JP4615071B2 - 基板処理システム及び基板処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、基板に対する処理内容の変更等に応じて、増設、変更が容易な基板処理システム及び基板処理装置に関する。

従来、半導体装置や記憶素子などの電子部品を製造する基板処理装置として、基板を搬送可能な搬送ロボットを備えた搬送モジュールに、複数の基板処理モジュールを接続したクラスタ型の基板処理装置が知られている（特許文献１参照）。

特開平１０−２７５８４８号公報

しかしながら、特許文献１に示すような装置の場合、搬送モジュールの最大接続数以上の基板処理モジュールを接続することができない。
このような場合、基板処理モジュールを追加するには、搬送チャンバを接続数の多い形状のものに取り替えたり、搬送チャンバの数を増やして搬送ロボットを追加するなど、搬送モジュールを変更する必要がある。しかし、この場合、搬送ロボットの増設に伴い、搬送ロボットを制御する搬送制御装置のプログラムなどを修正しなければならず、場合によっては新たな搬送モジュールを作製するのと同様の手間やコストを要していた。

本発明は、上述の問題点に鑑みて成されたものであり、基板に対する処理内容の変更に応じて、容易に基板処理モジュールを拡張、変更が可能な基板処理システムを提供することにある。

このような目的を達成するために、本発明は、基板に対し処理を行うためのプロセスチャンバを接続可能な搬送チャンバと、前記搬送チャンバ内に位置し、前記搬送チャンバに接続するプロセスチャンバに基板を搬送するための搬送ロボットと、前記搬送ロボットを制御する搬送制御手段と、を夫々備えた第１及び第２の基板処理装置を有する基板処理システムであって、第１及び第２の基板処理装置の前記搬送チャンバ同士が相互に接続され、前記第１及び第２の基板処理装置の搬送制御手段は、自装置内で基板の搬送先に一意に割り当てられたローカルアドレスを用いて、前記搬送ロボットを制御し、前記自装置の前記搬送チャンバに接続されるプロセスチャンバに基板を搬送させるローカル搬送部を有し、前記第１の基板処理装置の搬送制御手段は、少なくとも前記ローカルアドレス、及び、当該ローカルアドレスの属する基板処理装置を特定可能な付加情報を含み、基板の搬送先を前記第１及び第２の基板処理装置内で一意に指定する搬送先指定情報を取得する搬送情報取得手段と、前記搬送情報取得手段により取得した搬送先指定情報に基づいて、基板の搬送先が前記第１および第２の基板処理装置のいずれかを判定可能な搬送先判定部と、を有することを特徴とする。

また、本発明は、基板処理装置であって、基板に対し処理を行うためのプロセスチャンバ及び他の基板処理装置を接続可能な搬送チャンバと、前記搬送チャンバ内に位置し、前記搬送チャンバに接続するプロセスチャンバに基板を搬送するための搬送ロボットと、前記搬送ロボットを制御する搬送制御手段とを備え、前記搬送制御手段は、自装置内で基板の搬送先に一意に割り当てられたローカルアドレスを少なくとも含み、さらに当該ローカルアドレスの属する基板処理装置を特定可能な付加情報を任意に含み、基板の搬送先を自装置及び前記搬送チャンバに接続する他の基板処理装置内で一意に指定する搬送先指定情報を、取得する搬送情報取得手段と、前記搬送情報取得手段により取得した搬送先指定情報に基づいて、基板の搬送先がいずれの基板処理装置かを判定可能な搬送先判定部と、前記搬送先判定部の判定結果、基板の搬送先が自装置内である場合に、該自装置内で基板の搬送先に一意に割り当てられたローカルアドレスを用いて、前記搬送ロボットを制御し、前記自装置の前記搬送チャンバに接続されるプロセスチャンバに基板を搬送させるローカル搬送部と、前記搬送先判定部の判定結果、基板の搬送先が前記他の基板処理装置内である場合に、前記基板を前記他の基板処理装置に搬送させる装置間搬送部とを有することを特徴とする。

さらに、本発明は、基板処理装置であって、複数の接続ポートを有し、該複数の接続ポートの少なくとも１つに他の基板処理装置を接続可能な搬送チャンバと、前記搬送チャンバに前記他の基板処理装置を接続した際に自装置が基板搬送の最上流に位置する第１の装置であるのか、または自装置が前記基板搬送の流れにおいて前記第１の装置よりも下流側の第２の装置であるのかを認識させるための第１の情報を取得し、該第１の情報に基づいて、自装置が前記第１の装置なのか前記第２の装置なのかを認識する手段と、自装置が前記第１の装置であると認識される場合に用いられる前記第１の装置用の基板搬送手段および自装置が前記第２の装置であると認識される場合に用いられる前記第２の装置用の基板搬送手段の少なくとも一方を備え、前記複数の接続ポートには、一意にローカルアドレスが割り当てられており、前記第１の装置用の基板搬送手段は、前記搬送チャンバに前記他の基板処理装置が接続された構成において基板の搬送先となる接続ポートの位置を特定するための第２の情報であって、基板の搬送対象の接続ポートに対応するローカルアドレスに関する第３の情報、および該ローカルアドレスが属する基板処理装置を特定するための第４の情報を含む第２の情報を取得する手段と、前記取得された第２の情報に基づいて、基板の搬送先となる基板処理装置を判定する手段と、前記判定結果、前記基板の搬送先が自装置内である場合は、前記第２の情報に含まれる第３の情報に基づいて、該ローカルアドレスに対応する接続ポートへと基板を搬送させる手段と、前記判定結果、前記基板の搬送先が自装置以外の基板処理装置である場合は、前記第４の情報にて特定される基板処理装置に基板が搬送されるように前記他の基板処理装置の１つに基板を搬送させると共に、前記第４の情報にて特定される基板処理装置において前記第３の情報にて特定される接続ポートに基板が搬送されるような搬送指令を前記他の基板処理装置の１つに出力する手段とを有し、前記第２の装置用の基板搬送手段は、前記搬送指令を取得する手段と、前記取得された搬送指令から、前記基板の搬送対象の接続ポートに対応するローカルアドレスを取得し、該取得されたローカルアドレスに対応する接続ポートへ基板を搬送させる手段とを有することを特徴とする。

本発明によれば、追加の搬送モジュールを元の搬送モジュールの任意の位置で接続するだけで、搬送モジュールの構成を変える事無く、プロセスモジュールの接続数が増加した一台の基板処理システムとして使用可能である。従って、プロセスモジュールの追加に伴う搬送モジュールの修正コストなどを抑制でき、変更に対し迅速に対応可能である。

本発明の実施形態に係る、メイン装置、サブ装置の概観を示す図である。 本実施形態に係る基板処理システムの概観を示す図である。 本実施形態に係る基板処理システムの機能ブロックを示す図である。 本発明の実施形態に係る構成情報の構成例を示す図である。 本発明の実施形態に係るローカルアドレスの例を示す図である。 本発明の実施形態に係る搬送手順データの例を説明するための図である。 本発明の実施形態に係る搬送先指定情報の構成例を示す図である。 本発明の実施形態に係る搬送先指定情報を説明するための図である。 本発明の実施形態に係るメイン装置の基板の搬送動作を示すフローチャートである。 本発明の実施形態に係るサブ装置の基板の搬送動作を示すフローチャートである。 本発明の他の例を示す図である。 本発明の他の例を示す図である。 本発明の他の例を示す機能ブロック図である。

本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
[基板処理システム及び基板処理装置の構成について]
図１は、本実施形態に係る第１の基板処理装置１００（以下、「メイン装置」と呼ぶ。）、第２及び第３の基板処理装置２００，３００（以下、「サブ装置」と呼ぶ。）の概観を示す図である。

図１のメイン装置１００は、搬送ロボットＴｒ−１１，Ｔｒ−１２が配置された搬送チャンバＴｃ−１に、接続ポートを介してプロセスチャンバＰ−１１〜Ｐ−１４が接続されている。図示しないが、図１のメイン装置１００の搬送チャンバＴｃ−１は６個の接続ポートを有しており、６個のプロセスチャンバＰが接続可能になっている。また、搬送チャンバＴｃ−１は、ロードロック／アンロードロックチャンバＬＵを介して基板供給室（不図示）に接続しており、ロードロック／アンロードロックチャンバＬＵを介して搬送チャンバＴｃ−１内に基板を導入可能である。

搬送ロボットＴｒ−１１，Ｔｒ−１２は、本実施形態では、回転及び伸縮自在なアームを有しており、基板を所定のプロセスチャンバＰ−１１〜Ｐ−１４に搬送する。なお、図中、符号Ａはアライメント装置であり、搬送ロボットＴｒ−１１，Ｔｒ−１２間での基板の受け渡しや基板の位置ずれの補正等を行うために設けられる。また、搬送チャンバＴｃ−１には、排気ポンプや上記アライメント装置の駆動源などの各構成要素が設けられると共に、各構成要素を制御し基板搬送動作を実行させるＰＬＣなどの制御装置を備えている。これらを含む搬送チャンバＴｃにおける処理に関わるものをまとめて搬送モジュールと呼ぶ。

プロセスチャンバＰは、基板に処理を施すためのチャンバであり、例えば、スパッタリング法、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法による成膜が可能な成膜チャンバや、ドライエッチングなどが可能なエッチングチャンバ、加熱や冷却が可能な温度調整チャンバが挙げられる。本実施形態のプロセスチャンバＰには、その種類に応じ、排気ポンプ、プラズマ生成用の電源、ガス導入系などの各基板処理用部材が設けられると共に、これらの各基板処理用部材を制御し、基板に対し所定の処理を実行させるためのＰＬＣなどの制御装置が接続されている。本実施形態では、プロセスチャンバＰを含むこれらの所定の基板に対する処理にかかわるものをまとめてプロセスモジュールと呼ぶ。

サブ装置２００もメイン装置１００と同様に、搬送ロボットＴｒ−２が配置された搬送チャンバＴｃ−２に、接続ポートを介してプロセスチャンバＰＭ−２１〜ＰＭ−２４が接続され、搬送ロボットＴｒ−２によって基板を搬送可能になっている。サブ装置３００も同様であり、搬送ロボットＴｒ−３が配置された搬送チャンバＴｃ−３に、接続ポートを介してプロセスチャンバＰＭ−３１〜ＰＭ−３４が接続され、搬送ロボットＴｒ−３によって基板を搬送可能になっている。各プロセスチャンバＰや搬送ロボットＴｒの機能や構成は略メイン装置のものと同じであるので、詳細な説明は省略する。

図２に、上記メイン装置１００及びサブ装置２００，３００を備えた本実施形態に係る基板処理システムの概観を示す。

メイン装置１００とサブ装置２００は、互いの接続ポートに接続したジョイントＪ−２を介して連結され、メイン装置１００とサブ装置３００は、互いの接続ポートに接続したジョイントＪ−３を介して連結されている。つまり、メイン装置１００の搬送チャンバＴｃ−１の接続ポートには、プロセスチャンバＰに替えて、１個の独立した基板処理装置を接続可能になっており、本実施形態では、複数の基板処理装置を用いて、大気に暴露することなく、真空中での一連の基板処理が実行可能である。

図３に、本実施形態に係る基板処理システムの機能ブロック図を示す。
図３の基板処理システムは、上述したメイン装置１００及びサブ装置２００，３００のほか、ホストＰＣ４００を備える。ホストＰＣ４００とメイン装置１００、サブ装置２００，３００、サブ装置２００，３００間は、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）やＲＳ−２３２Ｃなどの規格によるネットワークを介して接続され、データ通信が可能になっている。具体的には、ホストＰＣ４００は、基板の搬送順序及び搬送先を指定した搬送手順データ（後述する）を送信する搬送手順送信部４１０と、構成情報（後述する）を送信する構成情報送信部４２０と、を備える。

メイン装置１００は、さらにメイン装置制御装置１１０を備える。メイン装置制御装置１１０は、例えば、パソコンなどの演算処理装置と、演算処理結果を各種の電気信号に変換するためのドライバと、を備える。

メイン装置制御装置１１０は、ホストＰＣ４００から送信される構成情報を取得する構成情報取得部１２０と、搬送ロボットＴｒ−１１，Ｔｒ−１２を制御する搬送制御部１３０と、を備える。また、図示しないが、各プロセスモジュールＰＭ−１１〜ＰＭ−１４や排気ポンプなどの搬送モジュールＴＭ−１の各構成要素を制御するための制御部も設けられている。

搬送制御部１３０は、本実施形態では、搬送手順取得部１３１と、搬送先判定部１３２と、ローカル搬送部１３３と、装置間搬送部１３４と、を備える。搬送手順取得部１３１は、ホストＰＣ４００から送信される搬送手順データを取得する。搬送先判定部１３２は、搬送手順取得部１３１により取得した搬送手順データに基づき、基板の搬送先がいずれの基板処理装置１００，２００，３００に接続するプロセスチャンバＰかを判定する。ローカル搬送部１３３は、搬送先判定部１３２により基板の搬送先がメイン装置１００のプロセスチャンバＰであると判定したときに、メイン装置１００の搬送チャンバＴｃ−１に備えた搬送ロボットＴｒ−１１，Ｔｒ−１２に指定に係るプロセスチャンバＰへの搬送指令を出力する。装置間搬送部１３４は、搬送先判定部１３２が基板の搬送先がメイン装置１００内ではないと判定したときに、搬送先となるサブ装置２００，３００に搬送指令を出力する。

サブ装置２００は、サブ装置制御装置２１０を備え、メイン装置制御装置１１０と同様に、例えば、パソコンなどの演算処理装置と、演算処理結果を各種の電気信号に変換するためのドライバと、を備える。

サブ装置制御装置２１０は、ホストＰＣ４００から送信される構成情報を取得する構成情報取得部２２０と、搬送ロボットＴｒ−２を制御する搬送制御部２３０と、を備える。また、図示しないが、各プロセスモジュールＰＭ−２１〜ＰＭ−２４や排気ポンプなどの搬送モジュールＴＭ−１の各構成要素を制御するための制御部も設けられている。

また、搬送制御部２３０は、搬送手順取得部２３１と、搬送先判定部２３２と、ローカル搬送部２３３と、装置間搬送部２３４と、を備える。

ここで、サブ装置２００の搬送手順取得部２３１は、上位装置としてのメイン装置１００の装置間搬送部１３４から搬送指令として送信される搬送手順データを取得する。後に詳述するが、この搬送手順データは、メイン装置１００がホストＰＣ４００から取得する搬送手順データとは異なり、サブ装置２００に接続するプロセスチャンバＰ−２１〜Ｐ−２４、又は、サブ装置２００に下位装置として接続する基板処理装置に接続するプロセスチャンバＰのみを基板の搬送先の指定として含む。搬送先判定部２３２は、搬送手順取得部２３１により取得した搬送手順データに基づき、基板の搬送先となる装置を判定する。基板の搬送先がサブ装置２００に接続するプロセスチャンバＰであるとき、ローカル搬送部２３３は、サブ装置２００の搬送チャンバＴｃ−２内に位置する搬送ロボットＴｒ−２に基板の搬送指令を出力する。基板の搬送先がサブ装置２００でないときは、搬送先の基板処理装置に基板の搬送指令を出力する。
なお、サブ装置３００は、サブ装置２００と同様の構成であるので、説明は省略する。

［各種のデータについて］
次に、各種のデータについて説明する。
図４に構成情報の構成例を示す。
構成情報は、例えば図４に示すような構成情報ファイルＦの形式で、メイン装置１００及びサブ装置２００，３００の夫々について作成され、対応するファイルがホストＰＣ４００から該当する基板処理装置１００，２００，３００に送信される。図４の例では、構成情報ファイルＦは、上位の基板処理装置が接続する接続ポートの情報と、下位の基板処理装置が接続する接続ポートの情報と、を含む。ホストＰＣ４００における構成情報ファイルＦの取得方法としては、例えば、ユーザによる入力や外部装置からの受信、ホストＰＣ４００での生成が挙げられる。

ここで、上位、下位とは、複数の基板処理装置を接続して１つのシステムとして用いるときに基板搬送の流れに沿って設定されるシステムの階層である。この構成情報を取得することで各基板処理装置はシステムにおける自身の位置づけを認識し（自身が上位装置なのか下位装置なのかを認識し）、それに応じた処理を実行する。基本的には、基板の導入源に近い装置が上位、それに接続する装置が下位として設定され、本実施形態では、基板供給室に接続する基板処理装置がメイン装置１００、これに接続する基板処理装置がサブ装置２００，３００として設定される。また、構成情報により、自身のどの位置に他の基板処理装置が接続されているのかも認識することができる。

すなわち、本実施形態では、各基板処理装置に上位装置および下位装置の処理手順（例えば、後述する図９Ａ、９Ｂ等）をそれぞれ予めメモリといった記憶部に保持させる。そして、所望に応じて複数の基板処理装置を組み合わせて使用する際に、各基板処理装置に、対応する構成情報を取得させ、自身が上位装置なのか下位装置なのかを認識させる。従って、各基板処理装置は、上位装置および下位装置の処理手順を保持しているので、上記認識により自身が行うべき処理手順を読み出して実行することで、自身が対応すべき装置（上位装置、または下位装置）として振舞うことができる。このように、基板処理装置の組み合わせ毎に、構成情報により各基板処理装置に自身が対応すべき装置（上位装置、または下位装置）を認識させているので、ユーザが上記組み合わせに応じて新たに処理手順を作成しインストールすることなく、各基板処理装置を対応すべき装置として機能させることができる。

また、接続ポートの情報としては、接続ポートを特定可能な情報であればよく、例えば、各基板処理装置の搬送チャンバ内で接続ポートに一意に付されたローカルアドレスを用いる。図５は、ローカルアドレスの例が示されており、搬送チャンバＴｃ−２に設けられた複数の接続ポートに連番（１〜５）が付されている。図５中では、搬送チャンバＴｃ−２内の黒丸の近傍にローカルアドレスを示す。もちろん、ローカルアドレスの設定方法は、これに限定されず、連番でなくとびとびの数字であってもよいし、文字等であってもよい。他の基板処理装置１００，３００も同様に、その基板処理装置内の接続ポートに一意に付される。ローカルアドレスは、各基板処理装１００〜３００内で一意であればよく、これらの間で重複していてもよい。

具体的には、メイン装置１００では、ローカルアドレス'２'と'５'の接続ポートにサブ装置２００，３００が接続され、他の接続ポート（ローカルアドレス'１'、'３'、'４'、'６'）には他の基板処理装置が接続されることなくプロセスチャンバＰが接続されている。従って、メイン装置１００については、上位装置接続ポートの情報を含まず（又は”接続なし”に相当する情報を含み）、下位装置接続ポートの情報として'２'及び'５'を含む構成情報ファイルＦが作成され、メイン装置１００に送信される。例えば、ホストＰＣ４００が備える、所定の指令あるいはデータなどを入力するキーボードあるいは各種スイッチなどを含む入力操作部を介して、ユーザが基板処理装置の組み合わせに関する情報（例えば、メイン装置となる装置１００のローカルアドレス'２'、'５'の接続ポートにサブ装置となる装置２００、３００を接続することを示す情報）を入力する。ホストＰＣ４００は該ユーザ入力を受け付けると、上述のような構成情報ファイルＦを作成し、構成情報送信部４２０は該作成された構成情報ファイルＦをメイン装置１００に送信する。このような構成情報ファイルＦを構成情報取得部１２０が取得すると、搬送制御部１３０は、“上位装置の接続ポートのローカルアドレス”が含まれていないことにより自身が上位装置であることを認識し、“下位装置の接続ポートのローカルアドレス”により下位装置が接続されている接続ポートの位置を認識する。

一方、サブ装置２００では、ローカルアドレス'５'の接続ポートにメイン装置１００が接続され、他の接続ポート（ローカルアドレス'１'〜'４'）には他の基板処理装置が接続されることなくプロセスチャンバＰのみが接続されている。従って、上位装置接続ポートの情報として'５'を規定し、下位装置接続ポートの情報を含まない（又は”接続なし”に相当する情報を含む）構成情報ファイルＦがサブ装置２００に送信される。すなわち、入力操作部を介して、ユーザが基板処理装置の組み合わせに関する情報（例えば、サブ装置となる装置２００のローカルアドレス'５'の接続ポートにメイン装置となる装置１００を接続することを示す情報）を入力する。ホストＰＣ４００は該ユーザ入力を受け付けると、上述のような構成情報ファイルＦを作成し、構成情報送信部４２０は該作成された構成情報ファイルＦをサブ装置２００に送信する。このような構成情報ファイルＦを構成情報取得部２２０が取得すると、搬送制御部２３０は、“上位装置の接続ポートのローカルアドレス”により上位装置が接続されている接続ポートの位置を認識し、“下位装置の接続ポートのローカルアドレス”が含まれていないことにより自身が下位装置であることを認識する。
また、同様の構成情報ファイルＦがサブ装置３００について作成され、サブ装置３００に送信される。

図６に搬送手順データの例を説明するための図を示す。
搬送手順データは、上述のように、基板の処理フローに沿って基板の搬送順序及び搬送先を規定したものであり、ホストＰＣ４００からメイン装置１００に送信される。ホストＰＣ４００は、ユーザからの入力、外部装置からの受信、又は、ホストＰＣ４００での生成などの方法によって搬送手順データを取得する。図６の符号６０１、６０２に示す例では、搬送手順データは、基板の搬送先を基板処理システム内で一意に特定可能な搬送先指定情報（図中、'１'、'２１２'など）を区切り記号（図中では、'→'）を挟んで搬送順に結合して形成されている。もちろん、搬送手順データは、このような構成に限らず、例えば、搬送先指定情報と対応させて搬送順の番号データを含むものであってもよいし、搬送先指定情報を所定ビット数で構成するなどして区切り符号を含まない構成であってもよいし、搬送滞留時間などの他の情報をさらに含むものであってもよい。

図７に搬送先指定情報の構成例を示す図、図８に搬送先指定情報を説明するための図を示す。
搬送先指定情報は、基板の搬送先を基板処理システム内で特定可能な情報であり、本実施形態では基板の搬送先となるプロセスチャンバＰに接続する接続ポートを基板処理システム内で一意に特定可能な情報を用いる。搬送先指定情報の一例を図７に示す。具体的には、本実施形態では、メイン装置１００のプロセスチャンバＰが搬送先となるときは、図７の符号７０１（符号７０１：メイン装置への搬送先指定情報）に示すように、そのプロセスチャンバＰに接続する接続ポートのローカルアドレスをそのまま搬送先指定情報とする。一方、サブ装置２００，３００に接続するプロセスチャンバＰが基板の搬送先となるときは、図７の符号７０２（符号７０２：サブ装置への搬送先指定情報）に示すように、メイン装置のローカルアドレスと、サブ装置種別と、サブ装置のローカルアドレスと、を結合したデータを搬送先指定情報として用いる。
メイン装置１００のローカルアドレスは、メイン装置１００における、基板の搬送先となるサブ装置２００，３００が接続している接続ポートのローカルアドレスを用い、例えば、サブ装置２００宛てのデータならば'２'、サブ装置３００宛てならば'５'となる。

また、サブ装置種別は、メイン装置１００がサブ装置の種類に応じてサブ装置２００，３００向けの搬送指令を生成するのに用いる。本実施形態では、サブ装置２００のサブ装置種別は'１'に、サブ装置３００のサブ装置種別は'２'に設定されている。また、サブ装置のローカルアドレスは、基板の搬送先となるプロセスチャンバＰが接続するサブ装置の接続ポートのローカルアドレスである。

従って、図７に示す搬送先指定情報の一例としては、図８に示すように、例えば、基板の搬送先がメイン装置１００のプロセスチャンバＰ−１１であれば、搬送先指定情報７０１に従って搬送先指定情報は'１'となる。搬送先がサブ装置２００のプロセスチャンバＰ−２３であれば、搬送先指定情報７０２に従って'２１３'、搬送先がサブ装置３００のプロセスチャンバＰ−３２であれば、搬送先指定情報７０２に従って'５２２'となる。この例において搬送先がサブ装置２００、３００である場合は、搬送先指定情報の左側の数字が“メイン装置ローカルアドレス”を示し、真ん中の数字が“サブ装置種別”を示し、右側の数字が“サブ装置ローカルアドレス”を示す。図８中では、各搬送チャンバＴｃ内の黒丸近傍に接続ポートのローカルアドレスを、各プロセスチャンバＰ内に当該プロセスチャンバに基板を搬送するときの搬送先指定情報を示す。

図７に示す搬送先指定情報の作成は例えば以下のように行えばよい。すなわち、入力操作部を介して、ユーザが基板を搬送させたいプロセスチャンバに関する情報を入力する。メイン装置１００のプロセスチャンバを用いたい場合は、ユーザは、メイン装置１００の所定のプロセスチャンバを、入力操作部を介して指定する。メイン装置１００にはローカルアドレスが割り当てられているので、ホストＰＣ４００は、該ユーザ入力に応じたローカルアドレスを含む搬送先指定情報７０１を作成する。また、サブ装置２００のプロセスチャンバを用いたい場合は、ユーザは、サブ装置２００が接続されたメイン装置１００のローカルアドレスと、対象となる装置がサブ装置２００であることと、基板搬送対象のプロセスチャンバに対応するサブ装置２００中のローカルアドレスとを、入力操作部を介して入力する。ホストＰＣ４００は、該ユーザ入力に応じた、“メイン装置ローカルアドレス”、“サブ装置種別”、および“サブ装置ローカルアドレス”を含む搬送先指定情報７０２を作成する。

メイン装置への搬送先指定情報７０１はローカルアドレスのみを含んでいるが、搬送先指定情報にローカルアドレスのみが含まれる場合は、搬送すべき基板処理装置はメイン装置（上位装置）１００である、と規定しておけば、メイン装置１００は、該メイン装置１００のローカルアドレスに対応する接続ポートに基板を搬送することを特定することができる。よってこの場合、搬送先指定情報７０１にはローカルアドレスのみが含まれているが、搬送先指定情報７０１は、基板の搬送先の基板処理装置を特定するための情報も実質的に含んでいると言える。よって、搬送先判定部１３２は、搬送先指定情報７０１を解析する場合、搬送先指定情報７０１にローカルアドレスのみが含まれているので、メイン装置１００の上記ローカルアドレスに対応する接続ポートを基板の搬送先として特定することができる。

また、サブ装置への搬送先指定情報７０２には、“メイン装置ローカルアドレス”および“サブ装置種別”が含まれているので、メイン装置１００は基板を搬送すべきサブ装置を特定することができ、“サブ装置ローカルアドレス”が含まれているので、サブ装置は該サブ装置中での基板を搬送すべき接続ポートの位置を特定することができる。よって、搬送先判定部１３２は、搬送先指定情報７０２を解析する場合、“メイン装置ローカルアドレス”に対応する接続ポートに接続された、“サブ装置別”にて特定されるサブ装置が有する、“サブ装置ローカルアドレス”に対応する接続ポートを基板の搬送先として特定することができる。なお、搬送先判定部２３２も、上記と同様にして搬送先指定情報に基づく搬送先の判定を行う。

また、搬送先指定情報作成の他の方法として、所定の基板処理システムの各基板処理装置の接続ポートにそれぞれ搬送先指定情報を割り当て、該割り当てられた搬送先指定情報と各基板処理装置のローカルアドレスとを関連付けたコンフィグレーションテーブルを用いても良い。

上記コンフィグレーションテーブルを用いる場合は、複数の基板処理装置の組み合わせ毎に、組み合わせた後の基板処理システムにおいて各接続ポートに割り当てられた搬送先指定情報と、各基板処理装置のローカルアドレスとを関連付けてコンフィグレーションテーブルを作成しておく。例えば、図８に示すように複数の基板処理装置を接続した基板処理システムに対して、基板処理装置１００、２００、３００の各接続ポート（プロセスチャンバ）に対応する搬送先指定情報（例えば、図７に示す構成の搬送先指定情報）を割り当てる。そして、該割り当てられた搬送先指定情報と、該搬送先指定情報にて特定される接続ポートに対応する、基板処理装置１００、２００、３００の接続ポートのローカルアドレスとを関連付けたコンフィグレーションテーブルを作成し、該コンフィグレーションテーブルを、ホストＰＣ４００に保持させる。

よって、例えば、図８に示す基板処理システムにおいて、メイン装置１００のローカルアドレス'１'に接続されたプロセスチャンバＰ−１１に基板を搬送したい場合は、ユーザが入力操作部を介して、メイン装置１００のローカルアドレス'１'を指定する入力を行う。該ユーザ入力に応じてホストＰＣ４００は、コンフィグレーションテーブルを参照して、メイン装置１００のローカルアドレス'１'に対応する情報を読み出し、搬送先指定情報'１'を生成する。また、図８に示す基板処理システムにおいて、メイン装置２００のローカルアドレス'２'に接続されたプロセスチャンバＰ−２１に基板を搬送したい場合は、ユーザが入力操作部を介して、メイン装置２００のローカルアドレス'２'を指定する入力を行う。該ユーザ入力に応じてホストＰＣ４００は、コンフィグレーションテーブルを参照して、メイン装置２００のローカルアドレス'２'に対応する情報を読み出し、搬送先指定情報'２１２'を生成する。

このとき、搬送先判定部１３２は、例えば搬送先指定情報'１'を受信すると、情報がローカルアドレスのみであるので、メイン装置１００の接続ポートに基板を搬送すると判定する。また、搬送先判定部１３２は、例えば搬送先指定情報'２１２'を受信すると、該搬送先指定情報の左側が'２'であり、真ん中が'１'であるので、メイン装置１００のローカルアドレス'２'の接続ポートに接続されたサブ装置２００に基板を搬送すると判定する。また、搬送先指定情報の右側が'２'であるので、上記サブ装置２００のローカルアドレス'２'の接続ポートに基板を搬送すると判定する。搬送先判定部２３２も同様に判定を行う。

なお、基板処理を複数のプロセスチャンバにおいて連続的に行う場合は、対応する搬送先指定情報を上記基板処理の順番に応じて配列することで、搬送手順データを作成することができる。例えば、ユーザが所望の順番で基板搬送対象のプロセスチャンバを入力操作部により入力すると、ホストＰＣは、上記順番に沿って対応する搬送先指定情報を配列することで、搬送手順データを作成することができる。

つまり、上述したローカルアドレスは各基板処理装置１００〜３００内で一意であるが、基板処理システムでは必ずしも一意とはならない。従って、搬送先がどの基板処理装置宛てのものであるかを特定可能な付加情報を付加することで、基板処理システムにおいて異なる基板処理装置のプロセスチャンバＰを特定し、基板を搬送することができる。なお、上述したサブ装置２００，３００への搬送先指定情報のうち、サブ装置種別やメイン装置のローカルアドレスは、必ずしも必須ではなく、他の付加情報に変えてもよい。しかし、メイン装置のローカルアドレスを用いれば、基板処理装置が複数メイン装置１００に接続している場合に、いずれの基板処理装置へ搬送すべきかを特定できる。また、搬送手順データを入力する際に、メイン装置１００に関してはプロセスチャンバＰを指定する場合と同じようにローカルアドレスを指定し、下位のサブ装置２００，３００のローカルアドレスを続けて入力すればよいので、ユーザが把握しやすいという利点もある。

このように、搬送先指定情報により、基板処理装置は、該基板処理装置が所属する基板処理システムにおいて基板の搬送先を特定することができるので、搬送先指定情報は、該基板処理システムにおける、基板の搬送先となる接続ポートの位置を特定するための情報であると言える。

［搬送フロー及び本発明の作用効果］
次に、図９Ａ，Ｂに示すフローチャートを用いて、メイン装置１００（図９Ａ）及びサブ装置２００，３００（図９Ｂ）の基板の搬送動作を説明する。なお、構成情報は各基板処理装置がすでに取得しており、メイン装置１００は上位装置のない構成情報を取得することで、最上位装置としての動作モードに移行し、サブ装置２００，３００は上位装置が接続された構成情報を取得することで、下位装置としての動作モードに移行する。

まず、メイン装置１００で、搬送手順取得部１３１は、ホストＰＣ４００から送信される搬送手順データを取得する（ステップＳ１０１）。次に、搬送先判定部１３２は、ステップＳ１０１で取得した搬送手順データに基づき、最初の搬送順の搬送先がサブ装置２００，３００宛かを判定する（ステップＳ１０２）。例えば、図６に示す搬送手順データ６０１の場合、最初の搬送先指定情報は'１'であるので、搬送先判定部１３２はメイン装置１００宛てと判定し（ステップＳ１０２：Ｎｏ）、ローカル搬送部１３３は、メイン装置１００のプロセスチャンバＰ−１１への搬送指令を搬送ロボットＴｒ−１１に出力する（ステップＳ１０３）。その後、搬送ロボットＴｒ−１１による基板の搬送が終了し、搬送制御部１３０が搬送終了信号を受信すると（ステップＳ１０４）、搬送制御部１３０は、搬送手順データ（例えば、搬送手順データ６０１）により指定される搬送手順が終了したかを判定する（ステップＳ１０５）。搬送手順が終了していない場合（Ｎｏ）はステップＳ１０２に戻り、次の搬送手順の搬送先がサブ装置２００，３００宛かを判定する。搬送手順が終了するまで、Ｓ１０２以降のステップを繰り返す。

以上のステップを繰り返し、例えば搬送手順データ６０１において、搬送先判定部１３２が、搬送順の３番目の搬送先がサブ装置２００宛であると判定すると（ステップＳ１０２：ＹＥＳ）、次のような処理が行われる。すなわち、搬送制御部１３０は、次以降（４番目以降）の搬送順の搬送先もサブ装置２００宛かを判定し、搬送手順データから連続してサブ装置２００宛てとなっている搬送ジョブを切り出して、搬送指令（サブ装置２００へ出力される搬送手順データ６０２）を生成する（ステップＳ１０６）。図６に示す搬送手順データ６０１であれば３〜４番目にサブ装置２００宛の搬送ジョブが連続していることから、'２１２'、'２１４'のデータ（搬送先指定情報）が切り出され、これに基づき搬送指令（搬送手順データ６０２）を生成し、サブ装置２００に出力する（ステップＳ１０７）。すなわち、搬送制御部１３０は、所定の順番においてサブ装置２００（３００）が有する接続ポートに搬送すべき時は、搬送手順データからサブ装置２００に関する搬送先指定情報を切り出し、サブ装置２００用の搬送手順データ（例えば、搬送手順データ６０２）を新たに作成し、サブ装置２００へと送信する。

このように、基板の搬送先が自装置であるメイン装置１００ではないと判断される場合、搬送制御部１３０は、搬送先指定情報により基板の搬送先と特定されるサブ装置２００において上記搬送先指定情報にて特定される接続ポートに基板が搬送されるような搬送指令として、基板の搬送対象の接続ポートに対応するローカルアドレスを抽出し、サブ装置２００へと送信する。

これと共に、装置間搬送部１３４は、メイン装置１００の搬送ロボットＴｒ−１１，１２にもサブ装置２００への基板の搬送指令を出力し（ステップＳ１０８）、ローカルアドレス'２'の接続ポートを介してサブ装置２００の搬送ロボットへ基板を受け渡す。つまり、本実施形態では、搬送手順データは、基板に対する処理の手順に沿って規定しており、装置間搬送を行う場合に搬送ロボット間の基板の受け渡し動作までは規定していない。この部分は搬送制御部１３０の側で解釈を行い、基板の搬送指令を生成する。これにより、ユーザがプロセスだけを意識して搬送手順データを作成することができる。すなわち、複数の基板処理装置を所望に応じて組み合わせても、該組み合わせに応じた基板搬送に関する制御プログラムを新たに作成し各基板処理装置に組み込む必要が無くなる。

サブ装置２００は、メイン装置１００から、搬送手順取得部２３１により図６に示すような搬送手順データ６０２を受信すると（ステップＳ２０１）、搬送先判定部２３２は、該取得した搬送手順データ６０２に基づいて基板の搬送先が下位の基板処理装置であるかを判定する（ステップＳ２０２）。宛先がさらに下位の装置ではなく、サブ装置２００内であると判定した場合（ステップＳ２０２：ＮＯ）は、ローカル搬送部２３３は、ステップＳ２０１にて取得した搬送手順データ６０２に基づいて、搬送ロボットＴｒ−２に宛先の接続ポートへの搬送指令を出力する（ステップＳ２０３）。搬送が終了したら（ステップＳ２０４：ＹＥＳ）、搬送制御部２３０は、搬送手順データ６０２により指定される全ての搬送手順が終了したか判定する。（ステップＳ２０５）該搬送手順が終了していない場合（ステップＳ２０５：ＮＯ）は、終了するまでステップＳ２０２移行の動作を繰り返す。

ステップＳ２０２で、搬送先判定部２３２により基板の搬送先が下位の基板処理装置であると判定されると（ＹＥＳ）、ステップＳ２０６に移行する。ステップＳ２０６では、搬送制御部２３０は、メイン装置１００から送信された搬送手順データにおいて当該下位の基板処理装置宛ての搬送ジョブが連続している場合は、当該連続している搬送ジョブを搬送手順データから抽出し、下位装置宛の搬送手順データを生成する。その後、搬送制御部２３０は、この生成された搬送手順データを下位の基板処理装置に出力すると共に（ステップＳ２０７）、装置間搬送部２３４は搬送ロボットＴｒ−２に当該下位装置の搬送ロボットＴｒへの基板の受け渡し指令を出力する（ステップＳ２０８）。その後、下位の装置から搬送終了の信号を搬送制御部２３０が受信したら（ステップＳ２０９：ＹＥＳ）、ステップＳ２０５に移行し、サブ装置２００で受信した全ての搬送手順が終了するまで搬送処理を繰り返す。

本実施形態では、サブ装置２００にさらに下位の基板処理装置は接続していないので、図６に示す搬送手順データ６０２を取得したサブ装置２００ではステップＳ２０６〜Ｓ２０９の動作は実施されない。搬送制御部２３０は、図６に示す搬送手順データ６０２に基づき、ステップＳ２０２〜Ｓ２０５の動作を繰り返してサブ装置２００におけるローカルアドレス'２'、'４'の接続ポートに接続するプロセスチャンバＰに基板を搬送した後、所定の処理を施した基板をメイン装置１００にリターンする。

メイン装置１００では、サブ装置２００から搬送終了信号を搬送制御部１３０が受信すると（ステップＳ１０９：ＹＥＳ）、ステップＳ１０５に移行し、搬送手順データ（例えば、搬送手順データ６０１）により指定される全ての搬送手順が終了するまでステップＳ１０２移行の処理を繰り返す。図６に示す搬送手順データ６０１によれば、次の搬送順（５番目）では、基板の搬送先がサブ装置３００になるので、図６に示すようなローカルアドレス'１'を指定した搬送手順データ６０３がサブ装置３００に出力される。サブ装置３００では、サブ装置２００と同様に図９Ｂに示すフローに沿い、ローカルアドレス'１'のプロセスチャンバＰへ基板搬送を行う。その後、メイン装置１００に戻ってローカルアドレス'３'のプロセスチャンバＰに基板が搬送され、全ての搬送手順が終了する。

以上のように、本実施形態に係る基板処理システムは、プロセスモジュール増設の要求に対し、独立した搬送モジュールＴＭ（基板処理装置）を互いに接続することで、各搬送モジュールＴＭの構成自体を変更することなく、プロセスモジュールの接続数を増加させることができる。

また、接続した基板処理装置を切り離して独立した装置として使用する事も可能であり、基板処理システムの構成の変更が柔軟に行える。また、搬送モジュールをオーダーメイドで作製する必要はなく、汎用的な搬送モジュールの追加，削除等で仕様変更に対応できるので、開発コストの低減等を図ることができる。また、副次的であるが、接続された各装置内は各々独立した制御である為、対装置間でみた場合に並列処理が行われ、装置全体ではタクトが改善するという効果もある。

上述のように、本実施形態では、各基板処理装置が構成情報を取得することにより、自身が上位装置なのか下位装置なのかを認識し、かつ自身のどの接続ポートに他の基板処理装置が接続されているのかを認識することができる。各基板処理装置は、複数の基板処理装置の組み合わせに応じて、上位装置になり得るし、下位装置にもなり得るが、本実施形態のように、構成情報を用いることで、各基板処理装置は、今回の組み合わせに応じた自身の位置づけ（自分が上位装置なのか下位装置なのか）を認識し、適切な役割を果たすことができる。

また、各基板処理装置は搬送先指定情報を取得することにより、複数の基板処理装置が接続された基板処理システムにおける、所定の処理に対応するプロセスモチャンバ（プロセスモジュール）の位置（接続ポートの位置）を特定し、基板を該所定の処理に適したプロセスチャンバに搬送することができる。

すなわち、上位装置は、搬送先指定情報の解析結果、基板の搬送先が自装置である場合は、搬送先指定情報に基づいて、自装置（上位装置）の対応する接続ポートに基板を搬送する制御を行う。

一方、上位装置は、搬送先指定情報の解析結果、基板の搬送先が自装置以外の基板処理装置である場合は、搬送先指定情報にて特定される接続ポートを有する基板搬送装置に基板が搬送されるように、基板を上位装置に接続された少なくとも１つの基板処理装置の１つに基板を搬送する制御を行う。例えば、上位装置に接続された第１の下位装置にさらに第２の下位装置が接続されている基板処理システムにおいて基板の搬送先が第２の下位装置である場合、上位装置は、搬送先指定情報に基づいて、上記第２の下位装置に基板が搬送されるように、基板を第１の下位装置に搬送する。すなわち、上位装置は、搬送先指定情報にて特定される基板処理装置（ここでは、第２の下位装置）に基板が搬送されるように、上位装置および第２の下位装置に接続された第１の下位装置に基板を搬送する制御を行う。第１の下位装置は、どの基板処理装置のどの接続ポートが基板の搬送先かを示す搬送先指定情報に基づいて、上位装置から搬送された基板を第２の下位装置に搬送する制御を行う。

このとき、搬送先指定情報を、所望の基板処理シーケンス（基板処理レシピ）に沿って配列することで搬送手順データを作成することができる。該作成された搬送手順データをメイン装置１００に取得させると、メイン装置１００は、搬送手順データを構成する搬送先指定情報の各々により、上記基板処理シーケンスの各々の処理に対応するプロセスチャンバの位置を、複数の基板処理装置が組み合わせられた基板処理システム中において特定することができる。従って、メイン装置１００は、サブ装置２００、３００にて基板処理を行う場合であっても、上記基板処理シーケンスの適切な処理の順番に合わせて、基板をサブ装置２００、３００に搬送することができる。また、サブ装置２００、３００も、取得した搬送手順データを構成する搬送先指定情報の各々により、適切なプロセスチャンバに基板を搬送することができる。

ところで、別個に用意された複数の基板処理装置を所望に応じて組み合わせて基板処理システムを構築して所望の基板処理シーケンスを行う場合、従来では、該組み合わせに応じた基板搬送の制御プログラムをユーザが作成し、該制御プログラムを各基板処理装置にインストールする必要があった。

しかしながら、本実施形態によれば、上記組み合わせを実行する毎に、該組み合わせに応じた構成情報を各基板処理装置に取得させ、各基板処理装置に対して自身が上位装置（基板搬送の最上流に位置する基板処理装置）なのか、あるいは下位装置（上記基板搬送において上記上位装置よりも下流側の基板処理装置）なのかを認識させる。このとき、各基板処理装置が上位装置としての制御プログラム（例えば、図９Ａ）、および下位装置としての制御プログラム（例えば、図９Ｂ）を保持していれば、上記構成情報を解析することにより得られる認識により、各基板処理装置は、上記組み合わせの中で自身が行うべき機能（上位装置、下位装置としての機能）を果たすことができる。さらに、搬送先指定情報を用いることで、各基板処理装置は、所定の処理を行うべきプロセスチャンバの位置を特定することができるので、該特定されたプロセスチャンバに基板を搬送することで、適切な処理を行うことができる。例えば、搬送先指定情報はどの基板処理装置のどの接続ポートに搬送するのかという情報を含んでいるので、上位装置（メイン装置１００）および下位装置（サブ装置２００、３００）は、上記搬送先指定情報に基づいて適切な場所（自身が有するプロセスチャンバや他の基板処理装置）へと基板を搬送することができる。

このように、本実施形態では、構成情報により各基板処理装置に自身が上位装置なのか下位装置なのかを認識させて自身が行うべき装置として振舞わせ、搬送先指定情報により、所望のプロセスチャンバへと基板を搬送している。従って、別個に用意された複数の基板処理装置を、所望に応じて組み合わせて所望の基板処理シーケンスを行う場合であっても、新たに基板搬送の制御プログラムを作成しインストールすることなく、基板を所望のプロセスチャンバに搬送することができる。よって、所定の基板処理装置（搬送モジュールなど）に新たな基板処理装置を接続する際に要する手間やコストを低減することができ、基板処理装置の拡張、変更を容易に行うことができる。

［変形例］
以上、実施形態について説明したが、本発明の適用は上記実施形態に限定されない。
例えば、図１０Ａに示すように接続ポート数が同じ基板処理装置（搬送モジュールＴＭ）を接続してもよいし、図１０Ｂに示すように基板処理装置を３階層以上になるように接続してもよい。また、１つの搬送モジュールＴＭに設けられる搬送ロボットは図１に示すように複数であっても、１つであってもよい。また、図１１に示すように、下位の基板処理装置は、搬送先が他の基板処理装置であるかを判定する機能を有さないものを接続してもよい。この場合は、サブ装置２００の搬送手順取得部２３１で取得した搬送手順データに基づいて、搬送指令出力部２３５が搬送指令を生成し、搬送ロボットＴｒ−２に出力する。

（その他の実施形態）
上述の実施形態では、図３に示すように、ホストＰＣ４００、メイン装置１００、サブ装置２００、３００を別個に用意しているが、ホストＰＣ４００の搬送手順送信部４１０の機能および構成情報送信部４２０の機能を、メイン装置１００またはサブ装置２００、３００に組み込んでも良い。

また、上述のように、ホストＰＣ４００、とメイン装置１００、サブ装置２００、３００との接続をＬＡＮやＲＳ−２３２等を介してローカルに行っても良いし、インターネットといったＷＡＮ（Ｗｉｄｅ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）を介して接続しても良い。

さらに、本発明では、各基板処理装置は、メイン搬送モジュール制御装置１１０およびサブ搬送モジュール制御装置２１０の双方を備えることができる。この場合は、基板処理装置の組み合わせに応じて、基板処理装置の各々は上位装置および下位装置の双方として機能することができる。また、基板処理装置は、メイン搬送モジュール制御装置１１０およびサブ搬送モジュール制御装置２１０の一方を備えるようにしても良い。この場合は、基板処理装置は、機能として備える制御装置に応じて、上位装置または下位装置専用として用いればよい。例えば、基板処理装置が、メイン搬送モジュール制御装置１１０のみを備える場合は上位装置専用として用い、サブ搬送モジュール制御装置２１０のみを備える場合は下位装置専用として用いればよい。

Claims (7)

1. 基板に対し処理を行うためのプロセスチャンバを接続可能な搬送チャンバと、
   前記搬送チャンバ内に位置し、前記搬送チャンバに接続するプロセスチャンバに基板を搬送するための搬送ロボットと、
   前記搬送ロボットを制御する搬送制御手段と、
   を夫々備えた第１及び第２の基板処理装置を有する基板処理システムであって、
   第１及び第２の基板処理装置の前記搬送チャンバ同士が相互に接続され、
   前記第１及び第２の基板処理装置の搬送制御手段は、
   自装置内で基板の搬送先に一意に割り当てられたローカルアドレスを用いて、前記搬送ロボットを制御し、前記自装置の前記搬送チャンバに接続されるプロセスチャンバに基板を搬送させるローカル搬送部を有し、
   前記第１の基板処理装置の搬送制御手段は、
   少なくとも前記ローカルアドレス、及び、当該ローカルアドレスの属する基板処理装置を特定可能な付加情報を含み、基板の搬送先を前記第１及び第２の基板処理装置内で一意に指定する搬送先指定情報を取得する搬送情報取得手段と、
   前記搬送情報取得手段により取得した搬送先指定情報に基づいて、基板の搬送先が前記第１および第２の基板処理装置のいずれかを判定可能な搬送先判定部と、
   を有することを特徴とする基板処理システム。
2. 前記第１の基板処理装置の搬送制御手段は、前記搬送先判定部により基板の搬送先が前記第２の基板処理装置であると判定したときに、前記搬送先指定情報からローカルアドレスを抽出し、前記第２の基板処理装置に搬送指令を出力する装置間搬送部を有することを特徴とする請求項１に記載の基板処理システム。
3. 前記搬送情報取得手段は、基板の処理手順に沿った基板の搬送順序及び搬送先を特定可能な情報を含む搬送手順情報を取得し、前記搬送手順情報から前記搬送先指定情報を取得し、
   前記第１及び第２の基板処理装置の搬送制御手段は、前記搬送手順情報により指定される搬送順序に従って、基板を搬送するように前記搬送ロボットを制御することを特徴とする請求項１又は２に記載の基板処理システム。
4. 前記搬送先指定情報は、基板の搬送先が複数の前記基板処理装置をまたぐ場合に、基板の供給源から見て上流側から下流側に向かって接続する前記基板処理装置を階層的に指定する構造のデータとして構成されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の基板処理システム。
5. 前記搬送先指定情報は、前記第２の基板処理装置の搬送チャンバを接続する第１の基板処理装置の接続ポートのローカルアドレスを規定する装置間アドレス部と、基板の搬送先となるプロセスチャンバに接続する前記第２の基板処理装置の接続ポートのローカルアドレスを規定するサブアドレス部と、を含む構造のデータにより、前記第２の基板処理装置への搬送を指定するものであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の基板処理システム。
6. 基板に対し処理を行うためのプロセスチャンバ及び他の基板処理装置を接続可能な搬送チャンバと、
   前記搬送チャンバ内に位置し、前記搬送チャンバに接続するプロセスチャンバに基板を搬送するための搬送ロボットと、
   前記搬送ロボットを制御する搬送制御手段とを備え、
   前記搬送制御手段は、
   自装置内で基板の搬送先に一意に割り当てられたローカルアドレスを少なくとも含み、さらに当該ローカルアドレスの属する基板処理装置を特定可能な付加情報を任意に含み、基板の搬送先を自装置及び前記搬送チャンバに接続する他の基板処理装置内で一意に指定する搬送先指定情報を、取得する搬送情報取得手段と、
   前記搬送情報取得手段により取得した搬送先指定情報に基づいて、基板の搬送先がいずれの基板処理装置かを判定可能な搬送先判定部と、
   前記搬送先判定部の判定結果、基板の搬送先が自装置内である場合に、該自装置内で基板の搬送先に一意に割り当てられたローカルアドレスを用いて、前記搬送ロボットを制御し、前記自装置の前記搬送チャンバに接続されるプロセスチャンバに基板を搬送させるローカル搬送部と、
   前記搬送先判定部の判定結果、基板の搬送先が前記他の基板処理装置内である場合に、前記基板を前記他の基板処理装置に搬送させる装置間搬送部と
   を有することを特徴とする基板処理装置。
7. 複数の接続ポートを有し、該複数の接続ポートの少なくとも１つに他の基板処理装置を接続可能な搬送チャンバと、
   前記搬送チャンバに前記他の基板処理装置を接続した際に自装置が基板搬送の最上流に位置する第１の装置であるのか、または自装置が前記基板搬送の流れにおいて前記第１の装置よりも下流側の第２の装置であるのかを認識させるための第１の情報を取得し、該第１の情報に基づいて、自装置が前記第１の装置なのか前記第２の装置なのかを認識する手段と、
   自装置が前記第１の装置であると認識される場合に用いられる前記第１の装置用の基板搬送手段および自装置が前記第２の装置であると認識される場合に用いられる前記第２の装置用の基板搬送手段の少なくとも一方を備え、
   前記複数の接続ポートには、一意にローカルアドレスが割り当てられており、
   前記第１の装置用の基板搬送手段は、
   前記搬送チャンバに前記他の基板処理装置が接続された構成において基板の搬送先となる接続ポートの位置を特定するための第２の情報であって、基板の搬送対象の接続ポートに対応するローカルアドレスに関する第３の情報、および該ローカルアドレスが属する基板処理装置を特定するための第４の情報を含む第２の情報を取得する手段と、
   前記取得された第２の情報に基づいて、基板の搬送先となる基板処理装置を判定する手段と、
   前記判定結果、前記基板の搬送先が自装置内である場合は、前記第２の情報に含まれる第３の情報に基づいて、該ローカルアドレスに対応する接続ポートへと基板を搬送させる手段と、
   前記判定結果、前記基板の搬送先が自装置以外の基板処理装置である場合は、前記第４の情報にて特定される基板処理装置に基板が搬送されるように前記他の基板処理装置の１つに基板を搬送させると共に、前記第４の情報にて特定される基板処理装置において前記第３の情報にて特定される接続ポートに基板が搬送されるような搬送指令を前記他の基板処理装置の１つに出力する手段とを有し、
   前記第２の装置用の基板搬送手段は、
   前記搬送指令を取得する手段と、
   前記取得された搬送指令から、前記基板の搬送対象の接続ポートに対応するローカルアドレスを取得し、該取得されたローカルアドレスに対応する接続ポートへ基板を搬送させる手段と
   を有することを特徴とする基板処理装置。

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