JPH01105585A - レーザ発振器の冷却装置 - Google Patents
レーザ発振器の冷却装置Info
- Publication number
- JPH01105585A JPH01105585A JP26166387A JP26166387A JPH01105585A JP H01105585 A JPH01105585 A JP H01105585A JP 26166387 A JP26166387 A JP 26166387A JP 26166387 A JP26166387 A JP 26166387A JP H01105585 A JPH01105585 A JP H01105585A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lamp
- rod
- cooling water
- laser
- laser rod
- Prior art date
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/042—Arrangements for thermal management for solid state lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/0407—Liquid cooling, e.g. by water
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、固体レーザ装置のレーザ発振器を構成するレ
ーザロッド及びこのレーザロッドを光励起するランプを
冷却するレーザ発振器の冷却装置に関するものである。
ーザロッド及びこのレーザロッドを光励起するランプを
冷却するレーザ発振器の冷却装置に関するものである。
第５図は固体レーザ装置のレーザ発振器の冷却装置の従
来例（実公昭５６−１２８５０号）を示すもので、レー
ザロッドａを収納したレーザロッド室すと、励起ランプ
Ｃを収納したランプ室ｄとが通路ｅにて連通してあり、
導入口ｆからレーザロッド室すへ流入した冷却水はレー
ザロッドａを冷却してから通路ｅを通ってランプ室ｄに
入り、ここで励起ランプＣを冷却して導出口ｇより排出
されるようになっている。
来例（実公昭５６−１２８５０号）を示すもので、レー
ザロッドａを収納したレーザロッド室すと、励起ランプ
Ｃを収納したランプ室ｄとが通路ｅにて連通してあり、
導入口ｆからレーザロッド室すへ流入した冷却水はレー
ザロッドａを冷却してから通路ｅを通ってランプ室ｄに
入り、ここで励起ランプＣを冷却して導出口ｇより排出
されるようになっている。
上記従来の冷却装置では、レーザロッドａの冷却水路と
励起ランプＣの冷却水路が直列につながっており、また
励起ランプＣからの発熱量がレーザロッドａからの発熱
量と比べて大きいために、レーザロッドａの周囲の冷却
水温度を一定の温度に精密にコントロールすることは困
難であった。循環する純水の温度によりレーザ出力は変
動し、−次冷却水である市水の温度が２０℃を越えると
現状のレーザロッドの最適冷却水温の２４℃±１℃の制
御が不能となる。
励起ランプＣの冷却水路が直列につながっており、また
励起ランプＣからの発熱量がレーザロッドａからの発熱
量と比べて大きいために、レーザロッドａの周囲の冷却
水温度を一定の温度に精密にコントロールすることは困
難であった。循環する純水の温度によりレーザ出力は変
動し、−次冷却水である市水の温度が２０℃を越えると
現状のレーザロッドの最適冷却水温の２４℃±１℃の制
御が不能となる。
〔問題点を解決するための手段及び作用〕本発明は上２
記のことにかんがみなされたもので、レーザロッドの周
囲温度を外気温の変化に影響されずに精密に制御するこ
とができるようにしたレーザ発振器の冷却装置を提供し
ようとするものであり、その構成は、集光器内に励起ラ
ンプとレーザロッドを並設してなるレーザ発振器におい
て、励起ランプの冷却水路と、レーザロッドの冷却水路
を別々にして設けた構成となっており、励起ランプとレ
ーザロッドがそれぞれ別々の温度の冷却水にて冷却され
る。
記のことにかんがみなされたもので、レーザロッドの周
囲温度を外気温の変化に影響されずに精密に制御するこ
とができるようにしたレーザ発振器の冷却装置を提供し
ようとするものであり、その構成は、集光器内に励起ラ
ンプとレーザロッドを並設してなるレーザ発振器におい
て、励起ランプの冷却水路と、レーザロッドの冷却水路
を別々にして設けた構成となっており、励起ランプとレ
ーザロッドがそれぞれ別々の温度の冷却水にて冷却され
る。
本発明の実施例を第１図から第４図に基づいて説明する
。
。
図中１はアルミブロック２内に支持された集光器で、こ
の集光器１内に励起ランプ３とレーザロッド４が平行に
内装しである。５はこれらの両側部を支持するテフロン
ブロックである。
の集光器１内に励起ランプ３とレーザロッド４が平行に
内装しである。５はこれらの両側部を支持するテフロン
ブロックである。
レーザロッド４はガラス管６内に収納されていて、この
レーザロッド４の周囲が励起ランプ３を囲む空間と分離
しである。励起ランプ３の両端の支持部の空間７，７は
励起ランプ３を囲繞する空間を介して集光器１内に連通
してあり、この雨空間７，７の一方に冷却水の導入口８
ａが、他方に導出口８ｂが開口しである。またレーザロ
ッド４を囲繞するガラス管６の両端部はテフロンブロッ
ク５に支持されており、このガラス管６の両端部の一方
はテフロンブロック５に設けた冷却水の導入口９ａに、
他方は導出口９ｂに連通しである。
レーザロッド４の周囲が励起ランプ３を囲む空間と分離
しである。励起ランプ３の両端の支持部の空間７，７は
励起ランプ３を囲繞する空間を介して集光器１内に連通
してあり、この雨空間７，７の一方に冷却水の導入口８
ａが、他方に導出口８ｂが開口しである。またレーザロ
ッド４を囲繞するガラス管６の両端部はテフロンブロッ
ク５に支持されており、このガラス管６の両端部の一方
はテフロンブロック５に設けた冷却水の導入口９ａに、
他方は導出口９ｂに連通しである。
上記励・起ランプ３の両端部の空間に設けた導入口８ａ
及び導出口８ｂと、ガラス管６の両側側の導入口９ａ及
び導出口９ｂにはそれぞれ別々の冷却水路１０．１１が
接続しである。
及び導出口８ｂと、ガラス管６の両側側の導入口９ａ及
び導出口９ｂにはそれぞれ別々の冷却水路１０．１１が
接続しである。
第３図は励起ランプ３側の冷却水路１０を示すもので、
タンク１２からの純水が導入口８ａに供給され、導出−
口８８ｂから出た純水は熱交換器１３を経てタンク１２
に戻るようになっている。タンク１２には熱交換器１３
を経た市水が循環されていて、タンク１２内の純水が市
水により一定の温度に保たれるようになっている。
タンク１２からの純水が導入口８ａに供給され、導出−
口８８ｂから出た純水は熱交換器１３を経てタンク１２
に戻るようになっている。タンク１２には熱交換器１３
を経た市水が循環されていて、タンク１２内の純水が市
水により一定の温度に保たれるようになっている。
第４図はレーザロッド４側の冷却水路１１を示すもので
、熱交換素子恒温槽１４内の純水が循環するようになっ
ている。
、熱交換素子恒温槽１４内の純水が循環するようになっ
ている。
上記構成において、励起ランプ３とレーザロッド４はそ
れぞれ別々の冷却水路１０．１１により冷却される。そ
して励起ランプ３を冷却する純水は市水にである温度以
下に制御され、またレーザロッド４を冷却する純水は熱
交換素子恒温Ｗｉ１４に２５℃±０．２℃に温度制御さ
れる。
れぞれ別々の冷却水路１０．１１により冷却される。そ
して励起ランプ３を冷却する純水は市水にである温度以
下に制御され、またレーザロッド４を冷却する純水は熱
交換素子恒温Ｗｉ１４に２５℃±０．２℃に温度制御さ
れる。
本発明によれば１．精密に制御する必要のあるレーザロ
ッド４の周縁温度を外気温の変化に影響されずに精密に
制御することができる。また本発明によれば、励起ラン
プ３とレーザロッド４の温度状態を各冷却水路１０．１
１の出水温により別々に検知することができる。
ッド４の周縁温度を外気温の変化に影響されずに精密に
制御することができる。また本発明によれば、励起ラン
プ３とレーザロッド４の温度状態を各冷却水路１０．１
１の出水温により別々に検知することができる。
第１図は本発明の実施例を示す断面図１．第２図は第１
図の■−線に沿う断面図、第３図は励起ランプ側の冷却
水路図、第４図はレーザロッド側の冷却水路図、第５図
は従来例を示す断面図である。 １は集光器、３は励起ランプ、４はレーザロッド、１０
．１１は冷却水路。 出願人 株式会社 小 松 製 作 所代理人 弁
理士 米 原 正 章
図の■−線に沿う断面図、第３図は励起ランプ側の冷却
水路図、第４図はレーザロッド側の冷却水路図、第５図
は従来例を示す断面図である。 １は集光器、３は励起ランプ、４はレーザロッド、１０
．１１は冷却水路。 出願人 株式会社 小 松 製 作 所代理人 弁
理士 米 原 正 章
Claims (1)
- 集光器１内に励起ランプ３とレーザロッド４を並設し
てなるレーザ発振器において、励起ランプ３の冷却水路
１０と、レーザロッド４の冷却水路１１を別々にして設
けたことを特徴とするレーザ発振器の冷却水路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26166387A JPH01105585A (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | レーザ発振器の冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26166387A JPH01105585A (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | レーザ発振器の冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01105585A true JPH01105585A (ja) | 1989-04-24 |
Family
ID=17365030
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26166387A Pending JPH01105585A (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | レーザ発振器の冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01105585A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0271388U (ja) * | 1988-11-18 | 1990-05-30 |
-
1987
- 1987-10-19 JP JP26166387A patent/JPH01105585A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0271388U (ja) * | 1988-11-18 | 1990-05-30 |
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