JP6546183B2 - ２つの独立した可動部材を有するリニア電磁アクチュエータ - Google Patents

Description

〔本発明の範囲〕
本発明は、リニア方向に動く機械的に独立したいくつかの部材を備えた電磁アクチュエータの分野に関する。

〔従来技術〕
可動部材を往復運動させる電磁リニアアクチュエータと毛を切るように作用する刃型の第２の部材とを備えた電気カミソリに関し、特許文献１が、従来技術として知られている。これらの部材は磁化されている。
（欧州特許出願）
また、運動系の運動方向に対して垂直な方向に磁化している１セットの永久磁石であって、異なる極性を有する複数の磁極が磁極面において運動方向に沿って交互に繰り返す１セットの永久磁石と、永久磁石の垂直方向の並びの両側に第１の磁極および第２の磁極を有し、上記磁極の各々が上記磁極面を向いているステータと、磁極部の第１のユニット及び第２のユニットを形成する、磁極の一部分を励磁する単一相コイルと、を備えたアクチュエータを開示するものとして、特許文献２が知られている。

特許文献３は、とりわけ振動ピストン型の真空ポンプのために設計された振動ピストン駆動装置であって、内部にシリンダ（３）が配置されたハウジング（２）、及び、上記シリンダ内で前後運動することが可能なピストン（４）を、上記ピストン（４）用の電磁制御部品と共に備え、ステータ側に電磁石（１１）を備えるとともに、上記ピストン側（１８、１９）に少なくとも１つの永久磁石を備えた振動ピストン駆動装置を開示している。この振動ピストン駆動装置のサービス寿命を改善するために、ステータ側に永久磁石（１５、１６）が配置されており、上記永久磁石または磁石（１８、１９）は、停止状態における上記ピストン（４）が実質的に中心軸の位置を占めるように設計及び配置されている。

米国出願である特許文献４は、ステータポールと上記ステータポールに固定されたコイルとを有する固定部材と、第１の運動部材とを備えたアクチュエータを開示している。上記第１の運動部材が、内側から外側に向かう方向に磁化している第１の磁石であって、上記固定部材からの軸方向の一端で外周面を覆うように配置され、上記ステータポールに伸縮可能に取り付けられ、上記軸方向に移動可能な第１の磁石を有している。第２の運動部材が、内部から外部への方向に磁化している第２の磁石であって、上記固定部材の上記軸方向の他端の上記外周面を覆うように配置され、上記ステータポールに伸縮可能に取り付けられ、上記軸方向に移動可能な第２の磁石を備えている。上記コイルに電流が流れると、上記第１の運動部材及び上記第２の運動部材が反対方向に移動する。

上記コイルの軸が水平方向に取り付けられている。

米国特許第６０９８２８８号明細書 欧州特許第２３２０５４３号明細書 国際公開第２０００／０６３５５６号パンフレット 米国特許出願公開第２０１３／１９３７８０号明細書

〔従来技術の欠点〕
上記従来技術による解決法には様々な欠点が存在する。提案された構造の多くは、機械的及び／又は磁気的にバランスを欠いており、これによって、振動公害および騒音公害が引き起こされる。

さらに、上記従来技術による解決法では、重量及び慣性を増やす磁石に上記運動部材が結合しているため、上記アクチュエータの性能が悪化することになる。
〔本発明の説明〕
従って、本発明の目的は、従来のシステムを適用することを求める当業者が経験する課題を解決しつつ、２つの独立した運動を可能にするアクチュエータを提案することにある。

具体的には、本発明の主な目的は、上記構造の内部の永久磁石を有利に配置することによって、複数の可動部に加わる横力を均衡させることを可能にするアクチュエータを提案することにある。このようにすることにより、従来のアクチュエータに存在する既知のオーバーハングが、著しく低減させるか、又は、均一に補正される。従って、このアクチュエータは、（例えば、負荷に対抗する軸力を作り出すような）与えられた仕様を満たす最も的確なサイズにすることができる。

本発明の別の目的は、二重極の態様で供給されている単一の電気制御コイル、又は、単極の態様で制御される、重なりあった２つのコイル、若しくは、同心の２つのコイルによって、上記複数の可動部を反対方向に動かすことを可能にするアクチュエータを作りだすことにある。この実施形態によって、特に動きに対する横断方向においてコンパクトなアクチュエータを設計することが可能となる。

本発明の更に別の目的は、振動アクチュエータ、単安定アクチュエータ、又は、双安定アクチュエータ（それぞれ、独立した２つの可動部材のストロークの端部に電流がない状態における安定した位置が、０、１、２である）の製造を可能にすることにある（「独立」という用語は、上記２つの可動部材の間に機械的な接続部が存在しないことを意味する）。

より具体的には、本発明は、各可動部材が強磁性材料で形成されている少なくとも２つの独立した可動部材と共に、対称軸の周りに配置された少なくとも１つの電気コイルによって励磁されたステータと、上記コイルの軸方向両側に位置する強磁性を有する２つのステータポールと、を備えたリニア電磁アクチュエータであって、上記コイルの内側に配置された少なくとも３つの着磁極を備え、第１の着磁極が、上記２つの可動部材を隔てる正中面（median plane）の近傍に位置するとともに、上記コイルの上記軸を含んでおり、第２の着磁極及び第３の着磁極が上記可動部材および上記コイルの水平方向両側に配置されている、ことを特徴とするリニア電磁アクチュエータに関する。

「着磁極（magnetised pole）」という用語は、電流の無い状態で永続的に磁化されている磁極のことを指す。

さらに、上記可動部材は、柔らかい強磁性を有する材料だけから作られ、上記可動部材に対して静止している上記着磁極から離れていてもよい。

一方の側の上記可動部材と他方の側の上記着磁極とは独立した構成部品であり、上記磁石は、固定され、静止している。

上記可動部材が、互いに反対方向に移動する、ことが好ましい。

このために、第１の着磁極、第２の着磁極、及び、第３の着磁極が、上記コイルの軸に直交する方向である横方向に磁化されており、上記第２の着磁極及び第３の着磁極が同一の方向に磁化されており、上記同一の方向は上記第１の着磁極の磁化方向とは反対方向である。

上記第２の着磁極及び第３の着磁極を、互いに取り付けられるようにするか、又は、異なる部品にすることができる。

特定の実施形態では、上記第２の着磁極及び第３の着磁極が、直径方向に磁化した単一のリングから構成されている。

特定の実施形態では、上記２つのステータポールが軸方向を向いた露出部を有し、上記露出部が、ストロークの開始時における電力の入力を促進する磁極端になっている。

上記アクチュエータは、２つの電気的に独立した同軸コイルを備えてもよく、更に、各コイルへの単一の磁極供給を使用できるようにするために、これらの同軸コイルを、重なり合わせることができる。同様に、製造をより容易にし、形状係数を最適化するために、上記電気コイルを軸対称形状にすることが可能である。

別の特定の実施形態では、永久磁石の性質を有する本体によって上記電気コイルが支えられており、上記第２の着磁極及び第３の着磁極が、少なくとも部分的に、磁化された上記本体から構成されている。

上記可動部材のうちの少なくとも１つの位置を示す位置センサを、有利的に使用することができ、上記可動部材の近傍にあるハウジングの内部に配置することができる。

動かす対象である外部の要素との機械的インタフェースを最適化するために、上記可動部材は、上記可動部材に配置されている複数の出力シャフトによって有利的に伸長している。必要な機械出力に応じて、上記可動部材と上記出力シャフトとで異なる材料を使用することができる。

最後に、本発明および出力シャフトを使用する利点の１つは、複数の可動部材の間隔を、複数の出力シャフトの間隔とは異ならせることができることである。

各磁石の主な磁束、加わる力の方向、並びに、磁石、コイル、及び、可動部材の位置決め、及び、コイルに電流が存在しない場合における（ａ）（ｂ）（ｃ）及び（ｄ）と記された４つの安定したアクチュエータの位置に関する第１の実施形態を示す。 第１の実施形態における電流が存在する場合の２つの安定した位置を示す。 ３つの平行六面体状の磁石と矩形型のコイルとを有するアクチュエータに関する第２の実施形態を示す。 側面のタイル型の磁石と軸対称のコイルとを有するアクチュエータに関する第３の実施形態を示す。 側面の２つの磁石を二重極のリング磁石に置き換えたアクチュエータを示す、円柱型のコイルを有する第４の実施形態を示す。 半径方向に磁化された円柱型の２つの磁石を用いて３つの磁石を組み替えたアクチュエータを示す第５の実施形態を示す。 コイルの本体が着磁性材料から作られているアクチュエータに関する第６の実施形態を示す。 極歯を有するスタータの側面の様子を示す代替実施形態を示す。 極歯、及び、円錐末端部を有する可動部材を示す第２の代替実施形態を示す。 磁気を有さないブロックを有する代替実施形態を示す。 アクチュエータ電流における力の不均衡を許容する実施形態を示す。 ２倍の拮抗力（antagonistic output）で振動するアクチュエータの実施形態を示す。 可動部材の位置決めを可能にするセンサを備えた実施形態を示す。 平行六面体状の磁石に加えて、追加の磁石を有する実施形態を示す。 磁石とステータとの間の空間に極歯が配置されているステータに関する２つの代替実施形態を示す。 磁束を駆動可能な強磁性を有する部品の両側の２つの磁石によって、中央にある着磁極が形成されている代替実施形態を示す。 中央の磁石が極の部分を含んでいる代替実施形態を示す。

本発明のその他の特徴及び利点は、本発明の代表的な特定の実施形態の以下の説明を読めば明らかであろう。

図１及び図２は、第１の実施形態の発明に係るアクチュエータの構造の横断面図を概略的に示している。強磁性を有する部品のひとまとまりは、対称軸（１５）によって囲まれた電気コイル（２）を有する、強磁性を有するステータヨークを形成している。このコイルの内側には、互いに独立した２つの（柔らかい）強磁性を有する可動部材（７）、及び、３つの永久磁石が配置されている。第１の着磁極（４）が、上記２つの可動部材（７）を隔てる正中面に配置され、他の２つの着磁極（４）が上記可動部材（７）の両側に配置されている。着磁極（４、５）の磁化はコイルの軸（２）に直交する方向であり、中央の着磁極（４）の磁化方向（２２）は、側方の磁石の磁化方向（２３）とは反対になっている。上記コイル（２）の軸方向両側には、柔らかい強磁性材料でできた２つのステータポール（１３、１４）が位置している。上記ステータポール（１３、１４）の各々は、図１の（ａ）〜図１の（ｄ）に定められている様々な磁気回路に加わる。これらの磁気回路が上記コイル（２）の周りに磁束をループさせることを促進する。図１及び図２の例では、上記ステータポール（１３、１４）は、曲がっていない、即ち、直線状の極になっているが、図９に示されているような磁極端にすることもできる。

図１は、電流が存在しない場合に４通りの安定した位置を有するアクチュエータの振る舞いを示す。（ａ）と（ｂ）の例は、両側の安定した位置にある上記可動部材（７）を示す一方、（ｃ）と（ｄ）の例は、同じ側（それぞれ、下側、上側）の安定した位置にある上記可動部材（７）を示している。なお、図１の（ｃ）及び図１の（ｄ）に示されている位置において、ある可動部材内部における、中央の磁石の磁束（２０）及び対応する側方の磁束（２１）は、他の可動部材（７）内部における、これらの磁束の向きとは反対を向いている。図１の（ａ）及び図１の（ｂ）では、中央の磁石の磁束（２０）及び対応する側方の磁束（２１）は、両方の可動部材（７）において、同じ向きを向いている。全ての例において、コイル（２）の軸に垂直な力は、互いに打ち消し合うこととなり、これにより、可動部材が受けるオーバーハングが限定されることとなる。従って、アクチュエータによって生み出される作用力は、主に、各可動部材（７）の運動軸に沿った方向を向くこととなる。

図２は、電流が存在する場合のアクチュエータの振る舞いを示す。この場合、電気コイル（２）が、磁束に向きを与える磁場を生成する。可動部材（７）は、中央の磁石（２）からの磁束および側方の磁石からの磁束が、上記可動部材（７）の内部において、電流による磁束の向きと同じ向きを向くような位置を占める。

これにより、本発明では、アクチュエータは、２つの異なる方法で動作し得る。
・外部の力を受けるのではなく交流電流が供給されることによって、可動部材が、図２の（ａ）の位置と図２の（ｂ）の位置との間を、交互の拮抗動作で振動し、その結果、各可動部材（７）は、二者択一的に、ステータポール（１３）またはステータポール（１４）に接触する。
・アクチュエータを図１の（ｃ）又は図１の（ｄ）の位置に配置し得るような外部の力が存在する場合、ひとたび電力供給が確立されれば、アクチュエータは、単一の可動部材（７）を動かすことによって、コイル（２）に供給される電流（２４）の向きに応じた図２の（ａ）の位置又は図２の（ｂ）の位置に移動することができる。

図３は、製造することが容易な実施形態を示している。コイル本体（３）は、着磁極（５）と着磁極（４）とを配置するための３つの切欠きと、可動部材のための２つの通路とを備えている。上側のステータカバー（１）が、折り曲げられた金属薄板から作られ、着磁極（４）と着磁極（５）とは、平行六面体になっており、それらの着磁極の厚さに応じて磁化されている。但し、中央の磁石（２２）の磁化方向は、他の２つの磁石（２３）の磁化方向とは反対になっている。

図３の実施形態の例では、アクチュエータの外側の運動出力は、可動部材（７）によって実現されているのではなく、ネジ留め、ネジ立て、糊付け、あるいは、２つのパーツを結合することが可能なその他の公知技術を選択することで可動部材（７）に取り付けられた出力シャフト（８）によって、実現されている。また、例えば、可動部材（７）ではなく出力シャフト（８）が回転するように（その結果、可動部材（７）を損傷することなく出力シャフトに加わる外部のトルクに耐えられるように）、球窩型の接触部を想定することができる。アクチュエータによって作り出される力に対して害を及ぼすような磁気漏れを避けるために、出力シャフトは、磁気を有さないか、又は、磁気が非常に少ない（相対透磁率が数単位である）ものであることが望ましい。

図４は、「短い巻長による固有抵抗を減らすべくより好ましく丸みを帯びた形を呈している故に最適化されたコイル（２）」を有するアクチュエータの実施形態を示している。本実施形態は、タイル型の複数の着磁極（５）を使用することを課す。これらは、直径方向又は半径方向に磁化され得る。

図５は、固有抵抗を最も小さくすることを可能にする円柱型のコイル（２）を有するアクチュエータの実施形態を示す。本実施形態によって、二重にする、又は、重なり合わせることが可能な同軸の２つの電気コイル（二重巻線コイル）を使用することをより容易に想定できる。２つのコイルを使用することにより、単一のコイルを使用する場合に使用しなければならない二重極の器具とは対照的に、２つの単極の電気器具を使用することができる。本実施形態では、側方の２つの磁石の代わりに、二重極のリング磁石（５）を使用する。本発明の第２及び第３の着磁極（５）は、実際には、選択する実施形態に応じた、互いに結合又は分離することが可能な複数の着磁部である。外側の磁石（２３）は、直径方向又は半径方向に磁化され得る。

図６は、半径方向に磁化された（２３）２つのリング磁石（５）が使用される特定の実施形態を示す。２つのリング磁石の一方が内側に使用され、他方が外側に使用されている。２つの磁石を互いにくっつけることによって、平らな３つの磁石を有するアクチュエータの一般的な場合と同様に磁化することができる。このような解決法により、円柱型の可動部材を使用すること、及び、アクチュエータを可動部材の回転の影響を受けにくくすることが可能になる。図６の例では、磁石をさせるために、磁気を有さないブロック（９）が使用されている。

図１４は、中央の磁極（４）及び側方の複数の磁極（５）として平行六面体状の磁石を有する具体物を用い、更に、更なる４つの着磁極（３２）を追加することによって、磁石の形をシンプルに保ちつつ可動部材内の磁束が最大化されている、特定の実施形態を示している。

この図は、着磁性材料から作られているコイル本体を有するアクチュエータを示しており、着磁性材料は、側方の磁石を置き換えるために使用される。その中心には、ブロック（９）を用いて高い位置に配置されなければならない着磁極（４）の容器がある。最もシンプルな型では、この磁石は、注射によって製造することができ（プラスチック結合磁石）、単一の磁束通路を成すように磁化される。

図８及び図１５は、安定位置における一運動方向の出力を強化するのに使用される磁極端（６）を備えたステータ（１）の実施形態を示している。

図８の例では、磁極端（６）は、ステータ（１）に取り付けられ、可動部材（７）の下に位置している。相対する上記可動部材（７）が高い位置にある場合、磁極端（６）が近接すると、可変リラクタンスの有利な効果によって誘引力が生成され、限界の状況（限界温度、異常な摩擦）においてであっても、次第に動くようになる。

図１５の例では、磁石（４）と（５）との間のスペースに配置されたステータ磁極端（６）、及び、ステータ（１）が使用され、これにより、可動部材の形状をシンプルにすることが可能になる。図１５（ａ）及び図１５（ｂ）は、アクチュエータの片側のみに配置された磁極端（１４）であって、一運動方向の誘引力を持つことを可能にする磁極端（１４）の例を示す。図１５（ｃ）及び図１５（ｄ）は、両方の運動方向の誘引力を得るために、ステータ（１）の両側に配置した磁極端（１４）の例を示す。

図９は、可動部材（７）の両側にステータ（１）の磁極端（６）を有するステータ（１）の実施形態を示す。可動部材（７）は、ステータ（７）の形と相補関係にあるような円錐形を呈しており、これによって、生成される磁力を増加させることができる。これは、上述した極端部の存在による利点を有する図６に示した実施形態に基づくアクチュエータである。

図１６は、２つの磁石（４）と強磁性を有する部品（３３）とを重ねることによって中央の着磁極が磁束通路を与える実施形態を示す。このような構造によって、アクチュエータの空間が広い場合において中央の磁石の大きさを減らし、可動部材の重さを減らすことができる。

図１７は、図１６の実施形態と類似した実施形態であり、中央に単一の磁石（４）を有し、両側に強磁性を有する２つの極部品（３３）を有している。このような構造にする目的は、可動重量を減らし、出力軸（８）の周りの可動部材（７）の重さのバランスを取ることにある。

図１０は、要求作動ストロークよりも可能ストロークが長いアクチュエータの実施形態を示す。磁気のないブロック（９）の存在により、アクチュエータを変更することなく、上記可動ストロークを上記作動ストロークまで減らすことができる。本発明のアクチュエータは、サイズに応じて、可動部材（７）とステータ（１）との間に非常に強い保持力を有すること（「接着」と呼ばれる）によって、低い電力で位置を離れる可能性を制限できる。ブロックの使用によって必要な保持力を調整し、可動部材が安定位置を離れる（「剥離」と呼ばれる）際の電流力のレベルを上げることができる。図１０の右側の可動部材（７）は、磁気のないブロック（９）に対して接着した位置にある。

また、この図１０の実施形態によって、可動部材（７）に取り付けられるような出力シャフト（８）を提案することの重要性を認識することができる。これらの出力シャフトは、図３に関して既に説明した効果に加え、間隔ＥＳが可動部材（７）の間隔ＥＯとは異なるような２つの出力を生成することができる。図１０の例では、出力シャフト（８）間の間隔ＥＳが可動部材（７）間の間隔よりも長い。また、これらの出力シャフト（８）が取り付けられることによって、間隔ＥＳの相違に加え、出力シャフト（８）の直径の相違によっても違いが示されるような、非常にフレキシブルな異なる代替品を作ることが可能になる。

図１１は、側方の複数の着磁極における、お互いとの相対位置およびステータ（１）との相対位置を用いることにより、電流の無い状態での各可動部材に対する力を異ならせることができる。図１１に示されている例は、他の可動部材（７）とは反対の方向において複数の磁石を端部に近づけるとともに、それぞれ磁石を端部から遠ざけることによって、特定の可動部材（７）に関して一方の側の接着力を他方の側の接着力よりも大きくすることを可能にする実施形態である。両方の可動部材（７）に対する、アクチュエータの単一側の力を増大させることが可能な複数の実施形態は、内部の着磁極の位置を変更することによって作り出すことが可能である。

図１２は、可動部材（７）がばね（１０）を用いて吊り下げられている実施形態を示す。これにより、選択するばね（１０）の剛性に応じて２種類のアクチュエータを得ることができる。剛性が高い場合やアクチュエータの電流力ではステータ（１）ポールの接着を維持できない場合には、単純に２倍の拮抗力を有する振動アクチュエータが得られる。あるいは、ステータ（１）ポールへの接着を妨げるほど十分には剛性が高くない場合、各可動部材（７）について３つの安定状態（２つはストロークの両側の磁気による接着を伴うものであり、１つは、ばね（１０）の弾性力による中央の位置におけるものである）を有するアクチュエータが得られる。

図１３は、電力が供給されるとすぐに各可動部材（７）の位置を特定することが可能な位置センサ（１１）を備えた実施形態を示している。本実施形態では、センサ（１１）は、アクチュエータの上部であって、コイル本体（３）と可動部材（７）との間の側部であって、フリーハウジング（１２）内の可動部材（７）の近傍に配置された、２つの磁気感応センサの形態をとる。これらの磁気感応センサは、デジタルタイプ（即ち、可動部材（７）の上側の位置と下側の位置を区別するオンオフタイプ）の形態、又は、アナログタイプ（即ち、ストローク全体に沿って可動部材の位置を特定するタイプ）をとり得る。

図１３の例では、２つの磁気感応センサが使用されており、その目的は、各可動部材（７）の位置を識別することにある。ただ１つの可動部材（７）をカバーする１つの磁気感応センサのみを使用することも想定できる。同様に、図１３の例において、両方のセンサは、互いに異なり、且つ、独立した構成部品であってもよい。また、本提案の磁気感応センサを単一の共通箱において使用すること、または、独立した数本の感度軸を有する単一のセンサを使用することが想定される。

Claims (15)

1. 各可動部材（７）が強磁性材料で形成されている少なくとも２つの独立した可動部材（７）と共に、対称軸（１５）の周りに配置された少なくとも１つの電気コイル（２）によって励磁されたステータ（１）と、上記コイル（２）の軸方向両側に位置する強磁性を有する２つのステータポール（１３、１４）と、を備えたリニア電磁アクチュエータにおいて、
   上記コイル（２）の内側に配置された少なくとも３つの着磁極（４、５）を備え、
   第１の着磁極（４）が、上記２つの可動部材（７）を隔てる正中面の近傍に位置するとともに、上記コイル（２）の上記軸（１５）を含んでおり、
   第２の着磁極及び第３の着磁極（５）が、上記可動部材（７）の水平方向両側であって、上記可動部材（７）と上記コイル（２）との間に配置されており、
   上記第１の着磁極（４）、第２の着磁極、及び、第３の着磁極（５）が、上記コイルの軸（２）に直交する方向である横方向に磁化されている、ことを特徴とするリニア電磁アクチュエータ。
2. 二重極である単一の電気制御コイル、単極である重なりあった２つのコイル、又は、同心の２つのコイルである、上記可動部材（７）が、互いに反対方向に移動する、ことを特徴とする請求項１に記載のリニア電磁アクチュエータ。
   
3. 上記第２の着磁極及び第３の着磁極が同一の方向に磁化されており、上記同一の方向は上記第１の着磁極（４）の磁化方向とは反対方向である、ことを特徴とする請求項２に記載のリニア電磁アクチュエータ。
4. 上記第２の着磁極と第３の着磁極（５）とが互いに取り付けられる、ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のリニア電磁アクチュエータ。
5. ２つのステータポールが軸方向を向いた露出部を有し、上記露出部が磁極端になっている、ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のリニア電磁アクチュエータ。
6. ２つの電気的に独立した、コイル（２）を備えている、ことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のリニア電磁アクチュエータ。
7. 上記２つのコイル（２）は、一方が他方の周りに配置されるように重なり合っている、ことを特徴とする請求項６に記載のリニア電磁アクチュエータ。
8. 永久磁石の性質を有する本体によって上記電気コイル（２）が支えられており、
   上記第２の着磁極及び第３の着磁極が、磁化された上記本体から構成されている、ことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のリニア電磁アクチュエータ。
9. 上記電気コイル（２）が軸対称形状を呈している、ことを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載のリニア電磁アクチュエータ。
10. 上記第２の着磁極及び第３の着磁極（５）が、直径方向に磁化した単一のリングとして構成されている、ことを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載のリニア電磁アクチュエータ。
11. 上記可動部材（７）のうちの少なくとも１つの位置を示す位置センサを備えている、ことを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載のリニア電磁アクチュエータ。
12. 上記可動部材（７）の近傍にあるハウジング（１２）の内部に上記位置センサが配置されている、ことを特徴とする請求項１１に記載のリニア電磁アクチュエータ。
13. 上記可動部材（７）に取り付けられている複数の出力シャフト（８）によって上記可動部材（７）が伸長している、ことを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載のリニア電磁アクチュエータ。
14. 上記可動部材（７）と上記出力シャフト（８）とが異なる材料で出来ている、ことを特徴とする請求項１３に記載のリニア電磁アクチュエータ。
15. 上記可動部材の中心軸間の間隔と上記出力シャフト（８）の中心軸間の間隔とが異なっている、ことを特徴とする請求項１３または１４に記載のリニア電磁アクチュエータ。

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