JPH01110231U - - Google Patents
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- JPH01110231U JPH01110231U JP616788U JP616788U JPH01110231U JP H01110231 U JPH01110231 U JP H01110231U JP 616788 U JP616788 U JP 616788U JP 616788 U JP616788 U JP 616788U JP H01110231 U JPH01110231 U JP H01110231U
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- Japan
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- resistant
- furnace gas
- inner cylinder
- discharge pipe
- gas discharge
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- Pending
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- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案を実施した反応炉の一例につい
てその要部（炉内ガス排出管の部分）を示す断面
図、第２図は反応炉全体の一般構造を示す断面図
、第３図は炉内ガス排出管の従来構造を示す断面
図である。 図中、１：ベース、２：カバー、３：反応炉、
６：炉内ガス排出管、７：シリコン析出物、８：
水垢および缶石、１１：内筒、１２：フランジ。
てその要部（炉内ガス排出管の部分）を示す断面
図、第２図は反応炉全体の一般構造を示す断面図
、第３図は炉内ガス排出管の従来構造を示す断面
図である。 図中、１：ベース、２：カバー、３：反応炉、
６：炉内ガス排出管、７：シリコン析出物、８：
水垢および缶石、１１：内筒、１２：フランジ。
Claims (1)
- 多結晶シリコン製造用の水冷式金属反応炉にお
いて、炉内ガス排出管６に耐熱および耐腐食性の
内筒１１を着脱可能に嵌入したことを特徴とする
多結晶シリコン製造用反応炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP616788U JPH01110231U (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP616788U JPH01110231U (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01110231U true JPH01110231U (ja) | 1989-07-25 |
Family
ID=31210170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP616788U Pending JPH01110231U (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01110231U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009126774A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-11 | Mitsubishi Materials Corp | 多結晶シリコンの製造装置 |
-
1988
- 1988-01-21 JP JP616788U patent/JPH01110231U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009126774A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-11 | Mitsubishi Materials Corp | 多結晶シリコンの製造装置 |
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