JP5116667B2 - 半導体プラズマ発生システムにおける電力潮流を解析するシステムと方法 - Google Patents

Description

本発明は、米国仮出願第60/689,769号(2005年6月10日出願)の優先出願の利益を主張するものである。

本発明は、包括的に言えば、高周波送電システムにおける電力潮流の測定に関するものであり、より詳しくは、半導体プラズマ発生器のための高周波励起システムにおける電圧および電流信号の基本振動および高調波の振幅および位相関係を測定するシステムと方法に関するものである。

半導体ウェーハの加工で使用されるタイプの高周波プラズマ反応器は、大量の高周波電力を必要とする。基本的には、この技術は、電力のプラズマへの印加による加工プラズマ点火と維持とを含む。このプラズマは、導入ガスならびにターゲットおよび当該ウェーハ表面と相互作用し、所望の加工結果が生じるようにする。

半導体デバイスの複雑さの増大により、製造プロセスのますます厳重な制御が必要になっている。最新のプラズマ加工における厳重なプロセス制御を実現するためには、実際の加工条件化での高周波電圧および電流信号に関してより多くの情報を得ることが望ましい。これは、通常、プラズマ発生システムに送られる基本振動および高調波信号電力を測定するために送電路に挿入される利用可能なV-Iプローブによってなされる。

当業者には周知のように、高周波電圧および電流信号の基本振動および高調波の振幅および位相角関係により、半導体ウェーハ加工時のプロセス特性の変動の大きな部分が説明される。加工プラズマの非線形性により、高周波励起基本振動の高調波が誘起される。これは、基本周波数において負荷が整合していると思われる場合でもそうである。その結果、加工プラズマに送られる全電力は、基本および高調波振動の電力レベルの総和となる。公知のプラズマ加工ツール(tool)では、通常、プロセス特性収率(process performance yields)を高めるために、二つ以上の高周波信号周波数が使用される。しかし、二つ以上の励起周波数をプラズマ発生システムに印加すると、全電力潮流(power flow)に相互変調周波数が発生するために、プロセスの不確実性が増大する。

先行技術の試みは、たとえば米国特許第5,523,955号および第5,273,610号明細書に開示されているもののように、プラズマ加工における電力潮流の特性を制御するようなものである。たとえば、米国特許第5,523,955号明細書には、高周波信号の検出のために、送電路内に挿入される測定プローブが開示されている。このとき、検出された信号は、該信号に関する位相角情報の計算のために、二次的にAC信号を導くのに使用される。しかし、本発明以前には、高周波電圧および電流信号の基本および高調波成分の相対位相角情報を正確かつ確実なやり方で直接測定するのに必要な技術を、当業者が簡単に利用することはできなかった。

したがって、依然として存在する強い要求は、基本信号振動と基本振動の高調波との臨界振幅および位相角関係を測定し、解析するためのシステムと方法とを提供することである。そのようなシステムと方法においては、高周波励起信号の調波成分の特性に関する情報をモニターして、加工室への電力潮流を調節および制御し、製造収率を向上させ、またプラズマ加工をより容易に制御し、反復することができる。

ここでは、本発明を、半導体プラズマ発生器における電力潮流の解析のためのシステムと方法に関して説明するが、当業者には明らかなように、本発明は他の多くの送電システムでも使用することができ、たとえば磁気共鳴映像法(MRI)システムならびに工業的加熱システムたとえば誘導および誘電加熱システムでも使用できるが、これらのみには限定されない。たとえば、MRIシステムにおいては、高調波振幅および位相情報の解析を、いろいろな負荷(たとえば、患者)条件下での送信信号の磁気共鳴を制御および調節するのに使用することができる。工業的加熱への応用の場合、高周波振幅および位相情報の解析を、加工物および/または加工装置への電力潮流を制御し、調節して、加工性能を向上させるために、使用することができる。

高周波送電システムにおける電力潮流を測定するための測定プローブ、たとえば、高周波電圧および電流信号を受信し、測定するための測定用受信機に接続された電圧センサーおよび電流センサー。高周波電圧および電流信号は、直接、またはサンプリングによる周波数コンバータによって、デジタル表示の高周波波形に変換される。このコンバータは、デジタル変換に先立って、高周波電圧および電流信号を一定の中間周波数(IF)とする。デジタル表示の高周波信号は、もとの高周波信号に関係する基本振動および高調波の振幅および位相情報を含む。デジタル信号処理回路は、データ収集、数学的変換、信号フィルター、拡大縮小(scaling)、および外部処理制御のための数学的に変形できるアナログ出力の生成を実行する。また、この回路は、各々のもとの高周波信号の基本振動および高調波の振幅および位相成分に関する情報を抽出する。ユニバーサルシリアルバス(USB)および/またはイーサネット（登録商標）接続が備えられ、測定用受信機を、さらなる数値およびグラフ解析のために外部コンピュータに接続する。

また、高周波送電システムにおける電力潮流パラメータの測定および解析のための方法をも開示する。このシステムにおいては、複数の測定プローブが送電路に挿入され、インピーダンス制御、挿入損、および電力潮流が決定される。回路に接続されるプローブは、ツーポート(two-port)測定値を与えることができ、このプローブを使用して、入力インピーダンス、出力インピーダンス、挿入損、内部散逸、電力潮流効率、散乱(scattering)、およびプラズマ非線形性の高周波信号に対する影響を決定することができる。本発明の代表的実施形態においては、単一の測定用受信機を使用して、複数のプローブからのデータを取得する。この複数のプローブからのデータは、後続処理のために外部コンピュータに送られる。もう一つの代表的実施形態においては、複数の測定用受信機が各プローブに個別に接続され、したがってシステムデータの“実時間”処理が可能になる。

本発明の前記およびその他の目的、特徴、および利点は、添付の図面に即した、本発明の代表的実施形態の以下の詳細な説明、および特許請求の範囲を読むことによって、明らかになるであろう。

本発明の基本概念を示す添付の図面において、図1は、高周波による励起システムにおける基本振動および高調波の振幅および位相関係を測定するためのシステムを示す全体的ブロック図である。一つ以上の交流電源2が、高周波送電線4により整合回路5を通ってツールチャック(tool chuck)40に送られる交流電圧および電流信号を生成する。このツールチャックは、たとえば半導体プラズマ反応器とすることができる。この発明の開示においては、‘送電線’という言葉は、電気信号を送るためのすべての公知の手段またはこれから開発される手段を含むものとする。これらの手段には、たとえば、同軸ケーブル、導波管、マイクロストリップ、撚り合わせ対、銅線、その他が含まれるが、これらのみには限定されない。

整合回路5には、プラズマの複素インピーダンスを変換して、発電機に対する特性負荷インピーダンスが発電機の基本周波数において整合するようにする。測定プローブ8が送電路に挿入され、高周波送電線4を通して送られる電圧および電流信号が測定される。測定プローブ8は、それぞれ電圧および電流信号を検出するための電圧センサー10および電流センサー12から成る大電力デバイスである。電圧センサー10および電流センサー12は、高周波送電線4の中心導体に接続され、ここでは、センサーハウジングそのものが送電線の外側導体の一部となる。

プローブ8は、それぞれ電圧センサー10および電流センサー12からの電圧信号および電流信号を受信するための高周波コネクタ入力チャンネル10aおよび12bを有する測定用受信機14に接続されている。受信機14は、また、プローブハウジング内に記憶されている温度読み取り値と較正データを送るためのデジタルインタフェース(図示せず)をも有し、これにより、各インピーダンスプローブは、プローブハウジング内に記憶されている較正データによって較正することができる。

図2においては、測定プローブ8の電流センサー12は、硬質同軸送電線の単一ループから成る。このループは、プローブ8の中心導体102および付随する送電線4と平行に配置される。電流センサー12の外側導体は、ファラデー遮蔽として作用するように変形され、外部に対する容量結合がなくなり、相互結合高周波電流のみが出力電圧を生成するようにする。電流センサーループ12の一端における電圧は、当業者に周知のやり方で測定用受信機に接続され、送電線4を送られる電流信号が測定される。

ふたたび図2を参照すると、電圧センサー10は、通常、プローブ8の中心導体102に容量結合しているディスクから成る。電圧センサー10は、送電線の入力に接続され、該入力は次に、測定用受信機インタフェースに接続され、これにより、送電線4からの高周波電圧信号の受信と測定がなされる。

本発明の一つの代表的実施形態においては、プローブハウジング101と中心導体102との間の空洞領域を誘電性材料で満たして絶縁破壊電圧を高くし、測定プローブ8が7500Vの波高値を上回る電圧に耐えられるようにすることができる。容易にわかるように、中心導体102とハウジング101の寸法は、送電線部分の特性インピーダンスが約50Ωになるように調節することができる。

プローブセンサー10、12によって与えられる測定結果の精度を維持するために、中心導体102と外側導体/ハウジング101との温度は常にモニターされ、中心導体102の加熱によって引起されるセンサーカップリングにおける不可避の変化の補正のために、センサー較正係数に小さな修正がなされる。

各プローブ8は、正確な電流および電圧結合係数と、装置の動作周波数範囲における電流と電圧の間の位相角とを決定する較正プロセスによって特性が決定される。較正プロセス中、中心導体102および外側導体/ハウジング101の温度が記録される。この較正データまたは情報は、デジタル形式でプローブアセンブリ内に記憶され、プローブ8が測定用受信機14に取りつけられるたびに取り出される。したがって、複数の測定プローブ8が単一の測定用受信機14を共有することができる。というのは、局所的に記憶されている温度読み取り値と較正データが、プローブと受信機が接続されるたびに送られるからである。個々のプローブの較正に加えて、相互連結送電線も個別に較正される。送電線からの較正データは送電線アセンブリ自身に記憶される。ここに示す代表的実施形態においては、送電線アセンブリは、二つの高周波ケーブルとデータケーブルとから成る。デジタルメモリチップがデータケーブルコネクタ内に配置され、送電線アセンブリからの較正データが送電線アセンブリそのものに記憶されることを可能にする。測定用受信機は、デジタルインタフェースにより、送電線およびプローブハウジングからの較正データを送るのに、適合させられている。このようにして、本発明の較正プロセスにより、個々の要素を個別に較正することができる。この個別較正プロセスにより、システム全体の再較正の必要なしで、現場の個別要素を交換することができるので、好都合である。

動作中、中心導体102の温度は、赤外放射温度計105によって常にモニターされ、読み取り値が外側導体/ハウジング101の温度と比較される。得られた温度差を使用して、外側導体/ハウジング101に対する中心導体102の寸法と間隔との変化に応じて、電圧と電流の結合係数が調節される。同時に、プローブ要素に付随する寄生リアクタンスも決定することができる。この較正プロセスでは、また、プローブの寄生リアクタンスを補正するために測定インピーダンス情報が調節される。

図3A、3Bに示すように、電圧および電流センサー10、12から受信された電圧および電流信号が同様に処理される。電圧および電流信号は、それぞれの電圧チャンネル10aおよび電流チャンネル12bによって相互分離される。動作周波数の変化に伴う信号レベルの大きな変動により、能動(active)等化器13は容量性帰還が加えられる広帯域演算増幅器の形で、電圧および電流センサー10、12の間で動作する。等化器13は、電圧および電流信号を“積分”して、電圧および電流センサー10、12の“変化率”応答を補正する。一つの代表的な実施形態においては、等化器の出力がサンプリングによる周波数変換器15に接続され、デジタル変換の前に、試験中の信号が固定中間周波数(IF)に変換される。別の実施形態においては、等化器13の出力を、デジタル変換のために、直接、可変利得段18およびADコンバータ20に接続することができる。

図3Aに示すように、随意(optional)サンプリングによる周波数変換器15を使用して、高周波信号とその高調波とを、ずっと低いIF周波数に変換し、それから、この周波数を既存の高分解能ADコンバータ技術の帯域制限範囲と比較することができる。この実施形態の場合、一対のサンプリングゲート16が、高周波信号の小サンプルを取り出して、その値を次のサンプルが採られるまで保持するゼロ次保持回路の一部分をなしている。サンプリングゲートは、約300psの持続時間の狭いパルスによって閉じられる。サンプリングゲートが閉じている間、高周波信号電圧がサンプリングキャパシターに加えられる。サンプラー増幅器17が使用され、サンプリングキャパシターに加わる電圧を安定させ、この電圧のレベルがサンプルの間に維持されるようにされる。このサンプラーの帯域は、約1000MHzまでの信号の位相に重大な影響を与えないのに十分なものとする。予想できる遅延に関係する位相のずれは、デジタル信号処理回路22において較正することができる。図3A、3Bにおいて、IF信号は、ADコンバータ20の変換サイクルに位相ロックされ、複数のサンプルを、当該IFの最高必要高調波において各サイクルに関して採ることができる。本発明の代表的実施形態においては、ちょうど四つのサンプルが、当該IFの最高必要高調波の各サンプルに関して採られる。一つの好ましい実施形態においては、サンプリング速度は、当該IF周波数において再生される高周波波形が、信号基本振動と信号基本振動の高調波との間の対応する位相関係を維持し、これが、動作基本振動の約15個の高調波まで維持されるように、算定される。

サンプリングによる周波数変換器を使用することの一つの利点は、すべての代表的プラズマ発生器周波数2、13.56、27.12、60、および162MHzが含まれるようにするのに、わずか約1.95~2.1MHzの局部発振器周波数ずれしか必要でない、ということである。さらに、サンプリングによる周波数変換器は、従来のミキサーによる周波数変換器に比して、一般に、非常に簡単な構成と非常に大きな帯域幅とを有する。

しかし、サンプリングによるダウンコンバージョンは入力高周波帯域内のすべての信号を同時に変換するので、複数の励起信号周波数が使用されるシステムに完全には適合しない場合もある。複数励起周波数の場合、ナイキストサンプリングも有効に使用できる。高周波電圧および電流信号のサンプリングとデジタル化とのために、サンプリング手段がナイキストサンプリング速度ADコンバータと帯域通過サンプリングADコンバータとの組合せを有するようにすることも考えられる。周知のように、ナイキストサンプリングでは、当該最高周波数のサイクルあたり少なくとも二つのサンプルが採取される。信号がデジタル化されると、デジタル信号処理回路22は、追加の信号処理を行う。たとえば、データ収集管理、数学的変換、フィルター、拡大縮小、および外部制御システムのための数学的に可変のアナログ出力の生成を行う。高速ユニバーサルシリアルバス(UBS)またはイーサネット（登録商標）ポート24は、追加の数値およびグラフ解析のために、プローブアセンブリを外部コンピュータ21に接続するように働く。一対のDAコンバータ26を使用して、デジタル信号プロセッサ22からの出力を受信し、もとの高周波電圧および電流波形を再構成することができる。電源回路28は、外部DC電源から必要な内部動作電圧を生成させる。

図4A、4B、および4Cには、本発明の一つの実施形態において生成される波形データの代表例を示す。図4Aは、代表的な未処理電圧波形を示し、図4Bは、代表的な未処理電流波形を示し、図4Cは、代表的な未処理電力波形を示す。本発明においては、フーリエ変換を使用して、電圧および電流信号の基本振動と高調波成分とを分離し、デジタル信号処理アルゴリズムを使用して、個々の周波数成分の振幅と位相が補正できるようにする。このプロセスにおいては、プローブセンサーの結合応答の不完全さを除去し、当該プローブ構造物に伴う寄生リアクタンスを除去する。次に、個々の周波数成分を正しい位相関係でふたたび組み合わせて、もとの電圧および電流波形が再生されるようにすることができる。デジタル信号処理部の出力結果は、各周波数要素の電圧、電流、位相角、電力、およびインピーダンス、ならびに波形データから成る。

複数のプローブを使用すれば、入力および出力インピーダンスならびに挿入損も、簡単に決定することができる。ツーポートインピーダンスパラメータが決定されると、他のすべてのツーポートパラメータを計算することができる。たとえば、インピーダンスパラメータを、アドミッタンスまたは散乱パラメータに変換することができる。

図5は、高周波による励起システムにおける電力潮流を解析する方法を示す。ここでは、二つ以上の測定プローブ8a、8b、8cが、高周波送電線4の異なる点に挿入され、高周波励起システムの電力潮流パラメータに関する情報が得られるようにされる。たとえば、測定プローブ8aを発電機2と送電線4との間に挿入することができ、測定プローブ8bを送電線と整合回路5との間に挿入することができ、プローブ8cを整合回路5とツールチャック40との間に挿入することができる。そうすると、回路に接続されたプローブからの出力を組み合わせて、高周波励起システムの要素のインピーダンス整合および挿入損に関する情報を得ることができる。

複数プローブからの測定を、基本および高周波に関する信号周波数で同時に実行することができる。次に、回路接続プローブを調べて、電力印加回路内の異なる点での電力潮流、ならびにインピーダンスレベルを代表する瞬間電圧、電流、および位相情報が得られる。このようにして、送電線4、整合デバイス5、コネクタ、および反応器プラズマ自身の特性を、たとえばプローブ対に伴うツーポートインピーダンス、アドミッタンス、送電、および/または散乱パラメータを計算することによって、数値化することができる。この計算により、基本励起周波数および各高調波における各要素の特性が同時に決定される。たとえば、それぞれ整合回路の前後に配置されているプローブ8b、8cからのツーポート測定値を使用して、高周波信号の基本または高調波周波数における、入力または出力インピーダンス(アドミッタンス)、挿入損、内部散逸、および送電効率を決定することができる。整合回路5とツールチャック40との間に配置されているプローブ8cからの測定値を使用して、高周波電圧および電流波形を再構成し、高周波信号に及ぼすプラズマ非線形性の影響を知ることができる。

前述の代表的方法により、高周波励起信号の基本振動および高調波振幅ならびに位相関係に関する重要な情報が得られる。この情報をモニターして、正常なツール動作時の機能ブロックのいずれに関しても故障および不正動作を決定することができる。プローブは、メンテナンス時に定期的にチェックすることができ、測定データを解析して、プロセス改良の時期を知ることができる。一つの好ましい実施形態においては、測定プローブが、電圧および電流信号を分離し、最高試験(すなわち、励起)信号周波数の少なくとも15個までの高調波を保持するのに十分な高周波帯域幅を維持するように、構成される。しかし、本発明の範囲を逸脱することなく、より多いまたはより少ない試験信号の高調波が維持できるようにすることもできる。

上述のように、単一の測定用受信機を使用して、複数のプローブからデータを取得することができ、この複数のプローブからのデータを、後処理のために外部コンピュータに送ることができる。複数の測定用受信機を個別に各インピーダンスプローブに接続することができ、そうすることによって、システムデータの“実時間”処理が可能になる。信号処理の主要部分は外部コンピュータを用いてなされ、結果は、柔軟性のあるユーザー制御フォーマットによって表現され、ディスプレイ23に表示される。

以上。本発明を特定の代表的実施形態によって説明した。しかし、明らかに、特許請求の範囲に示す本発明の広い意味での意図と範囲を逸脱することなく、前記実施形態には、いろいろな変形と変更を加えることができる。

本発明の実施形態の使用上の概念を示す全体的ブロック図である。 本発明の実施形態における代表的なプローブアセンブリの模式図である。 本発明の方法を実施するための処理回路を示すブロック図である。 本発明の方法を実施するための処理回路を示すブロック図である。 本発明の実施形態において生成される、代表的な電圧の波形を示すグラフである。 本発明の実施形態において生成される、代表的な電流の波形を示すグラフである。 本発明の実施形態において生成される、代表的な電力の波形を示すグラフである。 本発明の方法を実施するための複数プローブ回路構成を示す全体的ブロック図である。

符号の説明

2 交流電源
4 高周波送電線
5 整合回路
8 測定プローブ
8a,8b,8c 測定プローブ
10 電圧センサー
10a 高周波コネクタ入力チャンネル
12 電流センサー
12b 高周波コネクタ入力チャンネル
13 等化器
14 受信機
15 周波数変換器
16 サンプリング回路
17 サンプリング回路増幅器
18 可変利得段
20 ADコンバータ
21 外部コンピュータ
22 デジタル信号処理回路
23 ディスプレイ
26 DAコンバータ
28 電源回路
40 ツールチャック
101 プローブハウジング
102 中心導体
105 赤外放射温度計

Claims (20)

1. 高周波電力送電線における電力潮流を解析するためのシステムであって、
   前記送電線からの高周波電圧信号および電流信号を検出するための電圧センサーおよび電流センサーを有する測定プローブであって、ここで、前記高周波電圧信号および電流信号が波形を有する測定プローブと、
   前記高周波電圧信号および電流信号を受信するために前記電圧および電流センサーに接続される測定用受信機と、
   前記高周波電圧信号および電流信号をデジタル信号に直接変換するためのサンプリング手段であって、ここで、前記デジタル信号が、前記高周波電圧信号および電流信号の基本振動および該基本振動の所定数の高調波を表す振幅および位相情報から成るサンプリング手段と、
   電力潮流パラメータを解析し、前記基本振動と高調波との間の振幅および位相角関係を明らかにするために、前記振幅および位相情報の特徴を明らかにするためのデジタル信号処理手段と、
   から成り、
   前記デジタル信号処理手段が、前記基本振動と高調波との間の位相角関係についての情報を使用して高調波を適切な位相関係で再び組み合わせて、前記高周波電圧信号および電流信号の波形を再構成する、
   ことを特徴とするシステム。
2. さらに、当該高周波電圧信号および電流信号を再構成するためのDAコンバータを有することを特徴とする請求項1に記載のシステム。
3. 当該プローブおよび当該送電線が、前記プローブおよび前記送電線それぞれからの較正データを記憶するためのデジタル記憶手段を有することを特徴とする請求項1に記載のシステム。
4. 当該測定用受信機が、当該較正データを当該プローブおよび当該送電線から受信するためのデジタルインタフェースを有することを特徴とする請求項3に記載のシステム。
5. さらに、当該デジタル信号の追加数値およびグラフ処理のためにデジタル信号プロセッサに接続されるコンピュータを有することを特徴とする請求項4に記載のシステム。
6. さらに、当該高周波電圧および電流信号の変動を補正するための等化器を有することを特徴とする請求項5に記載のシステム。
7. 当該サンプリング手段が、当該高周波電圧信号および電流信号のサンプリングのための帯域通過サンプリングADコンバータを有することを特徴とする請求項1に記載のシステム。
8. 当該サンプリング手段が、当該高周波電圧信号および電流信号のサンプリングのためのナイキストサンプリング速度ADコンバータを有することを特徴とする請求項1に記載のシステム。
9. 当該サンプリング手段が、当該高周波電圧信号および電流信号のサンプリングのための、ナイキストサンプリング速度ADコンバータおよび帯域通過サンプリングADコンバータの組合せから成ることを特徴とする請求項1に記載のシステム。
10. 当該所定数の高調波が、当該基本振動の15個までの高調波から成ることを特徴とする請求項1に記載のシステム。
11. 当該電力潮流パラメータが、入力インピーダンス、挿入損、内部散逸、プラズマ非線形性、電力潮流効率、散乱、およびこれらの組合せから成ることを特徴とする請求項1に記載のシステム。
12. 高周波送電線における電力潮流を解析する方法であって、
    少なくとも一つの測定プローブを前記高周波送電線に接続し、
    前記少なくとも一つの測定プローブを通じて、前記高周波送電線から高周波電圧信号および電流信号を受信し、前記高周波電圧信号および電流信号が波形を有し、
    前記高周波電圧信号および電流信号を対応するデジタル信号に直接変換し、ここで、前記デジタル信号が、前記電圧信号および電流高周波信号の基本振動および該基本振動の所定数の高調波を表す振幅および位相情報から成り、
    電力潮流パラメータを解析し、前記基本振動と高調波との間の振幅および位相角関係を明らかにするために、前記デジタル信号を処理すること、
    から成り、
    前記基本振動と高調波との間の位相角関係についての情報が、前記高周波電圧信号および電流信号の波形を再構成する為に、高調波を適切な位相関係で再び組み合わせることを可能にする、
    ことを特徴とする方法。
13. さらに、下記のステップ、
    当該高周波電圧信号および電流信号を再構成するために、当該デジタル信号をアナログ信号に変換し、
    追加数値およびグラフ処理のために、前記デジタル信号を外部コンピュータに送信すること、
    を含むことを特徴とする請求項12に記載の方法。
14. さらに、下記のステップ、
    当該少なくとも一つのプローブおよび当該送電線からの較正データを記憶し、
    前記較正データを測定用受信機に送ること、
    を含むことを特徴とする請求項13に記載の方法。
15. さらに、下記のステップ、
    当該少なくとも一つのプローブおよび/または当該送電線を交換し、
    前記交換されたプローブおよび/または送電線からの更新較正データを当該測定用受信機に送ること、
    を含むことを特徴とする請求項14に記載の方法。
16. さらに、当該処理ステップの結果をユーザー制御フォーマットで表示するステップを含むことを特徴とする請求項15に記載の方法。
17. さらに、下記のステップ、
    高周波電源およびツールチャックを当該高周波送電線に接続し、
    前記電源と前記ツールチャックとの間で、整合回路を前記高周波送電線に接続し、
    前記電源と前記整合回路との間に、当該プローブのうち少なくとも一つを接続し、前記整合回路と前記ツールチャックとの間に前記プローブのうちもう一つを接続すること、
    を含むことを特徴とする請求項16に記載の方法。
18. 当該電力潮流パラメータが、入力インピーダンス、挿入損、内部散逸、プラズマ非線形性、電力潮流効率、散乱、およびこれらの組合せから成ることを特徴とする請求項17に記載の方法。
19. サンプリング周波数が、当該基本振動の最高当該所定高調波において各サイクルごとに取られる少なくとも二つのサンプルから成ることを特徴とする請求項18に記載の方法。
20. 当該所定数の高調波が当該基本振動の15個までの高調波から成ることを特徴とする請求項12に記載の方法。

Images