JPH0265114U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0265114U JPH0265114U JP14559888U JP14559888U JPH0265114U JP H0265114 U JPH0265114 U JP H0265114U JP 14559888 U JP14559888 U JP 14559888U JP 14559888 U JP14559888 U JP 14559888U JP H0265114 U JPH0265114 U JP H0265114U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reading device
- condensing lens
- measurement scale
- optical scale
- scale
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例を示す構成図、第2
図はモジユールの構成図、第3図は移動機構の構
成図、第4図は移動機構の拡大構成図、第5図は
モジユールの移動による光学系の変化を示す説明
図、第6図は本考案の他の実施例を示す構成図、
第7図は光源収納ケースの構成図、第8図、第9
図は移動機構の他の実施例を示す構成図、第10
図、第11図はレンズ手段の移動による光学系の
変化を示す説明図である。 1……被測定物体、2……スケール、3……レ
ーザー光源、4……集光レンズ手段、5,6……
ミラー、7……第1ハーフミラー、8……第2ハ
ーフミラー、9,10……受光素子、11,12
……増幅器、13……信号処理手段、14……表
示手段、16……本体筐体、17……モジユール
、18……移動機構。
図はモジユールの構成図、第3図は移動機構の構
成図、第4図は移動機構の拡大構成図、第5図は
モジユールの移動による光学系の変化を示す説明
図、第6図は本考案の他の実施例を示す構成図、
第7図は光源収納ケースの構成図、第8図、第9
図は移動機構の他の実施例を示す構成図、第10
図、第11図はレンズ手段の移動による光学系の
変化を示す説明図である。 1……被測定物体、2……スケール、3……レ
ーザー光源、4……集光レンズ手段、5,6……
ミラー、7……第1ハーフミラー、8……第2ハ
ーフミラー、9,10……受光素子、11,12
……増幅器、13……信号処理手段、14……表
示手段、16……本体筐体、17……モジユール
、18……移動機構。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) レーザー光線を集光レンズ手段を介して移
動物体に固定された測定スケールに落射させる手
段、上記測定スケール上に形成された反射形回折
格子よりの±1次反射光を夫々混合させその干渉
光を電気信号に変換処理して移動量をデイジタル
的に出力する信号処理手段を具備する光学的スケ
ール読取装置において、上記レーザー光源と集光
レンズ手段をモジユール構成とすると共に、この
モジユールの上記測定スケールに対するz方向距
離を調節する移動手段設けたことを特徴とする光
学的スケール読取装置。 (2) レーザー光源を集光レンズ手段を介して移
動物体に固定された測定スケールに落射させる手
段、上記測定スケール上に形成された反射形回折
格子よりの±1次反射光を夫々混合させその干渉
光を電気信号に変換処理して移動量をデイジタル
的に出力する信号処理手段を具備する光学的スケ
ール読取装置において、上記集光レンズ手段の上
記測定スケールに対するz方向距離を調節する移
動手段設けたことを特徴とする光学的スケール読
取装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14559888U JPH0265114U (ja) | 1988-11-08 | 1988-11-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14559888U JPH0265114U (ja) | 1988-11-08 | 1988-11-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0265114U true JPH0265114U (ja) | 1990-05-16 |
Family
ID=31414332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14559888U Pending JPH0265114U (ja) | 1988-11-08 | 1988-11-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0265114U (ja) |
-
1988
- 1988-11-08 JP JP14559888U patent/JPH0265114U/ja active Pending
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