JP4556532B2

JP4556532B2 - 硝酸廃液の処理方法および処理装置

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Publication number: JP4556532B2
Application number: JP2004221354A
Authority: JP
Inventors: 悦二立木
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2004-07-29
Filing date: 2004-07-29
Publication date: 2010-10-06
Anticipated expiration: 2024-07-29
Also published as: JP2006035154A

Description

本発明は、半導体製造工場等から排出される硝酸廃液を分解処理する方法およびその装置に関するものである。

微生物処理による生分解法として、従来の廃水処理で脱窒素反応を行うには、嫌気性、好気性環境を形成した槽を個別に設け、さらに嫌気槽内に、栄養塩であるメタノールに代表される脱窒素反応を行う脱窒菌の水素供与体を連続的に添加する方法が広く用いられていた。

この方法においては、嫌気性、好気性環境を形成した槽を個別に設けることから、残留メタノールによる生物化学的酸素要求量（以下、ＢＯＤと称す。）の上昇防止のために好気性環境をつくる曝気設備が必要となり、装置の大型化、複雑化、運転コスト高をまねき、さらに、処理効率が悪くしかも維持管理が非常に難しくなるという課題があった。

この課題の解決手段として、特許第３２９８５６２号公報に示されたものがある。

すなわち、炭素数が６以上の直鎖状飽和モノカルボン酸を主成分とした脱窒素促進剤に対して、セルロース、ポリビニルアルコール、またはポリエチレングリコールを主成分とする坦持体を坦持させ、これを粒子状、板状または棒状に成形して、嫌気性環境下である嫌気槽内に装着する、というものである。（例えば、特許文献１参照）
特許第３２９８５６２号公報

しかしながら、前記した炭素数が６以上の直鎖状飽和モノカルボン酸を主成分とした脱窒素促進剤を用いた方法では、直鎖状飽和モノカルボン酸を坦持体に坦持させ、これを粒子状、板状または棒状に成形するが、実態としては前記坦持体にステアリン酸、リン、水素等の機質成分が含有されている。

その結果、前記機質成分が嫌気槽内で被処理廃液である硝酸廃液中に溶解することによってＢＯＤの上昇をまねき、そのままでは処理水として放流することができないという課題を有していた。

さらにＢＯＤの上昇防止のために好気性環境をつくる曝気設備が必要となり、装置の大型化、複雑化、運転コスト高をまねき、維持管理も難しくなるという課題を有していた。

本発明は、前記従来の課題を解決するもので、好気性環境をつくる曝気設備を備えた好気槽を必要とすることなく、単一の嫌気槽内で硝酸廃液の脱窒素反応と、嫌気性微生物の活性化によるＢＯＤの上昇防止を同時に行うとともに、装置の小型化、運転コストを抑制した硝酸廃液の処理方法および処理装置を提供することを目的とする。

上記従来の課題を解決するために本発明は、硝酸廃液を流量調整槽から嫌気槽に一定量供給し、前記嫌気槽内に貯留した硝酸廃液に循環流を形成させ、前記硝酸廃液の循環流中に炭素数が６以上のカルボン酸を主成分とした固体栄養塩を供給して脱窒素反応を促進するとともに、前記硝酸廃液の循環流中に嫌気性微生物を担持させた濾過部材を位置させて、前記固体栄養塩に含有する機質成分を分解し、前記濾過部材から処理水を吸引する硝酸廃液の処理方法、処理装置としたものである。

以上のように本発明の硝酸廃液の処理方法および処理装置によれば、好気性環境をつくる曝気設備を備えた好気槽を必要とすることなく、単一の嫌気槽内で硝酸廃液の脱窒素反応と、嫌気性微生物の活性化によるＢＯＤの上昇防止を同時に行うとともに、装置の小型化、および運転コストを抑制することができる。

第１の発明は、硝酸廃液を流量調整槽から嫌気槽に一定量供給し、前記嫌気槽内に貯留した硝酸廃液に循環流を形成させ、前記硝酸廃液の循環流中に炭素数が６以上のカルボン酸を主成分とした固体栄養塩を供給して脱窒素反応を促進するとともに、前記硝酸廃液の循環流中に嫌気性微生物を担持させた濾過部材を位置させて、前記固体栄養塩に含有する機質成分を分解し、前記濾過部材から処理水を吸引する硝酸廃液の処理方法としたものである。

これによって、好気性環境をつくる曝気設備を備えた好気槽を必要とすることなく、単一の嫌気槽内で硝酸廃液の脱窒素反応と、嫌気性微生物の活性化によるＢＯＤの上昇防止を同時に行うとともに、装置の小型化、運転コストを抑制することができる。

第２の発明は、第１の発明の硝酸廃液の処理方法において、嫌気槽内の中央部に硝酸廃液の下降流域部を形成させ、前記下降流域部の外側に上昇流域部を形成させるとともに、前記硝酸廃液の上昇流域部に濾過部材を位置させたことを特徴とする硝酸廃液の処理方法としたものである。

これによって、濾過部材表面に沿って流れる硝酸廃液により、濾過部材表面へ固形成分などが堆積し難く、また、ケーク層なども形成され難い。

また、ケーク層などが形成されたとしても、ケーク層などは圧縮され難く、上流部への処理水の流速も速いため、水が流れる道筋ができる。このため、目詰まりが発生し難く、濾過性能の低下を抑制できる。

第３の発明は、第２の発明の硝酸廃液の処理方法において、流量調整槽内の硝酸廃液を嫌気槽内の下降流域部に供給することを特徴とする硝酸廃液の処理方法としたものである。

これによって、新たに供給された硝酸廃液は下降流域部で、すでに循環している硝酸廃液と均一に混合して上昇流域部に流れるので、処理状況の異なる硝酸廃液の存在をなくすことができる。

第４の発明は、第２または３の発明の硝酸廃液の処理方法において、固体栄養塩を嫌気槽内の下降流域部に供給することを特徴とする硝酸廃液の処理方法としたものである。

これによって、添加された複数の固体栄養塩を硝酸廃液の循環流によって硝酸廃液中の一部に滞留することなく均一に拡散させるので、カルボン酸を硝酸廃液中に均質に溶解させることができる。

第５の発明は、第１〜４のいずれかの発明の硝酸廃液の処理方法において、嫌気槽内の硝酸廃液の酸化還元電位の検出値により、流量調整槽内から嫌気槽内への硝酸廃液の供給量または濾過部材を通過した処理水の吸引量を調節するようにしたことを特徴とする硝酸廃液の処理方法としたものである。

これによって、ｐＨ値を中性に維持して処理水を放流することができるとともに、濾過部材に担持させた嫌気性微生物を活性化させ、機質成分（有機物）の分解を促進することができる。

第６の発明は、第１〜４のいずれかの発明の硝酸廃液の処理方法において、嫌気槽内の硝酸廃液の溶存酸素濃度の検出値により、流量調整槽から嫌気槽への硝酸廃液の供給量を調節するようにしたことを特徴とする硝酸廃液の処理方法したものである。

これによって、嫌気槽内の硝酸廃液を嫌気条件に維持し、硝酸廃液の脱窒素反応および濾過部材に担持させた嫌気性微生物を活性化させ、機質成分（有機物）の分解を促進することができる。

第７の発明は、硝酸廃液を貯留する流量調整槽と、前記流量調整槽内の硝酸廃液を嫌気槽に供給する供給手段と、前記嫌気槽内に貯留した硝酸廃液に循環流を形成させる撹拌手段と、前記硝酸廃液の循環流中に供給し脱窒素反応を促進させる炭素数が６以上のカルボン酸を主成分とした固体栄養塩と、前記硝酸廃液の循環流中に位置させ、固体栄養塩に含有した機質成分を分解する嫌気性微生物を担持させた濾過部材と、前記濾過部材を通過した処理水を吸引する吸引手段を備えたことを特徴とする硝酸廃液の処理装置である。

第８の発明は、第７の発明の硝酸廃液の処理装置において、嫌気槽内の中央部に硝酸廃液の下降流域部を形成し、前記下降流域部の外側に上昇流域部を形成させる撹拌手段を備え、前記硝酸廃液の上昇流域部に濾過部材を位置させたことを特徴とする硝酸廃液の処理装置としたものである。

これによって、濾過部材表面に沿って流れる硝酸廃液により、濾過部材表面へ固形成分などが堆積し難く、また、ケーク層などが形成され難い。また、ケーク層などが形成されたとしても、ケーク層などは圧縮され難く、上流部への処理水の流速も速いため、水が流れる道筋ができる。このため、目詰まりが発生し難く、濾過性能の低下を抑制できる。

第９の発明は、第８の発明の硝酸廃液の処理装置において、流量調整槽内の硝酸廃液を嫌気槽内の下降流域部に供給する供給管を位置させたことを特徴とする硝酸廃液の処理装置としたものである。

第１０の発明は、第７〜９の発明の硝酸廃液の処理装置において、濾過部材を振動させる加振手段を備えた硝酸廃液の処理装置としたものである。

これによって、濾過部材の表面への固形成分などが堆積するケーク層の形成を更に抑制し、目詰まりが発生し難く、濾過性能の低下を抑制することができる。

第１１の発明は、第７〜１０の発明の硝酸廃液の処理装置において、嫌気槽内の硝酸廃液の酸化還元電位の検出手段または溶存酸素濃度の検出手段を備えたことを特徴とする硝酸廃液の処理装置としたものである。

これによって、濾過部材に担持させた嫌気性微生物を活性化させ、機質成分（有機物）の分解を促進することができる。

本発明の一実施の形態の硝酸廃液の処理装置を図１、図２を参照しながら説明する。

図１は硝酸廃液の処理装置の構成図、図２は図１中のＡ−Ａ線における嫌気槽の断面図である。

図１、図２において、流量調整槽１に供給管２、弁３を介して硝酸廃液４を一定量貯留する。流量調整槽１に貯留する硝酸廃液４を流動化させて腐敗を防止するため流量調整槽１の下部に散気管５を位置させ、散気管５に空気ポンプ６、供給管７を介して空気を供給する。また、流量調整槽１の底部に連通して排出管８、弁９を設け、メンテナンス時等に流量調整槽１に貯留する硝酸廃液を排出する。

流量調整槽１に貯留する硝酸廃液４はポンプ１０（供給手段）で吸引し、導入管１１を介して嫌気槽１２に供給する。嫌気槽１２に硝酸廃液１３を一定量貯留する。嫌気槽１２の略中央部に仕切筒１４を位置させ、この仕切筒１４の内部に硝酸廃液１３の下降流域部１５を形成させるための撹拌手段１６を設けている。

撹拌手段１６はモータ１７の駆動による回転羽根１８により構成しているが、ポンプを用いても良く、図の構成に限定されるものではない。

流量調整槽１からの硝酸廃液４はポンプ１０で吸引し、導入管１１を介して前記下降流域部１５に供給する構成となっている。また、硝酸廃液１３に付与する固体栄養塩１９を栄養塩供給部２０から前記下降流域部１５に供給する構成となっている。

また、仕切筒１４の下端部と嫌気槽１２の底部との一定距離の隙間から、仕切筒１４内の硝酸廃液１３が下降流域部１５から仕切筒１４の外側に流れ、仕切筒１４の外側に硝酸廃液１３の上昇流域部２１を形成させる。

さらに上昇流域部１８から仕切筒１４の上端を経て再び下降流域部１５に硝酸廃液１３を流動させる循環流を形成させるものである。

また、前記硝酸廃液１３の上昇流域部２１に嫌気性微生物を有する複数の濾過部材２２を位置させているので、濾過部材２２には下部材２３、上部材２４を有し濾過モジュール２５を構成している。

複数の濾過モジュール２５の上端から濾過部材２２を通過した処理水を吸引管２６、ポンプ２７（吸引手段）を介して吸引し放流するものである。また濾過モジュール２５の下端部には、濾過モジュール２５自体を微振動させる加振手段２８を設けている。

さらに硝酸廃液１３の上昇流域部２１に、硝酸廃液１３の酸化還元電位検出手段２９、溶存酸素量検出手段３０を設けている。

そして嫌気槽１２の底部に連通して排出管３１、弁３２を設け、メンテナンス時等に嫌気槽１２に貯留する硝酸廃液を排出する。

なお、濾過部材２２としては、中空糸膜、精密ろ過膜（ＭＦ膜）、超微細なメッシュ(網)を使用するダイナミック膜、ひも状繊維集合体等を用いることができる。

次に本発明の実施の一形態についての基本的な動作、作用を説明する。

図中の矢印は硝酸廃液１３の流れを示す。

流量調整槽１に貯留する硝酸廃液４をポンプ１０で吸引し、導入管１１を介して嫌気槽１２に一定量貯留し、撹拌手段１６を駆動して仕切筒１４の内部に硝酸廃液１３の下降流域部１５を形成させる。

また、仕切筒１４の下端部と嫌気槽１２の底部との一定距離の隙間から、仕切筒１４内の硝酸廃液１３が下降流域部１５から仕切筒１４の外側に流れ、仕切筒１４の外側に硝酸廃液１３の上昇流域部２１を形成させる。さらに上昇流域部２１から仕切筒１４の上端を経て再び下降流域部１５に硝酸廃液１３を流動させる循環流を形成させているものである。

次に、硝酸廃液１３に付与する固体栄養塩１９を栄養塩供給部２０から前記下降流域部１５に供給する。このとき添加された複数の固体栄養塩１９を、硝酸廃液１３の循環流によって下降流域部１５、上昇流域部２１にわたって硝酸廃液１３中に均一に拡散させることができる。

次に本発明の実施の形態における固体栄養塩１９の材料組成、構成例を説明する。

まず固体栄養塩１９は、炭素数が６以上のカルボン酸を主成分としたものである。
カルボン酸としては、炭素数が６以上であることが必須であり、炭素数が６未満では水に対する溶解度が大きすぎ、短期間でその形状をとどめなくなるため、一時的な過剰な栄養塩の付与と、さらに長期的な安定した栄養塩の付与ができないことから好ましくない。

また炭素数の上限は特に設ける必要はないが、工業的に大量に入手可能な材料としては炭素数１８程度と考えられるが、炭素数が１８以下のものに限られるものではないことはいうまでもない。また、本実施の形態に用いるカルボン酸は直鎖状構造を有し、さらには飽和モノカルボン酸であることが好ましい。理由としては、飽和モノカルボン酸は、不飽和モノカルボン酸と比較して融点が高く安定している為、水への溶解が安定するためである。

以上の要件を満たすカルボン酸としてはカプリル酸、カプリン酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸を例示することができ、さらにはこれらカルボン酸の塩やオキシ酸、さらにはエステル、これらの混合物も含まれる。

前記したカルボン酸は、粒状体に形成するか、または、主成分であるカルボン酸をセルロース、ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコールなどの生体親和性の高い材料を用いた坦体に坦持させ、坦持体として用いることができる。カルボン酸を成形するためには、物質の融点以上に加熱した状態で金型などに挿入後、冷却固化させる方法などの通常の方法で容易になし得る。

これらは例えば粒径が１ｍｍから３ｍｍの粒状体、板状や棒状体としての成形品またはカルボン酸を通気性のあるウレタン体、連続発泡体、紐上または織布、不織布上に固定化（コーティング）する等の手段によって実用に供する成形品とすることができる。

さらに前記した粒状体、坦持体等の成形品を内部へ水が進入可能な袋に挿入してもよい。これらは必要なサイズを任意に選択した固体栄養塩１９を栄養塩供給部２０から硝酸廃液１３に前記下降流域部１５に供給するものである。

前記したように添加された複数の固体栄養塩１９を硝酸廃液１３の循環流によって硝酸廃液１３中の一部に滞留することなく均一に拡散させるので、カルボン酸を硝酸廃液１３中に均質に溶解させることができる。

さらに、これらカルボン酸は水に対する溶解度が小さく、しかも直鎖状構造を有した飽和モノカルボン酸であるため、脱窒菌が十分に水素供与体として利用できる。また、これらカルボン酸を適切な形に成形したり、適切な坦体に坦持させて嫌気槽１２内部に添加、供給することにより脱窒素反応が速やかに進行し、しかも水への溶解度が小さいために、従来技術のようにメタノールなどの水素供与体を連続添加する必要がなく、硝酸廃液１３に対して長期間脱窒素反応を維持することができる。

前記したように、カルボン酸は硝酸廃液１３に対して長期間脱窒素反応を維持することができるが、前記した炭素数が６以上の直鎖状飽和モノカルボン酸を主成分とした脱窒素促進剤である固体栄養塩１９を用いた方法においては、直鎖状飽和モノカルボン酸を坦持体に坦持させ、これを粒子状、板状または棒状に成形する際に、実態として前記坦持体にステアリン酸、リン等の機質成分（有機物）が含有される。

このため前記機質成分が嫌気槽１２内で被処理廃液である硝酸廃液中に溶解してしまうことによってＢＯＤ（生物化学的酸素要求量）の上昇をまねき、そのままでは処理水として放流することができない。

さらにＢＯＤの上昇防止のために好気性環境をつくる曝気設備が必要となり、装置の大型化、複雑化、運転コスト高をまねき、しかも、維持管理も難しくなるという課題がある。

前記した課題の解決を図るため、本発明の実施形態においては、硝酸廃液１３の上昇流域部２１に嫌気性微生物を担持させた複数の濾過部材２２を位置させており、中空状の濾過部材２２には下部材２３、上部材２４を設けて濾過モジュール２５を構成している。

複数の濾過モジュール２５の上端から濾過部材２２を通過した処理水を吸引管２６、ポンプ２７を介して吸引し放流するものである。

これによって、前記坦持体に含有されているステアリン酸、リン等の機質成分（有機物）を、嫌気性微生物を担持させた複数の濾過部材２２に接触、通過する際に分解することができる。

その結果、ＢＯＤの上昇防止のために好気性環境をつくる曝気設備が不要となり、装置全体の小型化、簡略化、運転コストの抑制と、さらに維持管理もより簡単になる効果を有することができる。

また、本発明の実施の形態においては、硝酸廃液１３の上昇流域部２１に嫌気性微生物を担持させた複数の濾過部材２２を位置させている。

この配置によって、濾過部材２２の表面側で、濾過対象液である硝酸廃液１３をこれらの濾過部材２２の表面に沿う方向、つまり濾過部材２２を透過する流れと交わる方向に流すクロスフロー構成となるため、濾過部材２２表面に沿って流れる硝酸廃液１３により、濾過部材２２表面へ固形成分などが堆積し難く、また、ケーク層などが形成され難くなる。

また濾過モジュール２５の下端部には、濾過モジュール２５自体を微振動させる加振手段２８を設けている。これによって、濾過部材２２の表面への固形成分などの堆積によるケーク層等の形成などをさらに抑制し、目詰まりが発生し難く、濾過性能の低下を抑制することができる。

また、嫌気槽１２内での硝酸廃液１３の脱窒素反応および機質成分（有機物）の嫌気性微生物による分解の処理状況に応じて、処理水を吸引管２６、ポンプ２７を介して吸引して放流し、新たに流量調整槽１内の硝酸廃液を嫌気槽１２内の下降流域部１５に位置する導入管１１から供給する。

これによって、新たに供給された硝酸廃液は下降流域部１５で、すでに循環している硝酸廃液と均一に混合して上昇流域部２１に流れるため、処理状況の異なる硝酸廃液の存在をなくすことができる。

また、嫌気槽１２内に硝酸廃液の酸化還元電位検出手段２９を備え、得られた検出値により、ポンプ１０による流量調整槽１内から嫌気槽１２内への硝酸廃液の供給量、またはポンプ２７による濾過部材２２を通過した処理水の吸引量を調節する。

これによって、ｐＨ値を中性に維持して処理水を放流することができるとともに、濾過部材２２に担持させた嫌気性微生物を活性化させ、機質成分（有機物）の分解を促進することができる。これは酸化還元電位検出手段２９の検出値が規定値よりも高いときは、ポンプ１０による流量調整槽１内から嫌気槽１２内への硝酸廃液の供給量を減少、停止させる。

またはポンプ２７による濾過部材２２を通過した処理水の吸引量を減少、停止させるように調節するものである。

さらに、嫌気槽１２内の硝酸廃液の溶存酸素濃度を検出する溶存酸素濃度検出手段３０を備え、得られた検出値により溶存酸素濃度が規定値よりも高くなれば、流量調整槽１内から嫌気槽１２内への硝酸廃液の供給量を減少または停止するように調節する。これによって、嫌気槽１２内の硝酸廃液を嫌気条件に維持し、硝酸廃液１３の脱窒素反応および濾過部材２２に担持させた嫌気性微生物を活性化させ、機質成分（有機物）の分解を促進することができる。

以上のように、本発明によれば、好気性環境をつくる曝気設備を備えた好気性槽を必要とすることなく、単一の嫌気性槽内で硝酸廃液の脱窒素反応と、嫌気性微生物の活性化によるＢＯＤの上昇防止を同時に行うとともに、装置の小型化、運転コストを抑制することができる硝酸廃液の処理方法および処理装置を提供することができるものである。

脱窒素反応とＢＯＤ抑制を必要とする廃液処理の用途に適用できる。

本発明の一実施形態の硝酸廃液処理装置の全体構成図図１中のＡ−Ａ線における嫌気槽の断面図

符号の説明

１流量調整槽
２供給管
３弁
４硝酸廃液
５散気管
６空気ポンプ
７供給管
８排出管
９弁
１０ポンプ（供給手段）
１１導入管
１２嫌気槽
１３硝酸廃液
１４仕切筒
１５下降流域部
１６撹拌手段
１７モータ
１８回転羽根
１９固体栄養塩
２０栄養塩供給部
２１上昇流域部
２２濾過部材
２３下部材
２４上部材
２５濾過モジュール
２６吸引管
２７ポンプ（吸引手段）
２８加振手段
２９酸化還元電位検出手段
３０溶存酸素濃度検出手段
３１排出管
３２弁

Claims

硝酸廃液を流量調整槽から嫌気槽へ供給して、この嫌気槽内で前記硝酸廃液の循環流を形成し、前記硝酸廃液の循環流中に炭素数が６以上のカルボン酸を主成分とした固体栄養塩を供給して脱窒素反応を促進させ、前記硝酸廃液の循環流中に嫌気性微生物を担持させた濾過部材を配設して前記固体栄養塩に含有する機質成分を分解するとともに前記濾過部材から処理水を吸引する硝酸廃液の処理方法。
嫌気槽の略中央部に硝酸廃液が上流から下流へと流れる下降流域部を形成するとともに、この下降流域部の外側に硝酸廃液が下流から上流へと流れる上昇流域部を形成し、前記硝酸廃液の上昇流域部に濾過部材を配設したことを特徴とする請求項１に記載の硝酸廃液の処理方法。
流量調整槽内の硝酸廃液を嫌気槽内に設けた下降流域部に供給することを特徴とする請求項２に記載の硝酸廃液の処理方法。
固体栄養塩を嫌気槽内に設けた下降流域部に供給することを特徴とする請求項２または３に記載の硝酸廃液の処理方法。
嫌気槽内の硝酸廃液の酸化還元電位の検出値に応じて、流量調整槽から前記嫌気槽への前記硝酸廃液の供給量または濾過部材を通過した処理水の吸引量を調節することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の硝酸廃液の処理方法。
嫌気槽内の硝酸廃液の溶存酸素濃度の検出値に応じて、流量調整槽から嫌気槽への前記硝酸廃液の供給量を調節することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の硝酸廃液の処理方法。
流量調整槽内に貯留した硝酸廃液を嫌気槽に供給する供給手段と、前記嫌気槽内に貯留した硝酸廃液に循環流を形成させる撹拌手段と、前記硝酸廃液の循環流中に供給することで脱窒素反応を促進させる炭素数が６以上のカルボン酸を主成分とした固体栄養塩と、前記硝酸廃液の循環流中に配設して固体栄養塩に含有した機質成分を分解する嫌気性微生物を担持させた濾過部材と、前記濾過部材を通過した処理水を吸引する吸引手段とを備えたことを特徴とする硝酸廃液の処理装置。
嫌気槽の略中央部に硝酸廃液が上流から下流へ流れる下降流域部を形成するとともに、前記下降流域部の外側に前記硝酸廃液が下流から上流へ流れる上昇流域部を形成する撹拌手段を備え、前記硝酸廃液の上昇流域部に濾過部材を配設したことを特徴とする請求項７に記載の硝酸廃液の処理装置。
流量調整槽内の硝酸廃液を嫌気槽に形成した下降流域部に供給する供給管を設けたことを特徴とする請求項８に記載の硝酸廃液の処理装置。
濾過部材を振動させる加振手段を備えた請求項７から９のいずれか一項に記載の硝酸廃液の処理装置。
嫌気槽内の硝酸廃液の酸化還元電位を検出する酸化還元電位検出手段、または前記硝酸廃液の溶存酸素濃度を検出する溶存酸素濃度検出手段を備えたことを特徴とする請求項７から１０のいずれか一項に記載の硝酸廃液の処理装置。