JPH01105813U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01105813U JPH01105813U JP74488U JP74488U JPH01105813U JP H01105813 U JPH01105813 U JP H01105813U JP 74488 U JP74488 U JP 74488U JP 74488 U JP74488 U JP 74488U JP H01105813 U JPH01105813 U JP H01105813U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- servo mechanism
- measurement scale
- condensing lens
- reflected light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Description
第１図は本考案の主要部の実施例を示す構成図
、第２図は偏向板の回転操作部分の説明図、第３
図〜第５図はその動作説明図、第６図は偏向板の
回転操作の手順を示すフローチヤート図、第７図
は従来技術の一例を示す構成図である。 １……第１移動物体、２……第１スケール、３
……レーザー光源、４……第１集光レンズ、１５
，３０，３６……移動物体、１６，３１，３７…
…スケール、１７，２８，２９……集光レンズ、
１８，２５，２６，２７……ハーフミラー、１９
，２９，３５……偏向板、２０，２２，３２，３
８……受光素子、２１……電力制御手段、２３，
３３，３９……回転制御手段、２４，３４，４０
……サーボ機構。
、第２図は偏向板の回転操作部分の説明図、第３
図〜第５図はその動作説明図、第６図は偏向板の
回転操作の手順を示すフローチヤート図、第７図
は従来技術の一例を示す構成図である。 １……第１移動物体、２……第１スケール、３
……レーザー光源、４……第１集光レンズ、１５
，３０，３６……移動物体、１６，３１，３７…
…スケール、１７，２８，２９……集光レンズ、
１８，２５，２６，２７……ハーフミラー、１９
，２９，３５……偏向板、２０，２２，３２，３
８……受光素子、２１……電力制御手段、２３，
３３，３９……回転制御手段、２４，３４，４０
……サーボ機構。
Claims (1)
- 両端面出射形のレーザー光源の一方を第１集光
レンズ手段を介して第１方向に移動する第１移動
物体に固定された第１測定スケールに落射させる
手段と、上記レーザー光源の他方を第２集光レン
ズ並びに第１サーボ機構により回転操作される偏
向板を介して上記第１方向とは任意の交差角度を
成す第２方向に移動する第２物体に固定された第
２測定スケールに落射させる手段と、上記レーザ
ー光源の他方を第３集光レンズ並びに第２サーボ
機構により回転操作される偏向板を介して上記第
１方向とは任意の交差角度を成す第３方向に移動
する第３物体に固定された第３測定スケールに落
射させる手段と、上記第２測定スケール上に形成
された反射形回折格子よりの±１次反射光の一方
を受ける受光手段と、この受光手段の出力が最大
となるように上記第１サーボ機構を操作する第１
制御手段と、上記第３測定スケール上に形成され
た反射形回折格子よりの±１次反射光の一方を受
ける受光手段と、この受光手段の出力が最大とな
るように上記第２サーボ機構を操作する第２制御
手段と、上記第１、第２及び第３測定スケール上
に形成された反射形回折格子よりの±１次反射光
を夫々混合させその干渉光を電気信号に変換処理
して第１方向、第２方向及び第３方向の移動量を
デイジタル的に出力する第１、第２、第３の信号
処理手段よりなる光学的スケール読取装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP74488U JPH01105813U (ja) | 1988-01-07 | 1988-01-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP74488U JPH01105813U (ja) | 1988-01-07 | 1988-01-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01105813U true JPH01105813U (ja) | 1989-07-17 |
Family
ID=31200036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP74488U Pending JPH01105813U (ja) | 1988-01-07 | 1988-01-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01105813U (ja) |
-
1988
- 1988-01-07 JP JP74488U patent/JPH01105813U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS626119A (ja) | ロ−タリ−エンコ−ダ− | |
| JPH0798207A (ja) | 光学式変位センサ | |
| JPH02231525A (ja) | エンコーダー | |
| JPH0231111A (ja) | ロータリーエンコーダ | |
| JPH01105813U (ja) | ||
| JPH046884B2 (ja) | ||
| JPS63195216U (ja) | ||
| JPH0416177Y2 (ja) | ||
| JPS632323B2 (ja) | ||
| JPS63195217U (ja) | ||
| JPS62200225A (ja) | ロ−タリ−エンコ−ダ− | |
| JPH0265114U (ja) | ||
| JPH0599638A (ja) | 測角装置 | |
| JPH01179216U (ja) | ||
| JPS6167512U (ja) | ||
| JPS6041287B2 (ja) | 微小角測定方法 | |
| JPH045142B2 (ja) | ||
| JPS5945506U (ja) | 光学式測長スケ−ル | |
| JPH0265115U (ja) | ||
| JPS6222019A (ja) | 基本位置の検出装置 | |
| JPH03115920A (ja) | 零点位置検出装置 | |
| JPS64417A (en) | Optical encoder | |
| JPH0427870A (ja) | エンコーダ | |
| JP2517027B2 (ja) | 移動量測定方法及び移動量測定装置 | |
| JPH0317210Y2 (ja) |