JPH011077A - パタ−ン検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 本発明のパターン検査方法は、被検査対象の画像密度に
応じて被検査エリアをｌ／Ａに縮小し、該縮小された被
検査対象を走査処理する時間と、該縮小された被検査対
象Ａ倍に拡大し、該拡大された被検査対象の検査用デー
タを画像変換処理する時間とを同期させながら被検査パ
ターンを検査することを特徴としている。

これにより、高密度化する被検査対象の画像パターンの
検査を高速に処理すること、および画像変換装置の負担
を軽減することが可濠となる。

〔産業上の利用分野〕

本発明は被検査パターン、例えばフォトマスのパターン
のパターン検査方法に関するものであり、更に詳しく言
えばパターンマツチング検査技術に関するものである。

〔従来の技術〕

第２図は従来例に係る被検査パターンのパターン検査方
法を説明する図である。

図において、被検査対象ｌの被検査エリア２の実画像は
、受光されて電気処理手段３で処理される。なお、被検
査対象ｌは走査処理手段１１で処理される０次に、電気
処理された画像データは、メモリ４で記憶される０次い
で画像データに基づいて被検査エリア２の被検査パター
ン５が作成される。

また、検査用データ６は画像変換処理手段７で処理され
て検査用パターン８が作成される。

そして、被検査パターン５と検査用パターン８とを比較
照合手段９で位置合わせをして比較照合１７、検査結果
１０を得る。

なお、被検査対象１は半導体装置のマスク等のレチクル
がその実例である。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで従来例によれば、被検査パターンと検査用パタ
ーンとを比較照合するデータベース検査では、′ｌ！、
導体装置の高集積化、高密度化に従って画像密度が高く
なり、検査用データを画像変換処理する時間が増加し、
画像変換処理装置の処理負担が多くなる。

一方、被検査パターンは、検査用パターンが作成される
まで比較照合できずに：Ａ整時間を徒過する。なお、こ
の間、走査処理をする駆動系の振動等により、被検査パ
ターンの位こ合わせずれを招く。

このため、画像変換処理する時間と走査処理をする時間
との間に差を生じて被検査パターンの検査ができないと
いう問題がある。

本発明はかかる従来例の問題点に鑑みて創作されたもの
であり、前処理時間の差をなくし、高密度化する画像の
処理を可鋤とするパターン検査方法の提供を目的とする
。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明のパターン検査方法は、その実施例図、：５１図
に示すように、被検査対象２１を走査処理手段３２で処
理して、被検査対象２１の画像を入力し、該画像を電気
処理手段２３で処理し、処理した画像データを記憶手段
２４で記憶し、記憶された画像データから作成される被
検査パターン２５と、検査用データ２６を画像変換処理
手段２７で処理して作成される検査用パターン２８とを
比較照合手段２９で比較照合するパターン検査方法にお
いて、被検査対象２１の画像密度を検知手段３０で検知
して、該画像密度が高いときは該検査エリア２２を縮小
手段３２でｌ／Ａに縮小し、該縮小された被検査エリア
２２の被検査対象２１を走査処理する時間と、該縮小さ
れた被検査エリア２２の被検査対象２１をＡ倍に拡大手
段３１で拡大し、該Ａ倍に拡大された被検査エリア２２
の被検査対象３５を検査するための検査用データ２６を
画像変換処理する時間とを回期させながら検査をするこ
とを特徴としている。

〔作用〕

本発明によれば被検査対象の画像密度を検知手段３０で
検知して、画像密度に応じた被検査エリアを縮小するこ
とにより、被検査対象の被検査エリアを走査処理する時
間を増加させ、一方、検査用データを画像変換処理する
時間を減少させ、前処理の時間差を極めて小さくするこ
とが可能となる。

〔実施例〕

次に図を参照しながら本発明の実施例について説明する
。

第１図は本発明の実施例に係るパターン検査方法を説明
する図である０図において、被検査対象２１（同図（ｂ
））を走査処理手段３３で処理しながら、被検査エリア
２２の実画像をズームレンズ系の受光装置等により入力
する。なお、被検査対象２１は半導体装置のレチクル等
のマスクパターンであり、高密度化、高集積化の傾向に
ある。

次に画像密度を検知手段３０で検知して、画像密度が高
い場合は被検査エリア２２を１／Ａに縮小手段３２で縮
小する（なお、Ａは面請比である）、また、被検査対象
を走査処理手段３３で処理するステージ駆動系の制御速
度を一定に保ちながら走査距離を増加し、走査処理する
時間を増加させる。なお、ステージ駆動系の制御速度を
量？に変化させる手段もあるが、駆動系の振動の影響等
を考慮する必要がある。

次いで縮小した被検査エリア２２の被検査対象２１をズ
ームレンズ系の受光装置等により、拡大手段３工でＡ倍
に拡大する。なお、拡大しないで被検査パターンと検査
用パターンとを比較照合する方法も可能であるが、検査
精度は１／Ａになる。

次に、拡大された被検査エリア２２の被検査対象３５（
同図（ｂ））を受光して′上気処理手段２３で処理して
、その画像データを記憶手段２４で記憶する。

また、画像データに基づいて被検査パターン２５を作成
する。

一方、縮小された被検査エリア２２の被検査対象２２を
Ａ倍に拡大した被検査対象３５に相当する検査用データ
２６を抽出して、画像変換処理手段２７で処理をし、検
査用パターン２８を作成する。

なお、画像密度が高くなっても被検査エリアが縮小され
るので、画像変換装置の処理負担は少なくなり、画像変
換する時間は減少する。

次に走査処理をする時間と画像変換処理をする時間とを
同期させながら画像密度を検知し、被検査エリアを決定
する０次いで被検査パターン２５（同図（ｂ））と検査
用パターン２８（同図（Ｃ））とを比較照合して被検査
パターンの検査をし、結果出力３４を得る。

なお１画像書度を検知する手段と、画像密度に応じた被
検査エリアを縮小する手段と、縮小された被検査エリア
を拡大する手段と、走査処理をする手段と被検査エリア
の画像変換処理をする時間とを自動制御することも可能
である。

このようにして１画像書度に応じて被検査対象２１を走
査処理する時間と検査用データの画像処理をする時間と
の差を極めて小さくすることが可能となる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば両パターンの処理
時間差を極めて小さくすることができるので、高集植・
高密度化する被検査パターンの検査を高速に処理するこ
とが可能となる。

また１本発明によれば画像変換処理の負担を軽減するこ
と、および駆動系の振動の影響が少ないので被検査パタ
ーンと検査用パターンとを容易に位置合わせできること
が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、を発明の実施例に係るパターン検査方法を説
明する図、 第２図は従来例のパターン検査方法を説明する図である
。 （符号の説明） ■、２１・・・被検査対象。 ２．２２・・・被検査エリア、 ３．２３・・・電気処理手段、 ４．２４・・・記憶手段、 ５．２５・・・被検査パターン、 ６．２６・・・検査用データ、 ７．２７・・・画像変換処理手段、 ８．２８・・・検査用パターン、 ９．２９・・・比較照合手段、 １０．３４・・・結果出力、 ３０・・・画像密度検知手段、 ３１・・・拡大手段、 ３２・・・縮小手段、 ３３・・・走査処理手段。 代理人弁理上　　井桁　貞−Ｔ−・ （ｂン 栗　１　図　　　　（での２）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　被検査対象（２１）を走査処理手段（３３）で処理し
   て、被検査対象（２１）の画像を入力し、該画像を電気
   処理手段（２３）で処理し、電気処理した画像データを
   記憶手段（２４）で処理し、記憶された画像データから
   作成される被検査パターン（２５）と、基準となる検査
   用データ（２６）を画像変換処理手段（２７）で処理し
   て作成される検査用パターン（２８）とを比較照合する
   パターン検査方法において、 前記被検査対象（２１）の画像密度を検知手段（３０）
   で検知して、該画像密度が高いときは被検査エリア（２
   ２）を１／Ａに縮小手段（３２）で縮小し、 前記縮小された被検査エリア（２２）の被検査対象（２
   １）をＡ倍に拡大手段（３１）で拡大しし、 前記縮小された被検査エリア（２２）の被検査対象（２
   １）を走査処理手段（３３）で処理する時間と、 前記Ａ倍に拡大された被検査エリア（２２）の被検査対
   象（３５）を検査するための前記検査用データ（２６）
   を画像変換処理する時間とを同期させながら検査するこ
   とを特徴とするパターン検査方法。