JP4641014B2 - プラズマガンのチャンバへの取り付け構造 - Google Patents

Description

本発明は、プラズマガンのチャンバへの取り付け構造に関する。

プラズマ成膜装置は、プラズマガンから発生したプラズマをイオン源として用いて成膜する装置である。このようなプラズマ成膜装置に用いられているプラズマガンとして、複合陰極型のプラズマガン、圧力勾配型のプラズマガン及びこれらを組み合わせたデュアルタイプのプラズマガンが知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１によれば、デュアルタイプのプラズマガンは、複合陰極型のプラズマガンの利点と圧力勾配型のプラズマガンの利点の両方を併せ持つプラズマガンである。

しかしながら、このデュアルタイプのプラズマガンは、プラズマ成膜装置に取り付ける際、２つの中間電極を同時に取り付けなければならない等、その作業効率が悪いという問題があった。

このような問題に対して、取り付け作業の作業性を良くした真空成膜装置のプラズマ源が知られている（例えば、特許文献２参照）。特許文献２に開示されている真空成膜装置のプラズマ源は、２つの中間電極を別々に取り付けることができるため、その取り付け作業の作業性を良くすることができる。
特許第２９２１８７４号 特開平１１−３１５３７１号公報

しかしながら、特許文献２に開示されているようなプラズマ源では、各々の中間電極の位置決めが困難であり、その取り付け作業の作業性には未だ改善の余地があった。

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、容易に位置決めすることができ、取り付け作業の作業性が高いプラズマガンのチャンバへの取り付け構造を提供することを目的とする。

前記課題を解決するために本発明に係るプラズマガンのチャンバへの取り付け構造は、その壁にプラズマ流入口が設けられたチャンバと、前記プラズマ流入口の周囲に設けられた第１係合部及び第１位置決め部と、そのプラズマ流出口の周囲にフランジを有し、該フランジに前記第１係合部と係合する第２係合部及び前記第１位置決め部によって位置決めされる第２位置決め部が形成されたプラズマガンと、ロック機構と、を備え、前記第２係合部が前記チャンバの前記第１係合部と係合し、前記第２位置決め部が前記チャンバの前記第１位置決め部によって位置決めされ、前記プラズマ流出口が前記チャンバの前記プラズマ流入口に連通し、かつ、前記フランジが前記ロック機構によって前記チャンバの壁に押し付けられて固定されるようにして、前記プラズマガンが前記チャンバに取り付けられている。

これにより、容易に位置決めすることができ、取り付け作業の作業効率がよくなる。

本発明に係るプラズマガンのチャンバへの取り付け構造では、前記第１係合部が係合凸部で構成されており、前記第２係合部が係合凹部で構成されていてもよい。

本発明に係るプラズマガンのチャンバへの取り付け構造では、前記係合凸部が本体部と該本体部の先端に設けられた前記本体部より断面積が大きい頭部とからなる第１ピンであり、前記係合凹部が貫通孔で、前記係合凸部の頭部が挿通可能な大孔部とこれに連通する前記係合凸部の本体部が挿通可能な小孔部であってもよい。

本発明に係るプラズマガンのチャンバへの取り付け構造では、前記第１位置決め部は、位置決め凸部であり、前記第２位置決め部は、位置決め凹部であってもよい。

本発明に係るプラズマガンのチャンバへの取り付け構造では、前記位置決め凸部は、第２ピンであり、前記位置決め凹部は、位置決めすべき方向において前記第２ピンが勘合する幅を有し、その他の方向において前記第２ピンの幅より大きい幅を有してもよい。

本発明に係るプラズマガンのチャンバへの取り付け構造では、前記ロック機構は、クランプ機構で構成されていてもよい。

本発明のプラズマガンのチャンバへの取り付け構造によれば、容易に位置決めすることができ、取り付け作業の作業効率をよくすることが可能となる。

以下、本発明の好ましい実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係るプラズマガンのチャンバへの取り付け構造の概略構成を示す模式図である。なお、図１においては、一部を省略している。また、図１において、プラズマガンのチャンバへの取り付け構造における上下方向を、図における上下方向として表わしている。

図１に示すように、本実施の形態１に係るプラズマガンのチャンバへの取り付け構造１００は、プラズマガン１と、チャンバ２と、ロック機構３（図４参照）と、を有している。

プラズマガン１は、カソード部７と中間電極ユニット６を有しており、中間電極ユニット６は、第１中間電極４及び第１磁石４９からなる第１中間電極サブユニット９６と、第２中間電極５及び第２磁石７２からなる第２中間電極サブユニット９７と、絶縁部材５１と、を有している。

まず、カソード部７について説明する。

カソード部７は、円筒状の容器１０を有している。そして、容器１０の内部空間により、放電空間１１が形成される。

容器１０の両端には、それぞれフランジ１２、１３が設けられている。容器１０のフランジ１３側の端は開放されている。一方、容器１０のフランジ１２側の端は、円板状の蓋部材１４によって閉鎖されている。蓋部材１４のフランジ１２と当接する面（以下、蓋部材１４の裏面という）には、厚み方向に凹んだ環状の第１位置決め凹部１５が、フランジ１２の外周面と第１位置決め凹部１５を構成する外周壁とが接するように設けられている。すなわち、第１位置決め凹部１５が、フランジ１２と勘合するように設けられている。これにより、容器１０と蓋部材１４とは、各々の中心軸が一致するように互いに位置決めされる。

第１位置決め凹部１５には、厚み方向に環状の溝２６が形成されており、溝２６には、気密性を保つためのＯリング２７が配設されている。また、容器１０の周壁のフランジ１２側端部には、円環状の固定部材２８が、容器１０に嵌入されており、固定部材２８とフランジ１２との間には、リング部材３０が、容器１０に嵌入されて配設されている。固定部材２８の適所には、厚み方向に貫通孔２９が複数設けられており、貫通孔２９には、ボルト３１が挿通されている。このボルト３１の先端部は、蓋部材１４に形成されたねじ孔に螺入されている。このように、ボルト３１が、固定部材２８と蓋部材１４とを締結することにより、容器１０と蓋部材１４が固定されている。このとき、リング部材３０によって、フランジ１２に過度の力が加わるのが防止され、フランジ１２が破損されるのを防止することができる。これにより、容器１０と蓋部材１４の位置決め及び取り付けを容易に行うことができる。

蓋部材１４の表面には、厚み方向に凹んだ環状の冷却流路用凹部２１が、後述する補助陰極１６の基端部を囲むように設けられている。冷却流路用凹部２１には、冷却流路用凹部２１の開口部を覆うように冷却流路用蓋部材２２が設けられている。冷却流路用凹部２１と冷却流路用蓋部材２２で形成される空間が、第３冷却流路２３を構成する。そして、冷却流路用蓋部材２２の適所には、冷却媒体を第３冷却流路２３に供給及び排出するための第３冷却媒体供給口２４及び第３冷却媒体排出口２５がそれぞれ設けられている。第３冷却媒体供給口２４は、Ｌ字状の継ぎ手７８を介して、後述する第１冷却媒体排出口４５と適宜な配管により接続されている。また、第３冷却媒体排出口２５は、適宜な配管により冷却媒体供給装置（図示せず）と接続されている。このように形成された第３冷却流路２３に冷却媒体（ここでは、水）を流すことにより、補助陰極１６の基端部が、冷却される。

蓋部材１４には、蓋部材１４の中心部を気密的に貫通して、容器１０の中心軸に沿って延びるように、タンタル（Ｔａ）で構成された円筒状の補助陰極１６が配設されている。補助陰極１６の基端部は、図示されないアルゴン（Ａｒ）ガスタンクと適宜な配管により接続されており、補助陰極１６の先端からＡｒガスが放電空間１１内に供給される。また、補助陰極１６の先端近傍の外周面には、６ホウ化ランタン（ＬａＢ₆）で構成された円環状の主陰極１７が設けられている。補助陰極１６と主陰極１７によって、カソード１８が構成されている。カソード１８は、適宜な配線により、直流電源からなる主電源（図示せず）の負極と抵抗体（図示せず）を介して電気的に接続されている。

また、蓋部材１４の裏面には、蓋部材１４の中心軸と同軸状に、蓋部材１４の厚み方向に延びるように、補助陰極１６よりも径の大きいモリブデン（Ｍｏ）、又は、タングステン（Ｗ）で構成された円筒状の保護部材１９が、蓋部材１４に気密的に配設されている。保護部材１９の先端には、タングステンで構成された円環状の窓部材２０が設けられている。この保護部材１９と窓部材２０により、カソード１８が保護される。

次に、中間電極ユニット６について説明する。

まず、第１中間電極サブユニット９６について説明する。

第１中間電極サブユニット９６は、板状の第１フランジ３２と筒状の第１ホルダ部材４３からなる第１ハウジング８と、筒状の第１電極部材４７と、を有する第１中間電極４を備えており、フランジ１３と当接するように設けられている。具体的には、第１フランジ３２が、フランジ１３と当接している。そして、第１フランジ３２の一方の主面には、第１ホルダ部材４３の一端が接続されている。また、第１ホルダ部材４３の内孔には、第１電極部材４７が嵌挿されている。

第１フランジ３２は、円板状の第１フランジ本体部３２ａと円板状の第１蓋部３２ｂとを有している。第１フランジ本体部３２ａ及び第１蓋部３２ｂの中心部には、貫通孔３３ａ、３３ｂが設けられている。この貫通孔３３ａ、３３ｂが、プラズマ通過口３３を構成する。そして、第１フランジ本体部３２ａのフランジ１３と当接する主面（以下、第１フランジ本体部３２ａの表面という）には、厚み方向に凹んだ環状の第２位置決め凹部３４が設けられている。この第２位置決め凹部３４に、フランジ１３が勘合する（嵌挿される）ことで、容器１０の中心軸と第１フランジ本体部３２ａの中心軸とが一致するように、第１フランジ本体部３２ａに対し、容器１０が位置決めされる。また、第１フランジ本体部３２ａの表面の第２位置決め凹部３４より内方の部分には、該第２位置決め凹部３４より一段低い凹部１２１が形成されている。そして、第２位置決め凹部３４の内側端部は、フランジ１３の内周面と面一になるように構成されている。これにより、容器１０と第１フランジ本体部３２ａの位置決めを容易にすることができる。

第２位置決め凹部３４の底面には、環状の溝３５が形成されており、溝３５には、気密性を保つためのＯリング３６が配設されている。また、容器１０の周壁のフランジ１３側端部には、円環状の固定部材３７が、容器１０に嵌入されており、固定部材３７とフランジ１３との間には、リング部材４０が、容器１０に嵌入されて配設されている。固定部材３７の適所には、貫通孔３８が複数設けられており、貫通孔３８には、ボルト３９が挿通されている。このボルト３９の先端部が、第１フランジ本体部３２ａに設けられたねじ孔（図示せず）に螺入されている。このように、ボルト３９が、固定部材３７と第１フランジ本体部３２ａとを締結することにより、容器１０と第１フランジ本体部３２ａが固定される。このとき、リング部材４０によって、フランジ１３に過度の力が加わるのが防止され、フランジ１３が破損されるのを防止することができる。これにより、容器１０と第１フランジ本体部３２ａの位置決め及び取り付けを容易に行うことができる。

第１フランジ本体部３２ａの裏面には外周部１２２を凸部として残すようにして凹部１２３が形成されている。凹部１２３には、後述する第１冷却流路４１を構成する第１冷却流路溝４２が設けられている。そして、凹部１２３に第１蓋部３２ｂが嵌め込まれて、第１冷却溝４２を覆っている。第１蓋部３２ｂの上部には、第１冷却流路溝４２と連通するように貫通孔４６が設けられており、該貫通孔４６が、第１冷却媒体供給口４６を形成する。第１冷却媒体供給口４６は、適宜な配管により、後述する第２冷却媒体排出口７０と接続されている。

そして、第１フランジ３２には、第１ホルダ部材４３の一端が接続されており、第１ホルダ部材４３は、プラズマ通過口３３の中心軸と同軸状に設けられている。第１ホルダ部材４３は、第１外筒４３ａと第１内筒４３ｂとで構成されている。第１外筒４３ａの内孔はカソード１８から遠い方の端部が小径に形成されていて、この小径部５６に嵌合するようにして、第１内筒４３ｂが第１外筒４３ａに嵌挿されている。これにより、第１内筒４３ｂと第１外筒４３ａとの間に軸方向に延びる第１筒状空間４４が形成されている。第１内筒４３ｂのカソード１８に近い方の端部は、第１フランジ本体部３２ａに設けられた貫通孔３３ａの開口部に嵌挿されている。第１外筒４３ａのカソード１８に近い方の端部は、第１蓋部３２ｂの貫通孔３３ｂに嵌挿され、その端が第１フランジ本体部３２ａの凹部１２３の底面と当接している。これにより、第１筒状空間４４が閉鎖される。

また、第１外筒４３ａのカソード１８から遠い方の端部には、中心軸に向かって内側に突出したフランジ５６が設けられており、フランジ５６によって第１筒状空間４４が閉鎖されている。そして、第１冷却流路溝４２及び第１筒状空間４４が、第１冷却流路４１を構成する。なお、第１内筒４３ｂのカソード１８から遠い方の端部は、フランジ５６の端面よりも軸方向に突出するように配設されている。また、第１中間電極４は、適宜な配線により、主電源（図示せず）の正極と抵抗体（図示せず）を介して電気的に接続されている。

ここで、第１冷却流路４１について、図１乃至図３を参照しながら詳細に説明する。

図２は、図１に示したプラズマガン１のチャンバ２への取り付け構造１００のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。図３は、第１冷却流路４１の概略構成を示す模式図である。なお、図２及び図３において、プラズマガン１のチャンバ２への取り付け構造１００における上下左右方向を、図における上下左右方向として表わしている。

図１及び図２に示すように、第１フランジ３２の第１フランジ本体部３２ａの下部には、厚み方向に貫通する貫通孔４５が設けられている。該貫通孔４５が、第１冷却媒体排出口４５を構成する。そして、第１フランジ本体部３２ａの凹部１２３の底面には、貫通孔４５に連通するように、第１冷却流路溝４２が設けられている。

図２に示すように、第１冷却流路溝４２は、第１冷却流路溝４２ａ乃至第１冷却流路溝４２ｄから構成されており、第１冷却流路溝４２ａは、第１冷却媒体供給口４６から第１フランジ本体部３２ａの外周に沿うようにして、第１フランジ本体部３２ａの下部まで引き回されるように形成されている。そして、そこから、第１冷却流路溝４２ｂが、径方向に沿って第１筒状空間４４まで延設されている。そして、第１冷却流路溝４２ｃは、第１筒状空間４４の上部から径方向に沿って第１フランジ本体部３２ａの上部まで延びるように形成されている。そして、そこから、第１冷却流路溝４２ｄが、第１フランジ本体部３２ａの外周に沿うようにして、貫通孔４５（第１冷却媒体排出口４５）と連通するように第１フランジ本体部３２ａの下部まで引き回されている。

また、図３に示すように、第１筒状空間４４には、該第１筒状空間４４を仕切る一対の仕切り板１０１、１０１が設けられている。仕切り板１０１は、第１内筒４３ｂの外周面と第１外筒４３ａの内周面とに接続され、カソード１８に近い側の端部は、第１フランジ本体部３２ａと接続され、一方、カソード１８から遠い側の端部は、第１外筒４３ａの小径部５６との間に、隙間１０２を有するように設けられている。第１筒状空間４４の仕切り板１０１で仕切られている一方の空間（第１冷却流路溝４２ｂと連通されている側の空間）が、第１冷却往路１０３ａを構成し、他方の空間（第１冷却流路溝４２ｃと連通されている側の空間）が、第１冷却復路１０３ｂを構成している。このように形成された冷却流路溝４２と第１筒状空間４４で構成されている第１冷却流路４１に冷却媒体を流すことにより、Ｏリング３６、第１磁石４９及び第１電極部材４７が冷却される。

また、第１ホルダ部材４３（正確には、第１内筒４３ｂ）には、タンタルで構成され、耐熱性を有する円筒状の第１電極部材４７が嵌挿されており、第１電極部材４７は、プラズマ通過口３３の中心軸と同軸状に設けられている。第１電極部材４７は、ここでは、その外周面に雄ねじが形成されており、内面に雌ねじが形成された第１内筒４３ｂに螺入されている。第１電極部材４７の内部空間を、カソード１８で発生したプラズマが通過する。第１電極部材４７は、カソード１８に近い側の端部に外側に突出したフランジ５７を有しており、該フランジ５７と第１フランジ３２の第１フランジ本体部３２ａとで、ドーナツ状の保護プレート４８を挟持している。これにより、放電空間１１等に存在するプラズマによって第１フランジ３２がスパッタされるのを防止することができる。

さらに、第１ホルダ部材４３（正確には、第１外筒４３ａ）には、円環状の第１磁石４９が嵌入されており、第１磁石４９はプラズマ通過口３３の中心軸と同軸状に設けられている。第１磁石４９は、ここでは、永久磁石で構成されており、カソード１８に近い側がＮ極、カソード１８に遠い側がＳ極となるように配設されている。そして、第１止め部材５０（ここでは、ナット）が、第１磁石４９を第１フランジ３２（正確には、第１蓋部３２ｂ）とで挟んでいて、これを第１外筒４３ａから抜け落ちないように止めている。

第１ホルダ部材４３の他方の端部（正確には、第１外筒４３ａの端面）は、円環状の絶縁部材５１の一方の端面と当接している。第１外筒４３ａの絶縁部材５１との当接面には、環状の溝５２が形成されており、該溝５２には、気密性を保つためのＯリング５３が配設されている。また、絶縁部材５１の一部は、第１内筒４３ｂに嵌入されている。これにより、第１ホルダ部材４３と絶縁部材５１の位置決め及び取り付けを容易に行うことができる。

また、絶縁部材５１の外周面には、環状の短絡防止溝５４が設けられている。これにより、第１中間電極等で生じた結露水が、絶縁部材５１の外周面を濡らすことにより発生する第１中間電極４と第２中間電極５との間の短絡を防止することができる。

なお、ここでは、短絡防止用溝５４は、絶縁部材５１の外周面に環状に設けているが、これに限定されず、絶縁部材５１の少なくとも下の部分に溝が設けられていればよい。また、絶縁部材５１の直径寸法と、第１外筒４３ａの直径寸法と、後述する第２外筒５８ａの直径寸法と、が略一定となっており、絶縁部材５１、第１外筒４３ａ及び第２外筒５８ａの外表面が、段差がないように形成しているが、これに限定されず、絶縁部材５１の直径寸法を第１外筒４３ａ及び第２外筒５８ａの直径寸法より大きくし、段差を有するように形成してもよい。このように形成すると結露水による第１中間電極４と第２中間電極５との間に生じる短絡をより確実に防止することができる。

次に、第２中間電極サブユニット９７について説明する。

第２中間電極サブユニット９７は、筒状の第２ホルダ部材５８と板状の第２フランジ６４からなる第２ハウジング９と、筒状の第２電極部材７１と、を有する第２中間電極５を備えており、絶縁部材５１の他方の端面と当接している。具体的には、第２ホルダ部材５８が、絶縁部材５１と当接している。そして、第２ホルダ部材５８のカソード１８から遠い側の端部は、第２フランジ６４に当接している。また、第２ホルダ部材５８の内孔には、モリブデンで構成され、耐熱性を有する円筒状の第２電極部材７１が嵌挿されている。なお、第２中間電極５は、適宜な配線により、主電源（図示せず）の正極と抵抗体（図示せず）を介して電気的に接続されている。

第２ホルダ部材５８は、円筒状の第２外筒５８ａと円筒状の第２内筒５８ｂを有しており、第２ホルダ部材５８は、プラズマ通過口３３の中心軸と同軸状に設けられている。第２外筒５８ａのカソード１８に近い方の端部が小径に形成されていて、この小径部６１に嵌合するようにして、第２内筒５８ｂが第２外筒５８ａに嵌挿されている。これにより、第２内筒５８ｂと第２外筒５８ａとの間に軸方向に延びる第２筒状空間６２が形成されている。

上述したように、第２ホルダ部材５８（正確には、第２外筒５８ａ）のカソード１８に近い側の端面は、絶縁部材５１の端面と当接しており、第２外筒５８ａの絶縁部材５１との当接面には、環状の溝５９が形成されており、該溝５９には、Ｏリング６０が配設されている。また、第２内筒５８ｂのカソード１８に近い側の端部には、外周面側に切り欠きを有する位置決め突起部６３が設けられている。この位置決め突起部６３に、絶縁部材５１の一部が嵌入されることにより、絶縁部材５１と第２ホルダ部材５８との位置決め及び取り付けを容易に行うことができる。

第２内筒５８ｂのカソード１８に遠い方の端部は、後述する第２フランジ本体部６４ａに設けられた貫通孔６５ａの開口部に嵌挿されている。第２外筒５８ａのカソード１８に遠い方の端部は、第２蓋部６４ｂの貫通孔６５ｂに嵌挿され、その端が第２フランジ本体部６４ａの凹部１２５の底面と当接している。これにより、第２筒状空間６２が閉鎖される。そして、第２筒状空間６２が、第２冷却流路６６を構成する。

また、第２ホルダ部材５８（正確には、第２外筒５８ａ）には、円環状の第２磁石７２が、嵌入されており、第２磁石７２は、プラズマ通過口３３の中心軸と同軸状に設けられている。第２磁石７２は、ここでは、電磁コイルで構成されており、カソード１８に近い側がＳ極、カソード１８に遠い側がＮ極とする向きの電流が通電されている。そして、第２止め部材７７（ここでは、ナット）が、第２磁石７２を第２フランジ６４とで挟んでいて、これを第２外筒５８ａから抜けないように止めている。

第２フランジ６４は、円板状の第２フランジ本体部６４ａと円板状の第２蓋部６４ｂを有しており、第２フランジ本体部６４ａ及び第２蓋部６４ｂには、それぞれ中心部に厚み方向に貫通する貫通孔６５ａ、６５ｂが設けられている。この貫通孔６５ａ、６５ｂが、プラズマ流出口６５を構成する。

第２フランジ本体部６４ａの貫通孔６５ａには、第２内筒５８ｂのカソード１８から遠い方の端部が嵌挿されており、第２フランジ本体部６４ａは、プラズマ通過口３３の中心軸と同軸状に設けられている。また、第２フランジ本体部６４ａのカソード１８に近い側の主面（以下、第２フランジ本体部６４ａの表面という）には、外周部１２４を凸部として残すようにして、凹部１２５が形成されている。凹部１２５には、第２冷却流路６６を構成する第２冷却流路溝６７が設けられている。そして、凹部１２５に第２蓋部６４ｂがはめ込まれて第２冷却流路溝６７を覆っている。

第２蓋部６４ｂは、プラズマ通過口３３の中心軸と同軸状に設けられており、第２蓋部６４ｂには、第２外筒５８ａのカソード１８から遠い側の端部が当接している。具体的には、第２外筒５８ａの該端部には、小径部６８が形成されており、該小径部６８が第２蓋部６４ｂの貫通孔６５ｂに嵌挿され、その先端が、第２フランジ本体部６４ａの凹部１２５の底面に当接している。

また、第２蓋部６４ｂの上部には、貫通孔６９が第２冷却流路溝６７の上流端と連通するように設けられており、該貫通孔６９が、第２冷却媒体供給口６９を形成する。さらに、第２蓋部６４ｂの下部には、厚み方向に貫通する貫通孔７０が第２冷却流路溝６７の下流端と連通するように設けられており、該貫通孔７０が、第２冷却媒体排出口７０を形成する。そして、第２冷却媒体供給口６９は、適宜な配管により、冷却媒体供給装置（図示せず）に接続されており、第２冷却媒体排出口７０は、第１冷却媒体供給口４６と適宜な配管により接続されている。

ここで、第２冷却流路６６について、図１、図４及び図５を参照しながら詳細に説明する。

図４は、図１に示したプラズマガン１のチャンバ２への取り付け構造１００のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。図５は、図１に示したプラズマガン１の第２冷却流路６６の概略構成を示す模式図である。なお、図４及び図５において、プラズマガン１のチャンバ２への取り付け構造１００における上下左右方向を、図における上下左右方向として表わしている。

図４に示すように、第２フランジ本体部６４ａの凹部１２５の底面には、第２冷却流路溝６７が配設されている。第２冷却流路溝６７は、第２冷却流路溝６７ａ乃至第２冷却流路溝６７ｄから構成されており、第２冷却流路溝６７ａは、第２冷却媒体供給口６９から第２フランジ本体部６４ａの外周に沿うようにして、第２フランジ本体部６４ａの下部まで引き回されるようにして形成されている。そして、そこから第２冷却流路溝６７ｂが、径方向に沿って第２筒状空間６２まで延設されている。そして、第２冷却流路溝６７ｃは、第２筒状空間６２の上部から径方向に沿って第２フランジ本体部６４ａの上部まで延びるようにして形成されている。そして、そこから第２冷却流路溝６７ｄが、第２フランジ本体部６４ａの外周に沿うようにして、貫通孔７０（第２冷却媒体排出口７０）と連通するように第２フランジ本体部６４ａの下部まで引き回されるようにして形成されている。

また、図５に示すように、第２筒状空間６２には、該第２筒状空間６２を仕切る一対の仕切り板１０４、１０４が設けられている。仕切り板１０４は、第２内筒５８ｂの外周面と第２外筒５８ａの内周面とに接続され、カソード１８から遠い側の端部は、第２フランジ本体部６４ａと接続され、一方、カソード１８に近い側の端部は、第２外筒５８ａの小径部６１との間に、隙間１０５を有するように設けられている。第２筒状空間６２の仕切り板１０４で仕切られている一方の空間（第２冷却流路溝６７ｂと連通されている側の空間）が、第２冷却往路１０６ａを構成し、他方の空間（第２冷却流路溝６７ｃと連通されている側の空間）が、第２冷却復路１０６ｂを構成している。このように形成された第２冷却流路溝６７と第２筒状空間６２から構成される第２冷却流路６６に冷却媒体を流すことにより、後述するＯリング８９、第２磁石７２及び第２電極部材７１が冷却される。

また、第２フランジ本体部６４ａの裏面には、厚み方向に貫通孔を有する円環状の保護プレート７３が、プラズマ通過口３３の中心軸と同軸状に取り付けられている。保護プレート７３の貫通孔の直径寸法は、第２フランジ本体部６４ａの貫通孔６５ａの直径寸法よりも若干小さく、保護プレート７３の開口部が、第２フランジ本体部６４ａの内周面よりも中心軸側に突出するように形成されている。これにより、第２電極部材７１のカソード１８から遠い側の端部が、保護プレート７３の開口部と当接し、第２電極部材７１の位置決めを容易に行うことができる。また、プラズマ流出口６５等に存在するプラズマによって第２フランジ６４がスパッタされるのを防止することができる。

第２フランジ６４（正確には、第２フランジ本体部６４ａの表面）の上部には、厚み方向に凹んだねじ孔７４が設けられている（図１及び図４参照）。また、第１フランジ３２の上部には、ねじ孔７４に対応する位置に、厚み方向に貫通する位置決め貫通孔７５が設けられている（図１及び図２参照）。そして、第１フランジ本体部３２ａの表面には、位置決め貫通孔７５に嵌挿され、ねじ孔７４に螺入されているボルト（締結具）７６が設けられている。ボルト７６は、第１フランジ３２を第２フランジ６４に相互に締結し、固定している。これにより、第１中間電極４と第２中間電極５とを、容易に位置決めして、取り付けることができる。

次に、本実施の形態１に係るプラズマガン１のチャンバ２へ取り付けた状態の構造について説明する。

図１に示すように、チャンバ２のプラズマガン１が取り付けられる壁８０の表面には、厚み方向に凹み、段面８２を有する凹部８１が設けられている。凹部８１の底面には、プラズマ流出口６５と連通するように、厚み方向に貫通する貫通孔８３が設けられており、該貫通孔８３が、プラズマ流入口８３を構成する。

凹部８１には、短円筒状の第２絶縁部材８４が配設されている。第２絶縁部材８４の外周面における一方の端部（カソード１８から遠い側の端部）には、径方向外方に突出する突起部８４ａが設けられている。第２絶縁部材８４は、突起部８４ａと段面８２とに跨ってそれらの上に配置されたリング部材８５を凹部８１にねじ止めすることにより、凹部８１に取り付けられている。また、第２凹部８２の第２絶縁部材８４が当接している部分には、環状の溝８６が設けられており、該溝８６には、Ｏリング８７が設けられている。これにより、チャンバ２と第２中間電極５とが気密状態を保つことができ、かつ、互いに絶縁することができる。

第２絶縁部材８４の壁８０と当接している面の反対の面（以下、第２絶縁部材８４の表面という）は、プラズマガン１の第２フランジ本体部６４ａと当接しており、該表面には、環状の溝８８が設けられている。そして、溝８８には、気密性を保つためのＯリング８９が設けられている。

壁８０の上部には、円筒状の絶縁カラー９２と該絶縁カラー９２が嵌入された軸部９９とを有する本体部９０ａと、絶縁材料で構成され、該本体部９０ａの先端に設けられた本体部９０ａよりも断面積が大きい頭部９０ｂとからなる、第１係合部（係合凸部）である第１ピン９０が配設されている。一方、第２フランジ部材６４の上部には、厚み方向に貫通し、第１ピン９０の頭部９０ｂが挿通可能な大孔部９１ａと、これに連通し第１ピン９０の本体部９０ａが挿通可能な小孔部９１ｂからなる係合凹部（第２係合部）９１が設けられている（図４参照）。

また、壁８０の下部には、円筒状の絶縁カラー９３ａと該絶縁カラー９３ａが嵌入された軸部９３ｂとからなる、位置決め凸部（第１位置決め部）である第２ピン９４が配設されている。一方、第２フランジ本体部６４ａの下部には、第２フランジ本体部６４ａの下端から径方向に延びる、位置決め凹部（第２位置決め部）である切り欠き部９５が設けられている。該切り欠き部９５は、位置決めすべき方向において、第２ピン９４が勘合する幅を有し、その他の方向において第２ピン９４の幅より大きい幅を有するように、形成されている。すなわち、切り欠き部９５の左右方向の寸法は、第２ピン９４が挿通でき、かつ、第２ピン９４によって位置決めできるように、第２ピン９４の直径寸法よりも若干大きくなるように設計されている。また、切り欠き部９５の上下方向の寸法は、第２フランジ本体部６４ａの下端から第２ピン９４の直径寸法よりも大きくなるように設計されている。

そして、係合凹部９１（正確には、小孔部９１ｂ）の内面の上端部を、第１ピン９０の本体部９０ａ（正確には絶縁カラー９２）の上端部に当接させることによって、プラズマガン１がチャンバ２に対し、上下方向において位置決めされる。また、係合凹部９１の小孔部９１ｂの上側の縁部が、第１ピン９０の本体部９０ａ（正確には絶縁カラー９２）と係合し、また、切り欠き部９５の内面に、第２ピン９４が左右方向において当接することにより、プラズマガン１がチャンバ２に対し周方向（左右方向）において位置決めをされる。これにより、チャンバ２とプラズマガン１を容易に位置決め及び仮止めすることができる。

このようにして、チャンバ２に仮止めしたプラズマガン１をロック機構３でロックすることにより、プラズマガン１をチャンバ２に容易に取り付けることができる。

ここで、ロック機構３によるプラズマガン１をチャンバ２にロックする方法について、図６を参照して説明する。

図６は、図４に示したロック機構３の概略構成を示した模式図である。

図４及び図６に示すように、ロック機構３は、チャンバ２の壁８０に設けられた台９８に配設されており、ここでは、公知のトグル型のクランプを用いている。

ロック機構３は、基部３ａ、操作アーム３ｂ、係止アーム３ｃ、及び操作アーム３ｂと係止アーム３ｃとを連結するリンク部材３ｄを有している。基部３ａは、台９８に固定される板状の固定部３０１ａと、該固定部３０１ａに垂直な方向に突出したベース部３０１ｂと、からなる。ベース部３０１ｂの基端部には、操作アーム３ｂが設けられており、また、ベース部３０１ｂの先端部には、係止アーム３ｃが設けられている。

操作アーム３ｂは、グリップ部３０２ａとアーム部３０２ｂからなっている。そして、操作アーム３ｂは、アーム部３０２ｂの基端部が、基部３ａのベース部３０１ｂに回動軸２０１を軸にして回動自在に設けられている。

また、係止アーム３ｃは、長さ寸法の長い第１部分３０３ａと長さ寸法の短い第２部分３０３ｂとからなり、Ｌ字状に形成されている。第１部分３０３ａの基端は、基部３ａのベース部３０１ｂの先端部に回動軸２０２を軸にして回動自在に設けられている。第２部分３０３ｂの先端部は、第２フランジ６４の第２フランジ本体部６４ａと当接、または、離隔するように構成されている。また、第１部分３０３ａの基端寄りの位置には、リンク部材３ｄの一端が回動軸２０３を軸にして回動自在に設けられている。

リンク部材３ｄの他端は、操作アーム３ｂの略中央に回動軸２０４を軸にして回動自在に設けられている。また、リンク部材３ｄの略中央部分には、係止アーム３ｃの第１部分３０３ａと当接または離隔するストッパ３０４が設けられている。

そして、回動軸２０１を起点にして、操作アーム３ｂを起立方向（壁８０の厚み方向）に揺動させると、それに伴って、係止アーム３ｃが回転軸２０２を起点にして揺動する。係止アーム３ｃの第２部分の先端部が、第２フランジ本体部６４ａの表面と当接し、第２フランジ本体部６４ａをチャンバ２の壁８０側に押し付ける。このとき、リンク部材３ｄのストッパ３０４の端部が係止アーム３ｃの第１部分と当接し、また、係止アーム３ｃの起立方向に回転軸２０３と回転軸２０４が並ぶことにより、係止アーム３ｃが起立方向に揺動することがないため、プラズマガン１がチャンバ２にロックされる。なお、ロック機構３として、ここでは、トグル型のクランプを使用しているが、これに限定されず、倍力機構を備えた各種のクランプを用いることができる。

次に、本実施の形態１に係るプラズマガン１における冷却媒体の流れについて説明する。

まず、図示されない冷却媒体供給装置で冷却された冷却媒体が、適宜な配管を介して第２冷却媒体供給口６９に供給される。そして、冷却媒体は、第２冷却媒体供給口６９から第２フランジ本体部６４ａの外周に沿うようにして、第２フランジ本体部６４ａの下部まで第２冷却流路溝６７ａを流れ、そこから、第２筒状空間６２（正確には、第２冷却往路１０６ａ）に到る第２冷却流路溝６７ｂを流れる（図４参照）。それから、冷却媒体は、第２冷却往路１０６ａを流れ、隙間１０５で折り返して、第２冷却復路１０６ｂを流れる（図５参照）。このとき、第２内筒５８ｂを介して第２電極部材７１が冷却され、また、第２外筒５８ａを介して第２磁石７２が冷却される。そして、冷却媒体は、第２フランジ本体部６４ａの上部まで第２冷却流路溝６７ｃを流れ、そこから、第２フランジ本体部６４ａの外周に沿うようにして第２冷却流路溝６７ｄを流れて第２冷却媒体排出口７０に到る。このようにして、冷却媒体が、第２冷却流路溝６７ａ乃至６７ｄを流れることにより、第２フランジ本体部６４ａが冷却され、これによりＯリング８９が冷却される。かくして、第２冷却流路６６に冷却媒体が流れることにより、Ｏリング８９、第２磁石７２及び第２電極部材７１が冷却される。

次に、冷却媒体は、第２冷却媒体排出口７０から適宜な配管を介して第１冷却媒体供給口４６に供給される。そして、冷却媒体は、第１冷却媒体供給口４６から第１フランジ本体部３２ａの外周に沿うようにして、第１フランジ本体部３２ａの下部まで第１冷却流路溝４２ａを流れ、そこから、第１筒状空間４４（正確には、第１冷却往路１０３ａ）に到る第１冷却流路溝４２ｂを流れる（図２参照）。それから、冷却媒体は、第１冷却往路１０３ａを流れ、隙間１０２で折り返して、第１冷却復路１０３ｂを流れる（図３参照）。このとき、第１内筒４３ｂを介して第１電極部材４７が冷却され、また、第１外筒４３ａを介して第１磁石４９が冷却される。そして、冷却媒体は、第１フランジ本体部３２ａの上部まで第１冷却流路溝４２ｃを流れ、そこから、第１フランジ本体部３２ａの外周に沿うようにして第１冷却流路溝４２ｄを流れて第１冷却媒体排出口４５に到る。このようにして、冷却媒体が、第１冷却流路溝４２ａ乃至４２ｄを流れることにより、第１フランジ本体部３２ａが冷却され、これによりＯリング３６が冷却される。かくして、第１冷却流路４１に冷却媒体が流れることにより、Ｏリング３６、第１磁石４９及び第１電極部材４７が冷却される。

次に、冷却媒体は、第１冷却媒体排出口４５から適宜な配管を介して第３冷却媒体供給口２４に供給され、第３冷却流路２３を流れる。これにより、補助陰極１６の基端部が冷却される。そして、冷却媒体は、第３冷却媒体排出口２５から適宜な配管を介して冷却媒体供給装置に排出される。

次に、本実施の形態１に係るプラズマガン１のチャンバ２への取り付け構造１００におけるプラズマガン１の組み立て方法について説明する。

まず、カソード部７の組み立て方法について説明する。

蓋部材１４の裏面に、カソード１８等を取り付ける。このカソード１８は、公知の複合陰極型のものと同等であるので、詳細な取り付け方法については省略する。カソード１８等を取り付けた蓋部材１４の裏面に設けられた環状の溝２６にＯリング２７をはめ込み、第１位置決め凹部１５に容器１０のフランジ１２を嵌め込む。このとき、フランジ１２の外周面と第１位置決め凹部１５を構成する外周壁とが接触するので、容器１０と蓋部材１４との位置決めが相互にされる。したがって、位置決めを容易に行うことができる。

そして、固定部材２８に設けられた貫通孔２９にボルト３１を挿通させ、ボルト３１により、固定部材２８と蓋部材１４とを締結する。これにより、蓋部材１４に容器１０が固定される。

次に、中間電極ユニット６の組み立て方法について説明する。

第１内筒４３ｂの一端に保護プレート４８を配置し、第１電極部材４７を第１内筒４３ｂの内孔に嵌挿する。ここでは、第１内筒４３ｂの内周面及び第１電極部材４７の外周面には、ねじが切ってあり、第１電極部材４７を第１内筒４３ｂに螺嵌させる。このとき、第１内筒４３ｂの一方の端面と第１電極部材４７のフランジ５７とで、保護プレート４８を挟んで固定する。

そして、第１内筒４３ｂに第１フランジ本体部３２ａを貫通孔３３ａにおいて嵌入させて、第１フランジ本体部３２ａを保護プレート４８に当接させる。それから、第１フランジ本体部３２ａの裏面に設けられた凹部１２３に第１蓋部材３２ｂを嵌め込んで、これを第１フランジ本体部３２ａに取り付け、第１外筒４３ａを第１内筒４３ｂに嵌入する。このようにして、第１中間電極４が組み立てられる。

次に、第１外筒４３ａに第１磁石４９を嵌入して、第１止め部材（ナット）５０を第１外筒４３ａに螺嵌させ、第１磁石４９を第１止め部材５０と第１蓋部材３２ｂとで挟んで第１外筒４３ａに固定する。このようにして、第１中間電極サブユニット９６が組み立てられる。

一方、第２中間電極サブユニット９７は、以下のようにして組み立てられる。

まず、第２フランジ本体部６４ａの裏面に、保護プレート７３をねじ止めして固定し、第２フランジ本体部６４ａの凹部１２５に、第２蓋部材６４ｂを嵌め込む。そして、第２ホルダ部材５８の一端を第２フランジ６４のプラズマ流出口６５に嵌入し、第２電極部材７１を第２内筒５８ｂの内孔に嵌挿する。ここでは、第２内筒５８ｂの内周面及び第２電極部材７１の外周面には、ねじが切ってあり、第２電極部材７１を第２内筒５８ｂに螺嵌させる。このようにして、第２中間電極５が組み立てられる。

次に、第２外筒５８ａに第２磁石７２を嵌入させて、第２止め部材（ナット）７７を第２外筒５８ａに螺嵌させ、第２磁石７２を第２止め部材７７と第２蓋部材６４ｂとで挟んで固定する。このようにして、第２中間電極サブユニット９７が組み立てられる。

そして、この組み立てた第２中間電極サブユニット９７における第２外筒５８ａの溝５９に、Ｏリング６０をはめ込み、また、上述した第１中間電極サブユニット９６における第１外筒４３ａの溝５２に、Ｏリング５３をはめ込む。ついで、第１フランジ本体部３２ａの裏面と第２フランジ本体部６４ａの表面を対向させ、第１外筒４３ａの端面と第２外筒５８ａの端面で絶縁部材５１を挟む。そして、第１フランジ３２の貫通孔７５にボルト（締結具）７６を挿通させ、ボルト７６の先端部を第２フランジ６４のねじ孔７４に螺入させ、第１フランジ３２（第１中間電極サブユニット９６）と第２フランジ６４（第２中間電極サブユニット９７）とを締結して、互いに固定する。このとき、絶縁部材５１の一方の端部が、第１内筒４３ｂの外周面に嵌入され、また、絶縁部材５１の他方の端部が、第２内筒５８ｂの位置決め突起部６３に嵌入され、さらには、第１フランジ３２の貫通孔７５が、第２フランジ６４に設けられたねじ孔７４に一致する位置に設けられていることから、第１中間電極サブユニット９６、絶縁部材５１及び第２中間電極サブユニット９７の位置決め及び取り付けを容易に行うことができる。このようにして、中間電極ユニット６が組み立てられる。

この組み立てた中間電極ユニット６における第１フランジ本体部３２ａの溝３５にＯリング３６をはめ込む。そして、上述したカソード部７のフランジ１３を、中間電極ユニット６の第２位置決め凹部３４に嵌め込む。ついで、固定部材３７の貫通孔３８にボルト３９を挿通させ、ボルト３９により固定部材３７と第１フランジ３２とを締結し、中間電極ユニット６とカソード部７とを相互に固定する。このとき、第２位置決め凹部３４の外周壁とフランジ１３の外周面とが接触し、また、第２位置決め凹部３４の内側端部は、フランジ１３の内周面と面一になるため、中間電極ユニット６とカソード部７の位置決め及び取り付けを容易に行うことができる。このようにして、プラズマガン１が組み立てられる。

次に、プラズマガン１のチャンバ２への取り付け方法について説明する。

上述のように組み立てたプラズマガン１の第２ベース部材６４の上部に設けられた係合凹部９１の大孔部９１ａに、チャンバ２の壁８０の表面に設けられた第１ピン９０を挿通させる。このとき、第２ベース部材６４の下部に設けられた切り欠き部９５に、壁８０の表面に設けられた第２ピン９４を挿通させる。そして、プラズマガン１全体を下方に移動させ、係合凹部９１の小孔部９１ｂに第１ピン９０を挿通させ、小孔部９１ｂの内面の上端部を、第１ピン９０の本体部９０ａ（正確には絶縁カラー９２）の上端部に当接させる。これにより、小孔部９１ｂの上側の縁部が、第１ピン９０の本体部９０ａ（正確には絶縁カラー９２）と係合する。このようにして、プラズマガン１がチャンバ２に対し、上下方向の位置決めと仮止めがされる。また、係合凹部９１の小孔部９１ｂの内面と第１ピン９０の本体部９０ａが、左右方向において当接し、切り欠き部９５の内面に、第２ピン９４が左右方向に当接することにより、プラズマガン１がチャンバ２に対し周方向（左右方向）の位置決めされる。

そして、図６に示すように、ロック機構３の操作アーム３ｂを起立方向に揺動させ、係止アーム３ｃを第２フランジ６４と当接させることにより、プラズマガン１がチャンバ２にロックされる。

このように、本実施の形態１に係るプラズマガン１のチャンバ２への取り付け構造１００では、プラズマガン１を容易に組み立てることが可能となり、また、このように組み立てたプラズマガン１を容易にチャンバ２に取り付けることが可能となり、その作業時間の短縮を図ることが可能になる。

なお、本実施の形態では、第１ホルダ部及び第２ホルダ部を、それぞれ外筒と内筒から構成されているとしたが、これに限定されず、１つの部材で一体成形されている構成としてもよい。また、第１フランジ及び第２フランジを、それぞれフランジ本体部と蓋部から構成されているとしたが、これに限定されず、１つの部材で一体成形されている構成としてもよい。さらには、第１ハウジング及び第２ハウジングを、それぞれホルダ部とフランジ部とから構成されているとしたが、これに限定されず、１つの部材で一体成形されている構成としてもよい。また、チャンバ２の下部に第２中間電極５等を冷却するためのファンを設ける構成としてもよい。

本発明のプラズマガンのチャンバへの取り付け構造は、容易に位置決めすることができることにより、取り付け作業の作業効率がよいプラズマガンのチャンバへの取り付け構造として有用である。

本発明の実施の形態１に係るプラズマガンのチャンバへの取り付け構造の概略構成を示す模式図である。 図１に示したプラズマガンのチャンバへの取り付け構造のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面を示す断面図である。 図１に示したプラズマガンの第１冷却流路の概略構成を示す模式図である。 図１に示したプラズマガンのチャンバへの取り付け構造のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面を示す断面図である。 図１に示したプラズマガンの第２冷却流路の概略構成を示す模式図である。 図４に示したロック機構の概略構成を示した模式図である。

符号の説明

１ プラズマガン
２ チャンバ
３ ロック機構
３ａ 基部
３ｂ 操作アーム
３ｃ 係止アーム
３ｄ リンク部材
４ 第１中間電極
５ 第２中間電極
６ 中間電極ユニット
７ カソード部
８ 第１ハウジング
９ 第２ハウジング
１０ 容器
１１ 放電空間
１２ フランジ
１３ フランジ
１４ 蓋部材
１５ 第１位置決め凹部
１６ 補助陰極
１７ 主陰極
１８ カソード
１９ 保護部材
２０ 窓部材
２１ 冷却流路用凹部
２２ 冷却流路用蓋部材
２３ 第３冷却流路
２４ 第３冷却媒体供給口
２５ 第３冷却媒体排出口
２６ 溝
２７ Ｏリング
２８ 固定部材
２９ 貫通孔
３０ リング部材
３１ ボルト
３２ 第１フランジ
３２ａ 第１フランジ本体部
３２ｂ 第１蓋部
３３ プラズマ通過口
３３ａ 貫通孔
３３ｂ 貫通孔
３４ 第２位置決め凹部
３５ 溝
３６ Ｏリング
３７ 固定部材
３８ 貫通孔
３９ ボルト
４０ リング部材
４１ 第１冷却流路
４２ 第１冷却流路溝
４３ 第１ホルダ部
４３ａ 第１外筒
４３ｂ 第１内筒
４４ 第１筒状空間
４５ 第１冷却媒体排出口（貫通孔）
４６ 第１冷却媒体供給口（貫通孔）
４７ 第１電極部材
４８ 保護プレート
４９ 第１磁石
５０ 第１止め部材
５１ 絶縁部材
５２ 溝
５３ Ｏリング
５４ 短絡防止溝
５６ 小径部
５７ フランジ
５８ 第２ホルダ部材
５８ａ 第２外筒
５８ｂ 第２内筒
５９ 溝
６０ Ｏリング
６１ 小径部
６２ 第２筒状空間
６３ 位置決め突起部
６４ 第２フランジ
６４ａ 第２フランジ本体部
６４ｂ 第２蓋部
６５ プラズマ流出口
６５ａ 貫通孔
６５ｂ 貫通孔
６６ 第２冷却流路
６７ 第２冷却流路溝
６８ 小径部
６９ 第２冷却媒体供給口（貫通孔）
７０ 第２冷却媒体排出口（貫通孔）
７１ 第２電極部材
７２ 第２磁石
７３ 保護プレート
７４ ねじ孔
７５ 位置決め貫通孔
７６ 締結具
７７ 第２止め部材
７８ 継ぎ手
８０ 壁
８１ 凹部
８２ 段面
８３ プラズマ流入口（貫通孔）
８４ 第２絶縁部材
８４ａ 突起部
８５ リング部材
８６ 溝
８７ Ｏリング
８８ 溝
８９ Ｏリング
９０ 第１ピン（第１係合部；係合凸部）
９０ａ 本体部
９０ｂ 頭部
９１ 係合凹部（第２係合部）
９１ａ 大孔部
９１ｂ 小孔部
９２ 絶縁カラー
９３ａ 絶縁カラー
９３ｂ 軸部
９４ 第２ピン（位置決め凸部；第１位置決め部）
９５ 切り欠き部（第２位置決め部）
９６ 第１中間電極サブユニット
９７ 第２中間電極サブユニット
９８ 台
９９ 軸部
１００ プラズマガンのチャンバへの取り付け構造
１０１ 仕切り板
１０２ 隙間
１０３ａ 第１冷却往路
１０３ｂ 第１冷却復路
１０４ 仕切り板
１０５ 隙間
１０６ａ 第２冷却往路
１０６ｂ 第２冷却復路
１２１ 凹部
１２２ 外周部
１２３ 凹部
１２４ 外周部
１２５ 凹部
２０１ 回転軸
２０２ 回転軸
２０３ 回転軸
２０４ 回転軸
３０１ａ ベース部
３０１ｂ 固定部
３０２ａ グリップ部
３０２ｂ アーム部
３０３ａ 第１部分
３０３ｂ 第２部分

Claims (4)

1. その壁にプラズマ流入口が設けられたチャンバと、
   前記プラズマ流入口の周囲に設けられた第１ピン及び第２ピンと、
   そのプラズマ流出口の周囲に円板状のフランジを有し、該フランジに前記第１ピンと係合する係合凹部及び前記第２ピンと係合する切り欠き部が形成されたプラズマガンと、
   ロック機構と、を備え、
   前記第１ピンは本体部と該本体部の先端に設けられた前記本体部より断面積が大きい頭部から構成され、
   前記係合凹部は前記第１ピンの頭部が挿通可能な大孔部とこれに連通する前記第１ピンの本体部が挿通可能な小孔部で構成され、
   前記切り欠き部は、前記フランジの周方向において前記第２ピンが嵌合する幅を有し、前記フランジの外周から該フランジの径方向に延びるように形成され、
   前記係合凹部と前記切り欠き部は、前記フランジの中心軸を通る直線上に形成され、
   前記係合凹部の小孔部が前記チャンバの前記第１ピンと係合することによって前記プラズマガンが前記チャンバに対して前記フランジの径方向において位置決めされ、かつ、前記切り欠き部が前記チャンバの前記第２ピンと係合することにより、前記チャンバに対して前記プラズマガンが前記フランジの周方向において位置決めされ、前記プラズマ流出口が前記チャンバの前記プラズマ流入口に連通し、かつ、前記フランジが前記ロック機構によって前記チャンバの壁に押し付けられて固定されるようにして、前記プラズマガンが前記チャンバに取り付けられている、プラズマガンのチャンバへの取り付け構造。
2. 前記切り欠き部は、前記フランジの径方向において前記第２ピンの幅より大きい幅を有する、請求項１に記載のプラズマガンのチャンバへの取り付け構造。
3. 前記ロック機構は、クランプ機構で構成されている、請求項１に記載のプラズマガンのチャンバへの取り付け構造。
4. 前記係合凹部と前記切り欠き部は、前記フランジの中心軸を通り、かつ、上下方向に延びる直線上に形成されている、請求項１に記載のプラズマガンのチャンバへの取付け構造。

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