JP6309687B2 - 有機半導体膜形成用組成物、及び、有機半導体素子 - Google Patents
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Description
従来の有機半導体としては、特許文献1及び2に記載されたものが知られている。
<1> 成分Aとして、下記式A−1で表される有機半導体と、成分Bとして、沸点が150℃以上300℃以下であり、かつ、SP値が15.0以上18.0以下である溶媒と、を含有することを特徴とする有機半導体膜形成用組成物、
<2> 下記式D−1で表される構造を有するシリコーン化合物を更に含む、<1>に記載の有機半導体膜形成用組成物、
<3> 式D−1において、Rd1及びRd2の少なくとも1つが、炭素数2〜18のアルキル基又は炭素数2〜18のアルケニル基である、<2>に記載の有機半導体膜形成用組成物、
<4> 式A−1中、Tが3〜7環の縮環構造を有するアセン、フェナセン、又は、ヘテロアセン構造を含む、<1>〜<3>のいずれか1つに記載の有機半導体膜形成用組成物、
<5> 成分Aが下記式A−2で表される有機半導体である、<1>〜<4>のいずれか1つに記載の有機半導体膜形成用組成物、
<6> 式a−1中、pが1〜6の整数である、<1>〜<5>のいずれか1つに記載の有機半導体膜形成用組成物、
<7> <1>〜<6>のいずれか1つに記載の有機半導体膜形成用組成物を用いて製造された有機半導体素子。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
また、本明細書における化学構造式は、水素原子を省略した簡略構造式で記載する場合もある。
また、本発明において、「質量%」と「重量%」とは同義であり、「質量部」と「重量部」とは同義である。
また、本発明において、好ましい態様の組み合わせは、より好ましい。
本発明の有機半導体膜形成用組成物(以下、単に「組成物」ともいう。)は、成分Aとして、上記式A−1で表される有機半導体と、成分Bとして、沸点が150℃以上300℃以下であり、かつ、SP値が15.0以上18.0以下である溶媒と、を含有することを特徴とする。
詳細な効果の発現機構については不明であるが、成分Aがアルコキシアルキル基(式A−1中のZで表される基)を末端に有することにより、溶媒への溶解性が向上し、SP値が特定の範囲の成分Bを溶媒として使用することにより、有機半導体膜形成用組成物の濡れ性が向上すると考えている。
その結果として、印刷法でも、得られる有機半導体素子の移動度が高い有機半導体膜形成用組成物が得られたと推測している。
以下、本発明の有機半導体膜形成用組成物に使用される各成分について説明する。
本発明の有機半導体膜形成用組成物は、成分Aとして、下記式A−1で表される有機半導体(以下、「特定化合物」ともいう。)を含有する。
成分Aは、式a−1で表されるアルコキシアルキル基(Z)が、必要に応じて連結基(L)を介して有機半導体母核(T)と結合している化合物であり、上記連結基は、フェニレン基、チエニレン基、及び、それらが複数結合した基よりなる群から選択される。
Tは、3環以上の縮環構造を有しており、有機半導体として移動度の観点から3〜9環であることが好ましく、3〜7環であることがより好ましく、3〜6環であることが更に好ましい。
また、Tが有する芳香族環の少なくとも1つが、芳香族複素環であることが好ましく、ヘテロ原子として硫黄原子、窒素原子、セレン原子、及び、酸素原子よりなる群から選択された少なくとも1種の原子を含むことがより好ましい。有機半導体としての移動度の観点から、2〜6つの環が上記ヘテロ原子を含むことがより好ましく、2〜4つの環が上記ヘテロ原子を含むことが更に好ましい。
また、有機半導体としての移動度の観点から、上記芳香族複素環は、1個のヘテロ原子を有することが好ましい。
また、Tは、有機半導体としての移動度の観点から、チオフェン環構造及び/又はセレノフェン環構造を少なくとも有することが好ましく、チオフェン環構造を少なくとも有することがより好ましく、Tが有する複素環構造が全てチオフェン環構造であることが更に好ましい。
式A−1で表される有機半導体には、Tで表される基が含まれるが、この基が主成分として含まれることが好ましい。ここで主成分とは、縮合多環芳香族基の分子量の含有量が、式A−1で表される有機半導体の全分子量に対して、30%以上であることを意図し、40%以上であることが好ましい。上限は特に制限されないが、溶解性の点から、80%以下であることが好ましい。
特定化合物は、有機半導体母核であるTが、芳香族複素環及び/又はベンゼン環が直線状に縮環した構造である、ヘテロアセン骨格を含むことが好ましく、チオフェン環及び/又はベンゼン環が直線状に縮環した構造である、チエノアセン構造であることがより好ましく、縮環数3〜7環のチエノアセン構造であることが更に好ましい。上記態様であると、より高移動度の有機半導体層や膜が得られる。
また、上記縮合多環芳香族基としては、有機半導体としての移動度の観点から、上記縮合多環芳香族基中のチオフェン環の数は、2〜7つが好ましく、3〜7つがより好ましく、3〜5つが更に好ましく、3つが特に好ましい。
置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基(シクロアルキル基、ビシクロアルキル基、トリシクロアルキル基を含む。)、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、複素環基(ヘテロ環基といってもよい。)、シアノ基、ヒドロキシ基、ニトロ基、カルボキシ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、シリルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシルオキシ基、カルバモイルオキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、アリールオキシカルボニルオキシ基、アミノ基(アニリノ基を含む。)、アンモニオ基、アシルアミノ基、アミノカルボニルアミノ基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルファモイルアミノ基、アルキル及びアリールスルホニルアミノ基、メルカプト基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、スルファモイル基、スルホ基、アルキル及びアリールスルフィニル基、アルキル及びアリールスルホニル基、アシル基、アリールオキシカルボニル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アリール及びヘテロ環アゾ基、イミド基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスフィニルオキシ基、ホスフィニルアミノ基、ホスホノ基、シリル基(トリアルキルシリル基等)、ヒドラジノ基、ウレイド基、ボロン酸基(−B(OH)2)、ホスファト基(−OPO(OH)2)、スルファト基(−OSO3H)、その他の公知の置換基が挙げられる。また、置換基が更に置換基により置換されていてもよい。
これらの中でも、置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アルコキシ基、アルキルチオ基、アリール基が好ましく、フッ素原子、炭素数1〜3の置換又は無置換のアルキル基、炭素数1又は2の置換若しくは無置換のアルコキシ基、置換又は無置換のメチルチオ基、フェニル基がより好ましく、フッ素原子、炭素数1〜3の置換又は無置換のアルキル基、炭素数1又は2の置換又は無置換のアルコキシ基、置換又は無置換のメチルチオ基が特に好ましい。
Tが5環以上の縮環構造を有する場合、mは0〜4の整数を表し、0〜2の整数であることが好ましく、0又は1であることがより好ましく、0であることが更に好ましい。
qは0〜20の整数を表し、0〜16の整数であることが好ましく、0〜8の整数であることがより好ましく、0〜6の整数であることが更に好ましい。
Tが5環以上の縮環構造を有する場合、nは1〜8の整数を表し、1〜4の整数であることが好ましく、1又は2であることがより好ましく、2であることが更に好ましい。
xは1〜3の整数を表す。すなわち、環A〜環Eは、5環の縮環構造〜7環の縮環構造を有する。
yは0又は1を表し、1であることが好ましい。
zは0又は1を表し、0であることが好ましい。
これらの中でも、Rはアルキル基であることが好ましく、Rが直鎖状のアルキル基であることが特に好ましい。
なお、縮環構造の対称性については、『分子の対称と群論』(中崎昌雄著、東京化学同人)の記載が参酌される。
成分Aは1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
本発明の有機半導体膜形成用組成物は、成分Bとして、沸点が150℃以上300℃以下であり、SP値が15.0以上18.0以下である溶媒(以下、特定溶媒ともいう。)を含有する。
特定溶媒は、沸点が150℃以上である。沸点が150℃以上であると、得られる有機半導体素子の移動度が高く、かつ、製膜性に優れた有機半導体膜形成用組成物が得られる。
特定溶媒の沸点は、165℃以上であることが好ましく、175℃以上であることがより好ましく、185℃以上であることが更に好ましい。また、溶媒を除去する観点から、特定溶媒の沸点は、300℃以下であり、280℃以下であることが好ましく、260℃以下であることがより好ましい。
特定溶媒のSP値は、15.5〜17.6であることが好ましく、16.5〜17.6であることがより好ましい。
本発明において、「SP値」とは、「溶解度パラメータの値」を意味する。本発明でいうSP値とは、ハンセン溶解度パラメータ:A User's Handbook, Second Edition, C. M. Hansen (2007), Taylor and Francis Group, LLC (HSPiPマニュアル)で解説された式によるハンセン溶解度パラメータであり、「実践ハンセン溶解度パラメーターHSPiP第3版」(ソフトウエアーバージョン4.0.05)を用いて、下記式にてSP値を算出した値を用いている。
(SP値)2=(δHd)2+(δHp)2+(δHh)2
Hd :分散寄与
Hp :極性寄与
Hh :水素結合寄与
デカン(沸点:174℃、SP値:15.7)、プロピルシクロヘキサン(沸点:157℃、SP値:16.2)、cis−デカリン(沸点:196℃、SP値:16.8)、アミルベンゼン(沸点:205℃、SP値:17.5)、ブトキシベンゼン(沸点:210℃、SP値:17.5)、m−ジエチルベンゼン(沸点:181℃、SP値:17.7)、ベンジルブチルエーテル(沸点:222℃、SP値:17.8)、4-tert-ブチルアニソール(沸点:222℃、SP値:17.8)。
これらの中でも、cis−デカリン又はアミルベンゼンが好ましく、cis−デカリンが更に好ましい。
成分Bは、有機半導体膜形成用組成物における成分Aの含有量、及び、後述する全固形分量が所望の範囲となるように、適宜添加すればよい。
本発明の有機半導体膜形成用組成物は、成分Cとしてポリマーを含有してもよい。
また、本発明の有機半導体膜及び有機半導体素子は、上記成分Aを含有する層と、ポリマーを含む層とを有する有機半導体素子であってもよい。
ポリマーの種類は特に制限されず、公知のポリマーを用いることができる。
ポリマーとしては、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリウレタン、ポリシロキサン、ポリスルフォン、ポリメチルメタクリレート、ポリメチルアクリレート、セルロース、ポリエチレン、ポリプロピレンなどの絶縁性ポリマー、及びこれらの共重合体、ポリシラン、ポリカルバゾール、ポリアリールアミン、ポリフルオレン、ポリチオフェン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリパラフェニレンビニレン、ポリアセン、ポリヘテロアセンなどの半導体ポリマー、及びこれらの共重合体、ゴム、熱可塑性エラストマーを挙げることができる。
中でも、ポリマーとしては、ベンゼン環を有する高分子化合物(ベンゼン環基を有する単量体単位を有する高分子)が好ましい。ベンゼン環基を有する単量体単位の含有量は特に制限されないが、全単量体単位中、50モル%以上が好ましく、70モル%以上がより好ましく、90モル%以上が更に好ましい。上限は特に制限されないが、100モル%が挙げられる。
上記ポリマーとしては、例えば、ポリスチレン、ポリ(α−メチルスチレン)、ポリビニルシンナメート、ポリ(4−ビニルフェニル)、ポリ(4−メチルスチレン)、ポリ[ビス(4−フェニル)(2,4,6−トリメチルフェニル)アミン]、ポリ[2,6−(4,4−ビス(2−エチルヘキシル)−4Hシクロペンタ[2,1−b;3,4−b’]ジチオフェン)−アルト−4,7−(2,1,3−ベンゾチアジアゾール)]などが挙げられ、ポリ(α−メチルスチレン)が特に好ましい。
また、ポリマーは、成分Bへの溶解度が、成分Aよりも高いことが好ましい。上記態様であると、得られる有機半導体の移動度及び熱安定性により優れる。
本発明の有機半導体形成用組成物におけるポリマーの含有量は、成分Aの含有量100質量部に対し、1〜10,000質量部であることが好ましく、10〜1,000質量部であることがより好ましく、25〜400質量部であることが更に好ましく、50〜200質量部であることが最も好ましい。上記範囲内であると、得られる有機半導体の移動度及び膜の均一性により優れる。
重量平均分子量としては、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ法(GPC)法にて測定し、標準ポリスチレンで換算した値を用いる。
本発明の有機半導体膜形成用組成物は、成分Dとして、下記式D−1で表される構造を有するシリコーン化合物を含有することが好ましい。
式D−1中、Rd1及びRd2が表す一価の炭化水素基としては、アルキル基又はアリール基であることが好ましい。
アルキル基としては、炭素数1〜20のアルキル基であることが好ましく、炭素数1〜12のアルキル基であることがより好ましく、炭素数1〜6のアルキル基であることが更に好ましく、炭素数1〜4のアルキル基であることが特に好ましい。なお、上記アルキル基は、直鎖状、分岐鎖状又は環状のいずれでもよいが、直鎖状又は分岐鎖状であることが好ましい。
アリール基としては、炭素数6〜20のアリール基であることが好ましく、炭素数6〜14のアリール基であることがより好ましく、炭素数6〜10のアリール基であることが更に好ましく、フェニル基であることが特に好ましい。
成分Dは、以下の式D−2で表される構造を有するシリコーン化合物であることが好ましい。
式D−2中、Rd3、Rd4、Rd5、Rd7〜Rd12が表す無置換のアリール基は、炭素数6〜20であることが好ましく、炭素数6〜14であることがより好ましく、炭素数6〜10であることが更に好ましく、フェニル基であることが特に好ましい。
また、ハロゲン原子で置換されたアルキル基は、炭素数炭素数1〜20であることが好ましく、炭素数1〜12であることがより好ましく、炭素数1〜6であることが更に好ましい。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が例示され、フッ素原子が好ましい。
なお、複数存在するRd3、Rd4は、それぞれ同一でも異なっていてもよい。
また、上記アルキル基は、アルキル基が更にアリール基で置換されたアラルキル基であることが好ましい。Rd6がアラルキル基である場合、上記アラルキル基は炭素数7〜32のアラルキル基であることが好ましく、炭素数7〜18のアラルキル基であることがより好ましく、−CH2−CH(CH3)−C6H5であることが更に好ましい。
成分Dの粘度の測定方法としては、JIS Z8803に準拠した測定方法であることが好ましい。
また、成分Dの含有量は、本発明の有機半導体形成用組成物の固形分量に対して、0.01〜20質量%であることが好ましく、0.05〜10質量%であることがより好ましく、0.1〜5質量%であることが更に好ましい。
本発明の有機半導体膜形成用組成物は、成分A〜成分D以外に他の成分を含んでいてもよい。
その他の成分としては、公知の添加剤等を用いることができる。
本発明の有機半導体膜形成用組成物は、成分Aを有機半導体膜形成用組成物全体に対し、0.1質量%以上15質量%未満含有し、かつ、成分Dを、成分A100質量部に対して、0〜50質量部含有することが好ましい。
本発明の有機半導体膜形成用組成物における全固形分濃度は、成分Cを含有しない場合、0.1質量%以上であることが好ましく、成分Cを含有する場合、1.5質量%以上であることが好ましい。なお、固形分とは、溶媒等の揮発性成分を除いた成分の量である。
有機半導体膜形成用組成物における全固形分濃度は、成分Cを含有しない場合、0.2質量%以上であることがより好ましく、0.3質量%以上であることが更に好ましい。
有機半導体膜形成用組成物における全固形分濃度は、成分Cを含有する場合、2質量%以上であることがより好ましく、3質量%以上であることが更に好ましい。
また、その上限は限定されないが、成分Aの溶解性等の観点から、20質量%以下であることが好ましく、15質量%以下であることがより好ましく、10質量%以下であることが更に好ましい。上記範囲であると、製膜性により優れ、得られる有機半導体の移動度により優れる。
本発明の有機半導体膜形成用組成物の粘度は、特に制限されないが、各種印刷適性、特に、インクジェット印刷適性及びフレキソ印刷適性により優れる点で、1〜100mPa・sが好ましく、1.5〜50mPa・sがより好ましく、2〜40mPa・sが更に好ましい。なお、本発明における粘度は、25℃での粘度である。
粘度の測定方法としては、JIS Z8803に準拠した測定方法であることが好ましい。
本発明における有機半導体膜形成用組成物の製造方法は、特に制限されず、公知の方法を採用できる。例えば、成分B中に所定量の成分Aを添加して、適宜撹拌処理を施すことにより、所望の組成物を得ることができる。また、成分Cを用いる場合は、成分A及び成分Cを同時又は逐次に添加して好適に組成物を作製することができる。
本発明における有機半導体膜は、本発明の有機半導体膜形成用組成物を用いて製造されたものであり、また、本発明の有機半導体素子は、本発明の有機半導体膜形成用組成物を用いて製造されたものである。
本発明の有機半導体膜形成用組成物を用いて有機半導体膜や有機半導体素子を製造する方法は、特に制限されず、公知の方法を採用できる。例えば、組成物を所定の基材上に付与して、必要に応じて乾燥処理を施して、有機半導体膜又は有機半導体素子を製造する方法が挙げられる。
基材上に組成物を付与する方法は特に制限されず、公知の方法を採用でき、例えば、インクジェット印刷法、フレキソ印刷法、バーコート法、スピンコート法、ナイフコート法、ドクターブレード法、ドロップキャスト法などが挙げられ、インクジェット印刷法、フレキソ印刷法、スピンコート法、ドロップキャスト法が好ましく、インクジェット印刷法、フレキソ印刷法が特に好ましい。
なお、フレキソ印刷法としては、フレキソ印刷版として感光性樹脂版を用いる態様が好適に挙げられる。態様によって、組成物を基板上に印刷して、パターンを容易に形成することができる。
中でも、本発明における有機半導体膜の製造方法、及び、有機半導体素子の製造方法は、本発明の有機半導体膜形成用組成物を基板上に付与する付与工程、及び、付与された組成物から溶媒を除去する除去工程を含むことがより好ましい。
本発明の有機半導体膜は、有機半導体素子に好適に使用することができ、有機トランジスタ(有機薄膜トランジスタ)に特に好適に使用することができる。
本発明の有機半導体膜は、本発明の有機半導体膜形成用組成物を用いて好適に作製される。
有機半導体素子としては、特に制限はないが、2〜5端子の有機半導体素子であることが好ましく、2又は3端子の有機半導体素子であることがより好ましい。
また、有機半導体素子としては、光電機能を用いない素子であることが好ましい。
更に、本発明の有機半導体素子は、非発光性有機半導体素子であることが好ましい。
2端子素子としては、整流用ダイオード、定電圧ダイオード、PINダイオード、ショットキーバリアダイオード、サージ保護用ダイオード、ダイアック、バリスタ、トンネルダイオード等が挙げられる。
3端子素子としては、バイポーラトランジスタ、ダーリントントランジスタ、電界効果トランジスタ、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ、ユニジャンクショントランジスタ、静電誘導トランジスタ、ゲートターンサイリスタ、トライアック、静電誘導サイリスタ等が挙げられる。
これらの中でも、整流用ダイオード、及び、トランジスタ類が好ましく挙げられ、電界効果トランジスタがより好ましく挙げられる。
電界効果トランジスタとしては、有機薄膜トランジスタが好ましく挙げられる。
図1は、本発明の有機半導体素子(有機薄膜トランジスタ(TFT))の一態様の断面模式図である。
図1において、有機薄膜トランジスタ100は、基板10と、基板10上に配置されたゲート電極20と、ゲート電極20を覆うゲート絶縁膜30と、ゲート絶縁膜30のゲート電極20側とは反対側の表面に接するソース電極40及びドレイン電極42と、ソース電極40とドレイン電極42との間のゲート絶縁膜30の表面を覆う有機半導体膜50と、各部材を覆う封止層60とを備える。有機薄膜トランジスタ100は、ボトムゲート−ボトムコンタクト型の有機薄膜トランジスタである。
なお、図1においては、有機半導体膜50が、上述した組成物より形成される膜に該当する。
以下、基板、ゲート電極、ゲート絶縁膜、ソース電極、ドレイン電極及び封止層並びにそれぞれの形成方法について詳述する。
基板は、後述するゲート電極、ソース電極、ドレイン電極などを支持する役割を果たす。
基板の種類は特に制限されず、例えば、プラスチック基板、ガラス基板、セラミック基板などが挙げられる。中でも、各デバイスへの適用性及びコストの観点から、ガラス基板又はプラスチック基板であることが好ましい。
プラスチック基板の材料としては、熱硬化性樹脂(例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂(例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)など)又は熱可塑性樹脂(例えば、フェノキシ樹脂、ポリエーテルスルフォン、ポリスルフォン、ポリフェニレンスルフォンなど)が挙げられる。
セラミック基板の材料としては、例えば、アルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイドなどが挙げられる。
ガラス基板の材料としては、例えば、ソーダガラス、カリガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス、アルミケイ酸ガラス、鉛ガラスなどが挙げられる。
ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極の材料としては、例えば、金(Au)、銀、アルミニウム(Al)、銅、クロム、ニッケル、コバルト、チタン、白金、タンタル、マグネシウム、カルシウム、バリウム、ナトリウム等の金属;InO2、SnO2、酸化インジウムスズ(ITO)等の導電性の酸化物;ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアセチレン、ポリジアセチレン等の導電性高分子;シリコン、ゲルマニウム、ガリウム砒素等の半導体;フラーレン、カーボンナノチューブ、グラファイト等の炭素材料などが挙げられる。中でも、金属であることが好ましく、銀又はアルミニウムであることがより好ましい。
ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極の厚みは特に制限されないが、20〜200nmであることが好ましい。
ゲート絶縁膜の材料としては、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリビニルフェノール、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリビニルアルコール、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン、ポリスルフォン、ポリベンゾオキサゾール、ポリシルセスキオキサン、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等のポリマー;二酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化チタン等の酸化物;窒化珪素等の窒化物などが挙げられる。これらの材料のうち、有機半導体膜との相性から、ポリマーであることが好ましい。
ゲート絶縁膜の材料としてポリマーを用いる場合、架橋剤(例えば、メラミン)を併用することが好ましい。架橋剤を併用することで、ポリマーが架橋されて、形成されるゲート絶縁膜の耐久性が向上する。
ゲート絶縁膜の膜厚は特に制限されないが、100〜1,000nmであることが好ましい。
ゲート絶縁膜形成用組成物を塗布してゲート絶縁膜を形成する場合、溶媒除去、架橋などを目的として、塗布後に加熱(ベーク)してもよい。
本発明の有機半導体素子は、上記有機半導体層と絶縁膜との間に上記ポリマーを含む層(以下、「ポリマー層」ともいう。)を有してもよい。上記態様においては、上記有機半導体層とゲート絶縁膜との間に上記ポリマー層を有することが好ましい。上記ポリマー層の膜厚は特に制限されないが、20〜500nmであることが好ましい。上記ポリマー層は、上記ポリマーを含む層であればよいが、上記ポリマーからなる層であることが好ましい。
ポリマー層形成用組成物を塗布してポリマー層を形成する場合、溶媒除去、架橋などを目的として、塗布後に加熱(ベーク)してもよい。
本発明の有機半導体素子は、耐久性の観点から、最外層に封止層を備えることが好ましい。封止層には公知の封止剤を用いることができる。
封止層の厚さは特に制限されないが、0.2〜10μmであることが好ましい。
図2において、有機薄膜トランジスタ200は、基板10と、基板10上に配置されたゲート電極20と、ゲート電極20を覆うゲート絶縁膜30と、ゲート絶縁膜30上に配置された有機半導体膜50と、有機半導体膜50上に配置されたソース電極40及びドレイン電極42と、各部材を覆う封止層60とを備える。ここで、ソース電極40及びドレイン電極42は、上述した本発明の組成物を用いて形成されたものである。有機薄膜トランジスタ200は、ボトムゲート−トップコンタクト型の有機薄膜トランジスタである。
基板、ゲート電極、ゲート絶縁膜、ソース電極、ドレイン電極、有機半導体膜及び封止層については、上述のとおりである。
なお、上述した有機薄膜トランジスタは、電子ペーパー、ディスプレイデバイスなどに好適に使用できる。
「実践ハンセン溶解度パラメーターHSPiP第3版」(ソフトウエアーバージョン4.0.05)を用いて、下記式にてSP値を算出した。
(SP値)2=(δHd)2+(δHp)2+(δHh)2
Hd:分散寄与
Hp:極性寄与
Hh:水素結合寄与
有機半導体層に用いたOSC1〜6の構造を以下に示す。
OSC1は、特開2009−246140号公報に記載の方法を参考に合成した。
OSC2は、特開2011−32268号公報に記載の方法を参考に合成した。
OSC3は、Adv.Mater.2013,25,6392.に記載の方法を参考に合成した。
OSC4は、国際公開第2010/098372号に記載の方法を参考に合成した。
OSC5は、特開2011−32268号公報に記載の方法を参考に合成した。
OSC6は、国際公開第2010/098372号に記載の方法を参考に合成した。
実施例及び比較例で使用した溶媒を以下に示す。
・オクタン:沸点125℃、SP値15.5、東京化成工業(株)製
・デカン:沸点174℃、SP値15.7、東京化成工業(株)製
・cis−デカリン:沸点196℃、SP値16.8、東京化成工業(株)製
・アミルベンゼン:沸点205℃、SP値17.5、東京化成工業(株)製
・m−ジエチルベンゼン:沸点181℃、SP値17.7、東京化成工業(株)製
・1−クロロナフタレン:沸点259℃、SP値20.8、東京化成工業(株)製
・KF−410(アラルキル変性ポリジメチルシロキサン(Rd1及びRd2の一部がメチルスチリル基(−CH2−CH(CH3)−C6H5)で変性されている。)、信越化学工業(株)製)
・KF−412(長鎖アルキル変性ポリジメチルシロキサン、信越化学工業(株)製)
・KF−96−100cs(ポリジメチルシロキサン、重量平均分子量:5,000〜6,000、信越化学工業(株)製)
表1に記載の成分A、及び、成分Dについて、表1に記載の濃度となるように溶媒に溶解させ、バイヤルに秤量し、ミックスローター(アズワン(株)製)で10分間撹拌混合した後、0.5μmメンブレンフィルターでろ過することで、有機半導体膜形成用組成物を得た。表中、成分Dが「−」と記載されているものは成分Dを添加していないことを示す。
また、成分A及び成分Dの濃度は、有機半導体膜形成用組成物の全体に対する濃度(質量%)である。
ガラス基板(イーグルXG:コーニング社製)上に、ゲート電極となるAlを蒸着した(厚み:70nm)。その上にゲート絶縁膜形成用組成物(ポリビニルフェノール/メラミン=1質量部/1質量部(w/w)のPGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液(固形分濃度:2質量%))をスピンコートし、150℃で60分間ベークを行い、ゲート絶縁膜を形成した。その上にAuをマスク蒸着し、チャネル長50μm、チャネル幅200μmのソース電極及びドレイン電極を形成した。その上に有機半導体膜形成用組成物をインクジェット法又はフレキソ印刷法により塗布して、有機半導体層を形成し、ボトムゲートボトムコンタクトの有機半導体トランジスタ(有機薄膜トランジスタ)を得た。
作成した有機半導体形成用組成物を、上記ソースドレイン電極を形成した基板上に、インクジェット法によりコートした。インクジェット装置としては、DPP2831(富士フイルムグラフィックシステムズ(株)製)、10pLヘッドを用い、吐出周波数2Hz、ドット間ピッチ25μmと設定してベタ膜を形成した。
作製した有機半導体形成用組成物を、上記ソースドレイン電極を形成した基板上に、フレキソ印刷法によりコートした。印刷装置として、フレキソ適性試験機F1(アイジーティ・テスティングシステムズ(株)製)を用い、フレキソ樹脂版として、AFP DSH1.70%(旭化成(株)製)/ベタ画像を用いた。版と基板との間の圧は、60N、搬送速度0.4m/秒で印刷を行った後、そのまま、40℃下で2時間乾燥することで、有機半導体層を作製した。
得られた有機薄膜トランジスタの各電極と、半導体パラメータ・アナライザ(4155C、Agilent Technologies社製)に接続されたマニュアルプローバの各端子とを接続して、電界効果トランジスタ(FET)の評価を行なった。具体的には、ドレイン電流−ゲート電圧(Id‐Vg)特性を測定することにより電界効果移動度([cm2/V・s])を算出した。移動度の値に応じて、下記評価基準に従い、A〜Eのランク付けを行った。実用上は評価がA又はBであることが好ましく、Aであることがより好ましい。
A:0.1cm2/V・s以上
B:0.05cm2/V・s以上、0.1cm2/V・s未満
C:0.01cm2/V・s以上、0.05cm2/V・s未満
D:0.005cm2/V・s以上、0.01cm2/V・s未満
E:0.005cm2/V・s未満
本発明インクの製膜性について、上記と同様に、ゲート電極、ゲート絶縁膜、ソース電極及びドレイン電極を形成したガラス基板(イーグルXG:コーニング社製)を用いて比較を行った。上記基板上に、実施例1〜10及び比較例1〜6において作製した有機半導体膜形成用組成物を、インクジェット法によるTFT素子作成時と同様に滴下することにより、基板上に有機半導体膜形成用組成物を供給し、半導体薄膜を得た。ここでは、基板表面上に形成した半導体薄膜の面積から濡れ性を評価し、基板を覆った面積(被膜率)に応じて、下記評価基準に従い、A〜Eのランク付けを行った。上記被膜率が高いほど、有機半導体膜形成用組成物は製膜性に優れることを示しており、実用上、A又はBであることが好ましく、Aであることがより好ましい。
A:被膜率90%以上
B:被膜率80%以上90%未満
C:被膜率70%以上80%未満
D:被膜率60%以上70%未満
E:被膜率60%未満
一方、比較例の本発明の有機半導体膜形成用組成物は、得られる有機半導体素子の移動度と製膜性が両立できていないことが分かった。
Claims (7)
- 成分Aとして、下記式A−1で表される有機半導体と、
成分Bとして、沸点が150℃以上300℃以下であり、かつ、SP値が15.0以上18.0以下である溶媒と、を含有することを特徴とする
有機半導体膜形成用組成物。
式A−1中、Tは3環以上の縮環構造を有する芳香族炭化水素基又は複素芳香族基を表し、Lはそれぞれ独立に、フェニレン基又はチエニレン基を表し、Zはそれぞれ独立に、下記式a−1で表される基を表し、mはそれぞれ独立に、0〜4の整数を表し、nは1〜8の整数を表す。但し、Tが5環以上の縮環構造を有しない場合には、mは1〜4の整数を表し、nは2〜8の整数を表す。
式a−1中、pは1〜20の整数を表し、qは0〜20の整数を表し、*は他の構造との結合位置を表す。 - 式D−1において、Rd1及びRd2の少なくとも1つが、炭素数2〜18のアルキル基又は炭素数2〜18のアルケニル基である、請求項2に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- 式A−1中、Tが3〜7環の縮環構造を有するアセン、フェナセン、又は、ヘテロアセン構造を含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- 成分Aが下記式A−2で表される有機半導体である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の有機半導体膜形成用組成物。
式A−2中、環A〜環Eはそれぞれ独立に、ベンゼン環又はチオフェン環を表し、Rはアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、芳香族炭化水素基、芳香族ヘテロ環基、又は、フッ素原子を表し、Lはフェニレン基又はチエニレン基を表し、Zは前記式a−1で表される基を表し、mは0〜4の整数を表し、2以上のLが存在するとき、互いに同一でも異なっていてもよく、2以上のZが存在するとき、互いに同一でも異なっていてもよく、xは1〜3の整数を表し、yは0又は1を表し、zは0又は1を表し、環A〜環Eで形成される縮環構造の対称性が、C2、C2v、又は、C2hである。 - 式a−1中、pが1〜6の整数である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の有機半導体膜形成用組成物を用いて製造された有機半導体素子。
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