JPS6443280U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6443280U JPS6443280U JP13911987U JP13911987U JPS6443280U JP S6443280 U JPS6443280 U JP S6443280U JP 13911987 U JP13911987 U JP 13911987U JP 13911987 U JP13911987 U JP 13911987U JP S6443280 U JPS6443280 U JP S6443280U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve body
- flange
- hole
- reaction chamber
- taking out
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Details Of Valves (AREA)
Description
第１図は本考案圧力調整弁の一実施例を示す断
面図、第２図は従来の圧力調整弁を用いた真空装
置の一例を示す断面図である。 １……反応室、４……圧力調整弁、５……モー
タ、６……弁体、７……真空排気用ポンプ、８…
…ボルト類、９……回転軸、１０……排気管、１
１……フランジ、１２……弁本体、１３……弁体
取出し用貫通孔、１４……気密保持用シール材。
面図、第２図は従来の圧力調整弁を用いた真空装
置の一例を示す断面図である。 １……反応室、４……圧力調整弁、５……モー
タ、６……弁体、７……真空排気用ポンプ、８…
…ボルト類、９……回転軸、１０……排気管、１
１……フランジ、１２……弁本体、１３……弁体
取出し用貫通孔、１４……気密保持用シール材。
Claims (1)
- 反応室１に気密に接続された排気管１０と反応
室１内を排気する真空排気用ポンプ７との間に、
弁本体１２を気密に接続し、この弁本体１２内に
弁体６を配置し、上記弁本体１２の一側に弁体取
出し用貫通孔１３を形成し、この貫通孔１３の周
部にこれを密閉するフランジ１１を着脱可能に取
付け、このフランジ１１に固定されたモータ５の
回転軸９をフランジ１１に気密に支承すると共に
、この回転軸９に弁体６を取付けてなる圧力調整
弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13911987U JPH0443668Y2 (ja) | 1987-09-11 | 1987-09-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13911987U JPH0443668Y2 (ja) | 1987-09-11 | 1987-09-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6443280U true JPS6443280U (ja) | 1989-03-15 |
| JPH0443668Y2 JPH0443668Y2 (ja) | 1992-10-15 |
Family
ID=31402082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13911987U Expired JPH0443668Y2 (ja) | 1987-09-11 | 1987-09-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0443668Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010139073A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Inficon Gmbh | バルブ構造 |
-
1987
- 1987-09-11 JP JP13911987U patent/JPH0443668Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010139073A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Inficon Gmbh | バルブ構造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0443668Y2 (ja) | 1992-10-15 |