JP7711067B2 - 潤滑油シール式真空ポンプ、潤滑油フィルタ及び方法 - Google Patents

Description

本発明の分野は、潤滑油シール式又はオイルシール式真空ポンプに関する。

潤滑油シール式真空ポンプのサイズは、ポンプから排気される流体から潤滑油を濾過するための潤滑油フィルタの大きさに大きく依存する。
潤滑油ミストフィルタは，排気される流体から潤滑油を浄化するのでポンプの重要な部品である。フィルタは、大きな圧力損失を発生させることなく必要な空気の流れを通すのに十分な大きさである必要があり、さらに、所望の濾過作用をもたらす必要がある。これは、大きな交換面及びフィルタサイズが必要であることを意味する。

小型化されたフィルタが効果的に排ガスを濾過できるポンプ及びポンプ送給方法を提供すること、及びこのようなポンプのための小型化されたフィルタを提供することが望ましい。

第１の態様は、吸気口から排気口へ流体を送るように構成された潤滑油シール式真空ポンプを提供し、潤滑油シール式真空ポンプは、ロータと、ロータを回転させるモータと、ポンプによって出力される流体から潤滑油を濾過するためのフィルタと、ロータの回転速度を制御するための制御回路と、を備え、制御回路は、ロータが、吸気口での圧力が高い場合に最初は選択された低い速度で回転し、吸気口での圧力が低下した場合に高い動作速度で回転するように、ロータの回転を制御するように構成されている。

本発明の発明者は、特定のポンプに必要なフィルタサイズは、フィルタを通る最大流体流量に依存することを認識した。また、本発明者は、このことはポンプがカスタマチャンバから最大量の空気をポンプ送給している場合に起き、さらに、チャンバ内の圧力が一般に大気圧の場合の最も高くなるチャンバ排気の開始時に起こることを認識した。さらに、これはポンプの動作時間のほんの一部しか発生せず、ポンプは一般に、その時間の大部分においてチャンバを所望の動作真空又はそれに近い状態に維持するように動作する。従って、発明者は、最初のポンプダウン時の流量に基づいてフィルタのサイズを決めると、ポンプの動作の大部分に対して大きすぎるフィルタにつながることを認識した。

本発明者は、ポンプにロータの回転速度を制御する制御回路を設け、特に初期の回転速度を低下させることで、より小さなサイズのフィルタを使用できることを認識した。これにより、ポンプ送給の開始時、チャンバ内の高い圧力が排気される際に、回転速度は、選択された低い速度に設定され、フィルタが見込まれる対応する最大流量もこれに対応して低減される。これにより、従来よりも小さなフィルタを選択することができる。この場合、チャンバを動作圧力まで下げるのに必要な時間が長くなるという欠点がある。しかしながら、上述したように、これはポンプの全動作時間のうちのわずかな時間であり、従って、これは一般に完全に許容できる妥協点である。

ロータの回転速度は、場合によっては歯車機構又はブレーキ機構を使用して、多くの方法で制御することができるが、いくつかの実施形態では、モータは、ロータを駆動するための可変速モータで構成され、制御回路は、モータの回転速度を制御することによってロータの回転速度を制御するように構成される。

ポンプは、ロータを駆動するための可変速モータを備えることができ、これを用いて、ロータの制御された初期の低い速度を提供することが可能である。このような配置の一例として、ポンプは、モータに給電するために単相電源を３相電源に変換する周波数変換器を備える。このような周波数変換器は、モータの速度を変更するために使用することもでき、このような変換器がポンプの中に存在する場合、このことは制御回路以外の部品を追加することなく行うことができる。ロータを駆動しているモータの速度を変更することは、ロータ速度を制御するための好都合で効果的な方法である。

いくつかの実施形態では、潤滑油シール式真空ポンプは、ポンプ送給される流体の特性を感知するためのセンサを備え、この特性は、吸気口での圧力を示し、制御回路は、感知された特性に応じてロータの速度を制御するためのフィードバック制御システムを備える。

センサは、ポンプ送給される流体の圧力を感知するように構成された圧力センサ及びポンプ送給される流体の流量を感知するように構成された流量センサのうちの少なくとも一方とすることができる、制御回路は、圧力センサ及び流量センサのうちの少なくとも一方からの信号に応じてロータの回転速度を制御するように構成されている。

ロータの回転速度が、ポンプ送給される流体の感知された特性に応じて制御される場合、流体の特性を感知するためのセンサが必要となる。このセンサは、ポンプ速度又は流体の流量（質量流量又は体積流量のいずれか）を感知することができるか又はポンプ送給される流体の圧力を感知することもできる。この圧力は、場合によっては入口又は出口で直接測定することができ、例えば、モータに供給される電流を感知する電流センサを使用して間接的に測定することもでき、電流は必要なトルクを示すので、ポンプ送給される流体の圧力を示すことになる。当業者であれば、圧力を直接測定するように構成されたセンサを使用して流量を導き出すことができ、同様に、流量を直接測定するように構成された流量センサを使用して圧力を導き出すことができることを理解できはずである。

ロータの初期の低い速度の目的が最大流体流量を制限し、従って、潤滑油フィルタの所要のサイズを制限することであると仮定すると、流量自体又は流体圧力などの流量に関連する因子に応じて回転速度を制御することにより、特定の流量に正確に結び付く回転速度を提供する制御が可能になる。これにより、流量を所望の値以下に維持することができ、いくつかの実施形態では、最大許容流量又はこれに近い値に維持することができ、それによって、初期のポンプダウン時間が過度に増加せず、一方で流量をフィルタが要求する限界内に維持することができる。

いくつかの実施形態では、低い速度は一定の低い速度であり、制御回路は、一定の低い速度で所定期間の間に回転し、所定期間の後に速度を高い動作速度に増加するようにロータを制御するように構成される。

１つの簡単な制御機構は、初期の所定期間の間に、低い一定の固定速度で回転するようにロータを制御し、この期間の後に、ポンプのより高い動作速度、定常速度に速度を増加させるものとすることができる。このようにして、ポンプは実質的に２つの異なる速度で動作し、ロータがより高い速度まで加速する時点が、ポンプが送給することになる最大流体流量を決定する。

いくつかの実施形態では、所定期間は、所定時間帯からなる。
制御回路は、特定のチャンバ又はチャンバタイプの排気のために及び／又は特定の用途のためにポンプを制御するように構成することができ、その場合、ポンプは、単に所定時間帯の間に低い速度でポンプ送給するように構成することができ、この時間は、所望の最大流体流量に応じて選択され、ポンプ及びチャンバの特性から決定される。このように、追加のセンサは不要であり、制御回路は、単に経過時間に応じてポンプを制御する。

他の実施形態では、所定期間は、圧力が所定値以上である間の期間からなる。
もしくは、ポンプは、ポンプ送給される流体の圧力が所定値以上である間に低い速度でポンプ送給することができる。この圧力は、圧力センサの位置に応じて、入口の圧力、出口の圧力、又はポンプチャンバ内の圧力とすることができ、所定値は、それに応じて選択される。

他の実施形態では、所定期間は、ポンプ送給される流体の流量が所定量より大きい間の期間からなる。

もしくは、ポンプは、ポンプ送給される流体の流量に応じてポンピング速度を変えることができる。これは、ポンプ送給される流体の流量を制限する好都合な方法であるが、ある種の流量センサを必要とする。

場合によっては、選択された初期の低い速度は、所定期間の間に一定値に保持することができるが、他の実施形態では、低い速度は可変の低い速度である。

一定の低い回転速度を使用することは制御が簡単であるが、可変の低い速度は、より効果的な場合があり、圧力の低下に応じて速度を徐々に増加させることができる。これにより、ポンプダウンの間に流量を所望の値近くに維持することができ、ポンプダウンを達成するためにかかる時間を短縮することができる。

いくつかの実施形態では、制御回路は、少なくとも１つのセンサから受け取った信号に応じて、可変の低い速度を設定するように構成されている。

低い速度の変動は、流量及び／又は圧力の測定された変化に応じて制御することができる。このようにして、圧力及び流量が減少すると、最大流量を超えることなく速度を増加させることができる。

いくつかの実施形態では、少なくとも１つのセンサは、流量センサで構成され、制御回路は、所定の流体流量を提供するために可変の低い速度を設定するように構成されている。

上述のように、初期の低い速度の考え方は、最大流量を制限することであり、従って、低い速度を制御する１つの有効な方法は、速度を流量に応じて制御することであり、これは、いくつかの実施形態において、速度をフィルタがサポートするように構成された最大レベルより低いがそれに近い状態に維持することを可能にする。

いくつかの実施形態では、少なくとも１つのセンサは、圧力センサで構成され、制御回路は、圧力センサからの信号に応じて可変の低い速度を設定するように構成されており、速度は、圧力が低下することに応じて増加する。

もしくは、速度は、圧力に応じて設定することができ、流量は、圧力及び回転速度に依存し、従って、圧力に応じて速度を制御することによって制御することができる。

いくつかの実施形態において、制御回路は、ロータの回転速度が高い動作速度に増加した場合に、ロータ速度を高い動作速度に維持するように構成されている。

選択された初期の低い回転速度が可変である場合、これは、チャンバが排気されるにつれて徐々に増加するように制御されることになる。ある時点で、徐々に増加した速度がポンプの動作速度に到達し、この時点で速度の増加が停止し、ポンプはこの高い動作速度で連続的に動作することになる。

いくつかの実施形態では、フィルタは、小型化されたフィルタであり、フィルタは、潤滑油シール式真空ポンプによってポンプ送給される流体の所定の最大流量を濾過するためのサイズであり、制御回路は、ロータを低い速度で最初に回転させるように制御することによってポンプ送給される流体の流量を、最大流量以下に維持するように構成されている。

いくつかの実施形態では、選択された初期の低い速度は、高い動作速度の半分未満である。いくつかの実施形態では、選択された初期の低い速度は、高い動作速度の３分の１未満であり、場合によっては、高い動作速度の４分の１未満である。

第２の態様は、第１の態様による潤滑油シール式ポンプを使用してチャンバを排気する方法を提供し、この方法は、ポンプのロータを選択された初期の低い速度で所定期間の間に回転させるステップと、所定期間の後にロータの回転速度を高い動作速度まで増加させるステップと、を含む。

いくつかの実施形態において、この方法は、ポンプ送給される流体の圧力及び流量の少なくとも一方を感知するステップと、感知された流体の圧力及び感知された流量の少なくとも一方に応じてロータの回転速度を制御するステップと、をさらに含む。

第３の態様は、第１の態様による潤滑油シール式真空ポンプのための小型化されたフィルタを提供し、小型化されたフィルタは、ポンプが提供するように構成される選択された初期の低い速度でのポンプの体積流量を、透過率及びフィルタを横切る圧力損失で除した値よりも小さいか又は等しい濾過表面積を有する。

透過率及びフィルタを横切る圧力損失は、フィルタの特性であり、従って、表面積の減少は、最大流量の減少に依存することになる。従って、選択された初期の低い速度が動作速度の何分の一である場合、濾過表面は、それに応じて減少することになる。

さらなる特定の好ましい態様は、独立請求項及び従属請求項に記載されている。従属請求項の特徴は、適宜、独立請求項の特徴と組み合わせることができ、請求項に明示的に規定されている以外の組み合わせで組み合わせることができる。

装置の特徴が、ある機能を提供するために動作可能であると説明される場合、これは、その機能を提供する又はその機能を提供するように適合又は構成される装置の特徴を含むことを理解されたい。
本発明の実施形態は、以下に添付の図面を参照して詳細に説明される。

一実施形態による真空ポンプを概略的に示す。 一実施形態による流量に応じて回転速度が制御される真空ポンプを概略的に示す。 一実施形態による圧力に応じて回転速度が制御される真空ポンプを概略的に示す。 一実施形態による制御されたロータ速度の異なる例を示す。 図４に示すロータ速度で回転するロータによってポンプ送給される流体の流量を示す。 ポンプダウン時間の増加及びフィルタサイズの減少に対する回転速度の比較を示す。 一実施形態によるフィルタを示す。 一実施形態によるチャンバを排気する方法を示すフロー図を示す。

実施形態について詳細に説明する前に、最初に概要を提示する。
潤滑油シール式ポンプ及びフィルタを通過する流量を低減するために、ポンプを始動する際、この時点で流量が一般に最大であるため、ポンプ速度を低下させる。これは、ロータの回転速度を変えることで行われる。例として、これは２つの方法で行うことができる。
すなわち、
１．始動時の一定に制限された速度、
２．始動時の可変立ち上がり速度、
３．排気口で流量が一定になるように、ポンプ送球される流体の特性に応じて調整された始動時の可変速度、
である。

これにより、ポンプの始動速度を変更することでフィルタのサイズを実質的に縮小することができ、このようにして、ポンプ及びフィルタを通過する最大流量が可能になる。

図１は、一実施形態によるオイルシール式ポンプを示す。オイルシール式ポンプは、ポンプチャンバ（図示せず）の中でロータ１０を駆動するためのモータ２０を備える。ロータ１０は、矢印１２で示される吸気口に到着する流体を、ポンプチャンバを通ってフィルタ３０にポンプ送給し、フィルタ３０は、ポンプ送給された流体からオイルミストを除去するよう機能し、流体は、排気口１４から排気される。

モータ２０は可変速モータであり、モータの速度、従ってロータの回転速度は制御回路２２によって制御される。この実施形態では、制御回路２２は、所定時間の間に初期の低い速度で回転し、その後、最大動作速度まで加速するようモータを制御するように構成されている。この実施形態では、初期速度は最大動作速度の約４分の１であり、ポンプは、始動時に約２０秒間この低い速度で動作するように構成されている。その結果、排気されるチャンバ内の圧力が最初に高い場合、回転速度が低く、従って、ポンプを通る流体の流量は、従来のポンプに比べて低減される。チャンバ内の圧力が低下すると、ロータの回転速度は通常の動作速度まで上昇する。この時点で、チャンバ内の圧力が低下しているので、ロータは高速で回転し始めるが、ポンプを通過する流体の流量は、ロータが最初にこの高速で回転していた時ほどは高くない。このようにして、フィルタ３０を通過する最大流量が低減され、それに応じてフィルタのサイズも小さくすることができる。

初期の回転数が低いため、チャンバを動作圧力までポンプダウンする時間が増加するが、これはポンプの作動時間のごく一部であるため、一般に許容される。

図１の実施形態では、制御回路２２は、所定時間の間に一定の遅い速度で動作するようロータを制御するように構成されている。他の実施形態では、制御回路は、遅い初期速度で動作し、高い動作速度まで経時的に徐々に立ち上がるように構成することができる。ポンプが、既知の寸法又は特定の既知の限界内の寸法を有するチャンバを排気するように構成される場合、この時間に生じる圧力低下を既知の寸法及びポンプ速度に基づいて推定することができるので、動作時間に基づいて回転速度を制限することが許容され、流量が、フィルタ３０がサポートするように構成されている所定の最大値を超えないことを可能にするために、チャンバ内の圧力が十分に低下した場合に動作速度が増加するように時間を選択することができる。

図２は、別の実施形態を示し、制御回路は、所定時間の間に低い速度でポンプ送給するように構成されるのではなく、流量センサ２６から信号を受け取るように構成されている。流量センサ２６は、ポンプの排気口での流量を測定し、この流量を示す信号を制御回路２２に送る。制御回路２２は、センサ２６によって測定された流量が、フィルタ３０がサポートするようになっている最大流量で又はそれに近い流量で初期期間の間に実質的に一定となるように、モータを回転させるように制御するように構成されている。このようにして、フィルタのサイズを低減することができ、さらにポンプダウン時間が過度に増加しないことになる。

流量センサは、体積流量センサとすること又は質量流量センサとすることができる。流量センサ２６は、この実施形態では、ポンプの排気口に示されているが、他の実施形態では、システム内の他の場所に配置することができる。

図３は、制御回路２２が圧力センサ２４から信号を受け取る別の実施形態を示す。この実施形態では、圧力センサは、ポンプへの入力でのガス圧力を直接測定する。他の実施形態では、圧力は、ポンプの別の部分で感知すること、又は、例えば、モータによってロータに及ぼされるトルクを感知することによって間接的に感知することができる。制御回路２２は、ポンプ送給される流体の圧力に応じてモータの速度、従ってロータの速度を制御する。上述のように、フィルタ３０は特定の最大流量に対して構成されており、ポンプ送給されるガス流量は、その圧力とロータの回転速度に依存することになる。従って、圧力に応じて、ロータの回転速度を制御して、流体の流量をこの最大流量以下に維持することができる。この場合も、モータのこの制御により、初期のポンプダウン時間を過度に低減することなく、フィルタを過負荷から保護するために、流量を有効かつ正確に制御することができる。

図４は、ポンプのロータの回転速度が経時的に変化するように制御することができる異なる方法の例を示す。曲線４０は、１８００ｒｐｍの一定の回転速度を示し、これは、始動からポンプサイクルの終了まで１８００ｒｐｍの動作速度で動作する従来のポンプを表している。

曲線４２は、一実施形態によるロータ速度の変化を示し、４００ｒｐｍの初期の低い速度は、センサからの測定値に応答して、ポンプの最大動作速度に達するまでの初期始動時間中にポンプを通して実質的に一定の質量流量を提供するためのフィードバックループを使用して、始動時間と共に増加する。

曲線４４は、４００ｒｐｍの初期の低い速度が設定期間の間に提供され、その後、ポンプの動作速度まで増加される別の実施形態を示す。

図５は、図４の異なるポンプ速度が、ポンプを通る流量及びポンプダウン時間に及ぼす影響を示す。図４に対応する曲線４０、４２、４４に加えて、従来のポンプの一定流量の理論曲線である曲線４１が示されており、これは、そのような従来のポンプの測定曲線を示す曲線４０に対応する。この図から分かるように、曲線４２による速度の制御は、初期の始動期間中に一定の最大流量をもたらし、その流量は、最大動作速度に達すると減少する。

曲線４４は、始動期間中の一定の低い速度が、圧力が減少すると徐々に減少する流量をもたらす様子を示す。ポンプ速度が最大の動作速度に増加するポイントに達すると、流量は急増する。このピークがポンプのフィルタが許容できる最大流量を超えないように、この速度が増加するポイントが設定されている。

理解できるように、ポンプ速度の異なる例に関するポンプダウン時間は様々であり、従来のポンプでは最も短い。可変の低い速度を有する曲線４２によって示されるポンプダウン時間は、低い速度が一定である曲線４４に必要なポンプダウン時間よりも低い。しかしながら、曲線４２によってもたらされる可変ポンプ速度は、小型化されたフィルタがサポートできる最大値に近い流量を維持するために、フィードバックを可能にするセンサを必要とする場合がある。

図４及び図５の例において、初期ロータ速度は、両方の例示的な実施形態（４２、４４）に関して４００ｒｐｍであり、この初期速度は、最大流量を設定しかつ必要なフィルタの大きさを決定することになる。この例では、動作速度の１／４未満であり、結果として、これに対応してフィルタのサイズを小さくすることができる。

図６は、ポンプが設定される最大流量が、質量流量限度及び体積流量限度の両方に対して低減される場合に、曲線３５で示されるフィルタの必要サイズ及びポンプダウン時間の両方が増加する様子を示す。これらの低減された最大流量は、ポンプの低い初期回転速度を提供することによってもたらされる。曲線４６は、最大流量が体積流量によって制限される場合に時間がどのように増加するかを示し、一方で、曲線４８は、流量が質量流量によって制限される場合に時間がどのように増加するかを示す。

表１はこの情報を表形式で提示する。

図６のグラフと表１からわかるように、最大流量を１２０とした場合、これは従来のポンプの流量に相当し、必要なフィルタは従来のポンプのもので、これを１００％とした。ポンプダウン時間は、従来のポンプのポンプダウン時間であり、この場合は１７．８秒である。最大流量が１２０から１１０に減少した場合、フィルタのサイズは８％だけ減少し、ポンプダウン時間は容積流量、質量流量ともに１％だけ増加する。最大流量の減少が続くと、ポンプダウン時間は増加し、フィルタのサイズは減少する。図６から分かるように、フィルタのサイズが大幅に減少してもポンプダウン時間が大幅に増加しない最適なポイントがある。これは、最大流量の４分の１である約３０の流量で発生し、これを超えるとポンプダウン時間が大幅に増加する。この減少した流量は、従来のポンプのための標準的なフィルタの約１／４の大きさのフィルタを必要とする。

図７は、一実施形態によるフィルタ３０を示す。
図８は、一実施形態によるチャンバを真空にするための方法のステップを示すフロー図である。初期ステップＳ１０において、ロータは初期速度で回転される。初期速度は、最大空気流量が所定値未満となるように設定される。この最大空気流量は、フィルタのサイズを決定する。この方法にはフィードバックループがあり、それによって流量が監視され、流量が低下していると検出されたことに応答してロータ速度が増加する。このフィードバックループは、Ｓ１５で流量が一定値以下に低下したか否かを判定し、低下した場合にはステップＳ２０でロータ速度を一定量Δだけ増加させることを含む。このようにして、ロータ速度は実質的に一定に維持される。ステップＳ２５でロータ速度がポンプの最大動作速度、すなわち通常のポンピングプロセス中の動作速度に達したと判定されると、速度を調整するための制御プロセスが停止され、ステップＳ３０で、ポンピングプロセスの残りの間、ロータの回転速度がこの最大動作速度で維持される。

要約すると、ロータの初期回転速度は、最大空気流を減少させるために制約され、これは、結果として、ポンプによって出力される流体から潤滑油を浄化するために必要な潤滑油フィルタのサイズを減少させる。

この点で、必要なフィルタのサイズは、ポンプ送給される流体の最大流量と式
Ｓ＝Ｑ／（透過率ｘＰ）
で関係付けされる。ここで、
Ｓ：濾過面積（ｍ²）（円筒形フィルタの場合Ｓ＝πｒ２Ｌ）、
Ｌ：（ｍ）フィルタの長さ、
ｒ：（ｍ）フィルタの半径、
Ｐ：フィルタを横切る許容圧力損失、
Ｑ：空気流量（ｍ³／ｓ）、
（透過率：フィルタのパラメータ ｍ³／（ｍ² ｘ Ｐａ ｘ ｓ）
である。

フィルタを横切る圧力損失及びフィルタの透過率は、フィルタの特性であるため、ポンプの最大流量をフィルタのサイズに設定する。ロータの回転速度を低下させることで初期流量である最大流量を従来の半分以下にすることで、これに対応してフィルタのサイズを半分以下にすることができる。

ロータの初期回転速度を制御し、それによって流体の初期流量を制御するために、異なる速度制御モードを使用することができる。これは、
１．初期速度が制限されるモード、
２．初期速度が、初期の低い値からの立ち上がりであり、立ち上がりの傾きは排気される容器サイズに依存するモード、
３．速度が、排気される容器サイズに依存する所定の時間に初期の低い値を有する場合があるモード、
４．初期速度が、いくつかの実施形態では排気口で測定される空気流に依存するフィードバックループ制御によって調節される場合があるモード、
５．初期速度が、いくつかの実施形態ではポンプ入口で測定される圧力に依存するフィードバックループ制御によって調節される場合があるモード、
を含む。

本発明の例示的な実施形態は、添付の図面を参照して本明細書に詳細に開示されているが、本発明は、正確な実施形態に限定されず、添付の請求項及びその均等物によって定義される本発明の範囲から逸脱することなく、当業者によって様々な変更及び修正がそこで行なわれ得ることを理解されたい。

１０ ロータ
１２ポンプ入口
１４ ポンプ排気口
２０ モータ
２２ 制御回路
２４ 圧力センサ
２６ 流量センサ
３０ フィルタ
３５ 初期流量の変化に伴う所要のフィルタサイズの変化
４０ 従来のポンプの曲線
４１ 従来のポンプの理論流量の曲線
４２ 可変初期速度ポンプの曲線
４４ 初期速度一定ポンプの曲線
４６ 初期容積流量の変化に伴うポンプダウン速度の変化
４８ 初期質量流量の変化に伴うポンプダウン速度の変化

Claims (6)

1. 吸気口から排気口へ流体を送るように構成された潤滑油シール式真空ポンプであって、
   ロータと、
   前記ロータを回転させるモータと、
   前記ポンプによって出力される流体から潤滑油を濾過するためのフィルタと、
   前記ロータの回転速度を制御するための制御回路と、を備え、
   前記制御回路は、前記ロータが前記吸気口における圧力が減少する所定期間の間には固定された低い速度で回転し前記所定期間後には高い動作速度で回転するように、前記ロータの回転を制御するように構成され、
   前記所定期間が、前記フィルタを通過する流体の流量が前記フィルタが前記所定期間の間および所定期間の後の両方で前記フィルタがサポートする最大流量を超えないように、選択されている、
   ことを特徴とする潤滑油シール式真空ポンプ。
2. 前記モータは、前記ロータを駆動するための可変速モータで構成され、前記制御回路は、前記モータの回転速度を制御することによって前記ロータの前記回転速度を制御するように構成されている、
   請求項１に記載の潤滑油シール式真空ポンプ。
3. 前記潤滑油シール式真空ポンプは、ポンプ送給される流体の特性を感知するための少なくとも１つのセンサを備え、前記特性は、前記吸気口での圧力を示し、前記制御回路は、前記感知された特性に応じて前記ロータの速度を制御するためのフィードバック制御システムを備える、
   請求項１又は２に記載の潤滑油シール式真空ポンプ。
4. 前記固定された低い速度は、前記高い動作速度の半分未満である、
   請求項１から３のいずれか１項に記載の潤滑油シール式真空ポンプ。
5. 請求項１から４のいずれか１項に記載の潤滑油シール式ポンプを使用してチャンバを排気する方法であって、
   前記吸気口における圧力が減少する所定期間の間には前記ポンプのロータを選択された固定された低い速度で回転させるステップと、
   前記所定期間の後に、前記ロータの回転速度を高い動作速度まで増加させるステップと、を含み、
   前記所定期間が、前記フィルタを通過する流体の流量が前記フィルタが前記所定期間の間および所定期間の後の両方に前記フィルタがサポートする最大流量を超えないように、選択されている、
   ことを特徴とする方法。
6. 請求項１から４のいずれか１項に記載の潤滑油シール式真空ポンプのための小型化されたフィルタであって、前記小型化されたフィルタは、ポンプが提供するように構成される初期の低い速度でのポンプの体積流量を、透過率及びフィルタを横切る圧力損失で除した値よりも小さいか又は等しい濾過表面積を有する、小型化されたフィルタ。