JP7686468B2 - 液体収容容器および液体吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関する。

インク等の液体を記録媒体に吐出して記録を行うインクジェット分野において、近年、記録用途が多岐にわたり、高精細かつ高品位な記録が求められている。そして、高精細かつ高品位な記録を実現するために、液体の吐出速度の低下や色材濃度の変調の原因となる吐出口からの水分蒸発などによるインクの増粘を抑制することが必要となっている。

吐出口からの水分蒸発などによるインクの増粘を抑制する方法として、吐出口が配置されている圧力室のインクを強制的に流動させることにより、圧力室に滞留している増粘したインクを流出させる方法が知られている。特許文献１の液体吐出ヘッドでは、圧力室に連通する流路として液体を供給する供給路と液体を回収する回収路とが設けられ、供給路と回収路のそれぞれに連通する複数の連通口が設けられている。これにより、特許文献１の液体吐出ヘッドでは、液体の流量のばらつきを抑制しつつ圧力室の液体を流入出することができる。

特許文献１の液体吐出ヘッドによれば、ヘッド筐体に設けられたインク供給路および回収路と記録素子基板を構成する基板に設けられた供給路および回収路とを、基板の裏面に設けられた蓋部材にてピッチ変換を行うことで接続することができる。蓋部材は狭ピッチである基板の供給路および回収路に対応して連通口が形成されている。このため、蓋部材には感光性樹脂材料が用いられ、連通口はフォトリソグラフィによって形成されることが望ましい。また、連通口の流れ抵抗を低減するため、蓋部材は薄膜にて形成されることが望ましい。

特開２０１７－１２４６１９号公報

しかしながら、上記の従来技術に係る液体吐出ヘッドでは、蓋部材が薄膜で形成されているため、記録素子基板の基板と液体吐出ヘッドの蓋部材との密着性が低下する可能性がある。また、基板と蓋部材との間に接着部材を用いて互いを接合する場合、接着部材の層を厚くすると、記録素子基板が厚くなったり、接着部材の層厚のばらつきから記録素子基板の配置の精度が低下したりする可能性がある。一方、基板と蓋部材との間の接着部材の層を薄くすると十分な接着強度が得られない可能性がある。また、他の接合方法により基板と蓋部材とを接合する場合は、蓋部材が薄い部材であるためたわみ等による物理的応力の問題が懸念される。この結果、従来技術に係る記録素子基板では、基板と蓋部材との界面剥離が生じる可能性がある。また、基板に複数の流路が設けられている場合には、複数の流路が互いに連通する可能性がある。

本発明は、上記の課題を鑑みてなされたものであり、基板と蓋部材との界面剥離が生じる可能性を低下させることが可能な液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

本件開示の技術に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出する吐出口を備える吐出口形成部材と、前記吐出口から前記液体を吐出するための素子を備え、前記吐出口に連通する流路が複数形成された基板と、複数の前記流路と連通する複数の連通口を有し前記基板と接合される蓋部材と、を有する記録素子基板と、
前記蓋部材の前記複数の連通口を介して複数の前記流路に前記液体を供給する流路部材と、
前記蓋部材と前記流路部材とを接着する接着部材と、
を有し、
前記蓋部材は、前記複数の連通口が形成された領域とは別の、前記基板に当接する当接領域に開口を有し、該開口を介して、前記接着部材と前記基板とが接触していることを特徴とする液体吐出ヘッドを含む。

また、本件開示の技術に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出する吐出口を備える吐出口形成部材と、前記吐出口から前記液体を吐出するための素子を備え、前記吐出口に連通する流路が複数形成された基板と、複数の前記流路と連通する複数の連通口を有し前記基板と接合される蓋部材と、を有する記録素子基板と、
前記蓋部材の前記複数の連通口を介して複数の前記流路に前記液体を供給する流路部材と、
前記蓋部材と前記流路部材とを接着する接着部材と、
を有し、
前記蓋部材は、複数の前記流路ごとに分割された複数の分割部材を備え、
前記複数の分割部材は、互いに間隔を開けて配置され、
前記複数の分割部材の互いの隙間を介して、前記接着部材と前記基板とが接触していることを特徴とする液体吐出ヘッドを含む。

また、本件開示の技術に係る液体吐出装置は、
上記の液体吐出ヘッドと、
を備えることを特徴とする液体吐出装置を含む。

本件開示の技術によれば、基板と蓋部材との界面剥離が生じる可能性を低下させることができる。

第１の実施形態に係る液体吐出装置の概略構成を示す図 第１の実施形態に係るインクの循環経路を模式的に示す図 図３Ａおよび図３Ｂは、第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視図 第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図 図５Ａ～図５Ｆは、第１の実施形態に係る流路部材の構成を示す図 図５Ａの矩形αで囲まれた部分の拡大図 図６のＩＸ－ＩＸ線による断面を示す図 図８Ａは吐出モジュールの斜視図、図８Ｂは吐出モジュールの分解図 図９Ａは記録素子基板の平面図、図９Ｂは図９Ａの円Ａで示す部分の拡大図、図９Ｃは記録素子基板の裏面の平面図 図９ＡにおけるＸＩＩ－ＸＩＩ線による断面を示す斜視図 図７の矩形Ｂで示す部分の拡大図 第２の実施形態に係る記録素子基板の平面図 第３の実施形態に係る記録素子基板の平面図 第４の実施形態に係る記録素子基板の平面図 第５の実施形態に係る記録素子基板の平面図 第６の実施形態に係る記録素子基板の平面図 第７の実施形態に係る記録素子基板の平面図 第８の実施形態に係る記録素子基板の平面図

以下に、図面を参照しつつ、本件開示の技術の好適な実施の形態について説明する。ただし、以下に記載されている構成部品の寸法、材料、形状およびそれらの相対配置等は、発明が適用される装置の構成や各種条件により適宜変更されるべきものである。よって、この発明の範囲を以下の記載に限定する趣旨のものではない。特に図示あるいは記述をしない構成や工程には、当該技術分野の周知技術または公知技術を適用することが可能である。また、重複する説明は省略する場合がある。

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る液体吐出装置の一例として、液体であるインクを吐出して記録媒体に対して記録を行うインクジェット記録装置（以下、記録装置とも称す）１０００の概略構成を示す図である。記録装置１０００は、記録媒体２を搬送する搬送部１と、記録媒体２の搬送方向と略直交して配置されるライン型（ページワイド型）の液体吐出ヘッド３とを備える。記録装置１０００は、複数の記録媒体２を連続もしくは間欠に搬送しながら１パスで連続記録を行うライン型記録装置である。

液体吐出ヘッド３は、流路内の圧力（負圧）を制御する負圧制御ユニット２３０と、負圧制御ユニット２３０と流体連通する液体供給ユニット２２０と、液体供給ユニット２２０へのインクの供給口および排出口となる液体接続部１１１と、筺体８０とを備える。記録媒体２としては、カット紙に限らず、連続したロール媒体であってもよい。ここでは、液体吐出ヘッド３により、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、ブラック（Ｋ）の各色のインクによるフルカラー記録が可能である。また、液体吐出ヘッド３へのインクの供給路、メインタンクおよびバッファタンク（後述する図２参照）が互いに流体的に接続されている。また、液体吐出ヘッド３には、液体吐出ヘッド３にインクを吐出するための電力および制御信号を伝送する電気制御部が電気的に接続されている。なお、液体吐出ヘッド３の液体経路および電気信号経路については後述する。

記録装置１０００は、後述するタンクと液体吐出ヘッド３との間でインクを循環させるインクジェット記録装置である。記録装置１０００におけるインクの循環は、液体吐出ヘッド３の下流側で２つの循環ポンプ（高圧用、低圧用）を可動することで実現される。

図２は、本実施形態における記録装置１０００に適用されるインクの循環経路を模式的に示す図である。液体吐出ヘッド３は、第１循環ポンプ（高圧側）１００１、第１循環ポンプ（低圧側）１００２、バッファタンク１００３等に流体的に接続されている。なお、図２には、説明を簡略化するため、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックのインクのうちの１色のインクについての循環経路を示すが、実際には４色分の循環経路が記録装置１０００に設けられている。

本実施形態における記録装置１０００のインクの循環経路では、メインタンク１００６内のインクは、補充ポンプ１００５によってバッファタンク１００３に供給される。その後、インクは、第２循環ポンプ１００４によって液体接続部１１１を介して液体吐出ヘッド３の液体供給ユニット２２０に供給される。そして、液体供給ユニット２２０に接続された負圧制御ユニット２３０で異なる２つの負圧（高圧、低圧）に調整されたインクは、高圧側と低圧側の２つの流路に分かれて循環する。液体吐出ヘッド３内のインクは、液体吐出ヘッド３の下流の第１循環ポンプ（高圧側）１００１および第１循環ポンプ（低圧側）１００２の作用で液体吐出ヘッド３内を循環する。そして、インクは液体接続部１１１を介して液体吐出ヘッド３から排出されてバッファタンク１００３に戻る。

サブタンクであるバッファタンク１００３は、メインタンク１００６と接続され、タンク内部と外部とを連通する不図示の大気連通口を有し、インク中の気泡を外部に排出することが可能である。バッファタンク１００３とメインタンク１００６との間には、補充ポンプ１００５が設けられている。補充ポンプ１００５は、インクを吐出しての記録や吸引回復等、液体吐出ヘッド３の吐出口からインクを吐出（排出）することによって消費されたインクをメインタンク１００６からバッファタンク１００３に送る。

２つの第１循環ポンプ１００１、１００２は、液体吐出ヘッド３の液体接続部１１１を介してインクを吸い出してバッファタンク１００３に移動させる。第１循環ポンプとしては、定量的な送液能力を有する容積型ポンプが好ましい。容積型ポンプの具体例として、チューブポンプ、ギアポンプ、ダイヤフラムポンプ、シリンジポンプ等が挙げられるが、例えば一般的な定流量弁やリリーフ弁をポンプ出口に設けてインクの流量を一定にする構成が採用されてもよい。液体吐出ヘッド３の駆動時には、第１循環ポンプ（高圧側）１００１および第１循環ポンプ（低圧側）１００２を稼働することによって、それぞれ共通供給路２１１、共通回収路２１２内を所定流量のインクが流れる。このようにインクを流すことで、記録時の液体吐出ヘッド３の温度が適温に維持される。液体吐出ヘッド３の駆動時のインクの流量は、記録素子基板１０間の温度差が記録画質に影響しない程度に維持可能である流量以上に設定することが好ましい。ただし、インクの流量が多くなりすぎると、液体吐出ユニット３００内の流路の圧損の影響により、記録素子基板１０で負圧差が大きくなって画像の濃度ムラが発生する可能性がある。そのため、記録素子基板１０間の温度差と負圧差を考慮しながらインクの流量を設定することが好ましい。

負圧制御ユニット２３０は、第２循環ポンプ１００４と液体吐出ユニット３００との間の経路に設けられている。負圧制御ユニット２３０は、単位面積あたりの吐出量の差等によって循環系におけるインクの流量が変動した場合でも、負圧制御ユニット２３０よりも下流側（すなわち液体吐出ユニット３００側）の圧力をあらかじめ設定された一定圧力に維持する。負圧制御ユニット２３０を構成する２つの負圧制御機構としては、負圧制御ユニット２３０よりも下流側の圧力の変動を、所望の設定圧を中心とする一定の範囲内に制御できるものであれば、どのような機構を用いてもよい。一例として、いわゆる「減圧レギュレータ」と同様の機構を採用することができる。本実施形態における循環流路では、第２循環ポンプ１００４によって、液体供給ユニット２２０を介して負圧制御ユニット２３０の上流側を加圧している。このようにすると、バッファタンク１００３の液体吐出ヘッド３に対する水頭圧の影響を抑制できるので、記録装置１０００におけるバッファタンク１００３のレイアウトの自由度を広げることができる。

また、第２循環ポンプ１００４としては、液体吐出ヘッド３の駆動時に使用するインク循環流量の変動範囲において、一定圧力以上の揚程圧力を有するものであればよく、ターボ型ポンプや容積型ポンプなどを使用することができる。具体的には、第２循環ポンプ１００４にはダイヤフラムポンプ等が適用可能である。また、第２循環ポンプ１００４の代わりに、例えば負圧制御ユニット２３０に対してある一定の水頭差が生じるように配置された水頭タンクを使用することもできる。

図２に示すように、負圧制御ユニット２３０は、それぞれが互いに異なる制御圧力が設定された２つの負圧調整機構を備える。２つの負圧調整機構のうち、相対的に高圧設定側（図２では「Ｈ」で示す）と、相対的に低圧設定側（図２では「Ｌ」で示す）は、それぞれ液体供給ユニット２２０を経由して、液体吐出ユニット３００の共通供給路２１１、共通回収路２１２に接続されている。液体吐出ユニット３００には、共通供給路２１１、共通回収路２１２、各記録素子基板と連通する個別流路２１５（個別供給路２１３、個別回収路２１４）が設けられている。また、共通供給路２１１には負圧制御機構Ｈが、共通回
収路２１２には負圧制御機構Ｌが、それぞれ接続されており、これら２つの共通流路間には差圧が生じている。そして、個別流路２１５は、共通供給路２１１および共通回収路２１２と連通しているため、インクの一部が共通供給路２１１から記録素子基板１０の内部流路を通過して共通回収路２１２へと流れる流れ（図２の矢印参照）が発生する。

このように、液体吐出ユニット３００では、液体が共通供給路２１１および共通回収路２１２をそれぞれ通過する流れと、インクの一部が各記録素子基板１０内を通過する流れとが発生する。このため、それぞれの記録素子基板１０で発生する熱を共通供給路２１１および共通回収路２１２を流れるインクによって記録素子基板１０の外部へ排出することができる。また、液体吐出ヘッド３による記録を行っている際に、インクの吐出を行っていない吐出口や圧力室においてもインクの流れを生じさせることができる。これにより、インクの流れによって、吐出口において増粘したインクの粘度を低下させることで、インクの増粘を抑制することができる。さらに、増粘したインクやインク中の異物を共通回収路２１２に排出することができる。この結果、本実施形態の液体吐出ヘッド３によれば、高速かつ高画質な記録を維持することが可能となる。

（液体吐出ヘッド構成の説明）
次に、本実施形態に係る液体吐出ヘッド３の構成について説明する。図３Ａおよび図３Ｂは、液体吐出ヘッド３の斜視図である。液体吐出ヘッド３は、１つの記録素子基板でシアン／マゼンタ／イエロー／ブラックの４色のインクを吐出可能な記録素子基板１０が直線上に１５個配列（インラインに配置）された、いわゆるライン型の液体吐出ヘッドである。図３Ａに示すように、液体吐出ヘッド３は、各記録素子基板１０と、フレキシブル配線基板４０および電気配線基板９０を介して電気的に接続された信号入力端子９１および電力供給端子９２と、を備える。信号入力端子９１および電力供給端子９２は、記録装置１０００の制御部と電気的に接続されている。信号入力端子９１は吐出動作を制御する吐出駆動信号を記録素子基板１０に供給し、電力供給端子９２は吐出に必要な電力を記録素子基板１０に供給する。

電気配線基板９０内の電気回路によって配線を集約することで、信号入力端子９１および電力供給端子９２の数を記録素子基板１０の数に比べて少なくすることができる。これにより、記録装置１０００に液体吐出ヘッド３を組み付けるときや液体吐出ヘッド３を交換するときに、取り外しが必要な電気接続部数が少なくてすむ。図３Ｂに示すように、液体吐出ヘッド３の両端部に設けられた液体接続部１１１は、記録装置１０００の液体供給経路と接続される。これにより、シアン／マゼンタ／イエロー／ブラックの４色のインクが、記録装置１０００の液体供給経路を介して液体吐出ヘッド３に供給され、液体吐出ヘッド３内を通過したインクが、記録装置１０００の液体供給経路に回収される。このように、各色のインクは、記録装置１０００の液体供給経路と液体吐出ヘッド３の液体経路を介して循環することができる。

図４は、液体吐出ヘッド３を構成する各部品またはユニットを示す分解斜視図である。液体吐出ヘッド３は筐体８０を有し、筐体８０には、液体吐出ユニット３００、液体供給ユニット２２０、電気配線基板９０が取り付けられている。液体供給ユニット２２０には、液体接続部１１１（図２、図３も参照）が設けられ、液体供給ユニット２２０内には、供給されるインク中の異物を取り除くための各色別のフィルタ２２１（図２も参照）が設けられている。それぞれのフィルタ２２１は、液体接続部１１１の対応する開口と連通している。

２つの液体供給ユニット２２０の各ユニットは、それぞれ２色分のフィルタ２２１を有する。フィルタ２２１を通過したインクは、それぞれの色に対応して液体供給ユニット２２０上に配置された負圧制御ユニット２３０に供給される。負圧制御ユニット２３０は、
各色別の負圧制御弁からなるユニットであり、ユニット内に設けられる弁やバネ部材などの働きによりインクの流量の変動に伴って生じる記録装置１０００の供給系（液体吐出ヘッド３の上流側の供給系）の圧損変化を減衰させる。これにより、負圧制御ユニット２３０は、負圧制御ユニット２３０の下流側（液体吐出ユニット３００側）の負圧変化をある一定の範囲内で安定化させることができる。

各色の負圧制御ユニット２３０には、図２に示すようにインクの色ごとに２つの負圧制御弁が内蔵されている。２つの負圧制御弁は、それぞれ異なる制御圧力に設定され、高圧側が液体吐出ユニット３００内の共通供給路２１１（図２参照）、低圧側が共通回収路２１２（図２参照）と液体供給ユニット２２０とを介して連通している。

筐体８０は、液体吐出ユニット３００の支持部８１と、電気配線基板９０の支持部８２とから構成され、液体吐出ユニット３００と電気配線基板９０を支持しつつ、液体吐出ヘッド３の剛性を確保している。電気配線基板９０の支持部８２は、電気配線基板９０を支持し、液体吐出ユニット３００の支持部８１にネジ止めによって固定されている。液体吐出ユニット３００の支持部８１は、液体吐出ユニット３００の反りや変形を矯正して、複数の記録素子基板１０の相対位置の精度を確保する役割を果たし、記録媒体におけるインクのスジやムラを抑制する。したがって、液体吐出ユニット３００の支持部８１は、十分な剛性を有することが好ましく、材料としてはＳＵＳ（Steel Use Stainless）やアルミ
ニウムなどの金属、もしくはアルミナなどのセラミックが好適である。液体吐出ユニット３００の支持部８１には、ジョイントゴム１００が挿入される開口８３、８４が設けられている。液体供給ユニット２２０から供給されるインクは、ジョイントゴム１００を介して液体吐出ユニット３００を構成する第３流路部材７０へと導かれる。

液体吐出ユニット３００は、複数の吐出モジュール２００と流路部材２１０とからなり、液体吐出ユニット３００の記録媒体側の面にはカバー部材１３０が取り付けられる。カバー部材１３０は、長尺の開口１３１が設けられた額縁状の表面を持つ部材であり、開口１３１からは吐出モジュール２００に含まれる記録素子基板１０と封止部材１１０（後述する図８も参照）とが露出している。開口１３１の周囲の枠部は、記録待機時に液体吐出ヘッド３をキャップするキャップ部材の当接面として機能する。このため、カバー部材１３０は、開口１３１の周囲に沿って接着剤、封止材、充填材等を塗布し、液体吐出ユニット３００の吐出口面上の凹凸や隙間を埋めるとキャップ時に閉空間が形成されるように構成されていることが好ましい。

次に、液体吐出ユニット３００が有する流路部材２１０の構成について説明する。流路部材２１０は、第１流路部材５０と、第２流路部材６０と、第３流路部材７０とを積層したものであり、液体供給ユニット２２０から供給されるインクを、各色に対応する吐出モジュール２００に分配する。また、流路部材２１０は、吐出モジュール２００から環流するインクを液体供給ユニット２２０に戻す部材でもある。流路部材２１０は、液体吐出ユニット３００の支持部８１にネジ止めで固定されているため、流路部材２１０の反りや変形が抑制される。なお、流路部材２１０は、蓋部材の複数の連通口を介して複数の流路に液体を供給する液体供給部材に対応する。

図５Ａ～図５Ｆは、第１流路部材５０（図５Ａ、図５Ｂ）と、第２流路部材６０（図５Ｃ、図５Ｄ）と、第３流路部材７０（図５Ｅ、図５Ｆ）のそれぞれの表面と裏面を示す図である。図５Ａは、吐出モジュール２００が搭載される第１流路部材５０の表面を示す。図５Ｂは、第２流路部材６０の表面と当接する第１流路部材５０の裏面を示す。図５Ｃは、第１流路部材５０の裏面と当接する第２流路部材６０の表面を示す。図５Ｄは、第３流路部材７０の表面と当接する第２流路部材６０の裏面を示す。図５Ｅは、第２流路部材６０の裏面と当接する第３流路部材７０の表面を示す。図５Ｆは、液体吐出ユニット３００
の支持部８１と当接する第３流路部材７０の裏面を示す。

本実施形態では、第１流路部材５０の裏面（図５Ｂ）と第２流路部材６０の表面（図５Ｃ）とが対向するように接合され、第２流路部材６０裏面（図５Ｄ）と第３流路部材７０の表面（図５Ｅ）とが対向するように接合される。また、第２流路部材６０と第３流路部材７０とが接合される。これにより、各流路部材に形成される共通流路溝６２、７１から、各流路部材の長手方向に延在する８本の共通流路（２１１ａ、２１１ｂ、２１１ｃ、２１１ｄ、２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃ、２１２ｄ）が形成される。これにより、インクの色ごとに共通供給路２１１と共通回収路２１２の組が流路部材２１０内に形成される。

インクは共通供給路２１１から液体吐出ヘッド３に供給され、液体吐出ヘッド３に供給されたインクは共通回収路２１２によって回収される。第３流路部材７０の連通口７２は、ジョイントゴム１００の各穴と連通しており、液体供給ユニット２２０（図４参照）と流体的に接続されている。図５Ｄに示すように、第２流路部材６０の共通流路溝６２の底面には、連通口６１（共通供給路２１１と連通する連通口６１－１、共通回収路２１２と連通する連通口６１－２）が複数形成されている。また、各連通口６１は、図５Ｂに示す第１流路部材５０のいずれかの個別流路溝５２の一端と連通している。図５Ａに示すように、第１流路部材５０の個別流路溝５２の他端には連通口５１が形成されており、各個別流路溝５２は、それぞれの連通口５１を介して吐出モジュール２００と流体的に接続されている。個別流路溝５２を設けることで、流路部材の中央側に流路を集約することが可能となる。

第１流路部材５０と第２流路部材６０と第３流路部材７０は、液体に対して耐腐食性を有し、線膨張率の低い材料で形成されることが好ましい。好適な流路部材の材料としては、アルミナ、ＬＣＰ（液晶ポリマ）、ＰＰＳ（ポリフェニルサルファイド）やＰＳＦ（ポリサルフォン）や変性ＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）を母材として無機フィラーを添加した複合材料（樹脂材料）が挙げられる。無機フィラーとしては、シリカ微粒子やファイバなどが挙げられる。また、流路部材２１０の形成方法としては、第１流路部材５０と第２流路部材６０と第３流路部材７０を積層させて互いに接着してもよいし、材料として複合材料（樹脂材料）を選択した場合は、溶着によって互いに接合してもよい。

図６は、図５Ａの矩形αで囲まれた部分を拡大して示す図であり、第１～第３流路部材が積層された流路部材２１０内の流路を第１流路部材５０の表面側から見た場合の透視図である。図６に示すように、流路部材２１０には、インクの色ごとに液体吐出ヘッド３の長手方向に延伸する共通供給路２１１（２１１ａ、２１１ｂ、２１１ｃ、２１１ｄ）と共通回収路２１２（２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃ、２１２ｄ）とが設けられている。

より具体的には、各色の共通供給路２１１には、個別流路溝５２によって形成される複数の個別供給路２１３（２１３ａ、２１３ｂ、２１３ｃ、２１３ｄ）が連通口６１を介して接続されている。また、各色の共通回収路２１２には、個別流路溝５２によって形成される複数の個別回収路２１４（２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃ、２１４ｄ）が連通口６１を介して接続されている。このような流路構成により、各共通供給路２１１から個別供給路２１３を介して、流路部材の中央部に位置する記録素子基板１０にインクを集約することができる。また、記録素子基板１０に供給されたインクは、個別回収路２１４を介して、各共通回収路２１２へと回収することができる。

図７は、図６のＩＸ－ＩＸ線による断面を示す図である。図７に示すように、個別回収路２１４ａ、２１４ｃは、連通口５１を介して、吐出モジュール２００と連通している。なお、図７には個別回収路２１４ａ、２１４ｃのみを示すが、図６の流路部材２１０の別の断面においては、個別供給路２１３も吐出モジュール２００と連通している。各吐出モ
ジュール２００に含まれる支持部材３０および記録素子基板１０には、第１流路部材５０からのインクを記録素子基板１０に設けられる記録素子１５に供給するための流路が形成されている。

さらに、支持部材３０および記録素子基板１０には、記録素子１５に供給したインクの一部または全部を第１流路部材５０に回収（環流）するための流路が形成されている。記録素子基板１０と支持部材３０とは、後述する接着部材４００によって接合されている。接着部材４００には、支持部材３０に設けられた連通口３１（図８参照）および蓋部材２０（図９参照）に設けられた連通口２１（図９参照）に対応する開口４０１が設けられている。接着部材４００の材料としては、基板１１、蓋部材２０、支持部材３０との密着力が高く、液体に対して耐腐食性、耐浸透性を有する材料が好ましく、例えば、エポキシ接着剤が挙げられ、より好ましくはシラン剤を含有したものが挙げられる。これにより、基板１１がシリコン基板からなる、あるいは、蓋部材２０がエポキシ樹脂材料からなる場合に、接着部材４００と基板１１あるいは蓋部材２０との密着力がより高まる効果が期待できる。

ここで、共通供給路２１１は、対応する色のインクの負圧制御ユニット２３０（高圧側）と液体供給ユニット２２０を介して接続されている。また、共通回収路２１２は、負圧制御ユニット２３０（低圧側）と液体供給ユニット２２０を介して接続されている。負圧制御ユニット２３０は、共通供給路２１１と共通回収路２１２との間に差圧（圧力差）を生じさせる。このため、図６および図７に示すように、各流路が流体的に接続された液体吐出ヘッド３内では、各色のインクが共通供給路２１１、個別供給路２１３、記録素子基板１０、個別回収路２１４、共通回収路２１２を順に流れる。

（吐出モジュールの説明）
図８Ａは、１つの吐出モジュール２００の斜視図であり、図８Ｂは、吐出モジュール２００の分解図である。吐出モジュール２００の製造方法としては、まず記録素子基板１０およびフレキシブル配線基板４０を、あらかじめ連通口３１が設けられた支持部材３０上に接着部材４００によって接着する。その後、記録素子基板１０上の端子１６と、フレキシブル配線基板４０上の端子４１とをワイヤーボンディングによって電気的に接続し、ワイヤーボンディング部分（電気接続部）を封止部材１１０で覆って封止する。フレキシブル配線基板４０の記録素子基板１０と反対側の端子４２は、電気配線基板９０の接続端子９３（図４も参照）と電気的に接続される。支持部材３０は、記録素子基板１０を支持する支持部材であるとともに、記録素子基板１０と流路部材２１０とを流体的に接続する流路部材である。したがって、支持部材３０は、平面度が高く、また十分に高い信頼性をもって記録素子基板と接合できるものが好ましい。支持部材３０の材料としては、例えばアルミナや樹脂材料が好ましい。

（記録素子基板の構造の説明）
図９Ａは、記録素子基板１０の吐出口１３が形成される面（記録素子基板１０の表面）の平面図である。図９Ｂは、図９Ａの円Ａで示す部分の拡大図である。図９Ｃは、記録素子基板１０の裏面の平面図である。ここで、本実施形態における記録素子基板１０の構成について説明する。図９Ａに示すように、記録素子基板１０の平板状の吐出口形成部材１２に、各インク色に対応する４列の吐出口１３が形成されている。なお、以下の説明では、各列において吐出口１３が配列される方向を「吐出口列の列方向」と称する。

図９Ｂに示すように、各吐出口１３に対応した位置には液体を熱エネルギーにより発泡させるための発熱素子である記録素子１５が配置されている。隔壁２２により、記録素子１５を内部に備える圧力室２３が区画されている。記録素子１５は、記録素子基板１０に設けられる電気配線（不図示）によって、端子１６と電気的に接続されている。そして記
録素子１５は、記録装置１０００の制御回路から、電気配線基板９０（図４も参照）およびフレキシブル配線基板４０（図８も参照）を介して入力されるパルス信号に基づいて発熱してインクを沸騰させる。これによりインクの膜沸騰現象が生じる。そして、インクの膜沸騰現象によって生じる発泡の圧力を利用してインクを吐出口１３から吐出する。図９Ｂに示すように、吐出口列の列方向に沿って、吐出口１３の列を挟むように、一方の側にはインクの供給用の流路部分である液体供給路１８が、他方の側にはインクの回収用の流路部分である液体回収路１９が設けられている。液体供給路１８および液体回収路１９は、記録素子基板１０に設けられた吐出口列の列方向に延伸する流路であり、それぞれ供給口１７ａ、回収口１７ｂを介して吐出口１３と連通している。

また、図９Ｃに示すように、記録素子基板１０の裏面にはシート状の蓋部材２０が積層されており、蓋部材２０には、液体供給路１８および液体回収路１９に連通する連通口２１が複数設けられている。本実施形態では、１本の液体供給路１８に対して３個の連通口２１が、また１本の液体回収路１９に対して２個の連通口２１が、蓋部材２０に設けられている。図９Ｂに示すように、蓋部材２０のそれぞれの連通口２１は、図８に示す複数の連通口３１と連通している。蓋部材２０の材料としては、シリコン基板やエポキシ樹脂材料などを使用することができる。また、記録素子基板１０の裏面と蓋部材２０との間に接着部材が設けられていてもよい。

蓋部材２０は、インクに対する耐食性を有していることが好ましく、また、インクの混色防止の観点から、連通口２１の開口形状および開口位置には高い精度が求められる。このため蓋部材２０の材料として、感光性樹脂材料を使用し、フォトリソプロセスによって連通口２１を設けることが好ましい。このように蓋部材２０は、連通口２１によって流路のピッチを変換するものであり、圧力損失を考慮すると、蓋部材２０の厚みは薄いことが望ましく、フィルム状の部材で構成されることが望ましい。また、記録素子基板１０と蓋部材２０との間に接着部材が設けられている場合、記録素子基板１０と支持基板とを接着する接着部材は蓋部材とを接着する接着部材よりも高い接着力を有することが望ましい。

本実施形態では、蓋部材２０において、記録素子基板１０の液体供給路１８と液体回収路１９と間の部分に対向する位置に複数のスリット５０１が設けられている。スリット５０１はフォトリソプロセスで形成されてもよいし、レーザー加工やサンドブラスト法等の熱的および／または物理的なプロセスで形成されてもよい。一例として、スリット５０１は１５０μｍ幅で形成されている。なお、スリット５０１は、蓋部材のうちの、複数の連通口が形成された領域とは別の、基板に当接する当接領域の少なくとも一部に形成された蓋部材開口部に対応し、スリット５０１において接着部材と基板とが接触する。

図１０は、図９ＡにおけるＸＩＩ－ＸＩＩ線による記録素子基板１０および蓋部材２０の断面を示す斜視図である。図１０を参照しながら、記録素子基板１０内での液体の流れについて説明する。蓋部材２０は、記録素子基板１０の基板１１に形成される液体供給路１８および液体回収路１９の壁の一部を形成する蓋として機能する。

記録素子基板１０は、一例としてシリコン（Ｓｉ）により形成される基板１１と、一例として感光性の樹脂により形成される吐出口形成部材１２とが積層されて、基板１１の裏面には蓋部材２０が接合されている。また、基板１１の表面には、記録素子１５が形成されており（図９参照）、基板１１の裏面には、吐出口列に沿って延在する液体供給路１８および液体回収路１９を構成する溝が形成されている。このように、基板１１には、記録素子によって記録物に吐出される液体の複数の流路が形成されている。また、液体供給路１８および液体回収路１９が、蓋部材が当接する面に形成された流路の基板開口部でもある。また、蓋部材２０は、複数の流路と連通する複数の連通口を有し、基板１１と接合される。

基板１１と蓋部材２０とによって形成される液体供給路１８と液体回収路１９は、それぞれ流路部材２１０内の共通供給路２１１と共通回収路２１２と接続されており、液体供給路１８と液体回収路１９との間には差圧が生じている。吐出口１３からインクを吐出して記録を行っている際に、吐出を行っていない吐出口１３では、この差圧によって液体供給路１８内のインクは、供給口１７ａ、圧力室２３、回収口１７ｂを経由して液体回収路１９に流れる（図中矢印Ｃ）。このようにインクが流れることによって、インクの吐出が行われない吐出口１３や圧力室２３において、吐出口１３からのインクの蒸発によって増粘したインクや、泡、異物などを液体回収路１９へと回収することができる。また、吐出口１３や圧力室２３においてインクが増粘しにくくなるという効果も得られる。

液体回収路１９に回収されたインクは、蓋部材２０の連通口２１および支持部材３０の液体連通口３１（図８Ｂ参照）を経由して、流路部材２１０の連通口５１、個別回収路２１４、共通回収路２１２の順に流れて、記録装置１０００の回収経路へと回収される。

また、蓋部材２０には、基板１１の液体供給路１８と液体回収路１９との間の部分に対向する位置に複数のスリット５０１が設けられている。インクは、液体供給ユニット２２０の液体接続部１１１から液体吐出ヘッド３に流入する。そして、インクは、ジョイントゴム１００、第３流路部材７０に設けられた連通口７２および共通流路溝７１、第２流路部材６０に設けられた共通流路溝６２および連通口６１、第１流路部材５０に設けられた個別流路溝５２および連通口５１の順に流れる。そして、インクは、支持部材３０に設けられた液体連通口３１、蓋部材２０に設けられた連通口２１、基板１１に設けられた液体供給路１８および供給口１７ａを順に流れて圧力室２３に供給される。

圧力室２３に供給されたインクのうち、吐出口１３から吐出されなかったインクは、基板１１に設けられた回収口１７ｂおよび液体回収路１９、蓋部材２０に設けられた連通口２１、支持部材３０に設けられた液体連通口３１を順に流れる。その後液体は、第１流路部材に設けられた連通口５１及び個別流路溝５２、第２流路部材に設けられた連通口６１及び共通流路溝６２、第３流路部材７０に設けられた共通流路溝７１及び連通口７２、ジョイントゴム１００を順に流れる。そして、インクは、液体供給ユニット２２０に設けられた液体接続部１１１から液体吐出ヘッド３の外部へと流れる。このように、本実施形態の液体吐出ヘッド３では、圧力室２３や吐出口１３におけるインクの増粘を抑制することができるので、インクの吐出方向のヨレやインクの不吐出などを抑制することができ、結果として高画質な記録を行うことができる。

図１１は、図７の矩形Ｂで示す部分の拡大図である。図１１に示すように、記録素子基板１０には、シアンインクを供給するために形成された液体供給路１８Ｃｙと、マゼンタインクを回収するために形成された液体回収路１９Ｍａとの間に、蓋部材２０のスリット５０１が形成されている。無機材料であるＳｉにより形成される基板１１と有機材料である感光性の樹脂で形成される蓋部材２０との密着力は、それぞれ接着部材４００との密着力と比べると弱い。本実施形態では、各色のインクそれぞれに対応する液体供給路１８と液体回収路１９との間に蓋部材２０のスリット５０１が設けられている。これにより、スリット５０１が設けられている部分では、基板１１が蓋部材２０よりも密着性の高い接着部材４００と接合する。これにより、基板１１が蓋部材２０と接合する場合に比べて、基板１１と蓋部材２０とに界面剥離が生じる可能性が抑えられ、基板１１に形成されたインク流路におけるインク混色の可能性を抑えることができる。

特に、蓋部材２０に設けられた連通口２１の縁は、基板１１の液体供給路１８および液体回収路１９と重なるため、連通口２１部分は剛性が弱い。すなわち、連通口２１の周辺において基板１１と蓋部材２０の界面剥離が生じやすいといえる。しかしながら、本実施
形態によれば、仮に連通口２１の周辺で基板１１と蓋部材２０との界面剥離が生じても、スリット５０１において基板１１の界面が蓋部材２０からより接着性の高い接着部材４００へと変化する。これにより、基板１１と蓋部材２０の界面剥離が接着部材４００で抑制される。この結果、基板１１と蓋部材２０の界面剥離によって、異なる色のインクの流路が連通してインク混色が生じる可能性を抑えることができる。

本実施形態では、記録素子基板に液体供給路と液体回収路の２種類の流路が設けられた液体吐出ヘッドについて説明した。しかしながら、上記のスリットの構成は、記録素子基板の裏面に蓋部材が設けられ、基板と蓋部材とが接着剤で接合される液体吐出ヘッドであれば、記録素子基板に液体供給路のみが設けられた構成にも適用可能である。

（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成について説明する。図１２Ａは、本実施形態に係る記録素子基板２０１０の吐出口１３が形成される表面の平面図を示し、図１２Ｂは、記録素子基板１０の裏面の平面図を示す。本実施形態の記録素子基板２０１０において、以下に説明するスリット以外の構成は第１の実施形態と同じである。以下の説明において、第１の実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。

図１２Ａに示すように、記録素子基板２０１０の吐出口形成部材１２に、シアンインクに対応する２列の吐出口６０１ａ、６０１ｂ、マゼンタインクに対応する２列の吐出口６０１ｃ、６０１ｄ、合計４列の吐出口が形成されている。液体供給路１８および液体回収路１９は、記録素子基板２０１０の基板１１に形成された吐出口列の延伸方向に平行な方向に延伸する流路である。上述の図１１のように、液体供給路１８および液体回収路１９は、それぞれ供給口１７ａおよび回収口１７ｂを介して吐出口６０１ｘと連通している（ｘはａ、ｂ、ｃ、ｄのいずれか）。液体供給路１８Ｃｙおよび液体回収路１９Ｃｙはシアンインクの流路であり、液体供給路１８Ｍａおよび液体回収路１９Ｍａはマゼンタインクの流路である。図１２Ｂに示すように、本実施形態では、蓋部材２０２０には、基板１１の液体供給路１８Ｃｙと液体回収路１９Ｍａとの間の領域に対応する位置に開口部としてのスリット５１１が設けられている。ここで、液体供給路１８Ｃｙおよび液体回収路１９Ｃｙは、第１の液体の流路に対応し、液体供給路１８Ｍａおよび液体回収路１９Ｍａは、第２の液体の流路に対応する。また、スリット５１１は、基板における複数の流路のうち第１の液体の流路と第２の液体の流路の間の領域に対応する位置に形成された蓋部材開口部に対応する。

本実施形態では、記録素子基板２０１０の平面視において、蓋部材２０２０には、基板１１に形成されたそれぞれ異なる色のインクの流路である２つの液体供給路の間の領域に対応する位置に、スリット５１１が設けられている。これにより、蓋部材におけるスリット加工の工数を抑制しつつ、基板１１と蓋部材２０２０の界面剥離による流路の連通とインクの混色の可能性を低減することができる。

（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成について説明する。図１３Ａは、本実施形態に係る記録素子基板３０１０の吐出口１３が形成される表面の平面図を示し、図１３Ｂは、記録素子基板３０１０の裏面の平面図を示す。本実施形態の記録素子基板３０１０において、以下に説明するスリット以外の構成は第１の実施形態と同じである。以下の説明において、第１の実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。

図１３Ｂに示すように、記録素子基板３０１０の平面視において、蓋部材３０２０には
、基板１１の液体供給路１８と液体回収路１９との間の領域に対応する位置に、スリット５２１が設けられている。スリット５２１は、蓋部材３０２０の連通口２１の開口縁から一例として５０μｍ以内の領域には形成されない。このように、本実施形態では、スリット５２１が蓋部材３０２０の連通口２１と隣り合う領域を除く位置に形成されている。

本実施形態において、記録素子基板３０１０の平面視において、吐出口１３の吐出口列の延伸方向を基準方向とする。このとき、液体供給路１８と液体回収路１９が、基板１１の基準方向に沿って延伸する。そして、蓋部材開口部であるスリット５２１は、連通口２１から所定の距離だけ離れた領域に形成されている。

本実施形態によれば、蓋部材３０２０において、スリット５２１が連通口２１から一定の距離以上離れて形成されている。これにより、スリット５２１と蓋部材３０２０との間に蓋部材３０２０のクラック等の欠損が発生する可能性を低減できる。また、液体供給路１８と液体回収路１９との間に、基板１１の底面と接着部材４００とが接触するスリット５２１が、吐出口１３の吐出口列の列方向に飛び石状に形成されている。このため、蓋部材３０２０の連通口２１の周辺を起点とした界面剥離が生じた場合のインク混色の抑制という観点では、第１の実施形態よりも効果が劣る。しかしながら、基板１１と蓋部材３０２０との間の面全体としての密着力が高まるため、基板１１と蓋部材２０２０の界面剥離による流路の連通とインクの混色の可能性を低減することができる。

（第４の実施形態）
次に、第４の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成について説明する。図１４Ａは、本実施形態に係る記録素子基板４０１０の吐出口１３が形成される表面の平面図を示し、図１４Ｂは、記録素子基板４０１０の裏面の平面図を示す。本実施形態の記録素子基板３０１０において、以下に説明するスリット以外の構成は第１の実施形態と同じである。以下の説明において、第１の実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。

図１４Ｂに示すように、記録素子基板４０１０の平面視において、蓋部材４０２０には、基板１１の液体供給路１８と液体回収路１９とを囲む領域に対応する位置に、蓋部材開口部であるスリット５３１が設けられている。

また、記録素子基板４０１０の平面視において、吐出口１３の吐出口列の延伸方向を基準方向とする。このとき、液体供給路１８と液体回収路１９が、基板１１の基準方向に沿って延伸する。また、蓋部材開口部であるスリット５３１は、基準方向の一端から他端に向かって延伸する複数のスリットが、基準方向と交差する方向に延伸する開口部であるスリットによって互いに接続されることで構成されている。

このように、蓋部材４０２０は、複数の流路ごとに分割された複数の分割部材からなる。また、複数の分割部材は、互いに間隔を開けて配置され、複数の分割部材の互いの隙間が、接着部材４００と基板１１とが接触する蓋部材開口部であるスリット５３１として機能する。

そして、このようにスリット５３１が液体供給路１８と液体回収路１９を囲むように設けられているため、吐出口１３の吐出口列の両端部において基板１１と蓋部材２０の界面剥離が発生した場合でも流路の連通とインクの混色の可能性を低減することができる。

（第５の実施形態）
次に、第５の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成について説明する。図１５Ａは、本実施形態に係る記録素子基板５０１０の吐出口１３が形成される表面の平面図を示し、図
１５Ｂは、記録素子基板５０１０の裏面の平面図を示す。本実施形態の記録素子基板３０１０において、以下に説明するスリット以外の構成は第１の実施形態と同じである。以下の説明において、第１の実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。

図１５Ｂに示すように、記録素子基板５０１０の平面視において、蓋部材５０２０には、基板１１の液体供給路１８と液体回収路１９の外周の一部を囲む領域に対応する位置に、いわゆる一筆書き状に蓋部材開口部であるスリット５４１が設けられている。

本実施形態によれば、スリット５４１が液体供給路１８と液体回収路１９の外周の少なくとも一部を囲うように設けられている。これにより、吐出口１３の吐出口列の端部において基板１１と蓋部材２０の界面剥離が発生した場合でも流路の連通とインクの混色の可能性を低減することができる。

さらに、記録素子基板５０１０の平面視において、吐出口１３の吐出口列の延伸方向を基準方向とする。このとき、液体供給路１８と液体回収路１９が、基板１１の基準方向に沿って延伸する。また、蓋部材開口部であるスリット５４１は、基準方向の一端から他端に向かって延伸する複数のスリットが、基準方向と直交する方向に延伸する開口部であるスリットによって互いに接続されることで構成されている。

また、第４の実施形態とは異なり、一筆書き状にスリット５４１が形成されているため、第４の実施形態のスリット５３１の加工に比べて、より容易にスリット５４１を加工することができる。さらに、第４の実施形態では、蓋部材４０２０のスリット５３１内の部分とスリット５３１外の部分とが別々になって個片化する可能性がある。しかしながら、本実施形態のスリット５４１によれば、そのような蓋部材２０の個片化が抑制でき、基板１０と蓋部材２０の界面剥離が生じた場合に個片化した部分が脱落するおそれも低減することができる。

（第６の実施形態）
次に、第６の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成について説明する。図１６Ａは、本実施形態に係る記録素子基板６０１０の吐出口１３が形成される表面の平面図を示し、図１６Ｂは、記録素子基板６０１０の裏面の平面図を示す。特本実施形態の記録素子基板３０１０において、以下に説明するスリット以外の構成は第１の実施形態と同じである。以下の説明において、第１の実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。

図１６Ａに示すように、記録素子基板６０１０の吐出口形成部材１２に、ブラックインクに対応する２列の吐出口６０２ａ、６０２ｂと、レッドインクに対応する１列の吐出口６０２ｃ、の合計３列の吐出口列が形成されている。

本実施形態では、２列の吐出口６０２ｂ、６０２ｃの列の間隔は、２列の吐出口６０２ａ、６０２ｂの列の間隔よりも広く設けられている。また、液体供給路１８および液体回収路１９は、記録素子基板６０１０の基板１１に形成された吐出口列の延伸方向に平行な方向に延伸する流路である。液体供給路１８および液体回収路１９は、それぞれ供給口１７ａおよび回収口１７ｂを介して吐出口６０１ｘと連通している（ｘはａ、ｂ、ｃのいずれか）。

また、蓋部材６０２０には、吐出口６０２ａと連通する液体供給路１８および液体回収路１９と連通する連通口２１ａ～２１ｅが形成されている。同様に、蓋部材６０２０には、吐出口６０２ｂと連通する液体供給路１８および液体回収路１９と連通する連通口２１
ｆ～２１ｊが形成されている。同様に、蓋部材６０２０には、吐出口６０２ｃと連通する液体供給路１８および液体回収路１９と連通する連通口２１ｋ～２１ｏが形成されている。なお、連通口２１ａ～２１ｅが第１の連通口に、連通口２１ｆ～２１ｊが第２の連通口に、連通口２１ｋ～２１ｏが第３の連通口にそれぞれ対応する。また、連通口２１ａ～２１ｅと連通する液体供給路１８および液体回収路１９が第１の液体の第１の流路に対応する。また、連通口２１ｆ～２１ｊと連通する液体供給路１８および液体回収路１９が第２の液体の第２の流路に対応する。また、連通口２１ｋ～２１ｏと連通する液体供給路１８および液体回収路１９が第３の液体の第３の流路に対応する。

図１６Ｂに示すように、本実施形態では、蓋部材６０２０には、基板１１の液体供給路１８と液体回収路１９との間の領域に対応する位置にスリット５５１が設けられている。また、記録素子基板６０１０の平面視において、蓋部材６０２０には、基板１１に形成されたそれぞれ異なる色のインクの流路である２つの液体供給路の間の領域に対応する位置に、スリット５５１が設けられている。すなわち、蓋部材開口部が、第２の連通口（２１ｆ～２１ｊ）と第３の連通口（２１ｋ～２１ｏ）との間に形成されている。これにより、蓋部材におけるスリット加工の工数を抑制しつつ、基板１１と蓋部材６０２０の界面剥離による流路の連通とインクの混色の可能性を低減することができる。また、スリット５５１は、異なる色のインクを吐出する吐出口の列間に設けられるため、同じ色のインクを吐出する吐出口の列間よりも広い領域に、スリット５５１が設けられている。これにより、スリット５５１と蓋部材６０２０の連通口２１との距離がより長く確保できるため、より容易にスリットを加工することができる。

（第７の実施形態）
次に、第７の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成について説明する。図１７Ａは、本実施形態に係る記録素子基板７０１０の吐出口１３が形成される表面の平面図を示し、図１７Ｂは、記録素子基板７０１０の裏面の平面図を示す。本実施形態の記録素子基板３０１０において、以下に説明するスリット以外の構成は第１の実施形態と同じである。以下の説明において、第１の実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。

図１７Ｂに示すように、記録素子基板７０１０の平面視において、蓋部材７０２０には、基板１１の液体供給路１８と液体回収路１９との間の領域に対応する位置に、いわゆるつづら折り形状の蓋部材開口部であるスリット５６１が設けられている。

本実施形態において、記録素子基板７０１０の平面視において、吐出口１３の吐出口列の延伸方向を基準方向とする。このとき、液体供給路１８と液体回収路１９が、基板１１の基準方向に沿って延伸する。そして、蓋部材開口部であるスリット５６１は、基準方向の一端から他端まで設けられており、基準方向に延伸する部分と、基準方向と交差する方向に延伸する部分と、を有するように設けられている。

本実施形態によれば、蓋部材７０２０には、基板１１に形成されたそれぞれ異なる色のインクの流路である２つの液体供給路１８と液体回収路１９との間の領域に対応する位置に、スリット５６１が設けられる。また、スリット５６１は、仮に当該スリットを直線形状のスリットとした場合よりも開口面積を大きくすることができ、かつ折れ曲がり部を有する。したがって、スリット５６１によれば、仮に当該スリットを直線形状のスリットとした場合よりも基板１１の裏面と接着部材４００との接触面積を大きくすることができ、かつ基板１１の裏面と接着部材４００の界面にかかる応力を分散することもできる。これにより、基板１１と蓋部材７０２０の界面剥離による流路の連通とインクの混色の可能性を低減することができる。

（第８の実施形態）
次に、第７の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成について説明する。図１８Ａは、本実施形態に係る記録素子基板８０１０の吐出口１３が形成される表面の平面図を示し、図１８Ｂは、記録素子基板８０１０の裏面の平面図を示す。本実施形態の記録素子基板３０１０において、以下に説明するスリット以外の構成は第１の実施形態と同じである。以下の説明において、第１の実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。

図１８Ｂに示すように、記録素子基板８０１０の平面視において、蓋部材８０２０には、基板１１の液体供給路１８と液体回収路１９との間のそれぞれの領域に対応する位置に、スリット５７１が設けられている。

本実施形態によれば、蓋部材８０２０に、基板１１のそれぞれの液体供給路と液体回収路との間にスリット５７１が形成されている。これにより、上記の実施形態に比べてより多くのスリットを蓋部材に設けることで、より効果的に基板１１と蓋部材８０２０の界面剥離による流路の連通とインクの混色の可能性を低減することができる。

３ 液体吐出ヘッド、１０ 記録素子基板、１１ 基板、１５ 記録素子、１８ 液体供給路、１９ 液体回収路、２０ 蓋部材、２１ 連通口、５０１ スリット

Claims (16)

1. 液体を吐出する吐出口を備える吐出口形成部材と、前記吐出口から前記液体を吐出するための素子を備え、前記吐出口に連通する流路が複数形成された基板と、複数の前記流路と連通する複数の連通口を有し前記基板と接合される蓋部材と、を有する記録素子基板と、
   前記蓋部材の前記複数の連通口を介して複数の前記流路に前記液体を供給する流路部材と、
   前記蓋部材と前記流路部材とを接着する接着部材と、
   を有し、
   前記蓋部材は、前記複数の連通口が形成された領域とは別の、前記基板に当接する当接領域に開口を有し、該開口を介して、前記接着部材と前記基板とが接触していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記開口は、前記基板における複数の前記流路のうち第１の液体の流路と第２の液体の流路の間の領域に対応する位置に形成されている請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第１の液体と前記第２の液体は互いに色が異なる請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記連通口のうち第１の連通口と第２の連通口と第３の連通口が、第１の液体の第１の流路と第２の液体の第２の流路と第３の液体の第３の流路とそれぞれ連通し、
   前記記録素子基板の平面視において、前記第２の連通口と前記第３の連通口との間の幅は、前記第１の連通口と前記第２の連通口との間の幅よりも広く、
   前記開口は、前記第２の連通口と前記第３の連通口との間に形成されている請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第２の液体と前記第３の液体は互いに色が異なる請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記基板は、前記蓋部材が当接する面に前記流路の開口部を有し、
   前記記録素子基板の平面視において、前記開口は、前記当接領域のうち前記開口部を囲む領域の少なくとも一部に形成されている請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記記録素子基板の平面視において、複数の前記流路は、前記基板の第１の方向に沿って延伸し、前記開口は、前記第１の方向の一端から他端に向かって延伸し、
   前記開口は、前記第１の方向に延伸する部分と、前記第１の方向と交差する方向に延伸する部分と、を有する請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記記録素子基板の平面視において、複数の前記流路は、前記基板の第１の方向に沿って延伸し、前記開口は、前記第１の方向の一端から他端に向かって延伸し、
   前記開口は、前記連通口から所定の距離だけ離れた領域に形成されている請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記第１の方向は、複数の前記吐出口が並んだ吐出口列の延伸方向である請求項７または８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 液体を吐出する吐出口を備える吐出口形成部材と、前記吐出口から前記液体を吐出するための素子を備え、前記吐出口に連通する流路が複数形成された基板と、複数の前記流路と連通する複数の連通口を有し前記基板と接合される蓋部材と、を有する記録素子基板と、
    前記蓋部材の前記複数の連通口を介して複数の前記流路に前記液体を供給する流路部材と、
    前記蓋部材と前記流路部材とを接着する接着部材と、
    を有し、
    前記蓋部材は、複数の前記流路ごとに分割された複数の分割部材を備え、
    前記複数の分割部材は、互いに間隔を開けて配置され、
    前記複数の分割部材の互いの隙間を介して、前記接着部材と前記基板とが接触していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
11. 複数の前記流路は、前記液体を前記素子に供給する供給流路と、前記素子に供給された前記液体を回収する回収流路とを含む請求項１から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記記録素子基板はシリコン基板で形成されている請求項１から１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記蓋部材はエポキシ樹脂材料で形成されている請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
14. 前記接着部材はシラン剤を含有するエポキシ樹脂材料を含む請求項１３に記載の液体吐出ヘッド。
15. 前記蓋部材はフィルム形状である請求項１から１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
16. 請求項１から１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置。
    

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