JP4678059B2 - ショートアーク型放電ランプ - Google Patents

Description

本発明は、半導体や液晶の製造分野などの露光用光源や映写機のバックライト用光源に適用されるショートアーク型放電ランプに関する。

ショートアーク型放電ランプは、発光管内に対向配置された一対の電極の先端距離が短く点光源に近いことから、光学系と組み合わせることによって露光装置用若しくは映写機のバックライト用の光源として利用されている。

特許文献１および２は、従来のショートアーク型放電ランプを開示する。特許文献１に開示されているように、クセノンショートアークランプにおいては発光ガスであるキセノンガス、水銀蒸気ショートアークランプにおいてはバッファガスであるキセノンガス、クリプトンガスおよびアルゴンガスのエキシマ発光が、石英ガラス製の放電容器の内面に白濁を生じさせる、という問題を引き起こしていた。同文献は、このような問題の対策として、該放電容器の紫外線放射発散度が最大となる部分の内面から２００μｍの範囲の平均ＯＨ基濃度が７．８×１０^２４個／ｍ^３以上であり、かつ該内表面から深さ２０μｍの範囲の平均ＯＨ基濃度が１．５×１０^２５個／ｍ^３以上１．２×１０^２６個／ｍ^３以下であることを規定している。このように、ショートアーク型放電ランプでは、放電容器の内面にＯＨ基を含有させることは一般的な技術である。

一方、特許文献２は、発光管の内表面に極近い領域に高濃度のＯＨ基が存在すると、放電ランプの点灯初期においてランプ始動と共に発光管が高温になるため、ＯＨ基を発光管内表面から放出し、発光管内表面から放出されたＯＨ基がＨ_２Ｏとなって発光管内に拡散することが開示されている。同文献は、その対策として、紫外線放射発散度が最大となる部分の内面から２０μｍの範囲の平均ＯＨ基濃度を１０ｐｐｍ以上、１９０ｐｐｍ以下と規定している。

このように発光管にはＯＨ基が含まれており、それが発光空間内にＨ_２Ｏとして拡散することが知られている。更に、発光管内に拡散したＨ_２Ｏは、アークからの熱により酸素と水素に熱分解される。発明者の鋭意検討によって、このようにして発光管内に生成した水素は、照度の安定度を低下させることを見出した。照度安定度はアークが揺らぐことによって、光学系へ光の入射量や入射角度分布が変化することによって生ずる。揺らぎの周期は光学系によって異なるが、概ね数ミリ秒から数秒の間で照度変動が大きくなる所謂チラツキを生じさせる。この照度安定度の低下は、画像投影装置においては、画面のチラツキとして問題になり、露光装置においては、露光ムラという問題を引き起こす。

特許文献３は、発光管内に放出される水素を吸収する水素ゲッターを発光管内に配置することを開示する。図１３は、同文献に開示される放電ランプの構成の概略を示す説明図である。図１４は、図１３に示す放電ランプが備えるゲッターの断面構造を示す。

図１３に示す放電ランプは、バルブ２０１、電極２０２、２０３、封止部２０４、金属箔２０５を備える。２０６は石英筒、２０７は石英棒、２１０は水素ゲッターである。図１４に示すように、水素ゲッター２１０は、タンタル等の金属からなる有底円筒２１１と蓋２１２とからなる金属外皮２１３と、当該金属外皮２１３の内部に密封された円筒状のイットリウムからなるゲッター材２１４とで構成され、有底円筒２１１の鍔部２１１Ａと蓋２１２とが抵抗溶接されることによって金属外皮２１３の内部が密封されている。

この水素ゲッターは、同図に示すように、石英筒２０６でバルブに固定され、当該石英筒２０６に設けられた石英棒２０７の他端をバルブ２０１に溶着することによりバルブ２０１に固定されている。バルブ２０１内の水素は、タンタル等の水素透過性を有する金属外皮２１３を通じて金属外皮２１３の内部に侵入し、ゲッター材２１４によって吸収される。この文献に記載の水素ゲッター２１０によれば、金属外皮２１３の内部にゲッター材２１４が密封されているため、発光空間内の他の物質と反応することなく水素を吸収することができる。

しかしながら、上記のように水素ゲッター２１０をバルブ２０１に取付けることは、水素ゲッターが２１０がバルブ２０１の構成成分であるシリカと反応することにより、照度低下或いはバルブ破裂を引き起こす惧れがあった。

特許２８９１９９７号 特許３５９１４７０号 特公昭５７−２１８３５号

本発明は、以上のような事情に基づいてなされており、発光管内の水素ガスを吸収することによってショートアーク型放電ランプの照度変動率を安定させ、しかも、水素ゲッターを発光管内に安全かつ容易に固定することを目的とする。

請求項１記載のショートアーク型放電ランプは、発光管と、前記発光管の両端のそれぞれに連続して管軸方向外方に向けて伸びる封止管と、前記発光管の内部に互いに対向して配置される一対の電極と、水素を透過させる物質からなる中空容器と前記中空容器の内部に密閉されたゲッター材料とからなる水素ゲッターと、を備えたものにおいて、前記水素ゲッターが前記電極に固定されている、というものである。

請求項２記載のショートアーク型放電ランプは、請求項１記載のショートアーク型放電ランプにおいて、前記電極と、前記電極に給電するための金属箔および外部リードで構成される給電用部材と、前記封止管部を気密に封止するための棒状の封止部材と、を備える電極マウントを備え、前記水素ゲッターは、前記電極マウントを長手方向に切断した断面において前記電極マウントの最大外径部に接する一対の仮想線で挟まれる領域に配置されている、というものである。
請求項３記載のショートアーク型放電ランプは、請求項２記載のショートアーク型放電ランプにおいて、前記電極マウントは、前記電極に給電するための集電板と、前記電極又は前記外部リードを保持するための筒状の保持部材とを備える、というものである。

請求項４記載のショートアーク型放電ランプは、請求項１ないし請求項３記載のショートアーク型放電ランプにおいて、
前記水素ゲッターは、前記中空容器の形状が直管状とされ、前記電極の長手方向と平行に配置されている、というものである。

請求項５記載のショートアーク型放電ランプは、請求項４記載のショートアーク型放電ランプにおいて、
複数の前記水素ゲッターが、前記電極を包囲するように前記電極の周方向に配置されている、というものである。

請求項６記載のショートアーク型放電ランプは、請求項１ないし請求項３記載のショートアーク型放電ランプにおいて、
前記水素ゲッターは、前記中空容器の形状が曲管状とされ、前記電極の周囲に螺旋状に巻回されている、というものである。

本発明のショートアーク型放電ランプは、水素ゲッターが発光管内に配置された電極に固定されている。したがって、ＯＨ基を含有する発光管構成材料を使用して発光管を形成した場合であっても、発光管内に生成した水素を水素ゲッターにより確実に除去することによってチラツキの問題を解消してランプの照度を安定させることができる。しかも、発光管構成材料と水素ゲッターとが反応する、といった不具合を生じることがなく、水素ゲッターを発光管の内部空間に安全かつ確実に配置することができる。

本発明のショートアーク型放電ランプの構成の概略を示す正面図である。 本発明の第１実施例を示す部分説明図である。 第１実施例の水素ゲッターの構成の詳細を示す説明図である。 本発明の第２実施例を示す部分説明図である。 第２実施例の水素ゲッターの構成の詳細を示す説明図である。 本発明の第３実施例を示す部分説明図である。 第３実施例の水素ゲッターの構成の詳細を示す説明図である。 本発明の第４実施例を示す部分説明図である。 第４実施例の水素ゲッターの構成の詳細を示す説明図である。 本発明に係る電極マウントの構成および製造方法を模式的に示す説明用断面図である。 図１のショートアーク型放電ランプの製造方法を模式的に示す説明用断面図である。 本発明に係る電極マウントの他の実施例の構成を模式的に示す説明用断面図である。 従来の放電ランプの構成の概略を示す説明図である。 図１３に示す放電ランプが備えるゲッターの断面構造を示す。

図１は、本発明のショートアーク型放電ランプの概略構成を示す。
同図に示すショートアーク型放電ランプ１０は、略球状に形成された発光管１１および発光管１１の両端のそれぞれに連続する直管状の封止管部１２Ａと１２Ｂを備える。発光管１１の内部には、陰極２の本体部２Ｂと陽極３の本体部３Ｂとが、互いに向き合って配置されると共に、発光物質が封入されている。発光物質は希ガスであり、例えば、０．５ＭＰａ（室温）以上のキセノンガスが封入されている。また、キセノンガス、アルゴンガス、クリプトンのうちの何れか１種以上を０．０１〜1ＭＰａ（室温）封入しても良い。また、発光物質として1ｍｇ／ｃｃ以上の水銀を封入することもできる。

陰極２は、例えばタングステンにより形成されるロッド状の軸部２Ａおよび軸部２Ａよりも大径の本体部２Ｂにより構成される。本体部２Ｂの先端は、陽極３に向かうに従って次第に外径が小さくなるようにテーパー状に形成される。陽極３は、ロッド状の軸部３Ａと軸部３Ａよりも大径の本体部３Ｂとにより構成される。本体部３Ｂの先端は半球状に形成されている。

発光管１１は、例えば紫外線放射発散度が最大となる部分の内面から２０μｍの範囲の平均ＯＨ基濃度が１０ｐｐｍ以上、１９０ｐｐｍ以下の石英ガラス、または内面から２０μｍの範囲の平均ＯＨ基濃度が１．５×１０^２５個／ｍ^３以上、１．２×１０^２６個／ｍ^３以下の石英ガラスにより構成される。石英ガラスに含有されるＯＨ基は、ショートアーク型放電ランプの点灯時に発光管１１の内部空間に放出されると共に内部空間において熱分解されることによって水素を生成する。本発明は、このように発光管１１の内面にＯＨ基を含む石英ガラスを使用することにより発光管の内部空間において不可避的に生成される水素を事後的に除去するために、以下のようにして発光管内に水素ゲッターを設けた。

図１のＸ部分は、発光管１１の内部空間Ｓにおいて水素ゲッターが取付けられた場所を示す。水素ゲッターは、ショートアーク型放電ランプ１０を点灯駆動したときに内部空間Ｓにおいて不可避的に生成する水素を捕捉するため、内部空間Ｓに配置することが必要である。水素ゲッターは、後述する各実施例で説明するようにして陰極２の軸部２Ａの側面に固定されることにより内部空間Ｓに確実に配置される。水素ゲッターは、図１では陰極２の軸部２Ａのみに固定されているが、陽極３の軸部３Ａに固定することもできるし、また、陰極２および陽極３のそれぞれの軸部２Ａおよび３Ａに固定することもできる。水素ゲッターは、水素ゲッターを電極に固定する作業の効率や水素ゲッターの温度を適切に維持するため軸部２Ａ（若しくは軸部３Ａ）に固定することが好ましい。

図２は、図１のショートアーク型放電ランプのＸ部分を拡大した部分説明図である。同図は、軸部２Ａおよび軸部２Ａに固定された水素ゲッター３０の構成についての第１実施例を示す。以下では、便宜のため、陰極２側の軸部２Ａについて説明する。図３は水素ゲッター３０の構成の詳細を示す説明図である。図３（Ａ）は水素ゲッターを斜め方向から見た斜視図、図３（Ｂ）は水素ゲッターを図３（Ａ）に示すＡ−Ａ線で切断した長手方向断面図、図３（Ｃ）は水素ゲッターを図３（Ａ）に示すＢ−Ｂ線で切断した径方向断面図である。

図３に示すように、水素ゲッター３０は、水素を透過させる金属によって構成される直管状の中空容器３１と中空容器３１の内部に密閉されたゲッター材料３２とにより構成される。図２に示すように、複数の水素ゲッター３０が、軸部２Ａの側面を包囲するように互いに離間して軸部２Ａの円周方向に順次に並んで配置され、陰極２の軸線Ｌと平行な姿勢で軸部２Ａの側面に固定されている。各水素ゲッター３０は、２つの固定部材４Ａおよび４Ｂが各中空容器３１を取囲むようにして各中空容器３１の外側に巻回されることによって軸部２Ａから落下しないように軸部２Ａの側面に固定されている。なお、各水素ゲッター３０は各中空容器３１を軸部２Ａの側面に溶接することによって、各中空容器３１を軸部２Ａに一体的に固定することもできる。

水素ゲッター３０を構成する中空容器３１は、図３（Ｂ）に示すように中空容器３１の端部に向かうに従い外径が次第に縮小するスロープ状の封止部３１Ａが形成され、図３（Ｃ）に示すように円形状の断面を有する。各封止部３１Ａは、例えば中空容器を構成する直管部材の両端を冷間圧接加工したり或いは溶接することによってゲッター材料３２が中空容器３１の外部に漏れることのないよう気密に密閉される。なお、中空容器３１は、必ずしもその両端に封止部を形成する必要は無く、例えば有底筒状の部材を用いて一端側のみを封止した構造とすることもできる。また、中空容器３１の端部を溶着することによって気密に封止された封止部を形成しても良い。中空容器３１は、水素を透過させるが水銀と反応し難い金属からなり、例えばタンタル若しくはニオビウムによって構成される。タンタルおよびニオビウムは、単体でも良いし他の物質との化合物でも良い。これらの物質により構成された中空容器３１は、水素を効率良く透過させると共にゲッター材料３２が特に水銀等の放電媒体と反応することを防止し、しかも、発光管１１内に発生した酸素や一酸化炭素などの不純ガスを除去することができる。中空容器３１は、例えば内径が３．０ｍｍ、肉厚が０．１ｍｍである。

中空容器３１の内部に封入されたゲッター材料３２は、例えばイットリウム若しくはジルコニウムである。イットリウムやジルコニウムといった物質は、水素の吸蔵力が優れている。イットリウム、ジルコニウムは、単体であっても他の物質との化合物であっても良い。

以下では、軸部２Ａおよび軸部２Ａに固定された水素ゲッターの構成についての種々の実施例を説明するが、中空容器を構成する材料およびゲッター材料並びに中空容器の封止部の構成および封止方法は上記と同じであるため説明は省略する。

図４は、図１のショートアーク型放電ランプのＸ部分を拡大した部分説明図である。同図は、軸部２Ａおよび軸部２Ａに固定された水素ゲッター５０の構成についての第２実施例を示す。図５は水素ゲッター５０の構成の詳細を示す説明図である。図５（Ａ）は水素ゲッターを斜め方向から見た斜視図、図５（Ｂ）は水素ゲッターを図５（Ａ）に示すＡ−Ａ線で切断した幅方向断面図である。

図５に示すように、水素ゲッター５０は、水素を透過させる金属により構成される直管状の中空容器５１と、中空容器５１内に密閉されたゲッター材料５２とで構成されている。中空容器５１は、図５（Ａ）に示すように、中空容器５１の端部に向かうに従い徐々に外径が縮小するスロープ状の封止部５１Ａが、図３に示す封止部３１Ａと同様にして中空容器５１の両端に形成され、図５（Ｂ）に示すように断面が扁平な形状を有している。

本実施例は、図４に示すように軸部２Ａの全周にわたって環状の凹部２１Ａが形成されている。複数の水素ゲッター５０は、図４に示すように、軸部２Ａの全周にわたって形成された環状の凹部２１Ａの側面を包囲するように互いに離間して軸部２Ａの円周方向に順次に並んで配置され、陰極２の軸線Ｌと平行な姿勢で軸部２Ａの側面に固定されている。各水素ゲッター５０は、２つの固定部材４Ａおよび４Ｂが各中空容器５１を取囲むようにして各中空容器５１の外側に巻回されることによって軸部２Ａから落下しないように凹部２１Ａの側面に固定されている。本実施例においては、水素ゲッター５０が軸部２Ａに形成された環状の凹部２１Ａに配置されるため水素ゲッター５０が軸部２Ａに対して確実に固定される。なお、各水素ゲッター５０は、各中空容器５１を凹部２１Ａの側面に溶接することによって、各中空容器５１を軸部２Ａに一体的に固定することもできる。

図６は、図１のショートアーク型放電ランプのＸ部分を拡大した部分説明図である。同図は、軸部２Ａおよび軸部２Ａに固定された水素ゲッター７０の構成についての第３実施例を示す。図７は水素ゲッター７０の構成の詳細を示す斜視図である。

図７に示すように、水素ゲッター７０は、両端が封じられることによりゲッター材料が密閉された管状部材に対し曲げ加工を施すことによって全体としてコイル形状を有する曲管状の中空容器７１を備える。中空容器７１は、軸部２Ａに固定されたときに軸部２Ａに対して弾性力が働くように調整されたコイル内径を有する。

本実施例は、図６に示すように軸部２Ａの全周にわたって環状の凹部２１Ａが形成されている。図６に示すように、水素ゲッター７０は、コイル状の中空容器７１の弾性力により中空容器７１が環状の凹部２１Ａの側面に螺旋状に巻付くことによって軸部２Ａに固定されている。本実施例は、水素ゲッター７０が軸部２Ａに形成された環状の凹部２１Ａに配置されると共に中空容器７１の弾性力によって軸部２Ａに対して確実に固定される。なお、コイル状の中空容器７１を凹部２１Ａの側面に溶接することによって、中空容器７１を軸部２Ａに一体的に固定することもできる。

図８は、図１のショートアーク型放電ランプのＸ部分を拡大した部分説明図である。同図は、軸部２Ａおよび軸部２Ａに固定された水素ゲッター９０の構成についての第４実施例を示す。図９は水素ゲッター９０の構成の詳細を示す斜視図である。

図９に示すように、水素ゲッター９０は、両端にスロープ状の封止部９１Ａが形成されてゲッター材料が密閉された管状部材に対し曲げ加工を施すことによって全体としてＣ字形状を有する曲管状の中空容器９１を有する。中空容器９１は、軸部２Ａに固定されたときに軸部２Ａに対して弾性力が働くように調整された内径を有する。

本実施例は、２つの環状の落下防止部材５Ａ、５Ｂが上下に離間して軸部２Ａの側面に設けられ、水素ゲッター９０が落下防止部材５Ａおよび５Ｂの間に配置される。水素ゲッター９０は、中空容器９１の弾性力により中空容器９１が軸部２Ａの側面に巻付くことによって軸部２Ａに固定されている。本実施例は、水素ゲッター９０が軸部２Ａに設けられた落下防止部材５Ａおよび５Ｂの間に挟まれるようにして配置されると共に中空容器９１の弾性力によって軸部２Ａに対して確実に固定される。なお、中空容器９１を軸部２Ａの側面に溶接することによって、中空容器９１を軸部２Ａに一体的に固定することもできる。

以上の本発明のショートアーク型放電ランプによれば、発光管を構成する石英ガラスがＯＨ基を含有するものであっても、水素を除去するための水素ゲッター３０（５０、７０、９０）が発光管１１の内部空間Ｓに配置されており、発光管１１の内部空間Ｓにおいて不可避的に生成する水素ガスを水素ゲッターによって確実に除去することができるため、ショートアーク型放電ランプのチラツキを防止して、ランプの照度を安定にすることができる。しかも、水素ゲッター３０（５０、７０、９０）が電極に固定されており、発光管１１を構成する石英ガラスと水素ゲッター３０（５０、７０、９０）とが反応するといった不具合を生じることがないため、水素ゲッター３０（５０、７０、９０）を発光管１１の内部空間Ｓに安全かつ確実に配置することができる。

なお、上記では水素ゲッター３０（５０、７０、９０）が陰極２の軸部２Ａに固定された実施例について説明したが、これに限らず、本発明では水素ゲッター３０（５０、７０、９０）が本体部２Ｂに固定されていても良い。

図１０は、図１に示すショートアーク型放電ランプ用の電極マウントの構成および製造方法を模式的に示す説明用断面図である。図１０に示す電極マウント１００は、陰極側の電極マウントである。図１０（Ｃ）に示す完成後の電極マウント１００は、陰極２を構成する本体部２Ｂおよび軸部２Ａと、給電用の集電板１０１、１０２、金属箔１０３および外部リード１０４と、石英ガラスによって構成される封止部材１０５、保持部材１０６および１０７と、リボン１０８と、水素ゲッター３０とを備えて構成される。集電板１０１、１０２および金属箔１０３は、例えばモリブデンにより構成される。金属箔１０３は、大電流を分流して各金属箔を流れる電流を許容範囲内とするために例えば６枚使用される。水素ゲッターは上記した実施例１ないし４のうち何れのものでも良いが、図１０では実施例１の水素ゲッター３０を備えた電極マウントについて説明する。図１０（Ａ）に示すように、軸部２Ａの根本部に集電板１０１を固定すると共に軸部２Ａの根本部を封止部材１０５の先端側の有底穴１０５ＨＡに挿入して保持した後に、軸部２Ａを保持部材１０６の貫通穴１０６Ｈに挿入すると共に軸部２Ａの先端部を本体部２Ｂの有底穴２ＢＨに挿入する。次いで、外部リード１０４の先端部に集電板１０２を固定すると共に外部リード１０４の先端部を封止部材１０５の根本側の有底穴１０５ＨＢに挿入して保持した後に、外部リード１０４を保持部材１０７の貫通穴１０７Ｈに挿入して、保持部材１０７より突出した外部リード１０４の側面にリボン１０８を装着する。次いで、複数の金属箔１０３を封止部材１０５の側面に互いに重なり合うことのないように離間して配置すると共に、各金属箔１０３の両端のそれぞれを集電板１０１および１０２に接続する。このようにして、図１０（Ｂ）に示す電極マウントの中間品が完成する。その後、図１０（Ｃ）に示すように、図１０（Ｂ）に示す中間品の軸部２Ａの側面に水素ゲッター３０を固定して電極マウント１００が完成する。

図１１は、図１のショートアーク型放電ランプの製造方法を模式的に示す説明用断面図である。図１１では、便宜のため、一方の封止部の製造方法のみを説明し、他方の封止部の製造方法の説明は省略する。図１１（Ａ）に示すように、市販の石英ガラスよりなる球状部１１´および球状部１１´の両端のそれぞれに連続する直管状の枝管部１２Ａ´、１２Ｂ´よりなる発光管構成材料１´を準備し、一方の枝管部１２Ａ´側から発光管構成材料１´の内部に電極マウント１００を挿入する。このとき、本体部２Ｂおよび水素ゲッター３０が球状部１１´の内部に配置されると共にその他の部材が枝管部１２Ａ´の内部に配置されるようにする。次いで、図１１（Ｂ）に示すように、一方の枝管部１２Ａ´の一端部をバーナー等の加熱手段によって加熱して、図１１（Ｃ）に示すように一方の枝管部１２Ａ´の端部を封じる。次いで、図１１（Ｄ）に示すように、保持部材１０６、封止部材１０５、および保持部材１０７に対応する一方の枝管部１２Ａ´をバーナー等の加熱手段で加熱して枝管部１２Ａ´を溶融して縮径させる。こうすることによって、図１１（Ｅ）に示すように、一方の枝管部１２Ａ´を構成する石英ガラスと石英ガラスよりなる封止部材１０５との間にモリブデンよりなる複数の金属箔１０３を介在させることによって気密に封止された封止部１２Ａが形成される。最後に、外部リード１０４の根本部が封止部１２Ａの外端部から突出するように図１１（Ｅ）に示すＡ−Ａ線で一方の枝管部１２Ａ´の一部を切断してリボン１０８を取り除く。

ここで、図１０の電極マウントの長手方向断面図に斜線で示すように、電極マウント１００に固定される水素ゲッター３０は、電極マウント１００の最大外径部に接する一対の仮想線Ｋ１およびＫ２で挟まれた一対の仮想線の間の領域Ｚに配置される。「電極マウント１００の最大外径部」とは、電極マウント１００を構成する種々の部材のうちで最も外径の大きい部材の外径を意味する。このように水素ゲッター３０を配置した場合は、図１１（Ａ）に示すように電極マウントを発光管の内部に配置する電極マウント挿入手順を行うときに水素ゲッター３０が邪魔にならないため、電極マウント挿入手順をスムーズに実行することができる。

なお、電極マウント１００の構成部品であるリボン１０８はその径を自由に変える事ができる部材であるので、領域Ｚを決める部品としては電極マウント１００から除外する。そのため、図１０（Ｃ）ではリボン１０８は省略されている。以降、領域Ｚを決める説明の場合の電極マウント１００の構成部品にはリボン１０８は記さない。

なお、図１０に示す電極マウントは、必要に応じて電極マウントを構成する部品の一部を省略することができる。図１２は、電極マウントの他の実施例の構成を示す。図１２（Ａ）および（Ｂ）に示す電極マウント１２０および１３０は、図１０に示す電極マウント１００において、集電板１０１、集電板１０２、保持部材１０６および保持部材１０７のうち何れか１以上の部品を省略したものである。このような電極マウント１２０に固定される水素ゲッターは、図１２（Ａ）および（Ｂ）に示すように、電極マウントの最大外径部に接する一対の仮想線Ｋ１およびＫ２により挟まれた領域Ｚに配置される。

図１２（Ｃ）に示す電極マウント１４０は、軸部２Ａ、本体部２Ｂ、集電板１０１、１０２、金属箔１０３、外部リード１０４、封止部材１０５、保持部材１０６、１０７および内側封止管１４１を備えて構成される。このような電極マウント１３０は、内側封止管１４１が図１１に示す枝管部１２Ａ´の内部に配置された状態で、枝管部２Ａ´と内側封止管１４１とを溶着することにより二重シールされた封止部１２Ａを構成する。水素ゲッター３０は、図１２（Ｃ）に示すように、電極マウント１４０の最大外径部、即ち内側封止管１４１の側面に接する一対の仮想線Ｋ１およびＫ２により挟まれた領域Ｚに配置される。

１ 発光管
２ 陰極
２Ａ 軸部
２Ｂ 本体部
２１Ａ 凹部
３ 陽極
３Ａ 軸部
３Ｂ 本体部
４Ａ 固定部材
４Ｂ 固定部材
５Ａ 落下防止部材
５Ｂ 落下防止部材
３０、５０、７０、９０ 水素ゲッター
３１、５１、７１、９１ 中空容器
３２、５２ ゲッター材料
１００、１２０、１３０ １４０ 電極マウント
１０１、１０２ 集電板
１０３ 金属箔
１０４ 外部リード
１０５ 封止部材
１０６、１０７ 保持部材
１０８ リボン
１４１ 内側封止管
Ｋ１、Ｋ２ 仮想線
Ｚ 水素ゲッター配置領域

Claims (6)

1. 発光管と、前記発光管の両端のそれぞれに連続して管軸方向外方に向けて伸びる封止管と、前記発光管の内部に互いに対向して配置される一対の電極と、水素を透過させる物質からなる中空容器と前記中空容器の内部に密閉されたゲッター材料とからなる水素ゲッターと、を備えたショートアーク型放電ランプにおいて、
   前記水素ゲッターが、前記電極に固定されていることを特徴とするショートアーク型放電ランプ。
2. 前記電極と、前記電極に給電するための金属箔および外部リードで構成される給電用部材と、前記封止管部を気密に封止するための棒状の封止部材と、を備える電極マウントを備え、
   前記水素ゲッターは、前記電極マウントを長手方向に切断した断面において前記電極マウントの最大外径部に接する一対の仮想線で挟まれる領域に配置されていることを特徴とする請求項１記載のショートアーク型放電ランプ。
3. 前記電極マウントは、前記電極に給電するための集電板と、前記電極又は前記外部リードを保持するための筒状の保持部材とを備えることを特徴とする請求項２記載のショートアーク型放電ランプ。
4. 前記水素ゲッターは、前記中空容器の形状が直管状とされ、前記電極の軸線と平行に配置されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３記載のショートアーク型放電ランプ。
5. 複数の前記水素ゲッターが、前記電極を包囲するように前記電極の周方向に配置されていることを特徴とする請求項４記載のショートアーク型放電ランプ。
6. 前記水素ゲッターは、前記中空容器の形状が曲管状とされ、前記電極の周囲に螺旋状に巻回されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３記載のショートアーク型放電ランプ。

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