JPH01108458U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01108458U JPH01108458U JP308488U JP308488U JPH01108458U JP H01108458 U JPH01108458 U JP H01108458U JP 308488 U JP308488 U JP 308488U JP 308488 U JP308488 U JP 308488U JP H01108458 U JPH01108458 U JP H01108458U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- atmospheric
- region
- vacuum region
- bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
- Sealing Devices (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例を示す回転導入機シ
ール部の断面図、第2図は従来技術を示す回転導
入機のシール部の断面図である。 A…真空領域、B…大気領域、C…軸受、1…
軸、2…シール材(ゴム材)、3…ベアリング、
4…(真空ポンプ)排出孔。
ール部の断面図、第2図は従来技術を示す回転導
入機のシール部の断面図である。 A…真空領域、B…大気領域、C…軸受、1…
軸、2…シール材(ゴム材)、3…ベアリング、
4…(真空ポンプ)排出孔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 真空領域と大気領域との間で気密シールに回転
を伝達する軸を有する機構において、 上記軸を固定する軸受に、シール材よりの発塵
が真空領域に入らないように、大気領域へ排出す
る排出口を形成した回転導入機シール部。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP308488U JPH01108458U (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP308488U JPH01108458U (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01108458U true JPH01108458U (ja) | 1989-07-21 |
Family
ID=31204406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP308488U Pending JPH01108458U (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01108458U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006043648A (ja) * | 2004-08-09 | 2006-02-16 | Inoue Mfg Inc | 攪拌軸の軸封装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6082667A (ja) * | 1983-10-11 | 1985-05-10 | Nippon Soken Inc | 真空装置用回転導入機 |
-
1988
- 1988-01-13 JP JP308488U patent/JPH01108458U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6082667A (ja) * | 1983-10-11 | 1985-05-10 | Nippon Soken Inc | 真空装置用回転導入機 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006043648A (ja) * | 2004-08-09 | 2006-02-16 | Inoue Mfg Inc | 攪拌軸の軸封装置 |