JP7741725B2 - セラミックグリーンシート、セラミック基板、セラミックグリーンシートの製造方法およびセラミック基板の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、セラミックグリーンシート、セラミック基板、セラミックグリーンシートの製造方法およびセラミック基板の製造方法に関する。

電子デバイスの製造に用いられるセラミック基板を製造する際、その基板にレーザによりマーキングを施して、製造上有用な情報を記録する試みが知られている。

一例として、特許文献１には、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｖ、ＳｅおよびＣｕからなる群より選ばれる少なくとも１種の金属の単体、酸化物または複合酸化物を、変色剤として含むセラミック成形体を焼成し、そして得られた焼結体の特定部位を他の雰囲気中で加熱して、他の部位と色調が異なるマーキング部を形成することが記載されている。

別の例として、特許文献２の明細書や図面などには、マーカーパターンを含むセラミック板が記載されている。特許文献２において、マーカーパターンは具体的には二次元コードであり、セラミック板は具体的にはＡｌ_２Ｏ_３、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＡｌＮなどの素材でありうる。

特開２００１－９７７８６号公報 欧州特許出願公開第３３６１５０４号明細書

セラミック基板は、通常、セラミックグリーンシート（単にグリーンシートとも言う。以下同様。）を焼成することで製造される。特に、セラミック基板の製造効率化のため、（１）まず、大きめのグリーンシートを製造し、（２）そのグリーンシートを焼成して焼成体とし、（３）その焼成体を分割して個片化するという工程により、複数枚のセラミック基板を得ることがある。

近年、電子デバイスの更なる高性能化などに伴い、セラミック基板の品質の更なる向上、品質バラつきの低減、歩留まりの向上などが一層求められるようになってきている。
特に、上記（１）から（３）のような、大面積のグリーンシートを焼成してそれを個片化するという工程によりセラミック基板を製造する場合、品質バラつき低減や歩留まり向上のためには、製造の初期段階（すなわちグリーンシートの製造段階）から、適切な品質管理や製造条件の最適化を行うことが重要と考えられる。

よって、本発明者らは、今回、セラミックグリーンシートから複数枚のセラミック基板を製造するにあたり、適切な品質管理や製造条件の最適化を行うことができる新たな手段を提供することを目的の１つとして、鋭意検討を行った。

本発明者らは、鋭意検討の結果、以下に提供される発明を完成させ、上記課題を解決した。

本発明によれば、以下が提供される。

複数の基板形成領域を備えるセラミックグリーンシートであって、
当該セラミックグリーンシートの一部にはバーコードまたは二次元コードが描画されており、
前記バーコードまたは二次元コードは、以下（ａ）から（ｄ）の情報のうちの１または２以上がコード化されたものであるセラミックグリーンシート。
（ａ）当該セラミックグリーンシートを製造する際の原材料に関する情報
（ｂ）当該セラミックグリーンシートの成形条件に関する情報
（ｃ）複数枚の当該セラミックグリーンシートを堆積させる際に用いる離型剤に関する情報
（ｄ）シリアルナンバー

また、本発明によれば、
上記のセラミックグリーンシートの焼成体である、複数の基板形成領域を備えるセラミック基板
が提供される。

また、本発明によれば、
上記の複数の基板形成領域を備えるセラミック基板を分割したセラミック基板
が提供される。

また、本発明によれば、以下が提供される。

セラミックグリーンシートの製造方法であって、
複数の基板形成領域を備えるセラミックグリーンシートを準備する準備工程と、
前記セラミックグリーンシートの一部にレーザ光を照射してバーコードまたは二次元コードを描画する描画工程とを含み、
前記バーコードまたは二次元コードは、以下（ａ）から（ｄ）の情報のうちの１または２以上がコード化されたものである、セラミックグリーンシートの製造方法。
（ａ）当該セラミックグリーンシートを製造する際の原材料に関する情報
（ｂ）当該セラミックグリーンシートの成形条件に関する情報
（ｃ）複数枚の当該セラミックグリーンシートを堆積させる際に用いる離型剤に関する情報
（ｄ）シリアルナンバー

また、本発明によれば、
上記のセラミックグリーンシートの製造方法により得られたセラミックグリーンシートを焼成する焼成工程を含む、複数の基板形成領域を備えるセラミック基板の製造方法

また、本発明によれば、
上記の製造方法により得られた複数の基板形成領域を備えるセラミック基板を分割し、複数のセラミック基板を得る分割工程を含む、セラミック基板の製造方法
が提供される。

本発明は、セラミックグリーンシートから複数枚のセラミック基板を製造するにあたり、適切な品質管理や製造条件の最適化を行うことができる新たな手段を提供する。

図１（Ａ）は、本実施形態のセラミックグリーンシートを模式的に表した図である。図１（Ｂ）は、図１（Ａ）のαで示された部分を拡大して示した図である。 図２は、図１（Ａ）とは異なる、本実施形態のセラミックグリーンシートを模式的に表した図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ、詳細に説明する。
すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
煩雑さを避けるため、（ｉ）同一図面内に同一の構成要素が複数ある場合には、その１つのみに符号を付し、全てには符号を付さない場合や、（ｉｉ）特に図２以降において、図１と同様の構成要素に改めては符号を付さない場合がある。
すべての図面はあくまで説明用のものである。図面中の各部材の形状や寸法比などは、必ずしも現実の物品と対応しない。

本明細書における「（メタ）アクリル」との表記は、アクリルとメタクリルの両方を包含する概念を表す。「（メタ）アクリレート」等の類似の表記についても同様である。
本明細書における「電子デバイス」の語は、半導体チップ、半導体素子、プリント配線基板、電気回路ディスプレイ装置、情報通信端末、発光ダイオード、物理電池、化学電池など、電子工学の技術が適用された素子、デバイス、最終製品等を包含する意味で用いられる。
本明細書中に登場する「ＱＲコード」の語は、登録商標である。

＜セラミックグリーンシート（グリーンシート）＞
図１（Ａ）は、本実施形態のセラミックグリーンシート１（グリーンシート１とも略記する）を模式的に表した図である。また、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）のαで示された部分を拡大して示した図である。
グリーンシート１は、複数の基板形成領域２（破線で表示された長方形領域）を備えている。具体的には、図１（Ａ）のグリーンシート１には、縦に８列、横に４列の合計３２の基板形成領域２が存在する。
グリーンシート１は、基板形成領域２とは異なる領域として、例えば外周領域３を備えていてもよい。
グリーンシート１を構成する材料は、焼成によりセラミック基板となるものであれば特に限定されない。具体的な材料などについては後述する。

グリーンシート１の一部には、二次元コード５が描画されている。図１（Ａ）のグリーンシート１においては、各々の基板形成領域２に二次元コード５が描画されている（図１（Ｂ）も参照されたい）。なお、二次元コード５の代わりにバーコードが描画されていてもよい。
各々の二次元コード５（またはバーコード）は、以下（ａ）から（ｄ）の情報のうち１または２以上がコード化されたものである。
（ａ）セラミックグリーンシート１を製造する際の原材料に関する情報
（ｂ）セラミックグリーンシート１の成形条件に関する情報
（ｃ）セラミックグリーンシート１を堆積させる際に用いる離型剤に関する情報
（ｄ）シリアルナンバー（通し番号）

上述したとおり、最終製品たるセラミック基板の品質の更なる向上、品質バラつきの低減、歩留まりの向上などのためには、製造の初期段階（すなわちグリーンシートの製造段階）からの、適切な品質管理や製造条件の最適化が重要と考えられる。
グリーンシート１のように、焼成してセラミック基板を得る「前」の段階で、上記（ａ）から（ｄ）の情報のうち一または二以上を含む二次元コード５またはバーコードを描画しておくことで、上述の「製造の初期段階（すなわちグリーンシートの製造段階）からの、適切な品質管理や製造条件の最適化」を行いやすくすることができる。
別の言い方として、焼成前の段階のグリーンシート１に、適切な情報がコード化された二次元コード５またはバーコードを描画しておくことで、セラミック基板の製造の「最初から最後まで」を容易に追跡することが可能となる（トレーサビリティが上がる）。よって、セラミック基板の製造工程全体として、より適切な品質管理や製造条件の最適化を行いやすくなる。

（ａ）の原材料に関する情報とは、グリーンシート１を製造する際の素材およびその配合に関係する情報のことである。情報の具体例としては、グリーンシート１を製造する際に用いられる素材の化合物名称、素材の商品名、素材のグレード、素材中に含まれる粉末の粒径、各素材の入手先、各素材の配合量（配合比）、含まれる不純物の量、シート状に成形される前のスラリー（グリーンシート成形用の組成物）のロット番号などが挙げられる。もちろん、情報はこれらのみに限定されない。
例えば、グリーンシート１に、シート状に成形される前のスラリーのロット番号がコード化された二次元コード５またはバーコードを描画しておけば、スラリーのロット番号と、最終製品（セラミック基板）とを容易に紐付けることができる。すなわち、最終製品の原材料データと、最終製品の品質とを一対一に紐付けることができ、原材料の観点からの品質管理／品質向上をしやすくなる。

（ｂ）の成形条件に関する情報とは、例えば、後述する「・準備工程－成形」における各種成形条件に関する情報、成形ロット番号（１回またはまとまった複数回の成形工程ごとに付与される番号）などが挙げられる。もちろん、情報はこれらのみに限定されるものではない。
例えば、グリーンシート１に、成形ロット番号の情報がコード化された二次元コード５またはバーコードを描画しておけば、成形ロット番号と、最終製品（セラミック基板）とを容易に紐付けることができる。そして、成形ロット番号とともに、各成形ロットにおける各種成形条件を記録しておけば、成形条件と、最終製品の品質とを容易に紐付けることがでる。このことは、最終的に得られるセラミック基板の品質管理／品質向上をしやすくすることに資する。

（ｃ）の離型剤に関する情報とは、例えば、後述する「グリーンシートの堆積」において焼成後に得られる基板の分離を容易にするために用いられる離型剤（グリーンシートと反応しにくい性質を有する粉末など）の組成や使用量、離型剤のロット番号などが挙げられる。もちろん、情報はこれらのみに限定されるものではない。
例えば、グリーンシート１に、使用される／使用された離型剤のロット番号がコード化された二次元コード５またはバーコードを描画しておけば、離型剤のロット番号と、最終製品（セラミック基板）とを容易に紐付けることができる。すなわち、使用された離型剤のデータと、最終製品の品質とを一対一に紐付けることができ、最終的に得られるセラミック基板の品質管理／品質向上をしやすくなる。

（ｄ）のシリアルナンバー（通し番号）とは、一枚一枚のグリーンシート１ごとに異なる番号、または、一つ一つの基板形成領域２ごとに異なる番号のことである。

グリーンシート１の具体的態様などについての説明を続ける。

（バーコードまたは二次元コード５自体の態様）
情報量の多さの点では、グリーンシートには、バーコードではなく二次元コードが描画されることが好ましい。もちろん、情報量によってはバーコードで十分な場合もある。
二次元コード５は、汎用性や読み取り性などの観点から、ＱＲコードであることが好ましい。もちろん、二次元コード５はＱＲコードのみに限定されず、例えばＤａｔａＭａｔｒｉｘやＰＤＦ４１７などの他のフォーマットのものであってもよい。

バーコードまたは二次元コード５の大きさは、通常用いうる読み取り装置により読み取り可能であれば特に限定されない。典型的には、１ｍｍ×１ｍｍから５ｍｍ×５ｍｍ程度に収まる大きさである。適度な大きさとすることで、スペースを節約しつつ、十分な読み取り性を得ることができる。

一態様として、グリーンシート１におけるバーコードまたは二次元コード５が描画された部分には、バーコードの線または二次元コード５のセルに対応した凹部が存在している（態様１）。この凹部の深さは、好ましくは１０μｍ以上１００μｍ以下、より好ましくは１２μｍ以上８０μｍ以下である。
物理的な凹凸によりバーコードまたは二次元コード５が構成されていることにより、バーコードまたは二次元コードの読み取り性を一層高めることができる。また、グリーンシート１を焼成してセラミック基板としたときに色調が変わる等しても、バーコードまたは二次元コードの読み取り性を十分に得やすい、といった効果もある（特に、凹部の深さが１０μｍ以上であるときにこのような効果が大きい）。

別の態様として、バーコードまたは二次元コード５を構成する部分は、グリーンシート１の他の部分とは異なる色になっている（態様２）。例えば、バーコードまたは二次元コード５を構成するセル部分は、黒変している。
本実施形態では、例えば、グリーンシート１中にバインダー樹脂を含ませることで、レーザ光が照射されたときにそのバインダー樹脂を炭化させ、セル部分を黒変させることができる。

バーコードまたは二次元コード５は、上記の態様１と態様２の両方の特徴を備えるものであることが好ましい。両方の特徴を備えることにより、焼成前／焼成後のいずれにおいても読み取り性を一層高めることができる。

バーコードまたは二次元コード５は、典型的にはレーザにより描画することができる。レーザに関する具体的事項は後述する。

（バーコードまたは二次元コード５の設けられる位置や数など）
一態様として、バーコードまたは二次元コード５は、複数存在する基板形成領域２のうち、一つではなく二以上に描画されていることが好ましい。また、このとき、二以上のバーコードまたは二次元コードには、それぞれ互いに異なる情報がコード化されていることが好ましい。
一枚のグリーンシート１中に一つのみのバーコードまたは二次元コード５を設けるのではなく、二以上のバーコードまたは二次元コード５を設けることで、グリーンシート１を焼成および分割（個片化）して得られる最終的なセラミック基板の一枚一枚と、グリーンシート１とを紐付けることができる。すなわち、セラミック基板の製造工程全体としてのトレーサビリティを一層向上させることができる。
また、二以上のバーコードまたは二次元コードが、それぞれ、互いに異なる情報（例：異なるシリアルナンバー）がコード化されたものであることで、例えば、グリーンシート１を焼成する際の「炉内で置かれた位置」と、最終的なセラミック基板の品質とを紐付けることができる。セラミック基板の品質は微妙な焼成条件により変動することもありうる。よって、このような紐付けができることで、より適切な品質管理や製造条件の最適化を行いやすくなる。

特に、バーコードまたは二次元コード５を複数存在する基板形成領域２の全てに描画すること、さらには、それらバーコードまたは二次元コード５の全てにそれぞれ異なる情報を記録するようにすることで、上記のようなトレーサビリティの一層の向上メリットを顕著に得ることができる。

一方、別の態様として、バーコードまたは２次元コードは、図２のように、基板形成領域２とは異なる領域である外周領域３などに描画されていてもよい。
この場合、基板形成領域にはバーコードまたは二次元コード５は描画されないため、グリーンシート１と、それを焼成しさらに個片化した最終的なセラミック基板とを紐付けることはできない。しかし、グリーンシート１と、それを焼成したセラミック基板（複数の基板形成領域を備える）との紐付けはもちろん可能である。

図２の態様は、特に、最終的に製品となる基板形成領域２の部分に、「製品としては余計なもの」であるバーコードまたは二次元コード５を設けないという点でメリットがある。例えば、最終的なセラミック基板に「すき間なく」回路を形成したり素子を接続したりすることを重要視する場合には、図１ではなく図２のようにバーコードまたは二次元コードを描画することが好ましい。

（各種の大きさ等）
グリーンシート１の大きさは特に限定されない。量産性とハンドリング性の両立の観点からは、典型的には１００ｃｍ×１５０ｃｍから２５０ｃｍ×３５０ｃｍ程度である。
最終的に得ようとするセラミック基板の大きさにより様々であるが、一つ一つの基板形成領域２の大きさは、例えば７５ｃｍ×１１５ｃｍから１９０ｃｍ×２７０ｃｍ程度である。
量産性の観点などから、一枚のグリーンシート１は、２個から２００個の基板形成領域２を含むことが好ましい。

（グリーンシートの材料／製法）
グリーンシート１は、例えば、複数の基板形成領域を備えるグリーンシートを準備する準備工程と、そのグリーンシートの一部にレーザ光を照射してバーコードまたは二次元コードを描画する描画工程とを含む一連の工程により製造することができる。ここで、描画されるバーコードまたは二次元コードは、前述の（ａ）～（ｄ）の情報のうち１または２以上がコード化されたものである。

上述の「準備工程」は、具体的には、「素材の準備、混合」「成形」などの工程を含みうる。
以下、これら工程や、「描画工程」について説明する。

・準備工程－素材の準備、混合
グリーンシートは、典型的には、窒化物、酸化物、炭化物等の無機化合物の粉末、バインダー樹脂、焼結助剤、可塑剤、分散剤、溶媒などを含む混合物（混合物は、一例としてスラリー状である）を、成形することで製造することができる。

無機化合物の例としては、窒化ケイ素（Ｓｉ_３Ｎ_４）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、炭化ケイ素、酸化アルミニウムなどを挙げることができる。これらの中でも、窒化ケイ素と窒化アルミニウムが好ましい。
グリーンシート中の成分の均一性などの観点から、無機化合物の粉末の平均粒径は５μｍ以下であることが好ましい。

焼結助剤としては、希土類金属、アルカリ土類金属、金属酸化物、フッ化物、塩化物、硝酸塩、硫酸塩等を挙げることができる。これらは一種のみ用いてもよいし二種以上を併用してもよい。焼結助剤を用いることにより、無機化合物粉末の焼結を促進させることができる。
焼結助剤の使用量は、適度な焼結促進の観点から、無機化合物の粉末１００質量部に対して、１質量部以上１５質量部以下が好ましい。
好ましい焼結助剤として具体的には、イットリウム酸化物（Ｙ_２Ｏ_３）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）などを挙げることができる。

バインダー樹脂は、無機化合物の粉末等だけでは不十分な成形性を向上させるものであれば任意のものであってよい。本実施形態においては、特に、レーザ照射により黒変（炭化）して、バーコードまたは二次元コードのコントラストを高められるものが好ましい。この点で、バインダー樹脂は、典型的には有機樹脂バインダーである。有機樹脂バインダーは、常温で粉末であっても液体状であってもよい。
一例として、バインダー樹脂とは、メチルセルロース、エチルセルロース、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、（メタ）アクリル系樹脂等の少なくともいずれかであることが好ましい。

バインダー樹脂の量は、無機化合物の粉末１００質量部に対して０．５～３０質量部が好ましい。
適度に多くの量のバインダー樹脂を用いることで、シート状に成形しやすくなり、また、十分な成形体強度を得やすくなる。さらに、レーザ照射による十分な黒変（炭化）を得ることができ、バーコードまたは二次元コードのコントラスト向上に寄与する。一方、バインダー樹脂の量が適度に少ないことで、後述の脱脂処理の時間を短くできる傾向にある。

可塑剤としては、精製グリセリン、グリセリントリオレート、ジエチレングリコール、ジ－ｎ－ブチルフタレート等のフタル酸系可塑剤、セバシン酸ジ－２－エチルヘキシル等の二塩基酸系可塑剤、等が使用可能である。
可塑剤を用いる場合、その量は、無機化合物の粉末１００質量部に対して０．１～１０質量部が好ましい。適度に多い量の可塑剤を用いることで、グリーンシートに成形する際の亀裂発生などを抑えやすくなる傾向がある。一方、適度に少ない量の可塑剤を用いることで、グリーンシートの形状保持をしやすくなる。

分散剤は特に限定されないが、例えばポリ（メタ）アクリル酸塩、（メタ）アクリル酸－マレイン酸塩コポリマーが挙げられる。

溶媒としては、エタノールやトルエン等の有機溶媒が挙げられる。一方、地球環境への配慮や防爆設備対応を勘案すると、水（例えばイオン交換水や純水）の使用も可能である。
溶媒の使用量は、無機化合物の粉末１００質量部に対して１～６０質量部が好ましい。適切な量の溶媒を用いることで、グリーンシート形成時の適度な流動性と、グリーンシートの形状保持性とを両立することができる。

例えば、（１）まず、上記成分のうち無機化合物の粉末および焼結助剤を混合し、（２）次に、バインダー樹脂、可塑剤、有機溶剤等の他の成分を混合することで、グリーンシート成形用のスラリーを得ることができる。
ここでの混合は、例えばボールミル等を用いて行うことができる。

ちなみに、グリーンシート１を構成する素材は、上述の素材以外のものとして、レーザ光の照射により色変化する変色剤を含まないことが好ましい。また、そのような変色剤を含むとしても、グリーンシート１を構成する全固形分中の割合を０．０３質量％以下とすることが好ましい。例えば、グリーンシート１は、特許文献１に挙げられている、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｖ、ＳｅおよびＣｕからなる群より選ばれる少なくとも１種の金属の単体、酸化物または複合酸化物の変色剤を含まないか、含むとしても上記程度の量であることが好ましい。このような変色剤（特に金属元素を含有するもの）は、最終的なセラミック基板の性能等に意図せぬ影響を及ぼす可能性があるためである。

・準備工程－成形
上記のようにして得られたスラリーを成形して、グリーンシートを形成する。成形方法としては、例えばドクターブレード法を採用することができる。すなわち、一方向に進行するフィルム又はシートの表面に、ドクターブレード（刃）により調整可能な隙間から流出させたスラリーの層を設けることで、グリーンシートを形成することができる。
また、押出成形法により成形を行ってもよい。具体的には、押出成形に適した粘度・流動性に調整されたスラリーを、適当な装置を用いて押出成形することでグリーンシートを形成してもよい。

グリーンシートの厚さは、最終的に得ようとするセラミック基板の厚さや、焼成による収縮などを考慮して適宜設定すればよい。厚みは、典型的には０．２５ｍｍ以上１．４ｍｍ以下、好ましくは０．２５ｍｍ以上０．９ｍｍ以下、より好ましくは０．２５ｍｍ以上０．８ｍｍ以下である。

成形の際、グリーンシートに対して適宜乾燥処理を施してもよい。特に、スラリーが有機溶媒を含む場合、乾燥処理を行ってグリーンシート中に残存する有機溶剤の量を低減させることが好ましい。

ドクターブレード法で形成されたグリーンシートは通常長尺な帯状である。よって、通常は所定の形状・サイズに打ち抜くか分割する。打ち抜き／分割は、例えばプレス式の裁断機などにより行うことができる。

・描画工程（レーザ光の照射）
上記のようにして成形されたグリーンシートに対して、レーザ光を照射して、バーコードまたは二次元コードを描画することができる。レーザ光のエネルギーにより、レーザ光を当てた部分を、前述のように凹形状にしたり変色させたりすることができる。
これにより、例えば図１（Ａ）に示されるような、二次元コード５（またはバーコード）が描画され、かつ、複数の基板形成領域２を備えたグリーンシート１を製造することができる。

レーザ光の波長は、グリーンシート１に二次元コード５またはバーコードを描画できるものである限り特に限定されない。本実施形態では、例えば赤外線レーザ、具体的には波長１０６４ｎｍまたは１０７０ｎｍの赤外線レーザを用いることができる。また、別の例として、可視光レーザ、具体的には波長５３２ｎｍと紫外線レーザ、具体的には波長３５５ｎｍの紫外線レーザを用いることもできる。
実用的な観点からは、レーザとしては、市販のレーザマーカ等を用いることができる。

レーザ光の走査速度は特に限定されない。読み取り性十分な二次元コード５またはバーコードを描画することと生産性（スピード）の両立観点からは、５００ｍｍ／ｓから４０００ｍｍ／ｓ程度である。
レーザ光の出力は、グリーンシート１を構成する材料などにもよるが、例えば１Ｗから３０Ｗ程度である。
レーザがパルスレーザである場合の周波数は、３０ｋＨｚから１００ｋＨｚがよく、好ましくは４０ｋＨｚから６０ｋＨｚである。

＜セラミック基板およびその製造方法＞
本実施形態のグリーンシート（例えばグリーンシート１のような、複数の基板形成領域を備え、かつ、バーコードまたは二次元コードが描画されたグリーンシート）を焼成して焼成体とすることで、複数の基板形成領域を備えるセラミック基板を製造することができる。なお、このような基板のことを「多数個取り基板」などと表現する場合がある。
また、その複数の基板形成領域を備えるセラミック基板を分割して複数のセラミック基板を得る分割工程により、個片化されたセラミック基板を得ることができる。

一例として、以下のような「グリーンシートの堆積」「脱脂」および「焼結」の一連の工程により、グリーンシートを焼成して、複数の基板形成領域を備えるセラミック基板を製造することができる。また、以下に説明するような分割工程により、複数の基板形成領域を備えるセラミック基板を分割し、複数のセラミック基板を製造することができる。

・グリーンシートの堆積
セラミック基板を効率的に量産するために、複数枚のグリーンシートを堆積させて（重ねて）堆積体とすることが好ましい。ただし、焼成後の分離をしやすくするため、グリーンシート間には離型剤による離型層を設けることが好ましい。
離型層の厚みは特に限定されないが、典型的には１μｍから２０μｍ程度である。

離型層を設けるための粉末として、典型的には窒化ホウ素（ＢＮ）の粉末、またはそのスラリーを用いることができる。この粉末の平均粒径は、１μｍ以上２０μｍ以下であることが好ましい。
離型層は、例えば、窒化ホウ素の粉末のスラリーを、スプレー、ブラシ、ロールコート、スクリーン印刷等の方法により塗布することで形成することができる。

堆積するグリーンシートの枚数は、セラミック基板の効率的な量産と、後述の脱脂を十分に行うことの兼ね合いから、８枚以上１００枚以下とすることが好ましく、３０枚以上７０枚以下とすることがより好ましい。

・脱脂（バインダー樹脂等の有機物の除去）
グリーンシートはバインダー樹脂や可塑剤などの有機物を含有する。グリーンシートをこのまま焼成すると、最終的なセラミック基板中の炭素の残留が多くなり、セラミック基板の性能が低下してしまう。よって、後述の焼成の前に、堆積体を適当な温度で加熱して「脱脂」する（有機物を除去する）ことが好ましい。
脱脂は、例えば、４００℃以上８００℃以下の温度で、０．５時間以上２０時間かけて行う。適度な温度および時間とすることで、炭素の残留を少なくしつつ、無機化合物の酸化・劣化を抑えることができる。

・焼結
上記のように堆積および脱脂されたグリーンシートを、典型的には１７００℃から１９００℃程度に加熱することで焼結し、セラミック基板とすることができる。
ここでの加熱は、窒素、アルゴン、アンモニア、水素等の非酸化性ガス雰囲気下で行われることが好ましい。
ここでの加熱は、グリーンシート（または堆積体）を適当な容器に入れて行ってもよい。例えば、窒化物セラミック基板を製造する場合には、窒化ホウ素製、黒鉛製又は窒化ケイ素製等の容器にグリーンシート（または堆積体）を入れて加熱することが好ましい。
ここでの加熱は、加圧下で行われてもよい。加圧する場合の圧力は例えば０．５０ＭＰａから０．９７ＭＰａ程度である。

本実施形態においては、以上の工程を経た後においても、グリーンシートの段階で描画されていたバーコードまたは二次元コードを十分に認識することができる。よって、前述のようにセラミック基板の製造工程全体としてトレーサビリティ向上の効果を得ることができる。
特に、前述のように、物理的な凹凸により二次元コード５またはバーコードを構成することで、焼成後においても十分な読取性を得やすい傾向がある。

ちなみに、脱脂や焼結などより、セラミック基板全体および基板形成領域は、通常、縮む。上述のような材料を用いた場合、「グリーンシートの寸法÷セラミック基板の寸法」は、例えば１．１～１．４程度である。最終的に得ようとする基板形成領域の寸法（セラミック基板の寸法）から逆算して、グリーンシートはやや大きめに製造されることが好ましい。

・分割工程（個片化）
上記のようにして得られた、複数の基板形成領域を備えかつバーコードまたは二次元コードが描画されたセラミック基板を分割することで、個片化された複数のセラミック基板を製造することができる。

分割方法は特に限定されない。例えば、セラミック基板に分割溝が設けられている場合には、その分割溝部分に力を加えて個片化されたセラミック基板を得ることができる。
または、セラミック基板に曲げ応力を加えることで個片化してもよい。
または、ダイシングソー（回転刃）などの切削機械により分割を行ってもよい。

また、レーザを利用して分割工程を行ってもよい。具体的には、半導体基板の加工技術等として知られているレーザスクライビングの技術などを適用することが考えられる。ここでのレーザは、炭酸ガスレーザ、ＹＡＧレーザ等が好ましく、パルス周波数が１ｋＨｚ以上で、出力が５０Ｗから５００Ｗの程度炭酸ガスレーザより好ましい。

レーザを利用して分割工程を行う場合、レーザのみを用いてセラミック基板を個片化してもよいし、レーザとその他の方法を併用してセラミック基板を個片化してもよい。本発明者らの知見として、後者のほうが、微小なクラックの発生を一層低減できるため、より好ましい。もちろん、十分な品質の個片化されたセラミック基板が得られる限り、レーザのみを用いてセラミック基板を個片化してもよい。
後者の方法の具体例としては、まず、レーザを用いて、セラミック基板中の個片化すべき基板形成領域の周囲にスクライブラインを設ける。ここで、スクライブラインは、一例として、セラミック基板上に線状に連なって形成された複数の凹部により構成される（凹部の１つ１つがレーザ照射により形成される）。別の例として、スクライブラインは、特定の方向に伸びる溝状である。スクライブラインについては、特開２００７－３２４３０１号公報、特開２０１３－１７５６６７号公報、特開２０１４－４２０６６号公報などの記載も参照されたい。
セラミック基板にスクライブラインを設けた後、手作業または機械により、スクライブラインが設けられたセラミック基板に力を加える。これにより、セラミック基板は、スクライブラインの箇所で分割される。

レーザを利用する場合、アシストガスを併用することが好ましい。すなわち、レーザ光源の周囲からアシストガスを噴出させつつ基板にレーザを照射することで、効率性を高めたり、意図せぬ分解物や析出物の発生を抑えたり、といった効果が得られる場合がある。
効率性向上の観点からは、アシストガスとしては、酸素や空気等の酸化性ガスが好ましい。
アシストガスの噴出量は、アシストガスによる十分な効果を得ることと、粉塵の飛散防止等の兼ね合いから、０．１ｍ^３／分以上１．０ｍ^３／分以下であることが好ましい。
アシストガスを用いたレーザ加工（レーザスクライビング）については、例えば特開２００４－１８１５１５号公報の記載なども参照されたい。

分割においては、基板形成領域の一つ一つ全てを完全に個片化しなくてもよい。例えば、２個×２個の４つの基板形成領域を一単位として分割を行って、「四個取り基板」を得てもよい。

・その他工程
例えば、上記「焼結」と「分割工程」の間、「分割工程」の後、「分割工程」においてレーザを利用してスクライブラインを設ける工程と、その後の分割との間などに、金属回路の形成や電子素子の接続などを行ってもよい。これらのやり方については公知の方法を適宜適用することができる。

上述の各工程、素材・材料などについては、例えば、特開２０１８－７０４３６号公報、特許第６３９９２５２号公報の記載も参照されたい。

以上、本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することができる。また、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
以下、参考形態の例を付記する。
１．
複数の基板形成領域を備えるセラミックグリーンシートであって、
当該セラミックグリーンシートの一部にはバーコードまたは二次元コードが描画されており、
前記バーコードまたは二次元コードは、以下（ａ）から（ｄ）の情報のうちの１または２以上がコード化されたものであるセラミックグリーンシート。
（ａ）当該セラミックグリーンシートを製造する際の原材料に関する情報
（ｂ）当該セラミックグリーンシートの成形条件に関する情報
（ｃ）複数枚の当該セラミックグリーンシートを堆積させる際に用いる離型剤に関する情報
（ｄ）シリアルナンバー
２．
１．に記載のセラミックグリーンシートであって、
当該セラミックグリーンシートにおける前記バーコードまたは二次元コードが描画された部分には、前記バーコードの線または前記二次元コードのセルに対応した凹部が存在しているセラミックグリーンシート。
３．
２．に記載のセラミックグリーンシートであって、
前記凹部の深さが１０μｍ以上１００μｍ以下であるセラミックグリーンシート。
４．
１．～３．のいずれか１つに記載のセラミックグリーンシートであって、
前記複数の基板形成領域のうちの二以上に、バーコードまたは二次元コードが描画されているセラミックグリーンシート。
５．
４．に記載のセラミックグリーンシートであって、
前記二以上のバーコードまたは二次元コードは、それぞれ異なる情報がコード化されたものであるセラミックグリーンシート。
６．
１．～３．のいずれか１つに記載のセラミックグリーンシートであって、
前記複数の基板形成領域の全てにバーコードまたは二次元コードが描画されているセラミックグリーンシート。
７．
６．に記載のセラミックグリーンシートであって、
前記全てのバーコードまたは二次元コードは、それぞれ異なる情報がコード化されたものであるセラミックグリーンシート。
８．
１．～７．のいずれか１つに記載のセラミックグリーンシートであって、
窒化ケイ素および窒化アルミニウムからなる群より選ばれる少なくともいずれかを含むセラミックグリーンシート。
９．
１．～８．のいずれか１つに記載のセラミックグリーンシートであって、
バインダー樹脂を含むセラミックグリーンシート。
１０．
１．～９．のいずれか１つに記載のセラミックグリーンシートの焼成体である、複数の基板形成領域を備えるセラミック基板。
１１．
１０．に記載の複数の基板形成領域を備えるセラミック基板を分割したセラミック基板。
１２．
セラミックグリーンシートの製造方法であって、
複数の基板形成領域を備えるセラミックグリーンシートを準備する準備工程と、
前記セラミックグリーンシートの一部にレーザ光を照射してバーコードまたは二次元コードを描画する描画工程とを含み、
前記バーコードまたは二次元コードは、以下（ａ）から（ｄ）の情報のうちの１または２以上がコード化されたものである、セラミックグリーンシートの製造方法。
（ａ）当該セラミックグリーンシートを製造する際の原材料に関する情報
（ｂ）当該セラミックグリーンシートの成形条件に関する情報
（ｃ）複数枚の当該セラミックグリーンシートを堆積させる際に用いる離型剤に関する情報
（ｄ）シリアルナンバー
１３．
１２．に記載のセラミックグリーンシートの製造方法であって、
前記レーザ光が、赤外線レーザ光であるセラミックグリーンシートの製造方法。
１４．
１２．または１３．に記載のセラミックグリーンシートの製造方法により得られたセラミックグリーンシートを焼成する焼成工程を含む、複数の基板形成領域を備えるセラミック基板の製造方法。
１５．
１４．に記載の製造方法により得られた複数の基板形成領域を備えるセラミック基板を分割し、複数のセラミック基板を得る分割工程を含む、セラミック基板の製造方法。
１６．
１５．に記載のセラミック基板の製造方法において、レーザを利用して前記分割工程を行う、セラミック基板の製造方法。

本発明の実施態様を、実施例および比較例に基づき詳細に説明する。なお、本発明は実施例に限定されるものではない。

＜グリーンシートの製造およびセラミック基板の製造＞
１．グリーンシート製造用のスラリーの調製
まず、以下の「無機混合物１」、「無機混合物２」および「無機混合物３」を準備した
・無機混合物１
窒化ケイ素：９１．３質量％
Ｙ_２Ｏ_３：６．０質量％
ＭｇＯ：１．６質量％
ＳｉＯ_２：１．１質量％
・無機混合物２
窒化ケイ素：９５．２質量％
Ｙ_２Ｏ_３：３．３質量％
ＭｇＯ：１．５質量％
・無機混合物３
窒化アルミニウム：９４．２質量％
Ｙ_２Ｏ_３：４．０質量％
Ａｌ_２Ｏ_３：１．８質量％

上記において、各成分の詳細は以下のとおりである。
窒化ケイ素：デンカ社製、品番ＳＮ－９ＦＷＳ
窒化アルミニウム：デンカ社製、品番ＳＲ－７
Ｙ_２Ｏ_３：信越化学社製、品番ＵＵ
ＭｇＯ：岩谷化学社製、品番ＭＪ－３０
ＳｉＯ_２：デンカ社製、品番ＳＦＰ－３３０ＭＣ
Ａｌ_２Ｏ_３：大明化学社製、品番ＴＭ－５Ｄ

次に、１００質量部の無機混合物１、２または３に対して、下記のバインダー、可塑剤、分散剤および溶剤をボールミルに入れ、４８時間混合して、窒化ケイ素スラリーを得た。ボールミルのボールは窒化ケイ素製φ２５ｍｍのボールを用いた。

バインダー：ポリビニルアルコール １８．１質量部
分散剤：ソルビタン脂肪酸エステル ０．４質量部
可塑剤：トリエチレングリコール ９．１質量部
溶剤：トルエン ２０．２質量部
メチルエチルケトン（ＭＥＫ） ２０．２質量部
メタノール ６．７質量部
アセトン ６．７質量部

２．グリーンシートの成形
成形は、ドクターブレード法で行った。
具体的には、流延速度０．５ｍ／分で、上記で得られた窒化ケイ素スラリーを流延し、適宜乾燥させ、そして金型で打ち抜くことで、１７７ｍｍ×２４５ｍｍ×０．４４ｍｍｔのグリーンシートを得た。
（焼成後のサイズは、１３６．２ｍｍ×１８８．５ｍｍとなる）

ここで、１枚のグリーンシートが含む基板形成領域（区画）の数は、図１のように４列×８行＝３２個であり、１つの基板形成領域の大きさは４０．３ｍｍ×２８．６ｍｍである。また、基板形成領域の外周部には、外周領域（非基板形成領域）を含む。

３．二次元コードの描画
上記の成形により得られたグリーンシートの、複数の基板形成領域の全てに対し、レーザマーカを用いて、１セル当たり１００～２５０μｍの大きさ（表１に記載）で、１６セル×１６セルのＱＲコードを１つずつ描画した。
ＱＲコードに記録する情報には、少なくとも、（ｄ）シリアルナンバーを含めた。シリアルナンバーは、１から開始される連番のシリアルナンバーとした。すなわち、３２個の基板形成領域に対し、順番に、１、２、３・・・の通し番号をコード化したＱＲコードを描画した。また、実施例１２～１５では、シリアルナンバーに加えて、前述の（ａ）～（ｃ）に関する情報も、ＱＲコードに記録する情報に含めた（詳細は表１を参照されたい）。

レーザマーカについては、実施例１～１７および２０では、キーエンス社の「ＭＤ－Ｘシリーズ」のうち、波長１０６４ｎｍ、最大出力２５Ｗの赤外線レーザが搭載されたものを用いた。走査速度等の各種条件は表１に記載のようにした。
一方、実施例１８および１９では、キーエンス社のレーザマーカ「ＭＤ－Ｕシリーズ」で、波長３５５ｎｍ、最大出力２．５Ｗの紫外光レーザが搭載されたものを用いた。また、実施例１９では、キーエンス社のレーザマーカ「ＭＤ－Ｘシリーズ」のうち、波長５３２ｎｍ、最大出力４Ｗの可視光レーザが搭載されたものを用いた。

描画されたＱＲコードの描画された部分には、ＱＲコードのセルに対応した凹部が形成されていた。また、グリーンシート中のバインダー樹脂の化学変化（炭化等）によると考えられる黒変が生じていた。

４．グリーンシートの堆積、脱脂、焼成等
以下手順により、複数の基板形成領域を備えるセラミック基板（焼結体）を得た。
（１）まず、２次元コードを印字したグリーンシートの、描画面とは逆側の面に、窒化ホウ素粉を堆積させた。
（２）次に、多孔質窒化ホウ素からなるセラミック焼成用セッター（デンカ社製、ＮＢ１０００）の上に、（１）で窒化ホウ素粉を堆積させたグリーンシートを６０枚積層した。
（３）（２）で得られた積層体に、８０ｋｇの脱脂用の荷重をかけ、そして、Ａｉｒを入れながら５３０℃で１５時間保った。これにより脱脂を行った。
（４）脱脂の後、脱脂用の荷重を除去し、代わりに１．５ｋｇのタングステン製の重石を乗せた。これを多孔質窒化ホウ素からなる焼成容器に入れ、１８００℃、０．８８ＭＰａで５時間焼成した。

５．個片化（分割）
特開２００４－１８１５１５号公報の実施例（段落００１８等）に記載の条件を参考にして、ＣＯ_２レーザを用いて、上記４．で得たセラミック基板にスクライブライン（分割溝）を設けた。
その後、手作業でセラミック基板を折り曲げることで、スクライブラインに沿ってセラミック基板を分割した。そして個片化されたセラミック基板を得た。

＜評価：加工深さ＞
（ｉ）グリーンシートに描画されたＱＲコードと、（ｉｉ）グリーンシートを焼成して個片化した後のセラミック基板上のＱＲコードにおいて、ＱＲコードのセルに対応した凹部の最大深さを測定した。測定は、キーエンス社の３Ｄ形状測定器ＶＲ－３０００を用いて行った。

＜評価：読取性＞
キーエンス社のコードリーダＳＲ－２０００を用い、読取距離１００ｍｍ、３１０万画素（２０４８×１５３６ピクセル）の条件で、（ｉ）グリーンシートに描画されたＱＲコードと、（ｉｉ）グリーンシートを焼成して個片化した後のセラミック基板上のＱＲコードを読み取った。そして、以下の２つの指標により評価した。
（１）読取成功率
１つのＱＲコードを１０回読み込んで、何回読み取れるかを評価した。
（２）マッチングレベル評価
キーエンス社が定めている規格である「マッチングレベル」（読取の余裕度の指標）を求めた。これの数値が大きいことは、エラーが少なく正確な読取ができることに対応する。

評価結果等をまとめて下表に示す。

上記に示されるように、グリーンシートに適切に二次元コードを描画することで、そのグリーンシートを焼成、個片化（分割）してセラミック基板としても、二次元コードを良好に読み取ることができた。
すなわち、グリーンシートに適切に二次元コード（またはバーコード）を描画することで、セラミック基板の製造の「最初から最後まで」を容易に追跡できるようになること、そしてそのことにより、セラミック基板の製造工程全体として、より適切な品質管理や製造条件の最適化を行いやすくなることが示された。

ちなみに、実施例２０と他の実施例の比較から、ある程度大きな出力のレーザにより描画を行い、１０μｍ以上程度の深さのセルを加工することが、読み取り性の更なる向上に好ましいことが分かる。

この出願は、２０１９年３月１日に出願された日本出願特願２０１９－０３７５９５号を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。

１ グリーンシート（セラミックグリーンシート）
２ 基板形成領域
３ 外周領域
５ 二次元コード

Claims (21)

1. 複数の基板形成領域を備える単層のセラミックグリーンシートであって、
   当該セラミックグリーンシートの一部にはバーコードまたは二次元コードが描画されており、
   前記バーコードまたは二次元コードは、以下（ａ）から（ｃ）の情報のうちの１または２以上がコード化されたものであり、
   当該セラミックグリーンシートにおける前記バーコードまたは二次元コードが描画された部分には、前記バーコードの線または前記二次元コードのセルに対応した凹部が存在している、かつ／または、当該セラミックグリーンシートはバインダー樹脂を含み、前記バーコードまたは二次元コードが描画された部分は、前記バインダー樹脂の炭化物により黒変しているセラミックグリーンシート。
   （ａ）当該セラミックグリーンシートを製造する際の原材料に関する情報
   （ｂ）当該セラミックグリーンシートの成形条件に関する情報
   （ｃ）複数枚の当該セラミックグリーンシートを堆積させて焼成する際に、セラミックグリーンシート間に離型層を設けるために用いることが予定されている離型剤に関する情報
2. 複数の基板形成領域を備えるセラミックグリーンシートであって、
   当該セラミックグリーンシートの一部にはバーコードまたは二次元コードが描画されており、
   当該セラミックグリーンシートは、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、炭化ケイ素および酸化アルミニウムからなる群より選ばれる少なくともいずれかを含み、
   前記バーコードまたは二次元コードは、以下（ａ）から（ｃ）の情報のうちの１または２以上がコード化されたものであり、
   当該セラミックグリーンシートにおける前記バーコードまたは二次元コードが描画された部分には、前記バーコードの線または前記二次元コードのセルに対応した凹部が存在している、かつ／または、当該セラミックグリーンシートはバインダー樹脂を含み、前記バーコードまたは二次元コードが描画された部分は、前記バインダー樹脂の炭化物により黒変しているセラミックグリーンシート。
   （ａ）当該セラミックグリーンシートを製造する際の原材料に関する情報
   （ｂ）当該セラミックグリーンシートの成形条件に関する情報
   （ｃ）複数枚の当該セラミックグリーンシートを堆積させて焼成する際に、セラミックグリーンシート間に離型層を設けるために用いることが予定されている離型剤に関する情報
3. 複数の基板形成領域を備える単層のセラミックグリーンシートであって、
   当該セラミックグリーンシートの一部には、バーコード、または、ＱＲコード、ＤａｔａＭａｔｒｉｘおよびＰＤＦ４１７からなる群より選ばれる１以上の二次元コード、が描画されており、
   前記バーコードまたは二次元コードは、以下（ａ）から（ｄ）の情報のうちの１または２以上がコード化されたものであり、
   当該セラミックグリーンシートにおける前記バーコードまたは二次元コードが描画された部分には、前記バーコードの線または前記二次元コードのセルに対応した凹部が存在している、かつ／または、当該セラミックグリーンシートはバインダー樹脂を含み、前記バーコードまたは二次元コードが描画された部分は、前記バインダー樹脂の炭化物により黒変しているセラミックグリーンシート。
   （ａ）当該セラミックグリーンシートを製造する際の原材料に関する情報
   （ｂ）当該セラミックグリーンシートの成形条件に関する情報
   （ｃ）複数枚の当該セラミックグリーンシートを堆積させて焼成する際に、セラミックグリーンシート間に離型層を設けるために用いることが予定されている離型剤に関する情報
   （ｄ）シリアルナンバー
4. 複数の基板形成領域を備えるセラミックグリーンシートであって、
   当該セラミックグリーンシートの一部には、バーコード、または、ＱＲコード、ＤａｔａＭａｔｒｉｘおよびＰＤＦ４１７からなる群より選ばれる１以上の二次元コード、が描画されており、
   当該セラミックグリーンシートは、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、炭化ケイ素および酸化アルミニウムからなる群より選ばれる少なくともいずれかを含み、
   前記バーコードまたは二次元コードは、以下（ａ）から（ｄ）の情報のうちの１または２以上がコード化されたものであり、
   当該セラミックグリーンシートにおける前記バーコードまたは二次元コードが描画された部分には、前記バーコードの線または前記二次元コードのセルに対応した凹部が存在している、かつ／または、当該セラミックグリーンシートはバインダー樹脂を含み、前記バーコードまたは二次元コードが描画された部分は、前記バインダー樹脂の炭化物により黒変しているセラミックグリーンシート。
   （ａ）当該セラミックグリーンシートを製造する際の原材料に関する情報
   （ｂ）当該セラミックグリーンシートの成形条件に関する情報
   （ｃ）複数枚の当該セラミックグリーンシートを堆積させて焼成する際に、セラミックグリーンシート間に離型層を設けるために用いることが予定されている離型剤に関する情報
   （ｄ）シリアルナンバー
5. 請求項１～４のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシートであって、
   前記凹部が存在し、その凹部の深さが１０μｍ以上１００μｍ以下であるセラミックグリーンシート。
6. 請求項１～５のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシートであって、
   前記複数の基板形成領域のうちの二以上に、バーコードまたは二次元コードが描画されているセラミックグリーンシート。
7. 請求項６に記載のセラミックグリーンシートであって、
   前記二以上のバーコードまたは二次元コードは、それぞれ異なる情報がコード化されたものであるセラミックグリーンシート。
8. 請求項１～７のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシートであって、
   前記複数の基板形成領域の全てにバーコードまたは二次元コードが描画されているセラミックグリーンシート。
9. 請求項８に記載のセラミックグリーンシートであって、
   前記全てのバーコードまたは二次元コードは、それぞれ異なる情報がコード化されたものであるセラミックグリーンシート。
10. 請求項１～９のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシートであって、
    窒化ケイ素および窒化アルミニウムからなる群より選ばれる少なくともいずれかを含むセラミックグリーンシート。
11. 請求項１～１０のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシートであって、
    バインダー樹脂を含むセラミックグリーンシート。
12. 請求項１～１１のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシートの焼成体である、複数の基板形成領域を備えるセラミック基板。
13. 請求項１２に記載の複数の基板形成領域を備えるセラミック基板を分割したセラミック基板。
14. セラミックグリーンシートの製造方法であって、
    複数の基板形成領域を備える単層のセラミックグリーンシートを準備する準備工程と、
    前記セラミックグリーンシートの一部にレーザ光を照射してバーコードまたは二次元コードを描画する描画工程とを含み、
    前記描画工程により、前記バーコードまたは二次元コードが描画された部分には、前記バーコードの線または前記二次元コードのセルに対応した凹部が形成され、かつ／または、前記セラミックグリーンシートはバインダー樹脂を含み、前記描画工程により、前記バーコードまたは二次元コードが描画された部分は、前記バインダー樹脂の炭化物により黒変し、
    前記バーコードまたは二次元コードは、以下（ａ）から（ｃ）の情報のうちの１または２以上がコード化されたものである、セラミックグリーンシートの製造方法。
    （ａ）当該セラミックグリーンシートを製造する際の原材料に関する情報
    （ｂ）当該セラミックグリーンシートの成形条件に関する情報
    （ｃ）複数枚の当該セラミックグリーンシートを堆積させて焼成する際に、セラミックグリーンシート間に離型層を設けるために用いることが予定されている離型剤に関する情報
15. セラミックグリーンシートの製造方法であって、
    複数の基板形成領域を備えるセラミックグリーンシートを準備する準備工程と、
    前記セラミックグリーンシートの一部にレーザ光を照射してバーコードまたは二次元コードを描画する描画工程とを含み、
    前記セラミックグリーンシートは、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、炭化ケイ素および酸化アルミニウムからなる群より選ばれる少なくともいずれかを含み、
    前記描画工程により、前記バーコードまたは二次元コードが描画された部分には、前記バーコードの線または前記二次元コードのセルに対応した凹部が形成され、かつ／または、前記セラミックグリーンシートはバインダー樹脂を含み、前記描画工程により、前記バーコードまたは二次元コードが描画された部分は、前記バインダー樹脂の炭化物により黒変し、
    前記バーコードまたは二次元コードは、以下（ａ）から（ｃ）の情報のうちの１または２以上がコード化されたものである、セラミックグリーンシートの製造方法。
    （ａ）当該セラミックグリーンシートを製造する際の原材料に関する情報
    （ｂ）当該セラミックグリーンシートの成形条件に関する情報
    （ｃ）複数枚の当該セラミックグリーンシートを堆積させて焼成する際に、セラミックグリーンシート間に離型層を設けるために用いることが予定されている離型剤に関する情報
16. セラミックグリーンシートの製造方法であって、
    複数の基板形成領域を備える単層のセラミックグリーンシートを準備する準備工程と、
    前記セラミックグリーンシートの一部にレーザ光を照射して、バーコード、または、ＱＲコード、ＤａｔａＭａｔｒｉｘおよびＰＤＦ４１７からなる群より選ばれる１以上の二次元コード、を描画する描画工程とを含み、
    前記描画工程により、前記バーコードまたは二次元コードが描画された部分には、前記バーコードの線または前記二次元コードのセルに対応した凹部が形成され、かつ／または、前記セラミックグリーンシートはバインダー樹脂を含み、前記描画工程により、前記バーコードまたは二次元コードが描画された部分は、前記バインダー樹脂の炭化物により黒変し、
    前記バーコードまたは二次元コードは、以下（ａ）から（ｄ）の情報のうちの１または２以上がコード化されたものである、セラミックグリーンシートの製造方法。
    （ａ）当該セラミックグリーンシートを製造する際の原材料に関する情報
    （ｂ）当該セラミックグリーンシートの成形条件に関する情報
    （ｃ）複数枚の当該セラミックグリーンシートを堆積させて焼成する際に、セラミックグリーンシート間に離型層を設けるために用いることが予定されている離型剤に関する情報
    （ｄ）シリアルナンバー
17. セラミックグリーンシートの製造方法であって、
    複数の基板形成領域を備えるセラミックグリーンシートを準備する準備工程と、
    前記セラミックグリーンシートの一部にレーザ光を照射して、バーコード、または、ＱＲコード、ＤａｔａＭａｔｒｉｘおよびＰＤＦ４１７からなる群より選ばれる１以上の二次元コード、を描画する描画工程とを含み、
    前記セラミックグリーンシートは、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、炭化ケイ素および酸化アルミニウムからなる群より選ばれる少なくともいずれかを含み、
    前記描画工程により、前記バーコードまたは二次元コードが描画された部分には、前記バーコードの線または前記二次元コードのセルに対応した凹部が形成され、かつ／または、前記セラミックグリーンシートはバインダー樹脂を含み、前記描画工程により、前記バーコードまたは二次元コードが描画された部分は、前記バインダー樹脂の炭化物により黒変し、
    前記バーコードまたは二次元コードは、以下（ａ）から（ｄ）の情報のうちの１または２以上がコード化されたものである、セラミックグリーンシートの製造方法。
    （ａ）当該セラミックグリーンシートを製造する際の原材料に関する情報
    （ｂ）当該セラミックグリーンシートの成形条件に関する情報
    （ｃ）複数枚の当該セラミックグリーンシートを堆積させて焼成する際に、セラミックグリーンシート間に離型層を設けるために用いることが予定されている離型剤に関する情報
    （ｄ）シリアルナンバー
18. 請求項１４～１７のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシートの製造方法であって、
    前記レーザ光が、赤外線レーザ光であるセラミックグリーンシートの製造方法。
19. 請求項１４～１８のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシートの製造方法により得られたセラミックグリーンシートを焼成する焼成工程を含む、複数の基板形成領域を備えるセラミック基板の製造方法。
20. 請求項１９に記載の製造方法により得られた複数の基板形成領域を備えるセラミック基板を分割し、複数のセラミック基板を得る分割工程を含む、セラミック基板の製造方法。
21. 請求項２０に記載のセラミック基板の製造方法において、レーザを利用して前記分割工程を行う、セラミック基板の製造方法。