JPH1032231A

JPH1032231A - 検査装置

Info

Publication number: JPH1032231A
Application number: JP8261299A
Authority: JP
Inventors: Hideaki Tanaka; 秀明田中; Yoshito Marumo; 芳人丸茂
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1996-05-17
Filing date: 1996-09-10
Publication date: 1998-02-03

Abstract

(57)【要約】【課題】プローブ装置の使用国と出荷国が異なり、しか
も使用国と出荷国に使用言語が互いに理解し難い場合に
は、メンテナンスに際して表示装置の表示パネルに表示
された操作キーの操作内容を操作の度毎に対照表等によ
り確認しなくてはならないため、対照作業に時間を多く
の費やし、メンテナンスに多大な時間を要し、エラー対
策等のメンテナンス対策を迅速に行うことができない。【解決手段】本プローブ装置１０は、カセットＣ内の
半導体ウエハＷを搬送するピンセット１２を備えたロー
ダ部１３と、上記ピンセット１２を介して搬送された半
導体ウエハＷを検査するプローバ部１４と、このプロー
バ部１４及びローダ部１３を制御するコントローラ１５
と、このコントローラ１５の操作キー１６１Ａを表示す
る表示パネルを有する表示装置１６とを備え、上記操作
キー１６１Ａに対応する識別記号キーＳ₁を操作キー１
６１Ａと共に表示パネル１６１に表示し、識別記号キー
Ｓ₁の操作によりその操作キー１６１Ａの操作内容を使
用国の言語とは異なる別の表現で表示することを特徴と
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、使用国の言語に左
右されることなくエラー対策等のメンテナンス対策を迅
速に行うことができる検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の検査装置、例えば半導体ウエハの
電気的検査を行うプローブ装置１０は、図７〜図９に示
すように、カセットＣ内に収納された半導体ウエハＷを
載置するカセット載置部１１及びこのカセット載置部１
１の半導体ウエハＷを搬送するピンセット１２とを備え
たローダ部１３と、このローダ部１３のピンセット１２
を介して搬送された半導体ウエハＷを検査するプローバ
部１４と、このプローバ部１４及びローダ部１３を制御
するコントローラ１５と、このコントローラ１５を操作
する表示パネルを有する表示装置１６とを備えて構成さ
れている。

【０００３】また、上記ローダ部１３にはオリエンテー
ションフラットを基準にして半導体ウエハＷの向きを合
わせる、いわゆるプリアライメントを行うサブチャック
１７が配設されている。従って、ピンセット１２はカセ
ットから半導体ウエハを搬出し、サブチャック１７でプ
リアライメントした後、半導体ウエハＷをプローバ部１
４へ搬送するようになっている。

【０００４】また、プローバ部１４には、半導体ウエハ
Ｗを載置するＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動可能なメイン
チャック１８と、このメインチャック１８上に載置され
た半導体ウエハＷを検査位置に正確に位置合わせするア
ライメント機構１９と、アライメント機構１９により位
置合わせされた半導体ウエハＷの電気的検査を行うため
のプローブ針２０Ａを有するプローブカード２０とが配
設されている。また、プローバ部１４にはテストヘッド
２１が旋回可能に配設され、プローバ部１４上に旋回し
たテストヘッド２１を介してプローブカード２０とテス
タ（図示せず）間を電気的に接続し、テスタからの所定
の信号をプローブカード２０を介してメインチャック１
８上の半導体ウエハＷに印加し、半導体ウエハＷに形成
された複数のＩＣチップの電気的検査をテスタによって
順次行うようになっている。

【０００５】そして、ピンセット１２がローダ部１３の
カセットＣから未検査の半導体ウエハＷをプローバ部１
４のメインチャック１８へ引き渡し、メインチャック１
８から検査済みの半導体ウエハＷを受け取ってカセット
Ｃへ戻すようになっている。

【０００６】ところで、従来のプローブ装置１０の場合
には、半導体ウエハＷの検査結果や、ローダ部１３、プ
ローバ部１４の動作状況、あるいは操作エラー、動作エ
ラー等のエラーを表示パネル１６１に表示するようにし
てあり、その表示は使用国の言語によって行うようにし
てある。また、表示パネル１６１には操作パネルを表示
するようにしてあり、プローブ装置１０を操作する場合
には操作パネルに表示された操作キーを介して操作する
ようにしてある。操作キーにはその操作内容が使用国の
言語で表示してあり、操作キーの表示内容に従って種々
の操作を行うようにしてある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
プローブ装置１０の場合には、表示パネル１６１は使用
国の言語によって表示され、例えば、使用国が韓国の場
合には表示パネル１６１はハングル文字で表示されるた
め、例えば日本人のオペレータがプローブ装置のメンテ
ナンスを行うために半導体ウエハＷの検査状況やローダ
部１３、プローバ部１４の動作状況、あるいは操作エラ
ー、動作エラー等のエラー状況を確認しようとしても日
本人にとってハングル文字は理解できないことが多く、
メンテナンスに際して操作キーの操作内容を操作の度毎
に確認しなくてはならず、その確認には各表示内容に即
した対照表等を予め準備し、その対照表に即して操作し
なくてはならないため、対照作業に時間を費やし、メン
テナンスに多大な時間を要し、エラー対策等のメンテナ
ンス対策を迅速に行うことができないという課題があっ
た。

【０００８】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、使用言語に左右されることなく、表示パネ
ルの表示内容を容易且つ迅速に確認することができ、エ
ラー対策等のメンテナンス対策を迅速に行うことができ
る検査装置を提供することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の検査装置は、容器内に収納された被検査体を載置する
載置部及びこの載置部の被検査体を搬送する搬送機構を
備えたローダ部と、このローダ部の搬送機構を介して搬
送された被検査体を検査するプローバ部と、このプロー
バ部及び上記ローダ部を制御するコントローラと、この
コントローラを操作する表示パネルを有する表示装置と
を備え、上記コントローラを操作する操作キーを使用国
の言語で上記表示パネルに表示するように構成された検
査装置において、上記操作キーに対応する識別記号キー
を上記操作キーと共に上記表示パネルに表示し、上記識
別記号キーの操作により操作キーの操作内容を使用国の
言語とは異なる別の表現で表示することを特徴とするも
のである。

【００１０】また、本発明の請求項２に記載の検査装置
は、容器内に収納された被検査体を載置する載置部及び
この載置部の被検査体を搬送する搬送機構を備えたロー
ダ部と、このローダ部の搬送機構を介して搬送された被
検査体を検査するプローバ部と、このプローバ部及び上
記ローダ部を制御するコントローラと、このコントロー
ラを操作する表示パネルを有する表示装置とを備え、上
記コントローラを操作する操作キーを使用国の言語で上
記表示パネルに表示するように構成された検査装置にお
いて、上記操作キーに対応する識別記号を上記操作キー
と共に上記表示パネルに表示し、エラー発生時に表示さ
れている特定キーをその識別記号を参照して操作するこ
とにより操作キーの操作履歴を共通記号で表示すること
を特徴とするものである。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図６に示す実施形態
に基づいて従来と同一部分または相当部分には同一符号
を付して本発明を説明する。本実施形態のプローブ装置
１０は機械構造的には従来の装置に準じて構成されてい
る。即ち、本実施形態のこのプローブ装置１０は、図７
〜図９に示すように、カセットＣ内に収納された被検査
体としての半導体ウエハＷを載置する載置部１１及びこ
の載置部１１に載置された半導体ウエハＷを搬送する搬
送機構としてのピンセット１２を備えたローダ部１３
と、このローダ部１３のピンセット１２を介して搬送さ
れた半導体ウエハＷを検査するプローバ部１４と、この
プローバ部１４及びローダ部１３を制御するコントロー
ラ１５と、このコントローラ１５を操作する表示パネル
１６１を有する表示装置１６とを備えて構成されてい
る。また、表示パネル１６１には、例えばＣＣＤカメラ
等で撮像したプローバ部１４内を表示したり、表示画面
を切り換えることによりコントローラ１５を介してプロ
ーブ装置１０を操作する操作パネルを表示するようにし
てある。そして、表示パネル１６１の一部には操作キー
が表示され、その操作キーに触れることにより、例えば
表示画面を撮像画像の表示画面から操作パネルの表示画
面に切り換えるようにしてある。尚、以下では必要に応
じて操作パネルに表示パネルと同一符号を付けて説明す
る。

【００１２】上記表示パネル１６１には、画面表示モー
ド、操作表示モード、エラー表示モード等種々のモード
で表示画面を表示し、各画面には画面コード番号を付け
るようにしてある。そして、各モードは所定のプログラ
ムに従って表示パネル１６１に表示され、記憶装置に記
憶させるようにしてある。画面表示モードの場合には半
導体ウエハの検査結果等のデータファイルを読み出して
表示パネル１６１に表示し、その画面を画面コードと共
に履歴ファイルに記憶させるようにしてある。また、操
作表示モードまたはエラー表示モードも同様に操作キー
の操作履歴またはエラー履歴を履歴ファイルにそれぞれ
記憶させるようにしてある。これにより操作キーの操作
履歴やエラーの履歴をメンテナンス時等に適宜確認でき
るようにしてある。

【００１３】例えば操作表示モードの場合には、図１の
（ａ）〜（ｃ）に示すように表示パネル１６１に操作キ
ー１６１Ａが表示され、操作キー１６１Ａのタッチ操作
によりプローブ装置１０を操作できるようにしてあり、
また、他の操作キーにより他の操作パネルに順次切り換
えるようにしてある。各操作パネル１６１には例えば図
１の（ａ）〜（ｃ）に示すように所定の処理を開始する
ための操作キー１６１Ａが表示され、この操作キー１６
１Ａをタッチ操作することによりその処理を開始するよ
うにしてある。プローブ装置１０の使用国が日本であれ
ば操作キー１６１Ａには「開始」と日本語で表示し（同
図の（ａ）参照）、使用国が英語圏であれば操作キー１
６１Ａには「開始」と英語で表示し（同図の（ｂ）参
照）、使用国が韓国であれば操作キー１６１Ａには「開
始」とハングル文字で表示し（同図の（ｃ）参照）、操
作キー１６１Ａがその処理を開始するための開始用の操
作キーであることが判るようにしてある。従って、操作
キー１６１Ａには種々の操作を行うための操作キーがあ
り、各操作キー１６１Ａにはそれぞれの操作内容を使用
国の言語で表示するようにしてある。

【００１４】更に、本実施形態のプローブ装置１０の場
合には、図１の（ａ）〜（ｃ）に示すように種々の操作
キー１６１Ａにはそれぞれに対応した識別記号キーＳn
（但し、ｎは自然数である。：図１の場合にはｎ＝１と
して示してある。）が割り振られ、識別記号キーＳnを
操作キー１６１Ａと並べて操作パネル１６１に表示する
ようにしてある。例えば図１の（ａ）〜（ｃ）で表示さ
れた識別記号キーＳ₁をタッチ操作すると、例えば操作
パネル１６１の下端部に共通スペース１６１Ｂが開くと
共にこの共通スペース１６１Ｂに操作キー１６１Ａの操
作内容を使用国の言語とは異なる別の表現で表示できる
ようにしてある。このように操作キー１６１Ａの操作内
容を使用国の言語とは異なる別の表現で表示すること
で、使用国と出荷国が異なっていても出荷国のメンテナ
ンス用員が使用国においてその装置をメンテナンスする
場合や、その装置に種々のエラーがあった場合、例えば
操作キー１６１Ａが図１の（ｃ）に示すように使用国で
ある韓国の言語であるハングル文字で表示され、オペレ
ータがハングル文字を理解できなくても操作キー１６１
Ａに隣接する識別記号キーＳ₁を操作することで、操作
キー１６１Ａの操作内容を共通スペース１６１Ｂに国際
共通言語である英語で「ＳＴＡＲＴ」と表現し、操作キ
ー１６１Ａの操作内容を共通スペース１６１Ｂの表示内
容から容易且つ迅速に確認してその操作キー１６１Ａを
操作することができる。また、装置にエラーが発生した
場合、特定の操作キー１６１Ａ及び識別記号キーＳnが
並べて表示され、これらをタッチ操作することにより操
作キーの操作履歴またはエラー履歴等が所定の記号で表
示され、その記号を読み取ることによって操作キーの履
歴やエラー履歴を確認し、迅速にエラー対策を採ること
ができるようにしてある。この識別記号キーＳnは表示
パネル１６１に表示される多数の操作キー１６１Ａそれ
ぞれに対して固有の識別記号キーＳnとして割り振ら
れ、その識別記号キーＳnをタッチ操作すれば、上述し
たように共通スペース１６１Ｂが表示パネル１６１の下
端部に開き、各操作キー１６１Ａの操作内容をオペレー
タが理解できる表現で表示するようにしてある。

【００１５】例えば、図１の（ｂ）に示すようにプロー
ブ装置１０の出荷国が日本で使用国が英語圏の場合に
は、操作キー１６１Ａにはその操作内容である「開始」
が使用国の言語である英語で表示され、共通スペース１
６１Ｂには「開始」を意味する「ＳＴＡＲＴ」と表示さ
れるようになっている。また、同図の（ｃ）に示すよう
にプローブ装置１０の出荷国が日本で使用国が韓国の場
合には、操作キー１６１Ａにはその操作内容である「開
始」が使用国の言語であるハングル文字で表示され、共
通スペース１６１Ｂには「開始」を意味する「ＳＴＡＲ
Ｔ」と表示されるようになっている。従って、オペレー
タはハングル文字で表現された「開始」の意味が理解で
きなくても、識別記号キーＳ₁をタッチ操作すること
で、共通スペース１６１Ｂに表示された「ＳＴＡＲＴ」
という表示を読み取ることで操作キー１６１Ａの操作内
容を容易且つ迅速に確認することができる。

【００１６】次に、表示パネル１６１に表示された画面
表示モード及びエラー表示モードを用いてプローブ装置
１０の操作履歴やエラー履歴を確認する動作について図
２及び図３を参照しながら説明する。メンテナンス時等
にエラー履歴を確認する場合には、エラー表示モードを
用いるが、このエラー表示モードは図２に示すフローチ
ャートに従って表示パネル１６１上でエラー内容及び履
歴を表示処理する。エラー履歴を確認するに当たってプ
ローブ装置１０の使用国が韓国であれば表示パネル１６
１はハングル文字で表示され、オペレータがハングル文
字を理解できない場合には、エラー表示モード画面に表
示された種々の操作キー１６１Ａの操作内容をそれぞれ
に割り当てられた識別記号キーＳnを操作すればその操
作内容が操作の度毎に確認され、表示パネル１６１上で
エラー内容を容易且つ迅速に確認することができる。ま
た、上記識別記号キーＳn（例えば図４では識別記号キ
ーＳ₂〜Ｓ₆）は図４の表示画面では「各種機能」等と表
示された各操作キー１６１Ａ右下の○印キーとして表示
され、「各種機能」（各種機能を次画面に表示するため
の操作キー１６１Ａ）の右下の○印キーＳ₅をタッチ操
作することで操作キー１６１Ａの操作内容である「各種
機能」（図４では日本人オペレータに理解できる日本語
で表現されているが、日本人オペレータにとって理解し
難いハングル文字等で表現されている場合を含む）が例
えば英語等の国際共通言語で表示パネル１６１の下端部
１６１Ｂに表示され、この操作キー１６１Ａが「各種機
能」を次画面に表示するための操作キーであることを確
認した上で、この操作キー１６１Ａをタッチ操作する
と、表示パネル１６１へ図５に示す次画面で各種機能の
内容を表示するようにしてある。同様に図５では例えば
識別記号キーＳ₁₁が「エラーログ」と表示された操作キ
ー１６１Ａ右下の○印キーとして表示され、この識別記
号キーＳ₁₁に対応する「エラーログ」の操作キー１６１
Ａをタッチ操作すると、図６に示す次画面が表示パネル
１６１に表示され、エラーログの内容と次に有効な○印
キー（Ｓ₁₄〜Ｓ₁₇）が表示される。尚、図４では識別記
号キーＳnの記号を○印内に記入できないため、便宜上
引き出し線を用いてその記号を示した。

【００１７】また、上記識別記号キーＳnに代えて図
５、図６に示すように特定キー（単なる○印キー）を設
け、各○印キーの真上に識別記号Ｓnを付けても良い。
この場合には、識別記号Ｓnに対応する操作キー１６１
Ａの操作内容を示す一覧表が画面の一部に開くように
し、この一覧表を参照しながら特定キーを操作すること
により、操作キー１６１Ａの操作履歴を共通記号（例え
ば識別記号と同一の符号Ｓn）で表示するようにしても
良い。この場合には、オペレータは特定キーの操作によ
り履歴ファイルから操作履歴を共通記号で表示した画面
として表示することができ、その共通記号により使用言
語に左右されることなく、表示パネル１６１の表示内容
を容易且つ迅速に確認することができ、エラーに迅速に
対応することができる。

【００１８】従って、図２に示すフローチャートによれ
ば、プローブ装置１０においてエラーが発生したことを
検知しエラーが発生したと判断すると（ステップ１）、
エラーコードを履歴ファイルにセーブし、エラーの発生
日時、内容等を保存する（ステップ２）。次いでエラー
発生をオペレータに告知するエラー発生告知画面を図４
に示すように表示パネル１６１に表示する（ステップ
３）。そして、図４に表示されたエラー処理キーの何れ
が選択されたかを確認し（ステップ４）、「各種機能」
と表示された操作キー１６１Ａをタッチ操作したことが
確認された場合にはエラー処理の表示選択画面を図５に
示すように表示パネル１６１に表示する（ステップ
５）。次に、エラー履歴を表示するか、操作履歴を表示
するか等を判断し（ステップ６）、図５で「エラーロ
グ」と表示された操作キー１６１Ａがタッチ操作されエ
ラー履歴を表示すると判断した場合には、エラーコード
を履歴ファイルから読み出して図６に示すように表示パ
ネル１６１に表示し、エラーの発生日時、エラーの内容
等を一覧することができる（ステップ７）。但し、図６
ではエラー履歴表示画面の書式のみを示し、具体的なエ
ラー内容は図示してない。一方、ステップ６の表示選択
において図５で「操作ログ」と表示された操作キー１６
１Ａがタッチ操作され操作履歴を表示すると判断した場
合には、操作コードを履歴ファイルから読み出して表示
パネル１６１にその内容を図６の表示内容に準じて表示
する（ステップ８）。

【００１９】その後、画面上の処理の選択を待ち（ステ
ップ９）、エラー表示モードまたは履歴表示モードを終
了して前画面へ戻るか否かを判断し、戻ると判断すると
ステップ５へ戻って表示選択画面を表示パネル１６１に
表示し、ステップ６における表示選択を待つ。ステップ
６において図５に示す表示選択画面で「前画面」と表示
された操作キー１６１Ａを選択した場合には更にステッ
プ３へ戻って図４に示すエラー発生告知画面を表示パネ
ル１６１に表示した後、ステップ４において次の処理が
選択されるのを待つ。また、ステップ４において図４に
示すエラー発生告知画面上で「リトライ」と表示された
操作キー１６１Ａを選択した場合にはエラー発生告知画
面の表示を終了してステップ１に戻って次のエラーが発
生するまで待機する。このような一連の操作を繰り返す
ことによりプローブ装置１０のエラー履歴が保存されて
いるため、オペレータがエラー履歴を確認する場合に
は、エラー履歴表示画面を表示パネル１６１に呼び出
し、エラー履歴を一覧することによって常にプローブ装
置１０のエラー履歴を把握することができる。また、そ
の履歴はプリンタによりプリントアウトしたり（ステッ
プ１０）、エラー履歴表示画面上の「ＦＤ書き込み」と
表示されたキーをタッチ操作することでフロッピーディ
スクへセーブすることもでき（ステップ１１）、オペレ
ータが過去の操作履歴を把握し、エラーの究明を迅速に
行い、エラー対策を迅速に進めることができる。以上の
操作において各操作キー１６１Ａに表示された操作内容
が理解できない時には、前述したようにそれぞれの○印
キーをタッチ操作することによりその操作内容を確認す
ることができる。

【００２０】また、上記履歴表示モードは、図３に示す
フローチャートに従って処理する。この場合にも表示パ
ネル１６１に表示された操作キー１６１Ａまたは識別記
号キーＳnとしての○印キーを操作すればその操作内容
を操作の度毎に確認することができる。即ち、履歴表示
モードの画面を「操作ログ」の操作キー１６１Ａをタッ
チ操作することで表示パネル１６１に表示した後（ステ
ップ２１）、画面データファイルの読み出しを実行する
（ステップ２２）。オペレータは画面データファイルに
変更があったか否かを判断し（ステップ２３）、画面デ
ータファイルに変更があったと判断すると、その変更画
面コードを履歴ファイルにセーブする（ステップ２
４）。これに引き続き操作キー１６１Ａの操作を実行し
たか否かを判断し（ステップ２５）、操作キー１６１Ａ
の操作を実行したと判断すると、その操作コード（共通
記号である識別記号Ｓnを含む）を履歴ファイルにセー
ブした後（ステップ２６）、表示パネル１６１の変更指
示があったか否かを判断する（ステップ２７）。表示パ
ネル１６１の変更指示があったと判断すると、ステップ
２２へ戻り、上述の処理を繰り返し、画面データファイ
ル、操作キー１６１Ａの操作内容に変更があれば、その
都度履歴ファイルにセーブし、操作履歴を保存する。ま
た、ステップ２３において画面データファイルに変更が
ないと判断した時にはステップ２５へジャンプし、ステ
ップ２５からステップ２７の処理を順次実行する。ま
た、ステップ２５において新たなキー操作が行われてい
ないと判断すると、ステップ２７へジャンプする。この
ような一連の操作を繰り返すことによりプローブ装置１
０の操作履歴が保存されているため、オペレータが操作
履歴を確認する場合には、履歴ファイルを読み出して表
示パネル１６１に操作履歴を共通記号である識別記号Ｓ
nあるいは英語等の国際共通言語で表示することによっ
て常にプローブ装置１０の操作履歴を使用国の言語に制
限されることなく把握することができ、その履歴はプリ
ンタによりプリントアウトすることができ、オペレータ
が過去の操作履歴を把握し、操作履歴をメンテナンスの
参考にすることができる。

【００２１】以上説明したように本実施形態によれば、
表示パネル１６１に操作キー１６１Ａに対応する識別記
号キーＳnを操作キー１６１Ａと共に表示パネル１６１
の下側縁部の共通スペース１６１Ｂに表示し、識別記号
キーＳnの操作によりその操作キー１６１Ａの内容を使
用国である韓国等とは異なる日本人のオペレータが理解
できる表現で表示するようにしたため、日本人のオペレ
ータがプローブ装置１０のエラー内容を確認する場合に
は識別記号キーＳnを操作することにより操作キー１６
１Ａを容易且つ迅速に操作してエラー内容を容易に確認
することができる。従って、従来のプローブ装置のよう
にハングル文字と日本語の対照表等を準備する必要がな
く、迅速にエラー対策等のメンテナンス対策を採ること
ができる。

【００２２】尚、本発明は上記実施例に何等制限される
ものではなく、操作キーに対応する識別記号キーを操作
キーと共に表示パネルに表示し、識別記号キーの操作に
よりその操作キーの内容を使用国の言語とは異なる別の
理解可能な言語で表示するようにした検査装置であれ
ば、全て本発明に包含される。また、識別記号キーは、
操作キーとせず単なる記号としてその記号一覧表を参照
して操作し、操作履歴を共通記号で表示する方式であれ
ば、本発明に包含される。

【００２３】

【発明の効果】本発明の請求項１に記載の発明によれ
ば、使用言語に左右されることなく、表示パネルの表示
内容を容易且つ迅速に確認することができ、エラーに迅
速に対応することができる検査装置を提供することがで
きる。

【００２４】また、本発明の請求項２に記載の発明によ
れば、使用言語に左右されることなく、表示パネルに表
示された操作履歴を共通記号によって容易且つ迅速に確
認することができ、操作エラーに迅速に対応することが
できる検査装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査装置の一実施形態であるプローブ
装置の表示パネルの表示画面を示す正面図である。

【図２】エラー表示モードを表示パネルへ表示処理する
プログラムのフローチャートである。

【図３】画面表示モードを表示パネルへ表示処理するプ
ログラムのフローチャートである。

【図４】表示パネルに表示されたエラー発生告知画面を
示す図である。

【図５】表示パネルに表示された表示選択画面を示す図
である。

【図６】表示パネルに表示されたエラー履歴表示画面を
示す図である。

【図７】プローブ装置の外観を示す斜視図である。

【図８】図７に示すプローブ装置のプローバ部を破断し
て示す部分断面図である。

【図９】図７に示すプローブ装置の全体の構成を示す平
面図である。

【符号の説明】

１０プローブ装置１１カセット載置部１２ピンセット（搬送機構）１３ローダ部１４プローバ部１５コントローラ１６表示装置１８メインチャック（載置台）１６１表示パネル１６１Ａ操作キー１６１Ｂ共通スペースＳn 識別記号キー（または識別記号）Ｓ₁ 識別記号キー（または識別記号）Ｗ半導体ウエハ（被検査体）Ｃカセット（容器）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】容器内に収納された被検査体を載置する
載置部及びこの載置部の被検査体を搬送する搬送機構を
備えたローダ部と、このローダ部の搬送機構を介して搬
送された被検査体を検査するプローバ部と、このプロー
バ部及び上記ローダ部を制御するコントローラと、この
コントローラを操作する表示パネルを有する表示装置と
を備え、上記コントローラを操作する操作キーを使用国
の言語で上記表示パネルに表示するように構成された検
査装置において、上記操作キーに対応する識別記号キー
を上記操作キーと共に上記表示パネルに表示し、上記識
別記号キーの操作により操作キーの操作内容を使用国の
言語とは異なる別の表現で表示することを特徴とする検
査装置。
【請求項２】容器内に収納された被検査体を載置する
載置部及びこの載置部の被検査体を搬送する搬送機構を
備えたローダ部と、このローダ部の搬送機構を介して搬
送された被検査体を検査するプローバ部と、このプロー
バ部及び上記ローダ部を制御するコントローラと、この
コントローラを操作する表示パネルを有する表示装置と
を備え、上記コントローラを操作する操作キーを使用国
の言語で上記表示パネルに表示するように構成された検
査装置において、上記操作キーに対応する識別記号を上
記操作キーと共に上記表示パネルに表示し、エラー発生
時に表示されている特定キーをその識別記号を参照して
操作することにより操作キーの操作履歴を共通記号で表
示することを特徴とする検査装置。