JPH11349280A - 懸垂式搬送装置 - Google Patents
懸垂式搬送装置Info
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- JPH11349280A JPH11349280A JP10157546A JP15754698A JPH11349280A JP H11349280 A JPH11349280 A JP H11349280A JP 10157546 A JP10157546 A JP 10157546A JP 15754698 A JP15754698 A JP 15754698A JP H11349280 A JPH11349280 A JP H11349280A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- unit
- hand
- teaching
- hand unit
- stop position
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G17/00—Conveyors having an endless traction element, e.g. a chain, transmitting movement to a continuous or substantially-continuous load-carrying surface or to a series of individual load-carriers; Endless-chain conveyors in which the chains form the load-carrying surface
- B65G17/20—Conveyors having an endless traction element, e.g. a chain, transmitting movement to a continuous or substantially-continuous load-carrying surface or to a series of individual load-carriers; Endless-chain conveyors in which the chains form the load-carrying surface comprising load-carriers suspended from overhead traction chains
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H10P72/3221—Overhead conveying
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10P72/3222—Loading to or unloading from a conveyor
-
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- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
- H10P72/53—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment using optical controlling means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control And Safety Of Cranes (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 荷物を把持するハンド部を昇降可能に吊り下
げた移動台車と，上記移動台車に対して，上記荷物が載
置される載置台上の所定の停止位置を教示する教示手段
とを具備してなる懸垂式搬送装置において，人手を要す
ることなく自動的に，正確且つ短時間で位置補正データ
の教示を行うことを可能にする。 【解決手段】 ハンド部６にＬＥＤ７ａ，７ｂを，載置
台５３側に集光レンズ１２ａとＰＳＤ１２ｂとよりなる
位置検出部１２をそれぞれ設ける。また，上記位置検出
部１２で得られた上記載置台に対する上記ハンド部の相
対位置に基づいて，現在の停止位置と上記所定の停止位
置とのズレ量を検出し，上記移動台車に例えば無線にて
教示する教示部１３を設置する。これにより，オペレー
タが実際にハンド部を動作させて教示を行う必要がな
く，正確且つ短時間で位置補正データの教示を行うこと
が可能となる。
げた移動台車と，上記移動台車に対して，上記荷物が載
置される載置台上の所定の停止位置を教示する教示手段
とを具備してなる懸垂式搬送装置において，人手を要す
ることなく自動的に，正確且つ短時間で位置補正データ
の教示を行うことを可能にする。 【解決手段】 ハンド部６にＬＥＤ７ａ，７ｂを，載置
台５３側に集光レンズ１２ａとＰＳＤ１２ｂとよりなる
位置検出部１２をそれぞれ設ける。また，上記位置検出
部１２で得られた上記載置台に対する上記ハンド部の相
対位置に基づいて，現在の停止位置と上記所定の停止位
置とのズレ量を検出し，上記移動台車に例えば無線にて
教示する教示部１３を設置する。これにより，オペレー
タが実際にハンド部を動作させて教示を行う必要がな
く，正確且つ短時間で位置補正データの教示を行うこと
が可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，例えば半導体クリ
ーンルーム等で半導体ウェーハ等の搬送を行う懸垂式搬
送装置に係り，詳しくは，荷物を把持するハンド部を昇
降可能に吊り下げた移動台車と，上記移動台車に対し
て，上記荷物が載置される載置台の真上の所定の停止位
置を教示する教示手段とを具備してなる懸垂式搬送装置
に関するものである。
ーンルーム等で半導体ウェーハ等の搬送を行う懸垂式搬
送装置に係り，詳しくは，荷物を把持するハンド部を昇
降可能に吊り下げた移動台車と，上記移動台車に対し
て，上記荷物が載置される載置台の真上の所定の停止位
置を教示する教示手段とを具備してなる懸垂式搬送装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体クリーンルームなどでは，
半導体デバイスの製造に際し，装置と装置，装置とスト
ッカなどの間で頻繁に半導体ウェーハの搬送が行われ
る。このような半導体ウェーハの搬送を行う装置の一つ
として，荷物を吊り下げた移動台車を軌道に沿って走行
させる懸垂式搬送装置（以下，ＯＨＴ:Overhead hoist
transferという）が近年特に注目されている。以下，一
般的な半導体クリーンルーム内で用いられるＯＨＴにつ
いて説明する。図５は，一般的なＯＨＴが設置された半
導体クリーンルームの様子を示している。同図に示す半
導体クリーンルーム内には，複数のプロセス処理装置５
１とストッカ５２が並べられており，それぞれのプロセ
ス処理装置５１やストッカ５２にはウェーハキャリアＷ
（荷物の一例）を載置するロードポート５３（載置台の
一例）が設置されている。また，天井付近には，上記プ
ロセス処理装置５１やストッカ５２の間でウェーハキャ
リアＷを搬送するＯＨＴ６１が設置されている。上記Ｏ
ＨＴ６１は，上記プロセス処理装置５１やストッカ５２
を接続するように天井付近に配設された軌道６２と，上
記軌道６２に沿って走行する移動台車６３と，上記移動
台車６３から懸垂材６４によって吊り下げられたハンド
部６５などから構成されている（図６参照）。上記ハン
ド部６５は，上記移動台車６３内に設けられた図示しな
い巻き取り装置による上記懸垂材６４の巻き取り／繰り
出しにより昇降する。
半導体デバイスの製造に際し，装置と装置，装置とスト
ッカなどの間で頻繁に半導体ウェーハの搬送が行われ
る。このような半導体ウェーハの搬送を行う装置の一つ
として，荷物を吊り下げた移動台車を軌道に沿って走行
させる懸垂式搬送装置（以下，ＯＨＴ:Overhead hoist
transferという）が近年特に注目されている。以下，一
般的な半導体クリーンルーム内で用いられるＯＨＴにつ
いて説明する。図５は，一般的なＯＨＴが設置された半
導体クリーンルームの様子を示している。同図に示す半
導体クリーンルーム内には，複数のプロセス処理装置５
１とストッカ５２が並べられており，それぞれのプロセ
ス処理装置５１やストッカ５２にはウェーハキャリアＷ
（荷物の一例）を載置するロードポート５３（載置台の
一例）が設置されている。また，天井付近には，上記プ
ロセス処理装置５１やストッカ５２の間でウェーハキャ
リアＷを搬送するＯＨＴ６１が設置されている。上記Ｏ
ＨＴ６１は，上記プロセス処理装置５１やストッカ５２
を接続するように天井付近に配設された軌道６２と，上
記軌道６２に沿って走行する移動台車６３と，上記移動
台車６３から懸垂材６４によって吊り下げられたハンド
部６５などから構成されている（図６参照）。上記ハン
ド部６５は，上記移動台車６３内に設けられた図示しな
い巻き取り装置による上記懸垂材６４の巻き取り／繰り
出しにより昇降する。
【０００３】図７は，上記ＯＨＴ６１を構成する軌道６
２，移動台車６３と上記プロセス処理装置５１やストッ
カ５２のロードポート５３との位置関係を示した断面図
である。同図に示すように，上記軌道６２は，上記ロー
ドポート５３上に載置されるウェーハキャリアＷの中心
位置と上記ハンド部６５の中心位置とがほぼ一致するよ
うに配設されるが，それら２つの中心位置を厳密に一致
させることは難しく，実際には幾らかの位置ズレが生じ
ることも多い。これは，軌道６２に沿った方向のズレ
（停止位置のズレ）についても同様である。しかしなが
ら，そのような位置ズレが生じた状態では，上記ハンド
部６５によるウェーハキャリアＷの把持動作や載置動作
を正確に行うことができない。そこで，上記移動台車６
３には，上記懸垂材６４及びハンド部６５をＸ，Ｙ方向
（水平面内の２方向），及びθ方向（水平面内回転方
向）に微小移動させる位置補正装置６６が取り付けられ
ている。この位置補正装置６６は，各プロセス処理装置
５１やストッカ５２毎に予め教示された位置補正データ
に基づいて動作する。ここで，上記位置補正データの教
示は，オペレータがティーチングボックスを操作して例
えば無線（電波，赤外線など）で上記位置補正装置６６
を実際に動作させて上記ハンド部６５の中心位置を上記
ウェーハキャリアＷの中心位置に正確に位置決めするこ
とによって行われる。具体的には，例えば次のような手
順で行われる。尚，ここで教示される位置補正データに
は，上記Ｘ，Ｙ，θ方向の位置補正量の他，Ｚ方向（鉛
直方向）の動作量（ハンド部６５の昇降量）も含まれる
ものとする。 ティーチングボックスを操作して所定のロードポー
ト５３上に移動台車６３を停止させる。この時，上記移
動台車６３は，例えば上記軌道６２上の所定位置に設け
られたストップマークを読み取って自動停止する（この
時のハンド部の座標を（Ｘ0 ，Ｙ0 ，Ｚ0 ，θ0 ）とす
る）。 ティーチングボックスを操作してハンド部６５を
Ｘ，Ｙ，Ｚ，θ方向に移動させ，ウェーハキャリアＷを
ロードポート５３上に載置したり，或いはウェーハキャ
リアＷをロードポート５３から取り上げたりする位置に
位置決めする（位置決め後のハンド部の座標を（Ｘi ，
Ｙi ，Ｚi ，θi ）とする）。 （Ｘi −Ｘ0 ，Ｙi −Ｙ0 ，Ｚi −Ｚ0 ，θi −θ
0 ）を算出し，これを位置補正データとして移動台車６
３内のメモリに記憶させる。以上のような手順を，各移
動台車毎，各ロードポート毎に繰り返すことにより位置
補正データの教示が行われる。
２，移動台車６３と上記プロセス処理装置５１やストッ
カ５２のロードポート５３との位置関係を示した断面図
である。同図に示すように，上記軌道６２は，上記ロー
ドポート５３上に載置されるウェーハキャリアＷの中心
位置と上記ハンド部６５の中心位置とがほぼ一致するよ
うに配設されるが，それら２つの中心位置を厳密に一致
させることは難しく，実際には幾らかの位置ズレが生じ
ることも多い。これは，軌道６２に沿った方向のズレ
（停止位置のズレ）についても同様である。しかしなが
ら，そのような位置ズレが生じた状態では，上記ハンド
部６５によるウェーハキャリアＷの把持動作や載置動作
を正確に行うことができない。そこで，上記移動台車６
３には，上記懸垂材６４及びハンド部６５をＸ，Ｙ方向
（水平面内の２方向），及びθ方向（水平面内回転方
向）に微小移動させる位置補正装置６６が取り付けられ
ている。この位置補正装置６６は，各プロセス処理装置
５１やストッカ５２毎に予め教示された位置補正データ
に基づいて動作する。ここで，上記位置補正データの教
示は，オペレータがティーチングボックスを操作して例
えば無線（電波，赤外線など）で上記位置補正装置６６
を実際に動作させて上記ハンド部６５の中心位置を上記
ウェーハキャリアＷの中心位置に正確に位置決めするこ
とによって行われる。具体的には，例えば次のような手
順で行われる。尚，ここで教示される位置補正データに
は，上記Ｘ，Ｙ，θ方向の位置補正量の他，Ｚ方向（鉛
直方向）の動作量（ハンド部６５の昇降量）も含まれる
ものとする。 ティーチングボックスを操作して所定のロードポー
ト５３上に移動台車６３を停止させる。この時，上記移
動台車６３は，例えば上記軌道６２上の所定位置に設け
られたストップマークを読み取って自動停止する（この
時のハンド部の座標を（Ｘ0 ，Ｙ0 ，Ｚ0 ，θ0 ）とす
る）。 ティーチングボックスを操作してハンド部６５を
Ｘ，Ｙ，Ｚ，θ方向に移動させ，ウェーハキャリアＷを
ロードポート５３上に載置したり，或いはウェーハキャ
リアＷをロードポート５３から取り上げたりする位置に
位置決めする（位置決め後のハンド部の座標を（Ｘi ，
Ｙi ，Ｚi ，θi ）とする）。 （Ｘi −Ｘ0 ，Ｙi −Ｙ0 ，Ｚi −Ｚ0 ，θi −θ
0 ）を算出し，これを位置補正データとして移動台車６
３内のメモリに記憶させる。以上のような手順を，各移
動台車毎，各ロードポート毎に繰り返すことにより位置
補正データの教示が行われる。
【０００４】続いて，上記ＯＨＴ６１による搬送動作の
手順を簡単に説明する。 空の移動台車６３を，指示されたプロセス処理装置
５１若しくはストッカ５２（搬送元）の上方まで走行さ
せ，所定の停止点で停止させる。 予め教示された位置補正データに基づいて上記位置
補正装置６６を動作させ，上記ハンド部６５の中心位置
とロードポート５３上のウェーハキャリアＷの中心位置
とを一致させる。 上記ハンド部６５を降下させて上記ロードポート５
３上のウェーハキャリアＷを把持させた後，上記ハンド
部６５を上昇させる。 指示されたプロセス処理装置５１若しくはストッカ
５２（搬送先）の上方まで上記移動台車６３を走行さ
せ，所定の停止点で停止させる。 予め教示された位置補正データに基づいて上記位置
補正装置６６を動作させ，上記ハンド部６５の中心位置
とロードポート５３上のウェーハキャリアＷの中心位置
とを一致させる。 上記ハンド部６５を降下させて，上記ハンド部６５
で把持されているウェーハキャリアＷをロードポート５
３上に載置した後，上記ハンド部６５を上昇させる。
手順を簡単に説明する。 空の移動台車６３を，指示されたプロセス処理装置
５１若しくはストッカ５２（搬送元）の上方まで走行さ
せ，所定の停止点で停止させる。 予め教示された位置補正データに基づいて上記位置
補正装置６６を動作させ，上記ハンド部６５の中心位置
とロードポート５３上のウェーハキャリアＷの中心位置
とを一致させる。 上記ハンド部６５を降下させて上記ロードポート５
３上のウェーハキャリアＷを把持させた後，上記ハンド
部６５を上昇させる。 指示されたプロセス処理装置５１若しくはストッカ
５２（搬送先）の上方まで上記移動台車６３を走行さ
せ，所定の停止点で停止させる。 予め教示された位置補正データに基づいて上記位置
補正装置６６を動作させ，上記ハンド部６５の中心位置
とロードポート５３上のウェーハキャリアＷの中心位置
とを一致させる。 上記ハンド部６５を降下させて，上記ハンド部６５
で把持されているウェーハキャリアＷをロードポート５
３上に載置した後，上記ハンド部６５を上昇させる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のＯＨＴ６１
では，上述したような方法でオペレータの手で各ロード
ポート５３毎に上記位置補正データを教示する必要があ
るため，その教示作業に必要な時間とマンパワーは莫大
なものであった。例えば，通常ベイと呼ばれる工程（長
さ２０〜３０ｍ）の場合，通常３０台前後（１５〜４０
台）のプロセス処理装置があるため，例えば移動台車が
３台あるとすると，位置補正データの教示回数は， ３（台車数）×３０（装置数）×２（ポート数）×２
（積み／降ろし）＝３６０（回） となる。更に上記のようなベイが１０ベイ存在すると教
示回数は３６００回となり，１回の教示作業に１０分か
かると考えると，教示作業にのべ６００時間もの莫大な
時間が必要であった。また，この長時間の間，移動台車
毎に１〜２人のオペレータが常に作業を行う必要があっ
た。本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり，そ
の目的とするところは，人手を要することなく自動的
に，正確且つ短時間で位置補正データの教示を行うこと
が可能な懸垂式搬送装置を提供することである。
では，上述したような方法でオペレータの手で各ロード
ポート５３毎に上記位置補正データを教示する必要があ
るため，その教示作業に必要な時間とマンパワーは莫大
なものであった。例えば，通常ベイと呼ばれる工程（長
さ２０〜３０ｍ）の場合，通常３０台前後（１５〜４０
台）のプロセス処理装置があるため，例えば移動台車が
３台あるとすると，位置補正データの教示回数は， ３（台車数）×３０（装置数）×２（ポート数）×２
（積み／降ろし）＝３６０（回） となる。更に上記のようなベイが１０ベイ存在すると教
示回数は３６００回となり，１回の教示作業に１０分か
かると考えると，教示作業にのべ６００時間もの莫大な
時間が必要であった。また，この長時間の間，移動台車
毎に１〜２人のオペレータが常に作業を行う必要があっ
た。本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり，そ
の目的とするところは，人手を要することなく自動的
に，正確且つ短時間で位置補正データの教示を行うこと
が可能な懸垂式搬送装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は，荷物を把持するハンド部を昇降可能に吊り
下げた移動台車と，上記移動台車に対して，上記荷物が
載置される載置台上の所定の停止位置を教示する教示手
段とを具備してなる懸垂式搬送装置において，上記ハン
ド部側若しくは上記載置台側に設けられた所定の特徴部
と，上記載置台側若しくは上記ハンド部側に設けられ，
上記所定の特徴部の位置を検出する位置検出手段と，上
記位置検出手段で得られた上記載置台に対する上記ハン
ド部の相対位置に基づいて，現在の停止位置と上記所定
の停止位置とのズレ量を検出する停止位置ズレ量検出手
段とを具備し，上記教示手段が，上記停止位置ズレ量検
出手段で得られた上記ズレ量に基づいて上記停止位置を
教示してなることを特徴とする懸垂式搬送装置として構
成されている。また，上記所定の特徴部を，上記ハンド
部に把持された荷物に設置すれば，教示時以外は容易に
取り外すことができる。上記位置検出手段と上記所定の
特徴部との組み合わせとしては，例えば２次元位置検出
素子と発光体，或いはＣＣＤカメラと認識マーク等が考
えられる。更に，上記ハンド部の制振制御を行う制振制
御手段を具備すれば，ハンド部の振れを短時間で減衰さ
せることができ，教示作業の迅速化が可能となる。
に本発明は，荷物を把持するハンド部を昇降可能に吊り
下げた移動台車と，上記移動台車に対して，上記荷物が
載置される載置台上の所定の停止位置を教示する教示手
段とを具備してなる懸垂式搬送装置において，上記ハン
ド部側若しくは上記載置台側に設けられた所定の特徴部
と，上記載置台側若しくは上記ハンド部側に設けられ，
上記所定の特徴部の位置を検出する位置検出手段と，上
記位置検出手段で得られた上記載置台に対する上記ハン
ド部の相対位置に基づいて，現在の停止位置と上記所定
の停止位置とのズレ量を検出する停止位置ズレ量検出手
段とを具備し，上記教示手段が，上記停止位置ズレ量検
出手段で得られた上記ズレ量に基づいて上記停止位置を
教示してなることを特徴とする懸垂式搬送装置として構
成されている。また，上記所定の特徴部を，上記ハンド
部に把持された荷物に設置すれば，教示時以外は容易に
取り外すことができる。上記位置検出手段と上記所定の
特徴部との組み合わせとしては，例えば２次元位置検出
素子と発光体，或いはＣＣＤカメラと認識マーク等が考
えられる。更に，上記ハンド部の制振制御を行う制振制
御手段を具備すれば，ハンド部の振れを短時間で減衰さ
せることができ，教示作業の迅速化が可能となる。
【０００７】
【作用】本発明に係る懸垂式搬送装置によれば，移動台
車に対する停止位置の教示に際し，停止検出手段（例え
ば２次元位置検出素子）によって上記所定の特徴部（例
えば発光体）の相対位置が検出され，それに基づいて，
停止位置ズレ量検出手段により，現在の停止位置と上記
所定の停止位置とのズレ量，即ち停止位置の補正量が自
動的に求められ，教示される。従って，オペレータが実
際にハンド部を動作させて教示を行う必要がなく，正確
且つ短時間で位置補正データの教示を行うことが可能と
なる。
車に対する停止位置の教示に際し，停止検出手段（例え
ば２次元位置検出素子）によって上記所定の特徴部（例
えば発光体）の相対位置が検出され，それに基づいて，
停止位置ズレ量検出手段により，現在の停止位置と上記
所定の停止位置とのズレ量，即ち停止位置の補正量が自
動的に求められ，教示される。従って，オペレータが実
際にハンド部を動作させて教示を行う必要がなく，正確
且つ短時間で位置補正データの教示を行うことが可能と
なる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下添付図面を参照して，本発明
の実施の形態及び実施例につき説明し，本発明の理解に
供する。尚，以下の実施の形態及び実施例は本発明を具
体化した一例であって，本発明の技術的範囲を限定する
性格のものではない。ここに，図１は本発明の実施の形
態に係るＯＨＴ１の概略構成を示す模式図，図２は上記
ＯＨＴ１の教示部１３の概略構成を示すブロック図，図
３はハンド部６の位置姿勢の説明図，図４は上記ＯＨＴ
１の昇降部位置制御装置２０の概略構成を示すブロック
図である。
の実施の形態及び実施例につき説明し，本発明の理解に
供する。尚，以下の実施の形態及び実施例は本発明を具
体化した一例であって，本発明の技術的範囲を限定する
性格のものではない。ここに，図１は本発明の実施の形
態に係るＯＨＴ１の概略構成を示す模式図，図２は上記
ＯＨＴ１の教示部１３の概略構成を示すブロック図，図
３はハンド部６の位置姿勢の説明図，図４は上記ＯＨＴ
１の昇降部位置制御装置２０の概略構成を示すブロック
図である。
【０００９】本実施の形態に係るＯＨＴ１（懸垂式搬送
装置）は，上記従来のＯＨＴ６１と同様の半導体クリー
ンルーム内に設置されており，図１に示すような概略構
成を有する。上記ＯＨＴ１は，プロセス処理装置５１や
ストッカ５２を接続するように天井付近に配設された軌
道２と，上記軌道２に沿って走行する移動台車１０と，
上記プロセス処理装置５１やストッカ５２のロードポー
ト５３上に載置される位置ズレ検出治具１１と，上記位
置ズレ検出治具１１に接続された教示部１３（上記位置
ズレ検出治具１１内に一体的に組み込んでもよい）とで
構成されている。上記移動台車１０は，更に，上記軌道
２に沿って走行するための駆動源を具備する走行部３
と，上記走行部３に対して水平面内（図１に示すＸ，
Ｙ，θ方向）で相対的に移動可能な位置決めアクチュエ
ータ４と，上記位置決めアクチュエータ４から懸垂材５
によって吊り下げられたハンド部６とで構成されてい
る。上記ハンド部６の下面には，２つの発光ダイオード
（以下，ＬＥＤという）７ａ，７ｂ（所定の特徴部の一
例）が所定距離Ｌｓの間隔で，上記ハンド部６の中心位
置に対して対称となるように取り付けられている。尚，
上記ハンド部６は，上記位置決めアクチュエータ４内に
設けられた図示しない巻き取り装置による上記懸垂材５
の巻き取り／繰り出しにより昇降する。上記位置ズレ検
出治具１１は，ウェーハキャリアＷを位置決め固定する
ために設けられているキネマティックピン５１ａを利用
して，上記ロードポート５３上に位置決めされ，設置さ
れる。また，上記位置ズレ検出治具１１には，ウェーハ
キャリアＷの中心位置にあたる部分に集光レンズ１２ａ
と半導体位置検出素子（以下，ＰＳＤという）１２ｂと
よりなる位置検出部１２（位置検出手段の一例）が取り
付けられている。上記位置検出部１２では，上記ハンド
部６に取り付けられたＬＥＤ７ａ，７ｂから発せられた
光が受光され，その受光位置が検出される。上記教示部
１３（停止位置ズレ量検出手段の一例）は，上記位置ズ
レ検出治具１１の上記位置検出部１２で検出された受光
位置に基づいて，上記ハンド部６の位置ズレ量（δｘ，
δｙ，δθ）を算出すると共に，算出された位置ズレ量
を上記移動台車１０に無線（電波，赤外線等）により送
信し，位置補正データとして記憶させる。
装置）は，上記従来のＯＨＴ６１と同様の半導体クリー
ンルーム内に設置されており，図１に示すような概略構
成を有する。上記ＯＨＴ１は，プロセス処理装置５１や
ストッカ５２を接続するように天井付近に配設された軌
道２と，上記軌道２に沿って走行する移動台車１０と，
上記プロセス処理装置５１やストッカ５２のロードポー
ト５３上に載置される位置ズレ検出治具１１と，上記位
置ズレ検出治具１１に接続された教示部１３（上記位置
ズレ検出治具１１内に一体的に組み込んでもよい）とで
構成されている。上記移動台車１０は，更に，上記軌道
２に沿って走行するための駆動源を具備する走行部３
と，上記走行部３に対して水平面内（図１に示すＸ，
Ｙ，θ方向）で相対的に移動可能な位置決めアクチュエ
ータ４と，上記位置決めアクチュエータ４から懸垂材５
によって吊り下げられたハンド部６とで構成されてい
る。上記ハンド部６の下面には，２つの発光ダイオード
（以下，ＬＥＤという）７ａ，７ｂ（所定の特徴部の一
例）が所定距離Ｌｓの間隔で，上記ハンド部６の中心位
置に対して対称となるように取り付けられている。尚，
上記ハンド部６は，上記位置決めアクチュエータ４内に
設けられた図示しない巻き取り装置による上記懸垂材５
の巻き取り／繰り出しにより昇降する。上記位置ズレ検
出治具１１は，ウェーハキャリアＷを位置決め固定する
ために設けられているキネマティックピン５１ａを利用
して，上記ロードポート５３上に位置決めされ，設置さ
れる。また，上記位置ズレ検出治具１１には，ウェーハ
キャリアＷの中心位置にあたる部分に集光レンズ１２ａ
と半導体位置検出素子（以下，ＰＳＤという）１２ｂと
よりなる位置検出部１２（位置検出手段の一例）が取り
付けられている。上記位置検出部１２では，上記ハンド
部６に取り付けられたＬＥＤ７ａ，７ｂから発せられた
光が受光され，その受光位置が検出される。上記教示部
１３（停止位置ズレ量検出手段の一例）は，上記位置ズ
レ検出治具１１の上記位置検出部１２で検出された受光
位置に基づいて，上記ハンド部６の位置ズレ量（δｘ，
δｙ，δθ）を算出すると共に，算出された位置ズレ量
を上記移動台車１０に無線（電波，赤外線等）により送
信し，位置補正データとして記憶させる。
【００１０】続いて，上記位置ズレ検出治具１１及び上
記教示部１３による上記ハンド部６の位置ズレ量（δ
ｘ，δｙ，δθ）の算出方法について説明する。図２に
示すように，上記教示部１３は，光スポット位置演算部
１４と，記憶素子１５ａ，１５ｂと，位置姿勢演算部１
６と，送信部１７とを具備して構成されている。上記光
スポット位置演算部１４では，上記ＰＳＤ１２ｂの出力
信号に基づいて上記ＰＳＤ１２ｂ上の光スポットの座標
値が演算され，出力される。上記光スポット位置演算部
１４で出力された上記ＬＥＤ７ａ，７ｂに対応する座標
値データは，記憶素子１５ａ，１５ｂのいずれかに別々
に記憶される。尚，上記ハンド部６に取り付けられたＬ
ＥＤ７ａ，７ｂは，所定の間隔で交互に点滅するように
制御される。従って，上記光スポット位置演算部１４
は，演算された座標値を交互に上記記憶素子１５ａ，１
５ｂに記憶させる。上記位置姿勢演算部１６では，上記
記憶素子１５ａ，１５ｂにそれぞれ記憶された上記ＬＥ
Ｄ７ａ，７ｂに関する上記ＰＳＤ１２ｂ上での光スポッ
ト位置の座標値データに基づいて，上記ハンド部６の水
平方向位置，鉛直方向位置，及び鉛直軸回りの回転角が
演算される。その演算方法について図３を用いて説明す
る。図３は，ハンド部６を下方から見た図である。使用
する座標系としては，上記集光レンズ１２ａの中心に原
点をとり，水平面内にＸ軸，Ｙ軸を，鉛直上方に向けて
Ｚ軸を設定する（図３参照）。上記位置姿勢演算部１６
では，次式により，水平面内でのズレδｘ，δｙ，スキ
ュー角δθ，及び上記位置ズレ検出治具１１とハンド部
６との距離δｚが算出される。
記教示部１３による上記ハンド部６の位置ズレ量（δ
ｘ，δｙ，δθ）の算出方法について説明する。図２に
示すように，上記教示部１３は，光スポット位置演算部
１４と，記憶素子１５ａ，１５ｂと，位置姿勢演算部１
６と，送信部１７とを具備して構成されている。上記光
スポット位置演算部１４では，上記ＰＳＤ１２ｂの出力
信号に基づいて上記ＰＳＤ１２ｂ上の光スポットの座標
値が演算され，出力される。上記光スポット位置演算部
１４で出力された上記ＬＥＤ７ａ，７ｂに対応する座標
値データは，記憶素子１５ａ，１５ｂのいずれかに別々
に記憶される。尚，上記ハンド部６に取り付けられたＬ
ＥＤ７ａ，７ｂは，所定の間隔で交互に点滅するように
制御される。従って，上記光スポット位置演算部１４
は，演算された座標値を交互に上記記憶素子１５ａ，１
５ｂに記憶させる。上記位置姿勢演算部１６では，上記
記憶素子１５ａ，１５ｂにそれぞれ記憶された上記ＬＥ
Ｄ７ａ，７ｂに関する上記ＰＳＤ１２ｂ上での光スポッ
ト位置の座標値データに基づいて，上記ハンド部６の水
平方向位置，鉛直方向位置，及び鉛直軸回りの回転角が
演算される。その演算方法について図３を用いて説明す
る。図３は，ハンド部６を下方から見た図である。使用
する座標系としては，上記集光レンズ１２ａの中心に原
点をとり，水平面内にＸ軸，Ｙ軸を，鉛直上方に向けて
Ｚ軸を設定する（図３参照）。上記位置姿勢演算部１６
では，次式により，水平面内でのズレδｘ，δｙ，スキ
ュー角δθ，及び上記位置ズレ検出治具１１とハンド部
６との距離δｚが算出される。
【数１】 ここで，（ｘa ，ｙa ），（ｘb ，ｙb ）はそれぞれＬ
ＥＤ７ａ，７ｂの集光スポットの座標値，ＬｓはＬＥＤ
７ａ，７ｂ間の設置距離，ｆe は集光レンズ１２ａとＰ
ＳＤ１２ｂとの距離である。上記位置姿勢演算部１６で
求められた上記ハンド部６の位置ズレ量（δｘ，δｙ，
δθ）は，送信部１７を介して無線で上記移動台車１０
に送信され，該移動台車１０内のメモリに位置補正デー
タとして記憶される。
ＥＤ７ａ，７ｂの集光スポットの座標値，ＬｓはＬＥＤ
７ａ，７ｂ間の設置距離，ｆe は集光レンズ１２ａとＰ
ＳＤ１２ｂとの距離である。上記位置姿勢演算部１６で
求められた上記ハンド部６の位置ズレ量（δｘ，δｙ，
δθ）は，送信部１７を介して無線で上記移動台車１０
に送信され，該移動台車１０内のメモリに位置補正デー
タとして記憶される。
【００１１】続いて，ＯＨＴ１による教示時と搬送時の
処理手順の一例をそれぞれ説明する。 （教示時） 位置ズレ検出治具１１を教示対象とするロードポー
ト５３上にセットする。 ティーチング開始スイッチ（不図示）などを操作す
ることによって教示動作を開始させ，移動台車１０を所
定のロードポート５３上に停止させる。この時，上記移
動台車１０は，例えば上記軌道２上の所定位置に設けら
れたストップマークを読み取って自動停止する。尚，教
示対象とするロードポート５３は，オペレータが毎回設
定してもよいし，所定の順番で各ロードポート５３を自
動選択し，順次教示作業を自動的に行うようにしてもよ
い。 ハンド部６が最上部にある状態のままで，上述した
方法によって位置ズレ量（δｘ，δｙ，δθ）が算出さ
れ，移動台車１０内のメモリに位置補正データとして記
憶される。以上の処理が，各ロードポート５３に対して
繰り返される。 （搬送時） 移動台車１０は，目的のロードポート５３上でスト
ップマークを読み取って自動停止する。 停止したロードポート５３に対応する位置補正デー
タ（δｘ，δｙ，δθ）を読み出し，上記位置決めアク
チュエータ４により，上記位置補正データに基づいてハ
ンド部６の位置補正を行う。 上記ハンド部６を降下させ，ウェーハキャリアＷの
把持，若しくは載置を行う。 上記ハンド部６を上昇させ，次のロードポート５３
に向かって走行する。
処理手順の一例をそれぞれ説明する。 （教示時） 位置ズレ検出治具１１を教示対象とするロードポー
ト５３上にセットする。 ティーチング開始スイッチ（不図示）などを操作す
ることによって教示動作を開始させ，移動台車１０を所
定のロードポート５３上に停止させる。この時，上記移
動台車１０は，例えば上記軌道２上の所定位置に設けら
れたストップマークを読み取って自動停止する。尚，教
示対象とするロードポート５３は，オペレータが毎回設
定してもよいし，所定の順番で各ロードポート５３を自
動選択し，順次教示作業を自動的に行うようにしてもよ
い。 ハンド部６が最上部にある状態のままで，上述した
方法によって位置ズレ量（δｘ，δｙ，δθ）が算出さ
れ，移動台車１０内のメモリに位置補正データとして記
憶される。以上の処理が，各ロードポート５３に対して
繰り返される。 （搬送時） 移動台車１０は，目的のロードポート５３上でスト
ップマークを読み取って自動停止する。 停止したロードポート５３に対応する位置補正デー
タ（δｘ，δｙ，δθ）を読み出し，上記位置決めアク
チュエータ４により，上記位置補正データに基づいてハ
ンド部６の位置補正を行う。 上記ハンド部６を降下させ，ウェーハキャリアＷの
把持，若しくは載置を行う。 上記ハンド部６を上昇させ，次のロードポート５３
に向かって走行する。
【００１２】以上説明したように，本実施の形態に係る
ＯＨＴ１は，教示時にハンド部を動作させて位置決めす
ることなく自動的に位置補正データを得ることができる
ため，教示作業に要する時間を短くすることができると
共に，僅かなマンパワーでの作業が可能となる。また，
個人差の出ない安定した教示が可能となる。
ＯＨＴ１は，教示時にハンド部を動作させて位置決めす
ることなく自動的に位置補正データを得ることができる
ため，教示作業に要する時間を短くすることができると
共に，僅かなマンパワーでの作業が可能となる。また，
個人差の出ない安定した教示が可能となる。
【００１３】
【実施例】上記実施の形態では，教示時に，ハンド部６
が最上部にある状態で位置ズレ量を算出するようにした
が，移動台車１０が停止した後，ハンド部６をウェーハ
キャリアＷの把持位置まで降下させた上で位置ズレ量を
算出するようにしてもよい。これにより，教示に要する
時間は長くなるものの，検出精度は向上する。また上述
したように，上記位置ズレ検出治具１１及び上記教示部
１３を用いると位置ズレ検出治具１１とハンド部６との
鉛直方向の距離δｚについても検出できる（上記（１）
式参照）ため，ハンド部６の降下量を教示項目に加える
ことも可能である。ハンド部６の降下量を教示項目とし
ない場合には，例えばハンド部６にセンサを設け，ウェ
ーハキャリアＷの把手をセンシングすることにより搬送
作業毎に位置決めするようにすればよい。また，上記位
置決めアクチュエータ４を，Ｙ方向（軌道２に垂直な方
向），θ方向（鉛直軸回り）にのみ位置調整可能とし，
Ｘ方向（軌道２に平行な方向）の位置調整については上
記走行部３で行うようにしてもよい。また，上記ＬＥＤ
７ａ，７ｂは，ハンド部６に固定的に設置してもよい
が，例えばウェーハキャリアＷ若しくはそれと同様の形
状をした治具に取り付け，ハンド部６に把持させるよう
にすれば，教示時以外は容易に取り外しすることができ
る。また，上記位置ズレ検出治具１１をハンド部側に，
上記ＬＥＤをロードポート５３側に設けてもよい。ま
た，位置検出手段としては上述のような半導体位置検出
素子及びＬＥＤを用いるものに限定されるものではな
く，例えば位置検出部１２に代えて例えばＣＣＤカメラ
を，上記ＬＥＤ７ａ，７ｂに代えて例えば認識マークを
それぞれ用いてもよい。
が最上部にある状態で位置ズレ量を算出するようにした
が，移動台車１０が停止した後，ハンド部６をウェーハ
キャリアＷの把持位置まで降下させた上で位置ズレ量を
算出するようにしてもよい。これにより，教示に要する
時間は長くなるものの，検出精度は向上する。また上述
したように，上記位置ズレ検出治具１１及び上記教示部
１３を用いると位置ズレ検出治具１１とハンド部６との
鉛直方向の距離δｚについても検出できる（上記（１）
式参照）ため，ハンド部６の降下量を教示項目に加える
ことも可能である。ハンド部６の降下量を教示項目とし
ない場合には，例えばハンド部６にセンサを設け，ウェ
ーハキャリアＷの把手をセンシングすることにより搬送
作業毎に位置決めするようにすればよい。また，上記位
置決めアクチュエータ４を，Ｙ方向（軌道２に垂直な方
向），θ方向（鉛直軸回り）にのみ位置調整可能とし，
Ｘ方向（軌道２に平行な方向）の位置調整については上
記走行部３で行うようにしてもよい。また，上記ＬＥＤ
７ａ，７ｂは，ハンド部６に固定的に設置してもよい
が，例えばウェーハキャリアＷ若しくはそれと同様の形
状をした治具に取り付け，ハンド部６に把持させるよう
にすれば，教示時以外は容易に取り外しすることができ
る。また，上記位置ズレ検出治具１１をハンド部側に，
上記ＬＥＤをロードポート５３側に設けてもよい。ま
た，位置検出手段としては上述のような半導体位置検出
素子及びＬＥＤを用いるものに限定されるものではな
く，例えば位置検出部１２に代えて例えばＣＣＤカメラ
を，上記ＬＥＤ７ａ，７ｂに代えて例えば認識マークを
それぞれ用いてもよい。
【００１４】また，教示時にはハンド部６が完全に停止
して振れのない状態で位置検出を行う必要がある。しか
しながら，ハンド部の振れが自然に収まるまで待ってい
たのでは教示作業を迅速に行うことはできず，また振れ
ているハンド部を人手で停止させるのは非常に手間がか
かる。これは，特にハンド部６を降下させて位置ズレ量
を算出する場合に問題となる。そこで，ハンド部の振れ
を短時間で減衰させる制振制御を行うことが有効であ
る。以下，上記ＯＨＴ１の移動台車１０上に制振制御部
を搭載した例を説明する。図４に示すように，上記移動
台車１０上に搭載された制振制御部２０は，上記位置決
めアクチュエータ４，位置決めコントローラ２３，微分
器２１，及び振れ止め補償部２２により構成されてい
る。上記位置決めコントローラ２３は，更に，上記位置
決めアクチュエータ４に対する位置指令（位置目標値）
と実変位（実位置）との偏差に基づいて速度指令を出力
する位置補償部２３ａと，上記位置補償部２３ａから出
力された上記位置決めアクチュエータ４に対する速度指
令と実速度との偏差に基づいて上記位置決めアクチュエ
ータ４に対して推力指令を出力する速度補償部２３ｂ
と，上記振れ止め補償部２２から出力される制振信号を
位相反転して上記速度補償部２３ｂから出力された推力
指令に加算する加算手段２３ｃとを具備している。ま
た，上記振れ止め補償部２２は，比例要素２２ａとフィ
ルタ２２ｂとで構成されており，上記教示部１３から出
力された上記ハンド部６の振れ位置（水平方向位置δ
ｘ，δｙ，及び鉛直軸回りの回転角δθ）を上記微分器
２１で微分して得られた振れ速度に基づいて制振信号を
出力する。尚，上記比例要素２２ａは上記ハンド部６の
吊り長さに応じた最適値が用いられる。また，上記フィ
ルタ２２ｂは，観測ノイズを除去して上記観測ノイズに
よるサーボ系の発振を防ぐために設けられたローパスフ
ィルタである。
して振れのない状態で位置検出を行う必要がある。しか
しながら，ハンド部の振れが自然に収まるまで待ってい
たのでは教示作業を迅速に行うことはできず，また振れ
ているハンド部を人手で停止させるのは非常に手間がか
かる。これは，特にハンド部６を降下させて位置ズレ量
を算出する場合に問題となる。そこで，ハンド部の振れ
を短時間で減衰させる制振制御を行うことが有効であ
る。以下，上記ＯＨＴ１の移動台車１０上に制振制御部
を搭載した例を説明する。図４に示すように，上記移動
台車１０上に搭載された制振制御部２０は，上記位置決
めアクチュエータ４，位置決めコントローラ２３，微分
器２１，及び振れ止め補償部２２により構成されてい
る。上記位置決めコントローラ２３は，更に，上記位置
決めアクチュエータ４に対する位置指令（位置目標値）
と実変位（実位置）との偏差に基づいて速度指令を出力
する位置補償部２３ａと，上記位置補償部２３ａから出
力された上記位置決めアクチュエータ４に対する速度指
令と実速度との偏差に基づいて上記位置決めアクチュエ
ータ４に対して推力指令を出力する速度補償部２３ｂ
と，上記振れ止め補償部２２から出力される制振信号を
位相反転して上記速度補償部２３ｂから出力された推力
指令に加算する加算手段２３ｃとを具備している。ま
た，上記振れ止め補償部２２は，比例要素２２ａとフィ
ルタ２２ｂとで構成されており，上記教示部１３から出
力された上記ハンド部６の振れ位置（水平方向位置δ
ｘ，δｙ，及び鉛直軸回りの回転角δθ）を上記微分器
２１で微分して得られた振れ速度に基づいて制振信号を
出力する。尚，上記比例要素２２ａは上記ハンド部６の
吊り長さに応じた最適値が用いられる。また，上記フィ
ルタ２２ｂは，観測ノイズを除去して上記観測ノイズに
よるサーボ系の発振を防ぐために設けられたローパスフ
ィルタである。
【００１５】以上のような制振制御部２０による上記ハ
ンド部６に対する制振制御動作について説明する。上記
移動台車１０が目的位置に停止すると，上記位置決めコ
ントローラ２３に対して，上記位置決めアクチュエータ
４を例えば所定の原点位置に制御するための位置指令が
与えられる。上記位置指令は，上記位置決めアクチュエ
ータ４の実変位との偏差（位置偏差）がとられ，上記位
置補償部２３ａに入力される。上記位置補償部２３ａか
らは，上記位置偏差を０にするような速度指令が出力さ
れ，更にこの速度指令は上記位置決めアクチュエータ４
の実速度との偏差（速度偏差）がとられ，上記速度補償
部２３ｂに入力される。上記速度補償部２３ｂからは，
上記速度偏差を０にするような推力指令が出力される。
また，それと同時に，上記振れ止め補償部２２には，上
記教示部１３から無線で送られてきた上記ハンド部６の
振れ位置を上記微分器２１で微分して得られた振れ速度
が入力される。上記振れ止め補償部２２では，上記比例
要素２２ａにより上記ハンド部６の振れ速度に応じた推
力が出力され，更に上記フィルタ２２ｂにより観測ノイ
ズが除去されて制振信号として上記位置決めコントロー
ラ２３に対して出力される。上記振れ止め補償部２２か
ら出力された上記制振信号は，上記位置決めコントロー
ラ２３において，位相反転した後で上記速度補償部２３
ｂから出力された推力指令に加算され，該推力指令は上
記位置決めアクチュエータ４に入力される。上記位置決
めアクチュエータ４では，入力された推力指令に応じた
動作が行われる。以上の制御により，上記ハンド部６に
振れがある場合には，上記位置決めアクチュエータ４
は，振れの周波数が速度制御周波数に比べて十分低い場
合に，等価的に上記ハンド部６の振れ速度に比例して変
位する。ここで，位置決めアクチュエータ４とハンド部
６との間に相対変位が生じるとハンド部６にはそれに比
例した力が働くため，上記ハンド部６には自分自身の振
れ速度に比例した力が減衰力として与えられることにな
り，上記ハンド部６の振動は短時間で減衰する。以上説
明したように，上記制振制御部２０を具備することによ
り，上記ハンド部６の振動は短時間で減衰するため，教
示作業をより迅速に行うことが可能となる。
ンド部６に対する制振制御動作について説明する。上記
移動台車１０が目的位置に停止すると，上記位置決めコ
ントローラ２３に対して，上記位置決めアクチュエータ
４を例えば所定の原点位置に制御するための位置指令が
与えられる。上記位置指令は，上記位置決めアクチュエ
ータ４の実変位との偏差（位置偏差）がとられ，上記位
置補償部２３ａに入力される。上記位置補償部２３ａか
らは，上記位置偏差を０にするような速度指令が出力さ
れ，更にこの速度指令は上記位置決めアクチュエータ４
の実速度との偏差（速度偏差）がとられ，上記速度補償
部２３ｂに入力される。上記速度補償部２３ｂからは，
上記速度偏差を０にするような推力指令が出力される。
また，それと同時に，上記振れ止め補償部２２には，上
記教示部１３から無線で送られてきた上記ハンド部６の
振れ位置を上記微分器２１で微分して得られた振れ速度
が入力される。上記振れ止め補償部２２では，上記比例
要素２２ａにより上記ハンド部６の振れ速度に応じた推
力が出力され，更に上記フィルタ２２ｂにより観測ノイ
ズが除去されて制振信号として上記位置決めコントロー
ラ２３に対して出力される。上記振れ止め補償部２２か
ら出力された上記制振信号は，上記位置決めコントロー
ラ２３において，位相反転した後で上記速度補償部２３
ｂから出力された推力指令に加算され，該推力指令は上
記位置決めアクチュエータ４に入力される。上記位置決
めアクチュエータ４では，入力された推力指令に応じた
動作が行われる。以上の制御により，上記ハンド部６に
振れがある場合には，上記位置決めアクチュエータ４
は，振れの周波数が速度制御周波数に比べて十分低い場
合に，等価的に上記ハンド部６の振れ速度に比例して変
位する。ここで，位置決めアクチュエータ４とハンド部
６との間に相対変位が生じるとハンド部６にはそれに比
例した力が働くため，上記ハンド部６には自分自身の振
れ速度に比例した力が減衰力として与えられることにな
り，上記ハンド部６の振動は短時間で減衰する。以上説
明したように，上記制振制御部２０を具備することによ
り，上記ハンド部６の振動は短時間で減衰するため，教
示作業をより迅速に行うことが可能となる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように，本発明は，荷物を
把持するハンド部を昇降可能に吊り下げた移動台車と，
上記移動台車に対して，上記荷物が載置される載置台上
の所定の停止位置を教示する教示手段とを具備してなる
懸垂式搬送装置において，上記ハンド部側若しくは上記
載置台側に設けられた所定の特徴部と，上記載置台側若
しくは上記ハンド部側に設けられ，上記所定の特徴部の
位置を検出する位置検出手段と，上記位置検出手段で得
られた上記載置台に対する上記ハンド部の相対位置に基
づいて，現在の停止位置と上記所定の停止位置とのズレ
量を検出する停止位置ズレ量検出手段とを具備し，上記
教示手段が，上記停止位置ズレ量検出手段で得られた上
記ズレ量に基づいて上記停止位置を教示してなることを
特徴とする懸垂式搬送装置として構成されているため，
オペレータが実際にハンド部を動作させて教示を行う必
要がなく，正確且つ短時間で位置補正データの教示を行
うことが可能となる。また，個人差の出ない安定した教
示が可能となる。また，上記所定の特徴部を，上記ハン
ド部に把持された荷物に設置すれば，教示時以外は容易
に取り外すことができる。更に，上記ハンド部の制振制
御を行う制振制御手段を具備すれば，ハンド部の振れを
短時間で減衰させることができ，教示作業の迅速化が可
能となる。
把持するハンド部を昇降可能に吊り下げた移動台車と，
上記移動台車に対して，上記荷物が載置される載置台上
の所定の停止位置を教示する教示手段とを具備してなる
懸垂式搬送装置において，上記ハンド部側若しくは上記
載置台側に設けられた所定の特徴部と，上記載置台側若
しくは上記ハンド部側に設けられ，上記所定の特徴部の
位置を検出する位置検出手段と，上記位置検出手段で得
られた上記載置台に対する上記ハンド部の相対位置に基
づいて，現在の停止位置と上記所定の停止位置とのズレ
量を検出する停止位置ズレ量検出手段とを具備し，上記
教示手段が，上記停止位置ズレ量検出手段で得られた上
記ズレ量に基づいて上記停止位置を教示してなることを
特徴とする懸垂式搬送装置として構成されているため，
オペレータが実際にハンド部を動作させて教示を行う必
要がなく，正確且つ短時間で位置補正データの教示を行
うことが可能となる。また，個人差の出ない安定した教
示が可能となる。また，上記所定の特徴部を，上記ハン
ド部に把持された荷物に設置すれば，教示時以外は容易
に取り外すことができる。更に，上記ハンド部の制振制
御を行う制振制御手段を具備すれば，ハンド部の振れを
短時間で減衰させることができ，教示作業の迅速化が可
能となる。
【図１】 本発明の実施の形態に係るＯＨＴ１の概略構
成を示す模式図。
成を示す模式図。
【図２】 上記ＯＨＴ１の教示部１３の概略構成を示す
ブロック図。
ブロック図。
【図３】 ハンド部６の位置姿勢の説明図。
【図４】 上記ＯＨＴ１の昇降部位置制御装置２０の概
略構成を示すブロック図。
略構成を示すブロック図。
【図５】 従来技術に係るＯＨＴ６１を設置した半導体
クリーンルーム内の様子を示す模式図。
クリーンルーム内の様子を示す模式図。
【図６】 上記ＯＨＴ６１の概略構成を示す模式図。
【図７】 上記ＯＨＴ６１とロードポート５３との位置
関係を示した断面図。
関係を示した断面図。
１…ＯＨＴ（昇降式搬送装置の一例） ２…軌道 ３…走行部 ４…位置決めアクチュエータ ５…懸垂材 ６…ハンド部 ７ａ，７ｂ…ＬＥＤ（所定の特徴部の一例） １０…移動台車 １１…位置ズレ検出治具 １２…位置検出部（位置検出手段の一例） １２ａ…集光レンズ １２ｂ…半導体位置検出素子 １３…教示部 Ｗ…ウェーハキャリア（荷物の一例）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 稲垣 元紀 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 高岡 俊志 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内
Claims (5)
- 【請求項１】 荷物を把持するハンド部を昇降可能に吊
り下げた移動台車と，上記移動台車に対して，上記荷物
が載置される載置台上の所定の停止位置を教示する教示
手段とを具備してなる懸垂式搬送装置において，上記ハ
ンド部側若しくは上記載置台側に設けられた所定の特徴
部と，上記載置台側若しくは上記ハンド部側に設けら
れ，上記所定の特徴部の位置を検出する位置検出手段
と，上記位置検出手段で得られた上記載置台に対する上
記ハンド部の相対位置に基づいて，現在の停止位置と上
記所定の停止位置とのズレ量を検出する停止位置ズレ量
検出手段とを具備し，上記教示手段が，上記停止位置ズ
レ量検出手段で得られた上記ズレ量に基づいて上記停止
位置を教示してなることを特徴とする懸垂式搬送装置。 - 【請求項２】 上記所定の特徴部が上記ハンド部に把持
された荷物に設置されてなる請求項１記載の懸垂式搬送
装置。 - 【請求項３】 上記位置検出手段が２次元位置検出素子
であり，上記所定の特徴部が発光体である請求項１又は
２記載の懸垂式搬送装置。 - 【請求項４】 上記位置検出手段がＣＣＤカメラであ
り，上記所定の特徴部が認識マークである請求項１又は
２記載の懸垂式搬送装置。 - 【請求項５】 上記ハンド部の制振制御を行う制振制御
手段を具備してなる請求項１〜４のいずれかに記載の懸
垂式搬送装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10157546A JPH11349280A (ja) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | 懸垂式搬送装置 |
| TW088106689A TW548229B (en) | 1998-06-05 | 1999-04-27 | Overhead hoist transfer apparatus |
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