JP7722903B2

JP7722903B2 - 拡張装置

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Publication number: JP7722903B2
Application number: JP2021184813A
Authority: JP
Inventors: 伸一波岡; 晋一藤澤; 曄陳; 公木村; 亮治谷本
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2021-11-12
Filing date: 2021-11-12
Publication date: 2025-08-13
Anticipated expiration: 2041-11-12
Also published as: JP2023072338A

Description

本発明は、拡張装置に関する。

特許文献１に開示のように、チップに分割可能な分割起点を形成したウェーハが貼着された矩形のテープを拡張して、ウェーハをチップに分割するとともに、隣同士のチップに隙間を形成する拡張装置がある。

この拡張装置は、保持機構に保持されているウェーハに矩形のテープを貼着する貼着ユニットと、拡張ユニットと、搬送ユニットと、を備えている。拡張ユニットは、貼着ユニットによってウェーハに貼着されたテープの４辺を４つの独立した辺クランプ部で各辺をクランプして、対向する辺クランプ部を互いに離反する方向に移動させることによって、テープを拡張する。搬送ユニットは、テープの４つの角部分を４つの独立した角クランプ部でクランプして、保持機構から拡張ユニットにテープを搬送する。

特開２０１９－１１０１８８号公報

拡張装置の貼着ユニットは、搬送ユニットの角クランプ部によってクランプされるテープの角部分を空けて、テープの４辺を把持している。しかし、４辺が把持された状態で、テープの角部分がめくれ上がり、搬送ユニットの角クランプ部がテープの角部分をクランプすることが困難となることがある。

したがって、本発明の目的は、拡張装置における搬送ユニットの角クランプ部がテープの角部分を良好にクランプすることを可能とすることにある。

本発明の拡張装置（本拡張装置）は、分割起点を有する板状物が中央に貼着された矩形のテープを拡張する拡張装置であって、板状物の上面を吸引保持する保持面を有した保持機構と、該保持機構に保持された板状物に該テープを貼着する貼着ユニットと、板状物が貼着された該テープの４辺を各々クランプする４つの辺クランプ機構を有し、対向する該辺クランプ機構を互いに遠ざかる方向に移動させることによって、板状物が貼着された該テープを拡張する拡張ユニットと、板状物が貼着された該テープの４つの角部分を各々クランプする角クランプ機構を有し、該保持機構から該拡張ユニットに、板状物が貼着された該テープを搬送する搬送ユニットと、を備え、該角クランプ機構は、支持面で該テープの角部分の下面を支持する角ステージと、該支持面に支持された該テープを押さえる押さえ部と、該押さえ部を該角ステージの上方から該支持面に接近させるクランプ駆動部と、を備え、該保持機構は、該角クランプ機構がクランプ可能に該テープの４つの角部分を空けて、該テープの４辺を支持する支持機構と、該支持機構が支持した該テープの角部分の上面に、中央側から外側に向かってエアを噴き付け、該支持面に該テープの角部分を倣わせるエアノズルと、を備え、該搬送ユニットは、該エアノズルから噴射したエアによって該支持面に倣った該テープの角部分を、該支持面と該押さえ部の下面とでクランプして、該拡張ユニットに搬送する。

本拡張装置では、テープの角部分がめくれ上がっている場合でも、エアノズルから噴射したエアによって、テープの角部分を支持面に倣せることができる。したがって、テープの角部分を、支持面と押さえ部の下面とで良好にクランプすることができる。このため、クランプミスの発生を抑制することができるので、保持機構から搬送ユニットへの板状物が貼着されたテープの受け渡しを、良好に実施することができる。

拡張装置の構成を示す斜視図である。拡張装置における各機構の移動領域を示す説明図である。図３（ａ）～（ｃ）は、保持機構の構成を示す斜視図である。搬送ユニットの構成を示す斜視図である。搬送ユニットの構成を示す断面図である。図６（ａ）および（ｂ）は、角クランプ機構の構成を示す断面図である。貼着ユニットの動作を示す説明図である。貼着ユニットの動作を示す説明図である。貼着ユニットの動作を示す説明図である。板状物に矩形テープが貼着された状態を示す説明図である。保持機構から搬送ユニットの受渡機構に矩形テープに貼着された板状物を受け渡す状態を示す斜視図である。拡張機構によって矩形テープの四辺をクランプする状態を説明する平面図である。

本実施形態にかかる拡張装置１では、分割起点を有する板状物として、図１に示すような板状物１００が用いられる。本実施形態にかかる板状物１００は、円形の半導体ウェーハであり、表面１０１に格子状の分割起点１０３が形成されている。分割起点１０３は、たとえば、レーザ光線の照射により形成される改質層である。なお、板状物１００の分割起点１０３は、切削ブレード等によって形成された切削溝であってもよい。

また、板状物１００における分割起点１０３によって区画された各領域には、デバイス１０４が形成されている。板状物１００の表面１０１には、デバイス１０４を保護するための保護シート１０５（図７参照）が貼着される。板状物１００の裏面１０２は、矩形テープ７（図１０参照）が貼着されるテープ貼着面である。

図１に示す拡張装置１は、このような分割起点１０３を有する板状物１００が中央に貼着された矩形テープ７を拡張するように構成されている。拡張装置１は、第１方向に延在する第１装置ベース１０と、第２装置ベース１１とを有している。第２装置ベース１１は、第１装置ベース１０の＋Ｙ方向側の上方に、複数の支持柱１４により支持されている。

第１装置ベース１０には、板状物１００の上面（表面１０１）を吸引保持する保持面２１１を有した保持機構２０と、保持機構２０に保持された板状物１００に矩形テープ７を貼着する貼着ユニット３０と、保持機構２０を移動させる移動機構４０と、板状物１００を搬送する搬送ユニット９０と、が備えられている。

搬送ユニット９０は、板状物１００が貼着された矩形テープ７の４つの角部分を各々クランプする後述の角クランプ機構を有し、保持機構２０から後述する拡張ユニット８０に、板状物１００が貼着されている矩形テープ７を搬送する。搬送ユニット９０は、角クランプ機構を有する受渡機構５０と、受渡機構５０をＹ軸方向に移動させる受渡移動機構６０と、を有している。

第２装置ベース１１には、板状物１００から保護シート１０５を剥離する剥離機構７０、および、拡張ユニット８０が備えられている。拡張ユニット８０は、板状物１００が貼着された矩形テープ７の４辺を各々クランプする４つの辺クランプ機構８０１～８０４を有し、対向する辺クランプ機構８０１～８０４を互いに遠ざかる方向に移動させることによって、板状物１００が貼着された矩形テープ７を拡張する。

また、図２に示すように、拡張装置１は、板状物１００を搬入するための搬入口１２を有している。搬入口１２に隣接した位置には、拡張装置１に加工条件等を入力するとともに、入力内容等が表示されるタッチパネル１３が備えられている。搬入口１２に連通した領域が、図１に示した貼着ユニット３０によって矩形テープ７が板状物１００に貼着される貼着領域Ｒ１である。貼着領域Ｒ１には、保持機構２０から搬送ユニット９０の受渡機構５０へ板状物１００が受け渡される受渡領域Ｒ２が含まれる。また、受渡領域Ｒ２に隣接した領域は、剥離機構７０が稼働する剥離領域Ｒ３であり、剥離領域Ｒ３に隣接した領域は、拡張ユニット８０が稼働する拡張領域Ｒ４である。

また、拡張装置１は、フレーム（不図示）が複数収容されたフレームストッカー１７と、フレームを所定の搬送先に搬送する第１フレーム搬送機構１６１および第２フレーム搬送機構１６２（図１を参照）と、拡張ユニット８０によって拡張された板状物１００を洗浄するための洗浄装置（不図示）と、拡張ユニット８０によって拡張された矩形テープ７に紫外線を照射する紫外線照射装置（不図示）とを備えている。

図２に示すように、フレームストッカー１７に隣接した領域は、洗浄装置が稼働する洗浄領域Ｒ５であり、洗浄領域Ｒ５に隣接した領域は、紫外線照射装置が稼働する紫外線照射領域Ｒ６である。なお、図２には、保持機構２０の移動領域Ｒ１０、搬送ユニット９０の受渡機構５０の移動領域Ｒ１１、第１フレーム搬送機構１６１の移動領域Ｒ１２、および、第２フレーム搬送機構１６２の移動領域Ｒ１３も示している。

図３（ａ）に示すように、保持機構２０は、保持面２１１を含み板状物１００を保持する第１保持部２１と、第１保持部２１の下部に固定された固定台２２と、第１保持部２１および固定台２２を下方から支持するベース２３と、ベース２３に軸通され第１保持部２１の保持面２１１を反転させる回転軸２４と、回転軸２４の端部が回転可能に支持された門型の支持部２５とを備えている。第１保持部２１は、円板状のポーラス部材であり、図示しない吸引源に連通されることにより、保持面２１１によって板状物１００を吸引保持することができる。

また、図３（ｂ）に示すように、保持機構２０は、支持部２５の下方側に、支持機構としてのテープ支持プレート２６を備えている。テープ支持プレート２６は、搬送ユニット９０の角クランプ機構５２（図４参照）がクランプ可能に、板状物１００が貼着された矩形テープ７の４つの角部分を空けて、矩形テープ７の４辺を支持する。テープ支持プレート２６は、矩形板状に形成されており、その中央に、上面２６１および下面２６２を貫通する円形の開口２６０を有している。開口２６０の径は、第１保持部２１よりも大径となっている。

また、保持機構２０では、支持部２５およびテープ支持プレート２６に、昇降機構２７が取り付けられている。昇降機構２７は、たとえばエアシリンダとピストンとを含み、支持部２５に取り付けられている第１保持部２１を、テープ支持プレート２６に対して鉛直方向に昇降させることができる。

保持機構２０では、支持部２５において回転軸２４を中心に第１保持部２１の保持面２１１を反転させると、保持面２１１と開口２６０とを対向させることができる。この状態において、昇降機構２７によって第１保持部２１を下降させることにより、第１保持部２１を開口２６０に進入させることができる。

図３（ｃ）に示すように、テープ支持プレート２６の下面２６２には、テープ被貼着部２８、および、ローラ用ガイド２９が備えられている。

テープ被貼着部２８は、たとえばバー状の部材からなる。テープ被貼着部２８は、Ｘ軸方向と平行に延びており、開口２６０を挟んだＹ軸方向の外縁側にそれぞれ対向して配設されている。ローラ用ガイド２９は、たとえば略Ｌ字状の断面を有するバー状の部材からなる。ローラ用ガイド２９は、Ｙ軸方向と平行に延びており、開口２６０を挟んだＸ軸方向の外縁側にそれぞれ対向して配設されている。

また、図３（ｃ）に示すように、テープ支持プレート２６の四隅には、後述する角クランプ機構５２の動作を容易にするための切り欠き部２６３が形成されている。さらに、切り欠き部２６３の近傍には、エアノズルとしてのエア噴出口２６４が設けられている。エア噴出口２６４は、エア源２６５（図６（ａ）参照）に連通されることにより、テープ支持プレート２６の中央側から外側に向かってエアを噴出することができる。

図１に示す移動機構４０は、Ｙ軸方向に延在する支持板４００に配設されたボールネジ４１と、ボールネジ４１の一端に接続されたモータ４２と、ボールネジ４１と平行に延在する一対のガイドレール４３と、Ｙ軸方向に水平に移動可能な移動基台４４とを備えている。移動基台４４の一方の面には、保持機構２０のテープ支持プレート２６が連結されている（図３（ｂ）も参照）。

さらに、図１に示すように、移動基台４４は、一対のガイドレール４３に沿ってスライド可能なように設けられており、ボールネジ４１が螺合しているナット部（不図示）を有している。

移動機構４０では、モータ４２によってボールネジ４１が回動することにより、移動基台４４とともに保持機構２０をガイドレール４３に沿ってＹ軸方向に移動させることができる。移動機構４０により、保持機構２０が、図２に示した貼着領域Ｒ１内を移動することができる。

板状物１００に矩形テープ７を貼着する貼着ユニット３０は、図１の点線で示すように、保持機構２０の下方側に位置している。
図示の例では、第１装置ベース１０の－Ｙ方向側に、Ｘ軸方向に延在する一対のガイド１５が配設されており、貼着ユニット３０は、ガイド１５に沿ってスライド移動することができる。これにより、メンテナンス作業時等に、拡張装置１の外側へ貼着ユニット３０を引き出すこと、および、作業完了後に貼着ユニット３０を拡張装置１内の貼着領域Ｒ１に設置することができる。なお、貼着ユニット３０の構成については後述する。

搬送ユニット９０の受渡機構５０は、図４に示すように、第２保持部５１および複数の角クランプ機構５２を備えている。

第２保持部５１は、上記の保持機構２０によって保持されている矩形テープ７が貼着された板状物１００を、矩形テープ７を介して保持する。各角クランプ機構５２は、第２保持部５１の外周で、矩形テープ７の角部分をクランプする。

第２保持部５１は、昇降機構５３を介して、支持軸５７に設置された円板５４に配設されている。昇降機構５３は、エアシリンダ５３０とピストン５３１とを含み、第２保持部５１を昇降させることができる。
円板５４には、フレーム処理部５９が設けられている。フレーム処理部５９は、矩形テープ７をフレームに貼着して、所定の形状を有するようにカットするものである。

ここで、第２保持部５１および角クランプ機構５２を、より詳細に説明する。
第２保持部５１は、図５に示すように、枠体５００の内側に嵌合された円板状のポーラス部材である。第２保持部５１の上面は、板状物１００を保持する保持面５１１となっている。第２保持部５１は、図示しない吸引源に連通されることにより、保持面５１１によって板状物１００を吸引保持することができる。

枠体５００は、ベース５０１により支持されている。枠体５００とベース５０１との間には、傾き調整機構５６が配設されている。傾き調整機構５６は、シリンダ５６０およびバネ５６１を備えている。バネ５６１は、たとえば圧縮バネである。バネ５６１の伸縮動作によって、ベース５０１に対して枠体５００が揺動可能となり、たとえば保持面５１１に板状物１００を受け渡す際の衝撃を吸収することができる。なお、ベース５０１は、図４では省略されている。

角クランプ機構５２は、第２保持部５１の周囲に、等間隔に、たとえば４つ配設されている。角クランプ機構５２は、図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、支持面５４０を有する角ステージ５２０と、鉤型の押さえ部５２１と、押さえ部５２１を開閉させるクランプ駆動部５５とを備えている。

角ステージ５２０は、支持面５４０により、矩形テープ７の角部分７３の下面を支持する。押さえ部５２１は、支持面５４０に支持された矩形テープ７の角部分７３の上面を押さえる。

クランプ駆動部５５は、第１ピストンロッド５４１と、第２ピストンロッド５４２と、第１ピストンロッド５４１の一端に連結されたバネ５２３と、第２ピストンロッド５４２の一端に接続されたシリンダ５２４と、第１ピストンロッド５４１の他端において支点となる第１軸部５４３と、第２ピストンロッド５４２の他端において支点となる第２軸部５４４と、を備えている。押さえ部５２１の上部側は、クランプ駆動部５５のバネ５２３によって、角ステージ５２０の支持面５４０に接近する方向に付勢されている。

クランプ駆動部５５によって押さえ部５２１を開く場合には、図６（ａ）に示すように、第２ピストンロッド５４２がシリンダ５２４において内側に移動することで、第１軸部５４３および第２軸部５４４を支点にして押さえ部５２１が回転されて、押さえ部５２１が支持面５４０から離反される。これにより、押さえ部５２１を開くことができる。

一方、押さえ部５２１を閉じる場合には、クランプ駆動部５５は、押さえ部５２１を角ステージ５２０の上方から支持面５４０に接近させる。すなわち、図６（ｂ）に示すように、第２ピストンロッド５４２がシリンダ５２４において外側に移動することで、第１軸部５４３および第２軸部５４４を支点にして押さえ部５２１が回転されて、押さえ部５２１が角ステージ５２０の上方から支持面５４０に接近する。これにより、押さえ部５２１を閉じることができるので、押さえ部５２１の下面と角ステージ５２０の支持面５４０とで、矩形テープ７の角部分７３をクランプすることができる。

受渡機構５０は、図１に示した受渡移動機構６０によって、図２に示した受渡領域Ｒ２から拡張領域Ｒ４までの間、すなわち、保持機構２０から拡張ユニット８０までの間を、Ｙ軸方向に沿って移動することが可能となっている。
受渡移動機構６０は、図４に示すように、Ｙ軸方向に延在するボールネジ６１と、ボールネジ６１の一端に接続されたモータ６４と、ボールネジ６１と平行に延びる一対のガイドレール６２と、受渡機構５０を支持する移動基台６３とを備えている。

受渡機構５０は、支持軸５７を介して、受渡移動機構６０に設置されている。移動基台６３は、スライド部材６３１（図５参照）を介して、一対のガイドレール６２にスライド可能に設けられている。また、移動基台６３は、ボールネジ６１が螺合しているナット部６１１（図５参照）を有している。受渡移動機構６０では、モータ６４によってボールネジ６１が回動することにより、受渡機構５０を、移動基台６３とともにガイドレール６２に沿ってＹ軸方向に移動させることができる。

図１に示すように、拡張ユニット８０は、Ｙ軸方向に沿って並ぶ第１辺クランプ機構８０１および第２辺クランプ機構８０２と、Ｘ軸方向に沿って並ぶ第３辺クランプ機構８０３および第４辺クランプ機構８０４とを有している。

第１辺クランプ機構８０１および第２辺クランプ機構８０２は、それぞれ、Ｘ軸方向に延在する直方体の下側挟持部８１１と、下側挟持部８１１と平行に延在する上側挟持部８１２とを備えている。第１辺クランプ機構８０１および第２辺クランプ機構８０２では、下側挟持部８１１と上側挟持部８１２とによって、板状物１００が中央に貼着されている矩形テープ７におけるＹ軸方向に沿って対向する辺である第１辺部７１（図１２参照）をクランプすることができる。

第３辺クランプ機構８０３および第４辺クランプ機構８０４は、それぞれ、Ｙ軸方向に延在する直方体の下側挟持部８４１と、下側挟持部８４１と平行に延在する上側挟持部８４２とを備えている。第３辺クランプ機構８０３および第４辺クランプ機構８０４では、下側挟持部８４１と上側挟持部８４２とによって、板状物１００が中央に貼着されている矩形テープ７におけるＸ軸方向に沿って対向する辺である第２辺部７２（図１２参照）をクランプすることができる。

拡張ユニット８０は、さらに、図１に示すように、２つのＹ軸方向移動機構８８１、および、２つのＸ軸方向移動機構８８２を備えている。
Ｙ軸方向移動機構８８１は、第２装置ベース１１に配設されており、第１辺クランプ機構８０１および第２辺クランプ機構８０２のそれぞれに、１つずつ接続されている。Ｙ軸方向移動機構８８１は、第１辺クランプ機構８０１および第２辺クランプ機構８０２を、Ｙ軸方向に沿って移動させることができる。

Ｘ軸方向移動機構８８２は、第２装置ベース１１に配設されており、第３辺クランプ機構８０３および第４辺クランプ機構８０４のそれぞれに、１つずつ接続されている。Ｘ軸方向移動機構８８２は、第３辺クランプ機構８０３および第４辺クランプ機構８０４を、Ｘ軸方向に沿って移動させることができる。

また、拡張装置１は、制御部９を備えている。制御部９は、拡張装置１の各部材を制御することにより、拡張装置１の動作を制御する。
以下に、制御部９によって制御される拡張装置１の動作について説明する。

［保持工程］
拡張装置１の動作では、まず、作業者が、図１に示した保持機構２０における第１保持部２１の保持面２１１に、板状物１００を、表面１０１が下向きとなるように載置する。その後、制御部９が、保持面２１１に板状物１００の表面１０１を吸引保持させるとともに、移動機構４０によって、保持機構２０を貼着ユニット３０の上方側に移動させる。

［テープ貼着工程］
次に、制御部９は、図３（ｂ）に示した回転軸２４を中心に、第１保持部２１の保持面２１１を反転させる。これにより、板状物１００の裏面１０２が下向きになる。その後、制御部９は、昇降機構２７によって第１保持部２１を下降させて、第１保持部２１をテープ支持プレート２６の開口２６０に進入させ、テープ支持プレート２６の下面２６２に備えられているテープ被貼着部２８の内側に、板状物１００を位置づける。

図７に、この状態の保持機構２０、および、その下方に位置する貼着ユニット３０の構成を示す。制御部９は、貼着ユニット３０の送り出しローラ３４１を回転させることにより、テープロール２０１から帯状のテープ２を貼着ローラ３１へ向けて送り出す。帯状のテープ２が送り出しローラ３４１と挟み込みローラ３４２との間を通過すると、ピールプレート３７によって、帯状のテープ２が、テープ本体３と帯状離型フィルム４とに分離される。テープ本体３は、貼着ローラ３１を通ってテープ貼着機構３６側に送られる。

制御部９は、テープ貼着機構３６の移動部３６１を上昇させて、スタンプ３６０でテープ本体３を押し上げることにより、テープ支持プレート２６における＋Ｙ方向側のテープ被貼着部２８にテープ本体３を貼着する。

また、テープ本体３から分離された帯状離型フィルム４は、ガイドローラ３４３、錘３９および可動ローラ３４４と押さえローラ３４５との間を通過して、巻き取りローラ３８に、離型フィルムロール４０１として巻き取られていく。

その後、制御部９は、移動機構４０（図１参照）により、図８に示すように、保持機構２０を＋Ｙ方向に移動させる。これにより、板状物１００の裏面１０２が、テープ本体３に接触する。また、保持機構２０の移動に伴って、貼着ローラ３１が、図３（ｃ）に示したテープ支持プレート２６の２本のローラ用ガイド２９に沿って回転しながら、テープ本体３を上方に押圧して、板状物１００の裏面１０２および２本のローラ用ガイド２９に、テープ本体３を貼着していく。このようにして、テープ本体３が、板状物１００の裏面１０２の全面およびローラ用ガイド２９の全面に貼着される。

なお、この際、貼着ローラ３１は、撓み防止ローラ３５によって押圧されながら回転するため、テープ本体３の撓みを防止することができる。
また、制御部９は、送り出しローラ３４１のトルクを制御するとともに、移動機構４０による保持機構２０の移動速度を制御することにより、板状物１００の裏面１０２に貼着されるテープ本体３にわずかにテンションをかけて、テープ本体３に皺あるいは引きつりが発生することを抑制する。

図９に示すように、テープ本体３が、板状物１００の裏面１０２の全面に貼着され、かつ、－Ｙ方向側のテープ被貼着部２８に貼着された後、制御部９は、カッター部材３２によって、テープ本体３を切断する。具体的には、制御部９は、カッター収容部３２０からカッター刃３２１を突出させて、カッター刃３２１を、テープ本体３を切断可能な高さに位置づける。続いて、制御部９は、図３（ｂ）に示したガイドレール３２３に沿ってカッター刃３２１をＸ軸方向に移動させることにより、テープ本体３を切断して、矩形テープ７を形成する。さらに、制御部９は、テープ貼着機構３６の移動部３６１を上昇させて、スタンプ３６０によって、矩形テープ７を－Ｙ側のテープ被貼着部２８に押し付ける。

このようにして、板状物１００の裏面１０２、ならびに、テープ支持プレート２６のテープ被貼着部２８およびローラ用ガイド２９に、矩形テープ７が貼着される。これにより、テープ支持プレート２６は、図１０に示すように、搬送ユニット９０の角クランプ機構５２（図４参照）がクランプ可能に、板状物１００が貼着された矩形テープ７の４つの角部分７３を空けて、矩形テープ７の４辺を、テープ被貼着部２８およびローラ用ガイド２９によって支持することができる。

なお、制御部９は、テープ被貼着部２８およびローラ用ガイド２９を図示しない吸引源に連通させることにより、テープ被貼着部２８およびローラ用ガイド２９によって、矩形テープ７の４辺を吸引保持してもよい。

また、テープ貼着工程では、上述したようにテープ本体３にテンションをかけておくため、図１０に示すように、テープ本体３を切断することによって形成される矩形テープ７の角部分７３がめくれ上がる（跳ね上がる）ことがある。

［第１受渡工程］
この工程では、板状物１００が貼着された矩形テープ７を、保持機構２０から搬送ユニット９０に受け渡す。
具体的には、制御部９は、移動機構４０（図１参照）を用いて、図１１に示すように、保持機構２０を、搬送ユニット９０の受渡機構５０の上方側に移動する。なお、図１１では、保持機構２０におけるテープ支持プレート２６の近傍の構成を省略している。

そして、制御部９は、受渡機構５０の昇降機構５３によって、第２保持部５１（図４参照）を保持機構２０に接近する方向に上昇させることにより、第２保持部５１の保持面５１１によって矩形テープ７を介して板状物１００を保持するとともに、図６（ａ）に示すように、テープ支持プレート２６のテープ被貼着部２８およびローラ用ガイド２９によって四辺を支持されている矩形テープ７の角部分７３を、角ステージ５２０の支持面５４０に載置する。

この際、制御部９は、テープ支持プレート２６のエア噴出口２６４を、エア連通路２６６を介して、エア源２６５に連通させる。これにより、エア源２６５からのエアが、図６（ａ）に矢印４０２によって示すように、矩形テープ７の内側から外側に向かって、エア噴出口２６４から噴出する。すなわち、エア噴出口２６４が、テープ支持プレート２６が支持した板状物１００が貼着された矩形テープ７の角部分７３の上面に、中央側から外側に向かってエアを噴き付け、支持面５４０に矩形テープ７の角部分７３を倣わせる。

次に、制御部９は、図６（ｂ）に示すように、クランプ駆動部５５を用いて押さえ部５２１を閉じることによって、押さえ部５２１の下面と角ステージ５２０の支持面５４０とで、支持面５４０に倣った矩形テープ７の角部分７３をクランプするとともに、エア噴出口２６４とエア源２６５との連通を解除する。

その後、制御部９は、保持機構２０における第１保持部２１（図１０参照）による板状物１００の吸引保持を解除するとともに、テープ被貼着部２８およびローラ用ガイド２９による矩形テープ７の４辺の吸引保持を解除する。さらに、制御部９は、受渡機構５０の第２保持部５１（図４参照）に、矩形テープ７を介して板状物１００を吸引保持させる。このようにして、保持機構２０から受渡機構５０に、板状物１００が貼着された矩形テープ７を受け渡す。

［剥離工程］
次に、制御部９は、図１に示した搬送ユニット９０の受渡移動機構６０によって、受渡機構５０を、図１に示した剥離機構７０の真下に移動させる。そして、制御部９は、受渡機構５０により板状物１００を保持した状態を維持したまま、剥離機構７０を用いて、板状物１００の表面１０１から保護シート１０５を剥離する。

［第２受渡工程］
この工程では、板状物１００が貼着された矩形テープ７を、搬送ユニット９０から拡張ユニット８０に受け渡す。
具体的には、制御部９は、搬送ユニット９０の受渡移動機構６０によって、受渡機構５０を拡張ユニット８０の真下に移動させる。そして、制御部９は、受渡機構５０の昇降機構５３（図４参照）を制御して第２保持部５１の高さを調整することにより、第２保持部５１に保持されている板状物１００が貼着された矩形テープ７を、４つの辺クランプ機構８０１～８０４の間に配置する。

そして、制御部９は、図１２に示すように、２つのＹ軸方向移動機構８８１を用いて、第１辺クランプ機構８０１と第２辺クランプ機構８０２とを互いに接近させて、第１辺クランプ機構８０１および第２辺クランプ機構８０２によって、矩形テープ７におけるＹ軸方向に沿って対向する第１辺部７１をクランプする。
また、制御部９は、２つのＸ軸方向移動機構８８２を用いて、第３辺クランプ機構８０３と第４辺クランプ機構８０４とを互いに接近させて、第３辺クランプ機構８０３および第４辺クランプ機構８０４によって、矩形テープ７におけるＸ軸方向に沿って対向する第２辺部７２をクランプする。

そして、制御部９は、受渡機構５０の第２保持部５１による板状物１００の吸引保持を解除するとともに、角クランプ機構５２による矩形テープ７の角部分７３のクランプを解除する。このようにして、搬送ユニット９０から拡張ユニット８０に、板状物１００が貼着された矩形テープ７が受け渡される。

［拡張工程］
その後、制御部９は、拡張ユニット８０のＹ軸方向移動機構８８１を制御して、第１辺クランプ機構８０１と第２辺クランプ機構８０２とを、Ｙ軸方向において互いに離反するように移動させることによって、Ｙ軸方向において矩形テープ７を拡張する。さらに、制御部９は、Ｘ軸方向移動機構８８２を制御して、第３辺クランプ機構８０３と第４辺クランプ機構８０４とを、Ｘ軸方向において互いに離反するように移動させることによって、Ｘ軸方向において矩形テープ７を拡張する。これにより、板状物１００が、図１に示した分割起点１０３に沿って分割されて、それぞれ１つのデバイス１０４を有する複数のチップが形成されるとともに、チップ間に所定の間隔が形成される。

［洗浄・超音波処理工程］
その後、制御部９は、図１に示した第１フレーム搬送機構１６１を用いて矩形テープ７にフレームを載置し、フレーム処理部５９（図１１参照）を用いて、矩形テープ７をフレームに貼着して所定の形状を有するようにカットする。これによって、矩形テープ７、板状物１００およびフレームを含むフレームユニット（不図示）が作成される。さらに、制御部９は、第１フレーム搬送機構１６１および第２フレーム搬送機構１６２によって、フレームユニットを、洗浄領域Ｒ５（図２参照）に搬送して、洗浄装置によって洗浄する。さらに、制御部９は、フレームユニットを紫外線照射領域Ｒ６に搬送して、紫外線照射装置による硬化処理を実施する。

以上のように、本実施形態にかかる拡張装置１では、搬送ユニット９０が、テープ支持プレート２６のエア噴出口２６４から噴射したエアによって角ステージ５２０の支持面５４０に倣った矩形テープ７の角部分７３を、支持面５４０と押さえ部５２１の下面とでクランプして、拡張ユニット８０に搬送している。

すなわち、本実施形態では、図１０に示したように矩形テープ７の角部分７３がめくれ上がっている場合でも、図６（ａ）に示すように、エア噴出口２６４から噴射したエアによって、矩形テープ７の角部分７３を支持面５４０に倣せること、すなわち、角部分７３を支持面５４０に沿わせることができる。したがって、矩形テープ７の角部分７３を、支持面５４０と押さえ部５２１の下面とで良好にクランプすることができる。このため、クランプミスの発生を抑制することができるので、保持機構２０から搬送ユニット９０への板状物１００が貼着された矩形テープ７の受け渡しを、良好に実施することができる。

１：拡張装置、２：帯状のテープ、３：テープ本体、４：帯状離型フィルム、
７：矩形テープ、９：制御部、１０：第１装置ベース、１１：第２装置ベース、
１２：搬入口、１３：タッチパネル、１４：支持柱、１５：ガイド、
１７：フレームストッカー、２０：保持機構、２１：第１保持部、２２：固定台、
２３：ベース、２４：回転軸、２５：支持部、２６：テープ支持プレート、
２７：昇降機構、２８：テープ被貼着部、２９：ローラ用ガイド、
３０：貼着ユニット、３１：貼着ローラ、３２：カッター部材、
３５：撓み防止ローラ、３６：テープ貼着機構、３７：ピールプレート、
３８：巻き取りローラ、３９：錘、４０：移動機構、４１：ボールネジ、
４２：モータ、４３：ガイドレール、４４：移動基台、５０：受渡機構、
５１：第２保持部、５２：角クランプ機構、５３：昇降機構、５４：円板、
５５：クランプ駆動部、５６：傾き調整機構、５７：支持軸、
５９：フレーム処理部、６０：受渡移動機構、６１：ボールネジ、
６２：ガイドレール、６３：移動基台、６４：モータ、７０：剥離機構、
７１：第１辺部、７２：第２辺部、７３：角部分、
８０：拡張ユニット、９０：搬送ユニット、
１００：板状物、１０１：表面、１０２：裏面、１０３：分割起点、
１０４：デバイス、１０５：保護シート、
１６１：第１フレーム搬送機構、１６２：第２フレーム搬送機構、
２０１：テープロール、２１１：保持面、２６０：開口、
２６３：切り欠き部、２６４：エア噴出口、２６５：エア源、
２６６：エア連通路、３２０：カッター収容部、３２１：カッター刃、
３２３：ガイドレール、３４１：送り出しローラ、３４２：挟み込みローラ、
３４３：ガイドローラ、３４４：可動ローラ、３４５：押さえローラ、
３６０：スタンプ、３６１：移動部、４００：支持板、
４０１：離型フィルムロール、４０２：矢印、５００：枠体、５０１：ベース、
５１１：保持面、５２０：角ステージ、５２１：押さえ部、５２３：バネ、
５２４：シリンダ、５３０：エアシリンダ、５３１：ピストン、５４０：支持面、
５４１：第１ピストンロッド、５４２：第２ピストンロッド、
５４３：第１軸部、５４４：第２軸部、５６０：シリンダ、５６１：バネ、
６１１：ナット部、６３１：スライド部材、
８０１：第１辺クランプ機構、８０２：第２辺クランプ機構、
８０３：第３辺クランプ機構、８０４：第４辺クランプ機構、
８１１：下側挟持部、８１２：上側挟持部、８４１：下側挟持部、
８４２：上側挟持部、８８１：Ｙ軸方向移動機構、８８２：Ｘ軸方向移動機構、
Ｒ１：貼着領域、Ｒ１０：移動領域、Ｒ１１：移動領域、Ｒ１２：移動領域、
Ｒ１３：移動領域、Ｒ２：受渡領域、Ｒ３：剥離領域、Ｒ４：拡張領域、
Ｒ５：洗浄領域、Ｒ６：紫外線照射領域

Claims

分割起点を有する板状物が中央に貼着された矩形のテープを拡張する拡張装置であって、
板状物の上面を吸引保持する保持面を有した保持機構と、
該保持機構に保持された板状物に該テープを貼着する貼着ユニットと、
板状物が貼着された該テープの４辺を各々クランプする４つの辺クランプ機構を有し、対向する該辺クランプ機構を互いに遠ざかる方向に移動させることによって、板状物が貼着された該テープを拡張する拡張ユニットと、
板状物が貼着された該テープの４つの角部分を各々クランプする角クランプ機構を有し、該保持機構から該拡張ユニットに、板状物が貼着された該テープを搬送する搬送ユニットと、を備え、
該角クランプ機構は、
支持面で該テープの角部分の下面を支持する角ステージと、
該支持面に支持された該テープを押さえる押さえ部と、
該押さえ部を該角ステージの上方から該支持面に接近させるクランプ駆動部と、を備え、
該保持機構は、
該角クランプ機構がクランプ可能に該テープの４つの角部分を空けて、該テープの４辺を支持する支持機構と、
該支持機構が支持した該テープの角部分の上面に、中央側から外側に向かってエアを噴き付け、該支持面に該テープの角部分を倣わせるエアノズルと、を備え、
該搬送ユニットは、該エアノズルから噴射したエアによって該支持面に倣った該テープの角部分を、該支持面と該押さえ部の下面とでクランプして、該拡張ユニットに搬送する、
拡張装置。