JPH01102424A - ガルバノミラー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光メモリ装置のレーザビームのトラッキング
制御に用いるガルバノミラ−に関する。

〔従来の技術〕

従来、光メモリ装置の光学ヘッドに用いられるレンズア
クチュエータは、特開昭５７−２１０４５８に児られる
ように可動部がコイルであるものが多かった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし従来技術では、可動コイルへの給電方式によって
は、給電線が高速での動作の妨げになる可能性がをり、
給電線の断線や、コイルの過熱による接着劣化が生じコ
イル変形等・の問題点を育する。また、コイルの最適仕
様（巻数、線形等）を捜すためにカットアンドトライを
繰り返すことが多く、このコイル化様の変更が可動部の
質量変化につながるため高速化が容易でなかった。

そこで本発明はこのような問題点を解決するためのもの
で、その目的とするところは、光メモリ装置の高速化を
図るために光学ヘッドを分離型構造とする場合のトラッ
キングアクチエ二一タとして、可動部に永久磁石を用い
て、剛性の高い構造で、可動部へ給電する必要のないガ
ルバノミラ−を構成゛し光メモリ装置の高速化を実現す
るところにある。

ｃ問題点を解決するための手段〕 （１）　本発明のガルバノミラ−は、光メモリＭｌのレ
ーザビームのトラッキング制御手段として、永久磁石を
可動部の一部とする構造のガルバノミラ−において （ａ）　　Ｎｄｓ　Ｙｅ、及びＢを基本組成とする合金
を、メルトスパン法を用いることにより結晶とアモルフ
ァスの混合被筒にし粉砕して得られた磁性粉末をエポキ
シ樹脂と混合［相］混練し、加圧成形後キユア処理して
円筒状にし、ラジアル方向に少なくとも四分割以上の多
極着磁を施した可動永久磁石 （ｂ）　　該可動永久磁石の内周部に係合された鉄等の
軟磁性材料から成るバックヨーク（ｃ）　　Ｍバックヨ
ーク、前記可動永久磁石に可動部の円筒軸に対して４５
′″の角度を持って固定された反射ミラー （ｄ）　　該反射ミラー、前記バックヨーク、前記可動
永久磁石から成る可動部を回転自由に支持する少なくと
も２個以上のボールベアリングの外輪に、該ボールベア
リングの内輪に係合する、支持シャフトと同じ材質のス
リーブを係合し、該スリーブに前記可動部を固定した構
造の支持機構（ｅ）　　前記可動部の中立位置保持用の
手段として、前記可動永久磁石の外側に設けた、中立保
持用永久磁石と保持磁極 （ｆ）　　前記可動永久磁石の外側に、前記可動部の回
転運動を制御する磁場を発生させる手段として設けた少
なくとも１個以上の電磁石から構成されることを特徴と
する。

（実施例〕 以下本発明を一実施例に基づいて詳細に説明する。

第１図は、本発明のガルバノミラ−の平面断面図で、反
射ミラー１０１はＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系樹脂結合型の可動永
久磁石１０２、バックヨーク１０３、可動スリーブ１０
４と一体化され回転が可能な状態で、ボールベアリング
１０５１，１０Ｂの外輪が可動スリーブと接着されてい
る。バックヨークと可動スリーブは、すきまばめになっ
ていて、ミラーホルダ１０７がバックヨークと可動スリ
ーブに接着されている。　支持シャフト１０８は、ボー
ルベアリングの内輪と係合され、固定ナツト１０θによ
ってスラスト方向に締め付けられ、予圧カラー１１０に
よってスラスト方向の予圧が加えられる０本実施例の構
造によると、支持シャフトの熱膨張による伸縮が生じて
も、可動スリーブを支持シャフトと同じ材質にすること
によって反射ミラーの倒れが生じない０例えば、第４図
（ｕＬに詳細に説明する）の上うな応用例の場合、反射
ミラーが支持シャフト方向に微小変位しても殆ど影響し
ないが、反射ミラーの倒れは、極めて大きく影響する。

第２図は、本発明のガルバノミラ−の可動機構の断面図
で、可動部の中立保持手段として中立保持用永久磁石２
０１、保持磁ｔ！１２０２．２０３が設けられている。

この中立保持用永久磁石と保持磁極を左右（第２図に於
て）に動かすことにより組立時のｍａｌが、ばね等の手
段によって中立保持をする場合に比べ容易に行えるよう
になり効果的である。電磁石は、磁極２０４とコイル２
０５、および磁極２０６とコイル２０７から構成されて
いて、−コイル２０５．２０７に流す電流を制御するこ
とによって可動部の回転角を制御することができる。可
動永久磁石１０２は、同図に示したように８極に着磁さ
れている。着磁の極数は、２．４．８．８ｔ！ｉが考え
られるが、２極は実現が困難で、本実施例の中立保持機
構を用いる場合は６、または、８極がもっとも作り易く
、本実施例ではバックヨークの軽量化が可能な８極とし
である。

第３図は、可動永久磁石１０２の、製造工程を示す。Ｎ
ｄ５ｓ　Ｆｅ５ｍ、ｔ　Ｂａ、ｓの組成の合金をメルト
スパン法を用い、結晶とアモルファスの混合状態のリボ
ンを作成し、これを粉砕して得られた磁性粉末をエポキ
シ樹脂と混合・混練したものを、薄肉円筒形に加圧成形
した後キユア処理を行った。永久磁石の最大エネルギー
積（ＢＨ）ｍａ　Ｘ　ｓ保磁力ｔ　Ｈｃ　ｓ残留磁束密
１ｆＢｒは、（ＢＨ）　ｍａｘ＝８．３　［ＭＧＯｅｌ
ｉＨｃ　　　　　＝５．　４　　［ｋＯｅｌＤｒ　　　
　　＝８．　３　　［ｋＧ］が得られた。このようにし
て得られた永久磁石によりガルバノミラ−を駆動するこ
とにより、可動部の小型・軽量化が図られ、高速応答性
も向上する。更に樹脂結合型の磁石！あるため薄肉の円
筒形状を、容易にかつ経済的に成形することができる。

第４図（ａ）、（ｂ）は、本発明のガルバノミラ−を用
いた場合の光メモリＨ１の光学系の概略図で、光学ヘッ
ド４０１からの、レーザビームＡを反射ミラー１０１に
よって微少に振り、レーザビームＢとし、リニアモータ
４０２に固定された固定ミラー４０３で更にレーザビー
ム方向を変更してディスク４０４に低してトラッキング
動作を行う。フォーカシングは、リニアモータに搭載さ
れたレンズフォーカシングアクチュエータ４０５によっ
て対物レンズ４０６を上下に動かして行われる。

（発明の効果〕 以上説明したように、本発明によれば、永久磁石を可動
部に用いたことにより、可動部への給電の必要のない構
造のガルバノミラ−を実現することができ、高速動作時
に給電線の断線等の心配がなく、発熱によりコイルが変
形して磁気回路と接触することが避けられる。また、コ
イル仕様を変更しても可動部の質量が変化しないので設
計変更が容易に行える。また、円筒状の可動永久磁石と
して、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系樹脂結合型磁石を、用いること
により、可動部の小型・軽量化が可能にな′　る。この
ようにして高速応答性に優れ、高信頼性のガルバノミラ
−を得ることができる。また、可動部の中立保持手段と
して、永久磁石を用いたため、従来のばねによる方法に
比べ組立後の調整が容易で、正確に行うことが可能にな
っている。更に、第４図に示した構成の光学系は、レー
ザビームＡ、Ｈの断面形伏が変化しないので本発明のガ
ルバノミラ−を用いるとトラッキング範囲を広（するこ
とができ、支持機構のボールベアリングの内外輪に係合
する部品の材質を同一にしたため部品の熱膨張による反
射ミラーの倒れが殆ど生じない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のガルバノミラ−の平面断面図 第２図は、本発明のガルバノミラ−の正面断面図 第３図は、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系樹脂結合型永久磁石の製造
工程図 第４図（ａ）、（ｂ）は、本発明のガルバノミラ−を用
いた場合の光メモリ装置の光学系の概略図 以　　上 出願人　セイコーエプソン株式会社 代理人　弁理士　最　上　　務　他１名（ス） 第４０

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）光メモリ装置のレーザビームのトラッキング制御
   手段として、永久磁石を可動部の一部とする構造のガル
   バノミラーにおいて （ａ）ネオジウム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、及びホウ素（
   Ｂ）を基本組成とする合金を、メルトスパン法を用いる
   ことにより結晶とアモルファスの混合状態にし粉砕して
   得られた磁性粉末をエポキシ樹脂と混合・混練し、加圧
   成形後キユア処理して円筒状にし、ラジアル方向に少な
   くとも四分割以上の多極着磁を施した可動永久磁石 （ｂ）該可動永久磁石の内周部に係合された鉄等の軟磁
   性材料から成るバックヨーク （ｃ）該バックヨーク、前記可動永久磁石に可動部の円
   筒軸に対して４５゜の角度を持って固定された反射ミラ
   ー （ｄ）該反射ミラー、前記バックヨーク、前記可動永久
   磁石から成る可動部を回転自由に支持する少なくとも２
   個以上のボールベアリングの外輪に、該ボールベアリン
   グの内輪に係合する、支持シャフトと同じ材質のスリー
   ブを係合し、該スリーブに前記可動部を固定した構造の
   支持機構 （ｅ）前記可動部の中立位置保持用の手段として、前記
   可動永久磁石の外側に設けた、中立保持用永久磁石と保
   持磁極 （ｆ）前記可動永久磁石の外側に、前記可動部の回転運
   動を制御する磁場を発生させる手段として設けた少なく
   とも１個以上の電磁石から構成されることを特徴とする
   ガルバノミラー。