JP5163041B2

JP5163041B2 - 光学素子固定装置及びその製造方法

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Publication number: JP5163041B2
Application number: JP2007255293A
Authority: JP
Inventors: 美紀八木; 均小栗
Original assignee: Sumitomo Osaka Cement Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Osaka Cement Co Ltd
Priority date: 2007-09-28
Filing date: 2007-09-28
Publication date: 2013-03-13
Anticipated expiration: 2027-09-28
Also published as: JP2009086246A

Description

本発明は、光学素子固定装置に係り、特に、光モジュール用の筺体の所定位置に光学素子を高精度に保持することが可能な光学素子固定装置及びその製造方法に関する。

従来、光通信、光計測などの光学電子分野においては、半導体レーザなどの光源、ニオブ酸リチウムなどの誘電体結晶上に光導波路を形成した電気光学素子、及び光ファイバなどをレンズを用いて互いに光学的に結合することが行われている。

このようにレンズを用いて光学的に結合する場合、光損失を最小限とするためにレンズを位置精度よく保持することが非常に重要である。例えば特許文献１には、図７に示すように、光モジュール用の筺体の所定位置にレンズを固定するためのレンズ固定装置において、レンズ１０１を保持するレンズホルダ１０２と、レンズホルダ１０２と接触する傾斜面を有する台座１０３を少なくとも２つ有し、台座１０３と筺体１０４、及び台座１０３とレンズホルダ１０２とを接合したレンズ固定装置１００が記載されている。このレンズ固定装置１００においては、レンズホルダ１０２を、横方向から２つの台座１０３で挟み込んで、台座を接着剤で固定することが記載されている。
特開２００４−２８６９６６号公報

しかしながら、このようなレンズ固定装置１００において、台座１０３が筺体１０４と当接する領域に接着剤を不均一に塗布して筺体１０４に接着すると、その長手方向（光軸方向）と横方向で該接着剤により不均一に応力が生じる。すると、該応力の差分によって台座１０３に位置ずれや歪みが生じてしまい、台座１０３上で固定されているレンズホルダ１０２の位置が変化してしまう虞があった。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、接着剤により生じる応力に起因した台座の位置ずれや歪みが生じ難く、筺体に載置された光学素子を高精度に所定位置に保持できる光学素子固定装置及びその製造方法を提供することを目的とする。

本発明の請求項１に記載の光学素子固定装置は、光学素子を保持する光学素子ホルダ、前記光学素子ホルダと接触する傾斜面を有する台座、及び前記台座を載置する筺体を少なくとも備え、前記台座が前記筺体と接する底面は方形をなしており、該底面の、１組の対向する２辺においてのみ接着剤を略対称に配することで前記台座が筺体に固定されていることを特徴とする。

本発明の請求項２に記載の光学固定装置は、光学素子を保持する光学素子ホルダ、前記光学素子ホルダと接触する傾斜面を有する台座、及び前記台座を載置する筺体を少なくとも備え、前記台座が前記筺体と接する底面は方形をなすと共に、前記台座の底面において、少なくとも１組の対向する２辺がそれぞれ含まれるような領域に接着剤が略対称に配され、前記台座の前記接着剤が配された少なくとも１辺の近傍には、前記接着剤により生じる応力を緩和する手段が設けられていることを特徴とする。

本発明の請求項３に記載の光学素子固定装置は、請求項２において、前記手段は、前記台座の底面において、前記接着剤が配された辺に沿って前記辺から内側に一部を欠落させてなる凹部であることを特徴とする。

本発明の請求項４に記載の光学素子固定装置は、請求項２において、前記手段は、前記台座の底面において、前記接着剤が配された辺に配された凸部であることを特徴とする。

本発明の請求項５に記載の光学素子固定装置は、請求項１乃至４において、前記傾斜面は、平面であることを特徴とする。

本発明の請求項６に記載の光学素子固定装置は、請求項１乃至５において、前記台座を少なくとも２つ有することを特徴とする。

本発明の請求項７に記載の光学素子固定装置の製造方法は、光学素子を保持する光学素子ホルダ、前記光学素子ホルダと接触する傾斜面を有する台座、及び前記台座を載置する筺体を少なくとも備え、前記台座が前記筺体と接する底面は方形をなしており、該底面において、対向する２辺がそれぞれ含まれるような領域に接着剤が略均等に配されている光学素子固定装置の製造方法において、前記光学素子ホルダを位置決め装置により保持し、所定の位置に配置する工程、前記光学素子ホルダに前記台座の傾斜面を当接させ、前記台座と前記光学素子ホルダ及び前記台座と前記筺体とを接着剤で仮固定する工程、前記位置決め装置による前記光学素子ホルダの保持を解除する工程、及び、前記領域において、前記台座と前記光学素子ホルダ及び前記台座と前記筺体とを接着剤を略対称に塗布して本固定する工程とを備えたことを特徴とする。

本発明の光学素子固定装置は、光学素子を保持する光学素子ホルダ、前記光学素子ホルダと接触する傾斜面を有する台座、及び前記台座を載置する筺体を少なくとも備え、前記台座が前記筺体と接する底面は方形をなしており、該底面の、１組の対向する２辺においてのみ接着剤を略対称に配することで前記台座が筺体に固定されている。
かかる構成によれば、接着剤は、台座の底面において、１組の対向する２辺にそれぞれ区分され、独立して配された状態にある。ゆえに、該２辺において接着剤はそれぞれ独立した状態で乾燥が進み、ひいては各々の辺において該台座と該筺体とを接着させる際に生じる応力は、互いに打ち消しあう方向に働く。従って、該台座に実際に影響を及ぼす応力は最小限に抑えられる。ゆえに、本発明によれば、接着剤を介して台座と筺体とを接着させたことに起因する応力により、台座に位置ずれや歪みが生じるという問題は著しく抑制されるので、光学素子を所望の位置に高精度に保持することが可能な光学素子固定装置及びその製造方法を提供することができる。

以下、本発明を、図面を参照して詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。

図１は、本発明の光学素子固定装置１０の第１実施形態を模式的に示した斜視図である。
光学素子１を保持する光学素子ホルダ２、光学素子ホルダ２と接触する傾斜面３ａを有する台座３、及び台座３を載置する筺体４を少なくとも備え、台座３が筺体４と接する底面３ｂは方形をなしており、底面３ｂの、１組の対向する２辺においてのみ接着剤５を略対称に配することで台座３が筺体４に固定されている。
以下、それぞれを詳細に説明する。

光学素子１とは、例えばレンズやミラー等が挙げられる。レンズに関しては、例えば集光レンズであり、球面レンズ、非球面レンズ、屈折率分布型レンズ（ＧＲＩＮレンズ）等を用いることができる。

光学素子ホルダ２は、光学素子１を担持し、台座３と接着固定されることで、光学素子１を所定の位置に保持するものである。
光学素子ホルダ２は、台座３が２つある場合は、その形状は特に限定されるものではない。また、光学素子ホルダによる応力が台座３に均等にかかるように、台座３間の中間に位置するように設けることが好ましい。
台座３が１つである場合は、光学素子ホルダ２が円筒形であることが好ましい。本発明においては、光学素子ホルダ２の位置決めをした後、瞬間接着剤で仮固定をし、その後、例えばエポキシ樹脂系接着剤で本固定を行うので、台座３が１つであっても光学素子ホルダ２を位置精度良く接着することが可能である。

台座３は、筺体４と接着固定されており、少なくともその一面には傾斜面３ａを有している。台座３の傾斜面３ａにて光学素子ホルダ２と接触し、光学素子ホルダ２を所定の位置で保持している。傾斜面３ａを有することで台座３の側面が常に上方を向くように配置されているため、接合作業を容易に行うことができる。傾斜面３ａの角度θは、光学素子ホルダ２を保持する位置や作業性等を考慮して、適宜調節することができる。また、台座３の大きさに関しては、例えば底面が５ｍｍＸ３ｍｍである。
台座３と筺体４との接着は、接着剤５によりなされる。接着に関しては、台座３が筺体４と接触する底面３ｂで、対向する２辺３ｃ，３ｄを含む領域に接着剤５が対称に塗布されて固定されている。このように、台座３の底面３ｂの対向する２辺３ｃ，３ｄを含む領域に接着剤５が塗布されるので、接着剤５はそれぞれ独立して乾燥する。これにより台座３が筺体４と接着されることで、接着剤５により生じる応力が互いに打ち消しあう方向に働く。従って、台座３に実際に影響を及ぼす応力は最小限に抑えられる。ゆえに、台座３を所定の位置に精度良く保持することが可能となる。また、接着剤を塗布する辺は、図では光軸と並行な辺である３ｃ，３ｄとしたが、必ずしも光軸と並行（台座の長手方向）である必要はなく、他の２辺であってもよい。
なお、台座３の底面３ｂは、必ずしも平面である必要はない。例えば、台座３の底面３ｂ内の、接着剤５が塗布されない領域においては、窪み等を有していても良い。このように窪みを設ける場合、その形状は特に限定されるものではなく、曲面であってもよい。底面３ｂに窪みを設けることで台座３を形成するコストが抑えられる。また、熱や湿度等によって台座３に応力が生じた場合、窪みが該応力を拡散させることができ、台座３の変形や歪み、位置ずれを抑制することができる。このように、応力を緩和させる場合は、該窪みの形状を曲面とすることで応力の集中を防げることから好ましい。

筺体４としては、例えばステンレス基板、真鍮等を用いることができる。筺体４が台座３と接触する面は、図１に示すように平面状であってもよいし、傾斜等を有していてもよい。

接着剤５は、筺体４と台座３、及び台座３と光学素子ホルダ２とを接着固定するものであり、エポキシ樹脂系接着剤、アクリル樹脂系接着剤、ウレタン樹脂系接着剤、クロロプレンゴム系接着剤、シリコーン系接着剤、イソシアネート系接着剤、スチレン−ブタジエン系接着剤等を用いることができる。このうち、初期接着性が高く、耐水性、耐湿性、耐熱性、耐薬品性等に優れたエポキシ樹脂系接着剤が好ましい。また、接着剤５の台座３底面３ｂへの塗布量は、対向する２辺３ｃ，３ｄ（あるいは他の対向する２辺）を含む領域で同量とすることが好ましい。同量に塗布することで、それぞれ塗布した接着剤５により生じる応力が同程度となり、打ち消しあうように作用する。そのため、接着剤５の塗布量・乾燥の程度により台座３へ影響を及ぼす応力を極力抑制することができる。従って、該応力による台座３の位置ずれや歪みを抑制することができる。
このように接着剤５を同量塗布するには、簡便に再現性良く行えることからディスペンサー等を用いることが好ましい。
また、塗布した接着剤５が塗布した部位から移動してしまうと、接着剤５が台座３の対向する２辺３ｃ，３ｄを含む領域から内部あるいは他の辺に入り込み、接着剤の広がりが不均一になってしまう。この場合、接着剤５が乾燥していく過程で台座３に生じる応力が、台座の光軸方向あるいは横方向でばらついてしまい、台座３に不均等に応力が生じる可能性がある。それゆえに、台座３に位置ずれや歪みが生じてしまう虞がある。従って、用いる接着剤５としては、塗布した部位から流れ出ないようにある程度の粘性を有したものがよく、例えば粘度が２００Ｐａ・ｓ〜５００Ｐａ・ｓである接着剤５が好適である。

本発明の光学素子固定装置１０は、接着剤５が台座３の底面３ｂであって、対向する２辺３ｃ、３ｄに略対称に塗布されている。従って、台座３の２辺で均等に接着剤５が乾燥し、接着剤５により生じる応力が打ち消しあい、台座３に実際に影響を及ぼす応力は最小限に抑えられる。従って、該応力による台座３の位置ずれや歪みが生じ難くなる。ゆえに、所定の位置に簡便かつ高精度に光学素子ホルダ２を保持することが可能となる。

図２は、本発明の光学素子固定装置２０の第２実施形態を模式的に示した斜視図である。
光学素子２１を保持する光学素子ホルダ２２、光学素子ホルダ２２と接触する傾斜面２３ａを有する台座２３、及び台座２３を載置する筺体２４を少なくとも備え、
台座２３が筺体２４と接する底面２３ｂは方形をなすと共に、台座２３の底面２３ｂにおいて、少なくとも１組の対向する２辺がそれぞれ含まれるような領域に接着剤５が略対称に配され、台座２３の接着剤５が配された少なくとも１辺の近傍には、接着剤５により生じる応力を緩和する手段が設けられている。

光学素子２１、光学素子ホルダ２２、筺体２４に関しては、第１実施形態と同様である。

台座２３の一部には、接着剤５が配された少なくとも１辺の近傍に沿って、前記１辺から内側に一部を欠落させてなる凹部２６が設けられている。なお、図示例では台座２３の長手方向において、対向する２辺２３ｃ，２３ｄに凹部２６が設けられているが、凹部２６はこれに限定されるものではなく、凹部２６は接着剤５が配されている辺であれば、１辺〜４辺に設けることが可能である。
台座２３の両辺に設けた凹部２６の深さは、例えば、０．５ｍｍ〜１ｍｍ程度である。この凹部２６に接着剤５を塗布することで、接着剤５が凹部２６から台座２３の外周部に流れ出すこと、及び接着剤５が台座２３と筺体との間に侵入することを抑制することが可能となる。従って、凹部２６に塗布した接着剤５により生じる応力がより均一化し、該応力は打ち消しあうように作用するため、台座２３に実際に影響を及ぼす応力を緩和することが可能となる。また、凹部２６を設けたことで、接着剤５を塗布する場所が明確となり、簡便にかつ再現性良く、両凹部２６に接着剤５を塗布することが可能となる。
凹部２６に接着剤５を塗布する場合、台座２３を適切な位置に配置した後に光学素子ホルダの外側壁面と台座２３間、及び台座２３の外側壁面と筺体間に瞬間接着剤を点状に塗布して仮固定する。その後凹部２６にディスペンサー等を用いて接着剤５を塗布して本固定を行う。従って、簡便に所定の位置に台座３を接着固定することが可能である。
このような凹部２６に塗布する接着剤５としては、凹部２６から接着剤５が流れ出さない程度の粘度を有することが好ましく、例えば、２００Ｐａ・ｓ〜５００Ｐａ・ｓの粘度を有する接着剤がよい。
なお、この凹部２６は、図２に示したように、一連に形成されたものであってもよいし、断続的に複数形成されたものであってもよい。

第２実施形態の光学素子固定装置においては、接着剤５が台座２３の凹部２６に塗布されていることから、該凹部２６から流れ出し難い構成となっている。従って、接着剤５を残る２辺に塗布することが可能である。本実施形態に示すような凹部２６が台座２３に形成されていないと、仮に台座２３底面２３ｂの４辺に接着剤５を塗布した場合、該４辺に塗布した接着剤５が流れ出し、台座２３の全周に渡って接着剤が塗布されてしまう可能性が生じる。この場合、接着剤による応力が生じ、台座２３に位置ずれや歪みが生じる可能性がある。
しかしながら、本実施形態のように台座２３に凹部２６を設けることで、接着剤５の流出が抑制される。従って、凹部２６を設ければ台座２３底面の４辺に接着剤を塗布しても、均等に接着剤による応力が生じるので、該応力は打ち消しあうように作用し、台座２３に実際に影響を及ぼす応力は極力低減することが出来る。
なお、図４に示すような凸部を設けた台座を用いた場合も同様である。

図３は、筺体と接する底面３３ｂに凹部を設けた三角柱状の台座３３の一例を模式的に示した図である。図３（ａ）は斜視図、図３（ｂ）は底面図、図３（ｃ）は、図３（ｂ）の底面図において、凹部３６に接着剤５を塗布した際の図である。
凹部３６は、台座３３の底面３３ｂにおいて、少なくともその１辺に設けてあればよいが、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、台座３３の底面３３ｂにおいて、対向する２辺３３ｃ、３３ｄに沿って２辺３３ｃ，３３ｄから内側に一部を欠落させてなる凹部３６を、設けることが好ましい。両辺に設けることで、接着剤５により生じる応力をより均等にさせることが可能である。また、両辺に設けた凹部の長さ、及び深さが同程度となるようにする。この凹部の深さは、例えば、０．５ｍｍ〜１ｍｍ程度である。この凹部３６に接着剤５を塗布することで、接着剤が凹部３６から台座３３の外周部に流れ出すこと、及び接着剤５が台座３３と筺体との間に侵入することを抑制することが可能となる。従って、凹部３６に塗布した接着剤５により生じる応力がより均一化し、該応力は打ち消しあうように作用するため、台座３３に実際に影響を及ぼす応力を緩和することが可能となる。また、凹部３６を設けたことで、接着剤５を塗布する場所が明確となり、簡便にかつ再現性良く、両凹部３６に接着剤５を塗布することが可能となる。
凹部３６に接着剤５を塗布する場合、台座３３を適切な位置に配置した後、光学素子ホルダの外側壁面と台座３３間、及び台座３３の外側壁面と筺体間に瞬間接着剤を点状に塗布して仮固定する。その後凹部３６にディスペンサー等を用いて接着剤５を塗布して本固定を行う。従って、簡便に所定の位置に台座３を接着固定することが可能である。
このような凹部３６に塗布する接着剤５としては、凹部３６から接着剤５が流れ出さない程度の粘度を有することが好ましく、例えば、２００Ｐａ・ｓ〜５００Ｐａ・ｓの粘度を有する接着剤がよい。
また、この凹部３６は、図３に示したように、一連に形成されたものであってもよいし、断続的に複数形成されたものであってもよい。

図４は、凸部４７を複数設けた台座４３の一例を模式的に示した図である。図４（ａ）は斜視図、図４（ｂ）は底面図、図４（ｃ）は図４（ｂ）の底面図において、接着剤５を塗布した際の図である。
台座４３の底面４３ｂを構成する少なくとも一辺に複数個の凸部４７を設けることが好ましい。凸部４７の大きさは、例えば、０．５ｍｍ〜１ｍｍ四方である。このように、複数個の凸部４７を設けた場合、複数の凸部４７の間に設けられた間隙４７ａに接着剤５を塗布することで、該接着剤が凸部４７を超えて台座４３の外周に流れ出し、流れ出た接着剤により不均等に応力が生じるということが抑制される。

また、上述した凹部３６及び凸部４７を組み合わせて用いてもよい。接着剤５が他の辺に流出することをより抑制することができるので、台座の位置ずれや歪みが生じがたく、位置精度良く光学素子を所定の位置に保持することが可能となる。

台座は、その傾斜面が平面であることが好ましい。台座の傾斜面を平面にすると、光学素子ホルダとの接着面において、接着剤での固定、あるいはＹＡＧレーザでの固定が容易になる。つまり、台座の傾斜面が曲面であると、台座と光学素子ホルダとの接着面の上方への開口面積が小さくなる。そのため、接着剤による台座と光学素子ホルダとの固定には問題はないが、ＹＡＧレーザで固定する場合には、開口面積が小さいためにＹＡＧレーザを該固定面に照射することが困難である。
台座の傾斜面を平面とした場合、台座の形状は、例えば図１〜図４で示したように三角柱があげられる。台座の形状を三角柱とした場合、三角形の長辺部分を該台座の底面とし、筺体と接着固定することが好ましい。筺体との接着面積を多くとれるので、より安定して台座を筺体に固定することができるとともに、光学素子ホルダ２による応力を広い範囲に分散させることができる。また、三角柱の斜辺が成す角度については、光学素子ホルダの固定位置等を考慮して、適宜調節することが可能である。
また、傾斜面が平面である場合、台座の形状は三角柱状に限られるものではなく、例えば、台形状であってもよい。

台座の傾斜面を曲面とした場合、台座の形状は、例えば図５に示すような構造となる。図５（ａ）は斜視図、図５（ｂ）は底面図である。
台座５３が光学素子ホルダと接する面５３ａを曲面とすることで、光学素子ホルダが台座に及ぼす応力を、より積極的に分散させることが可能となる。また、曲面５３ａの曲率に関しては、光学素子ホルダの固定位置等を考慮して、適宜調節することが可能である。

台座の傾斜面を曲面とした場合、台座が三角柱状の場合と同様に凸部６７を設けることもできる。図６は、凸部６７を有し、かつ傾斜面が曲面である台座５３の一例を模式的に示した図である。図６（ａ）は斜視図、図６（ｂ）は底面図、図６（ｃ）は図６（ｂ）の底面図において、接着剤５を塗布した際の図である。
図６に示すように、凸部６７は、光学素子ホルダと接する傾斜面６３ａとは逆の面に設ける。複数の凸部６７の間に設けられた間隙６７ａに接着剤５を塗布することで、接着剤５が凸部６７を超えて台座６３の外周に流れ出し、流れ出た接着剤により不均等に応力が生じるということが抑制される。また、光学素子ホルダと台座６３とを接着した際、凸部６７は台座６３に生じる応力に対しての抵抗力となり、台座６３の位置ずれや歪みを抑制することができる。従って、長期間に渡り位置精度良く光学素子ホルダを所定の位置に保持することができるので、信頼性の高い光学素子固定装置を提供することが可能となる。
また、凸部６７は、図４の場合と同様に台座の光軸方向の面に設けることも可能である。この場合も同様に、凸部６７間に接着剤を塗布する。

次に、本発明の光学素子固定装置の組み立て方法について説明する（図１参照）。本発明において、接着剤の塗布は第１段階と第２段階の２つの工程によって行う。第１段階は各部材を仮固定するための接着固定であり、瞬間接着剤あるいは光（紫外線）硬化型接着剤を用いることが好ましい。第２段階は各部材を本固定するための接着固定であり、上述した接着剤５を用いることが好ましい。

まず、光学素子位置決め装置（不図示）に設けられたアームαの先端に光学素子ホルダ２を取り付け、光モジュール用の筺体４の所定の位置に光学素子ホルダ２を配置する。
次に、光学素子ホルダ２に保持された光学素子１を通過して出射する光波を光検出器により検知しながら、光学素子ホルダ２を適正な位置に調整する。

光学素子ホルダ２の位置決めが完了した後、２つの台座３の各傾斜面３ａを光学素子ホルダ２の各辺に当接させ、光モジュール用の筺体４に載置する。

光学素子ホルダ２及び台座３の配置が完了した後、光学素子ホルダ２の外側壁面と台座３間、及び台座３の外側壁面と筺体４間に瞬間接着剤を点状に塗布する。なお、塗布位置は接着面に対して略対称となるような点とし、硬化時の位置ずれを抑制することが好ましい。

仮固定用の接着剤として、光（紫外線）硬化型接着剤を用いた場合は、該接着剤を塗布した後に各機材の位置決めを行い、硬化光（紫外光）を照射して接着剤の硬化を行うことが好ましい。

その後、光学素子ホルダ２から位置決め装置のアームαを取り外す。

そして、各々の仮固定した箇所を、対向する２辺がそれぞれ含まれるような領域に接着剤５を略対称に塗布することで本固定する。以上で光学素子固定装置１０の組み立てが完了する。
なお図２記載の第２実施形態においても同様である。第２実施形態においては、本固定用の接着剤５は、凹部２６に塗布することが好ましい。

本発明は、光モジュール等に適用することが可能である。

本発明の第１実施形態に係る光学素子固定装置の一例を模式的に示した図である。本発明の第２実施形態に係る光学素子固定装置の一例を模式的に示した図である。応力緩和手段を有した台座の一例を模式的に示した図である。応力緩和手段を有した台座の他の一例を模式的に示した図である。曲面を有した台座の一例を模式的に示した図である。曲面を有した台座の他の一例を模式的に示した図である。従来の光学素子固定装置の一例を模式的に示した図である。

符号の説明

１光学素子、２光学素子ホルダ、３，２３，３３，４３，５３，６３台座、３ａ，２３ａ，３３ａ，４３ａ，５３ａ，６３ａ傾斜面、３ｂ，２３ｂ，３３ｂ，４３ｂ，５３ｂ，６３ｂ底面、３ｃ，３ｄ，２３ｃ，２３ｄ２辺、４筺体、５接着剤、２６，３６凹部、４７，６７凸部、１０，２０光学素子固定装置。

Claims

光学素子を保持する光学素子ホルダ、前記光学素子ホルダと接触する傾斜面を有する台座、及び前記台座を載置する筺体を少なくとも備え、
前記台座が前記筺体と接する底面は方形をなすと共に、前記台座の底面における少なくとも１組の対向する２辺がそれぞれ含まれる前記台座の外側壁面に、前記台座の外側壁面と前記筐体の面とに当接する接着剤が略対称に配され、前記接着剤は前記台座の底面と前記筐体との間に侵入することを抑制された状態で配されており、前記台座の前記接着剤が配された少なくとも１辺の近傍には、前記接着剤により生じる応力を緩和する手段が設けられており、
前記手段は、前記台座の底面において、前記接着剤が配された辺に沿って前記辺の両端を残して前記台座の外周から内側に一部を一連に欠落させてなる凹部である、または、前記台座の底面において、前記接着剤が配された辺の両端に配され前記台座の外周方向に突出された凸部である
ことを特徴とする光学素子固定装置。
前記傾斜面は、平面であることを特徴とする請求項１に記載の光学素子固定装置。
前記台座を少なくとも２つ有することを特徴とする請求項１または２に記載の光学素子固定装置。
光学素子を保持する光学素子ホルダ、前記光学素子ホルダと接触する傾斜面を有する台座、及び前記台座を載置する筺体を少なくとも備え、前記台座が前記筺体と接する底面は方形をなすと共に、前記台座の底面における少なくとも１組の対向する２辺がそれぞれ含まれる前記台座の外側壁面に、前記台座の外側壁面と前記筐体の面とに当接する接着剤が略対称に配され、前記接着剤は前記台座の底面と前記筐体との間に侵入することを抑制された状態で配されており、前記台座の前記接着剤が配された少なくとも１辺の近傍には、前記接着剤により生じる応力を緩和する手段が設けられており、前記手段は、前記台座の底面において、前記接着剤が配された辺に沿って前記辺の両端を残して前記台座の外周から内側に一部を一連に欠落させてなる凹部である、または、前記台座の底面において、前記接着剤が配された辺の両端に配され前記台座の外周方向に突出された凸部である光学素子固定装置の製造方法において、
前記光学素子ホルダを位置決め装置により保持し、所定の位置に配置することで前記光学素子の光軸を調整する工程、
光軸調整後の前記光学素子ホルダに前記台座の傾斜面を当接させ、前記台座と前記光学素子ホルダ及び前記台座と前記筺体とを接着剤で仮固定する工程、
前記位置決め装置による前記光学素子ホルダの保持を解除する工程、
及び、前記台座と前記光学素子ホルダ及び前記台座と前記筺体とを、前記台座の外側壁面に接着剤を略対称に塗布して本固定する工程とを備えたことを特徴とする光学素子固定装置の製造方法。