JP5249593B2 - レジスト液回収方法 - Google Patents

Description

本発明は、使用済レジスト液の回収方法に関し、更に詳しくは、レジスト液を、レジスト塗布装置を備える使用施設に供給し、塗布後の使用済レジスト液を回収してリサイクルなどに利用する方法に関する。

半導体や液晶パネルなどの製造プロセスにおいては、基板上にレジスト液を塗布して露光現像するリソグラフィが行われる。近年の液晶パネル等の大型化に伴い、使用する基板も大型化が進んでいることからレジスト液の使用量も増大している。代表的な塗布方式にはスピンコート方式やダイコート（スリットコート）方式がある。

基板へのレジスト液の塗布においては、実際の塗布量以上の過剰量のレジスト液が必要になることから、余剰の使用済レジスト液が常に発生する。特にスピンコートを用いる際には使用済レジスト液は無視できない量であるため、その有効利用として回収してリサイクル利用することが、経済的、環境的にも望まれる。

このようなレジスト液の回収やリサイクルに関しては、下記の特許文献１、２のような回収装置が知られている。このシステムは、レジスト液塗布装置自体に回収、再生装置を付設し、粘度調整やフィルターろ過によりレジスト液のリサイクルを行うものである。

また、この他に、複数のレジスト液塗布装置を備える施設内に、共通の大掛かりな回収ラインを設置して、複数の塗布装置からの使用済レジスト液をタンク等に一括回収し、これをレジストメーカーに返送して、レジストメーカー側でリサイクルすることも行われている。

一方、半導体メーカーや液晶パネルメーカーなどのユーザーへのレジスト液の供給は、レジストメーカーから通常行われる。この場合、例えば、特許文献３に記載されているような所定容量の小型の専用容器が用いられている。この専用容器は、小型の剛性容器と、その内部に着脱可能なフレキシブル材料からなる内袋の二重構造になっている。このような専用容器は、そのままユーザーのラインに直結させることができ、且つ、取り扱いが手軽で、また、レジスト液への異物混入の危険性が少ないために主流となっている。この専用容器は、内袋にレジスト液が充填された状態でユーザーに納入され、ユーザーで塗布装置などのラインに直結して使用され、使用済み（内袋が空袋）になった後に、そのまま回収されてレジストメーカーなどに返却され、清掃等を施した後、再度レジスト液の充填を行う、いわゆる通い容器として用いられている。
特開平９−３４１２１号公報 特開平１１−２４５２２６号公報 特開平６−１０００８７号公報

特許文献１や２のようなレジスト液回収システムは、基本的にユーザー側でのリサイクルを念頭に置いたものである。この場合、リサイクルしたレジスト液の品質管理はユーザー側で行う必要があり、レジスト液に熟知していないユーザー側が上記の品質管理を安定的に行うことは困難である。

また、複数の塗布装置からの使用済レジスト液をタンク等に一括回収し、これをレジスト液メーカーに返送する方法は、ユーザー側に回収設備を設置する必要があり、設備的な負担や管理的な負担が新たに発生するという問題がある。

また、特許文献３の専用容器は、あくまでレジスト液の供給専用容器であり、汲み出し終了後に使用済レジスト液を再充填することなどは全く想定されておらず、このままでは回収容器として使用することができない。

本発明者らは、上記の問題を解決すべく鋭意検討した結果、従来、レジスト液の供給専用容器として用いられていた通い容器を、レジスト液の回収容器としても利用し、供給兼回収容器として使用することで、上記の問題点を解決することができることを見出し、本発明を完成するに至った。

すなわち、本発明は、所定容量の専用容器を用いてレジスト液供給施設からレジスト液使用施設へレジスト液を供給するとともに、この専用容器を、前記レジスト液使用施設における使用済レジスト液を回収するためのレジスト液回収容器としても使用するレジスト液回収方法である。

本発明の特徴は、従来、レジスト液の供給専用容器として用いられていたものを供給兼回収容器として使用するものである。この点、本発明は新たなレジスト液回収方法を提供するものであるとともに、従来の供給専用容器に新たな回収という用途を見出したものとも言える。

本発明によれば、通い容器を用いた既存のレジスト液供給システムをそのまま用いることができる。従って、ユーザー側では特段の回収設備やリサイクル設備を設ける必要がない。このためユーザー側における設備面の自由度が高い。具体的には、既存のレジスト液塗布装置のライン配置に起因してスペース的にレジスト液回収設備を設置できない場合などに本発明を効果的に用いることができる。

また、既存のレジスト液供給システムをそのまま用いて回収ができるため、複数の塗布装置からの使用済レジスト液をタンク等に一括回収し、これをレジスト液メーカーに返送する従来の方法に比べて、回収費用と労力を大幅に削減できる。

なお、本発明における、専用容器を「レジスト液回収容器としても使用する」の意味は、専用容器が、供給と回収とを兼用できる容器であれば足りることを意味する。このため、時間的に供給作業と回収作業が近いことは要求されない。すなわち、供給に使用された専用容器が、その後に回収容器として使用されれば本発明の範囲内である。また、レジスト液塗布装置単位で見て、供給容器の種類や容量が、回収容器と異なる容器を用いている場合であっても、その供給容器が、結果としてその後にレジスト液使用施設のどこかで回収容器として使用されればやはり本発明の範囲内である。

本発明によれば、従来に比べて大幅にレジスト液の回収を効率化することができ、低コストでレジスト液を回収でき、リサイクル率を高めることができる。

以下、本発明の好ましい一実施形態について図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一例を示す工程図、図２は専用容器（供給兼回収容器）の一実施形態を示す縦断面図、図３は図２の開口部分を拡大して示す拡大断面図、図４は図２の開口部分の断面分解組立図、図５は注出口付き包装袋の外装容器への収容状態を示す図であり、（ａ）は注出口付き包装袋を外装容器に挿入する状態を示す部分斜視図、（ｂ）は外装容器に注出口付き包装袋が収容された後の状態を示す部分斜視図、図６はレジスト液回収システムの一例を示す概略図である。

＜専用容器＞
まず、本発明において供給兼回収容器となる専用容器１について説明すると、図２から図４に示すように、専用容器１は、可撓性の注出口付き包装袋１０と、開口部２４を有する外装容器２０と、開口部２４に保持される円筒状の継手ブラケット３０と、この継手ブラケット３０の筒部３２に挿入される液出しチューブ４０と、開口部２４に螺合して、注出口１１及び継手ブラケット３０を開口部２４に保持する円環状の第１蓋５０と、内部に突出するブッシュ６２を有する第２蓋６０と、を備えている。

注出口付き包装袋１０は、液体を注入可能に開口する注出口１１とレジスト液を充填する包装袋本体１２とを有している。注出口１１は注出口取付部１１１と、該注出口取付部１１１の一方に連接する注出口係合部１１２とからなり、図４に示すように、注出口取付部１１１で包装袋本体１２に熱融着されている。

外装容器２０は、注出口１１を開口部２４で支持して、注出口付き包装袋１０を収納することができる。そして、図５に示すように、注出口付き包装袋１０は外装容器２０内に内袋として収納される。このように、専用容器１は、外装容器２０が繰り返し使用され、毎回新しい注出口付き包装袋１０が使用可能な二重容器となっている。

外装容器２０は、図２に示すように、底板２１と、側壁２２と、中央が隆起した天板２３とで構成され、天板２３の略中央部分に開口部２４が形成されたスチール製容器が好ましく用いられる。開口部２４の外周面に雄ねじ２４ａが形成されている。また、側壁２２の天板２３より上方位置に一対のハンド部２５（図５参照）を設けることにより運搬を容易にしてもよい。外装容器２０としては、例えば、金属製、合成樹脂製、段ボール等の紙製の剛性容器が例示されるが、特にこれらに限定されるものではない。

図４に示すように、注出口付き包装袋１０の注出口１１の開口側にはフランジ部１１２ｂが形成され、一方、開口部２４の内壁には段差が設けられており、このフランジ部１１２ｂが段差に係止することにより、注出口１１が開口部２４に支持されている。

後述するレジスト液供給工程Ｓ２０で使用する継手は、円筒状の継手ブラケット３０と液出しチューブ４０を備えている（図３又は図４参照）。図３において、継手ブラケット３０は開口部２４に保持されている。また、継手ブラケット３０は、略筒状のヘッダ部３１を一端側に有し、筒部３２を他端側に有している。さらに、継手ブラケット３０は、一端側から他端側に貫通する第２貫通穴３３を有している。ヘッダ部３１は、継手ブラケット３０の円筒状底内から隆起している。筒部３２は、注出口１１の第１貫通穴１１１ａに嵌合する（図３参照）。

図３又は図４において、液出しチューブ４０は、継手ブラケット３０のヘッダ部３１の頂面３１１に密着される鍔部４１を一端側に有している。また、液出しチューブ４０の他端側は、継手ブラケット３０の第２貫通穴３３に挿入される。液出しチューブ４０は、一端から他端まで延びる流体通路４２を有し、注出口付き包装袋１０内の液体が流体通路４２を通って排出可能に構成されている（図２参照）。

継手ブラケット３０の外径は、注出口１１の内径より僅かに小さく、開口部２４に支持された注出口１１に継手ブラケット３０が嵌合する（図３参照）。継手ブラケット３０の一端側には、開口部２４の内径より僅かに小さい外径を有するフランジ３４が設けられ、このフランジ３４にオーリングが担持され、開口部２４が密封されている（図３又は図４参照）。

継手ブラケット３０は、第１蓋５０が開口部２４に締結されることにより、注出口１１と共に開口部２４に保持される（図３参照）。継手ブラケット３０の底部外壁と、注出口１１の筒状部１１２ａの底部内壁との間に所定の間隙が設けられている（図３参照）。

図４において、筒部３２は、継手ブラケット３０の底部から突出するように設けられ、筒部３２が注出口１１の第１貫通穴１１１ａに嵌合する。注出口１１の第１貫通穴１１１ａ内部にはオーリングが担持され、このオーリングが筒部３２の外周に密着することにより、注出口付き包装袋１０内の気体を封止することができる（図示せず）。ヘッダ部３１の上端から筒部３２の下端に第２貫通穴３３が貫通しており、第２貫通穴３３に液出しチューブ４０が挿入される（図３参照）。注出口付き包装袋１０内の気体が複数の第２開口４３に通気できるように、第２貫通穴３３と液出しチューブ４０の外周に間隙が設けられている（図３参照）。

継手は、外装容器２０の内部から開口部２４に気体を通気可能な第１通気手段と、注出口付き包装袋１０の内部から開口部２４に気体を通気可能な第２通気手段と、開口部２４を封止する第２蓋６０と、を備えている。第１通気手段は、継手ブラケット３０の複数の第１開口３５を有している。複数の第１開口３５は、筒部３２の周囲からヘッダ部３１の頂面３１１に連通している。第２通気手段は、複数の第２開口４３を有している。複数の第２開口４３は、液出しチューブ４０の鍔部４１に設けられ、開口部２４と継手ブラケット３０の第２貫通穴３３内部とを連通している（図３及び図４参照）。

そして、継手は、第２蓋６０を取り付けたときは、開口部２４から液体と気体のいずれも流出することを防止する。また、第２蓋６０を取り除いたときは、液出しチューブ４０内の液体が開口部２４に排出される前に、外装容器２０内の気体、及び注出口付き包装袋１０内の気体がそれぞれ第１及び第２通気手段を通って開口部２４外に逃げるようになっている。

第１開口３５は、筒部３２の周囲からヘッダ部３１の頂面３１１に貫通するスリットであってよく、筒部３２とヘッダ部３１との間に設けられる。第１開口３５は、継手ブラケット３０と注出口１１との間に設けられる間隙と、大気とを実質的に連通している（図３及び図４参照）。

図３に示すように、第２開口４３は、液出しチューブ４０の鍔部４１に形成される貫通穴であって、鍔部４１の上面から液出しチューブ４０の周囲に貫通している。図３において、鍔部４１の下面にはオーリングが担持され、このオーリングがヘッダ部３１の頂面３１１に密着することにより、第２貫通穴３３を封止する。そして、第２開口４３は、第２貫通穴３３の内壁と液出しチューブ４０の外壁に設けられた間隙と、大気とを実質的に連通している（図３及び図４参照）。前述したように、この間隙は注出口付き包装袋１０の内部空間に通気可能となっている。

図３又は図４において、外装容器２０の開口部２４と螺合する第１蓋５０と該第１蓋５０に螺合する第２蓋６０とを備えている。第１蓋５０は、内側面に外装容器２０の開口部２４の外面と螺合する雌ねじが形成され、外側面に雄ねじが形成された金属製又は合成樹脂製の蓋本体５１に、継手ブラケット３０の外寸法と略同じ寸法の第４開口５２が同心円状に形成されている。第１蓋５０を開口部２４に螺合して締め付けることで、継手ブラケット３０は保持される。

第２蓋６０は、開口部２４に備わる第１蓋５０に螺合する遮光性を有するクロジャー本体６１と、クロジャー本体６１の内部に突出する耐食性を有するブッシュ６２で構成されている。ブッシュ６２は、鍔部４１の表面に密着して流体通路４２からの通気を封止するオーリング６３を備えている。

クロジャー本体６１は、金属製又は合成樹脂製であって、クロジャー本体６１の内周には、第１蓋５０に螺合する雌ねじが設けられている。第２蓋６０を締めたときに、クロジャー本体６１の内壁は、継手ブラケット３０の頂面３１１に当接している。クロジャー本体６１は、注出口付き包装袋１０に収納される薬品が化学変化しないように、遮光性を有している。ブッシュ６２は、注出口付き包装袋１０に収納される薬品に触れる可能性が多いので、耐食性を有する合成樹脂からなることが好ましい。ブッシュ６２の一端側は、クロジャー本体６１に圧入されて、ブッシュ６２とクロジャー本体６１を一体化している（図３参照）。ブッシュ６２の他端側は、クロジャー本体６１の内部に突出し、先端面にオーリング６３を担持している。オーリング６３は、鍔部４１の表面に密着して流体通路４２からの液体と気体のいずれも流出することを防止できる。

また、クロジャー本体６１の側周には、第１蓋５０との螺合を解除すると、液出しチューブ４０内の液体が開口部２４に排出される前に、外装容器２０内の気体、及び注出口付き包装袋１０内の気体がそれぞれ第１及び第２通気手段を通って開口部２４外に逃げる一つ以上の通気穴６４が設けられている（図３又は図４参照）。このように、クロジャー本体６１の側周に通気穴６４を設けることにより、第２蓋６０を緩めたときに、オーリング６３と鍔部４１の表面との密着が解除され、少なくとも複数の第２開口４３内の気体が通気穴６４から外部に排出される。そして、液出しチューブ４０内の液体が噴出することを防止できる。

＜レジスト液充填工程Ｓ１０＞
以下、上記の専用容器１を用いた本発明の一例について、図１に示す工程図に沿って説明する。まず、レジストメーカーなどが有するレジスト液供給施設１００内で製造されるレジスト液は、レジスト液充填工程Ｓ１０によって専用容器１にレジスト液が充填される。なお、レジスト液供給施設１００は、専用容器への充填が可能であればよく、必ずしもレジスト液製造設備を必要としない。すなわち、レジスト液供給施設１００は、レジスト液をユーザーに供給するための中継基地をも含む概念である。

充填工程Ｓ１０では、専用容器１は、図５（ａ）に示すように、注出口付き包装袋１０が、外装容器２０の開口部２４から外装容器２０の内部に挿入され、図５（ｂ）に示すように、注出口１１が外装容器２０の開口部２４に装着される。この際、外装容器２０の開口部２４は、注出口係合部１１２の高さ方向の寸法より短い略円筒の突出した形状になっていて、図４のフランジ部１１２ｂが、開口部２４の内側面に形成された段差の上周端に当接することにより、注出口付き包装袋１０が外装容器２０内で支持される。

この状態で、まず、注出口付き包装袋１０は、第１貫通穴１１１ａから好ましくは窒素又は圧縮空気を導入することによって膨張される。次に、第１貫通穴１１１ａには、レジスト液を充填するための充填用チューブ（図示せず）が挿入され、この充填用チューブを介してレジスト液が所定量充填される。これにより、コンタミネーションなく密封系でレジスト液の充填が可能となる。

その後、継手ブラケット３０を注出口１１に挿入し、次いで、第１蓋５０を開口部２４に螺合して注出口１１及び継手ブラケット３０を固定し、注出口付き包装袋１０を支持する。その後、液出しチューブ４０のチューブ４４を継手ブラケット３０の第２貫通穴３３に挿入して液出しチューブ４０を装着し、次いで、第２蓋６０を第１蓋５０に螺合して液出しチューブ４０の頂部面を密封して、開口部２４を覆う。これによって、専用容器１は開口部２４及び注出口１１が密封されて移送が可能な状態となる。

＜レジスト液供給工程Ｓ２０＞
次に、専用容器１は、レジスト液供給施設１００から、ユーザー側のレジスト液使用施設２００へ搬送される。このレジスト液使用施設２００には、スピンコーターやスリットコーターなどの、一又は複数のレジスト液塗布装置があり、それぞれのレジスト液塗布装置に対して、専用容器１が供給継手などを介して実質的な密閉系で供給配管に接続され、レジスト液の供給作業が行われる。供給継手は密閉系を維持できれば特に限定されず、従来公知のものを用いることができる。

なお、接続の際、図２又は図３において、第２蓋６０を取り除いたときは、液出しチューブ４０内の液体が開口部２４に排出される前に、外装容器２０内の気体、及び注出口付き包装袋１０内の気体がそれぞれ第１及び第２通気手段を通って開口部２４外に逃げるようになっているので、液出しチューブ４０内の液体が開口部２４外へ排出されることを防止できる。つまり、この継手は、液出しチューブ４０内の気体と外装容器２０内の気体、及び注出口付き包装袋１０内の気体とが第２蓋６０で個別に封止している。第２蓋６０を取り除いたときは、液出しチューブ４０内の圧力と、外装容器２０内の圧力、及び注出口付き包装袋１０内の圧力は、直ちに大気圧と一致するので、液出しチューブ４０内の液体が開口部２４外へ排出されることを防止できる。

このようにして、レジスト液の使用時、すなわちレジスト液を汲み出す際には、注出口１１から液出しチューブ４０を通じて汲み出すことができる。これにより、注出口付き包装袋１０内のレジスト液は汲み出されてほぼ空の状態の使用済容器となる。レジスト液の汲み出しが終了したら、供給継手を外して液出しチューブ４０を抜き、第２蓋６０にて開口部２４を封止する。なお、このときの注出口付き包装袋１０は、レジスト液を汲み出した結果、シュリンクした状態である。

＜レジスト液回収工程Ｓ３０＞
本発明の特徴は、上記のレジスト液を汲み出した後の専用容器１（使用済容器）をそのままレジストメーカーに返送せず、再度、レジスト液回収工程にて使用することにある。すなわち、使用済容器を、後にレジスト液回収工程Ｓ３０にて回収容器として用いる。後の間隔は、使用済容器の数やレジスト塗布装置の運転状況により適宜設定される。すなわち、図１においては便宜的にレジスト液供給工程Ｓ２０に続きレジスト液回収工程Ｓ３０を説明したが、実際のレジスト液塗布装置においては、Ｓ２０とＳ３０は同時並行的に進んでおり、過去のレジスト液供給工程Ｓ２０で発生した使用済容器が、現在のレジスト液回収工程Ｓ３０で使用される。以下回収作業について説明する。

図６に示すレジスト液回収システムの一例は、レジスト塗布装置の一例であるスピンコーター２５０と、スピンコーター２５０の回転部の周囲に設けられた回収用パン２５１で発生する使用済レジスト液２５２を回収するための回収配管２５３と、回収配管２５３中に設けられた回収ポンプ２５４と、回収配管２５３の先端に接続された、上記の使用済容器である専用容器１と、回収配管２５３の途中から分岐する切替バルブ２５９と、この切替バルブ２５９から回収配管２５３と分岐して伸びる配管２５５と、この配管２５５の先端に接続される洗浄液回収タンク２５６とから構成されている。

まず、使用済容器である専用容器１の第２蓋６０を取り除いた後に、レジスト液を回収するための回収用チューブ（図示せず）が装着される。回収継手を構成する回収用チューブは、上記の汲み出チューブ４０と同様に継手ブラケット３０の第２貫通穴３３に密着挿入可能な構成となっている。この回収用チューブを介して回収配管２５３が密閉系で接続される。

スピンコーター２５０を運転すると、基板２５７上の塗布部２５８よりレジスト液が塗布される。このレジスト液は遠心力により周囲に拡散し、回収用パン２５１には余剰の使用済レジスト液２５２が貯留される。ここで、回収ポンプ２５４を動作させることにより、回収配管２５３を介して専用容器１に使用済レジスト液２５２が回収される。すなわち、専用容器１の注出口付き包装袋１０内には使用済レジスト液２５２が再充填されることになる。

なお、上記のように、回収作業開始時の注出口付き包装袋１０は、レジスト液供給工程Ｓ２０で汲み出し工程を経たことによってシュリンクした状態であり、再充填のみでの袋の容量復元が不十分である。このため、このときの充填可能容量（回収可能容量）は、注出口付き包装袋１０をあらかじめ窒素や空気で膨らませたレジスト液供給工程Ｓ２０に比べる少なくなる。しかしながら、レジスト液は実際に塗布された分、回収できる使用済レジスト液の量は少なくなっているので、塗布装置に供給したレジスト量に見合う分の使用済レジスト液を同じ容量の専用容器で十分回収できる。

なお、切替バルブ２５９と洗浄液回収タンク２５６は、シンナーなどで回収配管２５３を洗浄するためのものであり、所定の洗浄作業が行われる間は洗浄液回収タンク２５６側に回収液を送る。これにより、専用容器１へのレジスト液以外のコンタミネーションを効果的に防止できる。

所定量の回収を終えた後、専用容器１から回収用チューブを外し、液出しチューブ４０を再度挿入して第２蓋６０を取り付けて封止する。これをレジストメーカーなどのレジスト液供給施設１００に返送する。これにより、専用容器１は、供給兼回収容器として機能し回収効率の向上に寄与する。なお、上記のレジスト液回収工程Ｓ３０は、レジスト液供給工程Ｓ２０と同様にレジスト液塗布装置単位で行われることが好ましい。

＜組成確認工程Ｓ４０＞
再充填された専用容器１は、レジスト液供給施設１００に返送され、受け入れ段階で組成確認工程Ｓ４０が行われる。この工程は、複数の異なるレジスト液使用施設２００から送られてくる種々のレジストのコンタミネーションを避けるために、専用容器毎にレジストの組成、種類などを確認する工程である。確認方法は特に限定されないが、一例としては、赤外又は近赤外分光法を用いて濃度や種類を測定する方法が挙げられる。

＜リサイクル工程Ｓ５０＞
その後、レジスト液供給工程Ｓ２０と同様の方法により、使用済レジスト液が汲み出され、リサイクル工程Ｓ５０においてレジスト液はリサイクルされる。リサイクルの方法は従来公知のものが用いることができ特に限定されない。なお、汲み出し終了後の専用容器１からは、注出口付き包装袋１０が取り外されて破棄される。外装容器２０を洗浄後、新しい注出口付き包装袋１０が装着され、レジスト液充填工程Ｓ１０に使用される。

以上説明したように、本発明によれば、従来に比べて大幅にレジスト液の回収を効率化することができ、回収コストを低下してレジスト液のリサイクル率を高めることができる。

本発明の一例を示す工程図である。 専用容器（供給兼回収容器）の一実施形態を示す縦断面図である。 図２の開口部分を拡大して示す拡大断面図である。 図２の開口部分の断面分解組立図である。 注出口付き包装袋の外装容器への収容状態を示す図であり、（ａ）は注出口付き包装袋を外装容器に挿入する状態を示す部分斜視図、（ｂ）は外装容器に注出口付き包装袋が収容された後の状態を示す部分斜視図である。 レジスト液回収システムの一例を示す概略図である。

符号の説明

１ 専用容器
１０ 注出口付き包装袋
１１ 注出口
１２ 包装袋本体
２０ 外装容器
２４ 開口部
５０ 第１蓋
６０ 第２蓋
１００ レジスト液供給施設
２００ レジスト液使用施設
２５０ スピンコーター
Ｓ１０ レジスト液充填工程
Ｓ２０ レジスト液供給工程
Ｓ３０ レジスト液回収工程
Ｓ４０ 組成確認工程
Ｓ５０ リサイクル工程

Claims (2)

1. 開口部を有する外装容器と当該外装容器の内袋とからなる二重容器であり所定容量の専用容器を用いて、レジスト液供給施設からレジスト液使用施設へレジスト液を供給するとともに、
   この専用容器を、前記レジスト液使用施設における使用済レジスト液を回収するためのレジスト液回収容器としても使用し、
   前記レジスト液使用施設は、レジスト液塗布装置を備える施設であり、前記レジスト液が充填された内袋から前記レジスト液塗布装置へ前記レジスト液を供給する供給作業と、前記レジスト液塗布装置から実質的に空袋である前記供給作業後の内袋へ前記使用済レジスト液を再充填する回収作業と、を実質的な密封系で行い、
   前記回収後に前記レジスト液回収容器を前記レジスト液供給施設に返送し、前記レジスト液供給施設において前記使用済レジスト液を前記内袋から汲み出してリサイクルするレジスト液回収方法。
2. 前記供給作業及び回収作業を、前記レジスト液塗布装置単位で行う請求項１に記載のレジスト液回収方法。

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