JP6435535B2 - ワークの特性測定装置およびワークの特性測定方法 - Google Patents

Description

本発明は、搬送テーブルに形成された複数のワーク収納孔に電子部品等のワークを個別に収納して搬送し、搬送テーブルの回転経路に配置されたワークの特性測定部によりワークの特性を測定するワークの特性測定装置およびワークの特性測定方法に係り、とりわけ押圧により傷を生じやすい低硬度部を有するワークの測定時に、低硬度部を押圧せずにワークを固定することができるワークの特性測定装置およびワークの特性測定方法に関する。

従来から、回転自在の搬送テーブルに形成される複数のワーク収納孔に電子部品等のワークを個別に収納して搬送するワーク特性測定装置が知られている（特許文献１参照）。

特許文献１に記載のワーク搬送装置の平面図を図２８に示す。ワーク搬送装置１００は、水平なテーブルベース１０１の上に配置された回転自在の搬送テーブル１０２を有する。

搬送テーブル１０２の外周部には、図２９に示すチップ形電子部品等のワークＷ０を個別に収納する複数のワーク収納孔１０３が形成されている。搬送テーブル１０２は、図示されない駆動機構の作用により、中心軸１０４の周囲に時計回り（矢印Ａ方向）に間歇回転する。また、後述する分離供給部１０７に位置するワーク収納孔１０３を除いて、ワーク収納孔１０３の上面はテーブルカバー１０５により覆われている。

ワークＷ０の斜視図を図２９に示す。ワークＷ０は発光ダイオード（ＬＥＤ）であり、上面に発光面Ｗ０ｓを有する直方体形状の本体Ｗ０ｘと、本体Ｗ０ｘから長手方向の前方および後方へ突出するリード端子Ｗ０ａ、Ｗ０ｂとを有している。

ワークＷ０を図２９におけるＥ０方向、Ｆ０方向、Ｇ０方向、Ｈ０方向から見た図を、それぞれ図３０（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）に示す。図３０（ａ）（ｃ）に示すように、リード端子Ｗ０ａ、Ｗ０ｂはそれぞれ本体Ｗ０ｘの後方面Ｗ０ｃ、前方面Ｗ０ｄから突出し、それらの底面は本体Ｗ０ｘの底面に一致する。ワークＷ０の内部回路を図３１に示す。内部回路は発光ダイオードＤ０であり、リード端子Ｗ０ａがアノード、リード端子Ｗ０ｂがカソードである。リード端子Ｗ０ａ、Ｗ０ｂの間にＷ０ａが高電位になるように電圧を印加すると、発光ダイオードＤ０が発光する。

この時、外観上は図２９における発光面Ｗ０ｓが発光する。なお、発光面Ｗ０ｓは図３０（ｂ）（ｃ）に示すように、本体Ｗ０ｘの上面Ｗ０ｔよりもわずかにへこんでいる。市販されている発光ダイオードの例として、図２９に示す本体Ｗ０ｘの縦Ｘ０が３ｍｍ、横Ｙ０が５ｍｍ、高さＺ０が１ｍｍ、リード端子Ｗ０ａおよびＷ０ｂの突出部の長さｊが０．３ｍｍ、高さｋが０．２５ｍｍのものがある。

図２９に示すワークＷ０は、図２８に示すワーク搬送装置において、直線形状のリニアフィーダ１０６の振動の作用によって一列で矢印Ｂ方向に搬送される。この時、図２９に示すリード端子Ｗ０ｂが図２８に示す矢印Ｂ方向に位置するようになっている。リニアフィーダ１０６の終端部は搬送テーブル１０２の外周部に形成されたワーク収納孔１０３の開口部に対向しており、そこには分離供給部１０７が設けられている。リニアフィーダ１０６上を一列状態で搬送されたワークＷ０は、分離供給部１０７において分離されて、搬送テーブル１０２の外周部に形成されたワーク収納孔１０３に個別に収納される。そして、搬送テーブル１０２の図２８における矢印Ａ方向の間歇回転によって搬送される。

搬送テーブル１０２の外周部には、間歇回転方向（矢印Ａ方向）に沿って第１検査部１０８、第２検査部１０９、排出部１１０がこの順に設置されている。第１検査部１０８において、ワークＷ０の電気特性検査が行われる。その様子を図２８のＣ−Ｃ´断面図として、図３２乃至図３４に示す。

図３２において、搬送テーブル１０２は停止し、第１検査部１０８にワークＷ０が位置している。第１検査部１０８において、リード端子Ｗ０ａ、Ｗ０ｂの直下位置のテーブルベース１０１内には、プローブＰ０ａ、Ｐ０ｂが配置されている。そして、図示されない駆動機構の作用により、プローブＰ０ａ、Ｐ０ｂは図３３に示すように、リード端子Ｗ０ａ、Ｗ０ｂに向けて矢印Ｋ１方向に進出する。そして、プローブＰ０ａ、Ｐ０ｂはリード端子Ｗ０ａ、Ｗ０ｂに当接した状態でワークＷ０を押し上げ、ワーク収納孔１０３の上面を覆っている第１検査部カバー１０８ａの下面１０８ａｓにワークＷ０の上面Ｗ０ｔが当接した状態で停止する。この状態で、プローブＰ０ａ、Ｐ０ｂは図示されない測定器に接続され、ワークＷ０の電気特性を測定する。

その後、図３４に示すように、図示されない駆動機構の作用により、プローブＰ０ａ、Ｐ０ｂは矢印Ｋ２方向に退出して、図３２に示す状態に戻る。そして、搬送テーブル１０２が間歇回転して、ワークＷ０は搬送される。その後、ワークＷ０は第２検査部１０９に到達して、第１検査部１０８とは異なる検査項目について検査を実施する。そして、排出部１１０に到達して、図示されない排出手段により、ワーク収納孔１０３から排出される。

以上のような、従来技術によるワーク搬送装置１００には、以下の問題点がある。図３３に示すように、ワークＷ０の電気特性測定に際して、プローブＰ０ａ、Ｐ０ｂはリード端子Ｗ０ａ、Ｗ０ｂに当接した状態でワークＷ０を押し上げ、ワーク収納孔１０３の上面を覆っている第１検査部カバー１０８ａの下面１０８ａｓにワークＷ０の上面Ｗ０ｔが当接した状態で停止する。この状態で測定を実施する理由は、ワークＷ０を固定した状態でプローブＰ０ａ、Ｐ０ｂとリード端子Ｗ０ａ、Ｗ０ｂとを当接させることによって、プローブＰ０ａ、Ｐ０ｂがリード端子Ｗ０ａ、Ｗ０ｂに十分に大きな圧力で当接して接触抵抗が低減し、測定精度を確保することができるためである。

ところで、図２９に示すワークＷ０の本体Ｗ０ｘは、押圧により傷を生じにくい高硬度部である誘電体により覆われている。このため、その上面Ｗ０ｔが図３３に示すように第１検査部カバー１０８ａの下面１０８ａｓに当接しても、その後で図３４に示すように離間すれば、本体Ｗ０ｘの上面Ｗ０ｔに傷を生じることはない。

これに対して、図２９に示す発光面Ｗ０ｓは、押圧により傷を生じやすい低硬度部である樹脂により形成されており、第１検査部カバー１０８ａの下面１０８ａｓに当接した場合、その後図３４に示すように離間しても、図２９に示す発光面Ｗ０ｓに傷を生じてしまう。

一般に図２９に示すワークＷ０の場合には、図３０（ｂ）（ｃ）に示すように、発光面Ｗ０ｓは本体Ｗ０ｘの上面の内部に形成され、かつ上面よりもわずかにへこんでいるので、発光面Ｗ０ｓが第１検査部カバー１０８ａの下面１０８ａｓに当接することはない。

しかしながら、発光ダイオードの中には、発光する部分（以下発光部）が図２９のワークＷ０における発光面Ｗ０ｓのような平面形状ではなく、ワークの上面からさらに上方に突出している立体形状のものがある。また、発光部がさらに上面の周囲を覆って四方に突出している形状のものもある。その場合には、測定の際にワークを固定するときに、図３３に示すような従来技術による固定方法を採用すると、押圧されることによって発光部に傷を生じてしまう。

他方、この状態を回避するためにワークをワーク収納孔１０３内に置いたまま、固定しない状態でプローブをワークの端子に当接させると、プローブをワークの端子に十分に大きな圧力により当接させることができなくなる。このため、プローブとワークの端子との間の接触抵抗が大きくなり、測定精度が確保できなくなる。また、低硬度部である発光部をどこにも当接させずに、高硬度部である本体だけをワーク収納孔１０３の周囲のどこかに当接させて固定することはむずかしく、また当接させることができる範囲が狭くなる。さらに、このように固定する際にワークの高硬度部のみを押圧すると、押圧力が狭い範囲に印加されるためにワークの姿勢が傾く等の異常が生じて、正しい測定ができなくなるおそれがある。

特開２０１２−２０８２２号公報

本発明の目的は、このような点を考慮してなされたものであり、発光ダイオード等のように、押圧により傷を生じにくい高硬度部と、押圧により傷を生じやすい低硬度部とを有するワークの電気的特性等を測定する際に、高硬度部だけを押圧することによって、低硬度部に傷を生じることなくワークを固定することができるワークの特性測定装置およびワークの特性測定方法を提供することを目的とする。

本発明は、高硬度部と低硬度部とを有するワークの特性を測定するワークの特性測定装置において、テーブルベースと、前記テーブルベース上に回転自在に配置され、外方へ開口する開口部を有するとともにワークを収納する複数のワーク収納孔が外周縁に沿って設けられた搬送テーブルと、前記搬送テーブルの外周部に設けられ、前記ワーク収納孔内に収納されたワークの特性測定を行なうワークの特性検査部とを備え、前記ワークの特性検査部は、ワークに当接してワークの特性検査を行なう検査部材と、ワーク収納孔内のワークをワーク収納孔のうち開口部に対向する内壁側に向って固定する固定手段とを有し、各ワーク収納孔の内壁にワークが内壁に当接した場合にワークの低硬度部を逃がす切欠部が形成されていることを特徴とするワークの特性測定装置である。

本発明は、前記固定手段は開口部から内壁側に向ってワークの高硬度部を押圧するプッシャからなり、前記ワークの特性検査部はプッシャの移動距離を計測する距離計測手段と、距離計測手段により計測された移動距離が予め規定された距離よりも大きい場合に、制御部により作動してワーク収納孔内のワークを排出する強制排出手段とを更に有することを特徴とするワークの特性測定装置である。

本発明は、前記ワークの特性検査部は、テーブルベースに設けられテーブルベースに向ってワークを吸引する吸引通路と、吸引通路内の真空度を計測する真空度計測手段と、真空度計測手段により計測された真空度が予め規定された真空度よりも低い場合に、制御部によりワーク収納孔内のワークを排出する強制排出手段とを更に有することを特徴とする特性測定装置である。

本発明は、前記強制排出手段は、ワーク収納孔内のワークが排出されたことを検出する排出検出手段を含むことを特徴とするワークの特性測定装置である。

本発明は、高硬度部と低硬度部とを有するワークの特性を測定するワークの特性測定方法において、テーブルベース上に回転自在に配置され、外方へ開口する開口部を有するとともにワークを収納する複数のワーク収納孔が外周縁に沿って設けられた搬送テーブルによってワークを搬送する搬送工程と、前記搬送テーブルの外周部に設けられ、前記ワーク収納孔内に収納されたワークの特性検査をワークの特性検査部によって行なうワークの特性検査工程とを備え、前記ワークの特性検査工程は、ワーク収納孔内のワークをワーク収納孔のうち開口部に対向する内壁側に向って固定手段により固定するワークの固定工程と、ワークに当接してワークの特性検査を行なう検査部材によりワークの特性検査を行なう検査工程とを有し、各ワーク収納孔の内壁にワークが内壁に当接した場合にワークの低硬度部を逃がす切欠部が形成されていることを特徴とするワークの特性測定方法である。

本発明は、前記固定手段は開口部から内壁側に向ってワークの高硬度部を押圧するプッシャからなり、前記ワークの特性測定工程はプッシャの移動距離を計測する距離計測工程と、距離計測工程により計測された移動距離が予め規定された距離よりも大きい場合に、制御部により作動してワーク収納孔内のワークを排出する強制排出工程とを更に有することを特徴とするワークの特性測定方法である。

本発明は、前記ワークの特性測定工程は、テーブルベースに設けられた吸引通路によりテーブルベースに向ってワークを吸引する吸引工程と、吸引通路内の真空度を計測する真空度計測工程と、真空度計測工程により計測された真空度が予め規定された真空度よりも低い場合に、制御部によりワーク収納孔内のワークを排出する強制排出工程とを更に有することを特徴とするワークの特性測定方法である。

本発明は、前記強制排出工程は、ワーク収納孔内のワークが排出されたことを検出する排出検出工程を含むことを特徴とするワークの特性測定方法である。

以上のように本発明によれば、ワークの低硬度部に傷を付けることなくワークを固定してワークに対して精度の良い特性測定を行なうことができる。

図１は本発明によるワーク特性測定装置を示す平面図。 図２はワークを示す斜視図。 図３（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は各々ワークを図２におけるＥ１方向、Ｆ１方向、Ｇ１方向、Ｈ１方向から見た図。 図４はワークの内部回路を示す図。 図５はワーク収納孔を示す斜視図。 図６はワーク収納孔近傍の搬送テーブルを示す平面図。 図７（ａ）はワーク収納孔が図１における位置Ｎにあるときの図６におけるＲ１断面図、図７（ｂ）（ｃ）はワーク収納孔が図１における不良品排出部および良品排出部にあるときの図６におけるＲ１断面図、図７（ｄ）は図６におけるＲ２断面図。 図８は図５に示すワーク収納孔にワークが収納されている様子を示す斜視図。 図９は図８を矢印Ｕ１方向から見た透視図。 図１０はワーク収納孔が図１に示す光電気特性検査部に停止している様子を示す斜視図。 図１１はプローブ通路を図１０における矢印Ｕ２方向から見た透視図。 図１２はワークが光電気特性検査部に到達した時の様子を、図１０における矢印Ｕ２方向から見た透視図。 図１３はワークが光電気特性検査部において固定され、検査される様子を示す図。 図１４はワークが光電気特性検査部において固定され、検査される様子を示す図。 図１５はワークが光電気特性検査部において固定され、検査される様子を示す図。 図１６（ａ）（ｂ）（ｃ）は図１３において、プッシャが矢印Ｍ１方向に進出して、当接部の先端面がワークの本体の面に当接する際に、ワークがワーク収納孔内で傾斜する一例の説明図。 図１７は図１６（ｃ）の状態から、プローブを図１４における矢印Ｋ１方向に上昇させた様子を示す図。 図１８はプッシャを示す平面図。 図１９（ａ）（ｂ）は図１８における検出ブロックおよび近接センサの作用についての説明のための、領域Ｖ１の拡大図。 図２０（ａ）（ｂ）はワークの本体の製造偏差に起因して、光電気特性検査部におけるワーク収納孔内のワークの姿勢が傾斜する他の要因の説明図。 図２１（ａ）（ｂ）は搬送テーブルの回転方向の後方のみが固定されたワークに対して、図１１に示すプローブが矢印Ｋ１方向に上昇した時の様子を、搬送テーブルの中心軸側から見た透視図。 図２２は光電気特性検査部におけるワークの姿勢が傾斜したことを検出した際に当該ワークをワーク収納孔から排出する作用の説明図。 図２３は光電気特性検査部におけるワークの姿勢が傾斜したことを検出した際に当該ワークをワーク収納孔から排出する作用の説明図。 図２４は光電気特性検査部におけるワークの姿勢が傾斜したことを検出した際に当該ワークをワーク収納孔から排出する作用の説明図。 図２５は光電気特性検査部におけるワークの姿勢が傾斜したことを検出した際に当該ワークをワーク収納孔から排出する作用の説明図。 図２６は光電気特性検査部におけるワークの姿勢が傾斜したことを検出した際に当該ワークをワーク収納孔から排出する作用の説明図。 図２７は光電気特性検査部におけるワークの姿勢が傾斜したことを検出した際に当該ワークをワーク収納孔から排出する作用の説明図。 図２８は従来技術によるワーク搬送装置の平面図。 図２９はワークを示す斜視図。 図３０（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は各々ワークを図２９におけるＥ０方向、Ｆ０方向、Ｇ０方向、Ｈ０方向から見た図。 図３１はワークの内部回路を示す図。 図３２は従来技術によるワークの電気特性検査を示す説明図。 図３３は従来技術によるワークの電気特性検査を示す説明図。 図３４は従来技術によるワークの電気特性検査を示す説明図。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について述べる。

はじめに本発明によるワーク特性測定装置により測定されるワークＷ１について述べる。まずワークＷ１の斜視図を図２に示す。ワークＷ１は発光ダイオード（ＬＥＤ）であり、本体Ｗ１ｘと、本体Ｗ１ｘの下面に形成される電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂと、発光体Ｗ１ｐとからなる。ワークＷ１を図２におけるＥ１方向、Ｆ１方向、Ｇ１方向、Ｈ１方向から見た図を、それぞれ図３（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）に示す。図３（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、発光体Ｗ１ｐは本体Ｗ１ｘの上面を覆い、かつ当該上面よりも上方に突出した形状をもつ。

そして、発光体Ｗ１ｐは本体Ｗ１ｘとの境界部分において、本体Ｗ１ｘの周囲にわずかに突出する縁部Ｗ１ｅを有する。また、図３（ｃ）（ｄ）に示すように、本体Ｗ１ｘの下面には極めて薄い電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂが形成されている。本体Ｗ１ｘは押圧により傷を生じにくい高硬度部である誘電体により覆われており、これにより本体Ｗ１ｘは高硬度部Ｗ１ｘを構成する。これに対して発光部Ｗ１ｐは押圧により傷を生じやすい低硬度部である樹脂により形成されている。これにより発光部Ｗ１ｐは低硬度部Ｗ１ｐを構成する。

ワークＷ１の内部回路を図４に示す。内部回路は発光ダイオードＤ１であり、電極Ｗ１ａがアノード、電極Ｗ１ｂがカソードである。電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂの間にＷ１ａが高電位になるように電圧を印加すると、発光ダイオードＤ１が発光する。このとき、外観上は図２における発光体Ｗ１ｐが発光する。また、図３（ｄ）に示すように、電極Ｗ１ａにはアノードであることを示すアノードマークＷ１ａｒが半円形の切欠きとして形成されている。

市販されている発光ダイオードの例として、図２に示す本体Ｗ１ｘの幅Ｘ１が１．５ｍｍ〜２．０ｍｍ、長さＹ１が２．０ｍｍ〜２．５ｍｍ、高さＺ１が０．７〜１．０ｍｍ、図３（ｂ）に示す本体幅Ｘ１ａが１．５ｍｍ〜１．７ｍｍ、本体高さＺ１ａが０．２〜０．４ｍｍ、電極の厚さＺ１ｅが０．０５ｍｍ程度、図３（ｃ）に示す本体長さＹ１ａが２．０ｍｍ程度のものがある。

次に図面を参照して本発明によるワークの特性測定装置１００について述べる。

図１および図５に示すように、ワークの特性測定装置１００は高硬度部Ｗ１ｘと低硬度部Ｗ１ｐを
有するワークＷ１の特性を測定するものであり、テーブルベース１と、テーブルベース１上に回転自在に設置された搬送テーブル２とを備えている。また搬送テーブル２の外周縁に沿って、複数のワーク収納孔３が設けられている。また各ワーク収納孔３はワークＷ１を収納するものであり、外方へ開口する開口部３０と、開口部３０に対向する奥面壁３ｓｉと、ワーク収納孔３の両側面となる左壁面３ｓｆ１および右壁面３ｓｆ２とを有している。

なお後述のようにワーク収納孔３の奥面壁３ｓｉは、後述するテーブルチップ５の押圧面５ｓとともに、ワーク収納孔３の内壁を構成する。

また搬送テーブル２は、図示されない駆動機構の作用により、中心軸４の周囲に時計回り（矢印Ａ方向）に間歇回転する。そして、搬送テーブル２のワーク収納孔３が形成された位置におけるテーブルベース１側の面には、各ワーク収納孔３から見て中心軸４の側に隣接する位置に、搬送テーブル２に組込まれたテーブルチップ５が形成されている。

また図１において、搬送テーブル２に向けて直線状のリニアフィーダ６が配置されている。リニアフィーダ６は図示されない駆動機構の作用により振動し、ワークＷ１を一列状態で搬送テーブル２に向けて、矢印Ｂ方向に搬送する。リニアフィーダ６の終端部は搬送テーブル２の外周縁に形成されたワーク収納孔３の開口部に対向し、そこに分離供給部７が配置されている。分離供給部７は、リニアフィーダ６により搬送されたワークＷ１をワーク収納孔３に個別に供給する機能を有する。

また図１に示すように、搬送テーブル２の外周部に分離供給部７から搬送テーブル２の回転方向（矢印Ａ方向）に沿って、ワークＷ１の上面を撮像して外観検査を行う第１画像検査部８、ワークＷ１の下面を撮像して外観検査を行う第２画像検査部９、ワークＷ１の光特性および電気特性の検査を行う測定手段としての光電気特性検査部１０、前記各検査の結果が不良であったワークＷ１をワーク収納孔３から排出する不良品排出部１１、前記各検査の結果が良品であったワークＷ１をワーク収納孔３から排出する良品排出部１２が、この順に配置されている。

なお、搬送テーブル２のワーク収納孔３の上面および搬送テーブル２の外側は、上記の分離供給部７、第１画像検査部８、第２画像検査部９、光電気特性検査部１０、不良品排出部１１、良品排出部１２を除いて、それぞれテーブルカバー１３およびテーブルガイド１４により覆われている。

光電気特性検査部（特性検査部）１０における搬送テーブル２の外側には、図示されない駆動機構の作用によりワーク収納孔３の開口部に向けて、矢印Ｍ１およびＭ２方向に進退自在のプッシャ１５が配置されている。プッシャ１５は、光電気特性検査部１０においてワーク収納孔３内のワークＷ１の検査を行う際に、ワークＷ１を押圧するワーク固定手段としての機能を有する。

また、搬送テーブル２の上側かつ光電気特性検査部１０の近傍には、図示されない駆動機構の作用により図１に示す待機位置と光電気特性検査部１０直上位置との間を、矢印Ｌ１およびＬ２方向に進退する姿勢不良ワーク排出部（強制排出手段）１６が配置されている。姿勢不良ワーク排出部１６は、光電気特性検査部１０において、後述のように姿勢不良と判断されたワークＷ１をワーク収納孔３から排出する強制排出手段としての機能を有する。そして、この姿勢不良ワーク排出部１６はワークＷ１を吸引する排出ヘッド１６ａと、吸引したワークＷ１を後述する収納箱２５へと導く排出パイプ１６ｂとを有する。さらに、上述の各部の動作について制御を行う制御部１７が配置されている。

次にワーク収納部３について述べる。図５はワーク収納孔３の斜視図であり、図１における搬送テーブル２の回転方向である矢印Ａが、図５に示されている。ワーク収納孔３は搬送テーブル２の外側に向けて開口している。上述のように、ワーク収納孔３は、対向する左壁面３ｓｆ１および右壁面３ｓｆ２と、奥壁面３ｓｉとにより３方向を囲まれており、残り１面が開口部３０となる。

前記３つの壁面のうち、奥壁面３ｓｉが図１に示す中心軸４側に位置している。また、上述のように、搬送テーブル２のうちワーク収納孔３が形成された位置におけるテーブルベース１側の面には、各ワーク収納孔３から見て中心軸４の側に隣接する位置にテーブルチップ５が組込まれている。そして、搬送テーブル２の外側に向いたテーブルチップ５の押圧面５ｓは、ワーク収納孔３の奥壁面３ｓｉよりも長さδ１だけ搬送テーブル２の外側、すなわちワーク収納孔３内に突出している。

このように構成されたワーク収納孔３の奥壁面３ｓｉと押圧面５ｓにより、開口部３０に対向する内壁が構成されている。さらに、テーブルチップ５の押圧面５ｓには、ワーク収納孔３の左壁面３ｓｆ１および右壁面３ｓｆ２に接する位置に、第１のテーブルチップ真空通路５１ｖおよび第２のテーブルチップ真空通路５２ｖが形成されている。第１のテーブルチップ真空通路５１ｖおよび第２のテーブルチップ真空通路５２ｖは、後述のように真空発生源１８に連通し、矢印Ｓ１およびＳ２方向に常時吸引されている。

また、搬送テーブル２には、ワーク収納孔３の奥壁面３ｓｉの中央部かつテーブルチップ５の直上位置に、搬送テーブルエア噴射通路３１ａが形成されている。搬送テーブルエア噴射通路３１ａは、後述する排出部切替弁１９の作用によって、矢印Ｊ１方向に圧縮エアが噴射される。

ワーク収納孔３近傍の搬送テーブル２の平面図を、図６に示す。図６には図１における搬送テーブル２の回転方向である矢印Ａが示されている。また、図６におけるワーク収納孔３が図１における位置Ｎにあるときの、図６に示す搬送テーブルエア噴射通路３１ａのＲ１断面図を図７（ａ）に、また、第１のテーブルチップ真空通路５１ｖのＲ２断面図を図７（ｄ）に各々示す。

図５において、搬送テーブル２のうちワーク収納孔３の奥壁面３ｓｉから水平方向に形成された搬送テーブルエア噴射通路３１ａは、図６に示すように、回転軸４（図１）の方向すなわち図６における右方向においてやや広がり、さらに図７（ａ）に示すように、９０°方向を変えてテーブルチップ５を貫通してテーブルベース１の上面に至る。

一方、図５に示すように、テーブルチップ５の押圧面５ｓからテーブルチップ５に水平方向に形成された第１のテーブルチップ真空通路５１ｖは、図７（ｄ）に示すように、回転軸４（図１）の方向すなわち図６における右方向において９０°方向を変えて搬送テーブル２に至り、その後、さらに９０°方向を変えてテーブルチップ５の直上に位置する搬送テーブル２の下面において、第１の搬送テーブル真空通路３１ｖとなる。

また図６に示すように、テーブルチップ５に形成された第２のテーブルチップ真空通路５２ｖは第１のテーブルチップ真空通路５１ｖと同様の経路で搬送テーブル２の下面において第２の搬送テーブル真空通路３２ｖとなり、第１の搬送テーブル真空通路３１ｖと第２の搬送テーブル真空通路３２ｖは、図６に示すように合体して、搬送テーブル基幹真空通路３ｖとなる。

そして、図７（ｄ）に示すように、この搬送テーブル基幹真空通路３ｖは９０°方向を変えてテーブルチップ５を貫通し、テーブルベース１内に至る。そして、テーブルベース１内に設置された真空発生源１８に連通し、これにより、第１のテーブルチップ真空通路５１ｖおよび第２のテーブルチップ真空通路５２ｖは、矢印Ｓ１およびＳ２方向に常時吸引されている。すなわち、ワーク収納孔３内は、常時真空吸引されている。なお、搬送テーブル基幹真空通路３ｖは図７（ａ）にも示されている。

また、図６におけるワーク収納孔３が図１における不良品排出部１１および良品排出部１２に位置する場合における、図６に示す搬送テーブルエア噴射通路３１ａのＲ１断面図を図７（ｂ）（ｃ）に示す。図７（ｂ）（ｃ）と図７（ａ）とが異なる点は、図７（ａ）においてテーブルベース１の上面が終端となっていた搬送テーブルエア噴射通路３１ａが、図７（ｂ）（ｃ）においては、テーブルベース１内に通じていることである。

そして、搬送テーブルエア噴射通路３１ａはテーブルベース１内に配置された排出部切替弁１９に接続されている。排出部切替弁１９は、搬送テーブルエア噴射通路３１ａの連通先を大気圧および圧縮エア源２０から選択する作用を有する。図７（ｂ）は、排出部切替弁１９がｎ側すなわち大気圧を選択している様子を示す。この時、搬送テーブルエア噴射通路３１ａ内は大気圧を保つ。また、図７（ｃ）は、排出部切替弁１９がａ側すなわち圧縮エア源２０を選択している様子を示す。この時、搬送テーブルエア噴射通路３１ａ内には矢印Ｊ１方向に圧縮エアが噴射される。このように、搬送テーブルエア噴射通路３１ａがテーブルベース１内に通じて排出部切替弁１９に接続されるのは、図１における不良品排出部１１および良品排出部１２にあるときだけである。

その理由は、上述のように、不良品排出部１１および良品排出部１２はそれぞれ検査結果が不良であったワークおよび良品であったワークを、ワーク収納孔３から排出する機能を有しているためである。すなわち、ワークＷ１を収納したワーク収納孔３が不良品排出部１１および良品排出部１２に停止すると、図１の制御部１７の制御により、最初は図７（ｂ）のように排出部切替弁１９がｎ側すなわち大気圧を選択する。この時、搬送テーブルエア噴射通路３１ａ内は大気圧を保つ。次に、ワーク収納孔３内のワークＷ１が当該排出部において排出されるべきワークである場合には、図１の制御部１７の制御により、図７（ｃ）のように排出部切替弁１９がａ側すなわち圧縮エア源２０を選択する。この時、搬送テーブルエア噴射通路３１ａ内には矢印Ｊ１方向に圧縮エアが噴射される。このとき図５において、ワーク収納孔３内に矢印Ｊ１方向に圧縮エアが噴射される。この圧縮エアの作用により、ワーク収納孔３内のワークＷ１は搬送テーブル２の外周側に向けて飛び出し、図示されない排出パイプに導かれて、図示されない収納箱に収納される。なお、上述のように、ワーク収納孔３内は常時真空吸引されているが、矢印Ｊ１方向の圧縮エアの噴射圧力は、真空吸引力に打ち勝つことができる大きさに設定されているため、ワーク収納孔３からのワークの排出は円滑に行われる。

図５に示すワーク収納孔３にワークＷ１が収納されている様子を、斜視図として図８に示す。ここに、図８においては、図１に示すテーブルカバー１３およびテーブルガイド１４は省略している。また、図８を矢印Ｕ１方向から見た透視図を図９に示す。ただし、図９においては、簡単のために、第１のテーブルチップ真空通路５１ｖのみ示している。

図８および図９に示すように、ワークＷ１は低硬度部である発光体Ｗ１ｐをワーク収納孔３の上側に向け、高硬度部である本体Ｗ１ｘの一面Ｗ１ｓ２をテーブルチップ５の押圧面５ｓに当接させて、ワーク収納孔３に収納されている。そして、高硬度部である本体Ｗ１ｘと低硬度部である発光体Ｗ１ｐの両方がワーク収納孔３の開口部３０およびそれに対向する内壁（奥壁面３ｓｉと押圧面５ｓ）に面している。

この時、上述のように、第１のテーブルチップ真空通路５１ｖおよび第２のテーブルチップ真空通路５２ｖは、矢印Ｓ１およびＳ２方向に常時吸引されている。この吸引の作用により、ワークＷ１は図８および図９の姿勢を保つ。また、上述のように、ワークＷ１の発光体Ｗ１ｐは本体Ｗ１ｘとの境界部分において、本体Ｗ１ｘの周囲にわずかに突出する縁部Ｗ１ｅを有する。その突出長を図９においてδ２で示す。一方、上述のように、搬送テーブル２の外側に向いたテーブルチップ５の押圧面５ｓは、ワーク収納孔３の奥壁面３ｓｉよりも長さδ１だけワーク収納孔３内に突出している（図５）。この突出長δ１をδ１＞δ２の関係を満足するように設定することにより、図９に示すように、奥壁面３ｓｉと押圧面５ｓからなるワーク収納孔３の内壁には、低硬度部である縁部Ｗ１ｅの外周が当接する範囲に壁面が形成されないようにしている。すなわち、高硬度部である本体Ｗ１ｘの一面Ｗ１ｓ２がテーブルチップ５の押圧面５ｓに当接して、矢印Ｓ１方向の吸引により押圧されても、低硬度部である縁部Ｗ１ｅはどこにも当接しない。これにより、押圧によって縁部Ｗ１ｅに傷を生じることを防止することができる。

図９において、ワーク収納孔３の内壁を構成する奥壁面３ｓｉは、発光体（低硬度部）Ｗ１ｐと当接することはなく、同様に内壁を構成するテーブルチップ５の押圧面５ｓに対して、発光体Ｗ１ｐを逃がす切欠部として機能する。

次に、ワーク収納孔３が図１に示す光電気特性検査部１０に停止している様子を、斜視図として図１０に示す。光電気特性検査部１０のテーブルベース１には、吸引噴射通路１０ａが形成されている。吸引噴射通路１０ａは、後述する検査部切替弁２１の作用により、矢印Ｓ３方向に真空吸引され、あるいは矢印Ｊ２方向に圧縮エアが噴射される。また、吸引噴射通路１０ａを搬送テーブル２の直径方向に挟む形で、プローブ通路１０ｂ、１０ｃが形成されている。

プローブ通路１０ｂ、１０ｃを図１０における矢印Ｕ２方向から見た透視図として図１１に示す。テーブルベース１内のプローブ通路１０ｂ、１０ｃには、それぞれプローブＰ１ａ、Ｐ１ｂが配置されており、それらはテーブルベース内において図示されない測定器に接続されている。そして、プローブＰ１ａ、Ｐ１ｂは、ワークＷ１と当接してワークＷ１の特性検査を行なう検査部材として機能し、図示されない駆動機構の作用により、Ｋ１方向およびＫ２方向に昇降自在になっている。

ワーク収納孔３が光電気特性検査部１０に位置する時には、ワーク収納孔３内のワークＷ１の電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂはプローブ通路１０ｂ、１０ｃの直上に位置する。このため、Ｋ１方向に上昇したプローブＰ１ａ、Ｐ１ｂは、ワークＷ１の電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂに当接する。また、図１０に示すように、光電気特性検査部１０における搬送テーブル２の外側には、図示されない駆動機構の作用によりワーク収納孔３の開口部３０に向けて、矢印Ｍ１およびＭ２方向に進退自在となるプッシャ１５の当接部１５ａが配置されている。

次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。

図１において、ワークＷ１は図示されない駆動機構の作用により振動するリニアフィーダ６により、一列状態で矢印Ｂ方向に搬送される。その際、ワークＷ１の図２に示す電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂが、図１における矢印Ｂ方向に沿うように搬送される。このとき電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂのいずれが矢印Ｂ方向の前後に位置するかは決まっていない。

リニアフィーダ６により搬送されたワークＷ１は、図１に示す分離供給部７において、図示されない分離機構の作用により個別に分離されて、搬送テーブル２のワーク収納孔３に収納される。そして、ワーク収納孔３内に収納されたワークＷ１は搬送テーブル２の矢印Ａ方向の間歇回転により搬送され、はじめに第１画像検査部８に到達する。そして、図示されない撮像手段によりワークＷ１の上面を撮像して外観検査を行う。次にワークＷ１は第２画像検査部９に到達して、図示されない撮像手段によりワークＷ１の下面を撮像して外観検査を行う。そして、この撮像画像を画像処理プログラムにより処理して、図３（ｄ）に示すアノードマークＷ１ａｒを検出し、当該ワークＷ１の電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂの位置を判別する。その情報は図１に示す制御部１７に送信される。

搬送テーブル２が更に回転して、ワーク収納孔３内のワークＷ１は光電気特性検査部１０に到達する。そして上述のように、ワーク収納孔３内のワークＷ１の電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂは、図１１におけるプローブ通路１０ｂ、１０ｃの直上に位置する。この時の様子を、図１０における矢印Ｕ２方向から見た透視図として図１２に示す。

図１２において、吸引噴射通路１０ａはテーブルベース１内において検査部切替弁２１に接続されている。検査部切替弁２１は、吸引噴射通路１０ａの連通先を真空発生源２２および圧縮エア源２３から選択する作用を有する。図１２は、検査部切替弁２１がｖ側すなわち真空発生源２２側を選択している様子を示す。この時、検査部切替弁２１と真空発生源２２により、ワークＷ１のテーブルベース側の面を真空吸引するとともに、吸引噴射通路１０ａは吸引通路として作用する。

すなわち、吸引噴射通路１０ａ内は矢印Ｓ３方向に真空吸引され、ワークＷ１のテーブルベース側の底面はテーブルベース１の上面に吸着される。

なお、検査部切替弁２１と真空発生源２２との間の吸引通路２２ｘには、真空度を計測するための真空度計測手段としての真空圧計２４が接続されている。また、図１２において、プローブ通路１０ｂ、１０ｃ内のプローブＰ１ａ、Ｐ１ｂは、テーブルベース１内の待機位置にある。さらに、ワーク収納孔３から見て搬送テーブル２の外側に位置しているプッシャ１５の当接部１５ａは、その先端面１５ａｓがテーブルガイド１４の搬送テーブル２側の面１４ｓと略面一となる待機位置にある。

この状態から、制御部１７の制御により、ワークＷ１が光電気特性検査部１０において固定され検査される。ワークＷ１に対する固定および検査の作用を図１３乃至図１５を用いて説明する。

まず図１３に示すように、プッシャ１５は図示されない駆動機構の作用によりワーク収納孔３内に矢印Ｍ１方向に向って進出する。そして、当接部１５ａの先端面１５ａｓがワークＷ１の本体Ｗ１ｘの面Ｗ１ｓ１に当接する。次に図示されない加圧手段がプッシャ１５を矢印Ｍ１方向に加圧し、ワークＷ１の本体Ｗ１ｘの面Ｗ１ｓ２はテーブルチップ５の押圧面５ｓに押圧される。このときワークＷ１は光電気特性検査部１０において、吸引噴射通路１０ａにおける矢印Ｓ３方向の真空吸引の作用によりテーブルベース１の上面に吸着されるとともに、プッシャ１５の作用によりテーブルチップ５の押圧面５ｓに押圧されて固定される。

次に、制御部１７により制御される図示されない駆動機構の作用により、プローブＰ１ａ、Ｐ１ｂは図１４における矢印Ｋ１方向に上昇して、ワークＷ１の電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂに当接する。ところで上述のように、第２画像検査部９において、図３（ｄ）に示すアノードマークＷ１ａｒを検出して当該ワークＷ１の電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂの位置を判別した情報が、制御部１７に送信されている。この情報に基づいて、制御部１７の制御により、光電気特性検査部１０においてワークＷ１の電気回路（図４）である発光ダイオードＤ１のアノード（電極Ｗ１ａ）とカソード（電極Ｗ１ｂ）に対して、図示されない測定器が正しく接続されるように、該測定器がプローブＰ１ａ、Ｐ１ｂに接続される。なお、図１４においては、ワークＷ１の電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂはそれぞれ搬送テーブル２の外周側および中心軸４（図１）側に位置している。ワーク収納孔３内のすべてのワークＷ１の電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂが図１４と同一の位置にあるとは限らないが、本明細書の図面においては、簡単のために、すべての図面においてワークＷ１の電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂの位置は図１４と同一に記載している。

図１４においてプローブＰ１ａ、Ｐ１ｂがワークＷ１の電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂに当接すると、今度は図示されない押圧手段がプローブＰ１ａ、Ｐ１ｂを矢印Ｋ１方向に押圧し、プローブＰ１ａ、Ｐ１ｂはワークＷ１の電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂに押圧される。

この際、上記のように、ワークＷ１は吸引噴射通路１０ａにおける矢印Ｓ３方向の真空吸引の作用およびプッシャ１５の押圧作用により固定されている。このため、プローブＰ１ａ、Ｐ１ｂはワークＷ１の電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂと十分に大きな圧力により当接することができる。すなわち、プローブＰ１ａ、Ｐ１ｂとワークの電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂとの間の接触抵抗は小さくなり、測定精度を確保することができる。

また、プッシャ１５の作用により、ワークＷ１の本体Ｗ１ｘの面Ｗ１ｓ２がテーブルチップ５の押圧面５ｓにより強い力で押圧される際、高硬度部である本体Ｗ１ｘだけがテーブルチップ５の押圧面５ｓに当接し、低硬度部である縁部Ｗ１ｅは、奥面壁３ｓｉに当接することはない。その理由は上述のように、図９においてテーブルチップ５の押圧面５ｓがワーク収納孔３の奥壁面３ｓｉから突出する突出長δ１と、ワークＷ１の発光体Ｗ１ｐが本体Ｗ１ｘとの境界部分において突出する縁部Ｗ１ｅの突出長δ２との間にδ１＞δ２の関係があるためである。すなわち、この関係を満足することで、奥壁面３ｓｉと押圧面５ｓからなるワーク収納孔３の内壁には、低硬度部である縁部Ｗ１ｅの外周が当接する範囲に壁面が形成されないようにしているのである。

このようにして、図１４においてワークＷ１は固定され、プローブＰ１ａ、Ｐ１ｂはワークＷ１の電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂと十分に大きな圧力により当接し、図示されない測定器とワークＷ１の電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂが接続される。そして、測定器から電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂに所定の電圧が印加されて発光体Ｗ１ｐが発光する。

光電気特性検査部１０においては、ワーク収納孔３の上側にはテーブルカバー１３は設置されておらず、開放されている。このため、この発光体Ｗ１ｐの光をワークＷ１の上側に配置された図示されない測定器により受光し、光の波長や輝度等の光特性検査が行われる。また、プローブＰ１ａ、Ｐ１ｂに接続された図示されない測定器により、前記所定の電圧を印加した時にワークＷ１を流れる電流等の電気特性検査が行われる。これらの光特性検査および電気特性検査の結果は、図１に示す制御部１７に送信される。

以上の検査を終了すると、制御部１７の制御による図示されない駆動機構の作用により、プローブＰ１ａ、Ｐ１ｂは図１５における矢印Ｋ２方向に下降して、図１２と同様の待機位置に戻る。

次に、プッシャ１５は図１５におけるＭ２方向に退出し、図１２と同様の待機位置に戻る。そして、搬送テーブル２は回転して、検査を終了したワーク収納孔３内のワークＷ１は図１に示す不良品排出部１１へと搬送される。ワーク収納孔３内のワークＷ１が不良品排出部１１に到達すると、制御部１７は光電気特性検査部１０における当該ワークＷ１の検査結果が不良であるか否か判断し、不良であると判断した場合、制御部１７が排出部切替弁１９を作動させて、図５に示す搬送テーブルエア噴射通路３１ａから、矢印Ｊ１方向に圧縮エアが噴射される。そして、ワーク収納孔３内のワークＷ１は搬送テーブル２の外周側に向けて飛び出し、図示されない排出パイプに導かれて、図示されない収納箱に収納される。一方、光電気特性検査部１０における当該ワークＷ１の検査結果が良品であると判断された場合には、不良品排出部１１においてワーク収納孔３内のワークＷ１は排出されることなく、良品排出部１２へと搬送される。

良品排出部１２に到達した良品ワークＷ１は、不良品排出部１１と同様に、図５に示す搬送テーブルエア噴射通路３１ａから噴射される圧縮エアの作用により、搬送テーブル２の外周側に向けて飛び出し、図示されない排出パイプに導かれて、図示されない収納箱に収納される。

この間、図１３に示すように、プッシャ１５が矢印Ｍ１方向に進出して、当接部１５ａの先端面１５ａｓがワークＷ１の本体Ｗ１ｘの面Ｗ１ｓ１に当接する際に、ワークＷ１がワーク収納孔３内で傾斜してしまう場合がある。その一例を、図１３のワークＷ１近傍の拡大図として、図１６（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す。図１６（ａ）は、プッシャ１５が矢印Ｍ１方向に進出して、当接部１５ａの先端面１５ａｓがワークＷ１の本体Ｗ１ｘの面Ｗ１ｓ１に当接した時の様子を示す。

図１６（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、本体Ｗ１ｘの面Ｗ１ｓ１は、これに当接するプッシャ１５の当接部１５ａの先端面１５ａｓに対して完全に平行ではない。これは、ワークＷ１の本体Ｗ１ｘの製造偏差に起因するものである。

ワークＷ１の各部の寸法は、上述のようにたかだか１〜３ｍｍであるため、この製造誤差を低減することは極めて困難である。ところで、これらの平行ではない２面が当接すると、それらの面の一方の端から他方の端に向けて、次第に間隔が開く略Ｖ字形の隙間が生じる。図１６（ａ）の場合には、当接部１５ａの先端面１５ａｓが本体Ｗ１ｘの面Ｗ１ｓ１の発光体Ｗ１ｐに近い位置に当接し、そこに矢印Ｍ１方向への進出により生じる進出力ＦＸ１が集中して印加される。そして、プッシャ１５の先端面１５ａｓとワークＷ１の面Ｗ１ｓ１との間には、電極Ｗ１ａが形成されている本体Ｗ１ｘの底面に向けて、次第に間隔がαとなるように開く略Ｖ字形の隙間が生じている。

ところで、プッシャ１５の当接部１５ａは紙面に平行方向に薄くかつ紙面に垂直方向に厚く形成されており、かつその先端面１５ａｓと面Ｗ１ｓ１の２面間には、前記薄く形成された方向に沿って略Ｖ字形の隙間が形成されている。

このため図１６（ａ）の状態からプッシャ１５が矢印Ｍ１方向にさらに進出すると、進出力ＦＸ１の作用により、これら２面１５ａｓ、Ｗ１ｓ１間にすべりを生じる。そして、図１６（ｂ）に示すように、力ＦＸ１が印加される位置が該隙間の間隔が開く側、すなわち電極Ｗ１ａが形成されている本体Ｗ１ｘの底面側に移動する。このため、本体Ｗ１ｘの底面の電極Ｗ１ａが形成されている側がテーブルベース１の上面から浮き上がり、ワークＷ１の姿勢がワーク収納孔３内で傾斜する。さらにこの状態からプッシャ１５が矢印Ｍ１方向に進出すると、図１６（ｃ）に示すように、ワークＷ１の傾斜がさらに大きくなり、当接部１５ａの先端面１５ａｓがワークＷ１の下側に侵入して停止する。当接部１５ａが図１６（ｃ）に示す位置まで進出して停止する理由は、この位置が、ワーク収納孔３内にワークＷ１が存在しない時にプッシャ１５を停止させる位置に相当するためである。

以上の説明においては、プッシャ１５の当接部１５ａの先端面１５ａｓに当接するワークＷ１の本体Ｗ１ｘの面Ｗ１ｓ１が当接部１５ａの先端面１５ａｓに対して完全に平行ではないために、ワークＷ１の姿勢が傾斜する場合について説明した。この他に、図１６（ａ）において、テーブルチップ５の押圧面５ｓと、押圧面５ｓに当接するワークＷ１の本体Ｗ１ｘの面Ｗ１ｓ２が完全に平行ではない場合にも、同様に押圧面５ｓと面Ｗ１ｓ２の間にすべりを生じて、ワークＷ１の姿勢が傾斜する。

図１６（ｃ）の状態から、プローブＰ１ａ、Ｐ１ｂを図１４における矢印Ｋ１方向に上昇させた様子を図１７に示す。図１７において、プローブＰ１ａ、Ｐ１ｂはワーク収納孔３内に侵入して停止している。このときのプローブＰ１ａ、Ｐ１ｂの位置は、ワーク収納孔３内にワークＷ１が存在しない時にプローブＰ１ａ、Ｐ１ｂを停止させる位置に対応する。図１７において、電極Ｗ１ａとプローブＰ１ａは当接していないので、正しい測定ができない。

図１７の状態を正常にするために、図１５のようにプローブＰ１ａ、Ｐ１ｂを矢印Ｋ２方向に下降させて待機位置に戻し、プッシャ１５を矢印Ｍ２方向に退出させて待機位置に戻し、再度プッシャ１５を図１４のように矢印Ｍ１方向に進出させてワークＷ１の本体Ｗ１ｘに当接させることが必要である。しかしながら、図１７の状態になる原因が上記のようなワークＷ１の形状に係るものであれば、再度同一の状態になる可能性がきわめて高い。このため、図１７の状態を検出してワークＷ１を排出し、後続の新規のワークＷ１を光電気特性検査部１０に到達させて、そのワークＷ１にプッシャ１５を当接させて固定し、検査することが好ましい。

図１７の状態を検出するために、ワークＷ１を押圧する際のプッシャ１５の移動距離を計測する距離計測手段が設けられている。これについて、図１８乃至図１９（ａ）（ｂ）を用いて説明する。図１８は、プッシャ１５の平面図である。プッシャ１５は搬送テーブル２のワーク収納孔３内のワークＷ１に比べて遥かに大きいので、長手方向の途中を省略した表記としてある。プッシャ１５は、ワークＷ１と略同一の幅を有する当接部１５ａと、この当接部１５ａに一体的に連結され、テーブルガイド１４の間隙に入る幅を有する中央部１５ｂとを有する。

さらに中央部１５ｂに続いて、図示されない駆動機構に接続される基部１５ｃが一体的に連結されている。基部１５ｃには、プッシャ１５が待機位置（図１２）からワークＷ１の本体Ｗ１ｘ（図１２）に当接するまでの移動距離を計測する距離計測手段としての検出ブロック１５ｄおよび近接センサ１５ｅが設置されている。検出ブロック１５ｄはプッシャ１５の位置を示す目印として機能し、後述のように近接センサ１５ｅによりその位置が検出される。近接センサ１５ｅは基部１５ｃから離間し、かつ検出ブロック１５ｄに対向する位置に配置されている。近接センサ１５ｅは検出対象物の存在情報を電気信号に変換して、対象物が接近したか否かを検出する機能を有する。近接センサ１５ｅには、検出ブロック１５ｄの接近を検出した警報を図１に示す制御部１７に送信するためのケーブル１５ｆが接続されている。

図１８における検出ブロック１５ｄおよび近接センサ１５ｅの作用について、領域Ｖ１の拡大図である図１９（ａ）（ｂ）を用いて説明する。図１９（ａ）及び図１９（ｂ）において、一点鎖線で示される警報境界線１５ｘよりも右方に近接センサ１５ｅの検出物体である検出ブロック１５ｄがある場合、近接センサ１５ｅ内の警報送出部１５ｅ１によって、検出ブロック１５ｄの接近を検出した警報ＰＡＬＭ（図１９（ｂ））が図１に示す制御部１７に送信される。この場合、図１９（ａ）においては、近接センサ１５ｅと、検出物体である検出ブロック１５ｄとの間隙１５Ｇが大きい。すなわち検出面１５ｄｓが一点鎖線で示される警報境界線１５ｘよりも左方にあるため、近接センサ１５ｅは、検出ブロック１５ｄを検出しない。

これに対して、図１９（ｂ）に、プッシャ１５が矢印Ｍ１方向に進出し、検出面１５ｄｓが警報境界線１５ｘよりも右方まで到達した様子を示す。この場合、間隙１５Ｇは小さくなり、近接センサ１５ｅは、検出物体である検出ブロック１５ｄを検出する。そして、近接センサ１５ｅからはプッシャ警報ＰＡＬＭが発出されて、図１８に示すケーブル１５ｆにより図１に示す制御部１７に送信される。

次に、図１９（ａ）（ｂ）における警報境界線１５ｘの設定例について述べる。例として、以下の条件を考える。

条件１：ワーク収納孔３にワークＷ１が収納されていない状態で、プッシャ１５の移動距離は０．４ｍｍである。

条件２：ワークＷ１の寸法偏差およびプッシャ１５の製造偏差を除いて、図１３に示すようにプッシャ１５がワークＷ１を正しく固定した場合のプッシャ１５の移動距離は０．２ｍｍである。

条件３：図１７に示すようにプッシャ１５がワークＷ１を正しく固定することができなかった場合のプッシャ１５の移動距離は０．２ｍｍを超えて０．４ｍｍ以下である。

条件４：条件１においてプッシャ１５を０．４ｍｍ移動させた状態で、図１９（ａ）（ｂ）に示す近接センサ１５ｅと検出ブロック１５ｄの間隙１５Ｇが０．１ｍｍとなるように調整する。

ここに、図１９（ａ）のようにプッシャ１５の進出方向Ｍ１の移動距離が小さい、すなわち間隙１５Ｇが大きい場合には、図１３のように正しく固定できたと判断できることがわかる。また、図１９（ｂ）のように該移動距離が大きい、すなわち間隙１５Ｇが小さい場合には、図１７のように正しく固定できなかったと判断できることがわかる。よって、正しく固定できた場合の間隙１５Ｇは、条件３、４により、０．１ｍｍに０．２ｍｍを加算した０．３ｍｍ以上となる。このことから、図１９（ａ）（ｂ）における警報境界線１５ｘは、近接センサ１５ｅから０．３ｍｍになるように、近接センサ１５ｅに内蔵された図示されない調整機構を用いて設定すればよい。

以上のように、図１８に示す検出ブロック１５ｄおよび近接センサ１５ｅにより、プッシャ１５が待機位置（図１２）からワークＷ１の本体Ｗ１ｘ（図１２）に当接するまでの移動距離を計測して、制御部１７は計測された距離が予め規定された距離よりも大きい場合に、光電気特性検査部１０におけるワークＷ１の姿勢が傾斜したことを検出することができる。

上述のようなワークＷ１の本体Ｗ１ｘの製造偏差に起因して、光電気特性検査部１０におけるワーク収納孔３内のワークＷ１の姿勢が傾斜する要因は、他にもある。それについて、図２０乃至図２２を用いて説明する。図２０（ａ）は、図１３のワークＷ１近傍の拡大平面図である。ただし、簡単のため、ワークＷ１の発光体Ｗ１ｐは記載していない。図２０（ａ）は、プッシャ１５が矢印Ｍ１方向に進出して、当接部１５ａの先端面１５ａｓがワークＷ１の本体Ｗ１ｘの面Ｗ１ｓ１に当接した時の様子を示す。ここに、本体Ｗ１ｘの面Ｗ１ｓ１は、上述したワークＷ１の本体Ｗ１ｘの製造偏差によって、これに当接するプッシャ１５の当接部１５ａの先端面１５ａｓに対して完全に平行ではない。そして、これらの平行ではない２面Ｗ１ｓ１、１５ａｓが当接すると、それらの面の一方の端から他方の端に向けて、次第に間隔が開く略Ｖ字形の隙間が生じる。図２０（ａ）の場合には、本体Ｗ１ｘの面Ｗ１ｓ１における搬送テーブル２の回転方向（矢印Ａ方向）の後方に当接部１５ａの先端面１５ａｓが当接し、そこにプッシャ１５の矢印Ｍ１方向への進出により生じる進出力ＦＸ２が集中して印加される。そして、先端面１５ａｓと面Ｗ１ｓ１との間には、搬送テーブル２の回転方向（矢印Ａ方向）に向けて、次第に間隔がβ１となるように開く略Ｖ字形の隙間が生じている。

ところで、プッシャ１５の当接部１５ａは紙面に平行方向に厚くかつ紙面に垂直方向に薄く形成されており、かつその先端面１５ａｓと面Ｗ１ｓ１の２面間には、前述のように、厚く形成された方向に沿って略Ｖ字形の隙間が形成されている。よって、図２０（ａ）において、先端面１５ａｓと面Ｗ１ｓ１が当接する領域Ｖ２は進出力ＦＸ２により押圧されるが、当接しない領域Ｖ３は全く押圧されない。すなわち、ワークＷ１は搬送テーブル２の回転方向（矢印Ａ方向）の後方のみが固定される。

また、図２０（ｂ）は、本体Ｗ１ｘの面Ｗ１ｓ２が、これに当接するテーブルチップ５の押圧面５ｓに対して完全に平行ではない場合を示す。図２０（ｂ）においては、押圧面５ｓと面Ｗ１ｓ２との間に、搬送テーブル２の回転方向（矢印Ａ方向）に向けて、次第に間隔がβ２となるように開く略Ｖ字形の隙間が生じている。そして、図２０（ａ）と同様の理由により、押圧面５ｓと面Ｗ１ｓ２が当接する領域Ｖ４は進出力ＦＸ３により押圧されるが、当接しない領域Ｖ５は全く押圧されない。そして、ワークＷ１は搬送テーブル２の回転方向（矢印Ａ方向）の後方のみが固定される。

このように、搬送テーブル２の回転方向（矢印Ａ方向）の後方のみが固定されたワークＷ１に対して、図１１に示すプローブＰ１ａ、Ｐ１ｂが矢印Ｋ１方向に上昇した時の様子を、搬送テーブル２の中心軸４（図１）側から見た透視図として、図２１（ａ）（ｂ）に示す。図２１（ａ）は、図２０の状態で、プローブ通路１０ｃ内のプローブＰ１ｂが、テーブルベース１内の待機位置にある様子を示す。この時、プローブ通路１０ｂ内のプローブＰ１ａは、プローブ通路１０ｃおよびプローブＰ１ｂに隠れて見えないが、プローブＰ１ｂと同様に待機位置にある。

同様に、ワークＷ１の電極Ｗ１ａは電極Ｗ１ｂに隠れて見えない。

また、検査部切替弁２１はｖ側すなわち真空発生源２２側を選択し、吸引噴射通路１０ａ内は矢印Ｓ３方向に真空吸引される。この矢印Ｓ３方向の真空吸引の作用により、ワークＷ１はテーブルベース１の上面に吸着される。この時、真空圧計２４は吸引通路２２ｘの真空度を計測しているが、その計測値は上記の吸着の作用により、十分に高い真空度を示す値である。

次に、この状態からプローブＰ１ａ、Ｐ１ｂは図２１（ｂ）における矢印Ｋ１方向に上昇して、ワークＷ１の電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂに当接する。この時、上述のように、ワークＷ１は搬送テーブル２の回転方向（矢印Ａ方向）の後方のみがプッシャ１５の当接部１５ａにより固定されている。このため、プローブＰ１ｂが上昇してワークＷ１の電極Ｗ１ｂに当接すると、ワークＷ１の固定されていない側、すなわち図２１（ｂ）における矢印Ａの前方側が上方に移動する。この時、図１７と同様に、プローブＰ１ａ、Ｐ１ｂはワーク収納孔３内に侵入して停止している。図２１（ｂ）において、電極Ｗ１ｂとプローブＰ１ｂは正しく当接しておらず、同様に、図示されない電極Ｗ１ａとプローブＰ１ａも正しく当接していない。このため、正しい測定ができない。

このような図２１（ｂ）の状態を検出するために、真空圧計２４が配置されている。上述のように、図２１（ａ）においては矢印Ｓ３方向の真空吸引の作用により、ワークＷ１はテーブルベース１の上面に吸着されている。このため、真空圧計２４による吸引通路２２ｘの真空度の計測値は十分に高い。これに対して、図２１（ｂ）においては、ワークＷ１の底面がテーブルベース１の上面から離間している。このため、吸引噴射通路１０ａから検査部切替弁２１を経由して吸引通路２２ｘに大気が侵入する。そして、真空圧計２４による吸引通路２２ｘの真空度の計測値は低くなる。この計測値が、予め規定された真空度よりも低い場合に、真空圧計２４は真空警報ＶＡＬＭを発出し、それを図１に示す制御部１７に送出する。

以上のように、図１２に示す真空圧計２４により吸引通路２２ｘの真空度を計測して、計測された真空度が予め規定された真空度よりも低い場合に、制御部１７は光電気特性検査部１０におけるワークＷ１の姿勢が傾斜したことを検出する。

なお、上記の説明においては、図２０（ａ）（ｂ）のように、ワークＷ１の面Ｗ１ｓ１あるいは面Ｗ１ｓ２において、各面の搬送テーブル２の回転方向（矢印Ａ方向）の後方（図２０（ａ）における領域Ｖ２および図２０（ｂ）における領域Ｖ４）のみがプッシャ１５の当接部１５ａにより固定されるとした。

しかしながら、ワークＷ１の本体Ｗ１ｘの製造偏差によっては、図２０（ａ）（ｂ）に示す略Ｖ字形の隙間がβ１あるいはβ２に開く側が、搬送テーブル２の回転方向（矢印Ａ方向）の後方（図２０（ａ）における領域Ｖ２側および図２０（ｂ）における領域Ｖ４側）になる場合もある。その場合は、面Ｗ１ｓ１あるいは面Ｗ１ｓ２において、各面の搬送テーブル２の回転方向（矢印Ａ方向）の前方（図２０（ａ）における領域Ｖ３および図２０（ｂ）における領域Ｖ５）のみがプッシャ１５の当接部１５aにより固定される。そして、その状態で図２１（ｂ）のようにプローブＰ１ｂが上昇してワークＷ１の電極Ｗ１ｂに当接すると、ワークＷ１は図２１（ｂ）における矢印Ａの後方側が上方に移動する。その場合も、図１２に示す真空圧計２４により吸引通路２２ｘの真空度を計測すれば、上述の理由により、計測された真空度が予め規定された真空度よりも低い場合に、制御部１７は光電気特性検査部１０におけるワークＷ１の姿勢が傾斜したことを検出する。

以上のように、本発明によるワークの特性測定装置１００は、ワークＷ１が光電気特性検査部１０におけるプッシャ１５の作用により固定される際に、ワークＷ１の本体Ｗ１ｘの製造偏差に起因してワーク収納孔３内で姿勢が傾斜したことを、プッシャ１５の移動距離の計測および吸引通路２２ｘの真空度の計測という２種類の計測により検出している。このため、ワークＷ１のワーク収納孔３内における姿勢の傾斜を確実に検出することができる。

上述のように図１８に示す検出ブロック１５ｄおよび近接センサ１５ｅ、あるいは図１２に示す真空圧計２４により、光電気特性検査部１０におけるワークＷ１の姿勢が傾斜したことを検出すると、それぞれプッシャ警報ＰＡＬＭあるいは真空警報ＶＡＬＭが発出されて制御部１７に送信される。これらの警報を制御部１７が受信すると、制御部１７の制御により、当該ワークＷ１をワーク収納孔３から排出する。その作用について、図２２乃至図２７を用いて説明する。

図２２（ａ）は、図１６（ａ）（ｂ）（ｃ）を用いて説明したように、ワークＷ１の本体Ｗ１ｘの面Ｗ１ｓ１が、これに当接するプッシャ１５の当接部１５ａの先端面１５ａｓに対して完全に平行ではないことに起因して、ワーク収納孔３内で傾斜している様子を示す。また、図２２（ｂ）は図２１（ａ）を搬送テーブル２の中心軸４（図１）側から見た図である。

図２２（ａ）（ｂ）において、プッシャ１５の当接部１５ａの先端面１５ａｓがワークＷ１の下側に侵入して停止している。また、プローブＰ１ａ、Ｐ１ｂが矢印Ｋ１方向に上昇し、ワーク収納孔３内に侵入して停止している。そして、ワークＷ１はワーク収納孔３内で姿勢が傾斜している。図２２（ａ）の下部には、この時の図１８における検出ブロック１５ｄおよび近接センサ１５ｅ近傍（領域Ｖ１）の拡大図を、併せて記載してある。この図は図１９（ｂ）と同一であり、近接センサ１５ｅ内の警報送出部１５ｅ１はプッシャ警報ＰＡＬＭを発出している。また、図２２（ｂ）には、吸引噴射通路１０ａが検査部切替弁２１の作用により真空発生源２２に連通して、吸引噴射通路１０ａ内が矢印Ｓ３方向に真空吸引されている様子を、併せて示す。

この状態で、プッシャ警報ＰＡＬＭを受信した制御部１７（図１）の制御により、図２３（ａ）（ｂ）の状態となる。すなわち、プッシャ１５は図示されない駆動機構の作用により、矢印Ｍ２方向に退出して待機位置に停止する。そして、プローブＰ１ａ、Ｐ１ｂは図示されない駆動機構の作用により、矢印Ｋ２方向に下降して待機位置に停止する。この時、プッシャ１５が待機位置まで退出するので、上記近接センサ１５ｅ内の警報送出部１５ｅ１はプッシャ警報ＰＡＬＭの発出を停止する。この様子を、図２３（ａ）の下部に併せて示す。この図は図１９（ａ）と同一である。

以上のように、プッシャ１５とプローブＰ１ａ、Ｐ１ｂがいずれも待機位置に停止することにより、図２３（ａ）（ｂ）に示すように、ワーク収納孔３内のワークＷ１はその底面に形成された電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂがテーブルベース１上面に載置される。

次に、図１に示す制御部１７の制御により、光電気特性検査部１０直上に位置する図示されない測定器が、図示されない駆動機構の作用により上昇して、図示されない退避位置に停止する。

そして、図１に示す強制排出手段としての姿勢不良ワーク排出部１６が、図示されない駆動機構の作用により、図１に示す待機位置から矢印Ｌ１方向に進出して、今まで該測定器が位置していた光電気特性検査部１０直上に停止する。この様子を、図２４に示す。

ここに、図２４乃至図２７は、図２３（ｂ）と同様に、光電気特性検査部１０を搬送テーブル２の中心軸４（図１）側から見た図である。図２４において、光電気特性検査部１０直上には、ワークＷ１を吸引する姿勢不良ワーク排出部１６の排出ヘッド１６ａが位置している。排出ヘッド１６ａの排出通路１６ａｐは排出パイプ１６ｂに接続され、排出パイプ１６ｂの終端部には収納箱２５が接続されている。排出パイプ１６ｂが収納箱２５に接続される位置には、排出されるワークＷ１が収納箱２５に収納されたことを検出する排出検出手段としての通過センサ２６が配置されている。

次に、図２４の状態から制御部１７の制御により、図２５に示すように、検査部切替弁２１がａ側すなわち圧縮エア源２３側を選択する。これにより、吸引噴射通路１０ａの連通先が圧縮エア源２３となり、吸引噴射通路１０ａには矢印Ｊ２方向に圧縮エアが噴射される。また同時に、姿勢不良ワーク排出部１６内に配置された図示されない真空吸引機構の作用により、排出通路１６ａｐから排出パイプ１６ｂを経由して収納箱２５に至る経路が、収納箱２５に向けて矢印Ｓ４方向に真空吸引される。この矢印Ｊ２方向の圧縮エアの噴射と矢印Ｓ４方向の真空吸引が同時に作用して、ワーク収納孔３内のワークＷ１は排出ヘッド１６ａの排出通路１６ａｐに入る。そして、図２６に示すように、排出パイプ１６ｂに入り、図２７に示すように収納箱２５に収納される。

図２７において、ワークＷ１が収納箱２５に収納されたことを通過センサ２６が検出して、収納情報ＤＩＳを発出する。収納情報ＤＩＳは図１に示す制御部１７に送信され、制御部１７の制御により、検査部切替弁２１がｖ側すなわち真空発生源２２側を選択する。

これにより、吸引噴射通路１０ａの連通先が真空発生源２２となり、吸引噴射通路１０ａは矢印Ｓ３方向に真空吸引される。そして、光電気特性検査部１０直上に位置していた姿勢不良ワーク排出部１６が矢印Ｌ２方向に退出して、図１の待機位置に停止する。そして、図示されない退避位置に停止していた図示されない測定器が、図示されない駆動機構の作用により下降して、光電気特性検査部１０直上に停止する。次に、制御部１７の制御により、搬送テーブル２が矢印Ａ方向に回転し、ワークＷ１を収納した次のワーク収納孔３が光電気特性検査部１０に到達する。そして、このワークＷ１について、上述の電気特性ならびに光特性の測定が行われる。

上記の光電気特性検査部１０における姿勢不良ワーク排出部１６によるワークＷ１の排出に関する説明は、ワーク収納孔３内のワークＷ１が、図１６（ａ）（ｂ）（ｃ）の過程を経て図１７のように姿勢が傾斜した場合について行った。他方、ワーク収納孔３内のワークＷ１が、図２０（ａ）または図２０（ｂ）から図２１（ａ）の過程を経て図２１（ｂ）のように姿勢が傾斜した場合には、図２１（ｂ）の状態から図２３（ａ）（ｂ）のようにプッシャ１５およびプローブＰ１ａ、Ｐ１ｂを退出させて、それぞれの待機位置に戻すことにより、同様にワーク収納孔３内のワークＷ１はその底面に形成された電極Ｗ１ａ、Ｗ１ｂがテーブルベース１上面に載置される。

以上のように、ワーク特性測定装置１００は、ワークＷ１が光電気特性検査部１０に設けられたプッシャ１５の作用により固定される際に、ワークＷ１の本体Ｗ１ｘの製造偏差に起因してワーク収納孔３内で姿勢が傾斜したことを検出すると、当該ワークＷ１を姿勢不良ワークとして排出した後に、次に光電気特性検査部１０に到達したワークＷ１を検査することができる。このため、姿勢不良ワークを速やかに排出して正常なワークを検査することが可能である。また、不良ワークを作業者が手動で排出する必要もない。従って、検査効率および検査精度の向上ならびに作業員の稼働時間低減を実現することが可能である。

以上の説明においては、ワークＷ１の検査を行う特性検査部として光電気特性検査部１０の例を示したが、これに限らず特性検査部として第１画像検査部８および第２画像検査部９を用いてもよい。

また、以上の説明においては、検査を終了したワークＷ１を排出する排出部として、各検査の結果が不良であったワークＷ１をワーク収納孔３から排出する不良品排出部１１と、前記各検査の結果が良品であったワークＷ１をワーク収納孔３から排出する良品排出部１２の２つを設けた例を示したが、これに限らず良品排出部１２の代わりに、検査結果に基づいてワークＷ１を複数の等級に分類して、各等級に対応する収納箱に排出する分類排出部を配置しても良い。

また、以上の説明においては、搬送テーブル２が水平に設置されている例を示したが、これに限らず、本発明は、搬送テーブル２が垂直に設置されている場合および傾斜して設置されている場合にも適用することができる。

また、以上の説明においては、光電気特性検査部１０においてワークＷ１の電極Ｗ１ａおよびＷ１ｂについて、それぞれ１本のプローブＰ１ａおよびＰ１ｂを当接させる例を示したが、これに限らず、本発明は、電極Ｗ１ａおよびＷ１ｂについて、それぞれ２本のプローブを当接させる４端子測定の場合にも適用することができる。

以上のように本実施の形態によれば、搬送テーブル２のワーク収納孔３の位置において、中心側のテーブルベース１側にワーク収納孔３に隣接してテーブルチップ５を形成し、テーブルチップ５をワーク収納孔３内に突出させた押圧面５ｓにワークＷ１の高硬度部を搬送テーブル２の外側からプッシャ１５により押圧し、特性測定時に固定している。このため、ワークＷ１の低硬度部である発光体は固定の際にどこにも当接せず、押圧により傷を生じることを防止することができる。また、押圧時にワークＷ１の製造偏差に起因して生じるワークＷ１の姿勢傾斜を、プッシャ１５の移動距離計測および吸引通路２２ｘ内の真空度計測からなる２種類の計測により、確実に検出することができる。また、姿勢傾斜を検出したワークＷ１を姿勢不良ワーク排出部１６により排出して次のワークを検査するので、検査効率および検査精度の向上ならびに作業員の稼働時間低減を実現することができる。

１ テーブルベース、２ 搬送テーブル、３ ワーク収納孔、４ 中心軸、５ テーブルチップ、５ｓ 押圧面、６ リニアフィーダ、７ 分離供給部、８ 第１画像検査部、９ 第２画像検査部、１０ 光電気特性検査部、１０ａ 吸引噴射通路、１１ 不良品排出部、１２ 良品排出部、１３ テーブルカバー、１４ テーブルガイド、１５ プッシャ、１５ａ 当接部、１５ｄ 検出ブロック、１５ｅ 近接センサ、１６ 姿勢不良ワーク排出部、１６ａ 排出ヘッド、１６ｂ 排出パイプ、１７ 制御部、１８ 真空発生源、１９ 排出部切替弁、２０ 圧縮エア源、２１ 検査部切替弁、２２ 真空発生源、２３ 圧縮エア源、２４ 真空圧計、２５ 収納箱、２６ 通過センサ、Ｐ１ａ、Ｐ１ｂ プローブ、Ｗ１ ワーク、Ｗ１ｘ 本体、Ｗ１ｐ 発光体、Ｗ１ａ、Ｗ１ｂ 電極。

Claims (6)

1. 高硬度部と低硬度部とを有するワークの特性を測定するワークの特性測定装置において、
   テーブルベースと、
   前記テーブルベース上に回転自在に配置され、外方へ開口する開口部を有するとともにワークを収納する複数のワーク収納孔が外周縁に沿って設けられた搬送テーブルと、
   前記搬送テーブルの外周に沿って任意の位置に固定して設けられ、前記ワーク収納孔内に収納されたワークの特性測定を行なうワークの特性検査部とを備え、
   前記ワークの特性検査部は、ワークに当接してワークの特性検査を行なう検査部材と、ワーク収納孔内のワークをワーク収納孔のうち開口部に対向する内壁側に向って固定する固定手段とを有し、
   前記固定手段は開口部から内壁側に向ってワークの高硬度部を押圧するプッシャからなり、
   前記ワークの特性検査部はプッシャの移動距離を計測する距離計測手段と、距離計測手段により計測された移動距離が予め規定された距離よりも大きい場合に、制御部により作動してワーク収納孔内のワークを排出する強制排出手段とを更に有することを特徴とするワークの特性測定装置。
2. 前記ワークの特性検査部は、テーブルベースに設けられテーブルベースに向ってワークを吸引する吸引通路と、吸引通路内の真空度を計測する真空度計測手段と、真空度計測手段により計測された真空度が予め規定された真空度よりも低い場合に、制御部によりワーク収納孔内のワークを排出する強制排出手段とを更に有することを特徴とする請求項１記載のワークの特性測定装置。
3. 前記強制排出手段は、ワーク収納孔内のワークが排出されたことを検出する排出検出手段を含むことを特徴とする請求項１または２記載のワークの特性測定装置。
4. 高硬度部と低硬度部とを有するワークの特性を測定するワークの特性測定方法において、
   テーブルベース上に回転自在に配置され、外方へ開口する開口部を有するとともにワークを収納する複数のワーク収納孔が外周縁に沿って設けられた搬送テーブルによってワークを搬送する搬送工程と、
   前記搬送テーブルの外周に沿って任意の位置に固定して設けられ、前記ワーク収納孔内に収納されたワークの特性検査をワークの特性検査部によって行なうワークの特性検査工程とを備え、
   前記ワークの特性検査工程は、ワーク収納孔内のワークをワーク収納孔のうち開口部に対向する内壁側に向って固定手段により固定するワークの固定工程と、ワークに当接してワークの特性検査を行なう検査部材によりワークの特性検査を行なう検査工程とを有し、
   前記固定手段は開口部から内壁側に向ってワークの高硬度部を押圧するプッシャからなり、
   前記ワークの特性測定工程はプッシャの移動距離を計測する距離計測工程と、距離計測工程により計測された移動距離が予め規定された距離よりも大きい場合に、制御部により作動してワーク収納孔内のワークを排出する強制排出工程とを更に有することを特徴とするワークの特性測定方法。
5. 前記ワークの特性測定工程は、テーブルベースに設けられた吸引通路によりテーブルベースに向ってワークを吸引する吸引工程と、吸引通路内の真空度を計測する真空度計測工程と、真空度計測工程により計測された真空度が予め規定された真空度よりも低い場合に、制御部によりワーク収納孔内のワークを排出する強制排出工程とを更に有することを特徴とする請求項４記載のワークの特性測定方法。
6. 前記強制排出工程は、ワーク収納孔内のワークが排出されたことを検出する排出検出工程を含むことを特徴とする請求項４または５記載のワークの特性測定方法。

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