JPH01101457A - 超音波顕微鏡用トランスジューサ - Google Patents
超音波顕微鏡用トランスジューサInfo
- Publication number
- JPH01101457A JPH01101457A JP62260184A JP26018487A JPH01101457A JP H01101457 A JPH01101457 A JP H01101457A JP 62260184 A JP62260184 A JP 62260184A JP 26018487 A JP26018487 A JP 26018487A JP H01101457 A JPH01101457 A JP H01101457A
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- Japan
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- transducer
- thin film
- recessed surface
- electrode
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- Pending
Links
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- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 7
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産 ｆ（７） 右１Ｂ瀝１
本発明は、高いＳ／Ｎ比を有する圧電性高分子薄膜を用
いた超音波顕微鏡用トランスジューサに関するものであ
る。
いた超音波顕微鏡用トランスジューサに関するものであ
る。
灸末皮４
最近、高周波超音波技術の進歩に伴って、物体の表面や
物体の内部の微細な構造、欠陥あるいは粘弾性などの物
性を音響的に検出して、映像化す葛超′音波顕微鏡が実
用に供せられるに至っている。
物体の内部の微細な構造、欠陥あるいは粘弾性などの物
性を音響的に検出して、映像化す葛超′音波顕微鏡が実
用に供せられるに至っている。
この目的の超音波顕微鏡用トランスジューサは、（ｉ）
送受感度が高い、（ｉｔ）音波の集束性が良い、（ｉｉ
ｉ）広帯域セ動作する（パルス応答性が良い）、（ｔｖ
’）高いＳ／Ｎ比を持つ（ダイナミックレンジが広い）
、（ｖ）大きい開口角を持つ、などの特性を持つことが
必要であり、また、超音波顕微鏡においては数１０ＭＨ
ｚから１００１００Ｏの範囲の周波数が最も良く用いら
れている。
送受感度が高い、（ｉｔ）音波の集束性が良い、（ｉｉ
ｉ）広帯域セ動作する（パルス応答性が良い）、（ｔｖ
’）高いＳ／Ｎ比を持つ（ダイナミックレンジが広い）
、（ｖ）大きい開口角を持つ、などの特性を持つことが
必要であり、また、超音波顕微鏡においては数１０ＭＨ
ｚから１００１００Ｏの範囲の周波数が最も良く用いら
れている。
また、従来から用′いられてきた超音波顕微鏡用トラン
スジューサは、第２図に示すように柱状の音響レンズ１
は音響放射面１ａを凹面に形成し、また背面１ｂを平面
に加工し、この音響レンズ１の背面１ｂにスパッタリン
グで無機圧電体薄膜・２が被着形成されて構成されてい
る。この音響レンズ１には主としてサアフィア単結晶が
用いられ、また無機圧電体薄膜２には、ＺｎＯが用いら
れている。′さらに、音響レンズ１と音波伝播媒体（カ
ップリング液体）との音響整合をとるために、通常音響
レンズｌの凹面の音響放射面１ａに音９！整合層３が設
けられている。
スジューサは、第２図に示すように柱状の音響レンズ１
は音響放射面１ａを凹面に形成し、また背面１ｂを平面
に加工し、この音響レンズ１の背面１ｂにスパッタリン
グで無機圧電体薄膜・２が被着形成されて構成されてい
る。この音響レンズ１には主としてサアフィア単結晶が
用いられ、また無機圧電体薄膜２には、ＺｎＯが用いら
れている。′さらに、音響レンズ１と音波伝播媒体（カ
ップリング液体）との音響整合をとるために、通常音響
レンズｌの凹面の音響放射面１ａに音９！整合層３が設
けられている。
目が ゛ しようとする４
このように構成された従来のタイプの超音波顕微鏡用ト
ランスジューサは、音響レンズ１内で長波が拡散し、ま
た横波が発生するので、これらがノイズの原因となり、
Ｓ／Ｎ比を低下させ、また音響レンズ１の音響放射面１
ａで音波が強く多重反射するので、この信号と被検査体
からの反射信号が重畳し、大きいダイナミックレンジが
得られないという欠点があった。
ランスジューサは、音響レンズ１内で長波が拡散し、ま
た横波が発生するので、これらがノイズの原因となり、
Ｓ／Ｎ比を低下させ、また音響レンズ１の音響放射面１
ａで音波が強く多重反射するので、この信号と被検査体
からの反射信号が重畳し、大きいダイナミックレンジが
得られないという欠点があった。
また、第３図に示すように、本発明者らが提案した超音
波顕微鏡用トランスジューサでは、凹面４ａが形成され
た基体４は金属からなり、この基体４は金属円筒５の中
に絶縁体６とともに同軸状に収納されている。そして、
凹面４ａ及びその周囲に圧電膜振動子７が形成され、さ
らに、この圧電膜振動子７の上に薄膜電極８が形成され
ている。
波顕微鏡用トランスジューサでは、凹面４ａが形成され
た基体４は金属からなり、この基体４は金属円筒５の中
に絶縁体６とともに同軸状に収納されている。そして、
凹面４ａ及びその周囲に圧電膜振動子７が形成され、さ
らに、この圧電膜振動子７の上に薄膜電極８が形成され
ている。
この超音波トランスジューサでは、凹面４ａの部分の圧
電膜振動子７から発生した超音波が基体４側へ入射する
と、基体４の側面部４ｂに超音波の一部が当り、この側
面部４ｂに当った超音波の反射波が凹面４ａの圧電膜振
動子７に戻り、ノイズ信号を発生させる。また、基体４
の側面部４ｂの加工が粗面に仕上がっている場合には、
特にノイズ信号が大きいという欠点があった。
電膜振動子７から発生した超音波が基体４側へ入射する
と、基体４の側面部４ｂに超音波の一部が当り、この側
面部４ｂに当った超音波の反射波が凹面４ａの圧電膜振
動子７に戻り、ノイズ信号を発生させる。また、基体４
の側面部４ｂの加工が粗面に仕上がっている場合には、
特にノイズ信号が大きいという欠点があった。
ｊＩ ？Ｆを るための
本発明は、上記問題点を解決するために、端部に凹面部
を形成した基体と、該基体の少なくとも前記凹面部に形
成した背面電極と、この背面電極の表面に被着された圧
電性高分子薄膜と、該圧電性高分子薄膜を覆うように形
成した表面電極とからなる超音波顕微鏡用トランスジュ
ーサにおいて、前記凹面部から側面部にかけてテーパ一
部を設けたことを特徴とする。
を形成した基体と、該基体の少なくとも前記凹面部に形
成した背面電極と、この背面電極の表面に被着された圧
電性高分子薄膜と、該圧電性高分子薄膜を覆うように形
成した表面電極とからなる超音波顕微鏡用トランスジュ
ーサにおいて、前記凹面部から側面部にかけてテーパ一
部を設けたことを特徴とする。
走汎
本発明によれば、基体の凹面部から側面部にテーパ一部
を設けることにより、凹面部の周囲から全くノイズが発
生せず、反射波ノイズが全くなくなり、高いＳ／Ｎ比を
有する。
を設けることにより、凹面部の周囲から全くノイズが発
生せず、反射波ノイズが全くなくなり、高いＳ／Ｎ比を
有する。
夾直涯
第１図は、本発明の１実施例の超音波顕微鏡用トランス
ジューサの断面図で、４は基体、４ａは凹面、５は金属
円筒、６は絶縁体、７は圧電膜振動子。
ジューサの断面図で、４は基体、４ａは凹面、５は金属
円筒、６は絶縁体、７は圧電膜振動子。
８は薄膜電極であり、これらの構成は第３図の超音波ト
ランスジューサと同じであるので、説明は省略するが１
本実施例では、基体４の凹面４の近傍にテーパー４０が
設けられている。
ランスジューサと同じであるので、説明は省略するが１
本実施例では、基体４の凹面４の近傍にテーパー４０が
設けられている。
このように構成した本実施例の超音波トランスジューサ
では、基体４の側面４ｂからの反射波が全くなくなり、
Ｓ／Ｎ比が向上する。
では、基体４の側面４ｂからの反射波が全くなくなり、
Ｓ／Ｎ比が向上する。
なお、上記実施例では、基体４として金属の基体を使用
した例を説明したが、セラミックスの基体でもよい。
した例を説明したが、セラミックスの基体でもよい。
及匪匹級来
以上の説明から明らかなように１本発明は、薄膜電極が
被着された基体の凹面部分にテーパーを設けたので、基
体の側面からの反射波が全くなくなり、Ｓ／Ｎ比が向上
するという利点がある。
被着された基体の凹面部分にテーパーを設けたので、基
体の側面からの反射波が全くなくなり、Ｓ／Ｎ比が向上
するという利点がある。
第１図は本発明の１実施例の超音波顕微鏡用トランスジ
ューサの断面図、第２図は従来例の超音波顕微部用トラ
ンスジューサの断面図、第３図は本発明者らが提案した
超音波顕微鏡用トランスジューサの断面図である。 ４・・・基体、４ａ・・・凹面、４Ｃ・・・テーパー、
５・・・薄膜電極、６・・・金属円筒、７・・・絶縁体
、８・・・圧電性高分子薄膜。 特許出願人 本多電子株式会社（他１名）第１図
４ 第２図 第３図 ！
ューサの断面図、第２図は従来例の超音波顕微部用トラ
ンスジューサの断面図、第３図は本発明者らが提案した
超音波顕微鏡用トランスジューサの断面図である。 ４・・・基体、４ａ・・・凹面、４Ｃ・・・テーパー、
５・・・薄膜電極、６・・・金属円筒、７・・・絶縁体
、８・・・圧電性高分子薄膜。 特許出願人 本多電子株式会社（他１名）第１図
４ 第２図 第３図 ！
Claims (1)
- 端部に凹面部を形成した基体と、該基体の少なくとも
前記凹面部に形成した背面電極と、この背面電極の表面
に被着された圧電性高分子薄膜と、該圧電性高分子薄膜
を覆うように形成した表面電極とからなる超音波顕微鏡
用トランスジューサにおいて、前記凹面部から側面部に
かけてテーパー部を形成したことを特徴とする超音波顕
微鏡用トランスジューサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62260184A JPH01101457A (ja) | 1987-10-15 | 1987-10-15 | 超音波顕微鏡用トランスジューサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62260184A JPH01101457A (ja) | 1987-10-15 | 1987-10-15 | 超音波顕微鏡用トランスジューサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01101457A true JPH01101457A (ja) | 1989-04-19 |
Family
ID=17344497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62260184A Pending JPH01101457A (ja) | 1987-10-15 | 1987-10-15 | 超音波顕微鏡用トランスジューサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01101457A (ja) |
-
1987
- 1987-10-15 JP JP62260184A patent/JPH01101457A/ja active Pending
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