JP6841633B2 - 気液除塵装置 - Google Patents

Description

本発明は、気液除塵装置に関する。

特許文献１には、基板に付着した処理液を除去するための装置であって、基板を所定方向に搬送する搬送手段と、この搬送手段によって搬送される基板の処理液が付着した面に向けてその処理液と同じ機能の処理液を霧化して噴射する液切りナイフと、を備える処理液の除去装置が記載されている。
液切りナイフは、処理液を噴射する液体用スリットと、気体を噴射する気体用スリットと、を備えており、液体用スリットは、基板に対して直交する方向に処理液を噴射し、気体用スリットは、液体用スリットから噴射される液体の噴射方向に対して気体の噴射方向が交差するように傾斜している。そして、液切りナイフは、霧化した処理液を基板の搬送方向とは逆方向に向けて噴射する。

特許文献２には、洗浄用気体の噴射圧力によって洗浄用液体が噴射されるようにする噴射手段を備える平板状ディスプレイ用洗浄装置が記載されている。特許文献２の装置においては、洗浄用液体は洗浄用気体と合流した後で、洗浄用気体とともに共通の噴射口から噴射されるようになっている。

特許文献３には、積層された３枚以上の板状体の隙間に複数のスリットを形成し、これらのスリットの一つを気体の噴射口、他のスリットを液体の噴射口とした気体−液体吹きスリットノズルが記載されている。この気体−液体吹きスリットノズルは、中央部の板状体の先端部を噴射口よりも前方に延ばし、他方の噴射口側に向けて傾斜させて傾斜面として、流体の持つ粘性を利用して傾斜面に沿って流体を偏向させ、他方の噴射口から噴射される流体と衝突させて噴霧するように構成されている。

特開２００１−２２４９９３号公報 特開２００５−２７９６４３号公報 特開２００３−１１５１号公報

本発明者等の検討によれば、特許文献１〜３の技術では、ワーク（各文献では基板）の除塵効率の面で改善の余地がある。

本発明は、上記の課題に鑑みなされたものであり、ワークの除塵を良好に行うことが可能な気液除塵装置を提供するものである。

本発明によれば、搬送されるシート状のワークの一方の面に対して気体と液体とを供給して前記ワークの除塵を行う気液除塵装置であって、
前記ワークを所定の搬送方向に搬送する搬送部と、
前記ワークの前記一方の面に対して直交する第１方向に気体を噴射する気体噴射口と、
前記気体噴射口よりも前記搬送方向における上流側に前記気体噴射口とは独立して配置され、第２方向に液体を吐出する液体吐出口と、
先端に前記気体噴射口が開口していて、前記気体噴射口に気体を供給する気体供給路と、
先端に前記液体吐出口が開口していて、前記液体吐出口に液体を供給する液体供給路と、
を備え、
前記第２方向が前記搬送方向に対して順方向となるよう、前記第２方向が前記第１方向に対して傾斜しており、
前記気体供給路及び前記液体供給路の各々は、前記搬送方向に対して直交し且つ前記支持面に沿う方向に延在するスリット状であり、前記ワークの幅方向における両端間に亘って連続的に延在しており、
前記ワークの幅方向における両端間の全域において、前記液体吐出口が、前記気体噴射口よりも前記搬送方向における上流側に配置されている気液除塵装置が提供される。

本発明によれば、ワークの除塵を良好に行うことが可能となる。

第１実施形態に係る気液除塵装置の側断面図であり、除塵ユニット及びその周辺の構成を示す。 図１の部分拡大図である。 図２の部分拡大図である。 図４（ａ）は図３のＡ−Ａ線に沿った断面図であり、図４（ｂ）は図３のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。 第１実施形態に係る気液除塵装置の全体構成を示す模式図である。 第２実施形態に係る気液除塵装置の除塵ユニットの部分拡大の側断面図である。 第３実施形態に係る気液除塵装置の側断面図であり、除塵ユニット及びその周辺の構成を示す。 図７の部分拡大図である。 第３実施形態に係る気液除塵装置の全体構成を示す模式図である。 第４実施形態に係る気液除塵装置の側断面図であり、除塵ユニット及びその周辺の構成を示す。 第５実施形態に係る気液除塵装置の除塵ユニットの部分拡大の側断面図である。 第６実施形態に係る気液除塵装置の除塵ユニットの部分拡大の側断面図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様の構成要素には同一の符号を付し、適宜に説明を省略する。

〔第１実施形態〕
先ず、図１から図５を用いて第１実施形態を説明する。
図１は第１実施形態に係る気液除塵装置１００の側断面図であり、除塵ユニット９０及びその周辺の構成を示している。
図２は図１の部分拡大図であり、噴射ヘッド６０の先端部（下端部）及びその周辺の構成を示している。
図３は図２の部分拡大図であり、気体噴射口３３、液体吐出口４３及びそれらの周辺の構成を示している。
図４（ａ）は図３のＡ−Ａ線に沿った断面図であり、図４（ｂ）は図３のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
図５は本実施形態に係る気液除塵装置１００の全体構成を示す模式図である。

図１から図３のいずれかに示すように、本実施形態に係る気液除塵装置１００は、搬送されるシート状のワーク１０の一方の面１１（図２、図３）に対して気体と液体とを供給してワーク１０の除塵を行う気液除塵装置１００である。
この気液除塵装置１００は、ワーク１０を所定の搬送方向（図１から図３における右方向；図３の矢印Ｄ方向）に搬送する搬送部（例えば、ローラ２０、２１及び吸引プレート５１等により構成される）と、ワーク１０の一方の面１１に対して直交する第１方向に気体を噴射する気体噴射口３３と、気体噴射口３３よりも搬送方向における上流側に気体噴射口３３とは独立して配置されていて第２方向に液体を吐出する液体吐出口４３と、を備えている。
そして、第２方向が搬送方向に対して順方向となるよう、第２方向が第１方向に対して傾斜している。すなわち、本実施形態においては、ワーク１０の搬送方向が図２及び図３における右方向であるところ、液体吐出口４３が液体を吐出する方向は、図２及び図３において右下がりの方向、すなわち搬送方向に対して順方向（右成分を持つ方向）となっている。

ここで、第１方向がワーク１０の一方の面１１に対して直交しているとは、第１方向が一方の面１１に対して略直交していることであり、例えば、第１方向と一方の面１１とのなす角度が９０度±１０度以内であることが好ましく、第１方向と一方の面１１とのなす角度が±５度以内であることが更に好ましい。ただし、第１方向と一方の面１１とのなす角度は、第２方向と一方の面１１とのなす角度よりも大きい。
また、搬送方向は、ワーク１０の一方の面１１に沿った方向となっている。
液体吐出口４３から噴射される液体は、純水等の水であってもよいし、水以外の液剤であってもよい。液剤としては、例えば、フッ素系溶剤などが挙げられる。

なお、以下の説明においては、搬送方向下流側を単に下流側と称したり、前（前側、前方）と称したりする場合がある。また、搬送方向上流側を単に上流側と称したり、後（後側、後方）と称したり場合がある。また、ワーク１０において気体噴射口３３及び液体吐出口４３に対して対向する部位に沿った方向で且つ搬送方向に対して直交する方向を左右方向と称する場合がある。

シート状のワーク１０としては、フィルム状のものも含まれる。
ワーク１０は、特に限定されず、単層のシートであってもよいし、複数層が積層された構造のシートであってもよい。一例として、ワーク１０は、ベースフィルムに、コーティング、ラミネート及び印刷などの加工を施すことにより構成されたものとすることができる。
また、ワーク１０は基板であってもよい。
また、ワーク１０は、長尺なものであって搬送部によって連続的に搬送されてもよいし、短尺なものであって搬送部によって順次搬送されてもよい。
また、ワーク１０は、部分的に打ち抜かれた構造（部分的に開口を有する構造）のものであってもよい。本実施形態に係る気液除塵装置１００によれば、部分的に打ち抜かれた構造のワーク１０の開口の内周面の除塵も好適に行うことができる。

気液除塵装置１００は、以下に説明する除塵ユニット９０と、ローラ２０、２１及び吸引プレート５１等により構成される搬送部と、を備えている。

本実施形態の場合、気液除塵装置１００は、搬送部によってワーク１０を平坦な状態で一方向（矢印Ｄ方向）に搬送しながら、除塵ユニット９０によりワーク１０の一方の面１１の除塵を行う。
本実施形態の場合、より詳細には、矢印Ｄ方向は水平方向である。ただし、本発明は、この例に限らず、ワーク１０の搬送方向（矢印Ｄ方向）は特に限定されない。

搬送部は、例えば、除塵ユニット９０の上流側に配置されていてワーク１０を上下から挟持する上下一対のローラ２０と、除塵ユニット９０の下流側に配置されていてワーク１０を上下から挟持する上下一対のローラ２１と、を備えている。
上流側の一対のローラ２０の少なくとも一方が図示しないモータ等のアクチュエータによって回転駆動されるとともに、下流側の一対のローラ２１の少なくとも一方が図示しないモータ等のアクチュエータによって回転駆動されることにより、ワーク１０が搬送方向に搬送されるようになっている。

平板状の部材であり、一対のローラ２０と一対のローラ２１との間において、水平に配置されている。
吸引プレート５１の上面である支持面５１ａの高さ位置（鉛直方向における位置）は、一対のローラ２０のうち下側のローラ２０の上端、並びに、一対のローラ２１のうち下側のローラ２１の上端と同等の位置に設定されている。したがって、ワーク１０は、吸引プレート５１の支持面５１ａに沿って搬送されることとなる。
吸引プレート５１の幅寸法（図１において奥行き方向の寸法）は、ワーク１０の幅寸法（図１において奥行き方向の寸法）よりも大きく、吸引プレート５１の幅方向における両端間においてワーク１０が搬送されるようになっている。

吸引プレート５１の下側には、吸引箱５２が配置されている。吸引箱５２は、上端が開口しており、吸引箱５２の上端の開口が吸引プレート５１によって塞がれている。吸引プレート５１は、例えば、吸引箱５２によって支持されている。
吸引箱５２の内部空間は、陰圧に設定される陰圧室５２ａとなっている。すなわち、吸引箱５２の陰圧室５２ａ内の雰囲気が、図示しない吸引源によって吸引されることにより、陰圧室５２ａが陰圧に維持されるようになっている。
吸引プレート５１には、該吸引プレート５１を上下に貫通している多数の細孔（不図示）が形成されている。したがって、吸引プレート５１の上側の雰囲気が、吸引プレート５１の多数の細孔を介して、吸引プレート５１の下側に吸引されることとなる。
ワーク１０が吸引プレート５１の上面である支持面５１ａに沿って搬送される際には、ワーク１０が支持面５１ａ側に吸引されることにより、ワーク１０の浮き上がり（ばたつき）を抑制でき、ワーク１０の搬送経路を支持面５１ａに沿った水平な経路に維持することができるようになっている。
すなわち、ワーク１０は、一対のローラ２０と一対のローラ２１との間において、吸引プレート５１の支持面５１ａに沿って水平に搬送される。
なお、本発明において、ワーク１０の搬送機構はこの例に限らず、短尺のワーク１０を除塵ユニット９０の上流側の位置まで吸引プレート５１の上流側のローラ２０で搬送し、該ローラ２０から吸引プレート５１にワーク１０を受け渡した後、吸引プレート５１によってワーク１０を吸着し、その状態で吸引プレート５１が搬送方向に移動するとともにその過程で除塵ユニット９０によるワーク１０の除塵を行い、その後、吸引プレート５１からその下流側のローラ２１にワーク１０を受け渡すようになっていてもよい。また、ワーク１０が吸引プレート５１に吸着された状態で、除塵ユニット９０がワーク１０及び吸引プレート５１に対して相対的に移動（図１における左方向に移動）し、その過程で除塵ユニット９０によるワーク１０の除塵を行うようにしてもよい。

このように、搬送部は、一方の面１１に対する裏面１２（図２、図３）にてワーク１０を面支持する支持面５１ａを有する。

除塵ユニット９０は、吸引プレート５１の上方に離間して配置されている。
搬送方向における吸引プレート５１の寸法は、搬送方向における除塵ユニット９０の寸法よりも大きい。そして、搬送方向上流側における吸引プレート５１の端部は、搬送方向上流側における除塵ユニット９０の端部よりも、搬送方向上流側に位置しているとともに、搬送方向下流側における吸引プレート５１の端部は、搬送方向下流側における除塵ユニット９０の端部よりも、搬送方向下流側に位置している。
ワーク１０が吸引プレート５１の支持面５１ａに沿って搬送される際には、ワーク１０において支持面５１ａ上に位置する部分の上方に除塵ユニット９０が位置することとなる。
すなわち、気体噴射口３３及び液体吐出口４３と、後述する第１回収路７１及び第２回収路８１は、ワーク１０の上方となる位置に配置されている。

噴射ヘッド６０の下端面である対向面６１は、吸引プレート５１の支持面５１ａに対して対向している。
ここで、対向面６１の各部と支持面５１ａとの対向間隔（図２、図３の距離ｄ３）は、等間隔（対向面６１の各部において一定）となっている。そして、対向面６１において気体噴射口３３及び液体吐出口４３が互いに独立して開口している。

より詳細には、対向面６１は、図３に示すように、液体吐出口４３の上流側に位置する第１部分６１ａと、液体吐出口４３の下流側且つ気体噴射口３３の上流側に位置する第２部分６１ｂと、気体噴射口３３の下流側に位置する第３部分６１ｃと、を有している。
そして、第１部分６１ａと支持面５１ａとの対向間隔、第２部分６１ｂと支持面５１ａとの対向間隔、及び、第３部分６１ｃと支持面５１ａとの対向間隔は、互いに等しく、いずれも距離ｄ３である。
なお、ワーク１０の一方の面１１が平坦である場合、第１部分６１ａとワーク１０の一方の面１１との対向間隔、第２部分６１ｂと一方の面１１との対向間隔、及び、第３部分６１ｃと一方の面１１との対向間隔は、互いに等しく、いずれも距離ｄ０である。ただし、ワーク１０の一方の面１１は、凹凸面であってもよく（平坦面でなくても良く）、その場合はこの限りでは無い。なお、ワーク１０の一方の面１１が凹凸面である場合、その凹凸の高低差よりも距離ｄ０が大きい。

したがって、気体噴射口３３から支持面５１ａまでの距離ｄ１（図３）と、液体吐出口４３から支持面５１ａまでの距離ｄ２（図３）とが互いに等しい。

本実施形態の場合、支持面５１ａと対向面６１とがそれぞれ平面状であり、支持面５１ａと対向面６１とが互いに平行に対向している。

噴射ヘッド６０の内部には、気体噴射口３３に気体を供給する気体供給路３２と、液体吐出口４３に液体を供給する液体供給路４２と、が形成されている。
液体供給路４２は気体供給路３２よりも上流側に配置されている。気体噴射口３３は、気体供給路３２の先端（下端）に開口している。また、液体吐出口４３は、液体供給路４２の先端（下端）に開口している。
気体供給路３２は、上端が後述する気体前室３１に連通している。気体供給路３２において、気体前室３１に連通している部位と、下端の気体噴射口３３と、を除く周囲部分は、噴射ヘッド６０の実体部分により囲まれている。
このため、後述する気体供給源から気体前室３１を介して気体供給路３２に供給された気体は、気体噴射口３３から噴射される。
液体供給路４２は、上端が後述する液体前室４１に連通している。液体供給路４２において、液体前室４１に連通している部位と、下端の液体吐出口４３と、を除く周囲部分は、噴射ヘッド６０の実体部分により囲まれている。
このため、後述する液体供給源から液体前室４１を介して液体供給路４２に供給された液体は、液体吐出口４３から吐出される。

このように、気液除塵装置１００は、先端に気体噴射口３３が開口していて気体噴射口３３に気体を供給する気体供給路３２と、先端に液体吐出口４３が開口していて液体吐出口４３に液体を供給する液体供給路４２と、を備えている。
ワーク１０の一方の面１１に対して直交し且つ搬送方向に沿う平面で切断した断面（図１から図３に示す断面）において、気体供給路３２の延長線上には気体噴射口３３と支持面５１ａとの間に障害物が無く、且つ、液体供給路４２の延長線上には液体吐出口４３と支持面５１ａとの間に障害物が無い。ここでいう障害物とは、気液除塵装置１００の構成要素であり、ワーク１０は、ここでいう障害物から除外される。

本実施形態の場合、ワーク１０の一方の面１１に対して直交し且つ搬送方向に沿う平面で切断した断面（図１から図３に示す断面）において、気体供給路３２の延長線と液体供給路４２の延長線とが、ワーク１０の一方の面１１への到達前に交差するようになっている。
すなわち、図３に示す直線Ｌ１（上記断面における気体供給路３２の軸線）と直線Ｌ２（上記断面における液体供給路４２の軸線）との交点Ｉが、対向面６１とワーク１０の一方の面１１との間に位置するようになっている。

ここで、気体供給路３２は、気体噴射口３３から遠い側から順に、第１部分３２ａ、第２部分３２ｂ及び第３部分３２ｃを備えている。
このうち第２部分３２ｂの流路幅は、第１部分３２ａの流路幅よりも小さく、第３部分３２ｃの流路幅は、第２部分３２ｂの流路幅よりも更に小さい。
すなわち、気体供給路３２は、先端側（気体噴射口３３側）に向けて、段階的に流路幅が小さくなっている。

より詳細には、第１部分３２ａの下側に第２部分３２ｂが連接されており、第２部分３２ｂの下側に第３部分３２ｃが連接されている。第１部分３２ａは、当該第１部分３２ａの上端から下端に向けて気体を通過させ、第２部分３２ｂは、当該第２部分３２ｂの上端から下端に向けて気体を通過させ、第３部分３２ｃは、当該第３部分３２ｃの上端から下端に向けて気体を通過させる。
第１部分３２ａ、第２部分３２ｂ及び第３部分３２ｃは、ワーク１０の幅方向（図１から図３における奥行き方向）における寸法が互いに等しい。
搬送方向における第２部分３２ｂの寸法は、搬送方向における第１部分３２ａの寸法よりも小さく、搬送方向における第３部分３２ｃの寸法は、搬送方向における第２部分３２ｂの寸法よりも更に小さい。
なお、搬送方向における第１部分３２ａの寸法は、第１部分３２ａの上端から下端に亘って一定となっている。
同様に、搬送方向における第２部分３２ｂの寸法は、第２部分３２ｂの上端から下端に亘って一定となっている。
同様に、搬送方向における第３部分３２ｃの寸法は、第３部分３２ｃの上端から下端に亘って一定となっている。

ここで、気体供給路３２の第３部分３２ｃは、ワーク１０の幅方向（図１から図３の奥行き方向）すなわち搬送方向に対して直交し且つ支持面５１ａに沿う方向に延在するスリット状である。そして、第３部分３２ｃは、ワーク１０の幅方向における両端間に亘って連続的に延在している。
第３部分３２ｃはスリット状であり、第３部分３２ｃの内部空間は板状である。この仮想の板（以下、第１板と称する）は鉛直に配置されており、板面が搬送方向下流側及び上流側を向いている。
また、気体噴射口３３も、第３部分３２ｃと同様に、搬送方向に対して直交し且つ支持面５１ａに沿う方向に延在するスリット状である。
このため、後述する気体供給源から気体前室３１を介して気体供給路３２に供給された気体は、第２部分３２ｂにおいて実質的に鉛直下方に直線的に流動した後、気体噴射口３３から実質的に鉛直下方（第１板に沿った方向）に直線的に噴射される。
すなわち、気体噴射口３３から、気体供給路３２に沿った平板のブレード状に、気体が噴射される。ただし、気体噴射口３３から噴射される気体は、必ずしも気体噴射口３３の全域から均一に吐出されなくてもよい。

また、液体供給路４２も、搬送方向に対して直交し且つ支持面５１ａに沿う方向に延在するスリット状である。そして、液体供給路４２もワーク１０の幅方向における両端間に亘って連続的に延在している。
液体供給路４２はスリット状であり、液体供給路４２の内部空間は板状である。この仮想の板（以下、第２板）は、上述の第１板に対して傾斜している。すなわち、第２板は図２及び図３において右下がりに傾斜している。
また、液体吐出口４３も、液体供給路４２と同様に、搬送方向に対して直交し且つ支持面５１ａに沿う方向に延在するスリット状である。
このため、後述する液体供給源から液体前室４１を介して液体供給路４２に供給された液体は、液体供給路４２において図２及び図３における右下の方向に実質的に直線的に流動した後、液体吐出口４３から図２及び図３における右下の方向（第２板に沿った方向）に吐出される。
その結果、好ましくは、液体吐出口４３から、液体供給路４２に沿った平板のブレード状に、液体が吐出される。ただし、液体吐出口４３から吐出される液体は、必ずしも液体吐出口４３の全域から均一に吐出されなくてもよい。

このように、気体供給路３２（特に第３部分３２ｃ）及び液体供給路４２の各々は、搬送方向に対して直交し且つ支持面５１ａに沿う方向に延在するスリット状であり、ワーク１０の幅方向における両端間に亘って連続的に延在している（図４（ａ）、図４（ｂ）参照）。

ここで、気体噴射口３３からの気体の噴射方向である第１方向は、上記第１板の板面に沿う方向であって、且つ、第２部分３２ｂから気体噴射口３３に向かう方向となる。
また、液体吐出口４３からの液体の吐出方向である第２方向は、上記第２板の板面に沿う方向であって、且つ、液体前室４１から液体吐出口４３に向かう方向となる。
第１方向（気体噴射口３３からの気体の噴射方向）に対する第２方向（液体吐出口４３からの液体の噴射方向）の傾斜角度は特に限定されないが、例えば、１０度以上８０度以下とすることができ、３０度以上６０度以下としてもよい。

気体前室３１は、例えば、気体供給路３２の第１部分３２ａよりも流路幅が広い空間であり、気体供給路３２の第１部分３２ａの上側に連接されている。気体前室３１は、後述する気体供給源に接続されている。
液体前室４１は、液体供給路４２よりも流路幅が広い空間であり、液体供給路４２の上側に連接されている。液体前室４１は、後述する液体供給源に接続されている。

除塵ユニット９０は、気体噴射口３３と液体吐出口４３とを有する噴射ヘッド６０と、搬送方向において噴射ヘッド６０の上流側の位置に配置されていて液体吐出口４３から吐出された液体を気体噴射口３３から噴射された気体とともに吸引して回収する第１回収路７１と、搬送方向において噴射ヘッド６０の下流側の位置に配置されていて液体吐出口４３から吐出された液体を気体噴射口３３から噴射された気体とともに吸引して回収する第２回収路８１と、を備えている。

第１回収路７１は、搬送方向において噴射ヘッド６０の上流側に隣接して配置されており、当該第１回収路７１の下端において開口している。
例えば、第１回収路７１は、当該第１回収路７１における前側の端部が噴射ヘッド６０における後側の面により画定されている。
また、第１回収路７１における後側の端部、及び、左右の端部は、第１回収路構成壁７２により画定されている。
第１回収路７１は、筒状の空間であり、第１回収路７１の上側には、後述する吸引源に接続された空間である吸引源連絡部７３が配置されており、該吸引源連絡部７３の下端が第１回収路７１の上端に連通している。吸引源連絡部７３は、気体前室３１の後側に配置されている。
第１回収路７１は、その下端の開口から雰囲気を吸引することにより、液体吐出口４３からワーク１０の一方の面１１上に吐出された液体及び気体噴射口３３から噴射された気体を吸引する。また、第１回収路７１は、ワーク１０から除去された異物も、液体及び気体と一緒に吸引する。

第２回収路８１は、搬送方向において噴射ヘッド６０の下流側に隣接して配置されており、当該第２回収路８１の下端において開口している。

例えば、第２回収路８１は、当該第２回収路８１における後側の端部が噴射ヘッド６０における前側の面により画定されている。
また、第２回収路８１における前側の端部、及び、左右の端部は、第２回収路構成壁８２により画定されている。
第２回収路８１は、筒状の空間であり、第２回収路８１の上側には、後述する吸引源に接続された空間である吸引源連絡部８３が配置されており、該吸引源連絡部８３の下端が第２回収路８１の上端に連通している。吸引源連絡部８３は、気体前室３１の前側に配置されている。
第２回収路８１は、その下端の開口から雰囲気を吸引することにより、液体吐出口４３からワーク１０の一方の面１１上に吐出された液体及び気体噴射口３３から噴射された気体を吸引する。また、第２回収路８１は、ワーク１０から除去された異物も、液体及び気体と一緒に吸引する。

第１回収路７１の下端の開口の高さ位置は、噴射ヘッド６０の対向面６１の高さ位置と同等の高さ位置に設定されている。すなわち、第１回収路構成壁７２の下端７２ａの高さ位置は、対向面６１の高さ位置と同等に設定されている。
同様に、第２回収路８１の下端の開口の高さ位置は、噴射ヘッド６０の対向面６１の高さ位置と同等の高さ位置に設定されている。すなわち、第２回収路構成壁８２の下端８２ａの高さ位置は、対向面６１の高さ位置と同等に設定されている。

第１回収路７１が単位時間あたりに吸引する雰囲気の体積と、第２回収路８１が単位時間あたりに吸引する雰囲気の体積との合計は、液体吐出口４３から単位時間あたりに吐出される液体と気体噴射口３３から単位時間あたりに噴射される気体との合計量よりも大きいことが好ましい。

なお、ここでは、除塵ユニット９０が第１回収路構成壁７２と第２回収路構成壁８２とを別個に備えている例を説明したが、第１回収路構成壁７２及び第２回収路構成壁８２は、共通の筒状体の一部分ずつにより構成されていても良い。
すなわち、例えば、噴射ヘッド６０の周囲が１つの筒状体により包囲されていて、当該筒状体の下端が開口していても良い。この場合、筒状体の内部空間において、噴射ヘッド６０よりも後側に位置する部分が第１回収路７１であり、噴射ヘッド６０よりも前側に位置する部分が第２回収路８１である。
また、この場合、吸引源連絡部７３と吸引源連絡部８３とは、気体前室３１の周囲を囲む１つの空間の一部分ずつにより構成されていても良い。すなわち、例えば、気体前室３１の周囲が１つの筒状体により包囲されていて、当該筒状体の内部空間において、気体前室３１よりも後側に位置する部分が吸引源連絡部７３であるとともに、気体前室３１よりも前側に位置する部分が吸引源連絡部８３であってもよい。

ここで、図２に示すように、搬送方向における対向面６１の寸法（距離ｄ４）は、対向面６１と支持面５１ａとの対向間隔（距離ｄ３）よりも大きい。
したがって、対向面６１とワーク１０の一方の面１１との対向間隔が、搬送方向における対向面６１の寸法に比して十分に狭くなり、その狭い空間において気体と液体とによる一方の面１１の除塵を行うことができる。

また、搬送方向において、液体吐出口４３から気体噴射口３３までの距離ｄ５は、気体噴射口３３から対向面６１の下流端までの距離ｄ６よりも小さい。
また、距離ｄ５は、ワーク１０の一方の面１１と対向面６１との対向間隔（図３に示す距離ｄ０）よりも小さいことが好ましい。
ただし、距離ｄ５は、搬送方向における気体供給路３２の第３部分３２ｃの寸法よりも大きいことが好ましい。
また、搬送方向において、液体吐出口４３から気体噴射口３３までの距離ｄ５は、液体吐出口４３から対向面６１の上流端までの距離ｄ７よりも小さい。
したがって、液体吐出口４３に近接して配置された気体噴射口３３から噴射される気体によって、液体吐出口４３から吐出された液体をワーク１０の一方の面１１に対して打ち付けることができる。

なお、距離ｄ０は、例えば、０．５ｍｍ以上２０ｍｍ以下とすることができ、好ましくは１ｍｍ以上１０ｍｍ以下とすることができる。
また、距離ｄ１、ｄ２、ｄ３は、距離ｄ０とワーク１０の厚みとの合計であるため、距離ｄ０とワーク１０の厚みとに応じて決定される。なお、気液除塵装置１００による除塵対象となるワーク１０の厚みは特に限定されないが、例えば、数μｍ以上の厚みとすることができる。ワーク１０の厚みの上限は特に限定されない。
また、気液除塵装置１００は、距離ｄ０を調節可能（したがって、距離ｄ１、ｄ２、ｄ３を調節可能）に構成されている。例えば、除塵ユニット９０または吸引プレート５１の少なくとも一方を昇降させることにより距離ｄ０を調節可能となっている。
また、距離ｄ４は、例えば、２０ｍｍ以上２００ｍｍ以下とすることができる。
また、距離ｄ５は、「ワーク１０の一方の面１１に対して直交し且つ搬送方向に沿う平面で切断した断面において、気体供給路３２の延長線と液体供給路４２の延長線とが、ワーク１０の一方の面１１への到達前に交差する」という条件を満たす範囲で、距離ｄ０と、ワーク１０の一方の面１１と第１方向とのなす角度と、第１方向に対する第２方向の傾斜角度と、に応じて設定することができる。なお、気体噴射口３３からの気体の噴射と液体吐出口４３からの液体の吐出とを互いに独立して行うことができるよう、距離ｄ５は０．５ｍｍ以上であることが好ましく、１ｍｍ以上であることが更に好ましい。
また、距離ｄ６は、例えば、１０ｍｍ以上１００ｍｍ以下とすることができる。
また、距離ｄ７は、例えば、１５ｍｍ以上１５０ｍｍ以下とすることができる。

図５に示すように、気液除塵装置１００は、例えば、気体噴射口３３から噴射される気体の供給源であるブロワ３４と、ブロワ３４から供給される気体を濾過するフィルタ３５と、を備えている。フィルタ３５は、例えば、プレフィルタとヘパ（ＨＥＰＡ）フィルタとを含んで構成されている。
除塵ユニット９０は、ブロワ３４からフィルタ３５を介して供給される気体を当該除塵ユニット９０に導入させる気体導入部９１を備えている。気体導入部９１に導入された気体は、図１に示す気体前室３１を介して気体供給路３２に供給され、気体噴射口３３から噴射される。
ブロワ３４とフィルタ３５との間、並びに、フィルタ３５と気体導入部９１との間には、図示しない気体供給路が介在しており、清浄な気体をブロワ３４から気体導入部９１に供給可能となっている。

更に、気液除塵装置１００は、例えば、液体吐出口４３から吐出される液体の供給源である液槽４４及びポンプ４５を備えている。
除塵ユニット９０は、ポンプ４５によって圧送される液体を当該除塵ユニット９０に導入させる液体導入部９２を備えている。液体導入部９２に導入された液体は、図１等に示す液体前室４１を介して液体供給路４２に供給され、液体吐出口４３から噴射される。
液槽４４とポンプ４５との間、並びに、ポンプ４５と液体導入部９２との間は、それぞれ図示しない配管により接続されている。
気液除塵装置１００は、更に、ポンプ４５と液体導入部９２との間の配管にそれぞれ設けられた止水弁４６、流量コントローラ４７及び逆止弁４８を備えている。止水弁４６によって液体導入部９２への液体の供給を停止したり、流量コントローラ４７によって液体導入部９２に供給される液体の流量を調節したりすることが可能となっている。

更に、気液除塵装置１００は、第１回収路７１及び第２回収路８１から吸引源連絡部７３及び吸引源連絡部８３を介して雰囲気を吸引する吸引源であるブロワ７６を備えている。
除塵ユニット９０は、吸引源連絡部７３及び吸引源連絡部８３に対して接続されている排出部９３を備えている。
排出部９３とブロワ７６とは、図示しない気体排気路によって接続されており、除塵ユニット９０からの排気を排出部９３からブロワ７６まで漏らさず送気できるようになっている。
排出部９３とブロワ７６との間の気体排気路には、慣性集塵水切りフィルタボックス７４とフィルタ７５とが排出部９３側からこの順に設けられている。
更に、ブロワ７６の後段には、フィルタ７７が設けられている。
フィルタ７５は、例えば、プレフィルタであり、フィルタ７７は、例えば、ヘパ（ＨＥＰＡ）フィルタである。
慣性集塵水切りフィルタボックス７４によって、排気に含まれる液体及び異物を捕集した後、フィルタ７５によって、排気に含まれるより細かい異物を捕集することができる。更に、ブロワ７６からの排気をフィルタ７７を介して放出することにより、気液除塵装置１００からの排気を清浄にすることができる。

次に、動作を説明する。

気液除塵装置１００の除塵ユニット９０によるワーク１０の除塵は、搬送部によってワーク１０を搬送しながら行われる。
すなわち、ワーク１０を図１における右方に向けて搬送しながら、気体噴射口３３からワーク１０の一方の面１１に対する気体の噴射と、液体吐出口４３からワーク１０の一方の面１１に対する液体の吐出とを行う。
また、第１回収路７１を介した排気（液体及び異物を含む）の回収と、第２回収路８１を介した排気（液体及び異物を含む）の回収も、一方の面１１に対する気体の噴射及び液体の吐出と並行して行う。
ワーク１０の搬送は、例えば、一定速度で連続的に行われる。
また、気体噴射口３３からの気体の噴射は、例えば、一定の流量で連続的に行われる。
また、液体吐出口４３からの液体の吐出は、例えば、一定の流量で連続的に行われる。
また、第１回収路７１からの排気は、例えば、一定の流量で連続的に行われる。
また、第２回収路８１からの排気は、例えば、一定の流量で連続的に行われる。

これにより、一方の面１１の除塵を行うことができる。
ここで、液体吐出口４３から吐出された液体は、図３に示す交点Ｉの付近で気体と衝突するため、気体によって下方に付勢されて、一方の面１１に衝突する。液体は気体よりも重たい（密度が大きい）ため、気体よりも大きいエネルギーで一方の面１１に付着している異物に衝突し、該異物をワーク１０から除去することができる。よって、一方の面１１に固着した異物であっても、好適に除去することが可能である。
すなわち、気体の噴射だけでは除去できないような固着異物をワーク１０の一方の面１１から剥離させ、除去することができる。

一方の面１１から除去された異物は、液体吐出口４３から吐出された液体及び気体噴射口３３から噴射された気体とともに、噴射ヘッド６０の上流側及び下流側にそれぞれ配置されている第１回収路７１及び第２回収路８１によって回収される。

ここで、液体吐出口４３は気体噴射口３３とは独立して配置されているため、液体が極微細なミスト状になることが抑制され、そのようなミストよりも相対的に大きい塊状の液体が気体により付勢されて一方の面１１に打ち付けられることとなる。よって、一方の面１１に対してより大きなエネルギーの液体を打ち付けることができ、固着異物の除去をより確実に行うことが可能となる。
また、気体噴射口３３からの気体の噴射方向（第１方向）がワーク１０の一方の面１１に対して直交する方向であるため、液体をより大きな力で一方の面１１に打ち付けることができる。
また、液体吐出口４３から液体の吐出方向（第２方向）が搬送方向に対して順方向となるよう、第２方向が第１方向に対して傾斜しているため、液体吐出口４３から吐出された液体と気体噴射口３３から噴射された気体とを確実に衝突させることができる。

また、気体噴射口３３から支持面５１ａまでの距離と、液体吐出口４３から支持面５１ａまでの距離とが互いに等しいことにより、液体吐出口４３から吐出された液体と気体噴射口３３から噴射された気体とが対向面６１と一方の面１１との間でより確実に交差するようにできるとともに、液体吐出口４３から吐出された液体が極微細なミスト状になってしまうことを好適に抑制できる。

また、ワーク１０の一方の面１１に対して直交し且つ搬送方向に沿う平面で切断した断面において、気体供給路３２の延長線上には気体噴射口３３と支持面５１ａとの間に障害物が無く、且つ、液体供給路４２の延長線上には液体吐出口４３と支持面５１ａとの間に障害物が無い。このため、ワーク１０の一方の面１１に打ち付けられる液体の勢いが障害物によって弱められてしまうことが無い。

また、ワーク１０の一方の面１１に対して直交し且つ搬送方向に沿う平面で切断した断面において、気体供給路３２の延長線と液体供給路４２の延長線とが、ワーク１０の一方の面１１への到達前に交差するので、気体噴射口３３及び液体吐出口４３と一方の面１１との間の空中において気体と液体とを衝突させて、液体を気体によって付勢し、液体を一方の面１１に打ち付けることができる。

また、気体供給路３２及び液体供給路４２の各々は、搬送方向に対して直交し且つ支持面５１ａに沿う方向に延在するスリット状であり、ワーク１０の幅方向における両端間に亘って連続的に延在しているので、気体噴射口３３及び液体吐出口４３からそれぞれ気体及び液体をブレード状に噴射又は吐出することができる。このため、ブレード状（ヘラ状）の液体によって一方の面１１から異物を削ぎ落とすことができる。
これにより、ワーク１０の一方の面１１の幅方向における全域に亘って好適に除塵を行うことができるため、一方の面１１上において異物が斑に残留してしまうことを抑制でき、除塵効率を向上することが可能となる。

また、噴射ヘッド６０の対向面６１の各部と支持面５１ａとの対向間隔が等間隔であるため、対向面６１と支持面５１ａとの対向間隔の全体を狭い間隔とすることができ、噴射ヘッド６０の前後に配置されている第１回収路７１及び第２回収路８１による排気（液体及び異物を含む）の回収効率を良好なものとすることができる。

また、搬送方向における対向面６１の寸法（距離ｄ４）が、対向面６１と支持面５１ａとの対向間隔（距離ｄ３）よりも大きいので、対向面６１と支持面５１ａとの対向間隔を狭い間隔とすることができる。
これにより、液体吐出口４３から吐出されて対向面６１とワーク１０の一方の面１１との間に供給された液体の液面の少なくとも一部が対向面６１に達するようにできる。よって、噴射ヘッド６０の前後に配置されている第１回収路７１及び第２回収路８１による排気（液体及び異物を含む）の回収効率を良好なものとすることができる。

また、搬送方向において、液体吐出口４３から気体噴射口３３までの距離ｄ５が、気体噴射口３３から対向面６１の下流端までの距離ｄ６よりも小さいので、気体噴射口３３の下流側において、対向面６１と支持面５１ａとの対向間隔が狭い領域が一定以上の長さに形成されている。よって、この領域を介して、下流側の第２回収路８１によって良好に排気（液体及び異物を含む）を吸引することができる。

また、搬送方向において、液体吐出口４３から気体噴射口３３までの距離ｄ５が、液体吐出口４３から対向面６１の上流端までの距離ｄ７よりも小さいので、液体吐出口４３の上流側において、対向面６１と支持面５１ａとの対向間隔が狭い領域が一定以上の長さに形成されている。よって、この領域を介して、上流側の第１回収路７１によって良好に排気（液体及び異物を含む）を吸引することができる。

〔第２実施形態〕
次に、図６を用いて第２実施形態に係る気液除塵装置１００について説明する。
図６は本実施形態に係る気液除塵装置１００の除塵ユニット９０の部分拡大の側断面図である。
本実施形態に係る気液除塵装置１００は、以下に説明する点で、上記の第１実施形態に係る気液除塵装置１００と相違しており、その他の点では上記の第１実施形態に係る気液除塵装置１００と同様に構成されている。

本実施形態の場合、ワーク１０の一方の面１１に対して直交し且つ搬送方向に沿う平面で切断した断面（図６に示す断面）において、気体供給路３２の延長線と液体供給路４２の延長線とが、ワーク１０の一方の面１１への到達後に交差するようになっている。
すなわち、図６に示す直線Ｌ１（上記断面における気体供給路３２の軸線）と直線Ｌ２（上記断面における液体供給路４２の軸線）との交点Ｉが、一方の面１１を基準として、対向面６１側とは反対側（下側）に位置するようになっている。

本実施形態の場合も、距離ｄ０、ワーク１０の一方の面１１と第１方向とのなす角度、及び、第１方向に対する第２方向の傾斜角度は、第１実施形態と同様である。
本実施形態の場合、距離ｄ５は、距離ｄ０よりも大きくしてもよい。
本実施形態の場合、距離ｄ５は、例えば、１ｍｍ以上とすることができる。

本実施形態の場合、液体吐出口４３から吐出された液体と気体噴射口３３から噴射された気体とは、対向面６１と一方の面１１との間では衝突せず、液体が一方の面１１上に供給された後、当該液体に対して、気体噴射口３３から噴射された気体が衝突し、該液体を気体による付勢によって一方の面１１に対して連続的に打ち付ける動作となる。

本実施形態においても、ワーク１０の除塵を良好に行うことが可能である。
なお、本実施形態では、気体供給路３２の延長線と液体供給路４２の延長線とが、ワーク１０の一方の面１１への到達後に交差するため、一方の面１１に付着した液体が下流側に移動してしまうことを、気体噴射口３３から噴射される気流によって堰き止めることができる。よって、一方の面１１に液体が付着したままワーク１０が除塵ユニット９０の下流側に搬送されてしまうことをより確実に抑制できる。また、気体噴射口３３から噴射される気体によって、対向面６１と一方の面１１との間の液体の一部を一方の面１１から除去された異物とともに上流側に押し流し、これを第１回収路７１により回収することができる。

〔第３実施形態〕
次に、図７から図９を用いて第３実施形態に係る気液除塵装置１００について説明する。
図７は第３実施形態に係る気液除塵装置１００の側断面図であり、除塵ユニット９０及びその周辺の構成を示す。
図８は図７の部分拡大図であり、噴射ヘッド６０の対向面６１の近傍の構成を示す。
図９は第３実施形態に係る気液除塵装置１００の全体構成を示す模式図である。

上記の第１実施形態では除塵ユニット９０と対向する位置においてワーク１０が平板状の吸引プレート５１に沿って直線的に移動する例を説明した。
これに対し、本実施形態の場合、搬送部は、ローラ２０、ローラ２１、吸引プレート５１及び吸引箱５２を備えておらず、その代わりに、図示しないモータ等のアクチュエータによって回転駆動されるローラ２５を備えている。
本実施形態では、除塵ユニット９０と対向する位置においてワーク１０が円筒状のローラ２５の周面２５ａに沿って円弧状に移動するようになっており、ワーク１０を面支持する支持面は、ローラ２５の周面２５ａである。

また、除塵ユニット９０においてローラ２５と対向する部位の形状もローラ２５の周面２５ａに沿う凹曲面となっている。
すなわち、搬送部は円筒状のローラ２５であり、支持面はローラ２５の周面２５ａであり、噴射ヘッド６０の対向面６１はローラ２５の周面２５ａに沿った凹曲面である。
また、第１回収路構成壁７２及び第２回収路構成壁８２においてローラ２５と対向する部位である曲面状対向部７２ｂ及び曲面状対向部８２ｂも、ローラ２５の周面２５ａに沿った形状となっている。

図８に示すように、本実施形態の場合も、気体噴射口３３から支持面５１ａまでの距離ｄ１と、液体吐出口４３から支持面５１ａまでの距離ｄ２とが互いに等しい。
また、対向面６１の各部と支持面である周面２５ａとの対向間隔（距離ｄ３）は、等間隔（対向面６１の各部において一定）となっている。

本実施形態の場合、気液除塵装置１００は、第１除塵ユニット９０ａ及び第２除塵ユニット９０ｂの２つの除塵ユニット９０を備えており、各除塵ユニット９０とそれぞれ対応するローラ２５を備えている。

第１除塵ユニット９０ａと対応するローラ２５の上方に第１除塵ユニット９０ａが配置されている。第１除塵ユニット９０ａの対向面６１は下向きに配置されている。
第１除塵ユニット９０ａと対応するローラ２５は、当該ローラ２５の上部の周面２５ａによって、ワーク１０の裏面１２を面支持する。
そして、第１除塵ユニット９０ａは、ワーク１０の一方の面１１の除塵を行う。

第２除塵ユニット９０ｂと対応するローラ２５は、搬送方向において、第１除塵ユニット９０ａと対応するローラ２５の下流側に配置されており、当該ローラ２５の下部がワーク１０の裏面１２に対して上側から係合している。
第２除塵ユニット９０ｂと対応するローラ２５の下方に第２除塵ユニット９０ｂが配置されている。
そして、第２除塵ユニット９０ｂは、ワーク１０の裏面１２の除塵を行う。

よって、第１除塵ユニット９０ａと対応するローラ２５と第２除塵ユニット９０ｂと対応するローラ２５とを含む搬送部によってワーク１０を搬送しながら、第１除塵ユニット９０ａによってワーク１０の一方の面１１の除塵を行い、引き続き、第２除塵ユニット９０ｂによってワーク１０の裏面１２の除塵を行うことができる。

図９に示すように、本実施形態の場合、ブロワ３４から気体を供給する気体供給路は、フィルタ３５の下流側の分岐点９５において二分岐し、第１除塵ユニット９０ａの気体導入部９１と第２除塵ユニット９０ｂの気体導入部９１とにそれぞれ接続されている。よって、ブロワ３４からの気体は、第１除塵ユニット９０ａと第２除塵ユニット９０ｂとに分配供給される。

また、液槽４４から液体を供給する配管は、逆止弁４８の下流側の分岐点９６において二分岐し、第１除塵ユニット９０ａの液体導入部９２と第２除塵ユニット９０ｂの液体導入部９２とにそれぞれ接続されている。よって、液槽４４からの液体は、第１除塵ユニット９０ａと第２除塵ユニット９０ｂとに分配供給される。
なお、分岐点９６と第２除塵ユニット９０ｂの液体導入部９２との間の配管には、流量調整バルブ４９が設けられている。当該配管における液体の流量を、流量調整バルブ４９を用いて調整することによって、第１除塵ユニット９０ａの液体吐出口４３から吐出される液体の流量と、第２除塵ユニット９０ｂの液体吐出口４３から吐出される液体の流量との間に、重力に起因する不均衡が生じてしまうことを抑制することができる。

また、第１除塵ユニット９０ａの排出部９３からの気体排気路と第２除塵ユニット９０ｂの排出部９３からの気体排気路とは、合流点９７において合流した後、慣性集塵水切りフィルタボックス７４に接続されている。よって、第１除塵ユニット９０ａからの排気（液体及び異物を含む）と、第２除塵ユニット９０ｂからの排気（液体及び異物を含む）は、共通の慣性集塵水切りフィルタボックス７４に導入された後、共通のフィルタ７５、共通のブロワ７６及び共通のフィルタ７７を介して放出される。

本実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果が得られる。
また、気液除塵装置１００は、ワーク１０の一方の面１１の除塵を行う第１除塵ユニット９０ａと、ワーク１０の裏面１２の除塵を行う第２除塵ユニット９０ｂとを備えているので、ワーク１０の両面の除塵が可能である。

〔第４実施形態〕
次に、図１０を用いて第４実施形態に係る気液除塵装置１００について説明する。
図１０は本実施形態に係る気液除塵装置１００の側断面図であり、除塵ユニット９０及びその周辺の構成を示す。
本実施形態に係る気液除塵装置１００は、以下に説明する点で、上記の第１実施形態に係る気液除塵装置１００と相違しており、その他の点では上記の第１実施形態に係る気液除塵装置１００と同様に構成されている。

本実施形態の場合、気液除塵装置１００は、ワーク１０の一方の面１１の除塵を行う第１除塵ユニット９０ａと、ワーク１０の裏面１２の除塵を行う第２除塵ユニット９０ｂと、の２つの除塵ユニット９０を備えている。
第１除塵ユニット９０ａ及び第２除塵ユニット９０ｂの各々の構造は、第１実施形態で説明した除塵ユニット９０と同様である。
第１除塵ユニット９０ａは、第１実施形態における除塵ユニット９０と同様に、当該第１除塵ユニット９０ａの対向面６１が下向きとなるように配置されている。
一方、第２除塵ユニット９０ｂは、第１除塵ユニット９０ａの下方に離間して配置されており、第１除塵ユニット９０ａとは上下反転した配置となっている。
すなわち、第２除塵ユニット９０ｂは、当該第２除塵ユニット９０ｂの対向面６１が上向きとなるように配置されており、第１除塵ユニット９０ａの対向面６１と第２除塵ユニット９０ｂの対向面６１とは、互いに平行に対向している。

本実施形態の場合、ワーク１０は、第１除塵ユニット９０ａの第１回収路構成壁７２の下端７２ａと、第２除塵ユニット９０ｂの第１回収路構成壁７２の上端７２ｃとの間、第１除塵ユニット９０ａの噴射ヘッド６０の対向面６１と第２除塵ユニット９０ｂの噴射ヘッド６０の対向面６１との間、及び、第２除塵ユニット９０ｂの第２回収路構成壁８２の下端８２ａと第２除塵ユニット９０ｂの第２回収路構成壁８２の上端８２ｃとの間をこの順に通過するようになっている。
なお、上端７２ｃ及び上端８２ｃの構造は、下端７２ａ及び下端８２ａの構造と同様である。

また、本実施形態の場合、例えば、一対のローラ２０のうち上側のローラ２０は、第１除塵ユニット９０ａの第１回収路７１内に配置されており、下側のローラ２０は、第２除塵ユニット９０ｂの第１回収路７１内に配置されている。
同様に、一対のローラ２１のうち上側のローラ２１は、第１除塵ユニット９０ａの第２回収路８１内に配置されており、下側のローラ２０は、第２除塵ユニット９０ｂの第２回収路８１内に配置されている。
ただし、本実施形態においても、第１実施形態と同様に、一対のローラ２０は除塵ユニット９０よりも搬送方向における上流側に配置されていて、一対のローラ２１は除塵ユニット９０よりも搬送方向における下流側に配置されていてもよい。

なお、本実施形態の場合、気液除塵装置１００の全体構成は、第３実施形態（図９）と同様である。

本実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果が得られる。
また、気液除塵装置１００は、ワーク１０の一方の面１１の除塵を行う第１除塵ユニット９０ａと、ワーク１０の裏面１２の除塵を行う第２除塵ユニット９０ｂとを備えているので、ワーク１０の両面の除塵が可能である。

〔第５実施形態〕
次に、図１１を用いて第５実施形態に係る気液除塵装置１００について説明する。
本実施形態に係る気液除塵装置１００は、以下に説明する点で、上記の第１実施形態に係る気液除塵装置１００と相違しており、その他の点では上記の第１実施形態に係る気液除塵装置１００と同様に構成されている。

図１１に示すように、本実施形態に係る気液除塵装置１００は、ワーク１０の搬送方向において第２回収路８１の下流側の位置に配置されていて第２回収路８１に向けて気体を噴射するエアナイフ１１０を備えている。すなわち、エアナイフ１１０は、搬送方向における上流側に向けて気体を噴射する。

エアナイフ１１０は、例えば、図１１の奥行き方向に延在する（搬送方向に対して直交し且つ支持面５１ａに沿う方向に延在する）主流路１１１と、主流路１１１に連通しているスリット状の噴射スリット１１２と、を備えている。噴射スリット１１２は、図１１の奥行き方向に延在している。噴射スリット１１２は、主流路１１１から、搬送方向に対する逆方向に延びていて、当該噴射スリット１１２における主流路１１１側とは反対側の端（つまり噴射スリット１１２の先端）から気体を噴射する。よって、噴射スリット１１２の先端から、第２回収路８１に向けて（搬送方向における上流側に向けて）気体を噴射することができる。
エアナイフ１１０は、例えば、第２回収路構成壁８２の前面における下端部に固定されており、第２回収路構成壁８２の下端８２ａとワーク１０の一方の面１１との間に気体を噴射するようになっている。
噴射スリット１１２は、図１１において左下がりに傾斜して配置されていて、噴射スリット１１２の先端（左端且つ下端）の高さ位置は、下端８２ａと同等の高さ位置に設定されている。
主流路１１１には、図示しない気体供給源から気体が供給されるようになっている。この気体供給源は、気体導入部９１を介して気体前室３１に気体を供給する気体供給源と共通でも良いし、それとは別の気体供給源であってもよい。
主流路１１１に供給された気体は、噴射スリット１１２に導入されて、該噴射スリット１１２の先端から噴射される。

本実施形態によれば、気液除塵装置１００がエアナイフ１１０を備えていることにより、液体吐出口４３から吐出されてワーク１０の一方の面１１に付着した液体のうち、噴射ヘッド６０の上流側及び下流側の第１回収路７１及び第２回収路８１によって回収しきれずに一旦は第２回収路８１の下流側まで搬送されてきた液体を、第２回収路８１側に押し戻し、該第２回収路８１によってより確実に回収させることができる。
よって、除塵ユニット９０を通過後のワーク１０の一方の面１１における液体の残留を抑制することができるため、除塵ユニット９０を通過後のワーク１０の一方の面１１をより乾燥した状態にすることができる。これにより、除塵ユニット９０の下流側に配置されているローラ（図１に示すローラ２１）に液体が付着してしまうことを抑制できる。

〔第６実施形態〕
次に、図１２を用いて第６実施形態に係る気液除塵装置１００について説明する。
本実施形態に係る気液除塵装置１００は、以下に説明する点で、上記の第３実施形態に係る気液除塵装置１００と相違しており、その他の点では上記の第３実施形態に係る気液除塵装置１００と同様に構成されている。

図１２に示すように、本実施形態に係る気液除塵装置１００は、ワーク１０の搬送方向において第２回収路８１の下流側の位置に配置されていて第２回収路８１に向けて気体を噴射するエアナイフ１１０を備えている。すなわち、エアナイフ１１０は、搬送方向における上流側に向けて気体を噴射する。

エアナイフ１１０の構造は、第５実施形態と同様である。
すなわち、エアナイフ１１０は、例えば、図１２の奥行き方向に延在する主流路１１１と、主流路１１１に連通しているスリット状の噴射スリット１１２と、を備えており、噴射スリット１１２の先端から、第２回収路８１に向けて気体を噴射することができる。
エアナイフ１１０は、例えば、第２回収路構成壁８２の前端部における下面に固定されており、第２回収路構成壁８２の曲面状対向部８２ｂとワーク１０の一方の面１１との間に気体を噴射するようになっている。
噴射スリット１１２は、図１２において左上がりに傾斜して配置されている。噴射スリット１１２の先端と周面２５ａとの距離は、曲面状対向部８２ｂと周面２５ａとの距離と同等の距離に設定されている。

本実施形態によっても、気液除塵装置１００がエアナイフ１１０を備えていることにより、液体吐出口４３から吐出されてワーク１０の一方の面１１に付着した液体のうち、噴射ヘッド６０の上流側及び下流側の第１回収路７１及び第２回収路８１によって回収しきれずに一旦は第２回収路８１の下流側まで搬送されてきた液体を、第２回収路８１側に押し戻し、該第２回収路８１によってより確実に回収させることができる。
よって、除塵ユニット９０を通過後のワーク１０の一方の面１１における液体の残留を抑制することができるため、除塵ユニット９０を通過後のワーク１０の一方の面１１をより乾燥した状態にすることができる。これにより、除塵ユニット９０の下流側に配置されているローラに液体が付着してしまうことを抑制できる。

以上、図面を参照して各実施形態を説明したが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。

例えば、上記の第３実施形態においては、気液除塵装置１００が２つの除塵ユニット９０を備えていて、各除塵ユニット９０に対応する搬送部が円筒状のローラ２５であり、支持面はローラの周面２５ａであり、対向面６１はローラ２５の周面２５ａに沿った凹曲面である例を説明した。
ただし、本発明は、この例に限らず、気液除塵装置１００が１つの除塵ユニット９０を備えていて、搬送部が円筒状のローラ２５であり、支持面はローラの周面２５ａであり、対向面６１はローラ２５の周面２５ａに沿った凹曲面であってもよい。

また、上記の実施形態は、内容が相反しない範囲で組み合わせることができる。

本実施形態は以下の技術思想を包含する。
（１）搬送されるシート状のワークの一方の面に対して気体と液体とを供給して前記ワークの除塵を行う気液除塵装置であって、
前記ワークを所定の搬送方向に搬送する搬送部と、
前記ワークの前記一方の面に対して直交する第１方向に気体を噴射する気体噴射口と、
前記気体噴射口よりも前記搬送方向における上流側に前記気体噴射口とは独立して配置され、第２方向に液体を吐出する液体吐出口と、
を備え、
前記第２方向が前記搬送方向に対して順方向となるよう、前記第２方向が前記第１方向に対して傾斜している気液除塵装置。
（２）前記搬送部は、前記一方の面に対する裏面にて前記ワークを面支持する支持面を有し、
前記気体噴射口から前記支持面までの距離と、前記液体吐出口から前記支持面までの距離とが互いに等しい（１）に記載の気液除塵装置。
（３）先端に前記気体噴射口が開口していて、前記気体噴射口に気体を供給する気体供給路と、
先端に前記液体吐出口が開口していて、前記液体吐出口に液体を供給する液体供給路と、
を備え、
前記一方の面に対して直交し且つ前記搬送方向に沿う平面で切断した断面において、前記気体供給路の延長線上には前記気体噴射口と前記支持面との間に障害物が無く、且つ、前記液体供給路の延長線上には前記液体吐出口と前記支持面との間に障害物が無い（２）に記載の気液除塵装置。
（４）先端に前記気体噴射口が開口していて、前記気体噴射口に気体を供給する気体供給路と、
先端に前記液体吐出口が開口していて、前記液体吐出口に液体を供給する液体供給路と、
を備え、
前記一方の面に対して直交し且つ前記搬送方向に沿う平面で切断した断面において、前記気体供給路の延長線と前記液体供給路の延長線とが、前記ワークの前記一方の面への到達前に交差する（３）に記載の気液除塵装置。
（５）前記気体供給路及び前記液体供給路の各々は、前記搬送方向に対して直交し且つ前記支持面に沿う方向に延在するスリット状であり、前記ワークの幅方向における両端間に亘って連続的に延在している（３）又は（４）に記載の気液除塵装置。
（６）前記気体噴射口と前記液体吐出口とを有する噴射ヘッドを更に備え、
前記噴射ヘッドは、前記支持面に対して対向する対向面を有し、
前記対向面の各部と前記支持面との対向間隔が等間隔であり、
前記対向面において前記気体噴射口及び前記液体吐出口が互いに独立して開口している（２）から（５）のいずれか一項に記載の気液除塵装置。
（７）前記支持面と前記対向面とがそれぞれ平面状であり、前記支持面と前記対向面とが互いに平行に対向している（６）に記載の気液除塵装置。
（８）前記搬送部は円筒状のローラであり、
前記支持面は前記ローラの周面であり、
前記対向面は前記ローラの前記周面に沿った凹曲面である（６）に記載の気液除塵装置。
（９）前記搬送方向における前記対向面の寸法が、前記対向面と前記支持面との対向間隔よりも大きい（６）から（８）のいずれか一項に記載の気液除塵装置。
（１０）前記搬送方向において、前記液体吐出口から前記気体噴射口までの距離が、前記気体噴射口から前記対向面の下流端までの距離よりも小さい（６）から（９）のいずれか一項に記載の気液除塵装置。
（１１）前記搬送方向において、前記液体吐出口から前記気体噴射口までの距離が、前記液体吐出口から前記対向面の上流端までの距離よりも小さい（６）から（１０）のいずれか一項に記載の気液除塵装置。
（１２）前記気体噴射口と前記液体吐出口とを有する噴射ヘッドと、
前記搬送方向において前記噴射ヘッドの上流側の位置に配置され、前記液体吐出口から吐出された液体を前記気体噴射口から噴射された気体とともに吸引して回収する第１回収路と、
前記搬送方向において前記噴射ヘッドの下流側の位置に配置され、前記液体吐出口から吐出された液体を前記気体噴射口から噴射された気体とともに吸引して回収する第２回収路と、
を備える（１）から（１１）のいずれか一項に記載の気液除塵装置。
（１３）前記搬送方向において前記第２回収路の下流側の位置に配置され、前記第２回収路に向けて気体を噴射するエアナイフを備える（１２）に記載の気液除塵装置。

１０ ワーク
１１ 一方の面
１２ 裏面
２０ ローラ（搬送部を構成する）
２１ ローラ（搬送部を構成する）
２５ ローラ（搬送部を構成する）
２５ａ 周面（支持面）
３１ 気体前室
３２ 気体供給路
３２ａ 第１部分
３２ｂ 第２部分
３２ｃ 第３部分
３３ 気体噴射口
３４ ブロワ
３５ フィルタ
４１ 液体前室
４２ 液体供給路
４３ 液体吐出口
４４ 液槽
４５ ポンプ
４６ 止水弁
４７ 流量コントローラ
４８ 逆止弁
４９ 流量調整バルブ
５１ 吸引プレート（搬送部を構成する）
５１ａ 支持面
５２ 吸引箱（搬送部を構成する）
５２ａ 陰圧室
６０ 噴射ヘッド
６１ 対向面
６１ａ 第１部分
６１ｂ 第２部分
６１ｃ 第３部分
７１ 第１回収路
７２ 第１回収路構成壁
７２ａ 下端
７２ｂ 曲面状対向部
７２ｃ 上端
７３ 吸引源連絡部
７４ 慣性集塵水切りフィルタボックス
７５ フィルタ
７６ ブロワ
７７ フィルタ
８１ 第２回収路
８２ 第２回収路構成壁
８２ａ 下端
８２ｂ 曲面状対向部
８２ｃ 上端
８３ 吸引源連絡部
９０ 除塵ユニット
９０ａ 第１除塵ユニット
９０ｂ 第２除塵ユニット
９１ 気体導入部
９２ 液体導入部
９３ 排出部
９５、９７ 分岐点
９６ 合流点
１００ 気液除塵装置
１１０ エアナイフ
１１０ａ 下面
１１０ｂ 対向面
１１１ 主流路
１１２ 噴射スリット

Claims (9)

1. 搬送されるシート状のワークの一方の面に対して気体と液体とを供給して前記ワークの除塵を行う気液除塵装置であって、
   前記ワークを所定の搬送方向に搬送する搬送部と、
   前記ワークの前記一方の面に対して直交する第１方向に気体を噴射する気体噴射口と、
   前記気体噴射口よりも前記搬送方向における上流側に前記気体噴射口とは独立して配置され、第２方向に液体を吐出する液体吐出口と、
   先端に前記気体噴射口が開口していて、前記気体噴射口に気体を供給する気体供給路と、
   先端に前記液体吐出口が開口していて、前記液体吐出口に液体を供給する液体供給路と、
   を備え、
   前記第２方向が前記搬送方向に対して順方向となるよう、前記第２方向が前記第１方向に対して傾斜しており、
   前記気体供給路及び前記液体供給路の各々は、前記搬送方向に対して直交し且つ前記支持面に沿う方向に延在するスリット状であり、前記ワークの幅方向における両端間に亘って連続的に延在しており、
   前記ワークの幅方向における両端間の全域において、前記液体吐出口が、前記気体噴射口よりも前記搬送方向における上流側に配置されている気液除塵装置。
2. 前記搬送部は、前記一方の面に対する裏面にて前記ワークを面支持する支持面を有し、
   前記気体噴射口から前記支持面までの距離と、前記液体吐出口から前記支持面までの距離とが互いに等しい請求項１に記載の気液除塵装置。
3. 前記一方の面に対して直交し且つ前記搬送方向に沿う平面で切断した断面において、前記気体供給路の延長線上には前記気体噴射口と前記支持面との間に障害物が無く、且つ、前記液体供給路の延長線上には前記液体吐出口と前記支持面との間に障害物が無い請求項２に記載の気液除塵装置。
4. 前記一方の面に対して直交し且つ前記搬送方向に沿う平面で切断した断面において、前記気体供給路の延長線と前記液体供給路の延長線とが、前記ワークの前記一方の面への到達前に交差する請求項１から３のいずれか一項に記載の気液除塵装置。
5. 前記気体噴射口と前記液体吐出口とを有する噴射ヘッドを更に備え、
   前記噴射ヘッドは、前記支持面に対して対向する対向面を有し、
   前記対向面の各部と前記支持面との対向間隔が等間隔であり、
   前記対向面において前記気体噴射口及び前記液体吐出口が互いに独立して開口している請求項２から４のいずれか一項に記載の気液除塵装置。
6. 前記支持面と前記対向面とがそれぞれ平面状であり、前記支持面と前記対向面とが互いに平行に対向している請求項５に記載の気液除塵装置。
7. 前記搬送部は円筒状のローラであり、
   前記支持面は前記ローラの周面であり、
   前記対向面は前記ローラの前記周面に沿った凹曲面である請求項５に記載の気液除塵装置。
8. 前記搬送方向における前記対向面の寸法が、前記対向面と前記支持面との対向間隔よりも大きい請求項５から７のいずれか一項に記載の気液除塵装置。
9. 前記気体噴射口と前記液体吐出口とを有する噴射ヘッドと、
   前記搬送方向において前記噴射ヘッドの上流側の位置に配置され、前記液体吐出口から吐出された液体を前記気体噴射口から噴射された気体とともに吸引して回収する第１回収路と、
   前記搬送方向において前記噴射ヘッドの下流側の位置に配置され、前記液体吐出口から吐出された液体を前記気体噴射口から噴射された気体とともに吸引して回収する第２回収路と、
   を備える請求項１から８のいずれか一項に記載の気液除塵装置。

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