JPH01110232A - 粘性真空計 - Google Patents
粘性真空計Info
- Publication number
- JPH01110232A JPH01110232A JP26770887A JP26770887A JPH01110232A JP H01110232 A JPH01110232 A JP H01110232A JP 26770887 A JP26770887 A JP 26770887A JP 26770887 A JP26770887 A JP 26770887A JP H01110232 A JPH01110232 A JP H01110232A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disc
- gas
- rotational speed
- disk
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は低圧、希薄気体の圧力を測定する真空計に関
するものである。
するものである。
低圧、希薄な気体の圧力を測定する真空計として、従来
種々のものが実用化されているが、真空計の一種として
気体分子の平均自由行路が物体間の距離より大きい圧力
範囲では、運動する物体に働く気体の粘性力が圧力に比
例する性質を利用した粘性真空計がある。
種々のものが実用化されているが、真空計の一種として
気体分子の平均自由行路が物体間の距離より大きい圧力
範囲では、運動する物体に働く気体の粘性力が圧力に比
例する性質を利用した粘性真空計がある。
たとえば、平行な二つの円板の一方を回転さ七他方のね
じれを測定するラングミュアーダンシマンの分子真空計
や、細い水晶系を振動させてその減衰の速さから粘性力
を測定する管球などがある。
じれを測定するラングミュアーダンシマンの分子真空計
や、細い水晶系を振動させてその減衰の速さから粘性力
を測定する管球などがある。
しかしながら従来のこうした粘性真空計では。
機械的摩擦や外部振動の影響や減衰の測定の困難さのた
めに、きわめて実用化がむつかしかった。
めに、きわめて実用化がむつかしかった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので９機械的摩擦を−さい排除し。
たもので９機械的摩擦を−さい排除し。
純粋に気体粘度の摩擦のみを容易な方法で測定できる装
置を得ることを目的としている。
置を得ることを目的としている。
この発明に係る粘性真空計は超電導物質でつくられた円
板を磁気浮上させ、さらにこの円板に非磁性体の円板と
羽根を付加して、これらを回転させた後、非接触で円板
の回転速度を測定するようＫしたものである。
板を磁気浮上させ、さらにこの円板に非磁性体の円板と
羽根を付加して、これらを回転させた後、非接触で円板
の回転速度を測定するようＫしたものである。
この発明において、磁気浮上した超電導物質の円板およ
び非磁性体の円板と羽根は、気体との摩擦抵抗によって
のみ回転速度が減衰するので、この回転速度の減衰の度
合いを非接触で測定することにより、気体の粘度を求め
る。
び非磁性体の円板と羽根は、気体との摩擦抵抗によって
のみ回転速度が減衰するので、この回転速度の減衰の度
合いを非接触で測定することにより、気体の粘度を求め
る。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
図において、（１）は永久磁石、（２）は超電導物質で
つくられた円板、（３）は超電導物質の円板（２）に取
９つけられた非磁性体（たとえばプラスチックなど）の
円板、（４）は非磁性体の軸、（５）は非磁性体の羽根
。
つくられた円板、（３）は超電導物質の円板（２）に取
９つけられた非磁性体（たとえばプラスチックなど）の
円板、（４）は非磁性体の軸、（５）は非磁性体の羽根
。
（６）は非磁性体の円板（３）の周辺にもうけられた穴
。
。
（７）は発光装置、（８）は受光装置、（９）はパルス
カウンタである。
カウンタである。
なお、超電導物質でつ（られた円板（２）と非磁性体の
円板（３）は中心位置を合わせて接合されてお飢さらに
軸（４）はこれら円板の中心に垂直に立てられている。
円板（３）は中心位置を合わせて接合されてお飢さらに
軸（４）はこれら円板の中心に垂直に立てられている。
超電導物質でつくられた円板（２）は、非磁性体でつ（
られた円板（３）、軸（４）９羽根（５）とともに、永
久磁石（１）のつ（る磁界によシ磁気浮上しており、他
のものとの機械的接触かまった（ない状態である。
られた円板（３）、軸（４）９羽根（５）とともに、永
久磁石（１）のつ（る磁界によシ磁気浮上しており、他
のものとの機械的接触かまった（ない状態である。
この状態から、これら浮上している物体に、軸（４）を
中心としてコマをまわすように回転運動のみを与えると
、真空中では永久に回転しつづけるが。
中心としてコマをまわすように回転運動のみを与えると
、真空中では永久に回転しつづけるが。
気体中でこれを回転すると、気体との間の摩擦抵抗によ
多回転は徐々に減衰する。
多回転は徐々に減衰する。
この回転速度の減衰の度合いは、非磁性体の円板（３）
の周辺にもうけた穴（６）を通して発光装置（７）から
の光を受光装置（８）で受ければパルス状の信号が円板
の回転速度に比例して得られ、これをパルスカウンタ（
９）でカウントすることによシ、非接触状態で測定でき
るので９回転速度の減少が気体との摩擦抵抗のみによる
ものであることに変わシはない。
の周辺にもうけた穴（６）を通して発光装置（７）から
の光を受光装置（８）で受ければパルス状の信号が円板
の回転速度に比例して得られ、これをパルスカウンタ（
９）でカウントすることによシ、非接触状態で測定でき
るので９回転速度の減少が気体との摩擦抵抗のみによる
ものであることに変わシはない。
なお、上記実施例では気体との摩擦抵抗をより大きくし
て測定時間を短縮するために９羽根（５）ヲもうけであ
るが、必要に応じてその形状や羽根の枚数などを決めれ
ばよい。
て測定時間を短縮するために９羽根（５）ヲもうけであ
るが、必要に応じてその形状や羽根の枚数などを決めれ
ばよい。
また、軸（４）と羽根（５）がまったくないものでも。
円板と気体との間に摩擦抵抗は存在するので、測定の原
理は変わらない。
理は変わらない。
なお１円板の回転速度の測定を非接触で行なうのに上記
実施例では２円板周辺に穴（６）ヲもうけたが２反射マ
ーカ等を円板表面に帖シ付けても非接触の測定は行なえ
る。
実施例では２円板周辺に穴（６）ヲもうけたが２反射マ
ーカ等を円板表面に帖シ付けても非接触の測定は行なえ
る。
磁気浮上させるための磁界を２本実施例では永久磁石か
ら得ているが、コイルを応用しても良い。
ら得ているが、コイルを応用しても良い。
以上のように、この発明によれば磁気浮上させた物体を
回転させてその回転速度の減衰を非接触で測定するよう
にしたので、水銀柱のようにこわれやすいものかまった
（な（堅牢で携帯に便利であり、経年変化部分かまった
（ないので定期的な校正を必要とせず、かつ構造が簡単
なため、きわめて安価な装置が得られる効果がある。
回転させてその回転速度の減衰を非接触で測定するよう
にしたので、水銀柱のようにこわれやすいものかまった
（な（堅牢で携帯に便利であり、経年変化部分かまった
（ないので定期的な校正を必要とせず、かつ構造が簡単
なため、きわめて安価な装置が得られる効果がある。
観構造図である。（１）は永久磁石、（２）は超電導物
質でつ（られた円板、（３）は非磁性体の円板、（４）
は非磁性体の軸、（５）は非磁性体の羽根、（６）は穴
、（７）は発光装置、（８）は受光装置、（９）はパル
スカウンタである。
質でつ（られた円板、（３）は非磁性体の円板、（４）
は非磁性体の軸、（５）は非磁性体の羽根、（６）は穴
、（７）は発光装置、（８）は受光装置、（９）はパル
スカウンタである。
Claims (1)
- 超電導物質から成る円板と、その円板に非磁性体から
成る羽根および円板を取りつけ気体中でこれらを回転さ
せた時の円板の回転速度を非接触で測定する機構をそな
えた粘性真空計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26770887A JPH01110232A (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 | 粘性真空計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26770887A JPH01110232A (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 | 粘性真空計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01110232A true JPH01110232A (ja) | 1989-04-26 |
Family
ID=17448442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26770887A Pending JPH01110232A (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 | 粘性真空計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01110232A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06288854A (ja) * | 1993-03-31 | 1994-10-18 | Agency Of Ind Science & Technol | 回転形粘性真空計 |
| JPH09292300A (ja) * | 1996-04-26 | 1997-11-11 | Agency Of Ind Science & Technol | 回転型粘性真空計 |
| JP2005331362A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Canon Inc | 真空計 |
-
1987
- 1987-10-23 JP JP26770887A patent/JPH01110232A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06288854A (ja) * | 1993-03-31 | 1994-10-18 | Agency Of Ind Science & Technol | 回転形粘性真空計 |
| JPH09292300A (ja) * | 1996-04-26 | 1997-11-11 | Agency Of Ind Science & Technol | 回転型粘性真空計 |
| JP2005331362A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Canon Inc | 真空計 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4459759A (en) | Angular rate and position transducer for borehole survey instrument | |
| US4172994A (en) | Electro-optic apparatus for measuring the speed of angular rotation of one body relative another using moire patterns | |
| Vohra et al. | High performance fiber optic accelerometers | |
| CN206300661U (zh) | 一种光纤陀螺仪仪器测试装置 | |
| CN106525099B (zh) | 一种非接触式光纤光栅角量传感器及测试方法 | |
| JPH02503718A (ja) | シャフトの角度位置検知装置 | |
| JPH01110232A (ja) | 粘性真空計 | |
| US4235092A (en) | Low friction bearing running torque measuring apparatus | |
| US3552198A (en) | Torque measuring device | |
| JPH083183Y2 (ja) | 発電機 | |
| US3720110A (en) | Method and apparatus for detecting angular position and amount of dynamic unbalance of rotating body | |
| JPH071186B2 (ja) | 流量計発信器 | |
| US3988836A (en) | Apparatus for measuring the concentricity of rotors of miniature motors with respect to their axial pivots | |
| JPH01170890A (ja) | 角度計 | |
| SU1525581A1 (ru) | Датчик скорости | |
| DE69421992D1 (de) | Vorrichtung zur optischen Messung der Drehgeschwindigkeit eines Objekts | |
| US4793199A (en) | Electromagnetic precision rotary drive | |
| Wilcox et al. | Flexure Mounted Beam Balance for Long‐Term Magnetic Stability Measurements | |
| JPH0346335Y2 (ja) | ||
| JPH0637291Y2 (ja) | 流量発信器 | |
| SU1647258A1 (ru) | Устройство измерени пути | |
| SU1167505A1 (ru) | Устройство дл измерени скорости вращени роторных механизмов | |
| JPS5824774Y2 (ja) | 回転体の微小トルク計 | |
| SU482640A1 (ru) | Устройство дл определени крут щего момента | |
| JPS59126209A (ja) | ロ−タリ−エンコ−ダ |