JPH01100093U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01100093U JPH01100093U JP1987194933U JP19493387U JPH01100093U JP H01100093 U JPH01100093 U JP H01100093U JP 1987194933 U JP1987194933 U JP 1987194933U JP 19493387 U JP19493387 U JP 19493387U JP H01100093 U JPH01100093 U JP H01100093U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction tube
- pillar
- clamp
- lid
- flange
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図〜第３図は、本考案の実施例を示す斜視
図であり、第４図は、従来の縦型減圧気相成長装
置用反応管を示す断面図である。 図中、２１……反応管、２２……反応管上端フ
ランジ部、２４……蓋部、２５……反応管下端フ
ランジ部、２６……排気管接続部、３０……反応
管移動台、３１……案内レール、３２……柱、３
３……反応管保持クランプ、３９……角形移動パ
イプ。
図であり、第４図は、従来の縦型減圧気相成長装
置用反応管を示す断面図である。 図中、２１……反応管、２２……反応管上端フ
ランジ部、２４……蓋部、２５……反応管下端フ
ランジ部、２６……排気管接続部、３０……反応
管移動台、３１……案内レール、３２……柱、３
３……反応管保持クランプ、３９……角形移動パ
イプ。
Claims (1)
- 上下動し得るように構成した反応管と、該反応
管を上昇させた時蓋部に密着し得るようにした反
応管上端フランジ部と、前記反応管を載せて移動
し得るようにした移動台に立設した柱と、該柱の
上端に固定したクランプとを具備してなり、反応
管脱着の際は、前記クランプで反応管を保持する
ようにしたことを特徴とする反応管脱着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987194933U JPH01100093U (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987194933U JPH01100093U (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01100093U true JPH01100093U (ja) | 1989-07-05 |
Family
ID=31485636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987194933U Pending JPH01100093U (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01100093U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04163917A (ja) * | 1990-10-29 | 1992-06-09 | Fujitsu Ltd | 半導体の製造装置 |
| JP2008251927A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Koyo Thermo System Kk | 熱処理容器 |
-
1987
- 1987-12-24 JP JP1987194933U patent/JPH01100093U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04163917A (ja) * | 1990-10-29 | 1992-06-09 | Fujitsu Ltd | 半導体の製造装置 |
| JP2008251927A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Koyo Thermo System Kk | 熱処理容器 |