JP4708044B2 - 基板処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）に対して所定の処理を施す基板処理に関するもので、特に、薬液収納容器の薬液状況を告知する手法の改良に関する。

従来より、薬液収納容器のデータ表示部から読み取られたデータに基づいて薬液収納容器を交換する方法が知られている（例えば、特許文献１）。

特開平１１−３１９６８６号公報

しかし、特許文献１の第３実施形態に記載された薬液収納容器の交換方法において、交換対象となる薬液収納容器の表示部は、読取部によって薬液収納容器のデータ表示部（バーコード）が読み取られた後でなければ点灯しない。そのため、基板処理装置のオペレータ（以下、単に「オペレータ」と呼ぶ）が薬液収納容器の配置部にて交換作業を行う場合、読取部によって読み取られるまでは、いずれの薬液収納容器が交換対象なのかを把握することができない。

また、配置部には複数の薬液収納容器が配置されており、薬液状況を表示する表示部は対応する薬液収納容器に付随して設けられている。すなわち、各表示部は配置部に散在して設けられている。そのため、オペレータは、交換作業を行う際において、この散在した複数の表示部のうちいずれが点灯しているかを探さなければならない。その結果、どの場所に配置された薬液収納容器を交換すべきかを容易に認識することができない。

そこで、本発明では、薬液収納容器を容易に交換できる基板処理装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、請求項１の発明は、複数の薬液収納容器に収納された薬液を対応する基板処理部に送液することにより、基板に対して所定の処理を施す基板処理装置であって、前記複数の薬液収納容器を収納する収納部と、前記薬液収納容器に関するデータを読み取る読取部と、各薬液収納容器につき、薬液種類と前記収納部における配置位置とを対応させて登録する登録部と、基板処理装置の外面に配置され、前記収納部に収納される複数の薬液収納容器の前記収納部における配置形態と同一となるように複数の表示要素を配置してなり、各表示要素によって各配置位置に配置された各薬液収納容器の薬液状況を告知する表示部と、前記表示部の表示動作を制御することにより、前記配置位置に配置された薬液収納容器が空となったことを、前記表示部のうちの、当該空となった薬液収納容器の配置位置に対応する前記表示要素の第１の表示によって告知することと、前記第１の表示がされた後において、前記読取部によって読み取られた薬液収納容器の薬液種類と、空となった薬液収納容器の薬液種類とが同一であることを、前記表示部のうちの、当該空となった薬液収納容器の配置位置に対応する前記表示要素の第２の表示によって告知することと、を可能とする制御部と、を備える。
また、請求項２の発明は、複数の薬液収納容器に収納された薬液を対応する基板処理部に送液することにより、基板に対して所定の処理を施す基板処理装置であって、前記薬液収納容器に関するデータを読み取る読取部と、各薬液収納容器につき、薬液種類と配置位置とを対応させて登録する登録部と、前記配置位置に配置された薬液収納容器の薬液状況を告知する表示部と、前記表示部の表示動作を制御することにより、前記配置位置に配置された薬液収納容器が空となったことを第１の表示によって告知することと、前記第１の表示がされた後において、前記読取部によって読み取られた薬液収納容器の薬液種類と、空となった薬液収納容器の薬液種類とが同一であることを第２の表示によって告知することと、前記登録部によって登録された前記配置位置と前記薬液種類との対応関係を確認する確認モードが能動化された場合において、前記読取部によって読み取られた薬液収納容器と同一の薬液が収納された薬液収納容器の配置位置を第３の表示によって告知可能とすることと、を可能とする制御部と、を備える。

また、請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載の基板処理装置において、前記読取部によって読み取られたデータのうち薬液種類に関するデータ部分を指定する指定部、をさらに備え、前記薬液種類の判定は、前記データ部分に基づいて実行されることを特徴とする。

また、請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板処理装置において、前記第１の表示は、前記表示部のうち前記配置位置に対応する表示要素を点灯させることを特徴とする。

また、請求項５の発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板処理装置において、前記第２の表示は、前記表示部のうち配置位置に対応する表示要素を点滅させることを特徴とする。

また、請求項６の発明は、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の基板処理装置において、前記表示部は、対応する薬液収納容器が収納されるキャビネット部に配設されることを特徴とする。

また、請求項７の発明は、請求項６に記載の基板処理装置において、前記表示部は、対応する薬液収納容器が収納されるキャビネット部の外側側面に配設されることを特徴とする。

請求項１から請求項７に記載の発明によれば、薬液が使用されて空となった薬液収納容器を、その配置位置に対応させて表示する第１の表示によって告知できる。また、読取部によって未使用の薬液収納容器に関するデータを読み取ることにより、空となった薬液収納容器のうち交換対象となるものの配置位置を第２の表示によって告知できる。これにより、オペレータは、この第１の表示および第２の表示を確認することによって、空となった薬液収納容器のうち、この未使用の薬液収納容器と交換すべきものを容易に把握することができ、薬液収納容器を交換すべき位置に正しく配置することができる。そのため、薬液収納容器の交換ミスが発生することを有効に防止できる。

特に、請求項３に記載の発明によれば、読取部によって各薬液収納容器から読み取られたデータのうち薬液種類に関するデータ部分を指定することができ、薬液種類の判定をこのデータ部分を比較することによって実行できる。すなわち、各薬液収納容器に収納される薬液種類が同一であるか否かの判定には、薬液種類に関するデータ以外のものは使用されない。そのため、薬液種類の判定において、比較する複数の薬液収納容器に同一の薬液が収納されているにも関わらず異なった薬液が収納されていると誤って判断されることを有効に防止できる。

特に、請求項４に記載の発明によれば、対応する表示要素を点灯させる第１の表示により、空の薬液収納容器が配置される位置をオペレータに告知することができる。そのため、オペレータは、空の薬液収納容器が配置される場所を容易に把握することができる。

特に、請求項５に記載の発明によれば、対応する表示要素を点滅させる第２の表示により、空となった薬液収納容器のうち交換対象となるものが配置される位置をオペレータに告知することができる。そのため、オペレータは、交換対象となる空の薬液収納容器が配置される場所を容易に把握することができる。

また、請求項１から請求項７に記載の発明によれば、表示部の各表示要素が各薬液収納容器の配置形態と同一に配置されるため、オペレータは、空の薬液収納容器や交換対象となる薬液収納容器が配置される場所を容易に把握することができる。

特に、請求項６に記載の発明によれば、表示部が対応する薬液収納容器が収納されるキャビネット部に配設されるため、オペレータは、表示部を確認しつつ薬液収納容器を交換する作業を行うことができる。

特に、請求項７に記載の発明によれば、表示部はキャビネット部の外側側面に配設されるため、オペレータは、空となった薬液収納容器の場所や交換対象となる薬液収納容器の場所を装置の外部から容易に把握することができる。

また、請求項２に記載の発明によれば、確認モードが能動化された場合において、読取部によって読み取られた薬液収納容器と同一の薬液が収納された薬液収納容器の配置位置を第３の表示によって告知できる。そのため、オペレータは、この第３の表示を確認することによって各配置位置と薬液の対応関係を容易に確認することができる。

以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。

＜１．基板処理装置の構成＞
図１は、本発明の実施の形態の基板処理装置１００の平面図である。図２および図３は、基板処理装置１００の正面図である。ここで、基板処理装置１００は、基板上に反射防止膜、フォトレジスト膜、およびカバー膜をこの順番で形成するとともに、露光処理が完了した基板に対して現像処理を施す装置である。なお、図１および以降の各図には、それらの方向関係を明確にすべく必要に応じて適宜、Ｚ軸方向を鉛直方向とし、ＸＹ平面を水平面とするＸＹＺ直交座標系を付している。

図１に示すように、基板処理装置１００は、主として、インデクサブロック１と、基板に対して所定の薬液処理を施す３つの処理ブロック（具体的には、バークブロック２、レジスト塗布ブロック３、現像処理ブロック４）と、インターフェイスブロック５と、を備え、これらブロック１〜５は並設して配置される。また、インターフェイスブロック５には、基板処理装置１００と別体の外部装置である露光装置（ステッパー）が並設される。なお、以下の説明において、「処理液」は、純水および薬液を含む概念として使用する。

インデクサブロック１は、基板処理装置１００の外部から供給される未処理の基板を受け入れるとともに、基板処理装置１００にて所定の処理が完了した基板を外部へ払い出す処理ブロックである。図１に示すように、インデクサブロック１は、複数のキャリアＣ（本実施形態では４個）を並べて載置する載置台１１と、各キャリアＣから未処理の基板Ｗを取り出すとともに、各キャリアＣに処理済みの基板Ｗを収納する基板移載機構１２とを備える。

基板移載機構１２は、載置台１１に沿って（Ｙ軸方向に沿って）水平移動可能な可動台１２ａを備えており、この可動台１２ａに基板Ｗを水平姿勢で保持する保持アーム１２ｂが搭載されている。保持アーム１２ｂは、可動台１２ａ上を昇降（Ｚ軸方向）移動、水平面内の旋回移動、および旋回半径方向に進退移動可能に構成される。

これにより、基板移載機構１２は、保持アーム１２ｂを各キャリアＣにアクセスさせて未処理の基板Ｗの取り出して基板載置部ＰＡＳＳ１に搬送すること、および、後述するバークブロック２の基板載置部ＰＡＳＳ２から受け取った処理済みの基板Ｗを対応するキャリアＣに収納することができる。

キャビネット部１７は、図２および図３に示すように、基板移載機構１２の搬送空間１６の下方に配置される。キャビネット部１７の内部には、基板処理装置１００に電力を供給するための電源、および、各ブロック１〜５に薬液を供給する供給配管や薬液収納容器等が設置される。なお、キャビネット部１７の詳細については後述する。

バークブロック２では、露光時に発生する定在波やハレーションを減少させるための反射防止膜を形成する処理が施される。図１に示すように、バークブロック２は、主として、（１）複数の塗布処理ユニット２６を積層配置した下地塗布処理部ＢＲＣと、（２）複数の熱処理ユニット（ホットプレートおよび冷却プレート等）を積層配置した２つの熱処理タワー２１と、（３）下地塗布処理部ＢＲＣおよび熱処理タワー２１に含まれる各ユニットと、基板載置部ＰＡＳＳ１〜ＰＡＳＳ４との間で基板の授受を行う搬送ロボットＴＲ１と、を備える。

下地塗布処理部ＢＲＣの各塗布処理ユニット２６では、基板を回転保持しつつ基板に薬液を供給することにより、基板表面に反射防止膜を形成することができる。そのため、露光時に発生する定在波やハレーションを減少させ、良好な露光処理が可能となる。

キャビネット部２７は、図２および図３に示すように、下地塗布処理部ＢＲＣおよび熱処理タワー２１の下方に配置される。キャビネット部２７の内部には、各ブロック１〜５に薬液を供給する供給配管および薬液収納容器等が設置される。なお、キャビネット部２７の詳細については後述する。

レジスト塗布ブロック３では、反射防止膜が形成された基板上にレジストの薄膜を形成する処理が施される。図１に示すように、レジスト塗布ブロック３は、主として、（１）複数の塗布処理ユニット３６を積層配置したレジスト塗布処理部ＳＣと、（２）複数の熱処理ユニット（ホットプレートおよび冷却プレート等）を積層配置した２つの熱処理タワー３１と、（３）熱処理タワー３１およびレジスト塗布処理部ＳＣに含まれる各ユニットと、基板載置部ＰＡＳＳ３〜ＰＡＳＳ６との間で基板の授受を行う搬送ロボットＴＲ２と、を備える。

レジスト塗布処理部ＳＣの各塗布処理ユニット３６では、基板を回転保持しつつ基板に薬液（レジスト）を供給することにより、反射防止膜の上にレジスト膜を形成することができる。また、塗布処理ユニット３６では、レジスト膜が形成されるとともに、基板の周縁部や基板の裏面に付着したレジストを除去するエッジリンスおよびバックリンス処理も実行される。

キャビネット部３７は、図２および図３に示すように、レジスト塗布処理部ＳＣおよび熱処理タワー３１の下方に配置される。キャビネット部３７の内部には、各ブロック１〜５に薬液を供給する供給配管および薬液収納容器等が設置される。なお、キャビネット部３７の詳細については後述する。

現像処理ブロック４では、露光処理が完了した基板に所定のタイミングで熱処理を実行する露光後ベーク処理と、露光処理が完了した基板上に現像液を供給することによって実行される現像処理と、が施される。図１に示すように、現像処理ブロック４は、主として、（１）複数の現像処理ユニット４６を積層配置した現像処理部ＳＤと、（２）複数の熱処理ユニット（ホットプレートおよび冷却プレート等）を積層配置した熱処理タワー４１、４２と、（３）現像処理部ＳＤおよび熱処理タワー４１、４２に含まれる各ユニットと、基板載置部ＰＡＳＳ５〜ＰＡＳＳ８との間で基板の授受を行う搬送ロボットＴＲ３と、を備える。現像処理ユニット４６では、現像液による現像処理、純水によるリンス処理、基板を保持しつつ回転することによって基板に付着した純水を振り切る乾燥処理が施される。

なお、基板載置部ＰＡＳＳ７、ＰＡＳＳ８は、熱処理タワー４２において、ホットプレートおよび冷却プレートとともに積層配置される。また、露光後ベーク処理は、インターフェイスブロック５側に設けられた熱処理タワー４２の熱処理ユニットにおいて実行される。

インターフェイスブロック５は、基板処理装置１００の外部装置として使用される露光装置ＥＸＰとの間で基板の授受を行う。インターフェイスブロック５は、主として、（１）露光装置ＥＸＰとの間で基板の受渡しを行う搬送機構５５と、（２）露光装置ＥＸＰによる露光処理が施されていない基板を一時的に蓄積するセンドバッファＳＢＦと、（３）露光処理が完了した基板を一時的に蓄積するリターンバッファＲＢＦと、（４）現像処理ブロック４の熱処理タワー４２に配置された熱処理ユニット、および基板載置部ＰＡＳＳ７〜ＰＡＳＳ１０のそれぞれとの間で基板の授受を行う搬送ロボットＴＲ４と、を備える。

搬送機構５５は、反射防止膜、およびレジスト膜の形成が完了して基板載置部ＰＡＳＳ９に載置された基板を、露光装置に搬入する。また、搬送機構５５は、露光処理が完了した基板を基板載置部ＰＡＳＳ１０に載置する。さらに、露光装置が基板の受け入れをできない場合、インタフェイスＩＦＢは、未露光基板をセンドバッファＳＢＦに搬送する。

なお、ハードウェアの構成上、熱処理タワー４２に積層配置された熱処理ユニットにて熱処理が完了した基板をリターンバッファＲＢＦに搬送する処理は搬送ロボットＴＲ４によって実行される。

図４は、キャビネット部１７、２７、３７の平面図である。図５は、薬液収納容器７１の一例を示す図である。ここで、各薬液収納容器７１には、レジスト、反射防止膜、および現像液等の薬液が収納される。また、薬液収納容器（以下、単に「容器」と呼ぶ）７１の本体部７３には、その容器に関するデータが記録されたバーコード７２が設けられる。さらに、本実施の形態において容器に関するデータとは、容器内部に収納された薬液の種類に関するデータだけでなく、薬液の製造番号等の薬液の種類以外のデータを含む。

キャビネット部１７は、図２および図３に示すように、インデクサブロック１の下部であって基板移載機構１２の搬送空間１６の下方に配設される。キャビネット部１７の内部には、図４に示すように、扉１９ａ、１９ｂ側に設けられており、複数の容器７１を収納する収納部１８ａ、１８ｂが、それぞれ配置される。

したがって、オペレータは、扉１９ａ、１９ｂを開放することにより、収納部１８ａ、１８ｂに収納された容器７１の交換作業等を行うことができる。なお、本実施の形態において、収納部１８ａ、１８ｂのそれぞれには、８本の容器７１が収納される。

収納部１８ａにおいて各容器７１が配置される場所には、その配置位置を一意に定めることができる「配置番号」が割り当てられている。例えば、収納部１８ａに収納される容器７１のうち扉１９ａ側から見て向かって左最前列のもの（容器７１ａ）、向かって右最前列のもの（容器７１ｂ）、向かって左最後列のもの（容器７１ｃ）、および向かって右最後列のもの（容器７１ｄ）には、それぞれ「１」、「２」、「７」、および「８」が「配置番号」として割り当てられる。

また、収納部１８ｂに収納される容器７１のうち扉１９ｂ側から見て向かって左最前列のもの（容器７１ｅ）、向かって右最前列のもの（容器７１ｆ）、向かって左最後列のもの（容器７１ｇ）、および向かって右最後列のもの（容器７１ｈ）には、それぞれ「９」、「１０」、「１５」、および「１６」が「配置番号」として割り当てられる。

キャビネット部２７は、図２および図３に示すように、バークブロック２の下部であって下地塗布処理部ＢＲＣおよび熱処理タワー２１の下方に配設される。キャビネット部２７の内部には、図４に示すように、扉２９ａ、２９ｂ側に設けられており、複数（本実施の形態では２本）の容器７１を収納する収納部２８ａ、２８ｂが、それぞれ配置される。したがって、オペレータは、扉２９ａ、２９ｂを開放することにより、収納部２８ａ、２８ｂに収納された容器７１の交換作業等を行うことができる。

収納部２８ａにおいて各容器７１が配置される場所には、その配置位置を一意に定めることができる「配置番号」が割り当てられている。すなわち、収納部２８ａに収納される容器７１のうち扉２９ａ側から見て向かって左端部のものから順に「１７」、「１８」が「配置番号」として割り当てられる。

また、収納部２８ｂに収納される各容器７１にも、その配置位置を一意に定めることができる「配置番号」が割り当てられており、扉２９ｂ側からみて向かって左の端部のものから順に「１９」、「２０」が「配置番号」として割り当てられる。

キャビネット部３７は、図２および図３に示すように、レジスト塗布ブロック３の下部であってレジスト塗布処理部ＳＣおよび熱処理タワー３１の下方に配設される。キャビネット部３７に内部には、図４に示すように、扉３９ａ、３９ｂ側に設けられており、複数（本実施の形態では２本）の容器７１を収納する収納部３８ａ、３８ｂが、それぞれ配置される。したがって、オペレータは、扉３９ａ、３９ｂを開放することにより、収納部３８ａ、３８ｂに収納された容器７１の交換作業等を行うことができる。

収納部３８ａにおいて各容器７１が配置される場所には、その配置位置を一意に定めることができる「配置番号」が割り当てられており、扉３９ａ側から見て向かって左端部のものから順に「２１」、「２２」が「配置番号」として割り当てられる。

また、収納部３８ｂにおいて各容器７１が配置される場所にも、その配置位置を一意に定めることができる「配置番号」が割り当てられており、扉３９ｂ側からみて向かって左端部のものから順に「２３」、「２４」が「配置番号」として割り当てられる。

このように、本実施の形態において、各収納部１８ａ、１８ｂ、２８ａ、２８ｂ、３８ａ、３８ｂのそれぞれに配置される容器７１は、「配置番号」によって一意に識別可能とされる。また、「配置番号」に基づいて各容器７１の配置場所を特定することができる。

＜２．キャビネット部付近の構成＞
図６は、基板処理装置１００の主要な電気的構成を説明するためのブロック図である。図７は、バーコードリーダ照合機８３の正面図である。図８および図９は、バーコードリーダ照合機８３によって薬液種類に関するデータを指定する方法を説明するための図である。ここでは、図２、図３、図６ないし図９を参照しつつ、キャビネット部１７、２７、３７付近のハードウェア構成について説明する。

図２に示すように、バークブロック２の側面のうち下地塗布処理部ＢＲＣ側のものには、液晶表示部８１とバーコードリーダ８２ａとバーコードリーダ照合機８３とが、それぞれ配設される。また、図３に示すように、バークブロック２の側面のうち熱処理タワー２１側のものには、バーコードリーダ８２ｂが配設される。

液晶表示部８１は、指や専用のペンで画面に触れることにより、画面上の位置を指定することができる「タッチパネル」としての機能を有する表示部である。したがって、オペレータは、液晶表示部８１に表示された内容に基づいて液晶表示部８１の「タッチパネル」機能を使用した指示を行うことにより、基板処理装置１００の動作状態について指示できる。また、基板処理装置１００において基板の処理不良等の問題が発生した場合、液晶表示部８１に警告およびその警告内容を表示できる。

図２および図３に示すように、扉１９ａ、１９ｂの外側側面には、それぞれ収納部１８ａ、１８ｂに収納された容器７１の薬液状況を告知するＬＥＤ表示部７５（７５ａ、７５ｂ）が取り付けられる。すなわち、ＬＥＤ表示部７５ａ、７５ｂは、キャビネット部１７の扉１９ａ、１９ｂに配設される。

ＬＥＤ表示部７５ａ、７５ｂのそれぞれは、複数（本実施の形態では８個：各収納部１８ａ、１８ｂに収納される容器７１の本数と同一）のＬＥＤ７６を有する。各ＬＥＤ７６は、対応する容器７１の薬液状況（例えば、容器内の薬液残量がゼロであること、または交換対象の容器であること等）をオペレータに対して告知する表示要素である。図２および図３に示すように、ＬＥＤ表示部７５（７５ａ、７５ｂ）の各表示要素７６は、収納部１８（１８ａ、１８ｂ）に収納される容器７１の配置形態と略同一となるように配置される。

すなわち、ＬＥＤ表示部７５ａのＬＥＤ７６ａ、７６ｂ、７６ｃ、７６ｄは、それぞれ収納部１８ａの容器７１ａ、７１ｂ、７１ｃ、７１ｄの薬液状況を告知する。また、ＬＥＤ表示部７５ｂのＬＥＤ７６ｅ、７６ｆ、７６ｇ、７６ｈは、それぞれ収納部１８ｂの容器７１ｅ、７１ｆ、７１ｇ、７１ｈの薬液状況を告知する。

扉２９ａ、２９ｂ、３９ａ、３９ｂの外側側面には、それぞれ収納部２８ａ、２８ｂ、３８ａ、３８ｂに収納された容器７１の薬液状況を告知するＬＥＤ表示部７５（７５ｃ〜７５ｆ）が取り付けられる。すなわち、ＬＥＤ表示部７５ｃ、７５ｄはキャビネット部２７の扉２９ａ、２９ｂに、ＬＥＤ表示部７５ｅ、７５ｆはキャビネット部３７の扉３９ａ、３９ｂに、それぞれ配設される。

各ＬＥＤ表示部７５ｃ〜７５ｆのそれぞれは、複数（本実施の形態では２個：各収納部２８ａ、２８ｂ、３８ａ、３８ｂ）に収納される容器７１の本数と同一）のＬＥＤ７６を有する。また、ＬＥＤ表示部７５（７５ｃ〜７５ｆ）の各表示要素７６は、収納部２８ａ、２８ｂ、３８ａ、３８ｂに収納される容器７１の配置形態と略同一となるように配置される。

したがって、オペレータは、ＬＥＤ表示部７５の表示（例えば、後述する各ＬＥＤ７６の点灯・点滅表示）を確認することにより、空の容器７１や交換対象となる容器７１が配置される場所を容易に把握することができる。このように、ＬＥＤ表示部７５は、各容器７１の薬液状況を告知する表示部として使用される。

また、各ＬＥＤ表示部７５（７５ａ〜７５ｆ）は、対応する収納部１８ａ、１８ｂ、２８ａ、２８ｂ、３８ａ、３８ｂの付近に配設されるため、オペレータはＬＥＤ表示部７５を確認しつつ容器７１の交換作業を行うことができる。

さらに、各ＬＥＤ表示部７５は、基板処理装置１００の外部に配設されているため、オペレータは、扉１９ａ、１９ｂ、２９ａ、２９ｂ、３９ａ、３９ｂを開放することなく基板処理装置１００の外部から、空となった容器７１や交換対象となる容器７１の配置位置を把握できる。

バーコードリーダ８２は、容器７１の本体部７３に設けられたバーコード７２を読み取る読取部である。図６に示すように、バーコードリーダ８２は、信号線８４を介してバーコードリーダ照合機８３と電気的に接続されており、バーコード７２に記録された容器７１に関するデータ（情報）をバーコードリーダ照合機８３に入力する。

バーコードリーダ照合機８３は、（１）バーコードリーダ８２によって各容器７１のバーコード７２から読み取られたデータ（以下、「バーコードデータ」とも呼ぶ）を、各容器７１の配置された場所に対応する「配置番号」と関連付けて登録するとともに、（２）制御部９０からの要求に応じて、またはバーコードリーダ８２から入力されたデータに基づいて、登録されたデータを照合する機器である。

図６および図７に示すように、バーコードリーダ照合機８３は、主として、バーコードデータに関する処理を実行する制御要素としてのＲＯＭ８３ａ、ＲＡＭ８３ｂ、およびＣＰＵ８３ｃと、データ表示部８５と、キー８６とを備える。

ＲＯＭ８３ａは読出し専用メモリーであり、バーコードデータの登録および照合処理に必要となるプログラムＰが格納される。また、ＲＡＭ８３ｂは読み書き自在のメモリーであり、収納部１８ａ、１８ｂ、２８ａ、２８ｂ、３８ａ、３８ｂに割り当てられた「配置番号」とバーコードデータとを関連付けて登録したデータベースＤＢが格納される。なお、以下の説明において、データベースＤＢは「配置番号」および「バーコードデータ」から構成されるレコードを複数有する。

ＣＰＵ８３ｃは、ＲＯＭ８３ａに格納されたプログラムＰによる制御を実行する演算処理ユニットである。これにより、バーコードリーダ照合機８３は、バーコードデータの登録や照合等の処理を所定のタイミングで実行することができる。すなわち、ＣＰＵ８３ｃは、バーコードデータの登録部および照合部として使用される。

データ表示部８５には、バーコードリーダ８２から入力されたバーコードデータや、オペレータのキー８６の操作によって入力されたデータが表示される。また、オペレータは、所定のキー８６を操作することにより、データ表示部８５に表示されたデータをＲＡＭ８３ｂに格納されたデータベースＤＢに登録したり、データベースＤＢの登録内容を修正することができる。

ここで、本実施の形態において、データベースＤＢには、各容器７１のバーコード７２に記録されるデータのうち薬液種類に関するデータが、各容器７１の配置位置と対応させられて登録される。しかし、上述のようにバーコードデータには、その内部に収納された薬液種類に関するデータだけでなく、薬液種類以外のデータも記録されている場合がある。したがって、バーコードデータに薬液種類以外のデータが含まれる場合には、薬液種類に関するデータのみを抽出してデータベースＤＢに登録する必要がある。そこで、以下では、バーコードデータのうち薬液種類に関するデータを指定してデータベースＤＢに登録する手法、およびデータベースＤＢに登録されたデータと照合する手法について説明する。

まず、バーコードデータのうち薬液種類に関するデータを指定してデータベースＤＢに登録する手法について、バーコードリーダ８２によってバーコードリーダ照合機８３に入力されたバーコードデータが「４９１２７２５６」であり、その入力されたバーコードデータのうち上位４桁（すなわち、「４９１２」）と下位２桁（すなわち、「５６」）とが薬液種類に関するデータである場合を例にとって説明する。

オペレータは、バーコードリーダ照合機８３のキー８６を操作して薬液種類に関するデータ以外の文字、すなわち、バーコードデータのうち下位３桁および４桁目を「？」と置換することにより（図８参照）、薬液種類に関するデータの場所を指定する。

そして、オペレータは、所定のキー８６を操作することにより、修正したバーコードデータ「４９１２？？５６」を「配置番号」と関連付けてデータベースＤＢに登録する。このように、バーコードリーダ照合機８３は、薬液種類に関するデータ部分を指定する指定部としても使用される。

ここで、「？」は、任意の文字の代わりを果たす特殊文字である。すなわち、「？」で指定された場所は、文字種類の指定がされていないことを示す。したがって、バーコードリーダ８２から入力されたデータとデータベースＤＢに登録されたデータとを照合する場合、例えばデータベースＤＢに登録されたデータ「４９１２？？５６」とバーコードリーダ８２から入力されたデータ「４９１２８３５６」とを照合する場合、バーコードリーダ照合機８３は、両データは同一であると判断する。

また、バーコードデータのうち薬液種類に関するデータを指定する他の方法について、バーコードリーダ８２によってバーコードリーダ照合機８３に入力されたバーコードデータが「４９１２７２５６」であり、その入力されたバーコードデータのうち上位４桁（すなわち、「４９１２」）が薬液種類に関するデータである場合を例にとって説明する。

オペレータは、薬液種類に関するデータの場所を指定するため、薬液種類に関するデータ以外の部分、すなわち、バーコードデータのうち上位５桁目以降の文字列を「！」と置換する（図９参照）。そして、オペレータがキー８６を操作することにより、「４９１２！」が「配置番号」と関連付けられてデータベースＤＢに登録される。

ここで、「！」は、任意の文字列（文字列の長さが「０」以上）の代わりを果たす特殊文字である。すなわち、「！」で指定された場所は、文字種類の指定がされていない文字列、または文字が存在しないことを示す。したがって、バーコードリーダ８２から入力されたデータとデータベースＤＢに登録されたデータとを照合する場合、例えばデータベースＤＢに登録されたデータ「４９１２！」とバーコードリーダ８２から入力されたデータ「４９１２８３５６」とを照合する場合、バーコードリーダ照合機８３は、両データは同一であると判断する。

このように、本実施の形態では、バーコードリーダ８２によって入力されたバーコードデータの一部を「？」または「！」の特殊文字と置換したものをバーコードデータとしてデータベースＤＢに登録し、この特殊文字を含むバーコードデータと照合することにより、薬液種類の同一性を判定することができる。すなわち、本実施の形態において、容器７１間の薬液種類の同一性を判定する処理では、バーコード７２に薬液種類に関するデータ以外のものが含まれている場合であっても、特殊文字を使用することにより指定された薬液種類に関するデータのみが使用される。

そのため、容器７１間の薬液種類の判定において、同一の薬液が収納されているにも関わらず異なった薬液が収納されていると誤って判断されることを有効に防止できる。例えば、「４９１２７２５６」と、「４９１２８３５６」とは、バーコードデータとしては相違する。しかし、「４９１２７２５６」のうち下位３桁および４桁を「？」と置換することにより、「４９１２？？５６」と、「４９１２８３５６」とは、薬液種類に関するデータのみが照合されることになり、両データは同一と判断される。

そのため、薬液種類に関するデータ以外を含むバーコード間で薬液種類の同一性を判断する処理を容易に実行することができる。

制御部９０は、図１および図６に示すように、プログラムや変数等を格納するメモリ９１と、メモリ９１に格納されたプログラムに従った制御を実行するＣＰＵ９２とを備える。また、制御部９０は、各容器７１の薬液残量を検出する薬液検出部７４、液晶表示部８１、ＬＥＤ表示部７５、およびバーコードリーダ照合機８３等と信号線９４を介して電気的に接続される。

したがって、ＣＰＵ９２は、メモリ９１に格納されたプログラムにしたがって、液晶表示部８１およびＬＥＤ表示部７５の表示動作等を所定のタイミングで実行することができる。また、ＣＰＵ９２は、バーコードリーダ照合機８３に対して照合処理等を所定のタイミングで実行させることができる。

＜３．ＬＥＤ表示部による薬液状況の告知＞
図１０ないし図１２は、ＬＥＤ表示部７５による薬液状況の告知方法を説明するための図である。ここでは、ＬＥＤ表示部７５（７５ａ〜７５ｆ）によってオペレータに各容器７１の薬液状況を告知する手法について説明する。なお、図１０ないし図１２において、ハッチングされていないＬＥＤ７６は、消灯中であることを示す。

本実施の形態の基板処理装置１００の動作状況が通常モードの場合、薬液検出部７４（図６参照）によって容器７１内の薬液が空になったことが検出されると、対応するＬＥＤ７６が点灯表示される。例えば、収納部１８ａの容器７１ａ、７１ｄの薬液が空となると、対応するＬＥＤ表示部７５ａのＬＥＤ７６ａ、７６ｄが点灯する。すなわち、ＬＥＤ表示部７５ａは、ＬＥＤ７６ａ、７６ｄの点灯表示により、オペレータに対して対応する容器７１ａ、７１ｄが空となったことを告知できる。これにより、オペレータは、基板処理装置１００外部に配置されたＬＥＤ表示部７５の表示状況を確認することにより、いずれの収納部１８のいずれの位置に配置された容器の薬液が空になったかを容易に把握できる。

また、ＬＥＤ表示部７５の所定のＬＥＤ７６が点灯表示された後において、オペレータは、容器７１の交換作業に先立ち、バーコードリーダ８２によって未使用容器７１のバーコード７２を読み取る。バーコードリーダ照合機８３に未使用容器７１のバーコードデータが入力されると、バーコードリーダ照合機８３は、未使用容器７１のバーコードデータと、データベースＤＢに登録されており、点灯中のＬＥＤ７６に対応する容器７１のバーコードデータとを照合する。

そして、バーコードリーダ照合機８３によって両容器７１の薬液種類が同一であると判断された場合、制御部９０は対応するＬＥＤ７６の表示を点灯表示から点滅表示に移行させる。オペレータは、ＬＥＤ表示部７５の表示状況を確認することにより、この点滅表示するＬＥＤ７６に対応する配置位置の容器７１が、未使用容器７１と交換されるべきものであることを容易に把握できる。例えば、図１２に示すように、ＬＥＤ７６ｄが点灯表示から点滅表示に移行した場合、オペレータは、ＬＥＤ７６ｄに対応する配置位置の容器７１を未使用容器７１と交換する。その結果、容器７１の交換ミスが発生することを防止できる。

これに対して、両容器７１の薬液種類が同一でないと判断された場合、ＬＥＤ７６は点灯表示のままとされる。また、バーコード７２を読み取った未使用容器７１には交換すべき薬液が収納されていないという旨のメッセージが液晶表示部８１に表示される。

このように、オペレータは、ＬＥＤ表示部７５の点灯表示および点滅表示を確認することにより、未使用容器７１を交換すべき位置に正しく配置することができる。そのため、容器７１の交換ミスが発生することを有効に防止できる。

また、本実施の形態の基板処理装置１００では、薬液が空となった場合に限らず、バーコードリーダ８２によって読み取った容器（例えば、未使用容器）７１と同一の薬液が収納された容器７１が、収納部１８ａ、１８ｂ、２８ａ、２８ｂ、３８ａ、３９ｂのいずれの場所に配置されるかを、ＬＥＤ表示部７５によってオペレータに告知することができる。すなわち、オペレータは、薬液種類と容器７１の配置位置との対応関係を確認することができる。

この確認作業において、オペレータは、バーコードリーダ照合機８３のキー８６を操作して、基板処理装置１００の動作状況を、通常モードから確認モードに切り替える。すなわち、オペレータは、キー８６を操作することにより確認モードを能動化することができる。次に、オペレータは、確認したい薬液が収納された容器７１のバーコード７２をバーコードリーダ８２によって読み取る。

バーコードリーダ照合機８３に容器７１のバーコードデータが入力されると、バーコードリーダ照合機８３は、この読み取られたバーコードデータと、データベースＤＢに登録されたバーコードデータとを照合する。続いて、バーコードリーダ照合機８３は、データベースＤＢから読み取られたバーコードデータと同一のレコードを抽出する。そして、抽出された各レコードの「配置番号」を制御部９０に送信する。バーコードリーダ照合機８３からの「配置番号」を受信した制御部９０は、ＬＥＤ表示部７５（７５ａ〜７５ｆ）のＬＥＤ７６のうち、対応する「配置番号」のＬＥＤ７６を点灯させる。

なお、本実施の形態の確認モードにおいて、薬液種類と容器７１の配置位置との関連付け状況をＬＥＤ表示部７５（７５ａ〜７５ｆ）に表示させた後に、さらにバーコードリーダ８２によって別の容器７１のバーコード７２が読み取られた場合、この別の容器７１の薬液種類に関する関連付け状況がＬＥＤ表示部７５（７５ａ〜７５ｆ）に表示される。そして、オペレータが基板処理装置１００の動作状況を確認モードから通常モードに移行させることにより、関連付け状況の確認作業が終了する。

このように、オペレータは、確認対象となる薬液の収納された容器７１をバーコードリーダ８２によって読み取ることにより、確認対象となる薬液の収納された容器７１の配置位置に対応するＬＥＤ７６を点灯させることができる。すなわち、各ＬＥＤ表示部７５（７５ａ〜７５ｆ）のＬＥＤ７６を点灯表示させることにより、オペレータに対して同一の薬液が収納された容器７１の配置位置を告知することができる。そのため、オペレータは、ＬＥＤ表示部７５の表示を見ることにより、確認対象となる薬液が配置される場所を容易に把握することができる。

＜４．本実施の形態の基板処理装置の利点＞
以上のように、本実施の形態の基板処理装置１００は、容器７１内の薬液が空となった場合、対応するＬＥＤ７６を点灯させる。また、本実施の形態の基板処理装置１００は、空となった容器７１を未使用容器７１と交換する作業に先立ち、未使用容器７１のバーコード７２を読み取り、両容器７１に収納される薬液が同一であるか否かの判定処理を行う。そして、容器７１の薬液が同一の場合には、交換対象となる空の容器７１に対応するＬＥＤ７６の表示を点灯表示から点滅表示に移行させる。これにより、オペレータは、空となった容器７１のうち、未使用容器７１と交換すべきものを容易に把握することができる。そのため、容器７１の交換ミスの発生を有効に防止できる。

＜５．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記の例に限定されるものではない。

（１）また、本実施の形態において、表示要素７６はＬＥＤであるものとして説明したが、これに限定されるものでなく、例えば、蛍光灯、ハロゲンランプ、白熱電球であってもよい。

（２）また、本実施の形態において、各ＬＥＤ表示部７５（７５ａ〜７５ｆ）は、対応する扉１９ａ、１９ｂ、２９ａ、２９ｂ、３９ａ、３９ｂの外側に取り付けられるものとして説明したが、これに限定されるものではない。外側に配設されたＬＥＤ表示部７５（７５ａ〜７５ｆ）と同様なものを、各扉１９ａ、１９ｂ、２９ａ、２９ｂ、３９ａ、３９ｂの内側に配設してもよい。これにより、オペレータは、扉を開いて容器７１の交換作業を行う場合であっても、扉の内側に配設されたＬＥＤ表示部７５によって交換位置を確認することができる。

（３）また、本実施の形態において、各容器７１には薬液が収納されているものとして説明したが、これに限定されるものではない。例えば、純水であってもよい。

（４）さらに、本実施の形態において、データベースＤＢの各レコードは、「配置番号」および「バーコードデータ」の２つのデータから構成されるものとして説明したが、これに限定されるものでなく、各レコードは、３つ以上のデータから構成されても良い。

本発明の実施の形態における基板処理装置の平面図である。 本発明の実施の形態における基板処理装置の正面図である。 本発明の実施の形態における基板処理装置の正面図である。 キャビネット部の平面図である。 薬液収納容器の一例を示す図である。 基板処理装置の主要な電気的構成を説明するためのブロック図である。 バーコードリーダ照合機の正面図である。 バーコードリーダ照合機によって薬液種類に関するデータを指定する方法を説明するための図である。 バーコードリーダ照合機によって薬液種類に関するデータを指定する方法を説明するための図である。 ＬＥＤ表示部による薬液状況の告知方法を説明するための図である。 ＬＥＤ表示部による薬液状況の告知方法を説明するための図である。 ＬＥＤ表示部による薬液状況の告知方法を説明するための図である。

符号の説明

１ インデクサブロック
２ バークブロック
３ レジスト塗布ブロック
４ 現像処理ブロック
５ インターフェイスブロック
１９（１９ａ、１９ｂ）、２９（２９ａ、２９ｂ）、３９（３９ａ、３９ｂ） 扉
１７、２７、３７ キャビネット部
１８（１８ａ、１８ｂ）、２８（２８ａ、２８ｂ）、３８（３８ａ、３８ｂ） 収納部
７１（７１ａ〜７１ｈ） 薬液収納容器
７５（７５ａ〜７５ｆ） ＬＥＤ表示部
７６（７６ａ〜７６ｈ） ＬＥＤ（表示要素）
８１ 液晶表示部
８２ バーコードリーダ
８３ バーコードリーダ照合機
８５ データ表示部
８６ キー
１００ 基板処理装置

Claims (7)

1. 複数の薬液収納容器に収納された薬液を対応する基板処理部に送液することにより、基板に対して所定の処理を施す基板処理装置であって、
   前記複数の薬液収納容器を収納する収納部と、
   前記薬液収納容器に関するデータを読み取る読取部と、
   各薬液収納容器につき、薬液種類と前記収納部における配置位置とを対応させて登録する登録部と、
   基板処理装置の外面に配置され、前記収納部に収納される複数の薬液収納容器の前記収納部における配置形態と同一となるように複数の表示要素を配置してなり、各表示要素によって各配置位置に配置された各薬液収納容器の薬液状況を告知する表示部と、
   前記表示部の表示動作を制御することにより、
   (i) 前記配置位置に配置された薬液収納容器が空となったことを、前記表示部のうちの、当該空となった薬液収納容器の配置位置に対応する前記表示要素の第１の表示によって告知することと、
   (ii) 前記第１の表示がされた後において、前記読取部によって読み取られた薬液収納容器の薬液種類と、空となった薬液収納容器の薬液種類とが同一であることを、前記表示部のうちの、当該空となった薬液収納容器の配置位置に対応する前記表示要素の第２の表示によって告知することと、
   を可能とする制御部と、
   を備えることを特徴とする基板処理装置。
2. 複数の薬液収納容器に収納された薬液を対応する基板処理部に送液することにより、基板に対して所定の処理を施す基板処理装置であって、
   前記薬液収納容器に関するデータを読み取る読取部と、
   各薬液収納容器につき、薬液種類と配置位置とを対応させて登録する登録部と、
   前記配置位置に配置された薬液収納容器の薬液状況を告知する表示部と、
   前記表示部の表示動作を制御することにより、
   (i) 前記配置位置に配置された薬液収納容器が空となったことを第１の表示によって告知することと、
   (ii) 前記第１の表示がされた後において、前記読取部によって読み取られた薬液収納容器の薬液種類と、空となった薬液収納容器の薬液種類とが同一であることを第２の表示によって告知することと、
   (iii) 前記登録部によって登録された前記配置位置と前記薬液種類との対応関係を確認する確認モードが能動化された場合において、前記読取部によって読み取られた薬液収納容器と同一の薬液が収納された薬液収納容器の配置位置を第３の表示によって告知可能とすることと、
   を可能とする制御部と、
   を備えることを特徴とする基板処理装置。
3. 請求項１または請求項２に記載の基板処理装置において、
   前記読取部によって読み取られたデータのうち薬液種類に関するデータ部分を指定する指定部、
   をさらに備え、
   前記薬液種類の判定は、前記データ部分に基づいて実行されることを特徴とする基板処理装置。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板処理装置において、
   前記第１の表示は、前記表示部のうち前記配置位置に対応する表示要素を点灯させることを特徴とする基板処理装置。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板処理装置において、
   前記第２の表示は、前記表示部のうち配置位置に対応する表示要素を点滅させることを特徴とする基板処理装置。
6. 請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の基板処理装置において、
   前記表示部は、対応する薬液収納容器が収納されるキャビネット部に配設されることを特徴とする基板処理装置。
7. 請求項６に記載の基板処理装置において、
   前記表示部は、対応する薬液収納容器が収納されるキャビネット部の外側側面に配設されることを特徴とする基板処理装置。

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