JP7362337B2 - 情報処理装置、情報処理装置の制御方法、及びプログラム - Google Patents
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Description
サンプルは、固体試料と測定対象物質とを含む。固体試料としては、樹脂、シリコン基板、及び銅箔からなる群より選択される少なくとも1種であることが好ましく、樹脂であることが好ましい。樹脂は、不飽和カルボン酸エステル類に由来するユニットで構成されることが好ましく、アルキル(メタ)アクリレート類に由来するユニットで構成されることがさらに好ましい。ここで、ユニットとは、1の単量体に由来する繰り返し単位のことを指すものとする。
測定対象物質は、固体試料に添加された添加剤や固体試料に付着する付着物であることが好ましい。測定対象物質としては、可塑剤、増粘剤、減粘剤、結晶核剤、結晶化促進剤、結晶化遅延剤、離型剤、難燃剤、難燃助剤、熱分解防止剤、補強剤、導電材、帯電防止剤、熱伝導剤、酸化防止剤、耐候防止剤、紫外線吸収剤、抗菌剤、着色剤、ガスバリア剤、防曇り剤、防反射剤、防汚剤、不純物などが挙げられる。なかでも、測定対象物質は、可塑剤であることが好ましい。可塑剤としては、界面活性剤などが挙げられる。
本実施形態における測定対象物質名に関する情報としては、測定対象物質の名称、略称、化学的分類、構造式、化学式、立体構造図などが挙げられる。
本発明においては、固体試料と測定対象物質とを含むサンプルのスペクトル情報から、目的サンプル中の測定対象物質の種類に関する情報だけでなく、定量的な情報を取得することも可能である。定量的な情報は、固体サンプル中の測定対象物質の含有量、固体サンプル中の測定対象物質の濃度、固体サンプル中の測定対象物質の有無からなる群より選択される少なくとも1種であることが好ましい。また、定量的な情報は、測定対象物質の基準量に対する固体サンプル中の測定対象物質の濃度又は量の比率、固体サンプル中の測定対象物質の含有量又は濃度の比率からなる群より選択される少なくとも1種であることが好ましい。
本実施形態におけるスペクトル情報としては、二次イオン質量分析法により取得されるものである。二次イオン質量分析法としては、Dynamic SIMS法、TOF-SIMS法などが挙げられる。なかでも、二次イオン質量分析法として、TOF-SIMS法を用いることが好ましい。
次に、図1を用いて、本実施形態における情報処理システムを説明する。図1は、本実施形態に係る情報処理装置を含む情報処理システムの全体構成を示す図である。
本実施形態における学習モデルとは、回帰学習モデルであり、深層学習などの機械学習によって生成されたものを用いることができる。機械学習アルゴリズムに教師データを用いて学習を行い、適切な予測が行えるように構築したものをここでは学習モデルと呼ぶ。学習モデルに用いる機械学習アルゴリズムには多様な種類がある。例えば、ニューラルネットワークを用いた深層学習を使用することができる。ニューラルネットワークは、入力層、出力層、及び複数の隠れ層から構成され、各層は、活性化関数と呼ばれる計算式で結合されている。ラベル(入力に対応する出力)付き教師データを用いる場合、入力と出力の関係が成り立つように活性化関数の係数を決定していく。複数の教師データを用いて係数を決定することで、高精度で入力に対する出力を予測できる学習モデルを生成することができる。
分析装置23は、サンプルや固体試料などを分析するための装置である。分析装置23は、分析手段の一例に相当する。なお、前述したように、本実施形態では、情報処理装置10と分析装置23とが通信可能に接続されている。しかし、情報処理装置10の内部に分析装置23を備える形態であってもよいし、分析装置23の内部に情報処理装置10を備える形態であってもよい。さらに、不揮発メモリなどの記録媒体を介して分析結果(スペクトル情報)を分析装置23から情報処理装置10へ受け渡す形態であってもよい。
制御部37は、例えば、少なくとも1つのCPU(Central Processing Unit)などで実現され、情報処理装置10における処理を統括制御する。制御部37は、その機能的な構成として、スペクトル情報取得部41、学習モデル生成部42、学習モデル取得部43、推定部44、情報取得部45、及び表示制御部46を具備する。
スペクトル情報取得部41は、固体試料と測定対象物質とを含む目的サンプルの分析結果、具体的には目的サンプルのスペクトル情報を分析装置23から取得する。なお、あらかじめ分析結果が格納されたデータベース22から、目的サンプルのスペクトル情報を取得してもよい。また、同様に固体試料のスペクトル情報、及び固体試料と測定対象物質とを含むサンプルのスペクトル情報を取得する。この固体試料のスペクトル情報は、固体物質が単一で存在した場合のスペクトル情報である。固体試料と測定対象物質とを含むサンプルのスペクトル情報は、例えば、サンプル中の測定対象物質の含有量が0.2%、0.4%などと異なる量の測定対象物質を含む複数種のサンプルを用意し、各サンプルから得られるスペクトル情報のことである。
学習モデル生成部42は、スペクトル情報取得部41が取得した固体試料、及びサンプルのスペクトル情報を用いて教師データを生成する。そして、学習モデル生成部42は、教師データを用いて深層学習を実行し、学習モデルを生成する。教師データの生成及び学習モデルの生成に関する詳細な説明は、後述する。そして、学習モデル生成部42は、生成した学習モデルを学習モデル取得部43へ出力する。なお、学習モデル生成部42は、生成した学習モデルをデータベース22へ出力してもよい。
学習モデル取得部43は、学習モデル生成部42が生成した学習モデルを取得する。なお、学習モデルがデータベース22に格納されている場合には、学習モデル取得部43は、データベース22から学習モデルを取得する。そして、学習モデル取得部43は、取得した学習モデルを推定部44へ出力する。
推定部44は、学習モデル取得部43が取得した学習モデルに、スペクトル情報取得部41が取得した目的サンプルのスペクトル情報を入力することにより、目的サンプルに含まれる測定対象物質の種類に関する情報を学習モデルに推定させる。そして、推定部44は、推定された種類に関する情報を、情報取得部45へ出力する。推定部44は、目的サンプルのスペクトル情報を学習モデルに入力することにより、測定対象物質の種類に関する情報を推定する推定手段の一例に相当する。
情報取得部45は、学習モデルが推定した種類に関する情報を取得する。すなわち、情報取得部45は、目的サンプルのスペクトル情報を学習モデルに入力することにより推定された、測定対象物質の種類に関する情報を取得する情報取得手段の一例に相当する。そして、情報取得部45は、取得した種類に関する情報を表示制御部46へ出力する。
表示制御部46は、情報取得部45が取得した種類に関する情報を表示部36に表示させる。表示制御部46は、表示制御手段の一例に相当する。
まず、分析装置23は、固体試料単体、及び固体試料と測定対象物質を含むサンプルを分析する(ステップS1)。分析条件は、感度や分析時間などの観点から適宜選択すればよい。固体試料と測定対象物質とを含む試料を分析する場合は、測定対象物質の濃度を何通りか変化させて分析する。どの程度の数が必要であるかは、物質の性質などによっても異なるが、一般的に3点以上変化させることが好ましい。測定対象物質が複数種ある場合は、それぞれ分析することが好ましいが、測定対象物質同士の信号が十分に分離できる場合は、同時に測定してもよい。
学習モデル生成部42は、ステップS201で得られた固体試料単体、及び固体試料と測定対象物質とを含むサンプルのスペクトル情報を用いて、教師データを生成する。その際、第1のスペクトル情報、及び第2のスペクトル情報に基づいて、教師データを生成する。以下、第1のスペクトル情報、及び第2のスペクトル情報を詳細に説明する。
生成した教師データを用いて、所定のアルゴリズムに従った機械学習を実施して学習モデルを構築する(ステップS203)。具体的な学習の手法としては、たとえば、一般的な機械学習手法であるニューラルネットワークやサポートベクターマシンなどを用いてもよい。また、隠れ層が多層になった深層学習手法として、DNN(ディープニューラルネットワーク)やCNN(コンボリューショナルニューラルネットワーク)などを用いてもよい。測定対象物質が複数種ある場合には、それぞれの物質に対して学習モデルを生成する。そして、学習モデル生成部42は、RAM33、記憶部34、又はデータベース22に、生成した学習モデルを格納する。
分析装置23は、固体試料と測定対象物質とを含む目的サンプルを分析し、目的サンプルのスペクトル情報を取得する。分析条件は、前述したステップ201と同一の条件とする。そして、分析装置23は、取得したスペクトル情報を情報処理装置10に出力する。情報処理装置10は分析装置23からスペクトル情報を受信し、RAM33又は記憶部34に保持する。スペクトル情報取得部41は、こうして保持されたスペクトル情報を取得する。なお、前述したように、分析結果であるスペクトル情報は、データベース22が保持してもよい。この場合、スペクトル情報取得部41は、データベース22からスペクトル情報を取得する。また、分析装置23がサンプルを分析するタイミングは、ステップS302における種類に関する情報の推定よりも前に実行されれば、どのようなタイミングであってもよい。
学習モデル取得部43は、RAM33、記憶部34、又はデータベース22に格納された学習モデルを取得する。そして、推定部44は、取得された学習モデルに、ステップS301で取得された目的サンプルのスペクトル情報を入力することにより、目的サンプルに含まれる測定対象物質の種類に関する情報を推定させる。また、必要に応じて、推定部44は、推定された種類に関する情報を、表示部36において表示する形式に換算する。表示部36において表示する形式としては、g/L、mol/Lなどの濃度でもよいし、基準量(標準量)に対する割合でもよい。学習モデルにより推定される値がこれらの表示形式であれば、換算する必要はない。そして、情報取得部45は、推定された種類に関する情報を推定部44から取得し、RAM33又は記憶部34に格納する。
表示制御部46は、ステップ302で学習モデルにより推定された、目的サンプルに含まれる測定対象物質の種類に関する情報を表示部36に表示させる。その際、グラフ形式や表形式に整理して表示してもよい。図7に、表示部36に表示された画面(ウィンドウ)の一例を示す。さらに、“高い”、“低い”など推定濃度の数値に応じて、そのレベルを表示してもよい。
以下に、実施例および比較例を挙げて本発明をより詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
[固体試料の作製]
モノマーとしてのメチルメタクリレートと、架橋剤としてのトリメチロールプロパンメタクリレート(いずれも東京化成工業製)を49.5gずつ混合した。さらに、混合した溶液に、重合開始剤としてのOmnirad 819(IGM Resins B.V.製)を1g添加した。次に、得られた溶液から1gを分取し、ミキサー(あわとり練太郎 AR-100、シンキー製)を用いて、5分間撹拌した。そして、撹拌した溶液から0.3gを分取し、フッ素樹脂フィルム(ネオフロンPFAフィルム、ダイキン工業製)で挟み、水銀ランプ(UL750 HOYA製)をフッ素樹脂フィルムの30cm遠方から5分間照射した。これにより、光硬化樹脂が得られ、これを固体試料とした。
〔サンプルAの作製〕
固体試料の作製において得られた撹拌した液体から1gに、可塑剤として測定対象物質Aであるジイソノニルフタレート(下記構造式A、富士フイルム和光純薬製)を0.001g添加し、固体試料に対して測定対象物質Aを0.1%含むサンプルAを作製した。
可塑剤を測定対象物質Bである2-イソプロピルチオキサントン(下記構造式B、東京化成工業製)に変更したこと以外は、サンプルAの作製と同様の方法でサンプルBを作製した。その際、可塑剤の添加量を変更することで、固体試料に対して測定対象物質Bをそれぞれ0.1%、0.2%、0.4%、0.6%、0.8%、1.0%、10.0%含むサンプルを作製した。
可塑剤を測定対象物質CであるアセチレノールE100(下記構造式C、川研ファインケミカル製)に変更したこと以外は、サンプルAの作製と同様の方法でサンプルCを作製した。その際、可塑剤の添加量を変更することで、固体試料に対して測定対象物質Cをそれぞれ0.1%、0.2%、0.4%、0.6%、0.8%、1.0%、10.0%含むサンプルを作製した。
可塑剤を測定対象物質Dであるメロシアニン(下記構造式D、FDB-009、山田化学製)に変更したこと以外は、サンプルAの作製と同様の方法でサンプルDを作製した。その際、可塑剤の添加量を変更することで、固体試料に対して測定対象物質Dをそれぞれ0.1%、0.2%、0.4%、0.6%、0.8%、1.0%、10.0%含むサンプルを作製した。
作製した固体試料、及び固体試料と測定対象物質とを含むサンプルをそれぞれ1cm角の正方形に切り出し、以下の条件でTOF-SIMS法による測定を行った。
測定機種:TOF-SIMS5(ION-TOF製)
一次イオン種:Bi3+
一次イオン電流:0.4pA(Pulse電流)
一次イオンエネルギー:25keV
測定モード:Bunching Mode(バンチングモード)
検出範囲:1~800amu
電子銃:帯電補正用電子銃
測定真空度:7×10-8Pa
測定領域:300μm×300μm
測定点数:測定領域内の128×128点
積算:16回測定モード ネガティブイオン
測定回数:各サンプルに対しそれぞれ6回
以上の測定により図4~7に記載のスペクトル群を得た。図4は、固体試料、及び固体試料と測定対象物質Aとを含むサンプルAのスペクトル情報の一例である。図5は、固体試料と測定対象物質Bとを含むサンプルBのスペクトル情報の一例である。図6は、固体試料と測定対象物質Cとを含むサンプルCのスペクトル情報の一例である。図7は、固体試料と測定対象物質Dとを含むサンプルDのスペクトル情報の一例である。
表1に示すTOF-SIMSの作業従事年数がさまざまなオペレータ4名が、測定対象物質A、B、C、Dのうちいずれかを0.1%、0.4%、又は0.8%含むサンプルのスペクトル群(各6組、計72組)を利用して、サンプル中の測定対象物質を同定した。その際、測定対象物質A、B、C、Dのいずれか1つを10.0%含むサンプルのスペクトル群(各6組、計24組)を参考にした。いずれの測定対象物質も正しく同定できたものの、表1に記載の通り、人の力による測定対象物質の同定には、1時間以上かかることが分かった。
教師データの作成方法については、図8のフローチャートに基づいて説明する。
実施例1で測定されたスペクトル情報を用いて、下記の方法で作成した。
固体試料単体のスペクトルからなる教師データ(計60組)と、測定対象物質Aを0.2%含むサンプルAのスペクトルからなる教師データ(計60組)の中から、それぞれスペクトル1つずつ抽出した。さらに、各m/z毎に計算式(1)~(3)を用い、測定対象物質Aを0.05%、0.1%、0.15%を含むサンプルAのスペクトル(人工スペクトル)を作成した。
実施例2におけるノイズ付与を行わなかったこと以外は、実施例2と同様の方法で学習モデルを作成した。具体的には以下に示す通りである。
固体試料単体のスペクトル6組と測定対象物質Aを0.2%含むサンプルAのスペクトル6組のなかからそれぞれスペクトル1つずつ抽出した。さらに、各m/z毎に前記計算式(1)~(3)を用い、測定対象物質Aをそれぞれ0.05%、0.1%、0.15%含むサンプルAのスペクトル(人工スペクトル)を作成した。
実施例3における濃度補間による教師データの作成を行わなかったこと以外は、実施例3と同様の方法で学習モデルを作成した。具体的には以下に示す通りである。
Claims (21)
- 固体試料のスペクトル情報、及び前記固体試料と測定対象物質とを含むサンプルのスペクトル情報を学習モデルに入力することにより推定された、サンプル中の前記測定対象物質の種類に関する情報を取得する情報取得手段を有する情報処理装置であって、
前記スペクトル情報が、二次イオン質量分析法により取得される、m/z毎のフラグメントイオン強度を示すスペクトルであり、
前記学習モデルが、前記固体試料単体のスペクトル、前記測定対象物質を含む前記固体試料のスペクトル、前記固体試料単体のスペクトルのm/z毎のフラグメントイオン強度にノイズが付与された人工スペクトル、及び前記測定対象物質を含む前記固体試料のスペクトルのm/z毎のフラグメントイオン強度にノイズが付与された人工スペクトルに少なくとも基づいて生成されることを特徴とする情報処理装置。 - 前記二次イオン質量分析法が、飛行時間型二次イオン質量分析法である請求項1に記載の情報処理装置。
- 前記測定対象物質の種類に関する情報が、前記測定対象物質の名称、略称、化学的分類、構造式、化学式、及び立体構造図からなる群より選択される少なくとも1種である請求項1又は2に記載の情報処理装置。
- 前記固体試料が、樹脂、シリコン基板、及び銅箔からなる群より選択される少なくとも1種を含む請求項1乃至3のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記固体試料が、樹脂を含む請求項4に記載の情報処理装置。
- 前記樹脂が、不飽和カルボン酸エステル類に由来するユニットを有する請求項5に記載の情報処理装置。
- 前記測定対象物質が、可塑剤、増粘剤、減粘剤、結晶核剤、結晶化促進剤、結晶化遅延剤、離型剤、難燃剤、難燃助剤、熱分解防止剤、補強剤、導電材、帯電防止剤、熱伝導剤、酸化防止剤、耐候防止剤、紫外線吸収剤、抗菌剤、着色剤、ガスバリア剤、防曇り剤、防反射剤、防汚剤、及び不純物からなる群より選択される少なくとも1種である請求項1乃至6のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記測定対象物質が、可塑剤である請求項7に記載の情報処理装置。
- 前記可塑剤が、界面活性剤である請求項8に記載の情報処理装置。
- 前記取得された測定対象物質の種類に関する情報を表示部に表示させる表示制御手段を有する請求項1乃至9のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記学習モデルが、さらに、測定対象物質を含む固体試料のスペクトルであって、前記固体試料に対する前記測定対象物質の濃度が互いに異なる複数のスペクトル情報に基づいて生成される請求項1乃至10のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記学習モデルが、固体試料単体のスペクトル情報、及び固体試料に対する測定対象物質の濃度が異なる複数の、固体試料と測定対象物質とを含むサンプルのスペクトル情報に基づいて生成される請求項1乃至10のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記学習モデルが、さらに、固体試料と、前記複数のサンプルのスペクトル情報で用いる測定対象物質の濃度とは異なる濃度の測定対象物質とを含むサンプルのスペクトル情報に基づいて生成される請求項12に記載の情報処理装置。
- 前記固体試料を構成する元素群と、前記測定対象物質とを構成する元素群とが同じである請求項1乃至13のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記固体試料を構成する元素群と、前記測定対象物質とを構成する元素群が、炭素原子、水素原子、酸素原子、及び窒素原子からなる群より選択される少なくとも1種を含む請求項1乃至14のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記サンプルのスペクトル情報のm/zが10以上のフラグメントイオン強度の合計に対する、測定対象物質のスペクトル情報におけるイオン強度の割合が、7×10-5以下である請求項1乃至15のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 固体試料のスペクトル情報、及び前記固体試料と測定対象物質とを含むサンプルのスペクトル情報を学習モデルに入力することにより推定された、サンプル中の前記測定対象物質の種類に関する情報、及び定量的な情報を取得する情報取得手段を有する情報処理装置であって、
前記スペクトル情報が、二次イオン質量分析法により取得される、m/z毎のフラグメントイオン強度を示すスペクトルであり、
前記学習モデルが、前記固体試料単体のスペクトル、前記測定対象物質を含む前記固体試料のスペクトル、前記固体試料単体のスペクトルのm/z毎のフラグメントイオン強度にノイズが付与された人工スペクトル、及び前記測定対象物質を含む前記固体試料のスペクトルのm/z毎のフラグメントイオン強度にノイズが付与された人工スペクトルに少なくとも基づいて生成されることを特徴とする情報処理装置。 - 前記測定物質の種類に関する情報の信頼度が取得されることを特徴とする請求項1乃至17のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 固体試料のスペクトル情報、及び前記固体試料と測定対象物質とを含むサンプルのスペクトル情報を学習モデルに入力することにより推定された、サンプル中の前記測定対象物質の種類に関する情報を取得する情報取得工程を有する情報処理装置の制御方法であって、
前記スペクトル情報が、二次イオン質量分析法により取得される、m/z毎のフラグメントイオン強度を示すスペクトルであり、
前記学習モデルが、前記固体試料単体のスペクトル、前記測定対象物質を含む前記固体試料のスペクトル、前記固体試料単体のスペクトルのm/z毎のフラグメントイオン強度にノイズが付与された人工スペクトル、及び前記測定対象物質を含む前記固体試料のスペクトルのm/z毎のフラグメントイオン強度にノイズが付与された人工スペクトルに少なくとも基づいて生成されることを特徴とする情報処理装置の制御方法。 - 固体試料のスペクトル情報、及び前記固体試料と測定対象物質とを含むサンプルのスペクトル情報を学習モデルに入力することにより推定された、サンプル中の前記測定対象物質の種類に関する情報、及び定量的な情報を取得する情報取得工程を有する情報処理装置の制御方法であって、
前記スペクトル情報が、二次イオン質量分析法により取得される、m/z毎のフラグメントイオン強度を示すスペクトルであり、
前記学習モデルが、前記固体試料単体のスペクトル、前記測定対象物質を含む前記固体試料のスペクトル、前記固体試料単体のスペクトルのm/z毎のフラグメントイオン強度にノイズが付与された人工スペクトル、及び前記測定対象物質を含む前記固体試料のスペクトルのm/z毎のフラグメントイオン強度にノイズが付与された人工スペクトルに少なくとも基づいて生成されることを特徴とする情報処理装置の制御方法。 - 請求項1乃至20のいずれか1項に記載の情報処理装置の各手段としてコンピュータを機能させることを特徴とするプログラム。
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