JP7572043B2 - Ｘ線検査システム、ｘ線検査装置、ｘ線検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、Ｘ線検査システムに関し、より具体的には、搬送部により連続的に搬送される多数個の物品に対してＸ線検査を行い、Ｘ線検査の結果、不良と判断された物品を搬送部から排除するＸ線検査システムに関する。また、Ｘ線検査システムに用いられるＸ線検査装置及びＸ線検査方法に関する。

従来、搬送部により連続的にランダムな位置で搬送される多数個の物品に対してＸ線検査を行い、不良と判断された物品（以後、不良品と呼ぶ）を、例えばアーム式の排除装置により搬送部から排除するＸ線検査システムが知られている。このようなＸ線検査システムでは、例えば不良品が１つであっても、排除装置により、搬送部上の、不良品の周囲の不良と判断されていない物品（以後、良品と呼ぶ）も大量に排除されるおそれがある。

これに対し、特許文献１（特開２００４－２７９０５９号公報）のＸ線検査システムでは、排除される良品を減らすため、搬送部の搬送方向に直交する方向に複数の検査領域を設定し、検査領域のそれぞれに対して個別にアーム式の排除装置を設け、不良品が存在する検査領域に対応する排除装置だけを動作させている。

特許文献１（特開２００４－２７９０５９号公報）のＸ線検査システムでは、全検査領域に対して単一のアーム式の排除装置が設ける場合に比べれば、搬送部から排除される良品の数を抑制できる。

しかし、特許文献１（特開２００４－２７９０５９号公報）のＸ線検査システムでも、已然としてかなりの数の良品が排除されるおそれがある。

本発明の課題は、搬送部により連続的に搬送される多数個の物品に対してＸ線検査を行い、Ｘ線検査の結果、不良と判断された物品を搬送部から排除するＸ線検査システムであって、排除される良品の数を抑制可能なＸ線検査システムを提供することにある。

また、本発明の課題は、このようなＸ線検査システムに用いられるＸ線検査装置及びＸ線検査方法を提供することにある。

本発明の第１観点に係るＸ線検査システムは、搬送部と、Ｘ線照射部と、透過Ｘ線検出部と、画像生成部と、検査部と、位置情報生成部と、ロボットと、第１制御部と、を備える。搬送部は、多数個の物品を、連続的に、ランダムな位置で搬送する。Ｘ線照射部は、搬送部上の物品にＸ線を照射する。透過Ｘ線検出部は、物品を透過したＸ線を検出する。画像生成部は、透過Ｘ線検出部の検出結果に基づいて、透過Ｘ線画像を生成する。検査部は、透過Ｘ線画像に基づき、物品の不良を検査する。位置情報生成部は、検査部の検査結果に基づき、不良と判定された物品の搬送部上の位置に関する位置情報を生成する。ロボットは、物品の除去機構を有する。ロボットは、除去機構を少なくとも搬送部の搬送方向と直交する第１方向に移動させることが可能である。ロボットは、検査部により不良と判定された物品を除去機構により搬送部から取り除く。第１制御部は、搬送部が第１距離を進行する毎に発信される定間隔の基準信号と、位置情報と、に少なくとも基づき、除去機構が検査部により不良と判定された物品に近づいて取り除くようにロボットの動作を制御する。

第１観点に係るＸ線検査システムでは、搬送部上の不良品の位置に関する位置情報に基づいてロボットの動作を制御して搬送部から不良品を取り除くため、不良品と共に取り除かれる良品の量を抑制できる。

なお、透過Ｘ線画像に基づき物品の不良を検査して位置情報を生成する工程には、ある程度の演算・処理時間を要し、なおかつ、演算・処理時間は毎回同一ではない。そのため、位置情報の生成タイミングに合わせてロボットを制御すると、ロボットが物品を取りに行く位置と、実際に不良品の存在する位置との位置ずれが発生するおそれがある。

これに対し、第１観点に係るＸ線検査システムでは、第１制御部が、搬送部が第１距離を進行する毎に発信される定間隔の基準信号に基づいてロボットを制御する。そのため、透過Ｘ線画像に基づき物品の不良を検査して位置情報を生成するのに要する演算・処理時間が変動しても、ロボットが物品を取りに行く位置と実際に不良品の存在する位置との位置ずれを抑制できる。

本発明の第２観点に係るＸ線検査システムは、第１観点に係るＸ線検査システムであって、ロボットは、除去機構を搬送部の搬送方向と平行な方向にも移動させることが可能である。

第２観点に係るＸ線検査システムでは、除去機構が搬送方向に直交する第１方向だけではなく、搬送方向に平行な方向にも移動可能である。そのため、搬送部に、複数の不良品が、搬送方向において概ね同じ位置に、かつ、第１方向には異なる位置に存在する場合でも、搬送部による搬送を停止することなく、複数の不良品を搬送部から除去できる。

本発明の第３観点に係るＸ線検査システムは、第１観点又は第２観点に係るＸ線検査システムであって、計数部を更に備える。計数部は、検査部の検査の結果に基づいて、搬送部の第１所定領域に存在する、不良と判定された物品の個数を計数する。

第３観点に係るＸ線検査システムでは、搬送部の第１所定領域に存在する不良と判定された物品の個数が計数されるので、例えば、現在の搬送部の搬送速度で、ロボットが全ての不良品を取り除くことが可能か等の判断を行うことができる。

本発明の第４観点に係るＸ線検査システムは、第３観点に係るＸ線検査システムであって、速度制御部を更に備える。速度制御部は、搬送部の搬送速度を変更する。速度制御部は、計数部の計数結果に基づいて搬送部の搬送速度を制御する。

第４観点のＸ線検査システムでは、搬送部の所定領域に存在する不良品の個数に基づいて搬送部の搬送速度を変更するので、例えば第１所定領域に存在する不良品の数が多く、現在の搬送速度ではロボットが処理しきれない場合に、搬送速度を減速することができる。また、所定領域に存在する不良品の数が少なく、ロボットの処理能力に余裕がある場合には、搬送速度を増速することができる。そのため、不良品の除去漏れがない信頼度の高いＸ線検査システムを実現しつつ、所定領域に存在する不良品の数が少ない場合には搬送速度を増速してＸ線検査システムの処理能力を向上させることができる。

本発明の第５観点に係るＸ線検査システムは、第４観点に係るＸ線検査システムであって、画像生成部は、搬送部の搬送速度に応じて透過Ｘ線画像を補正する。

ここで、搬送部の搬送速度が、ある所定速度（基準速度と呼ぶ）である場合に、透過Ｘ線検出部の所定時間間隔の検出結果に基づき画像生成部が生成する透過Ｘ線画像を、仮に基準透過Ｘ線画像と呼ぶものとする。これに対して、搬送部上の物品の分布は変化させずに、搬送部の搬送速度だけを基準速度に対して増減させて透過Ｘ線検出部により所定時間間隔で透過Ｘ線を検出し、この検出結果に基づき画像生成部が透過Ｘ線画像（第１透過Ｘ線画像と呼ぶ）を生成したとする。この場合、第１透過Ｘ線画像は、基準透過Ｘ線画像を搬送部の搬送方向に伸ばした又は縮めた画像となる。そのため、仮に、位置情報生成部が、第１透過Ｘ線画像に基づいて位置情報を生成したとすると、搬送部上の物品の分布は変化していないのに、得られる位置情報は、基準透過Ｘ線画像に基づいて生成される位置情報とは異なることとなる。

これに対し、第５観点のＸ線検査システムでは、画像生成部が、搬送部の搬送速度に応じて透過Ｘ線画像を補正し、位置情報生成部は補正後の透過Ｘ線画像に基づいて位置情報を生成する。そのため、第５観点のＸ線検査システムでは、第１制御部は、搬送部の搬送速度によらず、ロボットを適切なタイミングで動作させ、不良品を精度よく搬送部から取り除くことができる。

本発明の第６観点に係るＸ線検査システムは、第３観点から第５観点のいずれかに係るＸ線検査システムであって、物品除去装置と、第２制御部と、を更に備える。物品除去装置は、搬送部上の、搬送方向における第２所定領域に存在する物品をまとめて取り除く。第２制御部は、物品除去装置の動作を制御する。第２制御部は、計数部により計数された第１所定領域に存在する不良と判定された物品の個数が所定値を超える場合に、物品除去装置を動作させる。

第６観点のＸ線検査システムでは、搬送部の所定領域に存在する不良品の個数が比較的多く、ロボットが処理しきれない場合には、物品除去装置で不良品をまとめて除去できる。そのため、Ｘ線検査システムを一時停止させることなく（Ｘ線検査システムの運転停止／運転再開に必要な時間を要することなく）、不良品の除去処理の漏れがない信頼度の高いＸ線検査システムを実現できる。

本発明の第７観点に係るＸ線検査システムは、第１観点から第６観点のいずれかに係るＸ線検査システムであって、第１制御部は、搬送部の所定領域に、不良と判定された物品が３つ以上存在する場合に、不良と判定された物品を取り除く除去機構の移動距離が最短になるように、ロボットの動作を制御する。

第７観点のＸ線検査システムでは、除去機構が最短距離を移動するように制御されるので、除去機構の移動距離を考慮しない場合に比べ、同一の処理時間で、より多くの不良品を搬送部から取り除くことができる。

本発明の第８観点に係るＸ線検査システムは、第１観点から第７観点のいずれかに係るＸ線検査システムであって、同一時点において、Ｘ線照射部がＸ線を照射する領域における搬送部の搬送速度と、ロボットが物品を取り除く領域における搬送部の搬送速度と、は同一である。

本発明の第９観点に係るＸ線検査システムは、第１観点から第８観点のいずれかに係るＸ線検査システムであって、除去機構は、不良と判定された物品を吸引除去する。

第９観点のＸ線検査システムでは、不良品を搬送部から素早く除去できる。

本発明の第１０観点に係るＸ線検査装置は、搬送部と、Ｘ線照射部と、透過Ｘ線検出部と、画像生成部と、検査部と、位置情報生成部と、第１送信部と、第２送信部と、を備える。搬送部は、多数個の物品を、連続的に、ランダムな位置で搬送する。Ｘ線照射部は、搬送部上の物品にＸ線を照射する。透過Ｘ線検出部は、物品を透過したＸ線を検出する。画像生成部は、透過Ｘ線検出部の検出結果に基づいて、透過Ｘ線画像を生成する。検査部は、透過Ｘ線画像に基づき、物品の不良を検査する。位置情報生成部は、検査部の検査結果に基づき、不良と判定された物品の搬送部上の位置に関する位置情報を生成する。第１送信部は、ロボットの動作を制御する制御部に、搬送部が第１距離を進行する毎に発信される定間隔の基準信号を送信する。第２送信部は、制御部に、位置情報を送信する。ロボットは、物品の除去機構を有する。ロボットは、除去機構を少なくとも搬送部の搬送方向と直交する第１方向に移動させることが可能で、検査部により不良と判定された物品を除去機構により搬送部から取り除く。制御部は、除去機構が検査部により不良と判定された物品に近づき取り除くようにロボットの動作を制御する。

本発明の第１１観点に係るＸ線検査方法は、Ｘ線照射ステップと、透過Ｘ線検出ステップと、画像生成ステップと、検査ステップと、位置情報生成ステップと、送信ステップと、制御ステップと、を備える。Ｘ線照射ステップでは、多数個の物品を、連続的に、ランダムな位置で搬送する搬送部に対しＸ線が照射される。透過Ｘ線検出ステップでは、物品を透過した透過Ｘ線が検出される。画像生成ステップでは、透過Ｘ線の検出結果に基づいて、透過Ｘ線画像が生成される。検査ステップでは、透過Ｘ線画像に基づき、物品の不良が検査される。位置情報生成ステップでは、検査ステップの検査結果に基づき、不良と判定された物品の、搬送部上の位置に関する位置情報が生成される。送信ステップでは、ロボットの動作を制御する制御部に、搬送部が第１距離を進行する毎に発信される定間隔の基準信号と、位置情報と、が送信される。ロボットは、物品の除去機構を有する。ロボットは、物品の除去機構を少なくとも搬送部の搬送方向と直交する第１方向に移動させることが可能で、検査ステップで不良と判定された物品を除去機構により搬送部から取り除く。制御ステップでは、制御部は、基準信号と位置情報とに少なくとも基づき、除去機構が検査ステップで不良と判定された物品に近づき取り除くようにロボットの動作を制御する。

本発明に係るＸ線検査システムでは、搬送部上の不良品の位置に関する位置情報に基づきロボットで搬送部から不良品を取り除くため、不良品と共に取り除かれる良品の量を抑制できる。

本発明の一実施形態に係るＸ線検査システムの概略平面図である。 図１のＸ線検査システムのブロック図である。 図１のＸ線検査システムの概略正面図である。 図１のＸ線検査システムに含まれるＸ線検査装置のＸ線検査部のシールドボックスの外観斜視図である。 図４のシールドボックス内部の簡易構成図である。 図４のＸ線検査装置のＸ線検査部のラインセンサによって検出される透過Ｘ線量を示すグラフの一例である。 図４のＸ線検査装置のＸ線検査部が生成する透過Ｘ線画像の図である。 図１のＸ線検査システムに含まれるＸ線検査装置の位置情報の生成処理について説明すると共に、図１のＸ線検査システムに含まれるロボットが不良品を除去する順序について説明するための図である。 図１のＸ線検査システムの実行する不良品検査のフローチャートである。 図９の不良品検査中の不良品排除処理のフローチャートである。

以下、図面を参照して、本発明に係るＸ線検査システムの実施形態を説明する。

なお、以下の実施形態は、具体例に過ぎず、本発明の技術的範囲を限定するものではない。本発明の趣旨及び範囲から逸脱することなく、以下の実施形態に多様な変更が可能であることが理解されるであろう。

以下の説明では、説明の便宜上、方向等を表すために、「前（正面）」、「後（背面）」、「上」、「下」、「左」、「右」等の表現を使用する場合がある。特記無き場合、これらの表現の示す向きは、図面に付された矢印の向きに従う。

（１）全体構成
本発明の一実施形態に係るＸ線検査システム１００について、図１～図３を参照しながら説明する。図１は、Ｘ線検査システム１００の概略平面図である。図２は、Ｘ線検査システム１００のブロック図である。図３は、Ｘ線検査システム１００の概略正面図である。

Ｘ線検査システム１００は、連続的にランダムな位置で搬送される多数個の被検査物Ｐ（物品）のＸ線検査を行って不良品を検出し、不良品と判定された被検査物Ｐを排除し、良品と判定された被検査物Ｐを次の工程へと搬送するシステムである。

ここで、連続的に被検査物Ｐが搬送されるとは、被検査物Ｐが、１つずつ所定の間隔を空けて間欠的に搬送されるのではなく、（意図して間隔が空けられることなく）連続的に搬送されることを意味する。

また、ランダムな位置で被検査物Ｐが搬送されるとは、被検査物Ｐが、平面視において、被検査物Ｐの搬送方向Ｄ２と、搬送方向と直交する方向（第１方向Ｄ１と呼ぶ）とに広がる平面上でランダムな位置に分布した状態で搬送されることを意味する（図１参照）。要するに、被検査物Ｐは、第１方向Ｄ１において、同じ位置を搬送されるのではなく、所定の幅（後述する搬送部１０のコンベアベルト１３ａの前後方向の幅）の範囲で任意の位置で搬送される。また、被検査物Ｐ同士は、搬送方向Ｄ２において、決められた距離だけ離して搬送されるのではなく、任意の位置関係で搬送される。例えば、２つ以上の被検査物Ｐは、搬送方向Ｄ２において同じ位置を（言い換えれば同一のタイミングで）搬送される場合がある。

本実施形態での被検査物Ｐは、鶏肉である。ただし、被検査物Ｐの種類は、鶏肉に限定されず、鶏肉以外の食品であってもよいし、食品以外の物品であってもよい。

本実施形態でのＸ線検査は、被検査物Ｐ中の異物（例えば、本実施形態であれば骨片等）を検知し、異物を含む被検査物Ｐを不良品と判定する検査（異物検査）である。異物検査の結果、異物を含まないと判定された被検査物Ｐは、良品と判定される。なお、以下では、説明が煩雑になるのを避けるため、異物検査の結果、不良品と判定された被検査物Ｐを単に“不良品”と呼び、良品と判定された（不良品と判定されなかった）被検査物Ｐを単に“良品”と呼ぶ場合がある。

ただし、異物検査は、Ｘ線検査の一例に過ぎず、Ｘ線検査は異物検査以外の検査であってもよい。例えば、Ｘ線検査は、大きさ（透過Ｘ線画像中の被検査物Ｐの面積）が所定範囲に入る被検査物Ｐを良品、所定範囲から外れる被検査物Ｐを不良品、と判定する寸法検査であってもよい。また、例えば、Ｘ線検査は、推定重量（透過Ｘ線画像に基づいて推定される被検査物Ｐの重量）が所定範囲に入る被検査物Ｐを良品、所定範囲から外れる被検査物Ｐを不良品、と判定する重量検査であってもよい。また、例えば、Ｘ線検査は、欠けや割れ等の形状異常が無い被検査物Ｐを良品、形状異常がある被検査物Ｐを不良品と判定する形状検査であってもよい。

Ｘ線検査システム１００は、Ｘ線検査装置２００と、ロボット３０と、ロボット制御部４０と、を主に備える（図２参照）。Ｘ線検査装置２００は、搬送部１０と、Ｘ線検査部２０と、を主に有する。

Ｘ線検査装置２００は、上流搬送装置６０が搬送してくる被検査物Ｐを受け取り、受け取った被検査物Ｐを搬送部１０で搬送方向Ｄ２に搬送する（図３参照）。Ｘ線検査装置２００のＸ線検査部２０は、搬送部１０が搬送する被検査物ＰのＸ線検査を行う。搬送部１０は、Ｘ線検査部２０の検査後の被検査物Ｐを搬送方向Ｄ２に更に搬送し、下流搬送装置７０に被検査物Ｐを受け渡す（図３参照）。

ロボット３０は、Ｘ線検査装置２００による検査の結果、不良品と判定された被検査物Ｐを、搬送部１０から取り除く。ロボット３０は、被検査物Ｐを取り除く除去機構（本実施形態では後述する吸引エジェクタ３４ａ）を有する。ロボット３０は、除去機構を不良品と判定された被検査物Ｐに近づけて、除去機構を用いて不良品と判定された被検査物Ｐを搬送部１０から取り除く。

ロボット制御部４０は、Ｘ線検査装置２００が送信する後述する位置情報Ｅ及び基準信号Ｓに少なくとも基づいて、ロボット３０の動作を制御する。特に本実施形態では、ロボット制御部４０は、Ｘ線検査装置２００が送信する後述する位置情報Ｅ、基準信号Ｓ及び速度情報Ｖに基づいて、ロボット３０の動作を制御する。

（２）詳細構成
Ｘ線検査装置２００、ロボット３０及びロボット制御部４０について詳細を説明する。

（２－１）Ｘ線検査装置
Ｘ線検査装置２００について、図１～図３に加え、図４～図７を更に参照しながら説明する。図４は、Ｘ線検査装置２００のＸ線検査部２０のシールドボックス２１の外観斜視図である。図５は、シールドボックス２１の内部の簡易構成図である。図６は、図４のＸ線検査装置２００のＸ線検査部２０のラインセンサ２４によって検出される透過Ｘ線量を示すグラフの一例である。図７は、Ｘ線検査装置２００のＸ線検査部２０が生成する透過Ｘ線画像の図である。

（２－１－１）搬送部
搬送部１０は、物品の一例である被検査物Ｐを搬送する搬送部の一例である。搬送部１０は、多数個の被検査物Ｐを、連続的に、ランダムな位置で搬送する。

搬送部１０は、上流搬送装置６０が搬送してくる被検査物Ｐを受け取り、被検査物ＰがＸ線検査装置２００のシールドボックス２１内を通過するように搬送する。また、搬送部１０は、シールドボックス２１内を通過した被検査物Ｐを、Ｘ線検査装置２００の下流に搬送する。搬送部１０は、シールドボックス２１内を通過した被検査物Ｐを、ロボット３０の近傍を通過するよう搬送する。さらに、搬送部１０は、ロボット３０又は物品除去装置（本実施形態では後述する伸縮駆動部１８）により除去されなかった被検査物Ｐ、言い換えればＸ線検査により良品と判定された被検査物Ｐを、搬送部１０の下流に配置される下流搬送装置７０に受け渡す。

搬送部１０の搬送装置の種類を限定するものではないが、本実施形態では、搬送部１０はベルトコンベア１２を有する。本実施形態では、搬送部１０は、ベルトコンベア１２を１つだけ有しているが、これに限定されるものではない。例えば、搬送部１０は、搬送方向Ｄ２に沿って直列配置された、互いに連動する複数のベルトコンベア１２を有していてもよい。また、搬送部１０は、搬送方向Ｄ２に沿って直列配置された、互いに連動する複数種類の搬送装置を有していてもよい。なお、搬送部１０では、同一時点において、Ｘ線照射器２２がＸ線を照射する領域における搬送部１０の搬送速度と、後程詳述するロボット３０が被検査物Ｐを取り除く領域における搬送部１０の搬送速度と、は同一である。

ベルトコンベア１２は、無端状のコンベアベルト１３ａと、コンベアベルト１３ａの巻き掛けられているローラ１３ｂと、コンベアモータ１４と、を有している（図２及び図３参照）。

コンベアベルト１３ａの巻き掛けられているローラ１３ｂの少なくとも１つは、コンベアモータ１４により駆動される。コンベアモータ１４によりローラ１３ｂが駆動されると、コンベアベルト１３ａが回転し、コンベアベルト１３ａ上に戴置される被検査物Ｐが搬送方向Ｄ２に搬送される。本実施形態では、搬送方向Ｄ２は右方向である。

コンベアモータ１４は、インバーターにより回転速度が制御可能なモータである。コンベアモータ１４は、後述するＸ線検査装置２００の制御装置２８の指令で回転速度が制御される。コンベアモータ１４の回転速度が変更される結果、コンベアベルト１３ａ上に戴置される被検査物Ｐの搬送速度が変更される。

コンベアモータ１４には、エンコーダ１６が装着されている（図２参照）。エンコーダ１６は、搬送部１０の進行距離（言い換えれば搬送部１０が搬送する被検査物Ｐの移動距離）や、搬送部１０の進行速度（言い換えれば搬送部１０が搬送する被検査物Ｐの移動速度）を検出する。エンコーダ１６は、検出した搬送部１０の進行距離や進行速度を、Ｘ線検査装置２００の制御装置２８に送信する。

本実施形態のベルトコンベア１２は、長さの変更が可能なシャトルコンベアである。具体的には、ベルトコンベア１２は、ベルトコンベア１２の下流端１２ａ（下流搬送装置７０側の端部）に配置されるローラ１３ｂを搬送方向Ｄ２に平行な方向に沿って動かす伸縮駆動部１８を有する。伸縮駆動部１８は、物品除去装置の一例である。

伸縮駆動部１８は、ベルトコンベア１２の下流端１２ａに配置されるローラ１３ｂを搬送方向Ｄ２に平行な方向に沿って動かすことで、ベルトコンベア１２の状態を、第１状態と、第２状態との間で切り換える。ベルトコンベア１２が第１状態にある時、ベルトコンベア１２の下流端１２ａは、下流搬送装置７０に隣接している（図３の実線参照）。ベルトコンベア１２が第２状態にある時、ベルトコンベア１２の下流端１２ａは、下流搬送装置７０と離れている（図３の破線参照）。

ベルトコンベア１２が第１状態にある時、ベルトコンベア１２により下流端１２ａまで搬送された被検査物Ｐは、下流搬送装置７０に受け渡される。

一方、ベルトコンベア１２が第２状態にある時には、ベルトコンベア１２の下流端１２ａまで搬送された被検査物Ｐは、下流搬送装置７０には受け渡されず、ベルトコンベア１２の下方に配置される回収箱５０に落下する（図３参照）。ベルトコンベア１２を第２状態にすることで、搬送部１０上の（コンベアベルト１３ａ上の）、搬送方向Ｄ２における第２所定領域に存在する被検査物Ｐを、まとめて搬送部１０から取り除くことができる。ここで、第２所定領域とは、ベルトコンベア１２が第２状態にある期間にベルトコンベア１２の下流端１２ａに到達する被検査物Ｐが載置されている搬送部１０上の領域を意味する。

（２－１－２）Ｘ線検査部
Ｘ線検査部２０は、搬送部１０により搬送される被検査物Ｐに対してＸ線を照射し、被検査物Ｐを透過したＸ線の検出結果に基づいて透過Ｘ線画像を生成し、透過Ｘ線画像に基づき被検査物Ｐの不良を検査する。

Ｘ線検査部２０は、主に、シールドボックス２１（図４参照）と、Ｘ線照射器２２（図５参照）と、ラインセンサ２４（図５参照）と、タッチパネル機能付きのモニタ２６（図４参照）と、制御装置２８（図２参照）と、を有する。

（２－１－２－１）シールドボックス
シールドボックス２１は、内部にＸ線照射器２２、ラインセンサ２４、制御装置２８等を収容する筐体である。また、シールドボックス２１の正面上部には、モニタ２６の他、キーの差込口及び電源スイッチ等が配置されている（図４参照）。シールドボックス２１の左右の側面には、開口２１ａが形成されている（図４参照）。

シールドボックス２１の内部には、搬送部１０のコンベアベルト１３ａが配置されている（図３参照）。具体的には、コンベアベルト１３ａは、シールドボックス２１の両側面に形成された開口２１ａを貫通するように配置されている。搬送部１０の搬送方向Ｄ２の上流側の開口２１ａは、コンベアベルト１３ａで搬送される被検査物Ｐのシールドボックス２１への搬入口として機能する。搬送部１０の搬送方向Ｄ２の下流側の開口２１ａは、コンベアベルト１３ａで搬送される被検査物Ｐのシールドボックス２１からの搬出口として機能する。なお、開口２１ａは、シールドボックス２１の外部へのＸ線漏洩を防止するために、遮蔽ノレン２５によって塞がれている（図４参照）。遮蔽ノレン２５は、鉛やタングステン等を含むゴム製である。遮蔽ノレン２５は、開口２１ａを通過して被検査物Ｐが搬出入されるときに、被検査物Ｐによって押しのけられる。

（２－１－２－２）Ｘ線照射器
Ｘ線照射器２２は、搬送部１０上の被検査物ＰにＸ線を照射するＸ線照射部の一例である。Ｘ線照射器２２は、シールドボックス２１内の、コンベアベルト１３ａの上方に配置されている（図５参照）。Ｘ線照射器２２は、コンベアベルト１３ａの搬送面の下方に配置されるラインセンサ２４に向かって、扇形状の照射範囲ＩｒにＸ線を照射する（図５のハッチング部参照）。Ｘ線照射器２２のＸ線の照射範囲Ｉｒは、コンベアベルト１３ａの被検査物Ｐの搬送面に対して直交するように延びる。また、照射範囲Ｉｒは、コンベアベルト１３ａの搬送方向Ｄ２に対して交差する第１方向Ｄ１に扇形状に広がる。言い換えれば、Ｘ線照射器２２から照射されるＸ線は、コンベアベルト１３ａの幅方向に広がる。

（２－１－２－３）ラインセンサ
ラインセンサ２４は、被検査物Ｐを透過したＸ線を検出する透過Ｘ線検出部の一例である。

ラインセンサ２４は、コンベアベルト１３ａの搬送面の下方に配置されており、被検査物Ｐやコンベアベルト１３ａを透過してくるＸ線を検出する。ラインセンサ２４は、主に多数のＸ線検出素子２４ａを有する。Ｘ線検出素子２４ａは、コンベアベルト１３ａの搬送方向Ｄ２に直交する第１方向Ｄ１に、言い換えればコンベアベルト１３ａの幅方向に沿って水平配置されている（図５参照）。

図６は、ラインセンサ２４のＸ線検出素子２４ａによって検出される透過Ｘ線量の例を示すグラフである。グラフの横軸は、各Ｘ線検出素子２４ａの位置に対応する。また、グラフの横軸は、搬送部１０の搬送方向Ｄ２に直交する第１方向Ｄ１の位置に対応する。グラフの縦軸は、Ｘ線検出素子２４ａで検出された透過Ｘ線量を示す。ラインセンサ２４の検出結果に基づき制御装置２８が生成する透過Ｘ線画像では、透過Ｘ線量の多いところが明るく（淡く）表示され、透過Ｘ線量が少ないところが暗く（濃く）表示される。すなわち、透過Ｘ線画像の明暗（濃淡）は、透過Ｘ線の検出量に対応する。図６に示されるように、被検査物Ｐ内に異物が存在する場合には、異物に対応する位置で、その周囲に比べて透過Ｘ線量が減少する。

各Ｘ線検出素子２４ａは、被検査物Ｐやコンベアベルト１３ａを透過したＸ線を検出し、検出したＸ線透過量（Ｘ線の強度）に応じた電圧を示すＸ線透過信号を出力する。Ｘ線透過信号は、制御装置２８に送信され、被検査物Ｐの透過Ｘ線画像を作成するために用いられる。制御装置２８は、Ｘ線透過信号に基づいて生成する、言い換えればラインセンサ２４の検出結果に基づいて生成する透過Ｘ線画像に基づいて、被検査物Ｐの不良（本実施形態では異物混入）を検査する。

（２－１－２－４）モニタ
モニタ２６は、液晶ディスプレイである。モニタ２６は、被検査物Ｐの透過Ｘ線画像や、被検査物Ｐの検査結果等を表示する。モニタ２６は、タッチパネル機能も有しており、オペレータによる操作や検査パラメータ等の入力を受け付ける。

（２－１－２－５）制御装置
制御装置２８は、Ｘ線検査に関する演算や処理を実行すると共に、Ｘ線検査装置２００の各部の動作を制御するコンピュータである。ここでは、制御装置２８は、シールドボックス２１の内部に収容されている。ただし、これに限定されるものではなく、制御装置２８は、シールドボックス２１とは独立して設置される装置であってもよい。

制御装置２８は、図示は省略するが、演算や制御を行うＣＰＵ（Central Processing Unit）や、プログラムや情報を記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、及びハードディスク等を有する。また、制御装置２８は、図示しない表示制御回路、キー入力回路及び通信ポート等を備えている。表示制御回路は、モニタ２６の表示を制御する回路である。キー入力回路は、モニタ２６のタッチパネルを介してオペレータにより入力されたキー入力データを取り込む回路である。通信ポートは、外部機器との通信を可能にするポートである。

制御装置２８は、搬送部１０のコンベアモータ１４、エンコーダ１６、伸縮駆動部１８と電気的に接続されている。また、制御装置２８は、Ｘ線検査部２０のＸ線照射器２２、ラインセンサ２４、モニタ２６と電気的に接続されている。

また、制御装置２８は、後述するロボット制御部４０と通信可能に接続されている。制御装置２８は、ロボット制御部４０に対し、後述する、位置情報Ｅ、基準信号Ｓ、速度情報Ｖ等を送信する。

制御装置２８は、Ｘ線検査に用いられるパラメータや、生成したＸ線透過画像やＸ線検査の検査結果等を記憶する記憶部２８ｉを有する。また、制御装置２８は、ＣＰＵがＲＯＭやハードディスク等に記憶されているプログラムを実行することで、搬送部制御部２８ａ、画像生成部２８ｂ、検査部２８ｃ、計数部２８ｄ、位置情報生成部２８ｅ、位置情報送信部２８ｆ、基準信号送信部２８ｇ、速度情報送信部２８ｈとして機能する。

（ａ）搬送部制御部
搬送部制御部２８ａは、搬送部１０の動作を制御する。

例えば、搬送部制御部２８ａは、搬送部１０のコンベアモータ１４の回転速度を制御することで、搬送部１０の搬送速度を制御する。例えば、搬送部制御部２８ａは、通常（第１条件が成立していない時）、搬送部１０の搬送速度を第１搬送速度Ｚ１［ｍ／秒］に制御する。言い換えれば、搬送部制御部２８ａは、通常は、搬送部１０が、第１搬送速度Ｚ１［ｍ／秒］で被検査物Ｐを搬送するように、コンベアモータ１４の回転速度を制御する。

また、搬送部制御部２８ａは、第１条件が成立した時に、搬送部１０の搬送速度（被検査物Ｐを搬送する速度）を第２搬送速度Ｚ２［ｍ／秒］に制御する。言い換えれば、搬送部制御部２８ａは、第１条件が成立した時に、搬送部１０が第２搬送速度Ｚ２［ｍ／秒］で被検査物Ｐを搬送するように、コンベアモータ１４の回転速度を制御する。第２搬送速度Ｚ２［ｍ／秒］は、第１搬送速度Ｚ１［ｍ／秒］より遅い速度である。第２搬送速度Ｚ２［ｍ／秒］は、限定するものではないが、例えば第１搬送速度Ｚ１［ｍ／秒］の１／２の速度である。

また、通常（第２条件が成立していない時）、ベルトコンベア１２の状態は、下流端１２ａが下流搬送装置７０に隣接する第１状態にある。しかし、第２条件が成立した時には、搬送部制御部２８ａは、搬送部１０の伸縮駆動部１８を制御して、ベルトコンベア１２の状態を下流端１２ａが下流搬送装置７０と離れている第２状態に切り換える。

第１条件及び第２条件については、後述するＸ線検査システム１００の動作の説明の中で合わせて説明する。

（ｂ）画像生成部
画像生成部２８ｂは、ラインセンサ２４の検出結果に基づいて、より具体的には、ラインセンサ２４によって検出された透過Ｘ線量（被検査物Ｐを透過したＸ線量）に基づいて透過Ｘ線画像を生成する。

具体的には、画像生成部２８ｂは、ラインセンサ２４の各Ｘ線検出素子２４ａから出力される、透過Ｘ線の強度に関するデータ（Ｘ線透過信号）を細かい時間間隔（ｔ［ミリ秒］間隔）で取得し、所定数のデータをマトリクス状に時系列につなぎ合わせて透過Ｘ線画像を生成する。例えば、画像生成部２８ｂは、搬送部１０が所定の距離Ｌ（図５参照）だけ進行する間にラインセンサ２４の各Ｘ線検出素子２４ａが出力した透過Ｘ線の強度に関するデータをマトリクス状に時系列につなぎ合わせて、被検査物Ｐの透過Ｘ線画像を生成する。記憶部２８ｉは、画像生成部２８ｂが生成する透過Ｘ線画像を記憶する。

なお、画像生成部２８ｂは、搬送部１０の搬送速度に応じて透過Ｘ線画像を補正する。具体的に説明する。

搬送部１０の搬送速度が、第１搬送速度Ｚ１［ｍ／秒］である場合、ラインセンサ２４の各Ｘ線検出素子２４ａから出力されるＸ線透過信号は、第１搬送速度Ｚ１［ｍ／秒］×ｔ［ミリ秒］だけの搬送部１０の搬送距離に対応する信号である。一方、搬送部１０の搬送速度が、第２搬送速度Ｚ２［ｍ／秒］である場合には、ラインセンサ２４の各Ｘ線検出素子２４ａから出力されるＸ線透過信号は、第２搬送速度Ｚ２［ｍ／秒］×ｔ［ミリ秒］だけの搬送部１０の搬送距離に対応する信号である（例えば、ここでは、第２搬送速度Ｚ２［ｍ／秒］＝０．５×第１搬送速度Ｚ１［ｍ／秒］）。したがって、同じ時間（例えばｔ［ミリ秒］×Ｍ（Ｍは整数））に取得されたデータをつなぎ合わせて被検査物Ｐの透過Ｘ線画像を生成すると、搬送部１０の搬送速度が第２搬送速度Ｚ２［ｍ／秒］である場合の透過Ｘ線画像は、搬送部１０の搬送速度が第１搬送速度Ｚ１［ｍ／秒］である場合の透過Ｘ線画像に対し、搬送部１０の搬送方向Ｄ２において引き伸ばされた画像となる。逆に、同じ時間（例えばｔ［ミリ秒］×Ｍ（Ｍは整数））に取得されたデータをつなぎ合わせて被検査物Ｐの透過Ｘ線画像を生成すると、搬送部１０の搬送速度が第１搬送速度Ｚ１［ｍ／秒］である場合の透過Ｘ線画像は、搬送部１０の搬送速度が第２搬送速度Ｚ２［ｍ／秒］である場合の透過Ｘ線画像に対し、搬送部１０の搬送方向Ｄ２において圧縮された画像となる。そこで、画像生成部２８ｂは、Ｘ線透過信号取得時の、搬送部１０の搬送速度が変化しても、透過Ｘ線画像が搬送部１０の搬送方向に伸縮されないよう、エンコーダ１６が送信する搬送部１０の搬送速度の情報に基づいて、透過Ｘ線画像を補正する。

（ｃ）検査部
検査部２８ｃは、画像生成部２８ｂにより生成された被検査物Ｐの透過Ｘ線画像に基づいて、その透過Ｘ線画像に対応する被検査物Ｐ（透過Ｘ線画像に写っている被検査物Ｐ）の不良を検査する。

例えば、検査部２８ｃは、２値化検出方式を用いて異物を判定する。具体的には、検査部２８ｃは、画像生成部２８ｂにより生成された透過Ｘ線画像に、予め設定される透過Ｘ線画像の明るさに関する所定の基準レベルよりも暗い画素群（密集した画素の集まり）が存在する場合、その画素群の図心に対応する位置に異物を含む被検査物Ｐを表す画像が存在すると判定する。例えば、画像生成部２８ｂにより生成された透過Ｘ線画像が図７のような画像であり、基準レベルよりも暗い画素群が、Ａ，Ｂ，Ｃの符号が付された黒丸の位置に検知された場合には、透過Ｘ線画像の画素群Ａ，Ｂ，Ｃの図心の位置に、異物を含む被検査物Ｐを表す画像が存在すると判定する。記憶部２８ｉは、検査部２８ｃの検査結果を記憶する。

なお、異物の判定方法は、上記の２値化検出方式に限定されるものではなく、検査部２８ｃは、これ以外の既知の方法（例えば、トレース検出方式）を用いて、異物の存在を判定してもよい。

また、ここでは、検査部２８ｃは、異物の存在を示す透過Ｘ線画像の画素群に対応する位置に、異物を含む被検査物Ｐを表す画像が存在すると判定するが、このような態様に限定されるものではない。例えば、検査部２８ｃは、異物の検知に加え、透過Ｘ線画像において異物の存在する（異物を囲む）被検査物Ｐの輪郭を特定し（図７の例であれば、輪郭Ｏａ，Ｏｂ，Ｏｃを特定し）、その輪郭により特定される被検査物Ｐの図心の位置（図７の例であれば、図心Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃ）に異物を含む被検査物Ｐを表す画像が存在すると判定してもよい。

（ｄ）計数部
計数部２８ｄは、検査部２８ｃの透過Ｘ線画像の検査結果に基づいて、その透過Ｘ線画像に写っている搬送部１０のコンベアベルト１３ａ上の単位検査領域（第１所定領域の一例、ここでは搬送方向Ｄ２において距離Ｌの領域）に存在する不良と判定された被検査物Ｐの個数を計数する。具体的には、計数部２８ｄは、検査部２８ｃの検査の結果、基準レベルよりも暗い画素群の数を、搬送部１０の単位検査領域に存在する不良と判定された被検査物Ｐの個数として計数する。

なお、計数部２８ｄの計数結果は、例えば、搬送部制御部２８ａによる、搬送部１０の搬送速度の制御や伸縮駆動部１８の動作の制御に用いられる。詳細については後述する。

（ｅ）位置情報生成部
位置情報生成部２８ｅは、検査部２８ｃの検査結果に基づき、不良と判定された被検査物Ｐの搬送部１０上（コンベアベルト１３ａ上）の位置に関する位置情報Ｅを生成する。記憶部２８ｉは、位置情報生成部２８ｅが生成する位置情報Ｅを記憶する。

具体的には、位置情報生成部２８ｅは、透過Ｘ線画像中の異物の位置を、コンベアベルト１３ａ上の座標に読み替える。図７及び図８を参照しながら、位置情報生成部２８ｅの実行する処理の具体例を説明する。

例えば、図７の透過Ｘ線画像は、コンベアベルト１３ａ上のある領域Ｒ１（図８参照）を写した透過Ｘ線画像であるとする。領域Ｒ１は、ある時間に、Ｘ線照射器２２のＸ線の照射範囲Ｉｒの下方を通過するコンベアベルト１３ａの搬送面である。ここでは、領域Ｒ１は、搬送部１０の搬送方向Ｄ２において、長さが距離Ｌのコンベアベルト１３ａの領域である。

透過Ｘ線画像において、図７のような透過Ｘ線画像の右下隅を原点とするＸＹ座標系を設定する。また、ベルトコンベア１２上のある領域Ｒ１において、図８のようなベルトコンベア１２上の領域Ｒ１の右前端を原点とするｘｙ座標系を設定する。ｘ軸の正方向は被検査物Ｐの搬送方向Ｄ２とは逆の向き（左方向）に対応し、ｙ軸の正方向は後方向に対応する。図７に示す座標系のＸ軸及びＹ軸は、図８に示す座標系のｘ軸及びｙ軸にそれぞれ対応する。なお、原点や座標系の設定は任意であり、透過Ｘ線画像及び領域Ｒ１において、他の態様で原点と座標系とが設定されてもよい。

図７の例では、検査部２８ｃは、ＸＹ座標系において画素群Ａの図心の位置（Ｘａ，Ｙａ）、画素群Ｂの図心の位置（Ｘｂ，Ｙｂ）、画素群Ｃの図心の位置（Ｘｃ，Ｙｃ）を、異物を含む被検査物Ｐを表す画像が存在する位置と判定している。位置情報生成部２８ｅは、ＸＹ座標系の座標（Ｘａ，Ｙａ）、（Ｘｂ，Ｙｂ）、（Ｘｃ，Ｙｃ）に対応する、ｘｙ座標系の座標（ｘａ，ｙａ）、（ｘｂ，ｙｂ）、（ｘｃ，ｙｃ）を特定する。そして、位置情報生成部２８ｅは、この座標（ｘａ，ｙａ）、（ｘｂ，ｙｂ）、（ｘｃ，ｙｃ）の情報を、コンベアベルト１３ａ上のある領域Ｒ１についての、検査部２８ｃにより不良と判定された被検査物Ｐの搬送部１０上の位置に関する位置情報Ｅとする。言い換えれば、位置情報生成部２８ｅは、コンベアベルト１３ａ上のある領域Ｒ１について、検査部２８ｃにより不良と判定された被検査物Ｐの搬送部１０上の位置の座標（ｘａ，ｙａ）、（ｘｂ，ｙｂ）、（ｘｃ，ｙｃ）の情報を含む位置情報Ｅを生成する。

なお、例えば、検査部２８ｃが、異物の存在する被検査物Ｐの輪郭を特定し（図７の例であれば、輪郭Ｏａ，Ｏｂ，Ｏｃを特定し）、その輪郭により特定される被検査物Ｐの図心の位置（図７の例であれば、図心Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃの位置）を被検査物Ｐが存在する位置と判定している場合には、位置情報生成部２８ｅは、ＸＹ座標系における図心Ｇａ，Ｇｂ，Ｇｃの座標に対応するｘｙ座標系の座標を特定し、この座標の情報を、コンベアベルト１３ａ上のある領域Ｒ１についての、検査部２８ｃにより不良と判定された被検査物Ｐの搬送部１０上の位置に関する位置情報Ｅとしてもよい。

（ｆ）位置情報送信部
位置情報送信部２８ｆは、位置情報生成部２８ｅの生成した位置情報Ｅ（記憶部２８ｉに記憶された位置情報Ｅ）を、ロボット制御部４０に送信する。

（ｇ）基準信号送信部
基準信号送信部２８ｇは、搬送部１０が第１距離を進行する毎に発信される定間隔の基準信号Ｓを送信する。具体的には、基準信号送信部２８ｇは、エンコーダ１６の出力する搬送部１０の進行距離に関する情報に基づいて、搬送部１０が距離２Ｌだけ進行する毎に（搬送部１０が搬送する被検査物Ｐの移動距離が距離２Ｌになる毎に）基準信号Ｓを、ロボット制御部４０に対して発信する。基準信号送信部２８ｇによる基準信号Ｓの発信は、Ｘ線検査の処理とは独立して行われる。

基準信号送信部２８ｇは、制御装置２８がエンコーダ１６から取得するデータに基づき、搬送部１０が距離Ｌ（例えば、搬送部１０の搬送速度が第１搬送速度Ｚ１［ｍ／秒］である時の、ラインセンサ２４の１回の撮像幅ｕのＪ列分の距離）だけ進行する毎に基準信号Ｓのオン／オフを切り替える。具体的には、基準信号送信部２８ｇは、搬送部１０が駆動を開始して距離Ｌだけコンベアベルト１３ａを移動させると、その時点から搬送部１０が更に距離Ｌだけコンベアベルト１３ａを移動させる間は基準信号Ｓを発信する。その後、搬送部１０が更に距離Ｌだけコンベアベルト１３ａを移動させる間は基準信号Ｓの発信を中止して待機し、搬送部１０が距離Ｌだけコンベアベルト１３ａを移動し終わると基準信号Ｓの発信を再度開始する。基準信号送信部２８ｇは、この動作を繰り返し行う。つまり、基準信号Ｓは、搬送部１０がコンベアベルト１３ａを距離Ｌの２倍の距離（距離２Ｌ）だけ搬送する毎に、搬送部１０がコンベアベルト１３ａを距離Ｌだけ搬送する間発信される信号である。言い換えれば、基準信号Ｓは、搬送部１０の搬送距離が距離Ｌとなる毎に、信号のオン／オフが切り替えられる信号である。

（ｈ）速度情報送信部
速度情報送信部２８ｈは、エンコーダ１６の出力する搬送部１０の搬送速度に関する情報に基づいて、現在の搬送部１０の搬送速度の情報（速度情報Ｖ）をロボット制御部４０に対して発信する。なお、速度情報Ｖは、搬送部１０の搬送速度そのものでなくてもよく、搬送部１０の搬送速度と相関のある情報であってもよい。例えば、速度情報Ｖは、搬送部１０の搬送速度と相関のある搬送速度のレベルや、搬送部１０を駆動するコンベアモータ１４の回転数等の、搬送部１０の搬送速度と相関のある、搬送部１０の搬送状況に関する情報であってもよい。

なお、ここでは、制御装置２８の速度情報送信部２８ｈが、エンコーダ１６の出力する搬送部１０の搬送速度に関する情報に基づいて速度情報Ｖを送信するが、これに限定されるものではない。例えば、速度情報送信部２８ｈではなく、エンコーダ１６が、ロボット制御部４０に対して、現在の搬送部１０の搬送状況に関する情報を、速度情報Ｖとして直接送信してもよい。

（２－２）ロボット
ロボット３０は、アーム３２と、アーム駆動部３３と、吸引部３４と、を主に備える。

吸引部３４は、主に、除去機構の一例としての吸引エジェクタ３４ａと、ホース３４ｂと、吸引駆動部３４ｃと、を備える。吸引駆動部３４ｃは、吸引エジェクタ３４ａに圧縮空気を供給することで吸引エジェクタ３４ａに負圧を発生させる。吸引駆動部３４ｃは、例えば、吸引エジェクタ３４ａに圧縮空気を供給するチューブに設けられた電磁弁である。吸引エジェクタ３４ａは、この負圧を利用して、搬送部１０により搬送される被検査物Ｐを、吸引エジェクタ３４ａの下方側（コンベアベルト１３ａに対向する側）に配置された図示しない吸入口から吸引して除去する（被検査物Ｐを搬送部１０から取り除く）。なお、吸引エジェクタ３４ａの吸入口のサイズは、過大とならない範囲で（多数の被検査物Ｐが一度に吸い込まれることは避けつつ）想定される最大サイズの被検査物Ｐであっても吸入口から吸込み可能に設計されている。吸引エジェクタ３４ａの吸込口から吸い込まれた被検査物Ｐ及び空気と、吸引駆動部３４ｃが供給する圧縮空気とは、ホース３４ｂに流入する。ホース３４ｂに流入した被検査物Ｐは、図示しない回収容器に回収される。

吸引エジェクタ３４ａは、ロボット３０のアーム３２の先端に取り付けられている。本実施形態のロボット３０のアーム３２は、ジョイントにより連結された複数のリンクを有し、リンクが直列に接続されているシリアルリンクのロボットである。限定されるものではないが、本実施形態のロボット３０は、アーム駆動部３３としてのモータを駆動源として、水平方向にアーム３２を動作させる４軸の自由度を有するシリアルリンクのロボットである。ロボット３０は、アーム３２を動作させることで、除去機構の一例としての吸引エジェクタ３４ａを、搬送部１０の搬送方向Ｄ２と平行な方向（本実施形態では左右方向）及び搬送方向Ｄ２と直交する第１方向Ｄ１（本実施形態では前後方向）に移動させることが可能である。ロボット３０は、吸引エジェクタ３４ａを検査部２８ｃにより不良と判定された被検査物Ｐに近づけることで（より具体的には、吸引エジェクタ３４ａの吸込み口を不良品と判定された被検査物Ｐに近づけることで）、不良品と判定された被検査物Ｐを吸引エジェクタ３４ａにより搬送部１０から取り除く。

なお、ロボット３０は、シリアルリンクのロボットに限定されるものではない。例えば、ロボット３０は、パラレルリンクのロボットであって、パラレルリンクの先端に吸引エジェクタ３４ａが取り付けられてもよい。また、ロボット３０は、単軸の動作をするユニット（一方向にのみ吸引エジェクタ３４ａを移動可能なユニット）を組み合わせて、吸引エジェクタ３４ａを、搬送部１０の搬送方向Ｄ２と平行な方向及び搬送方向Ｄ２と直交する第１方向Ｄ１に移動させることが可能に構成されてもよい。

ロボット３０は、平面視において吸引エジェクタ３４ａを所定の移動領域内で移動させる。吸引エジェクタ３４ａの移動領域は、例えば、Ｘ線照射器２２のＸ線の照射位置から搬送部１０の搬送方向Ｄ２に、前述の距離Ｌ×Ｋ（Ｋは整数、例えば５）だけ離して配置される。後述するように、ロボット３０の動作は、距離Ｌのコンベアベルト１３ａを写した透過Ｘ線画像に基づいて生成された位置情報Ｅに基づき生成される指令を、搬送部１０が距離Ｌだけ進行する毎にオン／オフが切り替えられる基準信号Ｓに基づいて決定されるタイミングで開始するように制御される。具体的には、ロボット３０の動作は、搬送部１０の搬送方向Ｄ２に距離Ｌのコンベアベルト１３ａを写した透過Ｘ線画像に基づいて生成された位置情報Ｅに基づき生成される指令を、基準信号Ｓの立ち下がり又は立ち上がりのタイミングで開始するように制御される。そのため、ロボット３０は、ある透過Ｘ線画像に基づいて生成された位置情報Ｅに基づく指令を、その透過Ｘ線画像を生成するための最後のデータ（Ｘ線透過信号）を取得した後の、（Ｋ－１）回後の基準信号Ｓの立ち下がり又は立ち上がりのタイミングで開始することで、ロボット３０が異物を含む被検査物Ｐを遅滞なくかつ精度よく取り除くことができる。要するに、ここでは、ロボット３０は、平面視において、ある透過Ｘ線画像に対応するコンベアベルト１３ａ上の領域が、吸引エジェクタ３４ａの所定の移動領域まで到達した瞬間から、ロボット３０による異物を含む被検査物Ｐの除去処理を開始するので、ロボット３０は、遅滞なく、異物を含む被検査物Ｐを精度よく取り除くことができる。

なお、理論的には、吸引エジェクタ３４ａの移動領域は、Ｘ線照射器２２のＸ線の照射位置から距離Ｌ×Ｋだけ離して配置されればよいが、実際には、ロボット３０が指令を受信してから実際に動作するまでにはタイムラグが存在する。そのためタイムラグを考慮して、吸引エジェクタ３４ａの移動領域は、Ｘ線照射器２２のＸ線の照射位置から距離Ｌ×Ｍ＋α（タイムラグを考慮した距離）だけ離して配置されることが好ましい。なお、以下では、説明が煩雑になるのを避けるため、ロボット３０が指令を受信してから実際に動作するまでにはタイムラグは存在しない理想的な状態を仮定して説明を行う。

（２－３）ロボット制御部
ロボット制御部４０は、例えばロボット３０の動作を制御するコンピュータである。ただし、ロボット制御部４０の機能は、ソフトウェアで実現されるものに限定されるものではなく、ハードウェアで実現されてもよいし、ハードウェアとソフトウェアとが協働することで実現されてもよい。

図２では、ロボット制御部４０は、Ｘ線検査装置２００とも、ロボット３０とも独立した位置に描画されているが、これに限定されるものではない。例えば、Ｘ線検査装置２００の制御装置２８が、ロボット制御部４０として機能してもよい。また例えば、ロボット制御部４０は、ロボット３０に搭載されてもよい。また、ロボット制御部４０は、Ｘ線検査装置２００とも、ロボット３０とも独立した装置であってもよい。また、ロボット制御部４０の機能の一部はＸ線検査装置２００の制御装置２８により実現され、ロボット制御部４０の機能の他の機能は、ロボット３０に搭載されるコンピュータにより実現されてもよい。本実施形態では、ロボット制御部４０は、Ｘ線検査装置２００とも、ロボット３０とも独立した装置であるとして以下の説明を行う。

ロボット制御部４０は、図示は省略するが、演算や制御を行うＣＰＵ（Central Processing Unit）や、プログラムや情報を記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、及びハードディスク等を有する。また、ロボット制御部４０は、図示しない通信ポート等を備えている。通信ポートは、ロボット制御部４０の外部機器との通信を可能にするポートである。

ロボット制御部４０は、ロボット３０のアーム駆動部３３と吸引駆動部３４ｃと電気的に接続されている。また、ロボット制御部４０は、制御装置２８と通信可能に接続されている。ロボット制御部４０は、例えば、制御装置２８から位置情報Ｅ、基準信号Ｓ及び速度情報Ｖを受信する。

ロボット制御部４０は、ＣＰＵがＲＯＭやハードディスク等に記憶されているプログラムを実行することで、指令生成部４２と、指令補正部４４と、指令送信部４６と、して機能する。また、指令記憶部４８は、指令生成部４２の生成した指令を記憶する。各機能部について説明する。

（ａ）指令生成部
指令生成部４２は、制御装置２８の位置情報送信部２８ｆが送信してくる位置情報Ｅに基づいてロボット３０の動作を制御するための指令を生成する。

具体的には、指令生成部４２は、位置情報Ｅに対応するコンベアベルト１３ａの領域が、吸引エジェクタ３４ａの移動領域内に移動してきた時に、吸引エジェクタ３４ａをどのように移動させるかを決定する。なお、指令生成部４２は、平面視において、吸引エジェクタ３４ａの図示しない吸引口が、位置情報Ｅに対応するコンベアベルト１３ａの領域において、位置情報Ｅにより特定される座標に重なるように、吸引エジェクタ３４ａをどのように移動させるかを決定する。そして、指令生成部４２は、吸引エジェクタ３４ａを決定したように移動させるため、アーム駆動部３３に対する指令を生成する。

なお、好ましくは、指令生成部４２は、位置情報Ｅに対応するコンベアベルト１３ａの領域（単位検査領域）から不良と判定された被検査物Ｐを取り除く吸引エジェクタ３４ａ移動距離が最短となるようにロボット３０の動作（具体的には、アーム駆動部３３の動作）を制御する。

例えば、具体的には、指令生成部４２は、以下のようにして吸引エジェクタ３４ａの移動経路を決定する。なお、前提として、位置情報Ｅに対応するコンベアベルト１３ａの単位検査領域に（搬送方向Ｄ２における長さが距離Ｌの領域に）、不良と判定された被検査物Ｐが３つ以上存在しているものとする。例えば、位置情報Ｅに対応するコンベアベルト１３ａの領域では、図８に示す（ｘａ，ｙａ）、（ｘｂ，ｙｂ）、（ｘｃ，ｙｃ）の位置に不良と判定された被検査物Ｐが存在していると位置情報Ｅにより特定されていたと仮定する。この場合、指令生成部４２は、例えば、吸引エジェクタ３４ａの図示しない吸引口を、搬送方向Ｄ２における最下流に配置される（ｘａ，ｙａ）に移動させることを決定する。次に、指令生成部４２は、例えば、吸引エジェクタ３４ａの移動距離が最短になるように、吸引エジェクタ３４ａの図示しない吸引口を、（ｘｃ，ｙｃ）、（ｘｂ，ｙｂ）の順に移動させることを決定する。

ただし、指令生成部４２の吸引エジェクタ３４ａの移動経路の決め方は、以上の方法に限定されるものではない。例えば、指令生成部４２は、吸引エジェクタ３４ａの移動経路を、吸引エジェクタ３４ａの図示しない吸引口が、搬送方向Ｄ２における下流側の座標から上流側の座標に向かって移動するよう（例えば、図８の例であれば、吸引エジェクタ３４ａの図示しない吸引口が、（ｘａ，ｙａ）、（ｘｂ，ｙｂ）、（ｘｃ，ｙｃ）の順に移動するよう）に決定してもよい。

また、指令生成部４２は、少なくとも、吸引エジェクタ３４ａの図示しない吸引口が、位置情報Ｅに対応するコンベアベルト１３ａの領域において、位置情報Ｅにより特定される座標に重なるタイミングで、吸引エジェクタ３４ａが吸引を行うように、吸引駆動部３４ｃの動作タイミング（圧縮空気の吹込みタイミング）を決定する。そして、指令生成部４２は、吸引駆動部３４ｃを決定した動作タイミングで駆動させるための吸引駆動部３４ｃに対する指令を生成する。

なお、指令生成部４２は、搬送部１０の搬送速度が第１搬送速度Ｚ１［ｍ／秒］であるという前提のもと、アーム駆動部３３及び吸引駆動部３４ｃに対する指令を生成する。

（ｂ）指令補正部
指令補正部４４は、指令生成部４２が生成し、指令記憶部４８に記憶された指令の内容を、速度情報Ｖに基づいて補正する。

具体的には、指令生成部４２は、前述のように搬送部１０の搬送速度が第１搬送速度Ｚ１［ｍ／秒］であるという前提のもと、アーム駆動部３３や吸引駆動部３４ｃに対する指令を生成している。しかし、搬送部制御部２８ａは、後述する第１条件の成立時に搬送部１０の搬送速度を第２搬送速度Ｚ２［ｍ／秒］に変更する場合がある。また、第１搬送速度Ｚ１［ｍ／秒］から第２搬送速度Ｚ２［ｍ／秒］へと、又は、第２搬送速度Ｚ２［ｍ／秒］から第１搬送速度Ｚ１［ｍ／秒］へと、搬送部１０の搬送速度を変更する際には、搬送部１０の搬送速度は、一時的に第１搬送速度Ｚ１［ｍ／秒］と第２搬送速度Ｚ２［ｍ／秒］との間の速度を取ることになる。このような場合に、搬送部１０の搬送速度が第１搬送速度Ｚ１［ｍ／秒］であるという前提のもと生成された指令でアーム駆動部３３を動作させると、異物を含む被検査物Ｐを正しく除去することができない可能性がある。そこで、指令補正部４４は、搬送部１０の速度情報Ｖに合わせるように、指令記憶部４８に記憶されている指令の内容を補正する。

（ｃ）指令送信部
指令送信部４６は、ロボット３０に対して指令を送信する機能部である。なお、指令送信部４６は、指令生成部４２が生成し、指令記憶部４８に記憶された指令の内容でのロボット３０の制御を、基準信号Ｓに基づいて決定されるタイミングで開始する。

例えば、前述のように、吸引エジェクタ３４ａの移動領域が、Ｘ線照射器２２のＸ線の照射位置から搬送方向Ｄ２に距離Ｌ×Ｋだけ離して配置されていたとすると、指令送信部４６は、ある透過Ｘ線画像に基づいて生成された位置情報Ｅに基づく指令を、その透過Ｘ線画像を生成するための最後のデータ（Ｘ線透過信号）を取得した時から（言い換えれば透過Ｘ線画像を生成するための最後のデータを取得した際の基準信号Ｓの立ち上がり又は立ち下がりを検知してから）、（Ｋ－１）回後の基準信号Ｓの立ち下がり又は立ち上がりのタイミングで開始する。

なお、指令の送信時点で、搬送部１０の搬送速度が第１搬送速度Ｚ１から変更されている場合には、指令送信部４６は、指令記憶部４８に記憶された指令をそのままロボット３０のアーム駆動部３３及び吸引駆動部３４ｃに送信するのではなく、指令補正部４４により補正された指令を、ロボット３０に対して送信する。

（３）Ｘ線検査システムの動作
次に、Ｘ線検査システム１００の実行する不良品検査（ここでは異物検査）の処理について、図９及び図１０のフローチャートを参照しながら説明する。なお、ここでの不良品検査は、Ｘ線検査工程だけではなく、Ｘ線検査の後に、不良と判断された被検査物Ｐを搬送部１０から排除する工程を含む。図９は、Ｘ線検査システム１００の実行する不良品検査のフローチャートである。図１０は、不良品検査の中の不良品排除処理のフローチャートである。

なお、図９及び図１０のフローチャートは、不良品検査の処理の一例に過ぎず、適宜変更されてもよい。例えば、処理の実行される順番は、矛盾の無い範囲で変更されてもよい。また、矛盾の無い範囲で、複数の処理が同時に実行されてもよい。

なお、前提として、図９及び図１０のフローチャートには記載は無いが、ロボット制御部４０は、基準信号送信部２８ｇの送信する基準信号Ｓと、速度情報送信部２８ｈの送信する速度情報Ｖと、をＸ線検査とは独立して受信しているものとする。

Ｘ線検査システム１００が駆動されると、Ｘ線照射器２２は、多数個の被検査物Ｐを、連続的に、ランダムな位置で搬送する搬送部１０（搬送部１０のコンベアベルト１３ａ）に対して（言い換えればコンベアベルト１３ａに載置される被検査物Ｐに対して）Ｘ線を照射する。ラインセンサ２４の各Ｘ線検出素子２４ａは、被検査物Ｐを透過したＸ線を検出する。そして、各Ｘ線検出素子２４ａは、所定の単位時間（ｔ［ミリ秒］）に得られる、透過Ｘ線の強度に関するデータ（Ｘ線透過信号）を制御装置２８に対して送信する。制御装置２８の記憶部２８ｉは、受信した透過Ｘ線の強度に関するデータを記憶する（ステップＳ１）。

そして、搬送方向Ｄ２における距離Ｌ分（単位検査領域分）の透過Ｘ線の強度に関するデータが収集されると（ステップＳ２でＹｅｓ）、画像生成部２８ｂが、記憶部２８ｉに記憶されている単位検査領域分の透過Ｘ線の強度に関するデータを用いて透過Ｘ線画像を生成する（ステップＳ３）。

次に、ステップＳ４では、検査部２８ｃが、透過Ｘ線画像に基づき、被検査物Ｐの不良（ここでは被検査物Ｐに対する異物の混入）を検査する。

ステップＳ５では、計数部２８ｄが、単位検査領域内に不良と判定される被検査物Ｐが存在するかを判定し（異物と判定される画素群が透過Ｘ線画像に存在するかを判定し）、単位検査領域内に不良と判定される被検査物Ｐが存在する場合（ステップＳ５でＹｅｓの場合）には、処理はステップＳ１０へと進み、同時にステップＳ６の処理も実行される。ステップＳ１０では、不良と判定された被検査物Ｐの搬送部１０からの排除処理が行われる。被検査物Ｐの搬送部１０からの排除処理については後述する。

なお、ステップＳ１０の処理と、ステップＳ６の処理とが並列的に実行されるのは、Ｘ線検査部２０と、被検査物Ｐを搬送部１０から除去する処理が行われる場所とは所定距離だけ行われているため、Ｘ線検査を実行するタイミングと、そのＸ線検査で不良と判定された被検査物Ｐの搬送部１０からの排除処理のタイミングとは、ずれがあるためである。

計数部２８ｄが、単位検査領域内に不良と判定される被検査物Ｐが存在しないと判定した際には（ステップＳ５でＮｏの場合には）、ステップＳ１０の処理は実行されず、処理はステップＳ６に進む。

ステップＳ６では、ステップＳ３で透過Ｘ線画像の生成に用いられた記憶部２８ｉのＸ線透過信号のデータが消去される。ステップＳ６の実行後、処理はステップＳ１へと戻る。

＜不良品排除処理＞
図９のフローチャートにおいて、処理がステップＳ１０に進んだ場合に実行される処理について説明する。

ステップＳ１０に処理が進んだ場合、計数部２８ｄが、検査部２８ｃの検査の結果に基づいて、搬送部１０の単位検査領域（ステップＳ３で生成された透過Ｘ線画像に対応する、搬送方向Ｄ２の長さが距離Ｌの搬送部１０のコンベアベルト１３ａ上の領域）に存在する、不良と判定された被検査物Ｐの個数を計数する。

そして、計数された被検査物Ｐの個数が第１の閾値Ｎ１（例えば１０）以上である場合には（ステップＳ１１でＹｅｓ）、搬送部制御部２８ａは、その単位検査領域の被検査物Ｐが、全て回収箱５０に落下するように、搬送部の伸縮駆動部１８を制御する（ステップＳ２０）。言い換えれば、搬送部制御部２８ａは、搬送部１０の単位検査領域（ステップＳ３で生成された透過Ｘ線画像に対応する、搬送方向Ｄ２の長さが距離Ｌの搬送部１０のコンベアベルト１３ａ上の領域）に存在する、不良と判定された被検査物Ｐの個数が第１の閾値Ｎ１以上であり、その搬送部１０の単位検査領域が回収箱５０の上方を通過するタイミングになると、前述した第２条件が成立したと判断する。そして、搬送部制御部２８ａは、伸縮駆動部１８を制御して、搬送部１０の単位検査領域の被検査物Ｐが全て回収箱５０に落下するように、ベルトコンベア１２の状態を、第１状態から、下流端１２ａが下流搬送装置７０と離れている第２状態に切り換える。

なお、搬送部１０の単位検査領域の被検査物Ｐを全て回収箱５０に落下させた後は、搬送部制御部２８ａは、伸縮駆動部１８を制御して、ベルトコンベア１２の状態を、第２状態から、下流端１２ａが下流搬送装置７０と隣接する第１状態に切り換える。この制御が実行されると、不良と判定された被検査物Ｐの個数が第１の閾値Ｎ１（例えば１０）以上である場合の不良品排除処理は終了となる。

なお、このような処理が行われるのは、搬送部１０の単位検査領域（搬送方向Ｄ２の長さが距離Ｌの領域）に存在する不良と判定された被検査物Ｐの個数が第１の閾値Ｎ１以上である場合には、これら全てを、搬送部１０で被検査物Ｐを搬送しながらロボット３０で除去するのは、ロボット３０の能力上困難であるためである。なお、第１の閾値Ｎ１は適宜決定されればよい。

計数部２８ｄが計数した被検査物Ｐの個数が第１の閾値Ｎ１よりは少なく、第１の閾値Ｎ１よりは小さな第２の閾値Ｎ２（例えば５）以上である場合には（ステップＳ１１でＮｏ、ステップＳ１２でＹｅｓ）、搬送部制御部２８ａは、その単位検査領域（ステップＳ３で生成された透過Ｘ線画像に対応する、搬送方向Ｄ２の長さが距離Ｌの搬送部１０のコンベアベルト１３ａ上の領域）の被検査物Ｐが、吸引エジェクタ３４ａの移動領域（言い換えれば、ロボット３０により被検査物Ｐの排除が行われる領域）を通過する際の搬送部１０の搬送速度が第１搬送速度Ｚ１［ｍ／秒］より遅い第２搬送速度Ｚ２［ｍ／秒］になるようにコンベアモータ１４の動作を制御する。なお、搬送部制御部２８ａは、コンベアモータ１４の回転速度の制御のタイミングを、基準信号送信部２８ｇの送信する基準信号Ｓや、エンコーダ１６の送信する搬送部１０の移動距離の情報に基づいて決定すればよい。ここでは、言い換えれば、搬送部制御部２８ａは、搬送部１０の単位検査領域（ステップＳ３で生成された透過Ｘ線画像に対応する、搬送方向Ｄ２の長さが距離Ｌの搬送部１０のコンベアベルト１３ａ上の領域）に存在する、不良と判定された被検査物Ｐの個数が第２の閾値Ｎ２以上第１の閾値Ｎ１未満であり、その搬送部１０の単位検査領域が吸引エジェクタ３４ａの移動領域を通過するタイミングになると、前述した第１条件が成立したと判断する。そして、搬送部制御部２８ａは、搬送部１０の搬送速度が第２搬送速度Ｚ２［ｍ／秒］になるようにコンベアモータ１４の回転速度を制御する。なお、搬送部制御部２８ａは、計数部２８ｄが計数した被検査物Ｐの個数が第２の閾値Ｎ２以上第１の閾値Ｎ１未満である単位検査領域が吸引エジェクタ３４ａの移動領域を通過すると、搬送部１０の搬送速度を第１搬送速度Ｚ１［ｍ／秒］に戻す。

このような処理が行われるのは、搬送部１０の単位検査領域（搬送方向Ｄ２の長さが距離Ｌの領域）に存在する不良と判定された被検査物Ｐの個数が第２の閾値Ｎ２以上である場合には、これら全てを、搬送部１０で被検査物Ｐを第１搬送速度Ｚ１［ｍ／秒］で搬送しながらロボット３０で除去するのは、ロボット３０の能力上困難であるためである。なお、第２の閾値Ｎ２は適宜決定されればよい。

ステップＳ１３に進んだ場合、次にステップＳ１４に進む。

また、計数部２８ｄが計数した被検査物Ｐの個数が第２の閾値Ｎ２より少ない場合にも（ステップＳ１１でＮｏ、ステップＳ１２でＮｏ）、ステップＳ１４に進む。

ステップＳ１４では、位置情報生成部２８ｅが、上述したように位置情報Ｅを生成する。

次に、ステップＳ１５では、位置情報生成部２８ｅが生成した位置情報Ｅを、位置情報送信部２８ｆがロボット制御部４０に送信する。

ステップＳ１６では、ロボット制御部４０が、ステップＳ１４で送信されてくる位置情報Ｅと、Ｘ線検査とは独立して送信されてくる基準信号Ｓと速度情報Ｖとに基づき、ロボット３０の動作を制御する。ロボット制御部４０が、指令生成部４２、指令補正部４４、指令送信部４６、指令記憶部４８を利用してどのようにロボット３０の動作を制御するかは既に説明したため、ここでは説明を省略する。

（４）特徴
（４－１）
本実施形態のＸ線検査システム１００は、搬送部１０と、Ｘ線照射部の一例としてのＸ線照射器２２と、透過Ｘ線検出部の一例としてのラインセンサ２４と、画像生成部２８ｂと、検査部２８ｃと、位置情報生成部２８ｅと、ロボット３０と、第１制御部の一例としてのロボット制御部４０と、を備える。搬送部１０は、多数個の被検査物Ｐを、連続的に、ランダムな位置で搬送する。Ｘ線照射器２２は、搬送部１０上の被検査物ＰにＸ線を照射する。ラインセンサ２４は、被検査物Ｐを透過したＸ線を検出する。画像生成部２８ｂはラインセンサ２４の検出結果に基づいて、透過Ｘ線画像を生成する。検査部２８ｃは、透過Ｘ線画像に基づき、被検査物Ｐの不良を検査する。位置情報生成部２８ｅは、検査部２８ｃの検査結果に基づき、不良と判定された被検査物Ｐの搬送部１０上の位置に関する位置情報Ｅを生成する。ロボット３０は、被検査物Ｐの除去機構としての吸引エジェクタ３４ａを有する。ロボット３０は、吸引エジェクタ３４ａを少なくとも搬送部１０の搬送方向Ｄ２と直交する第１方向Ｄ１に移動させることが可能である。ロボット３０は、検査部２８ｃにより不良と判定された被検査物Ｐを吸引エジェクタ３４ａにより搬送部１０から取り除く。ロボット制御部４０は、搬送部１０が距離２Ｌを進行する毎に発信される定間隔の基準信号Ｓと、位置情報Ｅと、に少なくとも基づき、吸引エジェクタ３４ａが検査部２８ｃにより不良と判定された被検査物Ｐに近づいて取り除くようにロボット３０の動作を制御する。

本実施形態のＸ線検査システム１００では、搬送部１０上の不良品の位置に関する位置情報に基づいてロボット３０の動作を制御して搬送部１０から不良品を取り除くため、不良品と共に取り除かれる良品の量を抑制できる。

なお、透過Ｘ線画像に基づき被検査物Ｐの不良を検査して位置情報Ｅを生成する工程には、ある程度の演算・処理時間を要し、なおかつ、演算・処理時間は毎回同一ではない。そのため、位置情報Ｅの生成タイミングに合わせてロボット３０を制御すると、ロボット３０が被検査物Ｐを取りに行く位置と、実際に不良品の存在する位置との位置ずれが発生するおそれがある。

これに対し、本実施形態のＸ線検査システム１００では、ロボット制御部４０が、搬送部１０が距離２Ｌを進行する毎に発信される定間隔の基準信号Ｓに基づいてロボット３０を制御する。そのため、透過Ｘ線画像に基づき被検査物Ｐの不良を検査して位置情報Ｅを生成するのに要する演算・処理時間が変動しても、ロボット３０が被検査物Ｐを取りに行く位置と実際に不良品の存在する位置との位置ずれを抑制できる。

（４－２）
本実施形態のＸ線検査システム１００では、ロボット３０は、吸引エジェクタ３４ａを搬送部１０の搬送方向Ｄ２と平行な方向にも移動させることが可能である。

本実施形態のＸ線検査システム１００では、吸引エジェクタ３４ａが搬送方向Ｄ２に直交する第１方向Ｄ１だけではなく、搬送方向Ｄ２に平行な方向にも移動可能である。そのため、搬送部１０に、複数の不良品が、搬送方向Ｄ２において概ね同じ位置に、かつ、第１方向Ｄ１には異なる位置に存在する場合でも、搬送部１０による搬送を停止することなく、複数の不良品を搬送部１０から除去できる。

（４－３）
本実施形態のＸ線検査システム１００は、計数部２８ｄを備える。計数部２８ｄは、検査部２８ｃの検査の結果に基づいて、搬送部１０の第１所定領域（１の透過Ｘ線画像に対応する搬送方向Ｄ２における距離がＬのコンベアベルト１３ａ上の領域）に存在する、不良と判定された被検査物Ｐの個数を計数する。

本実施形態のＸ線検査システム１００では、搬送部１０の第１所定領域に存在する不良と判定された被検査物Ｐの個数が計数されるので、例えば、現在の搬送部１０の搬送速度で、ロボット３０が全ての不良品を取り除くことが可能か等の判断を行うことができる。

（４－４）
本実施形態のＸ線検査システム１００は、速度制御部の一例としての搬送部制御部２８ａを備える。搬送部制御部２８ａは、搬送部１０の搬送速度を変更する。搬送部制御部２８ａは、計数部２８ｄの計数結果に基づいて搬送速度を制御する。

本実施形態のＸ線検査システム１００では、搬送部１０の第１所定領域に存在する不良品の個数に基づいて搬送部１０の搬送速度を変更するので、例えば第１所定領域に存在する不良品の数が多く、現在の搬送速度ではロボット３０が処理しきれない場合に、搬送速度を減速することができる。また、所定領域に存在する不良品の数が少なく、ロボット３０の処理能力に余裕がある場合には、搬送速度を増速することができる。そのため、不良品の除去漏れがない信頼度の高いＸ線検査システム１００を実現しつつ、所定領域に存在する不良品の数が少ない場合には搬送速度を増速してＸ線検査システム１００の処理能力を向上させることができる。

（４－５）
本実施形態のＸ線検査システム１００では、画像生成部２８ｂは、搬送部１０の搬送速度に応じて透過Ｘ線画像を補正する。

本実施形態のＸ線検査システム１００では、ロボット制御部４０は、搬送部１０の搬送速度によらず、ロボット３０を適切なタイミングで動作させ、不良品を精度よく搬送部１０から取り除くことができる。

（４－６）
本実施形態のＸ線検査システム１００は、物品除去装置としての伸縮駆動部１８と、第２制御部の一例としての搬送部制御部２８ａと、を備える。伸縮駆動部１８は、搬送部１０上の、搬送方向Ｄ２における第２所定領域に存在する被検査物Ｐ（ベルトコンベア１２の状態を第２状態にしている状態でベルトコンベア１２の下流端１２ａに到達する被検査物Ｐの存在する領域に存在する被検査物Ｐ）をまとめて取り除く。搬送部制御部２８ａは、伸縮駆動部１８の動作を制御する。搬送部制御部２８ａは、計数部２８ｄにより計数された第１所定領域に存在する不良と判定された被検査物Ｐの個数が第１の閾値Ｎ１を超える場合に、伸縮駆動部１８を動作させる。

本実施形態のＸ線検査システム１００では、搬送部１０の所定領域に存在する不良品の個数が比較的多く、ロボット３０が処理しきれない場合には、伸縮駆動部１８で不良品をまとめて除去できる。そのため、Ｘ線検査システム１００を一時停止させることなく（Ｘ線検査システム１００の運転停止／運転再開に必要な時間を要することなく）、不良品の除去処理の漏れがない信頼度の高いＸ線検査システム１００を実現できる。

（４－７）
本実施形態のＸ線検査システム１００では、ロボット制御部４０は、搬送部１０の所定領域（搬送方向Ｄ２における長さが距離Ｌの単位検査領域）に、不良と判定された被検査物Ｐが３つ以上存在する場合に、不良と判定された被検査物Ｐを取り除く吸引エジェクタ３４ａの移動距離が最短になるように、ロボット３０の動作を制御する。

本実施形態のＸ線検査システム１００では、吸引エジェクタ３４ａが最短距離を移動するように制御されるので、吸引エジェクタ３４ａの移動距離を考慮しない場合に比べ、同一の処理時間で、より多くの不良品を搬送部１０から取り除くことができる。

（４－８）
本実施形態のＸ線検査システム１００では、同一時点において、Ｘ線照射器２２がＸ線を照射する領域における搬送部１０の搬送速度と、ロボット３０が被検査物Ｐを取り除く領域（吸引エジェクタ３４ａの移動領域）における搬送部１０の搬送速度と、は同一である。

（４－９）
本実施形態のＸ線検査システム１００では、吸引エジェクタ３４ａは、不良と判定された被検査物Ｐを吸引除去する。

本実施形態のＸ線検査システム１００では、不良と判定された被検査物Ｐを搬送部１０から素早く除去できる。

（４－１０）
本実施形態のＸ線検査装置２００は、搬送部１０と、Ｘ線照射部の一例としてのＸ線照射器２２と、透過Ｘ線検出部の一例としてのラインセンサ２４と、画像生成部２８ｂと、検査部２８ｃと、位置情報生成部２８ｅと、第１送信部の一例としての基準信号送信部２８ｇと、第２送信部の一例としての位置情報送信部２８ｆと、を備える。搬送部１０は、多数個の被検査物Ｐを、連続的に、ランダムな位置で搬送する。Ｘ線照射器２２は、搬送部１０上の被検査物ＰにＸ線を照射する。ラインセンサ２４は、被検査物Ｐを透過したＸ線を検出する。画像生成部２８ｂは、ラインセンサ２４の検出結果に基づいて、透過Ｘ線画像を生成する。検査部２８ｃは、透過Ｘ線画像に基づき、被検査物Ｐの不良を検査する。位置情報生成部２８ｅは、検査部２８ｃの検査結果に基づき、不良と判定された被検査物Ｐの搬送部１０上の位置に関する位置情報Ｅを生成する。基準信号送信部２８ｇは、ロボット３０の動作を制御するロボット制御部４０に、搬送部１０が距離２Ｌを進行する毎に発信される定間隔の基準信号Ｓを送信する。位置情報送信部２８ｆは、ロボット制御部４０に、位置情報Ｅを送信する。ロボット３０は、被検査物Ｐの除去機構として吸引エジェクタ３４ａを有する。ロボット３０は、吸引エジェクタ３４ａを少なくとも搬送部１０の搬送方向Ｄ２と直交する第１方向Ｄ１に移動させることが可能で、検査部２８ｃにより不良と判定された被検査物Ｐを吸引エジェクタ３４ａにより搬送部１０から取り除く。ロボット制御部４０は、吸引エジェクタ３４ａが検査部２８ｃにより不良と判定された被検査物Ｐに近づき取り除くようにロボット３０の動作を制御する。

（４－１１）
本実施形態のＸ線検査方法は、Ｘ線照射ステップと、透過Ｘ線検出ステップと、画像生成ステップと、検査ステップと、位置情報生成ステップと、送信ステップと、制御ステップと、を備える。Ｘ線照射ステップでは、多数個の被検査物Ｐを、連続的に、ランダムな位置で搬送する搬送部１０に対しＸ線が照射される。透過Ｘ線検出ステップでは、被検査物Ｐを透過した透過Ｘ線が検出される。画像生成ステップでは、透過Ｘ線の検出結果に基づいて、透過Ｘ線画像が生成される。検査ステップでは、透過Ｘ線画像に基づき、被検査物Ｐの不良が検査される。位置情報生成ステップでは、検査ステップの検査結果に基づき、不良と判定された被検査物Ｐの、搬送部１０上の位置に関する位置情報Ｅが生成される。送信ステップでは、ロボット３０の動作を制御するロボット制御部４０に、搬送部１０が距離２Ｌを進行する毎に発信される定間隔の基準信号Ｓと、位置情報Ｅと、が送信される。ロボット３０は、被検査物Ｐの除去機構として吸引エジェクタ３４ａを有する。ロボット３０は、吸引エジェクタ３４ａを少なくとも搬送部１０の搬送方向Ｄ２と直交する第１方向Ｄ１に移動させることが可能で、検査ステップで不良と判定された被検査物Ｐを吸引エジェクタ３４ａにより搬送部１０から取り除く。制御ステップでは、ロボット制御部４０は、基準信号Ｓと位置情報Ｅとに少なくとも基づき、吸引エジェクタ３４ａが検査ステップで不良と判定された被検査物Ｐに近づき取り除くようにロボット３０の動作を制御する。

（５）変形例
以下に本実施形態の変形例を示す。各変形例の一部又は全部は、互いに矛盾の無い範囲で他の変形例を適宜組み合わせられてもよい。

（５－１）変形例Ａ
上記実施形態では、ロボット３０は一台であるが、これに限定されるものではなく、Ｘ線検査システム１００は、ロボット３０を複数有していてもよい。例えば、各ロボット３０は、第１方向Ｄ１においてそれぞれ異なる領域の被検査物Ｐを取り除くよう制御されてもよい。

（５－２）変形例Ｂ
上記実施形態では、ロボット３０は吸引部３４により被検査物Ｐを吸引除去するが、ロボット３０は吸引以外の手段で被検査物Ｐを搬送部１０から取り除いてもよい。例えば、ロボット３０は、被検査物Ｐを把持する把持器や、被検査物Ｐを吸着保持する吸盤を有し、搬送部１０上の不良の被検査物Ｐを把持して、搬送部１０から取り除いてもよい。ただし、搬送部１０上の不良の被検査物Ｐを把持する場合には、被検査物Ｐを把持して、被検査物Ｐを移動させて、被検査物Ｐの把持を解除するという一連の動作を要するため、一般的には、被検査物Ｐを吸引除去する方が効率がよい。

（５－３）変形例Ｃ
上記実施形態では、コンベアモータ１４の回転速度（搬送部１０の搬送速度）が可変である場合について説明したが、回転速度は一定であってもよい。この場合には、搬送部制御部２８ａは、コンベアモータ１４の回転速度の制御は行わず、被検査物Ｐは一定速度で搬送される。また、被検査物Ｐが常に一定速度で搬送される場合には、画像生成部２８ｂの搬送部１０の搬送速度に応じた透過Ｘ線画像の補正や、指令補正部４４による指令の補正処理も特に不要である。

（５－４）変形例Ｄ
上記実施形態では、コンベアモータ１４の回転速度（搬送部１０の搬送速度）が２段階で変更される場合について説明したが、これに限定されるものではなく、コンベアモータ１４の回転速度はより多段階に変更されてもよい。例えば、計数部２８ｄの計数結果に基づいて、コンベアモータ１４の回転速度は３段階以上で変更されてもよい。

（５－５）変形例Ｅ
上記実施形態では、伸縮駆動部１８によりベルトコンベア１２の長さを可変させる機構を物品除去装置として説明したが、これに限定されるものではない。例えば、物品除去装置として、コンベアを下方に傾斜させて被検査物Ｐを下方に落とすコンベア等、他の種類の物品除去装置が用いられてもよい。

また、上記実施形態では、物品除去装置を設ける場合について説明したが、これに限定されるものではなく、物品除去装置の設置は省略されてもよい。この場合、例えば、不良と判定された被検査物Ｐの数量が第１の閾値Ｎ１を超える場合には、Ｘ線検査システム１００は、作業員等が被検査物Ｐを除去できるよう、一旦搬送部１０による被検査物Ｐの搬送を停止してもよい。

（５－６）変形例Ｆ
上記実施形態では、ロボット３０は、搬送方向Ｄ２に直交する第１方向Ｄ１に加えて、搬送方向Ｄ２に平行な方向にも除去機構としての吸引エジェクタ３４ａを移動させるが、これに限定されるものではない。例えば、ロボット３０は、吸引エジェクタ３４ａを第１方向Ｄ１にのみ移動可能なものであってもよい。

ただし、不良と判定された被検査物Ｐの取り残しを抑制するという観点からは、吸引エジェクタ３４ａは、第１方向Ｄ１だけではなく、搬送方向Ｄ２に平行な方向にも移動可能であることが好ましい。

本発明は、搬送部により連続的に搬送される多数個の物品に対してＸ線検査を行い、Ｘ線検査の結果、不良と判断された物品を搬送部から排除するＸ線検査システムに広く適用でき有用である。

１０ 搬送部
１８ 伸縮駆動部（物品除去装置）
２２ Ｘ線照射器（Ｘ線照射部）
２４ ラインセンサ（透過Ｘ線検出部）
２８ａ 搬送部制御部（速度制御部、第２制御部）
２８ｂ 画像生成部
２８ｃ 検査部
２８ｄ 計数部
２８ｅ 位置情報生成部
２８ｆ 位置情報送信部（第２送信部）
３０ ロボット
３４ａ 吸引エジェクタ（除去機構）
４０ ロボット制御部（第１制御部、制御部）
１００ Ｘ線検査システム
２００ Ｘ線検査装置
Ｄ１ 第１方向
Ｄ２ 搬送方向
Ｅ 位置情報
Ｐ 被検査物（物品）
Ｓ 基準信号

特開２００４－２７９０５９号公報

Claims (11)

1. 多数個の物品を、連続的に、ランダムな位置で搬送する搬送部と、
   前記搬送部上の前記物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、
   前記物品を透過したＸ線を検出する透過Ｘ線検出部と、
   前記透過Ｘ線検出部の検出結果に基づいて、透過Ｘ線画像を生成する画像生成部と、
   前記透過Ｘ線画像に基づき、前記物品の不良を検査する検査部と、
   前記検査部の検査結果に基づき、不良と判定された前記物品の前記搬送部上の位置に関する位置情報を生成する位置情報生成部と、
   前記物品の除去機構を有し、前記除去機構を少なくとも前記搬送部の搬送方向と直交する第１方向に移動させることが可能で、前記検査部により不良と判定された前記物品を前記除去機構により前記搬送部から取り除くロボットと、
   前記搬送部が第１距離を進行する毎に発信される定間隔の基準信号と、前記位置情報と、に少なくとも基づき、前記除去機構が前記検査部により不良と判定された前記物品に近づいて取り除くように前記ロボットの動作を制御する第１制御部と、
   を備えたＸ線検査システム。
2. 前記ロボットは、前記除去機構を前記搬送部の前記搬送方向と平行な方向にも移動させることが可能である、
   請求項１に記載のＸ線検査システム。
3. 前記検査部の検査の結果に基づいて、前記搬送部の第１所定領域に存在する、不良と判定された前記物品の個数を計数する計数部、を更に備える、
   請求項１又は２に記載のＸ線検査システム。
4. 前記搬送部の搬送速度を変更する速度制御部、を更に備え、
   前記速度制御部は、前記計数部の計数結果に基づいて前記搬送速度を制御する、
   請求項３に記載のＸ線検査システム。
5. 前記画像生成部は、前記搬送部の搬送速度に応じて前記透過Ｘ線画像を補正する、
   請求項４に記載のＸ線検査システム。
6. 前記搬送部上の、前記搬送方向における第２所定領域に存在する前記物品をまとめて取り除く物品除去装置と、
   前記物品除去装置の動作を制御する第２制御部と、
   を更に備え、
   前記第２制御部は、前記計数部により計数された前記第１所定領域に存在する不良と判定された前記物品の個数が所定値を超える場合に、前記物品除去装置を動作させる、
   請求項３から５のいずれか１項に記載のＸ線検査システム。
7. 前記第１制御部は、前記搬送部の所定領域に、不良と判定された前記物品が３つ以上存在する場合に、不良と判定された前記物品を取り除く前記除去機構の移動距離が最短になるように、前記ロボットの動作を制御する、
   請求項１から６のいずれか１項に記載のＸ線検査システム。
8. 同一時点において、前記Ｘ線照射部がＸ線を照射する領域における前記搬送部の搬送速度と、前記ロボットが前記物品を取り除く領域における前記搬送部の搬送速度と、は同一である、
   請求項１から７のいずれか１項に記載のＸ線検査システム。
9. 前記除去機構は、不良と判定された前記物品を吸引除去する、
   請求項１から８のいずれか１項に記載のＸ線検査システム。
10. 多数個の物品を、連続的に、ランダムな位置で搬送する搬送部と、
    前記搬送部上の前記物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、
    前記物品を透過したＸ線を検出する透過Ｘ線検出部と、
    前記透過Ｘ線検出部の検出結果に基づいて、透過Ｘ線画像を生成する画像生成部と、
    前記透過Ｘ線画像に基づき、前記物品の不良を検査する検査部と、
    前記検査部の検査結果に基づき、不良と判定された前記物品の前記搬送部上の位置に関する位置情報を生成する位置情報生成部と、
    前記物品の除去機構を有し、前記除去機構を少なくとも前記搬送部の搬送方向と直交する第１方向に移動させることが可能で、前記検査部により不良と判定された前記物品を前記除去機構により前記搬送部から取り除くロボットの動作を、前記除去機構が前記検査部により不良と判定された前記物品に近づいて取り除くように制御する制御部に、前記搬送部が第１距離を進行する毎に発信される定間隔の基準信号を送信する第１送信部と、
    前記制御部に、前記位置情報を送信する第２送信部と、
    を備えたＸ線検査装置。
11. 多数個の物品を、連続的に、ランダムな位置で搬送する搬送部に対しＸ線を照射するＸ線照射ステップと、
    前記物品を透過した透過Ｘ線を検出する透過Ｘ線検出ステップと、
    前記透過Ｘ線の検出結果に基づいて、透過Ｘ線画像を生成する画像生成ステップと、
    前記透過Ｘ線画像に基づき、前記物品の不良を検査する検査ステップと、
    前記検査ステップの検査結果に基づき、不良と判定された前記物品の、前記搬送部上の位置に関する位置情報を生成する位置情報生成ステップと、
    前記物品の除去機構を有し、前記除去機構を少なくとも前記搬送部の搬送方向と直交する第１方向に移動させることが可能で、前記検査ステップで不良と判定された前記物品を前記除去機構により前記搬送部から取り除くロボットの動作を制御する制御部に、前記搬送部が第１距離を進行する毎に発信される定間隔の基準信号と、前記位置情報と、を送信する送信ステップと、
    前記制御部が、前記基準信号と前記位置情報とに少なくとも基づき、前記除去機構が前記検査ステップで不良と判定された前記物品に近づき取り除くように前記ロボットの動作を制御する制御ステップと、
    を備えたＸ線検査方法。

Images