JP6825464B2 - ティーチングユニット及び天井搬送車システム - Google Patents

Description

本発明は、ティーチングユニット及び天井搬送車システムに関する。

従来の天井搬送車システムとして、被搬送物を搬送する天井搬送車と、天井搬送車により被搬送物が載置される移載部へ被搬送物を移載する際のティーチングに用いられるティーチングユニットと、を備えたシステムが知られている（例えば特許文献１参照）。このような天井搬送車システムのティーチングユニットには、移載部の位置決め部材に接触させて位置決め部材の位置を検出するタッチパネル等の検出部材（検出部）が設けられている。

特許第３４７９９６９号公報

このような天井搬送車システムでは、天井搬送車の昇降部の保持部に保持されたティーチングユニットの検出部材が位置決め部材に接触させることにより取得される情報を用いてティーチングが行われている。しかしながらこの方法では、昇降部の下降時にティーチングユニットが揺れる場合があり、正確な情報が取得できないおそれがある。そこで、ティーチングユニットの揺れを収束させるため、位置決め部材に対する接触及び離反が繰り返し行われていた。したがって、ティーチングに時間を要していた。

そこで、本発明の目的は、ティーチングに要する時間の短縮を図ることが可能になるティーチングユニット及び天井搬送車システムを提供することにある。

本発明のティーチングユニットは、被搬送物を搬送する天井搬送車を備える天井搬送車システムにおいて、天井搬送車により被搬送物が載置される移載部へ被搬送物を移載する際のティーチングに用いられるティーチングユニットであって、天井搬送車の保持部に保持される本体部と、本体部に対して鉛直方向に離接可能に設けられると共に、移載部に設置された位置決め部材に接触することで当該位置決め部材の位置を検出する検出部材と、本体部に対する検出部材の下降動作を、本体部の上昇動作よりも遅くする第一動作調整部と、を備える。

この構成のティーチングユニットでは、ティーチング時におけるティーチングユニット本体の揺れを収束させるために繰り返し実行される位置決め部材への接触及び離反動作において、第一動作調整部によって本体部に対する検出部材の下降動作が、本体部の上昇動作よりも遅くなる。これにより、第一動作調整部によって調整された検出部材の下降速度以上の速度で本体部を上昇させることができ、検出部材における位置決め部材からの離反を早めることが可能になる。この結果、ティーチングに要する時間の短縮を図ることができる。

本発明のティーチングユニットでは、第一動作調整部は、ロータリダンパであってもよい。この場合、本体部に対する検出部材の下降動作を、本体部の上昇動作よりも遅くする構成を容易に形成することができる。

本発明のティーチングユニットでは、ロータリダンパは、本体部と検出部材とが互いに接近する際の回転抵抗よりも前記本体部と前記検出部材とが互いに離反する際の回転抵抗の方が大きくなるように設定されてもよい。この場合、より確実に、本体部に対する検出部材の下降動作を、本体部の上昇動作よりも遅くすることができる。

本発明のティーチングユニットでは、本体部と検出部材との間の距離を検出する第一計測部を更に備え、第一動作調整部、検出部材、及び第一計測部を一組とする第一検知ユニットは、天井搬送車の走行方向、又は走行方向及び鉛直方向に直交する幅方向に二組配列されていてもよい。この構成のティーチングユニットでは、二組の検知ユニットによってそれぞれ計測される、位置決め部材が検出された際の本体部と検出部材との距離の差に基づいて、移載部の傾きを検出することが可能になる。これにより、より高機能なティーチングが可能になる。

本発明のティーチングユニットは、本体部に対して鉛直方向に離接可能に設けられると共に、位置決め部材の位置を検出する機能を有さない接触部材と、本体部に対する接触部材の下降動作を、本体部の上昇動作よりも遅くする第二動作調整部と、を更に備え、接触部材の本体部に対する鉛直方向への可動範囲が、検出部材の本体部に対する鉛直方向への可動範囲よりも広くてもよい。この構成のティーチングユニットは、検出部材よりも先に接触部材を位置決め部材に接触させることが可能になる。これにより、例えば、接触部材の接触を契機に、例えば天井走行車における昇降部の下降速度を減速させることが可能になる。この結果、検出部材が勢いよく位置決め部材に接触することにより、検出部材が破損されることを抑制できる。

本発明のティーチングユニットは、本体部と検出部材との距離を検出する第一計測部と、本体部と接触部材との距離を検出する第二計測部と、を更に備え、第一動作調整部、検出部材、及び第一計測部を一組とする第一検知ユニットと、第二動作調整部、接触部材、及び第二計測部を一組とする第二検知ユニットとは、天井搬送車の走行方向、又は走行方向及び鉛直方向に直交する幅方向に配列されていてもよい。この構成のティーチングユニットでは、第一検知ユニット及び第二検知ユニットによってそれぞれ計測される、位置決め部材が検出された際の本体部と検出部材との第一距離及び本体部と接触部材との第二距離の差に基づいて、移載部の傾きを検出することが可能になる。これにより、より高機能なティーチングが可能になる。

本発明の天井搬送車システムは、上記のティーチングユニットと、走行レールに沿って走行する走行部と、走行部に設けられた昇降部と、昇降部によって昇降させられ、ティーチングユニットが有するフランジ部を保持する保持部と、を有する、天井搬送車と、天井搬送車を制御する制御部と、を備え、制御部は、ティーチングユニットの検出部材が位置決め部材に対し接触及び離反を繰り返すように昇降部における昇降動作を制御する。

この構成の天井搬送車システムは、ティーチング時におけるティーチングユニット本体の揺れを収束させるために繰り返し実行される位置決め部材への接触及び離反動作において、第一動作調整部によって本体部に対する検出部材の下降動作が、本体部の上昇動作よりも遅くなる。これにより、第一動作調整部によって調整された検出部材の下降速度以上の速度で本体部を上昇させることができ、検出部材における位置決め部材からの離反を早めることが可能になる。この結果、ティーチングに要する時間の短縮を図ることができる。

本発明によれば、ティーチングに要する時間の短縮化を図ることが可能になる。

一実施形態に係るティーチングユニットを含む天井搬送車システムを示す正面図である。 図１のティーチングユニットを正面から見た斜視図である。 図１のティーチングユニットを背面から見た斜視図である。 図２の検出部材に設けられるロータリダンパを示す斜視図である。 図２のバンパープレートに設けられるロータリダンパを示す斜視図である。 図１の天井搬送車システムの機能構成を示すブロック図である。 ティーチングユニットのティーチング動作の一例を示す説明図である。 ティーチングユニットのティーチング動作の一例を示す説明図である。 ティーチングユニットのティーチング動作の一例を示す説明図である。 変形例に係る天井搬送車システムに用いられるターゲットユニットの一例を示す説明図である。

以下、図面を参照して、本発明の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

図１に示されるように、天井搬送車システム１は、走行レール２と、天井搬送車１０と、を備えている。走行レール２は、例えば、半導体デバイスが製造されるクリーンルーム内の天井付近に敷設されている。ロードポート３は、例えば、半導体ウェハに各種処理を施す処理装置に設けられている。天井搬送車１０は、走行レール２に沿って走行し、例えば、複数枚の半導体ウェハが収容されたカセット（いわゆるＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod））を被搬送物として搬送すると共に、ロードポート３において被搬送物の移載を行う。ロードポート３には、位置決めピン３Ａが設けられており、ＦＯＵＰには位置決めピン３Ａに係合する凹部が形成されている。以下、天井搬送車１０の走行方向に平行な方向をＸ方向とし、水平面に平行且つ天井搬送車１０の走行方向に垂直な方向をＹ方向とし、鉛直方向に平行な方向をＺ方向とする。

天井搬送車１０は、走行部１１と、横送り部１２と、回動部１３と、昇降部１４と、保持部１５と、コントローラ１６と、を備えている。走行部１１は、走行レール２に沿って敷設された高周波電流線から非接触で電力の供給を受けることで、走行レール２に沿って走行する。横送り部１２は、回動部１３、昇降部１４及び保持部１５をＹ方向に沿って移動させる。回動部１３は、昇降部１４及び保持部１５を水平面内において回動させる。昇降部１４は、下端部に保持部１５が取り付けられた複数本のベルト１４ａを繰り出し又は巻き取ることで、ロードポート３に対して保持部１５を昇降させる。保持部１５は、一対の爪部材１５ａを有する。保持部１５は、一対の爪部材１５ａを開閉させることにより、被搬送物を保持する。

コントローラ１６は、天井搬送車１０の各部の動作を制御する。コントローラ１６は、設定された移載条件に基づき天井搬送車１０の動作を制御し、ロードポート３へ被搬送物を移載させる。移載条件は、被搬送物をロードポート３へ移載するための制御パラメータである。例えば移載条件は、被搬送物をロードポート３への移載時における、保持部１５のＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向における各位置と、保持部１５の水平面内の回転方向における位置であるθ方向位置と、を含んでいてもよい。また、例えば移載条件は、被搬送物をロードポート３への移載時における、走行部１１のＸ方向位置（走行部１１の駆動量）と、回動部１３、昇降部１４及び保持部１５のＹ方向位置（横送り部１２の駆動量）と、昇降部１４及び保持部１５のθ方向位置（回動部１３の駆動量）と、保持部１５のＺ方向位置（昇降部１４の駆動量）と、を含んでいてもよい。移載条件は、コントローラ１６に記載されている。また、コントローラ１６は、天井搬送車１０に後段にて詳述するティーチングユニット２０が装着された際のティーチング動作も制御する。

天井搬送車システム１では、天井搬送車システム１の構築時又はメンテナンスとして定期的に、天井搬送車１０によりロードポート３へ被搬送物を移載する際の移載条件のティーチングを実施する。ティーチングとは、天井搬送車１０がロードポート３において被搬送物の移載を行うために走行部１１が走行レール２の所定位置に停止して保持部１５が所定距離下降させられた状態で、保持部１５の位置が目標位置からどれだけずれるかを知得し、天井搬送車システム１の稼働時に目標位置からのずれがなくなるように、天井搬送車１０に実施すべき動作を記憶させることである。

図２及び図３に示されるように、ティーチングユニット２０は、本体部２２と、一対の第一検知ユニット３０，３０と、第二検知ユニット４０と、第三測距センサ２７と、ティーチング制御部２９（図６参照）と、を備えている。ティーチングユニット２０は、ＦＯＵＰを搬送する天井搬送車用のユニットである。ティーチングユニット２０は、ＦＯＵＰと同等のサイズを有する。

本体部２２は、フランジ部２３と、第一本体部２４と、第二本体部２５と、を有している。フランジ部２３は、天井搬送車１０の昇降部１４で昇降される保持部１５に保持される（図１参照）。フランジ部２３は、ティーチングユニット２０の上部中央に配置されている。第一本体部２４は、Ｚ方向に延在し、第二本体部２５から立設している。第一本体部２４は、後段にて詳述する第一検知ユニット３０，３０と、第二検知ユニット４０と、が固定される。第二本体部２５は、水平方向に延在する板状部材である。第二本体部２５は、後段にて詳述する第三測距センサ２７，２７及びティーチング制御部２９が固定される。

一対の第一検知ユニット３０，３０のそれぞれは、Ｘ方向に沿って二組配置されている。図４に示されるように、第一検知ユニット３０は、支持部材３１と、リニアガイド３３と、第一規制部材３４と、タッチパネル（検出部材）３５と、第一動作調整部３６と、第一測距センサ（第一計測部）５３（図２参照）と、を有している。

支持部材３１は、本体部２２に対して離接可能に設けられている。支持部材３１は、鉛直方向に延在する鉛直支持部３１ａと、水平方向に延在する水平支持部３１ｂと、を有する。鉛直支持部３１ａは、リニアガイド３３を介して本体部２２の第二本体部２５に固定される部分であり、水平支持部３１ｂは、タッチパネル３５を支持する部分である。鉛直支持部３１ａは、第二本体部２５に設けられた貫通孔２５ａに挿通されている。リニアガイド３３は、支持部材３１を本体部２２に対しＺ方向にスライド移動可能に支持する。第一規制部材３４は、本体部２２に固定されており、リニアガイド３３による支持部材３１のＺ方向への移動を一定範囲に規制する。具体的には、第一規制部材３４は、Ｚ方向に延びる孔部３１ｃ内を移動できる範囲で、支持部材３１のＺ方向への移動を規制する。

タッチパネル３５は、本体部２２に対して離接可能に設けられた支持部材３１に固定されている。タッチパネル３５は、第二本体部２５に沿ったタッチ面を下面に有する。タッチパネル３５は、ロードポート３に設置された位置決めピン３Ａ（図１参照）の先端に接触することで当該位置決めピン３Ａの位置を検出する。

第一動作調整部３６は、本体部２２に対する支持部材３１に固定されたタッチパネル３５の下降動作を本体部２２の上昇動作よりも遅くする機構である。第一動作調整部３６は、ラック部３７と、ロータリダンパ３８と、ピニオン部３９と、を有している。ラック部３７とピニオン部３９とは、互いに歯合する。ピニオン部３９は、ロータリダンパ３８に接続されている。ロータリダンパ３８は、回転運動を行うピニオン部３９の回転を減速させる装置である。ロータリダンパ３８は、本体部２２と支持部材３１に固定されたにタッチパネル３５とが互いに接近する際に発生する回転抵抗よりも本体部２２とタッチパネル３５とが互いに離反する際に発生する回転抵抗の方が大きくなるように設定されてもよい。

第一測距センサ５３は、第二本体部２５に固定されている（図２参照）。第一測距センサ５３は、本体部２２と支持部材３１に設けられたタッチパネル３５との間の距離を検出する。第一測距センサ５３の光軸は、第二本体部２５に設けられた貫通孔２５ｂを介して上記支持部材３１の水平支持部３１ｂに交差するように配置されている。第一測距センサ５３は、測定した距離を、ティーチング制御部２９に出力する。例えば、第一測距センサ５３は、タッチパネル３５によって位置決めピン３Ａが検出された際の本体部２２とタッチパネル３５との距離をティーチング制御部２９に出力をすると共に、コントローラ１６に出力する。

第二検知ユニット４０は、図３に示されるように、一対の第一検知ユニット３０,３０が配置される方向を正面として見たとき、一対の第一検知ユニット３０,３０の後方に配置されている。第二検知ユニット４０は、一つだけ配置されている。第一検知ユニット３０と第二検知ユニット４０とは、Ｘ方向及びＺ方向に直交するＹ方向（幅方向）に配列されている。第二検知ユニット４０は、バンパープレート（接触部材）４１と、リニアガイド４３と、第二規制部材４４と、第二動作調整部４６と、第二測距センサ（第二計測部）５５（図３参照）と、を有している。

図５に示されるように、バンパープレート４１は、鉛直方向に延在する鉛直支持部４１ａと、水平方向に延在する水平支持部４１ｂと、を有する。鉛直支持部４１ａは、リニアガイド４３を介して本体部２２の第二本体部２５に固定される部分である。水平支持部４１ｂは、板状部材であり、第一検知ユニット３０のようなタッチパネル３５は固定されていない。鉛直支持部４１ａは、第二本体部２５に設けられた貫通孔２５ａに挿通されている。リニアガイド４３は、バンパープレート４１を本体部２２に対しＺ方向にスライド移動可能に支持する。第二規制部材４４は、本体部２２に固定されており、リニアガイド４３によるＺ方向への移動を一定範囲に規制する。具体的には、第二規制部材４４は、Ｚ方向に延びる孔部４１ｃ内を移動できる範囲で、バンパープレート４１のＺ方向への移動を規制する。

なお、孔部４１ｃのＺ方向の長さは、第一検知ユニット３０の支持部材３１に形成されている孔部３１ｃのＺ方向の長さよりも長い。この構成により、バンパープレート４１が固定される支持部材３１の本体部２２に対するＺ方向への可動範囲が、タッチパネル３５が固定される支持部材３１の本体部２２に対するＺ方向への可動範囲よりも広くなる。

第二動作調整部４６は、本体部２２に対するバンパープレート４１の下降動作を、本体部２２の上昇動作よりも遅くする機構である。第二動作調整部４６は、ラック部４７と、ロータリダンパ４８と、ピニオン部４９と、を有している。なお、第二動作調整部４６の動作は、第一動作調整部３６の機能と同様であるので、ここでは説明を省略する。

第二測距センサ５５は、第二本体部２５に固定されている。第二測距センサ５５は、本体部２２とバンパープレート４１との間の距離を検出する。第二測距センサ５５の光軸は、第二本体部２５に設けられた貫通孔２５ｂを介して上記バンパープレート４１の水平支持部４１ｂに交差するように配置されている。第二測距センサ５５は、測定した距離を、ティーチング制御部２９に出力する。例えば、第二測距センサ５５は、バンパープレート４１が位置決めピン３Ａに接触された際の本体部２２とバンパープレート４１との距離をティーチング制御部２９に出力をすると共にコントローラ１６に出力する。

第三測距センサ２７は、第二本体部２５に固定されており、第二本体部２５から下方に光軸が向けられている。第三測距センサ２７は、ティーチングユニット２０の下方に存在する物体との距離を計測する。第三測距センサ２７は、測定した距離を、ティーチング制御部２９に出力する。例えば、第三測距センサ２７は、本体部２２とロードポート３との距離が予め定められた距離Ｌ（図７（Ａ）参照）になったことを検知すると、その旨をティーチング制御部２９に出力をすると共にコントローラ１６に出力する。

ティーチング制御部２９は、ティーチングユニット２０の各種機能を制御する制御部である。ティーチング制御部２９は、タッチパネル３５，３５で検出した位置決めピン３Ａ（図１参照）の位置に関する情報をコントローラ１６へ出力する。具体的には、初期設定として記憶された移載条件に基づいて、天井搬送車１０がロードポート３において被搬送物の移載を行うために走行部１１が走行レール２の所定位置に停止して保持部１５が所定距離下降させられた状態で、保持部１５の位置が初期設定として記憶された移載条件からどれだけずれたか（移載条件ないし移載条件に対する補正量）を、タッチパネル３５，３５で検出した位置決めピン３Ａ（図１参照）の位置に関する情報から算出し、当該補正量をコントローラ１６へ出力する。

また、本実施系形態の天井搬送車システム１では、後段にて詳述するとおり、ティーチングユニット２０におけるタッチパネル３５への接触と離反とを繰り返す動作（以下、単に「繰り返し動作」と称する。）が実行される。ティーチング制御部２９は、当該繰り返し動作が複数回繰り返し実施された後、当該検出結果に基づいて、移載条件ないし移載条件に対する補正量を算出する。繰り返し動作は、第一測距センサ５３、第二測距センサ５５、第三測距センサ２７、及び一対のタッチパネル３５，３５による検出結果に基づいて、コントローラ１６が昇降部１４を制御することによって実行される。

また、本実施形態のティーチングユニット２０では、一対のタッチパネル３５，３５及びバンパープレート４１が位置決めピン３Ａに接触した際の本体部２２と一対のタッチパネル３５，３５のそれぞれとの距離Ｌ１，Ｌ２、及び本体部２２とバンパープレート４１との距離Ｌ３が、第一測距センサ５３及び第二測距センサ５５により取得される。ティーチング制御部２９は、Ｘ方向に配列される距離Ｌ１，Ｌ２、又はＹ方向に配列される距離Ｌ１及び距離Ｌ３、又は距離Ｌ２及び距離Ｌ３に基づいて、本体部２２に対するロードポート３の相対的な傾斜角度（水平面内におけるＸ軸周り又はＹ軸周りの傾き）を公知の方法から算出することができる。

次に、上記天井搬送車システム１においてティーチングを行う際の動作について主に図７〜９を用いて説明する。なお、図７〜９は、天井搬送車１０によって吊り下げられた状態のティーチングユニット２０を、Ｘ方向から見た状態を示している。すなわち、紙面奥行方向に、タッチパネル３５，３５が配列されている。

上記実施形態の天井搬送車システム１では、天井搬送車１０の昇降部１４の保持部１５に保持されたティーチングユニット２０のタッチパネル３５，３５を位置決めピン３Ａに接触させることにより取得される情報を用いてティーチングが行われる。しかしながらこの方法では、昇降部１４の下降時にティーチングユニット２０が揺れる場合があるので、この揺れを収束させるため、ティーチングユニット２０におけるタッチパネル３５への接触と離反とを繰り返す動作（以下、単に「繰り返し動作」と称する。）が実行される。以下、繰り返し動作について詳細に説明する。なお、タッチパネル３５の上昇動作及び下降動作は、実際には、タッチパネル３５を支持する支持部材３１の上昇動作及び下降動作によるものであるが、以下、説明の便宜のためタッチパネル３５の上昇動作及び下降動作として説明する。

コントローラ１６は、ティーチングの対象となるロードポート３の上方に停止させる。このとき、コントローラ１６は、初期設定として記憶された移載条件（走行部１１のＸ方向位置）を用いて天井搬送車１０をロードポート３の上方に停止する。次に、コントローラ１６は、図７（Ａ）に示されるように、ティーチングユニット２０をロードポート３に載置させるために昇降部１４を下降させる。この場合も、コントローラ１６は、初期設定として記憶された移載条件（回動部１３、昇降部１４及び保持部１５のＹ方向位置と、昇降部１４及び保持部１５のθ方向位置と、保持部１５のＺ方向位置）を用いて天井搬送車１０の横送り部１２、回動部１３、及び昇降部１４を制御する。

コントローラ１６は、図７（Ａ）に示されるように、第三測距センサ２７によってティーチングユニット２０の本体部２２とロードポート３との距離が距離Ｌになったことが検知されると、昇降部１４の下降速度を切り替える。具体的には、コントローラ１６は、通常速度（昇降部１４における通常の下降速度）Ｖ０よりも遅い第一速度Ｖ１に切り替える。

次に、コントローラ１６は、図７（Ｂ）に示されるように、バンパープレート４１がロードポート３の位置決めピン３Ａに接触したことを検知すると、昇降部１４の下降速度を切り替える。具体的には、コントローラ１６は、第一速度Ｖ１よりも遅い第二速度Ｖ２に切り替える。なお、バンパープレート４１の位置決めピン３Ａへの接触は、第二測距センサ５５の距離の検知量の変化に基づいて判定することができる。

次に、コントローラ１６は、図７（Ｃ）に示されるように、一対のタッチパネル３５，３５の両方が、ロードポート３の位置決めピン３Ａに接触するまで、第二速度Ｖ２で昇降部１４を下降させる。コントローラ１６は、一対のタッチパネル３５，３５の両方が、ロードポート３の位置決めピン３Ａに接触されたことを検知すると、昇降部１４を第三速度Ｖ３で上昇させる。このとき、一対のタッチパネル３５，３５の両方は、位置決めピン３Ａに接触することで得られた当該位置決めピン３Ａの位置情報をティーチング制御部２９に出力する。次に、コントローラ１６は、昇降部１４を所定距離上昇させる。コントローラ１６は、上述したようなティーチングユニット２０に対する下降及び上昇の動作（繰り返し動作）を繰り返すように昇降部１４を制御する。

上述した繰り返し動作において従来のティーチングユニット２０Ａを使用した場合には、ティーチング時間が増大する下記に示す問題があった。まず、従来のティーチングユニット２０Ａを使用した場合の動作について説明する。

従来のティーチングユニット２０Ａにおいて、図８（Ａ）に示されるように、一対のタッチパネル３５Ａ，３５Ａ及びバンパープレート４１Ａの両方が位置決めピン３Ａに接触した状態から昇降部１４が上昇すると、図８（Ｂ）に示されるように、まずは、本体部２２が上昇する。続けて、図８（Ｃ）に示されるように、一対のタッチパネル３５Ａ，３５Ａが上昇し、図８（Ｄ）に示されるように、バンパープレート４１Ａが追随して上昇する。これは、上述したとおり、下降動作時にバンパープレート４１Ａを先に位置決めピン３Ａに接触させようとする構成上、バンパープレート４１Ａの本体部２２に対する可動範囲が、一対のタッチパネル３５Ａ，３５Ａの本体部２２Ａに対する可動範囲よりも広いからである。そして、一対のタッチパネル３５Ａ，３５Ａ及びバンパープレート４１Ａの両方が十分にロードポート３から上昇した時点で、上述したとおりの下降動作を再び開始して、図８（Ｅ）に示されるように、バンパープレート４１Ａを一対のタッチパネル３５Ａ，３５Ａよりも先に位置決めピン３Ａに接触させる動作を繰り返す。

このように、上記従来のティーチングユニット２０Ａを使用した場合の繰り返し動作では、一対のタッチパネル３５Ａ，３５Ａが上昇した後、図８（Ｄ）に示されるように、バンパープレート４１Ａが追随して上昇するので、再びティーチングユニット２０Ａを下降させるためには、遅れたタイミングで上昇してくる一対のタッチパネル３５Ａ，３５Ａの上昇を待つ必要があった。

この点、上記実施形態のティーチングユニット２０では、一対のタッチパネル３５，３５が、本体部２２に対するタッチパネル３５の下降動作を本体部２２の上昇動作よりも遅くする第一動作調整部３６を介して本体部２２に固定され、バンパープレート４１が、本体部２２に対するバンパープレート４１の下降動作を本体部２２の上昇動作よりも遅くする第二動作調整部４６を介して本体部２２に固定されている。このため、図９（Ａ）に示されるように、一対のタッチパネル３５，３５及びバンパープレート４１が位置決めピン３Ａに接触した状態から、図９（Ｂ）に示されるように、本体部２２を上昇させる場合において、一対のタッチパネル３５，３５及びバンパープレート４１が本体部２２から下降することを抑制できる。このように、上記実施形態のティーチングユニット２０では、一対のタッチパネル３５，３５が、遅れたタイミングで上昇してくることがない。したがって、再びティーチングユニット２０を下降させる際に、一対のタッチパネル３５Ａ，３５Ａの上昇を待つ必要がなくなる。このため、ティーチングに要する時間を短縮することができる。

この構成のティーチングユニット２０では、上記の繰り返し動作において、第一動作調整部３６によって本体部２２に対するタッチパネル３５の下降動作が、本体部２２の上昇動作よりも遅くなる。これにより、第一動作調整部３６によって調整されたタッチパネル３５の下降速度以上の速度で本体部２２を上昇させることができ、タッチパネル３５のロードポート３（位置決めピン３Ａ）からの離反を早めることが可能になる。この結果、ティーチングに要する時間の短縮を図ることができる。

また、上記構成のティーチングユニット２０では、一対の第一検知ユニット３０，３０に第一動作調整部３６及び第二検知ユニット４０に第二動作調整部４６を設けたことにより、繰り返し動作時の上昇動作時に、一対のタッチパネル３５，３５及びバンパープレート４１が略同一のタイミングで位置決めピン３Ａから離反する。これにより、ティーチングユニット２０から離反する際に発生する新たな揺れの発生を抑制できる。

上記実施形態では、第一検知ユニット３０，３０がＸ方向に配列されているので、二組の第一検知ユニット３０，３０によって計測される、タッチパネル３５によって位置決めピン３Ａが検出された際の本体部２２とタッチパネル３５との距離Ｌ１，Ｌ２の差に基づいて、本体部２２に対するロードポート３の相対的な傾斜角度が算出可能となっている。これにより、より高機能なティーチングが可能になる。

上記実施形態では、ティーチング時にタッチパネル３５よりも先に位置決めピン３Ａに接触させるバンパープレート４１が配置されている。これにより、バンパープレート４１の接触を契機に、天井搬送車１０における昇降部１４の下降速度を減速させることが可能になる。この結果、タッチパネル３５が勢いよく位置決めピン３Ａに接触することにより、タッチパネルが破損されることを抑制できる。更に、本実施形態では、当該バンパープレート４１が、本体部２２に対するバンパープレート４１の下降動作が、本体部２２の上昇動作よりも遅くなるように調整可能な第二動作調整部４６を有している。このため、第二動作調整部４６によって調整されたバンパープレート４１の下降速度以上の速度で本体部２２を上昇させることができ、バンパープレート４１のロードポート３（位置決めピン３Ａ）からの離反動作を早めることが可能になる。この結果、ティーチングに要する時間の短縮を図ることができる。

上記実施形態では、第一検知ユニット３０の一方と第二検知ユニット４０がＹ方向に配列されているので、第一検知ユニット３０及び第二検知ユニット４０によって計測される、タッチパネル３５によって位置決めピン３Ａが検出された際の本体部２２とタッチパネル３５との距離Ｌ１（Ｌ２）及び距離Ｌ３の差に基づいて、本体部２２に対するロードポート３の相対的な傾斜角度が算出可能となっている。これにより、より高機能なティーチングが可能になる。

以上、一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

上記実施形態では、本体部２２に対する支持部材３１に固定されたタッチパネル３５の下降動作を本体部２２の上昇動作よりも遅くする機構の一つとしてロータリダンパ３８を用いた例を挙げて説明したが、これに代え、例えば、一方向に移動する場合と、一方向に反対方向の他方向への移動する場合とで作用する抵抗が互いに異なるオイルダンパ又は逆流防止弁を有するエアシリンダ等を用いてもよい。

また、ラック部３７（４７）とピニオン部３９（４９）との歯合により、ピニオン部３９（４９）の回転の回転に対し、本体部２２に対するタッチパネル３５（バンパープレート４１）の下降動作を、本体部２２の上昇動作よりも遅くするような抵抗を付与することができれば、必ずしもロータリダンパ３８（４８）を配置する必要はない。

上記実施形態又は変形例では、検出部材としてのタッチパネル３５がＸ方向（走行方向）に配列されている例を挙げて説明したが、タッチパネル３５は一枚であってもよいし、Ｙ方向（走行方向及び鉛直方向に直交する幅方向）に配列されてもよい。また、タッチパネル３５がＹ方向に配列される場合には、タッチパネル３５とバンパープレート４１とはＸ方向に配列されてもよい。

上記実施形態又は変形例では、バンパープレート４１を備える例を挙げて説明したが、バンパープレート４１を備えないティーチングユニットとして構成してもよい。

上記実施形態又は変形例では、ロードポート３に設けられた位置決めピン３Ａを、ティーチング時の位置決め部材として用いた例を挙げて説明したが、例えば、図１０に示されるような、位置決めピン９０Ａを有するターゲットプレート９０を用いても良い。

１…天井搬送車システム、３…ロードポート、３Ａ…位置決めピン、１０…天井搬送車、１４…昇降部、１５…保持部、１６…コントローラ、２０…ティーチングユニット、２２…本体部、２３…フランジ部、２７…第三測距センサ、２９…ティーチング制御部、３０…第一検知ユニット、３１…支持部材、３３…リニアガイド、３４…第一規制部材、３５…タッチパネル、３６…第一動作調整部、４０…第二検知ユニット、４１…バンパープレート、４６…第二動作調整部、５３…第一測距センサ（第一計測部）、５５…第二測距センサ。

Claims (7)

1. 被搬送物を搬送する天井搬送車を備える天井搬送車システムにおいて、前記天井搬送車により前記被搬送物が載置される移載部へ前記被搬送物を移載する際のティーチングに用いられるティーチングユニットであって、
   前記天井搬送車の保持部に保持される本体部と、
   前記本体部に対して鉛直方向に離接可能に設けられると共に、前記移載部に設置された位置決め部材に接触することで当該位置決め部材の位置を検出する検出部材と、
   前記本体部に対する前記検出部材の下降動作を、前記本体部の上昇動作よりも遅くする第一動作調整部と、を備える、ティーチングユニット。
2. 前記第一動作調整部は、ロータリダンパである、請求項１記載のティーチングユニット。
3. 前記ロータリダンパは、前記本体部と前記検出部材とが互いに接近する際に発生する回転抵抗よりも前記本体部と前記検出部材とが互いに離反する際に発生する回転抵抗の方が大きくなるように設定されている、請求項２記載のティーチングユニット。
4. 前記本体部と前記検出部材との間の距離を検出する第一計測部を更に備え、
   前記第一動作調整部、前記検出部材、及び前記第一計測部を一組とする第一検知ユニットは、前記天井搬送車の走行方向、又は前記走行方向及び鉛直方向に直交する幅方向に二組配列されている、請求項１〜３の何れか一項記載のティーチングユニット。
5. 前記本体部に対して鉛直方向に離接可能に設けられると共に、前記位置決め部材の位置を検出する機能を有さない接触部材と、
   前記本体部に対する前記接触部材の下降動作を、前記本体部の上昇動作よりも遅くする第二動作調整部と、を更に備え、
   前記接触部材の前記本体部に対する鉛直方向への可動範囲が、前記検出部材の前記本体部に対する前記鉛直方向への可動範囲よりも広い、請求項１〜３の何れか一項記載のティーチングユニット。
6. 前記本体部と前記検出部材との距離を検出する第一計測部と、
   前記本体部と前記接触部材との距離を検出する第二計測部と、を更に備え、
   前記第一動作調整部、前記検出部材、及び前記第一計測部を一組とする第一検知ユニットと、前記第二動作調整部、前記接触部材、及び前記第二計測部を一組とする第二検知ユニットとは、前記天井搬送車の走行方向、又は前記走行方向及び鉛直方向に直交する幅方向に配列されている、請求項５記載のティーチングユニット。
7. 請求項１〜６の何れか一項記載のティーチングユニットと、
   走行レールに沿って走行する走行部と、前記走行部に設けられた昇降部と、前記昇降部によって昇降させられ、前記ティーチングユニットが有するフランジ部を保持する保持部と、を有する、天井搬送車と、
   前記天井搬送車を制御する制御部と、を備え、
   前記制御部は、前記ティーチングユニットの前記検出部材が前記位置決め部材に対し接触及び離反を繰り返すように前記昇降部における昇降動作を制御する、天井搬送車システム。

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