JP7287143B2 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、流路構造体および液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、流路構造体および液体噴射ヘッドの製造方法に関する。

印刷用紙等の媒体に対してノズルから液体を噴射する技術が従来から提案されている。例えば特許文献１には、ノズルに連通するインク通路の壁面に洗浄用の通路（以下「洗浄通路」という）が形成されたインクジェットヘッドが開示されている。洗浄通路は、ヘッドボディの外装面に形成された開口までインク通路から延在する。洗浄通路に洗浄液を流通させることでノズルの内部が洗浄される。洗浄が完了すると、ヘッドボディの外装面に形成された開口が閉塞部材により閉塞される。

特開昭６３－５９４７号公報

特許文献１の技術では、洗浄後に洗浄通路の開口が閉塞部材により閉塞された段階において、洗浄通路には空気が残留する。また、洗浄液の流動によりノズルの内部から移動した塵芥が洗浄通路に残留する可能性がある。特許文献１の技術では、インクジェットヘッドが使用される段階においても、洗浄通路にノズルが連通した状態が維持される。したがって、洗浄通路に残留した気泡または塵芥等の異物がノズルの近傍に移動することで、液体の噴射不良を引き起こす可能性がある。

以上の課題を解決するために、ひとつの態様に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズルと、前記ノズルに連通する液体流路と、大気に連通可能な連通口を有する連通室と、前記液体流路と前記連通室との間に設けられ、前記液体流路と前記連通室とを連通させる開口部を有する隔壁部と、前記開口部を閉塞する弾性部材とを具備する。

ひとつの態様に係る流路構造体は、液体を噴射するノズルに連通する液体流路と、大気に連通可能な連通室と、前記液体流路と前記連通室との間に設けられ、前記液体流路と前記連通室とを連通させる開口部を有する隔壁部と、前記開口部を閉塞する弾性部材とを具備する。

ひとつの態様に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、液体を噴射するノズルと、前記ノズルに連通する液体流路と、大気に連通可能な連通口を有する連通室と、前記液体流路と前記連通室との間に設けられ、前記液体流路と前記連通室とを連通させる開口部を有する隔壁部と、前記連通室に収容された弾性部材とを具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記ノズルと前記液体流路と前記開口部とを介して前記連通室に洗浄液を供給し、前記連通口から前記洗浄液を排出することで、前記ノズルおよび前記液体流路を洗浄し、前記連通口を介して前記連通室に気体を供給することで、前記弾性部材を前記開口部に圧入する。

第１実施形態に係る液体噴射装置の構成図である。 液体噴射ヘッドの断面図である。 液体噴射ユニットの分解斜視図である。 連通室の近傍を拡大した断面図である。 開口部に着目した断面図である。 遮断部材の構成を例示する三面図である。 弾性部材を軸部材から分離した状態の模式図である。 液体噴射ヘッドの洗浄工程の説明図である。 洗浄工程における弾性部材の模式図である。 第２実施形態における連通室の近傍を拡大した断面図である。 第２実施形態における弾性部材の側面図である。 第３実施形態における連通室の近傍を拡大した断面図である。 第３実施形態における弾性部材の断面図である。 第４実施形態における軸部材の部分的な斜視図である。 第５実施形態における液体噴射ヘッドの断面図である。 変形例における遮断部材の側面図である。 変形例における連通室の近傍を拡大した断面図である。 変形例における遮断部材の側面図である。 変形例における連通室の近傍を拡大した断面図である。 変形例における弾性部材を開口部に挿入する工程の説明図である。 変形例における連通室の近傍を拡大した断面図である。

Ａ：第１実施形態
図１は、第１実施形態に係る液体噴射装置１００の部分的な構成図である。第１実施形態の液体噴射装置１００は、液体の一例であるインクの液滴を媒体１１に対して噴射するインクジェット方式の印刷装置である。媒体１１は、例えば印刷用紙である。ただし、例えば樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象を媒体１１として利用してもよい。液体噴射装置１００には液体容器１２が設けられる。液体容器１２はインクを貯留する。例えば、液体噴射装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、または、インクを補充可能なインクタンクが、液体容器１２として利用される。なお、液体容器１２に貯留されるインクの種類数は任意である。

図１に例示される通り、液体噴射装置１００は、制御ユニット２１と搬送機構２２と移動機構２３と液体噴射ヘッド２４とを具備する。制御ユニット２１は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含み、液体噴射装置１００の各要素を制御する。

搬送機構２２は、制御ユニット２１による制御のもとで媒体１１をＹ軸に沿って搬送する。移動機構２３は、制御ユニット２１による制御のもとで液体噴射ヘッド２４をＸ軸に沿って往復させる。Ｘ軸とＹ軸とは相互に直交する。第１実施形態の移動機構２３は、液体噴射ヘッド２４を収容する略箱型の搬送体２３１と、搬送体２３１が固定された無端ベルト２３２とを具備する。なお、複数の液体噴射ヘッド２４を搬送体２３１に搭載した構成、または、液体容器１２を液体噴射ヘッド２４とともに搬送体２３１に搭載した構成も採用され得る。

液体噴射ヘッド２４は、液体容器１２から供給されるインクを制御ユニット２１による制御のもとで複数のノズルから媒体１１に噴射する。搬送機構２２による媒体１１の搬送と搬送体２３１の反復的な往復とに並行して各液体噴射ヘッド２４が媒体１１にインクを噴射することで、媒体１１の表面に画像が形成される。

液体噴射ヘッド２４は、流路構造体３０と液体噴射ユニット４０とを具備する。流路構造体３０は、液体容器１２から供給されるインクを液体噴射ユニット４０に供給するための流路が形成された構造体である。液体噴射ユニット４０は、流路構造体３０から供給されるインクを複数のノズルの各々から噴射する。

図２は、液体噴射ヘッド２４の断面図である。図３は、液体噴射ユニット４０の分解斜視図である。図２に図示された液体噴射ユニット４０の断面は、図３におけるａ－ａ線の断面に相当する。なお、以下の説明では、Ｘ-Ｙ平面に直交するＺ軸を想定する。Ｚ軸の方向は鉛直方向に相当する。

図３に例示される通り、液体噴射ユニット４０は、Ｙ軸に沿って配列された複数のノズルＮを具備する。複数のノズルＮは、相互に間隔をあけて並設された第１ノズル列Ｌ1と第２ノズル列Ｌ2とに区分される。第１ノズル列Ｌ1および第２ノズル列Ｌ2の各々は、Ｙ軸に沿って直線状に配列された複数のノズルＮの集合である。図２から理解される通り、第１実施形態の液体噴射ユニット４０は、第１ノズル列Ｌ1の各ノズルＮに関連する要素と第２ノズル列Ｌ2の各ノズルＮに関連する要素とが、Ｙ-Ｚ平面に平行な平面である基準面Ｏを挟んで略面対称に設けられた構造である。そこで、以下の説明では、第１ノズル列Ｌ1に対応する要素を重点的に説明し、第２ノズル列Ｌ2に対応する要素の説明は適宜に割愛する。

図２および図３に例示される通り、第１実施形態の液体噴射ユニット４０は、第１基板４１と第２基板４２と振動板４３と複数の圧電素子４４と封止板４５と筐体部４６とノズル板４７とコンプライアンス部４８とを具備する。第１基板４１に対してＺ軸の負方向に第２基板４２と振動板４３と複数の圧電素子４４と封止板４５と筐体部４６とが設けられ、第１基板４１に対してＺ軸の正方向にノズル板４７とコンプライアンス部４８とが設けられる。ノズル板４７は、第１ノズル列Ｌ1および第２ノズル列Ｌ2を構成する複数のノズルＮが形成された板状部材である。

図２および図３に例示される通り、第１基板４１には、第１空間４１１と複数の第１供給路４１２と複数の第２供給路４１３と中継流路４１４とが形成される。第１空間４１１は、Ｙ軸に沿う長尺状に形成された開口である。第１供給路４１２および第２供給路４１３は、ノズルＮ毎に形成された貫通孔である。中継流路４１４は、複数のノズルＮにわたりＹ軸に沿う長尺状に形成された空間であり、第１空間４１１と複数の第１供給路４１２とを相互に連通させる。複数の第２供給路４１３の各々は、当該第２供給路４１３に対応する１個のノズルＮに平面視で重なる。

図２および図３に例示される通り、第２基板４２には複数の圧力室Ｃが形成される。圧力室Ｃは、ノズルＮ毎に形成され、平面視でＸ軸に沿う長尺状の空間である。複数の圧力室ＣはＹ軸に沿って配列する。

図３に例示される通り、第２基板４２における第１基板４１とは反対側の表面には、弾性的に変形可能な振動板４３が設けられる。振動板４３は、Ｚ軸の方向からの平面視でＹ軸に沿う長尺な矩形状に形成された板状部材である。図２および図３から理解される通り、圧力室Ｃは、第１基板４１と振動板４３との間に位置する空間である。図２に例示される通り、圧力室Ｃは、第１供給路４１２および第２供給路４１３に連通する。したがって、圧力室Ｃは、第１供給路４１２と中継流路４１４とを介して液体貯留室Ｒに連通し、かつ、第２供給路４１３を介してノズルＮに連通する。

図２および図３に例示される通り、振動板４３におけるＺ軸の負方向の表面には圧力室Ｃ毎に圧電素子４４が形成される。圧電素子４４は、平面視でＸ軸に沿う長尺状の駆動素子である。複数の圧電素子４４がＹ軸に沿って配列される。各圧電素子４４は、印加電圧に応じて変形することで圧力室Ｃの圧力を変化させる。圧電素子４４が圧力室Ｃ内の圧力を変化させることで、圧力室Ｃ内のインクがノズルＮから噴射される。封止板４５は、複数の圧電素子４４を保護するとともに第２基板４２および振動板４３の機械的な強度を補強する構造体であり、振動板４３の表面に例えば接着剤で固定される。なお、第２基板４２における厚さ方向の一部を例えばエッチングにより選択的に除去することで圧力室Ｃを形成してもよい。すなわち、第２基板４２と振動板４３とを一体的に形成してもよい。また、圧電素子４４の代わりに発熱素子を駆動素子として採用してもよい。

図３の筐体部４６は、複数の圧力室Ｃに供給されるインクを貯留するためのケースであり、例えば樹脂材料の射出成形で形成される。図２に例示される通り、筐体部４６には供給口４６１と第２空間４６２とが形成される。供給口４６１は、流路構造体３０からインクが供給される管路であり、第２空間４６２に連通する。図２に例示される通り、第１基板４１の第１空間４１１と筐体部４６の第２空間４６２とは相互に連通する。第１空間４１１と第２空間４６２で構成される空間は、複数の圧力室Ｃに供給されるインクを貯留する液体貯留室Ｒとして機能する。流路構造体３０から供給されて供給口４６１を通過したインクが液体貯留室Ｒに貯留される。液体貯留室Ｒに貯留されたインクは、中継流路４１４から各第１供給路４１２に分岐して複数の圧力室Ｃに並列に供給および充填される。コンプライアンス部４８は、液体貯留室Ｒの壁面を構成する可撓性のフィルムであり、液体貯留室Ｒ内のインクの圧力変動を吸収する。

図２に例示される通り、流路構造体３０の内部には、供給流路３１と貯留液室３２と液体流路３３と連通室３４と連通流路３５とを含む流路が形成される。また、流路構造体３０の外壁面には、導入口３６と排出口３７と開放口３８とが形成される。第１実施形態の流路構造体３０には、第１ノズル列Ｌ1および第２ノズル列Ｌ2に対応する２個の排出口３７が形成される。例えば複数の基板の積層により流路構造体３０が構成され、各基板の表面に形成された凹部により流路構造体３０の内部流路が形成される。なお、インクの流通を制御する弁機構を流路構造体３０の内部に設けてもよい。例えばインクの圧力を調整する調整弁、または、インクの流路を開閉する開閉弁を、流路構造体３０の内部に設けてもよい。

供給流路３１は、導入口３６と貯留液室３２とを連通させる流路である。導入口３６は、液体容器１２からインクが供給される開口である。貯留液室３２には、インクに混入した異物（例えば気泡または塵芥）を捕集するためのフィルター３２１が設けられる。すなわち、フィルター３２１には、インクを通過させるが異物の通過を阻止する多数の微細な貫通孔が形成される。なお、第１実施形態のフィルター３２１における貫通孔の内径は、ノズルＮの内径以下の寸法に設定される。

液体流路３３は、貯留液室３２と各排出口３７とを連通させる流路である。各排出口３７は、液体噴射ユニット４０の供給口４６１に連通する開口である。以上の説明から理解される通り、液体容器１２から導入口３６に供給されたインクは、供給流路３１と貯留液室３２と液体流路３３と各排出口３７とを介して液体噴射ユニット４０の各供給口４６１から液体貯留室Ｒに供給される。前述の通り、液体貯留室Ｒは各ノズルＮと連通する。したがって、液体流路３３は、複数のノズルＮに連通する流路に相当する。具体的には、液体流路３３は、貯留液室３２内のフィルター３２１を通過したインクをノズルＮに供給するための流路である。

連通室３４は、液体流路３３に連通する空間である。Ｚ軸に垂直な断面における連通室３４の断面形状は例えば円形状である。連通流路３５は、連通室３４と開放口３８とを連通させる流路である。開放口３８は、大気に連通する開口である。すなわち、連通室３４は、連通流路３５と開放口３８とを介して大気に連通する。液体噴射ヘッド２４が実際に動作する状態（以下「動作状態」という）では、開放口３８は閉塞部材３８１により閉塞される。なお、閉塞部材３８１を省略してもよい。

第１実施形態の連通流路３５は、第１流路３５１と第２流路３５２と第３流路３５３とを含む。第１流路３５１は、連通室３４と第２流路３５２とを連通させる。第３流路３５３は、第２流路３５２と開放口３８とを連通させる。第１流路３５１および第３流路３５３の各々はＺ軸に沿って延在する。他方、第２流路３５２は、Ｚ軸に交差する方向に沿って延在する。例えば第２流路３５２は、Ｘ-Ｙ平面に平行な方向に延在する。以上の説明から理解される通り、連通流路３５は、Ｚ軸に沿う部分（すなわち第１流路３５１および第３流路３５３）と、Ｚ軸に交差する方向に沿う部分（すなわち第２流路３５２）とを含む。

図４は、連通室３４の近傍を拡大した断面図である。図４に例示される通り、連通室３４には連通口３４１が形成される。連通口３４１は、連通室３４の上面に形成された開口であり、連通流路３５に連通する。すなわち、連通口３４１は、大気に連通可能な開口である。

図４に例示される通り、液体流路３３と連通室３４との間には隔壁部５１が設けられる。隔壁部５１は、液体流路３３と連通室３４とを仕切る壁状の部分である。図４に例示される通り、隔壁部５１は、第１面Ｆa1と第２面Ｆa2とを含む。第１面Ｆa1は、液体流路３３に対面する平面である。第２面Ｆa2は、連通室３４に対面する平面である。第１面Ｆa1は、液体流路３３の内壁面の一部を構成する領域とも換言される。第２面Ｆa2は、連通室３４の内壁面の一部を構成する領域とも換言される。具体的には、第２面Ｆa2は、連通室３４において連通口３４１が形成された上面に対向する底面を構成する。

隔壁部５１には、液体流路３３と連通室３４とを連通させる開口部５２が形成される。すなわち、隔壁部５１は開口部５２を有する。隔壁部５１が開口部５２を画定すると換言してもよい。具体的には、開口部５２は、第１面Ｆa1と第２面Ｆa2とにわたりＺ軸に沿って隔壁部５１を貫通する円形状の開口である。開口部５２は、液体流路３３から分岐した空間とも換言される。具体的には、開口部５２は、液体流路３３におけるフィルター３２１とノズルＮとの間の地点から分岐する。Ｚ軸は、開口部５２の中心軸とも換言される。すなわち、開口部５２の中心軸は鉛直方向に沿う。

図５は、開口部５２に着目した断面図である。図５には、Ｚ軸上における第１位置ｚ1と第２位置ｚ2とが図示されている。第１位置ｚ1は、第１面Ｆa1と第２面Ｆa2との間の任意の位置である。第２位置ｚ2は、第１位置ｚ1よりも連通室３４に近い任意の位置である。すなわち、第２位置ｚ2は、第１位置ｚ1に対してＺ軸の負方向に位置する。図５に例示される通り、開口部５２の内周面は、第１位置ｚ1における内径φ1が、第２位置ｚ2における内径φ2よりも小さい傾斜面である（φ1＜φ2）。したがって、開口部５２の内径は、第１面Ｆa1において最小値となり、第２面Ｆa2において最大値となる。すなわち、開口部５２は、連通室３４側が大径となるテーパー形状に形成される。

液体噴射ヘッド２４の製造工程のうち流路構造体３０と液体噴射ユニット４０との組立後の工程（以下「洗浄工程」という）では、液体流路３３と各ノズルＮとが洗浄液により洗浄される。連通室３４と開口部５２と連通流路３５とは洗浄工程に利用される。具体的には、洗浄工程では、複数のノズルＮに外部から供給された洗浄液が、液体流路３３と開口部５２と連通室３４と連通流路３５とを介して開放口３８から排出される。以上に説明した洗浄液の流動により、ノズルＮの近傍に存在していた異物が開放口３８から排出される。洗浄工程の実行後に開口部５２は閉塞される。

図４に例示される通り、連通室３４には遮断部材６０が収容される。遮断部材６０は、洗浄工程の実行後に開口部５２を閉塞する部材である。すなわち、液体噴射ヘッド２４の動作状態では開口部５２が遮断部材６０により閉塞される。遮断部材６０は、当該遮断部材６０と連通室３４の上面との間に設けられた付勢部材３４２によりＺ軸の正方向に付勢される。付勢部材３４２は、例えばバネである。Ｚ軸の方向からみて遮断部材６０の断面積は連通口３４１の断面積よりも大きい。具体的には、遮断部材６０の外形寸法は、連通口３４１の内径よりも大きい。したがって、洗浄工程または液体噴射ヘッド２４が鉛直方向に対して傾斜した場合等において、遮断部材６０が連通口３４１を通過して排出される可能性が低減される。

遮断部材６０は、弾性部材６１と軸部材６２とを具備する。弾性部材６１は、例えばゴムまたはエラストマー等の弾性材料により形成された弾性体である。軸部材６２は、弾性部材６１よりも剛性が高い材料で形成された長尺状の部材である。例えば、弾性部材６１は、アスカＣ硬度が１３度～３０度のシリコンゴムまたはブチルゴムで形成され、軸部材６２は、エンジニアリングプラスチックで形成される。弾性部材６１は軸部材６２の端部に設けられる。以上の構成によれば、弾性部材６１が単独で連通室３４に収容された構成と比較して、弾性部材６１の位置および姿勢を安定させることが可能である。

図６は、遮断部材６０の構成を例示する三面図であり、図７は、弾性部材６１を軸部材６２から分離した状態の模式図である。弾性部材６１は、先端が半球状の曲面に成形された砲弾型の構造体である。弾性部材６１には平面状の第１設置面Ｆb1が形成される。第１設置面Ｆb1には有底の凹部６１０が形成される。

軸部材６２は、例えば樹脂材料の射出成形により一体的に形成された部品であり、軸体６２０と第１鍔部６２１と第２鍔部６２２と支持端部６２３とを具備する。軸体６２０は、直線状に延在する棒状の部分である。軸体６２０の外周面には、当該軸体６２０の中心軸に沿って延在する複数の溝部６３が周方向に間隔をあけて形成される。具体的には、軸体６２０の断面形状は略十字型である。

第１鍔部６２１は軸体６２０の一方の端部に形成され、第２鍔部６２２は軸体６２０の他方の端部に形成される。すなわち、第１鍔部６２１と第２鍔部６２２との間に軸体６２０が位置する。第１鍔部６２１および第２鍔部６２２の各々は、軸体６２０の外周面から径方向に鍔状に張出す平板状の部分である。第１鍔部６２１および第２鍔部６２２の各々の外周面には、複数の切欠６４が周方向に間隔をあけて形成される。具体的には、第１鍔部６２１および第２鍔部６２２の各々の断面形状は、軸部材６２の長手方向からみて略十字型である。遮断部材６０が連通室３４の内壁面に接触した状態でも、洗浄液は溝部６３および切欠６４を通過できる。すなわち、遮断部材６０の位置に関わらず洗浄液の経路を確保できるという利点がある。

支持端部６２３は、第１鍔部６２１に対して軸体６２０とは反対側に設けられる。すなわち、軸体６２０と支持端部６２３との間に第１鍔部６２１が位置する。支持端部６２３は、第１鍔部６２１における軸体６２０とは反対の表面（以下「第２設置面」という）Ｆb2から略垂直に突出する。図４から理解される通り、開口部５２の内径は、支持端部６２３の外径よりも大きい。具体的には、支持端部６２３の外径は、第１面Ｆa1における開口部５２の内径（すなわち内径の最大値）よりも小さい。開口部５２の開口面積が支持端部６２３の断面積よりも大きいと換言してもよい。したがって、支持端部６２３は開口部５２に挿入され得る。

図６および図７に例示される通り、弾性部材６１の凹部６１０に軸部材６２の支持端部６２３が嵌合された状態で弾性部材６１が軸部材６２に固定される。すなわち、支持端部６２３の先端は弾性部材６１により被覆される。したがって、支持端部６２３の衝突により隔壁部５１が損傷する可能性が低減される。弾性部材６１が軸部材６２に固定された状態では、図６および図７に例示される通り、弾性部材６１の第１設置面Ｆb1と軸部材６２の第２設置面Ｆb2とは相互に対向する。ここで、支持端部６２３の高さと凹部６１０の深さとは略同等である。したがって、第１設置面Ｆb1と第２設置面Ｆb2とは、相互に隙間なく接触する。以上の説明の通り、第１実施形態では、弾性部材６１の凹部６１０に軸部材６２の支持端部６２３を嵌合させる簡便な構成により弾性部材６１を軸部材６２に設けることができる。

図６に例示される通り、第１鍔部６２１および第２鍔部６２２の各々の外径は弾性部材６１の外径よりも大きい。したがって、第１鍔部６２１および第２鍔部６２２の各々の周縁部は、軸部材６２の軸方向からみて、弾性部材６１の外周縁から径方向に張出す。以上の説明から理解される通り、第１実施形態の軸部材６２は、軸方向からみて弾性部材６１の外周縁よりも外側に位置する部分を含む。以上の構成によれば、軸部材６２において弾性部材６１の外周縁よりも外側に位置する部分（すなわち第１鍔部６２１および第２鍔部６２２）が連通室３４の内壁面に接触することで、遮断部材６０の位置および姿勢を安定的に維持できるという利点がある。

図４に例示される通り、弾性部材６１が開口部５２に挿入されることで当該開口部５２が閉塞される。したがって、液体噴射ヘッド２４の動作状態では、液体流路３３内のインクが開口部５２を介して連通室３４に進入することはない。

開口部５２が弾性部材６１により閉塞された状態において、当該弾性部材６１の一部は、隔壁部５１の第１面Ｆa1から液体流路３３内に突出する。具体的には、弾性部材６１の先端の一部が第１面Ｆa1からＺ軸の正方向に突出する。以上の状態では、第１面Ｆa1と開口部５２の内周面とで構成される角部５１１に弾性部材６１が引掛かる。すなわち、第１面Ｆa1は、弾性部材６１を保持する保持面として機能する。以上の説明から理解される通り、第１実施形態によれば、弾性部材６１が第１面Ｆa1から突出しない構成と比較して、開口部５２の内側に弾性部材６１を安定的に保持できるという利点がある。

また、図４に例示される通り、開口部５２が弾性部材６１により閉塞された状態において、支持端部６２３は開口部５２に挿入される。具体的には、支持端部６２３の先端は、第１面Ｆa1と第２面Ｆa2との間に位置する。以上の構成によれば、支持端部６２３が開口部５２に挿入されない構成と比較して、弾性部材６１が開口部５２から脱離する可能性が低減される。

図８は、液体噴射ヘッド２４の製造方法のうち液体噴射ユニット４０の内部流路を洗浄する洗浄工程の説明図である。前述の通り、洗浄工程は、流路構造体３０と液体噴射ユニット４０との組立後に実行される。洗浄工程が開始される段階Ｐ0では、図８に例示される通り、遮断部材６０が付勢部材３４２により隔壁部５１に付勢される。また、洗浄工程において、導入口３６は、例えばゴムまたはエラストマー等の弾性材料で形成された封止部材により閉塞される。したがって、弾性部材６１は開口部５２の内部まで挿入されてはいないけれども、第２面Ｆa2における開口部５２の内周縁に弾性部材６１が密着することで当該開口部５２は閉塞される。

図８の工程Ｐ1においては、液体噴射ユニット４０の複数のノズルＮに洗浄液Ｗを浸した状態で、開放口３８に接続された吸引装置７０を動作させる。吸引装置７０の動作により連通流路３５および連通室３４の内部は負圧に制御される。遮断部材６０は、開放口３８側から吸引されることで、段階Ｐ0の位置からＺ軸の負方向に移動する。すなわち、遮断部材６０は隔壁部５１から離間する。そして、開口部５２の閉塞が解除されることにより、連通流路３５および連通室３４内の負圧が、液体流路３３および液体噴射ユニット４０内の流路を介してノズルＮにまで作用する。したがって、洗浄液Ｗは、複数のノズルＮから液体流路３３に供給され、さらに開口部５２を通過して連通室３４に流入する。さらに、洗浄液Ｗは、連通室３４から連通流路３５を経由して最終的には開放口３８から排出される。以上の説明から理解される通り、複数のノズルＮと液体流路３３と開口部５２とを介して連通室３４に洗浄液Ｗが供給され、連通室３４内の洗浄液Ｗが連通口３４１から排出されることで、複数のノズルＮおよび液体流路３３が洗浄される。なお、工程Ｐ1においては、液体噴射ユニット４０の複数のノズルＮに対して洗浄液Ｗを加圧供給することで、複数のノズルＮおよび液体流路３３を洗浄してもよい。

第１実施形態では、液体流路３３における各ノズルＮとフィルター３２１との間の地点から分岐した開口部５２が連通室３４に連通する。したがって、貫通孔がノズルＮの内径以下であるフィルター３２１を採用した場合でも、当該フィルター３２１を経由することなく、洗浄液Ｗを開放口３８に供給することが可能である。したがって、各ノズルＮの近傍の微細な異物だけでなく、ノズルＮの直径を上回る大きい異物も除去できる。

工程Ｐ1の実行後の工程Ｐ2においては、複数のノズルＮに洗浄液Ｗを浸さない状態で吸引装置７０を動作させることで、複数のノズルＮから空気等の気体が導入される。したがって、液体噴射ヘッド２４内から洗浄液Ｗが排出される。ただし、流路構造体３０の内部空間は完全には乾燥しない。弾性部材６１と開口部５２の内周面との間に洗浄液Ｗの水分が適度に残留することで、開口部５２は隙間なく閉塞される。したがって、以下に例示する工程Ｐ3および工程Ｐ4において、開口部５２と弾性部材６１との隙間から気体が漏出する可能性が低減される。

工程Ｐ2の実行後の工程Ｐ3において、所定の圧力ρ1の気体Ｇが給気装置７１から開放口３８に供給される。給気装置７１は、例えば任意の圧力で空気を送出するポンプである。給気装置７１から送出される気体Ｇは、開放口３８と連通流路３５とを介して連通室３４に供給される。気体Ｇの圧力ρ1は、弾性部材６１を開口部５２に挿入するために必要な圧力ρ2よりも低い数値に設定される。したがって、工程Ｐ1の段階では弾性部材６１は開口部５２に挿入されない。工程Ｐ2においては、測定装置７２が連通室３４内の圧力を測定する。

工程Ｐ1の段階では、弾性部材６１が開口部５２を閉塞した状態であることが期待されるが、実際には開口部５２に対する遮断部材６０の位置がずれ、開口部５２が閉塞されていない状態であることも想定される。開口部５２が閉塞されていない場合には、給気装置７１から連通室３４に供給される気体Ｇが開口部５２を介して液体流路３３に流出する。給気装置７１からの気体Ｇが液体流路３３から液体噴射ユニット４０の内部に供給された場合、気体Ｇによる加圧でコンプライアンス部４８が破損する可能性、または、連通室３４または連通流路３５に存在していた異物が気体Ｇにより液体噴射ユニット４０に移動してノズルＮに進入する可能性がある。

以上の事情を考慮して、第１実施形態では、開口部５２が弾性部材６１により閉塞されているか否かが判定される。開口部５２が弾性部材６１により適正に閉塞されていない状態では、連通室３４内の気体Ｇが開口部５２を介して液体流路３３に漏出するから、連通室３４内の圧力は所定の閾値を下回る。そこで、測定装置７２により測定された圧力が閾値を上回るか否かに応じて、開口部５２が適正に閉塞されているか否かが判定される。測定装置７２により測定された圧力が閾値を下回る場合、開口部５２が弾性部材６１により閉塞されるように遮断部材６０の位置が修正される。以上の説明から理解される通り、測定装置７２が測定する圧力に応じて開口部５２が閉塞されているか否かが判定される。

他方、開口部５２が弾性部材６１により適切に閉塞された状態では、連通室３４内の圧力は閾値を上回る。測定装置７２により測定された圧力が閾値を上回る場合には工程Ｐ4が開始される。工程Ｐ4においては、圧力ρ1を上回る圧力ρ2の気体Ｇが給気装置７１から開放口３８に供給される。給気装置７１から送出される気体Ｇは、開放口３８と連通流路３５とを介して連通室３４に供給される。弾性部材６１は、給気装置７１から供給される圧力ρ2の気体Ｇにより押圧されることで弾性的に変形しながら開口部５２に進入する。

圧力ρ2の気体Ｇが連通室３４に供給される状態では、図９に例示される通り、弾性部材６１の先端が第１面Ｆa1から液体流路３３内に突出する。また、支持端部６２３は開口部５２を貫通する。すなわち、支持端部６２３の先端は第１面Ｆa1から液体流路３３内に突出する。以上の状態において給気装置７１による気体Ｇの供給が停止される。気体Ｇの供給が停止されると、図４に例示される通り、弾性部材６１は、開口部５２に挿入された状態に維持される。以上の説明から理解される通り、弾性部材６１は、連通口３４１から供給される気体Ｇにより開口部５２に圧入される。工程Ｐ4により弾性部材６１が開口部５２に圧入されると、開放口３８が閉塞部材３８１により閉塞される。

液体噴射ヘッド２４の使用状態において開放口３８からインクが流出することを防止する構成としては、弾性部材６１を省略した構成（以下「対比例」という）も想定される。対比例では、開放口３８が閉塞部材３８１により閉塞されることで、開放口３８からのインクの流出が防止される。しかし、対比例においては、製造工程において連通室３４または連通流路３５に残留していた異物が液体流路３３に移動し、結果的に異物が各ノズルＮに進入する可能性がある。対比例とは対照的に、第１実施形態では、液体流路３３と連通室３４とを連通させる開口部５２が弾性部材６１により閉塞される。したがって、製造工程において連通室３４または連通流路３５に異物が残留した場合でも、開口部５２が弾性部材６１により閉塞された動作状態では、当該異物が液体流路３３に移動することが防止される。

第１実施形態においては、連通口３４１から連通室３４に供給される気体Ｇにより弾性部材６１が開口部５２に圧入される。したがって、例えば弾性部材６１を工具により機械的に押圧することで開口部５２に圧入する構成と比較して、弾性部材６１を開口部５２に対して均等に押圧できるという利点がある。また、第１実施形態では、連通流路３５がＺ軸に沿う部分とＺ軸に交差する部分とを含むから、開放口３８から挿入された工具により弾性部材６１を押圧することが困難である。第１実施形態においては、弾性部材６１が気体Ｇにより開口部５２に圧入されるから、連通流路３５の形状により工具の使用が困難である状況でも、弾性部材６１を開口部５２に対して簡便に挿入できるという利点がある。

なお、弾性部材６１の第１設置面Ｆb1と軸部材６２の第２設置面Ｆb2とが間隔をあけて対向する構成では、給気装置７１から供給される気体Ｇにより第１設置面Ｆb1が加圧され、結果的に弾性部材６１が軸部材６２から脱離する可能性がある。第１実施形態では、第１設置面Ｆb1と第２設置面Ｆb2とが相互に隙間なく接触するから、給気装置７１から供給される気体Ｇにより第１設置面Ｆb1が加圧されることが抑制される。したがって、弾性部材６１が軸部材６２から脱離する可能性を低減できる。

第１実施形態では、第１位置ｚ1における開口部５２の内径φ1が、第２位置ｚ2における開口部５２の内径φ2よりも小さい。したがって、開口部５２の内径がＺ軸に沿って一定である構成と比較して、弾性部材６１を開口部５２に挿入し易いという利点がある。なお、開口部５２の内周面の全体を傾斜面とするのではなく、内周面の一部が傾斜面である構成においても、開口部５２の内径がＺ軸に沿って一定である構成と比較すれば、弾性部材６１を開口部５２に挿入し易くなる。

Ｂ：第２実施形態
第２実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。

図１０は、第２実施形態における連通室３４の近傍を拡大した断面図である。図１１は、第２実施形態における遮断部材６０の側面図である。第２実施形態においては、弾性部材６１の形状が第１実施形態とは相違する。他の構成は第１実施形態と同様である。

図１０および図１１に例示される通り、第２実施形態の弾性部材６１は、当該弾性部材６１の中心軸に沿って第１部分６１１と第２部分６１２と第３部分６１３とを含む。第１部分６１１と第２部分６１２と第３部分６１３とは、例えばゴムまたはエラストマーにより一体に形成される。第１設置面Ｆb1には、第１部分６１１と第２部分６１２と第３部分６１３とにわたる凹部６１０が形成される。

第１部分６１１は、弾性部材６１における先端側の部分である。第２部分６１２は、弾性部材６１における基端側の部分である。すなわち、第２部分６１２において第１部分６１１とは反対の表面が第１設置面Ｆb1である。第３部分６１３は、第１部分６１１と第２部分６１２との間に位置する部分である。すなわち、第３部分６１３と軸部材６２の第１鍔部６２１との間に第２部分６１２が位置する。第３部分６１３の断面積は、第１部分６１１の断面積および第２部分６１２の断面積よりも小さい。具体的には、図１０から理解される通り、第１部分６１１の外径および第２部分６１２の外径は、第１面Ｆa1における開口部５２の内径（すなわち内径の最小値）よりも大きい。他方、第３部分６１３の外径は、第１面Ｆa1における開口部５２の内径以下である。

図１０に例示される通り、弾性部材６１が開口部５２に挿入された状態において、第１部分６１１は液体流路３３内に位置する。すなわち、第１部分６１１は、第１面Ｆa1に対してＺ軸の正方向に位置する。第２部分６１２は連通室３４内に位置する。すなわち、第２部分６１２は、第２面Ｆa2に対してＺ軸の負方向に位置する。第３部分６１３は、開口部５２の内側に位置する。

第２実施形態においても第１実施形態と同様の効果が実現される。また、第２実施形態では、第１部分６１１と第２部分６１２との間の第３部分６１３の断面積が第１部分６１１および第２部分６１２の断面積よりも小さいから、弾性部材６１の断面積が中心軸に沿って一定である構成と比較して、弾性部材６１を開口部５２に挿入し易い。また、開口部５２に挿入された弾性部材６１が脱離し難いという利点もある。

Ｃ：第３実施形態
図１２は、第３実施形態における連通室３４の近傍を拡大した断面図である。図１３は、第３実施形態における遮断部材６０の断面図である。第３実施形態においては、軸部材６２の支持端部６２３の形状が第１実施形態とは相違する。他の構成は第１実施形態と同様である。

図１２および図１３に例示される通り、第３実施形態における軸部材６２の支持端部６２３は、当該軸部材６２の中心軸に沿って第１軸部６５１と第２軸部６５２とを含む。第２軸部６５２は、支持端部６２３における先端側の部分である。すなわち、第２軸部６５２は、第１軸部６５１に対して液体流路３３側に位置する。第１軸部６５１は、第２軸部６５２と第１鍔部６２１との間に位置する。第２軸部６５２の外径は、第１軸部６５１の外径よりも大きい。すなわち、第２軸部６５２は第１軸部６５１よりも大径である。第２軸部６５２の断面積が第１軸部６５１の断面積よりも大きいと換言してもよい。

図１２に例示される通り、第２軸部６５２の外径は、第１面Ｆa1における開口部５２の内径（すなわち内径の最小値）よりも小さい。したがって、第１軸部６５１および第２軸部６５２は、開口部５２を通過可能である。図１２に例示される通り、弾性部材６１が開口部５２に挿入された状態において、第２軸部６５２は液体流路３３内に位置する。すなわち、第２軸部６５２は、第１面Ｆa1に対してＺ軸の正方向に位置する。他方、第１軸部６５１は、第１面Ｆa1に対してＺ軸の負方向に位置する。

第３実施形態においても第１実施形態と同様の効果が実現される。また、第３実施形態では、第１軸部６５１よりも大径な第２軸部６５２が開口部５２に挿入されることで、弾性部材６１が開口部５２から脱離する可能性を低減できる。

Ｄ：第４実施形態
図１４は、第４実施形態における軸部材６２の第１鍔部６２１および支持端部６２３を拡大した斜視図である。図１４に例示される通り、第４実施形態の軸部材６２には、第１鍔部６２１の第２設置面Ｆb2と支持端部６２３の側面６５４とにわたる溝部６６が形成される。具体的には、溝部６６は、相互に連続する第１溝部６６１と第２溝部６６２とを含む。第１溝部６６１は、第２設置面Ｆb2において支持端部６２３の側面６５４から第１鍔部６２１の外周縁まで径方向に延在する窪みである。第２溝部６６２は、支持端部６２３の側面６５４において当該支持端部６２３の全長にわたり中心軸の方向に延在する窪みである。第１溝部６６１は、弾性部材６１の第１設置面Ｆb1により閉塞され、第２溝部６６２は、弾性部材６１の凹部６１０の内周面により閉塞される。すなわち、弾性部材６１の外部から凹部６１０の内側に至る流路が形成される。

第４実施形態においても第１実施形態と同様の効果が実現される。また、第４実施形態では、弾性部材６１の外部から内部に至る流路が溝部６６により形成される。したがって、工程Ｐ4において給気装置７１から連通室３４に供給される気体Ｇは、当該流路を介して弾性部材６１の内側に供給される。すなわち、弾性部材６１が内側から気体Ｇにより押圧される。したがって、第４実施形態によれば、弾性部材６１を開口部５２に挿入し易いという利点がある。

Ｅ：第５実施形態
図１５は、第５実施形態における液体噴射ヘッド２４の部分的な断面図である。図１５に例示される通り、第５実施形態の流路構造体３０には、液体貯留室Ｒと循環口８３とを連通させる循環流路８１が形成される。液体貯留室Ｒに貯留されたインクのうちノズルＮに供給されないインクは循環流路８１に排出される。循環流路８１に排出されたインクは、当該循環流路８１上の貯留室８２を経由して循環口８３に到達する。貯留室８２には、インクに混入した異物を捕集するためのフィルター８２１が設けられる。フィルター８２１には、前述のフィルター３２１と同様に、内径がノズルＮを下回る複数の貫通孔が形成される。循環流路８１から循環口８３に到達したインクは、例えばポンプ等を含む循環機構８４により液体噴射ユニット４０の供給口４６１に環流される。

図１５に例示される通り、循環流路８１から分岐するように開口部５２が形成される。具体的には、開口部５２は、循環流路８１における液体貯留室Ｒと貯留室８２との間の地点から分岐する。開口部５２は、隔壁部５１に形成され、循環流路８１と連通室３４とを連通させる。連通室３４および連通流路３５の構成、および、連通室３４に収容される遮断部材６０の構成は、前述の各形態と同様である。

第５実施形態における洗浄工程では、複数のノズルＮに外部から供給された洗浄液Ｗが、液体貯留室Ｒと循環流路８１と開口部５２と連通室３４と連通流路３５とを介して開放口３８から排出される。すなわち、洗浄液Ｗは、フィルター８２１を経由することなく、開口部５２と連通室３４と連通流路３５とを介して開放口３８に供給される。第５実施形態においても第１実施形態と同様の効果が実現される。

Ｆ：変形例
以上に例示した各形態は多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

（１）前述の各形態では、支持端部６２３の先端が弾性部材６１により被覆される構成を例示した。しかし、図１６に例示される通り、支持端部６２３の先端を弾性部材６１から突出させてもよい。図１６の構成では、支持端部６２３の全長が弾性部材６１の全長よりも長い。また、弾性部材６１には貫通孔が形成される。したがって、支持端部６２３は弾性部材６１を貫通する。すなわち、支持端部６２３の先端は当該弾性部材６１から露出する。ただし、図１６の構成では、硬質の材料で形成された支持端部６２３の先端が、洗浄工程において隔壁部５１に衝突する可能性がある。したがって、支持端部６２３の衝突により隔壁部５１が損傷する可能性を低減するという観点からは、前述の各形態のように支持端部６２３の先端が弾性部材６１により被覆された構成が好適である。

（２）前述の各形態では、弾性部材６１の一部が隔壁部５１の第１面Ｆa1から液体流路３３内に突出する構成を例示した。しかし、図１７に例示される通り、弾性部材６１の先端が第１面Ｆa1に対してＺ軸の負方向に位置する構成も採用される。すなわち、弾性部材６１の一部が液体流路３３内に突出する構成は必須ではない。

（３）前述の各形態では、弾性部材６１の第１設置面Ｆb1と軸部材６２の第２設置面Ｆb2とが相互に密着する構成を例示したが、図１８に例示される通り、第１設置面Ｆb1と第２設置面Ｆb2とが所定の間隔をあけて相互に対向する構成も採用される。図１８の構成では、支持端部６２３の全長が弾性部材６１の凹部６１０の深さよりも長い。

（４）前述の各形態では、個別に形成された弾性部材６１と軸部材６２とを相互に固定したが、遮断部材６０を製造する方法は以上の例示に限定されない。例えば、弾性部材６１と軸部材６２とを二色成形により一体的に形成してもよい。遮断部材６０を二色成形した場合、前述の各形態の例示の同様に、弾性部材６１の第１設置面Ｆb1と軸部材６２の第２設置面Ｆb2とは相互に密着する。

（５）前述の各形態では、隔壁部５１の第１面Ｆa1が液体流路３３の内壁面に連続する構成を例示したが、図１９に例示される通り、隔壁部５１の第１面Ｆa1と液体流路３３の内壁面３３１との間に段差δを形成してもよい。弾性部材６１の先端の部分は、段差δに対応する空間に収容される。第１面Ｆa1は、Ｚ軸の方向からの平面視で開口部５２と同心に形成される円環状の領域である。第１面Ｆa1の幅ωは、第１面Ｆa1における開口部５２の内径φの１/５０以上に設定される（ω≧φ/５０）。以上の構成によれば、弾性部材６１の先端の部分を段差δの内側に収容することが可能である。

（６）前述の各形態では、弾性部材６１と軸部材６２とを具備する遮断部材６０を例示したが、軸部材６２を省略してもよい。ただし、弾性部材６１が硬質の軸部材６２に設けられる前述の各形態の構成によれば、前述の通り、弾性部材６１の位置および姿勢が安定するという利点がある。

（７）図８の工程Ｐ3または工程Ｐ4において、弾性部材６１を加温することで当該弾性部材６１を軟化させてもよい。例えば工程Ｐ3においては、弾性部材６１がガラス転移温度以上に加熱される。以上の方法によれば、弾性部材６１が開口部５２に対して充分に挿入されるから、液体噴射ヘッド２４の動作状態において弾性部材６１が開口部５２から脱離する可能性を低減できる。

（８）図８の工程Ｐ4においては、連通室３４に供給される気体Ｇにより弾性部材６１が隔壁部５１に押圧されることで、当該弾性部材６１は弾性的に変形する。弾性部材６１は、Ｚ軸の方向に収縮することで径方向に拡大する。前述の各形態においては、工程Ｐ4において弾性部材６１の外周面と連通室３４の内壁面とが隙間をあけて対向する場合を例示した。しかし、図２０に例示される通り、工程Ｐ4において、弾性部材６１の外周面を連通室３４の内壁面に接触させてもよい。以上の構成によれば、弾性部材６１の径方向の変形が制限されるから、弾性部材６１を効率的にＺ軸の方向に進行させることが可能である。したがって、弾性部材６１が開口部５２に充分に挿入され、結果的に弾性部材６１を開口部５２の内側に安定的に保持できる。

（９）前述の各形態では、Ｚ軸の負方向において大径となるテーパー形状の開口部５２を例示したが、開口部５２の形状は以上の例示に限定されない。例えば、図２１に例示される通り、Ｚ軸の正方向において大径となるテーパー形状の開口部５２を隔壁部５１に形成してもよい。また、Ｚ軸の方向における全長にわたり内径が一定である直管状の開口部５２を形成してもよい。

（１０）前述の各形態では、液体噴射ヘッド２４をＸ軸に沿って往復させるシリアル方式の液体噴射装置１００を例示したが、複数のノズルＮが媒体１１の全幅にわたり分布するライン方式の液体噴射装置にも本発明は適用される。

（１１）前述の各形態で例示した液体噴射装置１００は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を噴射する液体噴射装置は、液晶表示パネル等の表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を噴射する液体噴射装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、生体に関する有機物の溶液を噴射する液体噴射装置は、例えばバイオチップを製造する製造装置として利用される。

Ｇ：付記
以上に例示した形態から、例えば以下の構成が把握される。

好適な態様（態様１）に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズルと、前記ノズルに連通する液体流路と、大気に連通可能な連通口を有する連通室と、前記液体流路と前記連通室との間に設けられ、前記液体流路と前記連通室とを連通させる開口部を有する隔壁部と、前記開口部を閉塞する弾性部材とを具備する。以上の態様では、液体流路と連通室とを連通させる開口部が弾性部材により閉塞されるから、連通室の連通口を弾性部材により閉塞する構成と比較して、異物が連通室からノズルに進入することを抑制できる。なお、「大気に連通可能な連通口」とは、連通口が実際に大気に連通する状態のほか、当該連通口または当該連通口に連通する流路が閉塞部材により閉塞された状態も含む。

態様１の具体例（態様２）において、前記隔壁部は、前記液体流路に対面する第１面と前記連通室に対面する第２面とを含み、前記弾性部材の一部は、前記第１面から前記液体流路側に突出する。以上の態様では、弾性部材が第１面から液体流路側に突出する。したがって、弾性部材が第１面から液体流路側に突出しない構成と比較して、開口部の内側に弾性部材を安定的に保持できる。
「液体流路に対面する第１面」は、液体流路の内壁面を構成する表面とも換言される。同様に、「連通室に対面する第２面」は、連通室の内壁面を構成する表面とも換言される。

態様１または態様２の具体例（態様３）において、前記弾性部材は、前記連通口を介した気体の供給により前記開口部に圧入される。以上の態様によれば、連通口から連通室に供給される気体により弾性部材を開口部に圧入することが可能である。弾性部材を気体による加圧で開口部に圧入する方法によれば、例えば弾性部材を工具により機械的に押圧する構成と比較して、弾性部材を開口部に対して均一に押圧できるという利点がある。

態様１から態様３の何れかの具体例（態様４）において、前記弾性部材は、当該弾性部材の中心軸に沿って、前記液体流路側に位置する第１部分と、前記連通室側に位置する第２部分と、前記第１部分と前記第２部分との間に位置する第３部分とを含み、前記第３部分の断面積は、前記第１部分および前記第２部分の断面積よりも小さい。以上の態様では、第３部分の断面積が第１部分および第２部分の断面積よりも小さいから、弾性部材の断面積が一定である構成と比較して、弾性部材を開口部に挿入し易い。また、開口部に挿入された弾性部材が安定的に保持されるという利点もある。

態様１から態様４の何れかの具体例（態様５）において、前記開口部の内周面は、当該開口部の中心軸の方向における第１位置における内径が、前記第１位置よりも前記連通室に近い第２位置における内径よりも小さい傾斜面を有する。以上の態様では、第１位置における開口部の内径が、第１位置よりも連通室に近い第２位置における開口部の内径よりも小さい。したがって、開口部の内径が中心軸に沿って一定である構成と比較して、弾性部材を開口部に挿入し易い。

態様１から態様５の何れかの具体例（態様６）に係る液体噴射ヘッドは、前記弾性部材よりも剛性が高い軸部材を具備し、前記弾性部材は、前記軸部材に設けられる。以上の態様によれば、弾性部材よりも剛性が高い軸部材に当該弾性部材が設けられるから、弾性部材の位置および姿勢を安定させることが可能である。

態様６の具体例（態様７）において、前記軸部材は、前記液体流路側に位置する支持端部を有し、前記弾性部材は、前記支持端部に嵌合する凹部を有する。以上の態様では、弾性部材の凹部を軸部材の支持端部に嵌合させる簡便な構成により弾性部材を軸部材に設けることが可能である。

態様７の具体例（態様８）において、前記開口部の内径は、前記支持端部の外径よりも大きい。以上の態様では、開口部の内径が支持端部の外径よりも大きいから、支持端部は開口部に挿入され得る。したがって、弾性部材を確実に開口部に挿入できる。

態様７または態様８の具体例（態様９）において、前記支持端部は、前記開口部に挿入される。以上の態様では、支持端部が開口部に挿入されるから、弾性部材が開口部から脱離する可能性を低減できる。

態様８または態様９の具体例（態様１０）において、前記支持端部の先端は、前記弾性部材により被覆される。以上の態様では、支持端部の先端が弾性部材により被覆されるから、例えば支持端部の衝突により隔壁部が損傷する可能性を低減できる。

態様７から態様１０の何れかの具体例（態様１１）において、前記支持端部は、前記軸部材の中心軸に沿って第１軸部と第２軸部とを含み、前記第２軸部は、前記第１軸部よりも前記液体流路側に位置し、前記第２軸部の外径は、前記第１軸部の外径よりも大きい。以上の構成によれば、第２軸部が開口部に挿入されることで、弾性部材が開口部から脱離する可能性を低減できる。

態様７から態様１１の何れかの具体例（態様１２）において、前記弾性部材は、前記凹部が形成される第１設置面を含み、前記軸部材は、前記支持端部が突出する第２設置面を含み、前記第１設置面と前記第２設置面とは相互に接触する。以上の態様では、弾性部材の第１設置面と軸部材の第２設置面とが相互に接触する。すなわち、第１設置面と第２設置面とが隙間なく対向した状態で相互に固定される。したがって、第１設置面と第２設置面とが相互に間隔をあけて対向する構成と比較して、弾性部材が軸部材から脱離する可能性が低減される。

態様１２の具体例（態様１３）において、前記軸部材は、前記第２設置面と前記支持端部の側面とにわたる溝部を有する。以上の態様では、第２設置面と支持端部の側面とにわたる溝部を介して供給される気体により弾性部材が内側から押圧される。したがって、弾性部材を開口部に挿入し易いという利点がある。

態様６から態様１３の具体例（態様１４）において、前記軸部材は、前記軸部材の軸方向からみて、前記弾性部材の外周縁よりも外側に位置する部分を含む。以上の態様では、軸部材において弾性部材の外周縁よりも外側に位置する部分が連通室の内壁面に接触することで、弾性部材の位置および姿勢を安定的に維持できる。

態様１から態様１４の何れかの具体例（態様１５）において、前記連通口は、連通流路を介して大気に連通可能であり、前記連通流路は、前記開口部の中心軸に沿う部分と、当該中心軸に交差する方向に沿う部分とを含む。以上の態様のように、連通室を大気に連通するための連通流路が、開口部の中心軸に交差する方向に沿う部分を含む構成では、例えば工具により弾性部材を開口部に挿入することが困難である。したがって、連通流路を介して連通室に供給される気体により弾性部材を開口部に圧入できる構成は、本態様にとって格別に有効である。

態様１から態様１５の何れかの具体例（態様１６）に係る液体噴射ヘッドは、液体に混入した異物を捕集するためのフィルターを具備し、前記液体流路は、前記フィルターを通過した液体を前記ノズルに供給するための流路であり、前記開口部は、前記液体流路における前記フィルターと前記ノズルとの間の地点から分岐した空間である。以上の態様では、ノズルから開口部を介して連通室に洗浄液を流動させることで、フィルターを経由することなくノズルの近傍の異物を外部に排出できる。

態様１から態様１６の何れかの具体例（態様１７）において、前記開口部の中心軸の方向からみて、前記弾性部材の断面積は、前記連通口の断面積よりも大きい。以上の態様では、弾性部材の断面積が連通口の断面積よりも大きいから、弾性部材が連通口を通過して外部に排出される可能性が低減される。

態様１から態様１７の何れかの具体例（態様１８）において、前記弾性部材は、ゴムまたはエラストマーである。態様１から態様１８の何れかの具体例（態様１９）において、前記開口部の中心軸は鉛直方向に沿う。以上の態様では、弾性部材を押込む方向が重力方向となるので、開口部への挿入前における弾性部材の姿勢を安定させ易い。

好適な態様（態様２０）に係る液体噴射装置は、前述の何れかの態様に係る液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドにより液体が噴射される媒体を搬送する搬送機構とを具備する。

好適な態様（態様２１）に係る流路構造体は、液体を噴射するノズルに連通する液体流路と、大気に連通可能な連通室と、前記液体流路と前記連通室との間に設けられ、前記液体流路と前記連通室とを連通させる開口部を有する隔壁部と、前記開口部を閉塞する弾性部材とを具備する。

好適な態様（態様２２）に係る製造方法は、液体を噴射するノズルと、前記ノズルに連通する液体流路と、大気に連通可能な連通口を有する連通室と、前記液体流路と前記連通室との間に設けられ、前記液体流路と前記連通室とを連通させる開口部を有する隔壁部と、前記連通室に収容された弾性部材とを具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記ノズルと前記液体流路と前記開口部とを介して前記連通室に洗浄液を供給し、前記連通口から前記洗浄液を排出することで、前記ノズルおよび前記液体流路を洗浄し、前記連通口を介して前記連通室に気体を供給することで、前記弾性部材を前記開口部に圧入する。

１００…液体噴射装置、１１…媒体、１２…液体容器、２１…制御ユニット、２２…搬送機構、２３…移動機構、２４…液体噴射ヘッド、３０…流路構造体、３１…供給流路、３２…貯留液室、３２１…フィルター、３３…液体流路、３４…連通室、３４１…連通口、３４２…付勢部材、３５…連通流路、３５１…第１流路、３５２…第２流路、３５３…第３流路、３６…導入口、３７…排出口、３８…開放口、３８１…閉塞部材、４０…液体噴射ユニット、４１…第１基板、４２…第２基板、４３…振動板、４４…圧電素子、４５…封止板、４６…筐体部、４６１…供給口、４６２…第２空間、４７…ノズル板、４８…コンプライアンス部、５１…隔壁部、５２…開口部、６０…遮断部材、６１…弾性部材、６１０…凹部、６１１…第１部分、６１２…第２部分、６１３…第３部分、６２…軸部材、６２０…軸体、６２１…第１鍔部、６２２…第２鍔部、６２３…支持端部、６５１…第１軸部、６５２…第２軸部、６６…溝部、６６１…第１溝部、６６２…第２溝部、７０…吸引装置、７１…給気装置、７２…測定装置、Ｃ…圧力室、Ｆa1…第１面、Ｆa2…第２面、Ｆb1…第１設置面、Ｆb2…第２設置面、Ｇ…気体、Ｌ1…第１ノズル列、Ｌ2…第２ノズル列、Ｎ…ノズル、Ｒ…液体貯留室、Ｗ…洗浄液。

Claims (21)

1. 液体を噴射するノズルと、
   前記ノズルに連通する液体流路と、
   大気に連通可能な連通口を有する連通室と、
   前記液体流路と前記連通室との間に設けられ、前記液体流路と前記連通室とを連通させる開口部を有する隔壁部と、
   前記開口部を閉塞する弾性部材と
   を具備し、
   前記隔壁部は、前記液体流路に対面する第１面と前記連通室に対面する第２面とを含み、
   前記弾性部材の一部は、前記第１面から前記液体流路側に突出する液体噴射ヘッド。
2. 液体を噴射するノズルと、
   前記ノズルに連通する液体流路と、
   大気に連通可能な連通口を有する連通室と、
   前記液体流路と前記連通室との間に設けられ、前記液体流路と前記連通室とを連通させる開口部を有する隔壁部と、
   前記開口部を閉塞する弾性部材と
   を具備し、
   前記弾性部材は、前記連通口を介した気体の供給により前記開口部に圧入される液体噴射ヘッド。
3. 液体を噴射するノズルと、
   前記ノズルに連通する液体流路と、
   大気に連通可能な連通口を有する連通室と、
   前記液体流路と前記連通室との間に設けられ、前記液体流路と前記連通室とを連通させる開口部を有する隔壁部と、
   前記開口部を閉塞する弾性部材と
   を具備し、
   前記弾性部材は、当該弾性部材の中心軸に沿って、
   前記液体流路側に位置する第１部分と、
   前記連通室側に位置する第２部分と、
   前記第１部分と前記第２部分との間に位置する第３部分とを含み、
   前記第３部分の断面積は、前記第１部分および前記第２部分の断面積よりも小さい液体噴射ヘッド。
4. 前記開口部の内周面は、当該開口部の中心軸の方向における第１位置における内径が、前記第１位置よりも前記連通室に近い第２位置における内径よりも小さい傾斜面を有する
   請求項１から請求項３の何れかの液体噴射ヘッド。
5. 前記弾性部材よりも剛性が高い軸部材を具備し、
   前記弾性部材は、前記軸部材に設けられる
   請求項１から請求項４の何れかの液体噴射ヘッド。
6. 液体を噴射するノズルと、
   前記ノズルに連通する液体流路と、
   大気に連通可能な連通口を有する連通室と、
   前記液体流路と前記連通室との間に設けられ、前記液体流路と前記連通室とを連通させる開口部を有する隔壁部と、
   前記開口部を閉塞する弾性部材と、
   前記弾性部材よりも剛性が高い軸部材と
   を具備し、
   前記弾性部材は、前記軸部材に設けられ、
   前記軸部材は、前記液体流路側に位置する支持端部を有し、
   前記弾性部材は、前記支持端部に嵌合する凹部を有する液体噴射ヘッド。
7. 前記開口部の内径は、前記支持端部の外径よりも大きい
   請求項６の液体噴射ヘッド。
8. 前記支持端部は、前記開口部に挿入される
   請求項６または請求項７の液体噴射ヘッド。
9. 前記支持端部の先端は、前記弾性部材により被覆される
   請求項６から請求項８の何れかの液体噴射ヘッド。
10. 前記支持端部は、前記軸部材の中心軸に沿って第１軸部と第２軸部とを含み、
    前記第２軸部は、前記第１軸部よりも前記液体流路側に位置し、
    前記第２軸部の外径は、前記第１軸部の外径よりも大きい
    請求項６から請求項９の何れかの液体噴射ヘッド。
11. 前記弾性部材は、前記凹部が形成される第１設置面を含み、
    前記軸部材は、前記支持端部が突出する第２設置面を含み、
    前記第１設置面と前記第２設置面とは相互に接触する
    請求項６から請求項１０の何れかの液体噴射ヘッド。
12. 前記軸部材は、前記第２設置面と前記支持端部の側面とにわたる溝部を有する
    請求項１１の液体噴射ヘッド。
13. 液体を噴射するノズルと、
    前記ノズルに連通する液体流路と、
    大気に連通可能な連通口を有する連通室と、
    前記液体流路と前記連通室との間に設けられ、前記液体流路と前記連通室とを連通させる開口部を有する隔壁部と、
    前記開口部を閉塞する弾性部材と、
    前記弾性部材よりも剛性が高い軸部材と
    を具備し、
    前記弾性部材は、前記軸部材に設けられ、
    前記軸部材は、前記軸部材の軸方向からみて、前記弾性部材の外周縁よりも外側に位置する部分を含む液体噴射ヘッド。
14. 液体を噴射するノズルと、
    前記ノズルに連通する液体流路と、
    大気に連通可能な連通口を有する連通室と、
    前記液体流路と前記連通室との間に設けられ、前記液体流路と前記連通室とを連通させる開口部を有する隔壁部と、
    前記開口部を閉塞する弾性部材と
    を具備し、
    前記連通口は、連通流路を介して大気に連通可能であり、
    前記連通流路は、前記開口部の中心軸に沿う部分と、当該中心軸に交差する方向に沿う部分とを含む液体噴射ヘッド。
15. 液体を噴射するノズルと、
    前記ノズルに連通する液体流路と、
    大気に連通可能な連通口を有する連通室と、
    前記液体流路と前記連通室との間に設けられ、前記液体流路と前記連通室とを連通させる開口部を有する隔壁部と、
    前記開口部を閉塞する弾性部材と、
    液体に混入した異物を捕集するためのフィルターと
    を具備し、
    前記液体流路は、前記フィルターを通過した液体を前記ノズルに供給するための流路であり、前記開口部は、前記液体流路における前記フィルターと前記ノズルとの間の地点から分岐した空間である液体噴射ヘッド。
16. 前記開口部の中心軸の方向からみて、前記弾性部材の断面積は、前記連通口の断面積よりも大きい
    請求項１から請求項１５の何れかの液体噴射ヘッド。
17. 前記弾性部材は、ゴムまたはエラストマーである
    請求項１から請求項１６の何れかの液体噴射ヘッド。
18. 前記開口部の中心軸は鉛直方向に沿う
    請求項１から請求項１７の何れかの液体噴射ヘッド。
19. 請求項１から請求項１８の何れかの液体噴射ヘッドと、
    前記液体噴射ヘッドにより液体が噴射される媒体を搬送する搬送機構と
    を具備する液体噴射装置。
20. 液体を噴射するノズルに連通する液体流路と、
    大気に連通可能な連通室と、
    前記液体流路と前記連通室との間に設けられ、前記液体流路と前記連通室とを連通させる開口部を有する隔壁部と、
    前記開口部を閉塞する弾性部材と
    を具備し、
    前記隔壁部は、前記液体流路に対面する第１面と前記連通室に対面する第２面とを含み、
    前記弾性部材の一部は、前記第１面から前記液体流路側に突出する流路構造体。
21. 液体噴射ヘッドの製造方法であって、
    前記液体噴射ヘッドは、
    液体を噴射するノズルと、
    前記ノズルに連通する液体流路と、
    大気に連通可能な連通口を有する連通室と、
    前記液体流路と前記連通室との間に設けられ、前記液体流路と前記連通室とを連通させる開口部を有する隔壁部と、
    前記連通室に収容された弾性部材とを具備し、
    前記ノズルと前記液体流路と前記開口部とを介して前記連通室に洗浄液を供給し、前記連通口から前記洗浄液を排出することで、前記ノズルおよび前記液体流路を洗浄し、
    前記連通口を介して前記連通室に気体を供給することで、前記弾性部材を前記開口部に圧入する
    液体噴射ヘッドの製造方法。
    

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