JP5562604B2

JP5562604B2 - フレーム取出装置におけるフレーム２枚取り防止方法と防止装置

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Publication number: JP5562604B2
Application number: JP2009224492A
Authority: JP
Inventors: 武彦森谷
Original assignee: MTEX Matsumura Corp
Current assignee: MTEX Matsumura Corp
Priority date: 2009-09-29
Filing date: 2009-09-29
Publication date: 2014-07-30
Anticipated expiration: 2029-09-29
Also published as: JP2011077119A

Description

本発明は、半導体製品を製造する装置に、１枚ずつフレームを供給するように組み込まれるフレーム取出装置において、該フレーム取出装置が、供給するフレームを、多数枚積み重ねられている状態のところから、１枚ずつ取り出す作動を行う際に、取り出すフレームの下面側に、次回の取出作動で取り出されるべきフレームが、付着して一緒に取り出されるように生じてくる２枚取りの現象を防止するために、フレーム取出装置に組み込み装設するフレーム２枚取り防止装置についての改良に関する。

半導体製品の製造に際し、ＩＣをボンディングするのに用いるフレーム（リードフレーム）は、通常、０．２５ミリ程度の極く薄い金属板またはプラスチック板で、図１に示しているように、打抜き部のある細巾の帯板状のフレームｆに形成されている。

このフレームは、フレーム製造メーカーで作られ、多数枚を積み重ねて束ねられて、包装紙で包装した状態として、半導体製品の製造メーカーに納入される。

半導体製品の製造メーカーは、納入を受けたフレームを、それの包装紙を剥がし取って、裸のまま積み重ねて束状にまとめられた状態とし、これを、半導体製造装置の、所定個所に、積み重ねられて束状にまとめられた状態のまま配置し、半導体製造装置に組み込まれているフレーム取出装置により、最上層に位置するフレームから１枚ずつ取り出して半導体製品を製造する装置、例えばボンダーに対し供給するように用いる。

この積み重ねられて束状にまとめられた状態のフレームの束から、フレームを１枚ずつ取り出すフレーム取出装置は、通常、図２に示しているように、半導体製造装置の所定個所に設けた載置台ａの上に置かれるフレームｆが積み重ねられた束ｂの上方位置に配設されるヘッドｃの下面に、昇降するシリンダ装置などの昇降機構ｄにより前記載置台ａ上のフレームｆの束ｂの上面に対し進退する台盤ｅを配設し、この台盤ｅの下面側に、フレームｆの上面の四隅部に対して吸着してフレームｆを保持する吸着パッドなどの保持手段ｇを設けておいて、シリンダ装置などの昇降機構ｄにより台盤ｅを下降させて下面側に設けた保持手段ｇを、重ねられているフレームｆの最上位のフレームｆの上面に当接させて吸着保持させ、この状態から台盤ｅを上昇させて吸着保持させた最上位のフレームだけを取り出すようにすることで、１枚ずつフレームｆを取り出すようにしている。

このように、構成されているフレーム取出装置Ａは、積み重ねて束状にまとめられているフレームｆの束ｂから、フレームｆを１枚ずつ取り出せるようになる筈であるが、実際には、次の取り出し操作の際に取り出されるべき次位のフレームｆが、取り出される最上位のフレームｆの下面側に付着して一緒に取り出されるいわゆる２枚取りの現象を生ぜしめる場合が発生する。

この現象は、フレームｆをフレーム製造メーカーで形成するとき、截断機で、所定のフレームの形状大きさに、打抜き截断し、積み重ねて束状にまとめられた状態のものとして成形されていることから、この束状に積み重ねられた各フレームｆの辺縁が、截断の際にフレームｆの辺縁の下縁側に生じるバリ状の突出片や、コーティング材の粘着力により、重合する上下のフレームの間において、互いにくっつき合うことで、密着した状態となって係合していることにより生ずる。

このように、取り出したフレームｆに追従して取り出されるフレームがあると、これの供給を受けた装置は、トラブルを発生し、そのトラブルを修復させるまで生産を停止させるようになる。

このため、フレーム取出装置Ａには、積み重ねられたフレームｆの束ｂから、最上位のフレームｆを、それの上面に対する吸着により取り出すときに、喰い合うように係合している辺縁部位の密着を解放せしめて、２枚取りを防止する手段が組み込まれる。

この２枚取り防止手段は、図３に示しているように、フレーム取出装置Ａのヘッドｃに昇降機構ｄを介して昇降自在に設けた台盤ｅの下面の中央部位に、フレームｆ上面の中心部位に対し吸着して該フレームｆの中心部位を保持する保持手段ｇ’を、シリンダ装置等の昇降機構ｈにより昇降するように設けておいて、台盤ｅの下降作動により下面側に設けた保持手段ｇ’が、載置台ａ上に載置されているフレームｆの束ｂの最上位のフレームｆの上面に当接し、フレームｆの長手方向となる左右方向の両端部位を、台盤ｅの下面の四隅に設けた保持手段ｇで押さえ付け、中央部位を、台盤ｅの下面の中心部位に設けた保持手段ｇ’で押さえ付けた状態となったところで、四隅に設けた保持手段ｇでフレームｆの左右の両端部位を押さえ付けた状態のまま、台盤ｅ下面の中心部に設けた保持手段ｇ’を上昇させて、フレームｆの中央部をこの保持手段ｇ’の吸着作動により吊り上げ、フレームｆを、図４において鎖線に示している如く、長手方向である左右方向が弦となる弧状に弯曲変形させ、これにより、フレームｆの長手方向に沿う前後の側縁を下位のフレームｆの側縁から強制的に引き離し、同時に、フレームｆの左右の両端部位を、フレームｆの中央部が吊り上げられて弧状に変形していくときの、中央部に向けての引っ張り作動により、左右方向に変位・変動させて、この左右の両端側の辺縁における係合を解放させ、これによって、最上位のフレームｆと次位に重なるフレームｆとの係合・密着がない状態として、２枚取りを防止するようにしている手段である。

この従前の２枚取り防止手段は、最上位のフレームだけが、次位に重なるフレームから引き剥がされてくる筈のものであるが、実際には、２枚取りの現象を発生させている。

これは、左右の両端側を保持部材で押さえた状態のフレームを、そのフレームの中心部位を保持部材で吊り上げて弧状に弯曲変形させることで行なわすフレームの左右の両端部位の変動が、フレームの左右の中央部を吊り上げることによりフレームの両端側に与える左右方向に沿う引っ張り方向の応力によることから、フレーム自体の伸びに吸収されるなどで、フレーム左右の両端部の辺縁における係着を外すまでの動き量が得られていないことによるものと推定されている。

本発明において解決しようとする課題は、フレーム取出装置で、フレームが重合・密着して積み重ねられている状態のところから、最上位に位置するフレームを、１枚ずつ取り出す際において、取り出す最上位のフレームを、左右方向における中央部が上昇した弧状に弯曲変形させて、下位のフレームから引き剥がし、辺縁における係着を解放させるようにするときに、左右の両端部における辺縁の係着の解放が適確に行われるようにして、２枚取りが確実に防止されるようにすることにある。

本発明は、上述の課題を解決するための手段として、積み重ねて束状にまとめた状態のフレームの束を、フレーム取出装置の載置台上に載置し、載置台の上方には、下降作動により底面が、前記載置台上のフレームの束の最上位に位置するフレームの上面の左右の端部に対しそれぞれ当接する抱込台を、左右に一対に対向するよう配位せしめて、それぞれ左右方向に移動自在に装設し、それら一対の抱込台の各外端側には、一枚のフレームの厚さ寸法より短い寸法の突出長さで抱込台の底面から下方に突出する抱込片をそれぞれ装設しておき、これら一対の抱込片が抱込台とともに互いに近接する方向に動く作動により、最上位のフレームを、左右方向に圧縮して弧状にたわませ、次位のフレームから剥離せしめた状態として抱込片に挟持せしめ、台盤の上昇により取り出すようにしたことを特徴とするフレーム取出装置におけるフレーム２枚取り防止方法を提起するものである。
また、これに併せて、フレーム取出装置の昇降機構により昇降する台盤の左右の端部の下面側に、台盤の下降により底面が、載置台上に載置せる集積状態に積み重ねられたフレームのに位置するフレームの上面の左右の端部にそれぞれ当接する抱込台を、左右に一対に対向するよう配位せしめて、それぞれ左右方向に移動自在に装設し、それら一対の抱込台の各外端側に、一枚のフレーム厚さ寸法より短い寸法の突出長さで抱込台の底面から下方に突出する抱込片をそれぞれ装設し、これら一対の抱込片が抱込台とともに互いに近接する方向に動く作動により、最上位のフレームを、左右方向の圧縮によって弧状にたわませ、次位のフレームから剥離せしめた状態に抱込片に挟持せしめ、台盤の上昇により取り出すようにしたことを特徴とするフレーム取出装置におけるフレーム２枚取り防止装置を提起し、
また、これに併せて、フレーム取出装置の昇降機構により昇降する台盤の左右の端部の下面側に、台盤の下降により底面が、載置台上に載置せる集積状態に積み重ねられたフレームの最上位に位置するフレームの上面の左右の端部にそれぞれ当接する抱込台を、左右に一対に対向するよう配位せしめて、それぞれ左右方向に移動自在に装設し、それら抱込台の各外端側に、一枚のフレームの厚さ寸法より短い寸法の突出長さで抱込台の底面から下方に突出する抱込片を装設し、台盤下面の左右方向の中央部位に、一対の抱込台の互いに近接する方向の作動による一対の抱込片の動きにより左右方向の圧縮によって弧状にたわませて次位のフレームから剥離せしめた最上位のフレームの上面に対し当接して吸着保持する保持手段を配設してなるフレーム取出装置におけるフレーム２枚取り防止装置を提起し、
また、これに併せて、フレーム取出装置の台盤の下面側には、第２の台盤を、左右の傾斜回動自在に吊設し、この第２の台盤の左右の端部の各下面側に、台盤の下降により底面が、載置台上に載置せる集積状態に積み重ねられたフレームの最上位に位置するフレームの左右の端部の上面にそれぞれ当接する抱込台を、左右に一対に対向せしめて、それぞれ左右方向に移動自在に装設し、それら一対の抱込台の各外端側に、一枚のフレームの厚さ寸法より短い寸法の突出長さで下方に突出する抱込片をそれぞれ装設し、前記これら一対の抱込片が抱込台とともに互いに近接する方向に動く作動によりこれら一対の抱込片が最上位のフレームを左右方向の圧縮によって弧状にたわませて次位のフレームから剥離せしめた状態に挟持するようにしたフレーム取出装置におけるフレーム２枚取り防止装置を提起し、
また、これに併せて、フレーム取出装置の台盤の下面側には、第２の台盤を、左右の傾斜回動自在に吊設し、この第２の台盤の左右の端部の各下面側に、台盤の下降により底面が、載置台上に載置せる集積状態に積み重ねられたフレームの最上位に位置するフレームの左右の端部の上面にそれぞれ当接する抱込台を、左右に一対に対向せしめて、それぞれ左右方向に移動自在に装設し、それら一対の抱込台の各外端側に、一枚のフレームの厚さ寸法より短い寸法の突出長さで下方に突出する抱込片をそれぞれ装設し、かつ、第２の第盤下面の左右方向の中央部位に、一対の抱込台の互いに近接する方向の作動による一対の抱込片の動きにより左右方向の圧縮によって弧状にたわませて次位から剥離せしめた最上位のフレームの上面に対し当接して吸着保持する保持手段を配設してなるフレーム取出装置におけるフレーム２枚取り防止装置を提起するものである。

本発明によるフレーム取出装置における２枚取り防止手段は、フレーム取出装置で、載置台上に載置したフレームの集積束の上面からフレームを取り出すときの２枚取りを防止するために、最上位に位置するフレームを、左右方向の中央部が上昇した弧状に弯曲変形させ、前後の辺縁を次位に重合するフレームから浮き上がらせるとともに、左右の両端部を左右の中央部に寄せるよう動かすことで、辺縁における次位のフレームとの密着・係合を解放させるときに、フレームの左右の両端部を左右の押込台により、左右の中央部に向け押し込み圧縮することで、フレームを弧状にたわませるようにしているのだから、最上位のフレームの左右の両端部に対し確実に移動変位することになり、左右の両端側における辺縁の係合・密着が確実に剥がされ、弧状に弯曲することで前後の側縁における係合・密着が強制的に剥がされることとあいまって、次位に重なるフレームとの密着・係合が解除され、２枚取りが確実に防止されるようになる。

フレームの平面図である。従前のフレーム取出装置の、フレーム取り出し作業時における一部を省略した正面図である。同上のフレーム取出装置に組み込んだ２枚取り防止装置の正面図である。同上装置の、フレームの積層束の最上位のフレームを次位のフレームから剥離させた状態時における作用の説明図である。本発明手段を実施せるフレーム取出装置の一部を省略した正面図である。同上装置の、台盤を下降させて左右の抱込台の底面を、載置台上のフレームの積層束の上面に当接させた状態時の正面図である。同上装置の、左右の抱込台を作動させて、フレームの積層束の最上位のフレームを撓ませた状態時の正面図である。本発明手段によるフレーム取出装置の別の実施例の、一部を省略した正面図である。同上装置の作用を説明する説明図である。

次に実施の形態を、実施例につき図面に従い詳述する。

図５は、本発明手段による２枚取り防止装置を組み込んだフレーム取出装置の一部を省略した正面図、図６は同上装置の要部の拡大正面図で、これら図において、Ａはフレーム取出装置、Ｂはこのフレーム取出装置Ａに組み込んだ２枚取り防止装置を示す。

フレーム取出装置Ａは、図面では省略している支持部材に、ヘッドｃを、水平な方向に沿い移動自在に支持せしめるか、前記支持部材の作動により自由に動くよう支持せしめ、このヘッドｃの下面側に、シリンダ１０とこれに出入自在に嵌合するピストン１１とからなるシリンダ装置などの昇降機構ｄを介して、平板状に形成した台盤ｅを、昇降自在に装架し、この台盤ｅの下面側で左右の両端部位に、載置台ａ上に載置されたフレームｆが積み重ねられているフレームｆの束ｂの上面から、最上位のフレームｆを取り出すための抱込台２・２を、左右方向の移動可能に装設し、これら抱込台２のそれぞれには、台盤ｅの左右方向の中央部に向け移動させるシリンダ装置などよりなる移動機構３を、連繋させて組み付け装架し、かつ、台盤ｅの下面の左右の中央部に、フレームｆの上面に当接することで、その上面に吸着するか、連結してフレームｆを保持する保持手段ｇ’を設けることで構成している。

台盤ｅの下面の左右の両端部にそれぞれ装設せる抱込台２には、外端側の底面に、昇降機構ｄの作動で台盤ｅを下降させたときに、ヘッドｃの下方に位置させてフレーム取出装置Ａの機体に装設される載置台ａ上に載置せるフレームｆの束ｂの最上位のフレームｆの左右の両端部の上面に対し当接して押さえ付けていく押圧面２０が、該抱込台２の外端側の下面に形成してあり、かつ、この押圧面２０の外端側には、下方に短く突出する抱込片２１が装設してある。

この抱込片２１の押圧面２０からの下方への突出長さは、フレームｆの厚さ以下の寸法に設定している。この実施例では、通常のフレームｆの厚さが０．２５ミリであることで、これより短い寸法の０．２０ミリに設定している。

そして、これにより、昇降機構ｄを作動させて台盤ｅを下降させることにより、図６の如く、載置台ａ上に載置したフレームｆが積み重ねられている束（集積層）の上面に抱込台２の押圧面２０が当接した状態において、移動機構３を作動させて左右の抱込台２を、それぞれ、台盤ｅ下面の左右の中央部位に向け移動させることで、左右の抱込台２・２が、積み重ねられているフレームｆの最上位にある１枚のフレームｆの左右の両端部を抱え込んで、中央に押し込むようになることにより、この最上位のフレームｆだけを図７において鎖線に示しているように、上方に向けて弓状に弯曲するように撓ませるようになって、フレームｆの前後の両辺縁と次位のフレームｆの前後の両辺縁との係着を解放し、同時に、この最上位のフレームｆの左右の両端部だけが押し込まれることで左右の両端の辺縁における次位のフレームｆとの係着が剥がされて、最上位のフレームｆを次位に重なるフレームｆに対し、辺縁における係着がない状態とする。

台盤ｅの下面の左右方向における中央部に設けた保持手段ｇ’は、前述したように、フレームｆが、左右の抱込台２による抱え込みで、左右の両端縁部が中央に向け寄せられてたわみ、下辺を弦として上方に弧状に張り出す弓形に弯曲・変形してきたときに、この弓状に変形してきたフレームｆの上面に対し当接してくるように配位して、台盤ｅの下面に垂設せるロッド４０の下端に装設してある。この保持手段ｇ’は、この例においては、合成樹脂材等の弾性資材により倒立する皿状に成形され、内部が、真空ポンプまたは真空タンクなどの真空源に対し制御弁を具備する連通管を介して連通していて、フレームｆ上面に当接した状態において制御弁の作動により作用してくる吸引圧により、フレームｆ上面に吸着していく通常の吸着パッドを用いている。

また、吸着パッドよりなる保持手段ｇ’を下端部に支持するロッド４０は、この例においては、台盤ｅの下面に固定装設してあるが、エアシリンダ等の昇降機構を介して昇降自在に装架し、吸着パッドよりなる保持手段ｇ’の高さ位置を所望に設定し得るように装設する場合がある。

図８は、別の実施例を示している。この例は、載置台ａの上面に載置されたフレームｆの集積束の上面が、片あがりに傾いている場合でも、台盤ｅの下面の左右の両端部位に組み付け支架せしめておく左右の抱込台２・２のそれぞれの底面の押圧面２０が、フレームｆの集積束の最上位のフレームｆの上面に揃って当接していくようにしている例である。

この例においては、台盤ｅの下面側に装設する左右の抱込台２・２は、フレーム取出装置Ａのヘッドｃの下面側に、シリンダ装置などよりなる昇降機構ｄを介して昇降自在に装架する台盤ｅの下面には直接装設せずに、この台盤ｅの下面側に、第２の台盤ｅ’を、台盤ｅに対して左右の傾斜揺動を自在に吊り下げて、この第２の台盤ｅ’の下面に取り付け装設する。

即ち、ヘッドｃの下面に、昇降機構ｄを介して昇降自在に装架した台盤ｅの下面側には、左右の両端に寄せた部位に、短い吊杆５０をそれぞれ垂設して、これら吊杆５０の下端側に、下方に向かい拡径するコーン状の吊子５１を組み付け、それの下面に円盤状の係止板５２を取り付けておく。そして、台盤ｅの下方には、前述の実施例における台盤ｅと同様に成形した第２の台盤ｅ’を配位し、その第２の台盤ｅ’の左右の両端部位に、前記吊杆５０及び吊子５１は自由に透通するが、吊子５１の底面に設けた円盤上の係止板５２は透過させない径の透孔６０をそれぞれ開設し、これら透孔６０に、吊子５１を下方から透通して、その吊子５１の上端側を前記台盤ｅの下面に取り付けておいた吊杆５０の下端に一体的に組み付けることで、第２の台盤ｅ’を、吊杆５０及び吊子５１が透孔６０内を自由に動く範囲内において、自在に傾斜揺動するように、台盤ｅの下面に吊り下げ支架し、その第２の台盤ｅ’の下面に、前述の実施例における台盤ｅと同様に、抱込台２と吸着パッドよりなる保持手段ｇ’を設けるようにしている例である。

この例のフレーム取出装置Ａは、載置台ａの上面に載置されたフレームｆの積層束ｂの上面が、昇降する台盤ｅ’の下面と正しく平行せず、台盤ｅ’の下面に対し傾斜した片あがりの状態となっていて、昇降機構ｄの作動で下降してきた台盤ｅ’の下面の左右の抱込台２のうちの一方の抱込台２の底面だけがフレームｆの上面に当接するようになったときに、抱込台２を支架せる第２の台盤ｅ’が、傾斜揺動して、フレームｆの積層束ｂの上面に倣う姿勢に変換していき、左右の抱込台２・２が揃ってフレームｆの上面に圧接していくようになって、左右の抱込台２を作動させたときの、フレームｆをたわませる作動が適確に行われるようになる。

Ａフレーム取出装置
Ｂ１枚取り防止装置
ａ載置台
ｂ束
ｃヘッド
ｄ昇降機構
ｅ台盤
ｅ’ 第２の台盤
ｆフレーム
ｇ四隅に設けた保持手段
ｇ’ 保持手段
ｈ昇降機構
１０シリンダ
１１ピストン
２抱込台
２０押圧面
２１抱込片
３移動機構
４０ロッド
５０吊杆
５１吊子
５２係止板
６０透孔

Claims

積み重ねて束状にまとめた状態のフレームの束を、フレーム取出装置の載置台上に載置し、
載置台の上方には、下降作動により底面が、前記載置台上のフレームの束の最上位に位置するフレームの上面の左右の端部に対しそれぞれ当接する抱込台を、左右に一対に対向するよう配位せしめて、それぞれ左右方向に移動自在に装設し、
それら一対の抱込台の各外端側には、一枚のフレームの厚さ寸法より短い寸法の突出長さで抱込台の底面から下方に突出する抱込片をそれぞれ装設しておき、
これら一対の抱込片が抱込台とともに互いに近接する方向に動く作動により、最上位のフレームを、左右方向に圧縮して弧状にたわませ、次位のフレームから剥離せしめた状態として抱込片に挟持せしめ、台盤の上昇により取り出すようにした
ことを特徴とするフレーム取出装置におけるフレーム２枚取り防止方法。
フレーム取出装置の昇降機構により昇降する台盤の左右の端部の下面側に、台盤の下降により底面が、載置台上に載置せる集積状態に積み重ねられたフレームのに位置するフレームの上面の左右の端部にそれぞれ当接する抱込台を、左右に一対に対向するよう配位せしめて、それぞれ左右方向に移動自在に装設し、それら一対の抱込台の各外端側に、一枚のフレーム厚さ寸法より短い寸法の突出長さで抱込台の底面から下方に突出する抱込片をそれぞれ装設し、これら一対の抱込片が抱込台とともに互いに近接する方向に動く作動により、最上位のフレームを、左右方向の圧縮によって弧状にたわませ、次位のフレームから剥離せしめた状態に抱込片に挟持せしめ、台盤の上昇により取り出すようにしたことを特徴とするフレーム取出装置におけるフレーム２枚取り防止装置。
フレーム取出装置の昇降機構により昇降する台盤の左右の端部の下面側に、台盤の下降により底面が、載置台上に載置せる集積状態に積み重ねられたフレームの最上位に位置するフレームの上面の左右の端部にそれぞれ当接する抱込台を、左右に一対に対向するよう配位せしめて、それぞれ左右方向に移動自在に装設し、それら抱込台の各外端側に、一枚のフレームの厚さ寸法より短い寸法の突出長さで抱込台の底面から下方に突出する抱込片を装設し、台盤下面の左右方向の中央部位に、一対の抱込台の互いに近接する方向の作動による一対の抱込片の動きにより左右方向の圧縮によって弧状にたわませて次位のフレームから剥離せしめた最上位のフレームの上面に対し当接して吸着保持する保持手段を配設してなるフレーム取出装置におけるフレーム２枚取り防止装置。
フレーム取出装置の台盤の下面側には、第２の台盤を、左右の傾斜回動自在に吊設し、この第２の台盤の左右の端部の各下面側に、台盤の下降により底面が、載置台上に載置せる集積状態に積み重ねられたフレームの最上位に位置するフレームの左右の端部の上面にそれぞれ当接する抱込台を、左右に一対に対向せしめて、それぞれ左右方向に移動自在に装設し、それら一対の抱込台の各外端側に、一枚のフレームの厚さ寸法より短い寸法の突出長さで下方に突出する抱込片をそれぞれ装設し、前記これら一対の抱込片が抱込台とともに互いに近接する方向に動く作動によりこれら一対の抱込片が最上位のフレームを左右方向の圧縮によって弧状にたわませて次位のフレームから剥離せしめた状態に挟持するようにしたフレーム取出装置におけるフレーム２枚取り防止装置。
フレーム取出装置の台盤の下面側には、第２の台盤を、左右の傾斜回動自在に吊設し、この第２の台盤の左右の端部の各下面側に、台盤の下降により底面が、載置台上に載置せる集積状態に積み重ねられたフレームの最上位に位置するフレームの左右の端部の上面にそれぞれ当接する抱込台を、左右に一対に対向せしめて、それぞれ左右方向に移動自在に装設し、それら一対の抱込台の各外端側に、一枚のフレームの厚さ寸法より短い寸法の突出長さで下方に突出する抱込片をそれぞれ装設し、かつ、第２の第盤下面の左右方向の中央部位に、一対の抱込台の互いに近接する方向の作動による一対の抱込片の動きにより左右方向の圧縮によって弧状にたわませて次位から剥離せしめた最上位のフレームの上面に対し当接して吸着保持する保持手段を配設してなるフレーム取出装置におけるフレーム２枚取り防止装置。