JPH01102425A - ガルバノミラー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野〕 本発明は、光メモリ＆１Ｈのレーザビームのトラッキン
グ制御に用いるガルバノミラ−に関する。

〔従来の技術〕

従来、光メモリ装置の光学ヘッドに用いられるレンズア
クチュエータは、特開昭５７−２１０４５６に見られる
ように可動部がコイルであるものが多かった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし従来技術では、可動コイルへの給電方式によって
は、給電線が高速での動作の妨げになる可能性が有り、
給電線の断線や、コイルの過熱による接着劣化が生じコ
イル変形等の問題点を育する。また、コイルの最適仕様
（巻数、線形等）を捜すためにカットアンドトライを繰
り返すことが多（、このコイル仕様の変更が可動部の質
量変化につながるため？Ｋｉｆ化が容易でなかった。

そこで本発明はこのような問題点を解決するためのもの
で、その目的とするところは、光メモリ装置の高速化を
図るために光学ヘッドを分離型構造とする場合のトラッ
キングアクチュエータとして、可動部に永久磁石を用い
て、剛性の高い構造で、可動部へ給電する必要のないガ
ルバノミラ−を構成し光メモリ装置の高速化を実現する
ところにある。

〔問題点を解決するための手段〕

（１）　本発明のガルバノミラ−は、光メモリ装置のレ
ーザビームのトラッキング制御手段として、永久磁石を
可動部の一部とする構造のガルバノミラ−において （ａ）　　Ｎｄ１Ｆｅｓ及びＢを基本組成とする合金を
、メルトスパン法を用いることにより結晶とアモルフア
スの混合軟融にし粉砕して得られた磁性粉末を型に入れ
熱間圧密処理を行い円筒伏にし、ラジアル方向に少なく
とも四分割以上の多極着磁を施した可動永久磁石 （ｂ）　　該可動永久磁石の内周部に係合された鉄等の
軟磁性材料から成るバックヨーク（ｃ）　　該バックヨ
ーク、前記可動永久磁石に可動部の円筒軸に対して４５
°の角度を持って固定された反射ミラー （ｄ）　　該反射ミラー、前記バックヨーク、前、記可
動永久磁石から成る可動部を回転自由に支持する少な（
とも２個以上のボールベアリングの外輪に、該ボールベ
アリングの内輪に係合する、支持シャフトと同じ材質の
スリーブを係合し、該スリーブに前記可動部を固定した
構造の支持機構（ｅ）　　前記可動部の中立位置保持用
の手段として、前記可動永久磁石の外側に設けた、中立
保持用永久磁石と保持磁極 （ｆ）　　前記可動永久磁石の外側に、前記可動部の回
転運動を制御する磁場を発生させる手段として設けた少
な（とも１個以上の電磁石から構成されることを特徴と
する。

〔実施例〕

以下本発明を一実施例に基づいて詳細に説明する。

第１図は、本発明のガルバノミラ−の平面断面図で、反
射ミラー１０１はＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系の可動永久磁石１０
２、バックヨーク１０３、可動スリーブ１０４と一体化
され回転が可能な状態で、ボールベアリング１０６，１
０８の外輪が可動スリーブと接着されている。バックヨ
ークと可動スリーブは、すき玄ばめになっていて、ミラ
ーホルダ１０７がバックヨークと可動スリーブに接着さ
れている。支持シャフト１０８は、ボールベアリングの
内輪と係合され、固定ナツト１０９によってスラスト方
向に締め付けられ、予圧カラー１１０によってスラスト
方向の予圧が加えられる。本実施例の構造によると、支
持シャフトの熱膨張による伸縮が生じても、可動スリー
ブを支持シャフトと同じ材質にすることによって反射ミ
ラーの倒れが生じない。例えば、第４図（後に詳細に説
明する）の、ような応用例の場合、反射ミラーが支持シ
ャフト方向に、微小変位しても殆ど影響しないが、反射
ミラーの倒れは、極めて大きく影響する。

第２図は、本発明のガルバノミラ−の可動機構の断面図
で、可動部の中立保持手段として中立保持用永久磁石２
０１、保持＆ｉ極２０２，２０３が設けられている。こ
の中立保持用永久磁石と保持磁極を左右（第２図に於て
）に動かすことにより組立時のｍ整が、ばね等の手段に
よって中立保持をする場合に比べ容易に行えるようにな
り効果的である。電磁石は、磁極２０４とコイル２０５
、および磁極２０Ｂとコイル２０７から構成されていて
、コイル２０５，２０７に流す電流をｌｉ制御すること
によって可動部の回転角を制御することができる。可動
永久磁石１０２は、同図に示したように８極に着磁され
ている。着磁の極数は、２゜４．８，８ｔＪｉが考えら
れるが、２極は実現が困難で、本実施例の中立保持機構
を用いる場合は６、または、８極がもっとも作り易く、
本実施例ではバックヨークの軽量化が可能な８極としで
ある。

第３図は、可動永久磁石１０２の、製造工程を示す。Ｎ
ｄ＊５Ｆｅａｓ、ｔＢａ、ｓの組成の合金をメルトスパ
ン法を用い、結晶とアモルファスの混合状態のリボンを
作成し、これを粉砕して得られた磁性粉末を円買形の型
に入れ熱間圧密処理を行なった。永久磁石の最大エネル
ギー積（ＢＨ）ｍ　ａ　Ｘ　ｓ保磁力ｔ　Ｈｃ　ｓ残留
磁束密度Ｂｒは、（ＢＨ）ｍａｘ＝　１３　［：ＭＧＯ
ｅ］ｉＨｃ　　　＝８．５　［ｋＯｅｌ Ｂｒ　　　＝＝７．９　［ｋＧ］ が得られた。このようにして得られた永久磁石により、
ガルバノミラ−を駆動することにより、可動部の小型・
軽量化が図られ、高速応答性も向上し、更にコストも安
価になる。

第４図（ａ）、（ｂ）は、本発明のガルバノミラ−を用
いた場合の光メそり装置の、光学系の概略図で、光学ヘ
ッド４０１からのレーザビームＡを反射ミラー１０１に
よって微少゛に振り、レーザビームＢとし、リニアモー
タ４０２に固定された固定ミラー４０３で更にレーザビ
ーム方向を変更してディスク４０４に対してトラッキン
グ動作を行う。フォーカシングは、リニアモータに搭載
されたレンズフォーカシ７グアクチユエータ４０５によ
って対物レンズ４０６を上下に動かして行われる。

（発明の効果〕 以上説明したように、本発明によれば、永久磁石を可動
部に用いたことにより、可動部への給電の必要のない構
造のガルバノミラ−を実現することでき、高速動作時に
給電線のｌｌｒ＃等の心配がなく、発熱によりコイルが
変形して磁気回路と接触するととが避けられる。また、
コイル仕様を変更しても可動部の質量が゛変化しないの
で設計変更が容易に行える。また、円筒伏の可動永久磁
石としてＮｄ−ｒｅ−Ｂ電磁石を用いることにより、可
動部の小型・軽量化が可能になる。このようにして高速
応答性に優れ、高信頼性のガルバノミラ−を得ることが
できる。また、可動部の中立保持手段として永久磁石を
用いたため、従来のばねによる方法に比べ組立後の調整
が容易で、正確に行うことが可能になっている。更に、
第４図に示した構成の光学系は、レーザビームＡ、Ｂの
断面形状−が変化しないので本発明のガルバノミラ−を
用いるとトラッキング範囲を広くすることができ、支持
機構のボールベアリーングの内外輪に係合する部品の材
質を同一にしたため部品の熱膨張による反射ミラーの倒
れが殆ど生じない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のガルバノミラ−の平面断面第２図は
、本発明のガルバノミラ−の正面断面図 ｗＥａ図は、Ｎｄ−ｒｅ−Ｂ系永久磁石の製造工程図 第４図（ａ）、（ｂ）は、本発明のガルバノミラ−を用
いた場合の光メモリ１ＩＷ１の光学系の概略図 以　　上 出願人　セイコーエプソン株式会社 第３図 （＾） ＃Ｊ、　２！ｌｌｌウー （１）ン 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）光メモリ装置のレーザビームのトラッキング制御
   手段として、永久磁石を可動部の一部とする構造のガル
   バノミラーにおいて、 （ａ）ネオジウム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）、及びホウ素（
   Ｂ）を基本組成とする合金を、メルトスパン法を用いる
   ことにより結晶とアモルフアスの混合状態にし粉砕して
   得られた磁性粉末を型に入れ熱間圧密処理を行い円筒状
   にし、ラジアル方向に少なくとも四分割以上の多極着磁
   を施した可動永久磁石 （ｂ）該可動永久磁石の内周部に係合された鉄等の軟磁
   性材料から成るバックヨーク （ｃ）該バックヨーク、前記可動永久磁石に可動部の円
   筒軸に対して４５゜の角度を持って固定された反射ミラ
   ー （ｄ）該反射ミラー、前記バックヨーク、前記可動永久
   磁石から成る可動部を回転自由に支持する少なくとも２
   個以上のボールベアリングの外輪に、該ボールベアリン
   グの内輪に係合する、支持シャフトと同じ材質のスリー
   ブを係合し、該スリーブに前記可動部を固定した構造の
   支持機構 （ｅ）前記可動部の中立位置保持用の手段として、前記
   可動永久磁石の外側に設けた、中立保持用永久磁石と保
   持磁極 （ｆ）前記可動永久磁石の外側に、前記可動部の回転運
   動を制御する磁場を発生させる手段として設けた少なく
   とも１個以上の電磁石から構成されることを特徴とする
   ガルバノミラー。