JP5643659B2 - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、被検査物にＸ線を照射し、被検査物内の異物を検出するＸ線検査装置に関する。

従来、被検査物内の異物を検出するためにＸ線検査装置等が使用されている。これらのＸ線検査装置に関して、日々研究開発が行われている。

特許文献１には、筐体の搬入口及び搬出口が開放される面積と時間を極力抑えてＸ線遮蔽性を向上させるＸ線異物検査装置について開示されている。また、簡素な構成とするとともに、清掃性を良好にするＸ線異物検査装置について開示されている。

特許文献１記載のＸ線異物検査装置においては、被検査物（Ｗ）が搬入される搬入口（４ａ）と、該被検査物が搬出される搬出口（４ｂ）とを有する遮蔽構造の筐体（３）と、筐体内を通過させるように被検査物を搬入口から搬出口まで搬送する搬送手段（６）と、筐体内にて搬送手段によって搬送されている被検査物にＸ線を照射するＸ線発生部（１１）と、筐体内にてＸ線発生部から照射されて被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出部（１２）と、筐体の搬入口及び搬出口のそれぞれに、Ｘ線の漏洩を防ぐために設けられているＸ線遮蔽部材とを備え、Ｘ線検出部からの検出結果に基づいて被検査物の品質を検査するＸ線検査装置（１）において、Ｘ線遮蔽部材として搬送手段の搬送方向Ｙに沿って並んだ複数の金属板（２２ａ，２２ｂ，２２ｃ）からなるＸ線遮蔽ユニット（２１）を備え、Ｘ線遮蔽ユニットは、複数の金属板がその上縁部（２３ａ，２３ｂ，２３ｃ）が互いに近接して吊り下げられ揺動可能であるとともに、複数の金属板の下縁部（２４ａ，２４ｂ，２４ｃ）と搬送手段の搬送面との間の距離が搬送手段の搬送方向（Ｙ）の下流側にある金属板ほど短く形成されているものである。

特開２０１０−１２７６９９号公報

しかしながら、特許文献１記載のＸ線検査装置においては、図２に示すように、搬送面に最も近い金属板２２（２２Ｃ）が回動した際に、金属板２２（２２Ｃ）の両Ｚ方向の部分が、支軸２６の近傍まで回動し、Ｘ線検査室内のＸ線が漏洩しやすい状態が生じる。すなわち、被検査物の大きさに対して余分な領域の金属板２２（２２Ｃ）を回動させることとなる。その結果、Ｘ線検査室内のＸ線を漏洩させてしまう可能性が高く、好ましくない。さらに、軽量の被検査物に対しても、余分な領域の金属板２２（２２Ｃ）を回動させる必要があるので、被検査物の姿勢が安定しない可能性が高い。

本発明の目的は、被検査物の大きさに応じてＸ線の漏洩を最適に防止することができるＸ線漏洩防止部材を備えたＸ線検査装置を提供することである。

（１）
本発明に係るＸ線検査装置は、搬送装置によって搬送される被検査物に対して検査室内でＸ線を照射して検査を行い、検査室へ被検査物を搬入出する開口部からＸ線の漏洩を防止するＸ線漏洩防止部材を含むＸ線検査装置であって、Ｘ線漏洩防止部材は、開口部を遮蔽する複数の面部材と、複数の面部材をそれぞれ支持する複数の支持部材とを有し、複数の支持部材が、同軸を基準に回動可能に設けられたものである。複数の面部材は、鉛直上下方向および水平方向に隣接配置されている。鉛直上側に他の面部材が配置されている面部材には、鉛直上側において水平方向に隣接する２つの面部材の間に配置される支持部材が接続されている。

（２）
第２の発明に係るＸ線検査装置において、複数の面部材は、搬送装置の搬送面と垂直な略一平面を形成する。

この場合、Ｘ線漏洩防止部材の複数の面部材により、搬送装置の搬送面と垂直な略一平面が形成されるので、当該略一平面により開口部を確実に遮蔽することができ、Ｘ線の漏洩を確実に防止することができる。

（３）
第３の発明に係るＸ線検査装置において、複数の面部材は、鉛直上下方向に隣接配置され、鉛直上側の隣接する面部材の間に鉛直下側の面部材の支持部材が配置されたものである。

この場合、鉛直上下方向に隣接配置され、鉛直上側の隣接する面部材の間に鉛直下側の面部材の支持部材が配置されているので、被検査物が鉛直下側の面部材を開放させた場合でも、当該面部材の支持部材により鉛直上側の隣接する面部材の間から漏れるＸ線の漏洩を防止することができる。

Ｘ線漏洩防止部材は、複数の面部材の下端部と搬送装置の搬送面との間の距離が搬送装置の搬送方向の下流側にある面部材ほど短くなる。この場合、複数の面部材の下端部と搬送装置の搬送面との間の距離が搬送装置の搬送方向の下流側にある面部材ほど短いので、開口部を通過する被検査物の高さサイズに応じて必要な分だけ面部材を開かせることができる。

本発明に係るＸ線検査装置の一例を示す模式的外観図 本発明に係るＸ線検査装置の内部構造の一例を示す模式図 Ｘ線検査装置において画像処理に関わる構成部を示すブロック図 Ｘ線漏洩防止カーテンの一例を示す模式的平面図 Ｘ線漏洩防止カーテンの一例を示す模式的側面図 Ｘ線漏洩防止カーテンの上流側から矢視した状態を示す模式的斜視図 Ｘ線漏洩防止カーテンの下流側から矢視した状態を示す模式的斜視図 図４から図７に示したＸ線漏洩防止カーテンの動作を説明するための模式図 Ｘ線漏洩防止カーテンの他の例を示す模式的側面図 図９のＸ線漏洩防止カーテンの下流側から矢視した状態を示す模式的斜視図 Ｘ線検査装置の寸法の一例を示す模式図

以下、本発明に係る実施の形態において図面を用いて説明する。
（一の実施の形態）
図１は、本発明に係るＸ線検査装置１００の一例を示す模式的外観図であり、図２は、本発明に係るＸ線検査装置１００の内部構造の一例を示す模式図である。

図１に示すように、Ｘ線検査装置１００には、内部にＸ線検査室３００が形成されている。また、Ｘ線検査室内には、Ｘ線照射装置２００が内蔵されており、図１に示すように、Ｘ線検査装置１００のＸ線検査室を貫通するように、ベルトコンベア８００が設けられている。

また、図１のＸ線検査室３００の開口部からＸ線の漏洩を防止するＸ線漏洩防止カーテン５００が設けられている。このＸ線漏洩防止カーテン５００については、後述する。

作業者は、図１に示すＸ線検査装置１００の入力表示部ＭＴを操作することによりＸ線検査装置１００を駆動させる。作業者は、ベルトコンベア８００に被検査物である被検査物９００（図２参照）を載置させて搬送させ、Ｘ線検査装置１００のＸ線検査室内において異物混入等がないか否かの検査を行う。以下、Ｘ線検査装置１００のＸ線検査室３００の内部構造について説明を行う。

図２に示すように、本発明に係るＸ線検査室３００は、主に、Ｘ線照射装置２００、ラインセンサ２２０、Ｘ線漏洩防止カーテン５００、案内ガイド７００およびベルトコンベア８００からなる。

Ｘ線漏洩防止カーテン５００は、Ｘ線検査室３００の入口側に３セット設けられ、さらに出口側に３セット設けられる。Ｘ線漏洩防止カーテン５００は、Ｘ線照射装置２００を中心に、左右対称に設けられる。当該Ｘ線漏洩防止カーテン５００は、隣接するＸ線漏洩防止カーテン５００に対して該Ｘ線漏洩防止カーテン５００の鉛直方向の長さである１３０ｍｍ以上、搬送方向に離間して設けられる。それにより、Ｘ線漏洩防止カーテン５００が水平となる様に最大回動しても、隣接するＸ線漏洩防止カーテン５００に接触しない。なお、当該Ｘ線漏洩防止カーテン５００の構造詳細については、後述する。

また、ベルトコンベア８００は、無端状のベルトが一対のローラに巻回されて設けられ、ベルトコンベア８００の内部に、シンチレータおよびフォトダイオード素子からなるＸ線を検出するラインセンサ２２０が設けられている。

さらに、ベルトコンベア８００の上面には、案内ガイド７００が設けられる。この案内ガイド７００は、一対の部材から構成され、ベルトコンベア８００上を搬送される被検査物９００がベルトコンベア８００上から落下しないよう、すなわち、こぼれ落ちないように防止するためのものである。したがって、案内ガイド７００は、脱着可能に構成されており、被検査物９００が固形で安定搬送できる場合には、取り外して使用される。

次に、図２に示すように、ベルトコンベア８００上に被検査物９００が載せられる。そして、ベルトコンベア８００が駆動され、ベルトコンベア８００上に配設された案内ガイド７００によってベルトコンベア８００上からの落下が防止されつつ、被検査物９００は矢印Ｘ１の方向に移動する。そして、被検査物９００は、入口側の３セットのＸ線漏洩防止カーテン５００を順番に該一部のカーテンを押し上げ、Ｘ線検査室３００内に移動する。

次いで、被検査物９００に対して、Ｘ線照射装置２００からＸ線２１０が照射され、被検査物９００を透過したＸ線２１０がラインセンサ２２０に入射される。

続いて、Ｘ線検査が行われた被検査物９００は、出口側のＸ線漏洩防止カーテン５００の該一部のカーテンを押し上げ矢印Ｘ１の方向に移動し、Ｘ線検査室３００外に移動する。そして、被検査物９００は、案内ガイド７００によりベルトコンベア８００からこぼれることなく、次工程のベルトコンベアに搬送される。

なお、図２に示すように、入口側および出口側のそれぞれ３セットのＸ線漏洩防止カーテン５００は、相対的に矢印Ｘ１の方向と垂直な方向（水平方向）にずらして設けられる。それにより、Ｘ線照射装置２００からのＸ線２１０が、３セットのＸ線漏洩防止カーテン５００の隙間を通過してＸ線が漏洩することを防止できる。

続いて、図３は、Ｘ線検査装置１００において画像処理に関わる構成部を示すブロック図である。

図３に示すように、本実施形態に係るＸ線検査装置１００は、画像処理に関わる構成部として、上述のラインセンサ２２０、Ａ／Ｄコンバータ２３０、検出機能処理部ＦＳ、処理後データ記憶部２６１、メモリ２７０および上述の入力表示部ＭＴを備える。

検出機能処理部ＦＳは、輝度毎データ取得部２４０、合算部２５０、重み付け変更部２６０、動作パラメータ記録部２８０、異物判断処理部２９０および表示データ作成部２９１を含む。

上記検出機能処理部ＦＳの各構成部は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）がＲＡＭ（Random
Access Memory）またはＲＯＭ（Read-Only Memory）に格納されている処理プログラムを実行することによって機能的に実現される。
このような処理プログラムは、当該処理プログラムが記録されたＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ等の記録媒体からインストールすることが可能であるし、ネットワークを介してサーバからダウンロードすることも可能である。また、メモリ２７０および処理後データ記憶部２６１はハードディスクドライブ等からなる。

最初に、被検査物９００を透過したＸ線２１０がラインセンサ２２０に入射され、当該ラインセンサ２２０によりＸ線２１０に基づいてアナログデータである検出データＫＤａが生成される。この検出データＫＤａは、例えば４０９６階調（１２ビット）のデータである。その後、検出データＫＤａは、Ａ／Ｄコンバータ２３０によりデジタルデータである検出データＫＤｄに変換される。

検出データＫＤｄからの検出値に基づき輝度毎データ取得部２４０により輝度毎データＬＤ１が取得される。なお、輝度毎データＬＤ１は画像の１ライン分に相当するものである。そして、合算部２５０により複数の輝度毎データＬＤ１が合算されることにより、画像の全ライン分に相当する輝度毎データＬＤ２が生成される。

重み付け変更部２６０は、輝度毎データＬＤ２に基づき、輝度領域ＫＲＴと当該輝度領域ＫＲＴを除く輝度領域ＫＲとで、間引き率ＭＲを変更して間引き処理を行う。重み付け変更部２６０は、これらの輝度領域ＫＲＴ、ＫＲおよび間引き率ＭＲを用いて間引き処理を行うことで、輝度毎データＬＤ２の重み付けを変更する。

また、これらに伴って、重み付け変更部２６０は、変換曲線を用いて当該輝度毎データＬＤ２を２５６階調の輝度毎データＬＡに変換する。

重み付け変更部２６０により生成された輝度毎データＬＡは、処理後データとして処理後データ記憶部２６１に記憶されるとともに、異物判断処理部２９０に与えられる。

異物判断処理部２９０により輝度毎データＬＡに基づいて被検査物９００内に内容物が含まれているか否かの判別等の処理が行われる。当該判別結果によっては、警告装置（図示せず）により警告音が発せられる。

また、表示データ作成部２９１により輝度毎データＬＡに基づいて入力表示部ＭＴに表示するための表示データが作成される。この場合、重み付け変更部２６０によりヒストグラムが取得された後、当該ヒストグラムに基づいて目視に最も適したコントラストを有する画像が上記画像の中から選択される。そして、重み付け変更部２６０により選択された上記画像に係る表示データが入力表示部ＭＴに与えられる。当該表示データに係る画像が入力表示部ＭＴに表示される。

（Ｘ線漏洩防止カーテン）
続いて、図４はＸ線漏洩防止カーテン５００の一例を示す模式的平面図であり、図５はＸ線漏洩防止カーテン５００の一例を示す模式的側面図であり、図６はＸ線漏洩防止カーテン５００の上流側から矢視した状態を示す模式的斜視図であり、図７はＸ線漏洩防止カーテン５００の下流側から矢視した状態を示す模式的斜視図である。

図４、図５および図６に示すように、Ｘ線漏洩防止カーテン５００は、下段カーテン５１０、中段カーテン５２０、上段カーテン５３０および軸６００からなる。
Ｘ線漏洩防止カーテン５００の全体幅は、４５０ｍｍであり、高さは、１３０ｍｍであり、厚みは、１．０ｍｍである。

下段カーテン５１０は、カーテン５１１，５１２，５１３および棒部材６１１，６１２，６１３からなり、中段カーテン５２０は、カーテン５２１，〜，５２６および棒部材６２１，〜，６２６からなり、上段カーテン５３０は、カーテン５３１，〜，５４２および棒部材６３１，〜，６４２からなる。

カーテン５３１，〜，５４２が棒部材６３１，〜，６４２を介して軸６００周りに回動可能に設けられ、カーテン５２１，〜，５２６が棒部材６２１，〜，６２６を介して軸６００周りに回動可能に設けられ、カーテン５１１，５１２，５１３が棒部材６１１，６１２，６１３を介して軸６００周りに回動可能に設けられる。

また、図４および図５に示すように、上段カーテン５３０の下端部と、中段カーテン５２０の上端部とは、高さＬ１だけ重複して設けられる。また、中段カーテン５２０の下端部と、下段カーテン５１０の上端部とは、高さＬ２だけ重複して設けられる。その結果、上段カーテン５３０の下端部および中段カーテン５２０の上端部からなる隙間を閉塞することができ、中段カーテン５２０の下端部および下段カーテン５１０の上端部とからなる隙間を閉塞することができる。本実施の形態に係るＸ線漏洩防止カーテン５００は、下段カーテン５１０，中段カーテン５２０，上段カーテン５３０が略一面に形成され、一の軸６００に取り付けられる。

下段カーテン５１０は、それぞれ幅Ｂ５１０、高さＨ５１０からなり、中段カーテン５２０は、それぞれ幅Ｂ５２０、高さＨ５２０からなり、上段カーテン５３０は、それぞれ幅Ｂ５３０、高さＨ５３０からなる。
なお、本実施の形態においては、幅Ｂ５１０は、幅Ｂ５２０の約半分の値であり、幅Ｂ５２０は、幅Ｂ５３０の約半分の値である。なお、高さＨ５１０は、高さＨ５２０の約半分の値であり、高さＨ５２０は、高さＨ５３０の約半分の値である。

例えば、本実施の形態においては、幅Ｂ５３０は２０ｍｍであり、幅Ｂ５２０は４０ｍｍであり、幅Ｂ５１０は８０ｍｍである。また、高さＨ５１０は４０ｍｍであり、高さＨ５２０は、７０ｍｍであり、高さＨ５３０は、８０ｍｍである。また、高さＬ１は５ｍｍであり、高さＬ２は５ｍｍである。したがって、実際のＸ線検査装置１００においては、図４〜図７に一部例示したように、上段カーテン５３０は、幅方向にカーテン５３１，〜，５４２が１２枚ではなく、２４枚並列配置される。

例えば、本実施の形態においては、カーテンの厚みｔは、それぞれ１．０ｍｍのＳＵＳ（ステンレス鋼）３０４からなる。なお、カーテンは、一部タングステンを含有する材質から構成することもできる。

棒部材６３１，〜，６４２は、カーテン５３１，〜，５４２の中心上部に配設され、棒部材６２１，〜，６２６は、カーテン５２１，〜，５２６の中心上部に配設される。また、棒部材６１１，〜，６１３は、カーテン５１１，５１２，５１３の中心上部に配設される。また、仮に棒部材６１１，〜，６１３，６２１，〜，６２６，６３１，〜，６４２を各カーテンの中心から偏芯させて配設した場合、各カーテンの回動が安定しない。なお、中心上部に限らず安定して回転することができる位置まで、棒部材の固定位置を偏芯させてもよいことは、言うまでもない。また、棒部材は、各隣接するカーテン同士の隙間に配置されることが好ましい。棒部材によってＸ線の漏洩を防止することができるからである。

（Ｘ線漏洩防止カーテンの動作）
次に、図８は、図４から図７に示したＸ線漏洩防止カーテン５００の動作を説明するための模式図である。

図８（ａ）に示すように、被検査物Ｂ１の高さＨ１は、下段カーテン５１０のカーテンの高さＨ５１０よりも低い（高さＨ１＞高さＨ５１０）。この場合、ベルトコンベア８００により被検査物Ｂ１が移送され、被検査物Ｂ１がＸ線漏洩防止カーテン５００に接触した場合、下段カーテン５１０の一部のみが棒部材６１０とともに、矢印Ｒの方向に回動する。

また、図８（ｂ）に示すように、被検査物Ｂ２の高さＨ２は、下段カーテン５１０のカーテンの高さＨ５１０よりも高く、中段カーテン５２０のカーテンの高さＨ５２０（高さＨ５１０を加算した値）よりも低い（高さＨ５１０＜高さＨ２＜高さＨ５１０＋Ｈ５２０）。この場合、ベルトコンベア８００により被検査物Ｂ２が移送され、被検査物Ｂ２がＸ線漏洩防止カーテン５００に接触した場合、下段カーテン５１０および中段カーテン５２０の一部が棒部材６１０および棒部材６２０とともに、矢印Ｒの方向に回動する。

さらに、図８（ｃ）に示すように、被検査物Ｂ３の高さＨ３は、下段カーテン５１０および中段カーテン５２０のカーテンの高さＨ５１０よりも高い（高さＨ５１０＋５２０＜高さＨ３＜高さＨ５１０＋Ｈ５２０＋Ｈ５３０）。この場合、ベルトコンベア８００により被検査物Ｂ３が移送され、被検査物Ｂ３がＸ線漏洩防止カーテン５００に接触した場合、下段カーテン５１０、中段カーテン５２０および上段カーテン５３０の一部が棒部材６１０，６２０とともに、矢印Ｒの方向に回動する。

よって、被検査物Ｂ１，〜，Ｂ３の大きさに応じて、下段カーテン５１０、中段カーテン５２０および上段カーテン５３０を回動させることができる。なお、幅方向に関しても、被検査物Ｂ１，〜，Ｂ３の幅方向のサイズに応じてカーテン５１４，５１５のみ、またはカーテン５１３，〜，５１６のみを回動させることができる。

（Ｘ線漏洩防止カーテンの他の例）
図９は、Ｘ線漏洩防止カーテン５００の他の例を示す模式的側面図であり、図１０は図９のＸ線漏洩防止カーテン５００ａの下流側から矢視した状態を示す模式的斜視図である。以下、図９に示すＸ線漏洩防止カーテン５００ａが、図４〜図８に示したＸ線漏洩防止カーテン５００と相違する点について説明を行う。

図９および図１０に示すＸ線漏洩防止カーテン５００ａは、下段カーテン５１０ａ、中段カーテン５２０ａ、上段カーテン５３０ａおよび軸６００からなる。

図９および図１０に示すように、下段カーテン５１０ａは、カーテン５１１ａ，５１２ａ，５１３ａおよび棒部材６１１ａ，６１２ａ，６１３ａからなり、中段カーテン５２０ａは、カーテン５２１ａ，〜，５２６ａおよび棒部材６２１ａ，〜，６２６ａからなり、上段カーテン５３０ａは、カーテン５３１ａ，〜，５４２ａおよび棒部材６３１ａ，〜，６４２ａからなる。

また、図９（ｂ）および図１０に示すように、棒部材６１１ａには、カーテン５２１ａとカーテン５２２ａとの隙間（０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度）をカバーするカバー部６１１ＣＶが一体に形成されている。すなわち、カバー部６１１ＣＶは、カーテン５２１ａとカーテン５２２ａとの隙間Ｂ１２よりも幅広の幅Ｂ６２１で形成されている。
同様に、棒部材６１２ａには、カーテン５２３ａとカーテン５２４ａとの隙間をカバーするカバー部６１２ＣＶが一体に形成されており、棒部材６１３ａには、カーテン５２５ａとカーテン５２６ａとの隙間をカバーするカバー部６１３ＣＶが一体に形成されている。

また、図１０および図１１に示すように、棒部材６２１ａには、カーテン５３１ａとカーテン５３２ａとの隙間をカバーするカバー部６２１ＣＶが一体に形成されている。同様に、棒部材６２２ａ，〜，６２６ａには、それぞれカーテン５３３ａ，〜，５４２ａとの隙間をカバーするカバー部６２２ＣＶ，〜，６２６ＣＶが一体に形成されている。

このＸ線漏洩防止カーテン５００ａでは、下段カーテン５１０ａの棒部材６１１ａおよびカバー部６１１ＣＶ，〜，６１３ＣＶおよびカバー部６２１ＣＶ，〜，６２６ＣＶにより、中段カーテン５２０ａのカーテン５２１ａ，〜，５２６ａの間の隙間および上段カーテン５３１ａ，〜，５３６ａの間の隙間を完全に封止することができる。

なお、本実施の形態においては、それぞれ０．５ｍｍのＳＵＳ（ステンレス鋼）３０４からなることとしているが、カーテンの面積を一定または変化させつつ、カーテン厚みｔを変化させて、ベルトコンベア８００に近い方、または該中央部に近づくにつれて、カーテン厚みｔを薄くすることもできる。
すなわち、カーテンの体積を、ベルトコンベア８００に近い方、または該中央部に近づくに連れて小さくすることもできる。

なお、Ｘ線検査装置１００において、被検査物の大きさがある一定の大きさに限定されている場合には、ベルトコンベア８００の中央部に近づくほどカーテン一枚あたりの面積を大きくすることもできる。
その結果、ある一定の大きさの被検査物が理想的なベルトコンベア８００の中央から、ずれてベルトコンベア８００上を搬送された場合であっても、Ｘ線漏洩防止カーテン５００の回動面積を最小にできるので、Ｘ線漏洩を最大限防止することができる。

また、上記の実施の形態においては、X線漏洩防止カーテン５００は、Ｘ線検査室３００の入口および出口のいずれにも３セット設けることとしているが、これに限定されず、１セット、２セット、４セット等任意のセット数を設けることができる。

（Ｘ線検査装置の寸法について）

以下、図を用いて当該Ｘ線漏洩防止カーテン５００，〜，５００ｆを備えることができるＸ線検査装置１００（株式会社イシダ：ＩＸ−ＧＥ−４０４３）の具体的な大きさについて説明を行う。図１５は、Ｘ線検査装置１００の寸法の一例を示す模式図である。

Ｘ線検査装置の高さ：ＴＨ１＝１６４０ｍｍ（図１５（ａ）参照）
Ｘ線検査装置の幅（幅方向外側に突出するコンベア部分を除く）：ＷＬ１＝８００ｍｍ（図１５（ａ），（ｂ）参照）
Ｘ線検査装置の幅（幅方向外側に突出するコンベア部分を含む）：ＷＬ２＝１０００ｍｍ（図１５（ｂ）参照）
搬送面までの高さ：ＴＨ２＝７５０ｍｍ（図１５（ａ）参照）
Ｘ線検査装置の奥行：ＢＬ１＝８５０ｍｍ（図１５（ｂ）参照）
ベルト幅：ＢＬ４＝４３０ｍｍ（図１５（ｂ）参照）
前面部からＸ線源までの距離：ＢＬ３＝２９０ｍｍ（図１５（ｂ）参照）
背面部からＸ線源までの距離：ＢＬ２＝５６０ｍｍ（図１５（ｂ）参照）
側面部（右側面部、左側面部）からＸ線源までの距離：ＷＬ３，ＷＬ４＝４００ｍｍ（図１５（ｂ）参照）
天面部からＸ線源までの距離：ＴＨ３＝４００ｍｍ（図１５（ｃ）参照）
Ｘ線源から底面部までの距離：ＴＨ４＝３４０ｍｍ（図１５（ｃ）参照）
センサボックス中央部分の高さ：ＳＨ１＝８５ｍｍ（図１５（ｄ）参照）
センサボックス中央部分の幅：ＳＬ２＋ＳＬ３＝３６０ｍｍ（１８０ｍｍ＋１８０ｍｍ）（図１５（ｄ）参照）
センサボックスの側端部の幅：ＳＬ５＝６０ｍｍ（図１５（ｄ）参照）
センサボックスの側端部の外側部材の幅：ＳＬ４＝６０ｍｍ（図１５（ｄ）参照）
カーテン５００の間隔：ＷＬ５，ＷＬ６，ＷＬ７＝１３０ｍｍ（図１５（ｅ）参照）
装置中央から上部ローラまでの距離：ＷＬ８＝５００ｍｍ（上部ローラ間距離：１０００ｍｍ）
装置中央から下部ローラまでの距離：ＷＬ９＝２５０ｍｍ（下部ローラ間距離：５００ｍｍ）
搬送面からラインセンサまでの距離：ＴＨ６＝５０ｍｍ
ベルトの上面から下面までの距離：ＴＨ７＝１４０ｍｍ
Ｘ線遮蔽カーテンの鉛直方向長さ：ＴＨ１０＝１３０ｍｍ
搬入口および搬出口の高さ：ＴＨ８＝１５０ｍｍ
搬入口および搬出口の幅：ＷＬ１０＝４８０ｍｍ
また、Ｘ線検査装置１００の筺体（シールドボックス）は、厚みが約２ｍｍ〜約３ｍｍのＳＵＳ３０４が使用されている。

以上のように、本実施の形態に係るＸ線検査装置１００の，１００ａのＸ線漏洩防止カーテン５００，５００ａは、複数の棒部材が、軸６００を基準に回動可能に設けられているので、回動部を開口部の上部に集約して配設することができ、構造を簡易化することができる。その結果、Ｘ線検査装置１００の，１００ａのメンテナンス性を高めることができる。また、下段カーテン５１０，５１０ａ、中段カーテン５２０，５２０ａおよび上段カーテン５３０，５３０ａのそれぞれのカーテン中央部に棒部材が接続されるので、棒部材が下段カーテン５１０，５１０ａ、中段カーテン５２０，５２０ａおよび上段カーテン５３０，５３０ａのそれぞれのカーテン中央部から偏芯して設けられた場合と比較して、より小さな力で、かつ安定して回動させることができる。

また、Ｘ線漏洩防止カーテン５００，５００ａの複数の下段カーテン５１０，５１０ａ、中段カーテン５２０，５２０ａおよび上段カーテン５３０，５３０ａにより、ベルトコンベア８００の搬送面と垂直な略一平面が形成されるので、当該略一平面により開口部を確実に遮蔽することができ、Ｘ線の漏洩を確実に防止することができる。

さらに、Ｘ線漏洩防止カーテン５００，５００ａにおいて、鉛直上下方向に隣接配置され、鉛直上側の隣接するカーテンの間、例えば、カーテン５２１とカーテン５２２との間の隙間に、カーテン５１１の棒部材６１１が配置されているので、被検査物９００が鉛直下側のカーテン５１１を開放させた場合でも、当該カーテン５１１の棒部材６１１により鉛直上側の隣接するカーテン５２１とカーテン５２２との間から漏れるＸ線の漏洩を防止することができる。

なお、図１０および図１１に示すように、棒部材６２１ａには、カーテン５３１ａとカーテン５３２ａとの隙間をカバーするカバー部６２１ＣＶが一体に形成されていることとしたが、これに限定されず、カバー部６２１ＣＶが別体で形成され、棒部材６２１ａに取り付けられている場合もある。

本発明の好ましい一実施の形態は上記の通りであるが、本発明はそれらだけに制限されない。本発明の主旨と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。

１００ Ｘ線検査装置
２００ Ｘ線照射装置
２２０ ラインセンサ
３００ Ｘ線検査室
５００，５００ａ Ｘ線漏洩防止カーテン
６００ 軸
８００ ベルトコンベア
９００ 被検査物

Claims (3)

1. 搬送装置によって搬送される被検査物に対して検査室内でＸ線を照射して検査を行い、前記検査室へ前記被検査物を搬入出する開口部から前記Ｘ線の漏洩を防止するＸ線漏洩防止部材を含むＸ線検査装置であって、
   前記Ｘ線漏洩防止部材は、
   前記開口部を遮蔽する複数の面部材と、前記複数の面部材をそれぞれ支持する複数の支持部材とを有し、
   前記複数の支持部材は、同軸を基準に回動可能に設けられ、
   前記複数の面部材は、鉛直上下方向および水平方向に隣接配置され、
   鉛直上側に他の前記面部材が配置されている前記面部材には、鉛直上側において水平方向に隣接する２つの前記面部材の間に配置される前記支持部材が接続されている、
   Ｘ線検査装置。
2. 前記複数の面部材は、前記搬送装置の搬送面と垂直な略一平面を形成することを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置。
3. 前記複数の面部材は、
   下段カーテンと、
   水平方向に並ぶ第１中段カーテンおよび第２中段カーテンと、
   水平方向に順に並ぶ第１上段カーテン、第２上段カーテン、第３上段カーテンおよび第４上段カーテンと、
   を含み、
   前記複数の支持部材は、
   前記第１中段カーテンと前記第２中段カーテンとの間を上下方向に延びる第１支持部材と、
   前記第１上段カーテンと前記第２上段カーテンとの間を上下方向に延びる第２支持部材と、
   前記第３上段カーテンと前記第４上段カーテンとの間を上下方向に延びる第３支持部材と、
   を含み、
   前記下段カーテンは、前記第１中段カーテンおよび前記第２中段カーテンの鉛直下側に配置され、前記第１支持部材によって支持され、
   前記第１中段カーテンは、前記第１上段カーテンおよび前記第２上段カーテンの鉛直下側に配置され、前記第２支持部材によって支持され、
   前記第２中段カーテンは、前記第３上段カーテンおよび前記第４上段カーテンの鉛直下側に配置され、前記第３支持部材によって支持される、
   請求項１又は２に記載のＸ線検査装置。