JP5438521B2 - 化学蒸着システム - Google Patents

Description

本発明は、ガラスシート基板上にコーティングを堆積させるための化学蒸着システムに関する。

コーティングは、以前から光起電性パネルのような半導体デバイスを作るためにガラスシート基板に適用されてきた。かかるコーティングを行う一つの方法として、化学蒸着法（ＣＶＤ）がある。密封されたチャンバ内のバッチベースに基板を挿入することによりガラスシート基板に硫化カドミウム及びテルル化カドミウムのようなコーティングを適用するのに、以前から密閉された空間での昇華が利用されており、次いで加熱されていた。密閉空間での昇華におけるガラスシート基板は、その周囲と非常に近い関係で支持されており、即ち通常、テルル化カドミウムの材料のソースと２乃至３ミリメートルの距離である。かかるプロセスによる加熱は、約４５０乃至５００℃で進行し、テルル化カドミウムが非常にゆっくりと元素コンポーネントに昇華し始め、約６５０乃至７２５℃の温度に達したとき、昇華がより高速になり、元素コンポーネントが基板の下向き表面に著しいレートで再結合する。

ガラスシート基板上での薄膜の連続処理は、Foote等による米国特許第5,248,349号、Foote等による米国特許第5,372,646号、Foote等による米国特許第5,470,397号、及びFoote等による米国特許第5,536,333号に開示されている。連続コーティングを提供するのに利用されるＣＶＤは、エンクロージャ内に配置された加熱チャンバを構成するオーブン内で実施される。コーティングが実施されるガラスシート基板を支持するためにオーブンに渡って延びるロールコンベヤは転がり、エンクロージャの内部であるがオーブンの外部に配置された駆動機構は、オーブンから外側に突き出たコンベヤロールの端を駆動させる。また、Powell等による米国特許第5,945,163号及びPowell等による米国特許第6,037,241号は、堆積される気体材料が、基板上に堆積させるための供給材料から加熱された透過膜を通過する、ＣＶＤを実施ための装置を開示する。

本発明の目的は、ガラスシート基板上にコーティングを提供する改良された化学蒸着システムを提供することである。

上記目的を達成するために、本発明の化学蒸着システムは、互いに水平結合部を備えた下側及び上側部分を備え、内包された堆積チャンバを構成するハウジングを有する。堆積チャンバを密封するために、シールアセンブリが、下側及び上側ハウジング部分の水平結合部でそれらの間に延びる。堆積チャンバ内に配置されたロールコンベヤが、シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部の下で、コンベヤ移送の平面でコンベヤ移送の方向に沿ってガラスシート基板をコンベヤ移送する。コンベヤ移送されるガラスシート基板上にコーティングの化学蒸着を提供するために、ロールコンベヤの上で堆積チャンバ内に、化学蒸着分配器が位置決めされる。ハウジングは、シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部の下の位置で、コーティングされるガラスシート基板を堆積チャンバ内に導入する入口を備え、ハウジングはまた、シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部の下の位置で、コーティングされたガラスシート基板を堆積チャンバから出す出口を備える。

堆積システムは、堆積チャンバ内を真空に引くための真空ソースを有する。下側及び上側ハウジング部分の間のシールアセンブリは、中間シールスペースを構成するために、互いに間隔が隔てられた内側及び外側シール部材を含み、該中間シールスペースは、堆積チャンバとその周囲の環境との間に位置決めされ、堆積チャンバよりも低い真空に引かれる。内側シール部材又は外側シール部材の何れの漏れをも検知するために、センサはシールスペース内の圧力を検知する。シールアセンブリは、下側及び上側ハウジング部分に下側及び上側シールフランジを含み、内側及び外側シール部材は、下側及び上側ハウジング部分の間を密封するために、下側及び上側シールフランジの間に延びる。上側ハウジング部分を下側ハウジング部分に固定するために、下側及び上側シールフランジの間にクランプが延びる。各クランプは、下側及び上側シールフランジの間を安全に固定することができるように油圧稼働可能なシリンダを含む。

堆積システムはハウジング内に配置されたオーブンを含み、該オーブンは、コンベヤ移送されるガラスシート基板を加熱するために、側方に間隔が隔てられたバンクでコンベヤ移送の方向に沿って延び、コンベヤ移送の方向に対して側方に基板の温度差を制御する細長いヒータを備える。各細長いヒータは、加熱をするために電気が流れる電気抵抗エレメントを含み、各ヒータは該電気抵抗エレメントがその中を通って延びる細長い石英管を含む。ロールコンベヤは、オーブンを通って延び、ハウジング内でそこから外側に突き出た端を備えたロールを備え、駆動機構は、ハウジング内でオーブンの外側でロール端と係合し、回転駆動させる。

堆積システムはまた、破損したガラスシート基板を捕捉するためにロールコンベヤの下に配置されたスクリーンを備える。該スクリーンは、ステンレス鋼で出来ており、補強材を含む。

本発明の１又はそれ以上の実施形態の詳細を、図を参照して以下に説明する。本発明の他の特徴、目的及び利点は、発明の詳細な説明、図面、及び特許請求の範囲から明らかである。

本発明によって構成されたＣＶＤシステムの概略側面図である。 図１の線２−２の方向に沿った堆積システムの平面図である。 図１の線３−３の方向に沿った堆積システムの断面図である。 図１の左側入口端での線４−４の方向に沿ったシステムの側面図であり、右側出口端をも例示する。 堆積システムハウジングのシールアセンブリの構造を図示するための、図２の線５−５の方向に沿った断面図である。 システムハウジングの下側及び上側ハウジング部分のシールフランジを安全に固定するクランプの構造を図示する、図４の一部を拡大した図である。 堆積システムのオーブンの細長いヒータの構造を示す図である。 下側ハウジング部分で、オーブンにおいてヒータを保護するためにガラスシート基板のいかなる破損も捕捉するスクリーンの構造を図示する。

図１及び２を参照すると、本件発明によって構成された化学蒸着（ＣＶＤ）システムが１０によって全体的に示され、内包された堆積チャンバ１４を構成するハウジング１２を示し、ここで以下により詳細に示す化学蒸着が行われる。図１に示したようなハウジング１２は、水平平面接合部２０を互いに備えた下側部分１６と上側部分１８とを含む。シールアセンブリ２２は、ハウジング１２を密封するためのそれらの水平接合部２０で、下側及び上側ハウジング部分１６及び１８の間に延びる。このシールアセンブリは、システムハウジングの細長い長さの各々側方に沿って延び、且つ、ハウジングの周りに完全に延びるようにその各々反対側にも延びる。

図１と３を一緒に参照すると、ロールコンベヤ２４は、図１にピースによって示した移送の平面で移送Ｃの方向に沿ってガラスシート基板Ｇをコンベヤ送りするように、堆積チャンバ１４内に配置される。このコンベヤ送りピースの平面は、シールアセンブリ２２が配置される、下側及び上側ハウジング部分１６及び１８の水平接合部２０より下に配置される。

図１及び３を更に参照すると、２６によって全体的に示された化学気相分配器は、コンベヤ移送されるガラスシート基板上にＣＶＤコーティングを提供するために、堆積チャンバ１４内でロールコンベヤ２４の上に配置されたディストリビュータプレナム２８を含む。ディストリビュータプレナム２８は、Powell等による米国特許第5,945,163号及びPowell等による米国特許第6,037,241号に開示されたタイプが好ましく、その全体に開示されたものはリファレンスとしてここに組み入れられ、堆積される化学気相は、堆積のための近接してコンベヤ移送されるガラスシート基板上で、ロールコンベヤに向かって下向きのフローで放電される前に、加熱された透過膜を透過する。

図１及び４に図示されるように、ハウジングは、シールアセンブリ２２が配置される下側及び上側ハウジング部分１６及び１８の水平結合部２０より下の位置を中心に、堆積チャンバ１４内に導入される被覆されたガラスシート基板を通す入口３０を含む。更に、図１に示すハウジングは、シールアセンブリ２２が配置される下側及び上側ハウジング部分１６及び１８の水平結合部２０より下の位置を中心に、堆積チャンバ１４から出る被覆されたガラスシート基板を出す出口３２を含む。図４にエントリとして図示したような入口３０及び出口３２は、他の処理システムとの間の通り道を開けるように機能する。例えば、入口３０は、デポジション用の加熱炉から加熱されたガラスシートを受入れ、出口３２は、更なる処理のためにコーティングされたガラスシートを転送させることができる。その場合、他のシステムの部分が、堆積システム１０と同様にそこに包含された環境を維持する適当なシールを有する。かかるシールは、堆積チャンバ１４内にいかなる周囲の雰囲気をも導入することなく、従来の仕方でガラスシート導入を提供するために、在来の排気ポンプ装置及びスペースゲートを備えたロードロックセルであってよい。更に、入口３０及び出口３２は、ロードロックセル、又は、如何なるタイプの適当な係合シール、又は、McMaster等による米国特許第5,772,715号によって開示されるようなガラスシートの連続的な導入を可能にするスリットシールであってよく、かかる開示は全体的にリファレンスとしてここに組み入れる。

図３に図示したように、化学気相分配器２６は、ガラスシート基板がロールコンベヤ２４に沿ってコンベヤ移送されるときに、当該ガラスシート基板上での均一な堆積を保証するために、ディストリビュータプレナム２８の対向する側方端へのフローのための、システムの対向する側方側に一対のインレット３６によって供給される材料ソース３４を有する。

図５に図示したように、ＣＶＤシステム１０は、バルブ４２の制御下でコンジット４０を介して堆積チャンバ１４内を真空に引くための真空ソース３８を含む。下側及び上側ハウジング部分１６及び１８の間のシールアセンブリ２２は、図２に示した細長い側方サイド４８と同様に対向するその端５０で、ハウジング１２の全体的な周囲にわたってのびる内側及び外側シール部材４４及び４６を含む。内側及び外側シール部材４４及び４６は、図５に示すように中間のシールスペース５４を設けるために、互いに間隔が隔てられている。かくしてこの密封空間は、堆積チャンバ１４とその周囲５４との間に配置される。堆積チャンバ１４の真空よりも低い真空になるように、バルブ５８の制御下でコンジット５６を介して中間シールスペース５４において真空引きされる。センサは、内側シール部材４４又は外側シール部材４６の漏れを感知するように、中間シールスペース５４の真空のレベルを関知するように機能する。特に、センサ６０が、中間シールスペース５４の真空の上昇を検知したとき、内側シール部材４４に漏れが発生していることを警告する。逆に、センサ６０が中間シールスペース５４の真空の低下を検知したとき、外側シール部材４６に漏れが生じていることを警告する。従って、システムは、その効果的な密封機能を保証するために、シールアセンブリ２２の内側及び外側シール部材４４及び４６の両方を監視することができる。

図４及び５に示したように、シールアセンブリ２２は、下側及び上側ハウジング部分１６及び１８に下側及び上側シールフランジ６２及び６４を含む。内側及び外側シール部材４４及び４６は、下側及び上側ハウジング部分の間を密封するために、図５に示したように下側及び上側シールフランジ６２及び６４の間にのびる。下側ハウジング部分１６上への上側ハウジング部分１８の下向きの移動の際に、ガイド６６は、上側ハウジング部分の適当な位置決めを行う。図４及び６に示したクランプ６８は、互いにシールフランジを安全に固定するためにハウジングの周囲にわたって間隔が隔てられて設けられる。特に図６に示したように、各クランプは、下側シールフランジ６２に取り付けられた油圧シリンダ７０を有し、また、油圧シリンダのピストン連結ロッドに対して、少なくとも一つのネジコネクタ７６によって固定され、上側シールフランジ６４と係合する可動式クランプ部材７４を有する。

図３に示したように、ＣＶＤシステム１０は、ハウジング１２内に配置され、ハウジング１２の長さに対応した細長い長さを有するオーブン７８を含み、ロールコンベヤ２４及び化学気相分配器２６が加熱オーブンから飛び出す、側方に対向するスロット８０を有する。オーブン７８は、絶縁構造を有し、ハウジングとオーブンを全体的に円形とみなしたときの半径方向にのびる支持体８２によってハウジングに取り付けられる。その内部では、オーブン７８は、ハウジングの長さに沿って延びる細長いヒータを含む。電気的コネクタ８６は、コンベヤの方向に対して側方にガラスシート基板の温度差を制御し、並びに、ロールコンベヤ２４によって提供される下側基板表面のいかなる放射及び伝導をも相殺するためにそれらの上側及び下側表面の加熱を制御するために、バンクａ，ｂ，ｃ，ｄ及びｅにヒータ８４を接続する。図７に示したような各電気ヒータ８４は、電圧９０が印加される電気抵抗エレメント８８を有し、各ヒータ８４は、関連する電気抵抗エレメント８８を保護するように延びる細長い石英管９２を含む。

図１に示したように、ロールコンベヤ２４は、コンベヤ移送の方向の長手方向に沿って、コンベヤ移送方向Ｃに沿って間隔が隔てられた複数のロール９４を含む。図４に示したようなコンベヤロール９４は、ハウジング１２の側方のサイドに近接した、オーブン７８のサイドスロット８０を通ってオーブン７８から外側に突き出た端９６を各々有する。図示されたシステムハウジング１２は、その内側がオーブン７８の外側の堆積チャンバ１４と密封接続された駆動部分９８を有する。１００によって集合的に示された駆動機構は、システムハウジングの駆動部分９８内に配置され、オーブン７８の外側であるがハウジング１２の内側でロールエンド９８と係合し、且つ回転駆動する上側駆動ギアユニット１０８を駆動させるクロスシャフト１０６及びギアボックス１０４によって駆動される垂直に延びる駆動チェーン１０２を有する。このように、駆動機構１００は、オーブン７８の内部に包含された加熱に晒されることはなく、低い温度で機能するようにより経済的に製造することができる。

引き続き図４を参照すると、コンベヤロール９４は、焼結結合された石英ガラスパーティクルから作られるのが好ましく、化学気相分配器プレナムが配置されない位置で、オーブンサイドスロット８０を介して放射熱損失を制限する環状放射シールド１１０を有する。

図３，４及び８を参照すると、システムは、破損したガラスシート基板を捕捉するためにロールコンベヤ２４の下に配置されたスクリーン１１２を有する。特にスクリーン１１２は、ステンレス鋼でできており、適当な補強材１１４を含み、下のヒータからの放射熱フローを妨げることなく、該ステンレス鋼スクリーンが約１乃至２センチメートルの開口を備える。

本件発明を実施するための最良の実施形態を詳細に記載したが、当業者は本発明を実施するための種々の変形実施形態を認識することができる。

Claims (12)

1. 化学蒸着システムであって、
   内包された堆積チャンバを構成し、互いの水平結合部を備えた下側及び上側部分を含むハウジングと、
   前記水平結合部で前記下側及び上側ハウジング部分の間に延びるシールアセンブリと、
   前記堆積チャンバ内に配置された少なくとも一つのロールを備え、前記シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部よりも下方のコンベヤ平面でコンベヤ送りの方向に沿ってガラスシート基板をコンベヤ移送するためのロールコンベヤと、
   前記堆積チャンバ内に配置され、前記コンベヤ移送されるガラスシート基板上に化学蒸着のコーティングを行うために、ロールコンベヤよりも上方に配置された化学気相分配器と、
   該ハウジング内に配置されたオーブンと、
   前記少なくとも一つのロールの周りに位置し、該オーブンの内側に位置する、少なくとも一つの環状放射シールドと、を有し、
   前記ハウジングが、シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部よりも下方の位置で、コーティングされるガラスシート基板を堆積チャンバ内に導入する入口を含み、
   前記ハウジングが、シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部よりも下方の位置で、コーティングされたガラスシート基板を堆積チャンバから出す出口を含む、
   ことを特徴とする化学蒸着システム。
2. 請求項１に記載の化学蒸着システムが更に、堆積チャンバ内を真空に引くための真空ソースを有し、
   前記下側及び上側ハウジング部分の間のシールアセンブリが、堆積チャンバとその周りの環境との間に配置され、真空が堆積チャンバよりも低い程度に引かれる中間シールスペースを構成するために、互いに間隔が隔てられた内側及び外側シール部材と、内側シール部材又は外側シール部材のいずれかの漏れを検知するため、シールスペース内の圧力を検知するためのセンサとを含む、
   ことを特徴とする化学蒸着システム。
3. シールアセンブリが、下側及び上側ハウジング部分に設けられた下側及び上側シールフランジと、下側及び上側ハウジングの間を密封するために下側及び上側シールフランジの間に延びる前記内側及び外側シール部材と、上側ハウジング部分を下側ハウジング部分に固定するために下側及び上側シールフランジの間に延びるクランプとを有する、
   ことを特徴とする請求項２に記載の化学蒸着システム。
4. 各クランプが、下側及び上側シールフランジの間を固定するために油圧シリンダを含むことを特徴とする請求項３に記載の化学蒸着システム。
5. 請求項１に記載の化学蒸着システムであって、前記オーブンが、
   コンベヤ移送されるガラスシート基板を加熱し、コンベヤ移送の方向に対して横方向の基板の温度変化を制御するために、横方向に間隔が隔てられたバンクに、コンベヤ移送の方向に沿って延びた細長いヒータを含む、
   ことを特徴とするシステム。
6. 各細長いヒータが、加熱を提供するために電気が通る電気抵抗エレメントを含み、各ヒータは前記電気抵抗エレメントが中を通って延びる細長い石英管を含む、ことを特徴とする請求項５に記載の化学蒸着システム。
7. 前記少なくとも一つのロールが、
   オーブンの中にのび、ハウジング内にそこから外側に突き出た端を備えた複数のロールと、
   ハウジング内でオーブンの外側でロール端を回転駆動する駆動機構と、
   を備えることを特徴とする、請求項５に記載の化学蒸着システム。
8. ガラスシート基板の破損を捕捉するために、ロールコンベヤの下に配置されたスクリーンを更に有することを特徴とする、請求項７に記載の化学蒸着システム。
9. スクリーンが、ステンレス鋼で出来ており、補強材を包含することを特徴とする、請求項８に記載の化学蒸着システム。
10. 化学蒸着システムであって、
    内包された堆積チャンバを構成し、互いの水平結合部を備えた下側及び上側ハウジング部分を含み、下側及び上側ハウジング部分が、下側及び上側ハウジング部分の水平結合部で下側及び上側シールフランジをそれぞれ備えたハウジングと、
    前記堆積チャンバ内を真空に引くための真空ソースと、
    下側及び上側ハウジング部分の水平結合部でその間を密封するために、下側及び上側ハウジング部分の下側及び上側シールフランジの間にのびる内側及び外側シール部材を備え、内側及び外側シール部材が、中間シールスペースを構成するために互いに間隔が隔てられ、該中間シールスペースが堆積チャンバとその周りの環境との間で真空に引かれたシールアセンブリと、
    内側シール部材又は外側シール部材のいずれかの漏れを検知するために、シールスペース内の圧力を検知するためのセンサと、
    シールアセンブリが配置された、下側及び上側ハウジング部分の水平結合部よりも下方のコンベヤ移送の平面でコンベヤ移送の方向に沿ってガラスシート基板をコンベヤ移送するために、堆積チャンバ内に配置されたロールコンベヤと、
    破損したガラスシート基板を捕捉するためにロールコンベヤの下に配置されたスクリーンと、
    コンベヤ移送されるガラスシート基板上のコーティングの化学蒸着を行うために、ロールコンベヤよりも上方で、堆積チャンバ内に配置された化学蒸着分配器と、を有し
    前記ハウジングが、シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部よりも下方の位置で、コーティングされるガラスシート基板が堆積チャンバ内に導入される入口を備え、
    前記ハウジングが、シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部よりも下方の位置で、コーティングされたガラスシート基板を堆積チャンバから出す出口を備えたことを特徴とする化学蒸着システム。
11. 化学蒸着システムであって、
    内包された堆積チャンバを構成し、互いの水平結合部を備えた下側及び上側ハウジング部分を含み、下側及び上側ハウジング部分が、下側及び上側ハウジング部分の水平結合部で下側及び上側シールフランジをそれぞれ備えたハウジングと、
    堆積チャンバ内を真空に引く真空ソースと、
    下側及び上側ハウジング部分の水平結合部でその間を密封するために、下側及び上側ハウジング部分の下側及び上側シールフランジの間にのびる内側及び外側シール部材を備え、内側及び外側シール部材が、中間シールスペースを構成するために互いに間隔が隔てられ、該中間シールスペースが堆積チャンバとその周りの環境との間で真空に引かれたシールアセンブリと、
    内側シール部材又は外側シール部材のいずれかの漏れを検知するために、シールスペース内の圧力を検知するためのセンサと、
    シールアセンブリが配置された、下側及び上側ハウジング部分の水平結合部よりも下方のコンベヤ移送の平面でコンベヤ移送の方向に沿ってガラスシート基板をコンベヤ移送するためのロールを備え、堆積チャンバ内に配置されたロールコンベヤと、
    ガラスシート基板をコンベヤ移送するロールコンベヤを備えたハウジング内に配置されたオーブンであって、該オーブンが、コンベヤ移送されるガラスシート基板を加熱するために横方向に間隔が隔てられたバンクでコンベヤ移送の方向に沿って延び、コンベヤ移送の方向に対して横方向に基板の温度差を制御する細長いヒータを備え、該バンクが、上側ハウジング部分によって支持され、水平結合部よりも上方に配置される上側バンクと、下側ハウジング部分によって支持され、水平結合部よりも下方に配置される下側バンクとを備え、各細長いヒータが、加熱させるために電気が通る電気抵抗エレメントを含み、各ヒータが、前記電気抵抗エレメントを通す細長い石英管を含む、オーブンと、
    コンベヤ移送されるガラスシート基板上にコーティングの化学蒸着を行うために、ロールコンベヤの上で堆積チャンバ内に配置された化学蒸着分配器と、を有し、
    前記ハウジングが、シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部よりも下方の位置で、コーティングされるガラスシート基板が堆積チャンバ内に導入される入口を備え、
    前記ハウジングが、シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部よりも下方の位置で、コーティングされたガラスシート基板を堆積チャンバから出す出口を備えたことを特徴とする化学蒸着システム。
12. 化学蒸着システムであって、
    内包された堆積チャンバを構成し、互いの水平結合部を備えた下側及び上側ハウジング部分を含み、下側及び上側ハウジング部分が、下側及び上側ハウジング部分の水平結合部で下側及び上側シールフランジをそれぞれ備えたハウジングと、
    堆積チャンバ内を真空に引く真空ソースと、
    下側及び上側ハウジング部分の水平結合部でその間を密封するために、下側及び上側ハウジング部分の下側及び上側シールフランジの間にのびる内側及び外側シール部材を備え、内側及び外側シール部材が、中間シールスペースを構成するために互いに間隔が隔てられ、該中間シールスペースが堆積チャンバとその周りの環境との間で真空に引かれたシールアセンブリと、
    前記下側及び上側シールフランジを互いに固定するために油圧シリンダをそれぞれ含む複数のクランプと、
    内側シール部材又は外側シール部材のいずれかの漏れを検知するために、シールスペース内の圧力を検知するためのセンサと、
    シールアセンブリが配置された、下側及び上側ハウジング部分の水平接合部よりも下方のコンベヤ移送の平面でコンベヤ移送の方向に沿ってガラスシート基板をコンベヤ移送するためのロールを備え、堆積チャンバ内に配置されたロールコンベヤと、
    破損したガラスシート基板を捕捉するためにロールコンベヤよりも下方に配置されたスクリーンと、
    ガラスシート基板をコンベヤ移送するロールコンベヤを備えたハウジング内に配置されたオーブンであって、該オーブンが、コンベヤ移送されるガラスシート基板を加熱するために横方向に間隔が隔てられたバンクでコンベヤ移送の方向に沿って延び、コンベヤ移送の方向に対して横方向に基板の温度差を制御する細長いヒータを備え、各細長いヒータが、加熱させるために電気が通る電気抵抗エレメントを含み、各ヒータが、前記電気抵抗エレメントを通す細長い石英管を含む、オーブンと、
    コンベヤ移送されるガラスシート基板上にコーティングの化学蒸着を行うために、ロールコンベヤの上で堆積チャンバ内に配置された化学蒸着分配器と、を有し、
    前記ハウジングが、シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部よりも下方の位置で、コーティングされるガラスシート基板が堆積チャンバ内に導入される入口を備え、
    前記ハウジングが、シールアセンブリが配置された下側及び上側ハウジング部分の水平結合部よりも下方の位置で、コーティングされたガラスシート基板を堆積チャンバから出す出口を備えたことを特徴とする化学蒸着システム。

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