
前記ワークを加工する位置に前記搬送用パレットを停止させるための突起部を有する停止手段と、
前記搬送用パレット上に設けられたワーク位置決めピンと、
前記ワークを加工する位置において、前記搬送用パレット上に配置されてなる前記ワークを前記吸着手段により吸着若しくは前記吸着手段から除材するための制御手段と、
前記搬送用パレットに設けられ、前記搬送用パレットを停止する際に、前記突起部に当接させるための治具位置決めピンとを少なくとも有し、
前記吸着手段は、前記ワークを吸着していないとき、前記搬送用パレット上から突出し配置されてなることを特徴とする。
【００２３】
この請求項５の構成によれば、搬送装置は、ワークが配置された搬送用パレットを搬送するためのものである。搬送用パレットには、ワークを吸着するための吸着手段が設けられている。この搬送用パレットは、搬送手段によってワークを加工する位置へと搬送用パレットを搬送する。搬送手段によって搬送されている搬送用パレットは、ワークを加工する位置にて停止手段によって停止される。ワークを加工する位置において、制御手段は、搬送用パレット上に配置されたワークを吸着手段によって吸着若しくは吸着手段から除材する。
また、吸着手段の吸着部が配置部材の配置面より突出しているので、ワークが配置部材の配置面に配置された際にワークが配置部材の配置面に接触し、ワークに傷が付くことを防止することができる。
また、搬送用パレットに設けられ、搬送用パレットを停止する際に、突起部に当接させるための治具位置決めピンとを有するため、確実な位置決めが可能となる。
【００２４】
搬送用パレットは、ワークを吸着手段によって吸着させているので搬送中にワークが位置ずれを生ずることがなく、安定させることができる。また、吸着手段は、搬送用パレット自体に設けられており、搬送用パレット以外の部分との接続が不要である。従って、搬送用パレットは、単独で自由な位置に搬送されることができる。
【００２５】
請求項６の発明は、請求項５の構成において、前記吸着手段に形成されてなる可動部を前記制御手段によって制御することを特徴とする。
【００２６】
この請求項６の構成によれば、制御手段は、可動部を制御することで、ワークの吸着又は吸着状態の解放することができる。
【００２７】
請求項７の発明は、請求項６の構成において、前記制御手段により前記可動部を可動させ、前記吸着手段に形成されてなる空間部の体積を調整することを特徴とする。
【００２８】
この請求項７の構成によれば、制御手段は、可動部を可動して吸着手段の空間部の体積を調整する。これにより、吸着手段は、ワークを吸着したり、吸着状態を開放することができる。
【００２９】
請求項８の発明は、吸着手段が形成されてなる搬送用パレット上にワークを固定するためのワーク固定方法であって、
前記搬送用パレットを搬送する搬送装置により、前記搬送用パレットを移動する工程と、
前記搬送用パレットの移動方向と交差して突出する突起部に、前記搬送用パレットに設けられた治具位置決めピンを当接させ、前記搬送用パレットを停止させる工程と、
前記吸着手段に形成されてなる可動部を第１の方向に可動する工程と、
前記吸着手段上に前記ワークを配置する工程と、
前記可動部を第２の方向に可動し、前記搬送用パレット上に設けられたワーク位置決めピンで位置決めしつつ、前記搬送用パレット上に密着させる工程と
を少なくとも有することを特徴とする。
【００３０】
この請求項８の構成によれば、吸着手段は、ワークを吸着する際に可動部を第１の方向に可動する。そして、吸着手段上には、ワークが配置される。次に、可動部が第２の方向に可動される。
また、位置決めピンを設けているため、吸着と位置決めが簡便に実現される。
また、搬送用パレットに設けられ、搬送用パレットを停止する際に、突起部に当接させるための治具位置決めピンとを有するため、確実な位置決めが可能となる。
【００３１】
請求項９の発明は、請求項８の構成において、前記吸着手段上に前記ワークを配置すると同時に、前記ワークが前記吸着手段によって吸着される面とは異なる面側から前記搬送用パレット方向に加圧することを特徴とする。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００３３】
図１は、本発明の好ましい実施形態としてのパレット１を備える搬送装置１０及び加工装置２の概略構成例を示す平面図である。
【００３４】
加工装置２は、例えば液晶パネル（ＬＣＤ：ＬｉｑｕｉｄＣｒｙｓｔａｌＤｉｓｐｌａｙ）に、ＦＰＣ（ＦｌｅｘｉｂｌｅＰｒｉｎｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔｓ）を取り付けるための加工装置である。以下の説明では、液晶パネルを「パネル」といい、パネル及びＦＰＣを「ワーク」という。
【００３５】
加工装置２は、例えばパレット除塵・パネル給材工程ＳＴ１、ＦＰＣ給材・ＡＣＦ（ＡｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃＣｏｎｄｕｃｔｉｖｅＦｉｌｍ）剥離・ＦＰＣ仮圧着工程ＳＴ２、ＦＰＣ本圧着工程ＳＴ３、反転ＵＶ（ＵｌｔｒａＶｉｏｌｅｔ）接着材塗布・ＵＶ硬化工程ＳＴ４及びパネル除材工程ＳＴ５を有する。各工程間は、搬送装置１０によってパレット１（搬送用パレット）が各工程間を移動することで、ワーク３が搬送される。搬送装置１０は、パレット１を例えばＴ方向に搬送する。従って、搬送装置１０の両端では、それぞれ例えばＵターンユニット５によって方向が変えられる。
【００３６】
パレット除塵・パネル給材工程ＳＴ１は、例えばパレット１上にあるゴミや埃等を所定の吸引ホースでクリーニングを行い、パネルトレイからパネル２０をパレット１上へ給材する。パネル２０は、例えば表面がガラスでなる。ＦＰＣ給材・ＡＣＦ剥離・ＦＰＣ仮圧着工程ＳＴ２は、例えば所定の積み重ねマガジンからＦＰＣ１９を一枚ずづつ取り出し、位置決めした後ＡＣＦを剥離し、位置アライメントを行ったパネル２０と貼り合わせる。ＦＰＣ本圧着工程ＳＴ３は、前工程で貼り合わせられたパネル２０とＦＰＣ１９との本圧着を行う。反転・ＵＶ接着材塗布・ＵＶ硬化工程ＳＴ４は、圧着されたＦＰＣ１９とパネル２０の貼り合わせ強度を補強するためにＵＶ接着材を塗布する。パネル除材工程ＳＴ５は、パネル２０へのＦＰＣ１９の実装作業が終了したワーク３を除材用トレイに除材する。
【００３７】
図２は、図１のパレット１の構成例を示す斜視図である。
【００３８】
パレット１は、所定の搬送装置によって搬送される搬送用パレットである。パレット１は、例えばワーク３をワーク配置面７ａに配置する。パレット１は、例えば第１部材７（配置部材）、第２部材８、第１の支柱１２、第２の支柱１３、第３の支柱１４、第４の支柱１５、治具位置決めピン２２及び吸着装置１７を有する。
【００３９】
第２部材８は、例えば平板状であって、その平面部分に穴が形成された基礎部分である。第２部材８は、パレット１が所定の搬送装置によって搬送される際に、搬送装置に設けられた後述する図８の第１プーリ４３（移動手段）や第２プーリ４４（移動手段）と当接する部分である。従って、搬送装置１０は、例えばプーリ式のベルトコンベアによってパレット１を搬送する。第２部材８のほぼ四隅には、第１部材７を支えるための４本の支柱である、第１の支柱１２、第２の支柱１３、第３の支柱１４及び第４の支柱１５が設けられている。第１の支柱１２、第２の支柱１３、第３の支柱１４及び第４の支柱１５は、それぞれ第１部材７と第２部材８とを接続している。第２部材８における第２支柱１３近傍には、治具位置決めピン２２（停止手段）が設けられている。治具位置決めピン２２は、例えば所定の搬送装置がパレット１を所定の位置で停止させる時に、搬送方向Ｔを遮るように後述する突起部を突き出した際に当接する。
【００４０】
第１部材７は、例えば第２部材８よりやや小さな平板状の部材であり、ワーク配置面７ａを有する。このワーク配置面７ａには、ワーク３が配置される。ワーク３は、例えばＦＰＣ（ＦｌｅｘｉｂｌｅＰｒｉｎｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔｓ）１９及びパネル（ＬＣＤ：ＬｉｑｕｉｄＣｒｙｓｔａｌＤｉｓｐｌａｙ）２０を有する。ワーク配置面７ａには、通常パレット１を固定するためのピン等が形成されていない。パレット１によっては、第１部材７のワーク配置面７ａに、例えばワーク３が配置された場合にワーク３と多少の隙間を有するように、少なくとも１つのワーク位置決めピン２６が設けられていても良い（図２参照）。この隙間は、ワーク配置面７ａにワーク３を配置したり、ワーク配置面７ａからワーク３を取り出すことが容易に行える程度設けられている。第１部材７は、そのワーク配置面７ａに穴７ｂが設けられている。
【００４１】
吸着装置１７は、例えば第２部材８上に設けられている。吸着装置１７は、例えばほぼ円筒形状であり、その上部に吸着部２８が設けられている。吸着部２８は、例えば第１部材７の穴７ｂ内に配置されている。吸着装置１７は、吸着部２８でワーク３を吸着する。吸着部２８は、例えばワーク配置面７ａよりも突出して配置されている。吸着部２８は、例えばベローズ形状をしており、例えばゴム、シリコンゴム、フッ素ゴム又はニトリルゴムを材質としている。
【００４２】
図３（Ａ）は、図２のパレット１の構成例を示す平面図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）のパレット１をＵ方向から見た場合の構成例を示す側面図である。
【００４３】
吸着装置１７は、その上部から見ると図３（Ａ）のように第１部材７の穴７ｂから部分的に見ることができる。吸着装置１７の吸着部２８は、その穴７ｂの壁面に対して所定の間隔をもって配置されている。ワーク３がワーク配置面７ａに配置されると、図３（Ｂ）のようにワーク３の一部が吸着部２８に当接する。吸着部２８は、以下に説明するようにワーク３を吸着する。
【００４４】
図４及び図５は、それぞれ図３（Ａ）のパレット１のＡ−Ａ’断面図である。
【００４５】
吸着装置１７は、概略的には例えば本体２５、可動部２９及び吸着部２８を有する。本体２５は、例えば第２部材８に固定されている。本体２５は、例えば空間部３０を有しており、可動部２９をＺ１方向（第１の方向）又はＺ２方向（第２の方向）に移動させることにより空間部３０の体積が変わるように構成されている。従って、可動部２９を移動させることによって、吸着部２８は、ワーク３を確実に吸着したり、開放することができる。可動部２９は、例えばＺ２方向にバネ等によって押し下げられており、Ｚ１方向に所定の力が加えられることで持ち上げられるようになっている。Ｚ１方向に可動部２９を押し上げる機構については、後述する。
【００４６】
ここで、パネル２０を吸着部２８に配置した時の状態を図６に示す。図６のようにワーク３を配置した際に、ワーク３はワーク配置面７ａ（ワークの配置面）より距離ｄ程度の間隔を持って配置されている。これは、ワーク３が第１部材７のワーク配置面７ａに配置された際にワーク３が直接ワーク配置面７ａに当接し、ワーク３が損傷することを防止するためである。この際、可動部２９は、Ｚ１方向に押し上げられた状態となっている。
【００４７】
図７は、図１のパレット１等を上方から見た場合の構成例を示す平面図であり、図８は、図５のＺ１方向に可動部２９を押し上げる機構の構成例を示す側面図である。図９は、図５のＺ１方向に可動部２９を押し上げる機構のみを上面から見た場合の構成例を示す平面図であり、図１０は、図９の押し上げ機構の構成例を側面から見た場合の部分断面図である。
【００４８】
パレット１は、図７のように例えばパレット位置決め時の規制のため第１ガイド４１及び第２ガイド４２により位置決めが決定される。すなわち、パレット１は、第１ガイド４１及び第２ガイド４２にガイドされている。パレット１は、図８のように第２部材８の底面が第１プーリ４３及び第２プーリ４４に当接している。第１プーリ４３は、第１軸４３ａを中心として回転し、第２プーリ４４は、第２軸４４ａを中心として回転する。搬送装置１０は、第１プーリ４３及び第２プーリ４４によって搬送方向Ｔにパレット１を搬送し、所定の位置にてパレット１を停止させる。この停止位置の下部には可動部３７が設けられている。可動部３７の先端には突起部３７ａが設けられており、可動部３７は突起部３７ａを固定部３５に対してＺ軸方向に移動する機構を有する。第２部材８における吸着装置１７の下面には、図９のように穴５０が形成されている。この突起部３７ａは、例えばその穴５０よりやや小さな直径である。
【００４９】
従って、図１０のように先端部３７ａがＺ１方向に移動されると、吸着装置１７の可動部２９を押し上げることになる。これにより、パレット１のワーク配置面７ａに配置されたワーク３は、図４及び図５に示すように空間部３０内が大気圧以上になることにより吸着状態から解放状態となる。逆に、図１０において点線で示すように可動部３７がＺ２方向に移動されると、吸着装置１７の可動部２９が下がり、ワーク３は例えば負圧吸引によって吸着される。尚、これらの機構は、例えば図１１のような台座３９の上部に設けられている。
【００５０】
パレット１を備える搬送装置１０は以上のような構成であり、次に図１〜図１４を参照しながらその動作について説明する。
【００５１】
加工装置２は、パネル２０にＦＰＣ１９を実装させるためのものである。加工装置２には、図１に示すように搬送装置１０が設けられており、搬送装置１０が搬送するパレット１を治具として利用する。上述のように加工装置２には複数の工程があり、各工程間は、少なくとも１つのパレット１によってワーク３が搬送されている。パレット１は、搬送装置１０においてそれぞれ例えば等間隔に配置されているのではなく、各々が自由に配置されるようになっている。
【００５２】
パレット１が所定の位置に来ると、図１２及び図１３のように制御部４６（移動手段）の制御によって治具位置決め部３３（停止手段）によって突起部３１がＹ方向に押し出される。突起部３１がＹ方向に動くことにより、パレット１に形成された治具位置決めピン２２が突起部３１に当接し、Ｔ方向に移動するパレット１を治具位置決めピン２２により所定の位置で停止させる。
【００５３】
制御部４６は、例えば図１０の先端部３７ａをＺ１方向に押し上げることによって吸着装置１７の可動部２９を押し上げる。従って、吸着装置１７に形成されている空間部３０の体積が図４の状態から図５の状態となる。この状態で、制御部４６は、例えば加工装置２からワーク３をワーク配置面７ａ上に配置させるための制御を行う。すなわち、吸着部２８上にワーク３が配置されるのである。そして、制御部４６は、図１０の先端部３７ａをＺ２方向に下げる。すなわち、空間部３０の体積が図５の状態から図４の状態となることで、ワーク３を吸着部２８に吸着させる。吸着装置１７は、可動部２９がＺ２方向に押し下げ続けるようになっているのでこのままワーク３の吸着を続けることができる。よって、パレット１は、ワーク３を所定の位置に確実に配置し続けることができる。これは、パレット１がワーク３を搬送中であっても、同様である。また、吸着部２８は、図１４（Ａ）のようにワーク３が配置されていない状態では多少ワーク配置面７ａより出ているが、ワーク３が配置され吸着されると図１４（Ｂ）のようにワーク３がワーク配置面７ａに密着する。このような構成とすることで、ワーク３をパレット１に配置する際に、ワーク３は、第１部材７のワーク配置面７ａに直接当接することがない。また、吸着部２８により、パレット１は確実に固定されるため、搬送時にワーク３を損傷することを防止することができる。また、ワーク３を吸着すると、ワーク３がワーク配置面７ａに密着し、搬送装置１０は、ワーク３を安定して搬送することができる。
【００５４】
また、パレット１は、ワーク３を吸着した状態を維持するための手段をパレット１以外の部分に必要としない。このため、従来のように、搬送装置１０は、パレット１に例えば負圧を与えるための負圧供給手段、例えばホース等を引き回す必要がなく、パレット１を自由な位置に安定して搬送することができる。また、搬送装置１０は、そのような余分な負圧供給手段が不要なので小型化を図ることができる。
【００５５】
本発明は、上記実施の形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。
【００５６】
例えば、パレット１は、上述の工程のみならず、様々な工程に搬送されるものであっても良い。また、吸着装置１７は、パレット１に複数設けられている構成であっても良いことはいうまでもない。このように複数の吸着装置１７がパレット１に設けられていると、より確実にワーク３を正確な位置に安定させることができる。
【００５７】
【発明の効果】
この発明によれば、搬送中にワークを安定させることのできる搬送用パレット、この搬送用パレットを備える搬送装置及びワーク固定方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の好ましい実施形態としてのパレットを備える搬送装置及び加工装置の概略構成例を示す平面図。
【図２】図１のパレットの構成例を示す斜視図。
【図３】図２のパレットの構成例を示す平面図、及び吸着装置をＵ方向から見た場合の構成例を示す側面図。
【図４】図３（Ｂ）のパレットのＡ−Ａ' 断面図。
【図５】図３（Ｂ）のパレットのＡ−Ａ' 断面図。
【図６】図２の吸着装置の構成例を示す断面図。
【図７】図１のパレット等を上方から見た場合の構成例を示す平面図。
【図８】図５の可動部をＺ１方向に押し上げる機構の構成例を示す側面図。
【図９】図５の可動部をＺ１方向に押し上げる機構のみを上面から見た場合の構成例を示す平面図。
【図１０】図９の押し上げ機構の構成例を側面から見た場合の部分断面図。
【図１１】台座の構成例を示す平面図。
【図１２】パレットを所定の位置で停止して位置決めする様子を示す平面図。
【図１３】パレットを所定の位置で停止して位置決めする様子を示す平面図。
【図１４】吸着部によってワークが吸着される様子を示す断面図。
【図１５】従来のパレットの構成例を示す斜視図。
【符号の説明】
１パレット（搬送用パレット）
３ワーク
７第１部材（配置部材）
７ａワーク配置面（ワークの配置面）
７ｂ穴
８第２部材（配置部材）
１０搬送装置
１２第１支柱（配置部材）
１３第２支柱（配置部材）
１４第３支柱（配置部材）
１５第４支柱（配置部材）
１７吸着装置（吸着手段）
１９ＦＰＣ
２０液晶パネル
２２治具位置決めピン（停止手段）
２４吸着口
２６ワーク位置決めピン
２８吸着部
３３治具位置決め部（停止手段）
４３第１プーリ（移動手段）
４４第２プーリ（移動手段）
４６制御部（移動手段、制御手段）
Ｔ搬送方向
Ｚ１方向（第１の方向）
Ｚ２方向（第２の方向）

Claims

第１部材と第２部材により形成されてなるワークを搬送するための搬送用パレットであって、
前記ワークを配置するための配置面を有する第１部材と、
前記配置面に設けられたワーク位置決めピンと、
前記第２部材に配置され、前記搬送を停止するための治具位置決めピンと、
前記ワークを吸着して前記第１部材に配置するための吸着手段とを備え、前記吸着手段は、前記ワークを吸着していないとき、前記配置面から突出して配置されてなることを特徴とする搬送用パレット。
前記第１部材は穴が形成された平板状をなし、前記穴には前記吸着手段に形成されてなる吸着口が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の搬送用パレット。
前記吸着手段は、
前記ワークを吸着するための吸着部と、
空間部と、
前記空間部の体積を調整するための可動部と
から形成されてなることを特徴とする請求項１乃至２のいずれかに記載の搬送用パレット。
前記吸着部はベローズ形状の弾性部材からなることを特徴とする請求項３に記載の搬送用パレット。
搬送用パレットを搬送するための搬送装置であって、
ワークを配置するための搬送用パレットと、
前記搬送用パレットに形成されてなる吸着手段と、
前記ワークを加工する位置に前記搬送用パレットを搬送するための搬送手段と、
前記ワークを加工する位置に前記搬送用パレットを停止させるための突起部を有する停止手段と、
前記搬送用パレット上に設けられたワーク位置決めピンと、
前記ワークを加工する位置において、前記搬送用パレット上に配置されてなる前記ワークを前記吸着手段により吸着若しくは前記吸着手段から除材するための制御手段と、
前記搬送用パレットに設けられ、前記搬送用パレットを停止する際に、前記突起部に当接させるための治具位置決めピンとを少なくとも有し、
前記吸着手段は、前記ワークを吸着していないとき、前記搬送用パレット上から突出し配置されてなることを特徴とする搬送装置。
前記吸着手段に形成されてなる可動部を前記制御手段によって制御することを特徴とする請求項５に記載の搬送装置。
前記制御手段により前記可動部を可動させ、前記吸着手段に形成されてなる空間部の体積を調整することを特徴とする請求項６に記載の搬送装置。
吸着手段が形成されてなる搬送用パレット上にワークを固定するためのワーク固定方法であって、
前記搬送用パレットを搬送する搬送装置により、前記搬送用パレットを移動する工程と、
前記搬送用パレットの移動方向と交差して突出する突起部に、前記搬送用パレットに設けられた治具位置決めピンを当接させ、前記搬送用パレットを停止させる工程と、
前記吸着手段に形成されてなる可動部を第１の方向に可動する工程と、
前記吸着手段上に前記ワークを配置する工程と、
前記可動部を第２の方向に可動し、前記搬送用パレット上に設けられたワーク位置決めピンで位置決めしつつ、前記搬送用パレット上に密着させる工程と
を少なくとも有することを特徴とするワーク固定方法。
前記吸着手段上に前記ワークを配置すると同時に、前記ワークが前記吸着手段によって吸着される面とは異なる面側から前記搬送用パレット方向に加圧することを特徴とする請求項８に記載のワーク固定方法。